JP2000153459A - Polishing machining device for grinding wheel - Google Patents
Polishing machining device for grinding wheelInfo
- Publication number
- JP2000153459A JP2000153459A JP10326394A JP32639498A JP2000153459A JP 2000153459 A JP2000153459 A JP 2000153459A JP 10326394 A JP10326394 A JP 10326394A JP 32639498 A JP32639498 A JP 32639498A JP 2000153459 A JP2000153459 A JP 2000153459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grit
- polishing
- grindstone
- polishing table
- separated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は砥石の研磨加工装置
に係り、特に、砥石を研磨加工するグリットを再使用す
る技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grindstone polishing apparatus, and more particularly to a technique for reusing grit for polishing a grindstone.
【0002】[0002]
【従来の技術】多数の微小なグリットが載置された研磨
台上に砥石の平坦な被加工面を押圧しながら、その研磨
台と砥石とをその被加工面と平行な方向へ相対移動させ
てその被加工面をそのグリットにより研磨加工する砥石
の研磨加工装置が、例えばビトリファイド砥石の製造に
際して、焼成後の砥石を所定寸法に仕上げ加工する場合
等に用いられている。このような研磨加工装置は、一般
に♯36程度のグリットを使用しているとともに、研磨
台から脱落したグリットは回収されて再び研磨台上へ供
給される一方、研磨加工により磨滅した微細(例えば♯
60程度以下)なグリットは、研磨加工に伴って発生す
る砥石の切粉と共に集塵機によって除去されるようにな
っている。なお、「♯・・以下」とは、♯・・よりも粒
度が小さい(細かい)ことを意味し、♯の後の数字が
「・・」よりも大きいものを意味する。2. Description of the Related Art While a flat work surface of a grindstone is pressed onto a polishing table on which a large number of minute grit are placed, the polishing table and the grindstone are relatively moved in a direction parallel to the work surface. 2. Description of the Related Art A grindstone polishing apparatus that grinds a surface to be processed with the grit is used, for example, in the case of manufacturing a vitrified grindstone when finishing a fired grindstone to a predetermined size. Such a polishing apparatus generally uses a grit of about # 36, and the grit dropped from the polishing table is collected and supplied to the polishing table again, while the fine particles worn by the polishing (for example, # 36)
The grit of about 60 or less) is removed by a dust collector together with the swarf of the grindstone generated during the polishing process. Here, “以下 ·· or less” means that the grain size is smaller (finer) than ♯ ··, and the number after ♯ is larger than “··”.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記回収し
たグリットには、集塵機では吸引除去できない比較的大
きめ(例えば♯60程度以上)の切粉が含まれているた
め、研磨能率が低下したりグリットが早期磨耗したりす
るという問題があった。However, since the collected grit contains relatively large chips (for example, about $ 60 or more) that cannot be suctioned and removed by a dust collector, the polishing efficiency is reduced or the grit is reduced. However, there is a problem that the steel is worn out early.
【0004】また、グリットが磨滅して粒度が小さくな
ると、♯60以上であっても加工能率が低下する。更
に、砥粒の粒度が♯46〜♯80程度の砥石の研磨加工
は良好に行うことができるが、♯80よりも細かくなる
と必ずしも十分に満足できる仕上げ面粗さが得られず、
♯150程度以下の砥石についてはこのようなグリット
による研磨加工を適用できず、ダイヤモンド工具で仕上
げ加工を行っていた。[0004] Further, when the grit is worn out and the particle size is reduced, the processing efficiency is reduced even if the particle size is $ 60 or more. Further, the grinding process of a grindstone having a grain size of about # 46 to # 80 can be performed satisfactorily, but if it is finer than # 80, a sufficiently satisfactory finished surface roughness cannot be obtained,
Grinding with such a grit cannot be applied to a grindstone of about $ 150 or less, and finishing is performed with a diamond tool.
【0005】本発明は以上の事情を背景として為された
もので、その目的とするところは、切粉の混入に起因す
る研磨能率の低下やグリットの早期磨耗を抑制するとと
もに、グリットの磨滅による細粒化に起因する研磨能率
の低下を抑制し、更に種々の粒度の砥石に対して良好な
研磨加工を行うことができるようにすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to suppress a decrease in polishing efficiency and early wear of grit due to mixing of cutting chips, and to reduce grit wear. It is an object of the present invention to suppress a decrease in polishing efficiency due to grain refinement and to enable good polishing to be performed on grindstones having various particle sizes.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、第1発明は、多数の微小なグリットが載置された
研磨台上に砥石の平坦な被加工面を押圧しながら、その
研磨台とその砥石とをその被加工面と平行な方向へ相対
移動させてその被加工面をそのグリットにより研磨加工
する砥石の研磨加工装置であって、(a) 前記研磨加工に
伴って発生する前記砥石の切粉を前記グリットと共に回
収する回収手段と、(b) 前記切粉と前記グリットとを分
離する分離手段と、(c) その分離手段によって分離した
グリットを前記研磨台上へ供給するグリット供給手段と
を有することを特徴とする。In order to achieve the above object, a first invention is to provide a polishing apparatus which presses a flat work surface of a grindstone on a polishing table on which a large number of minute grit are placed, and performs polishing on the grindstone. A polishing apparatus for a grindstone that relatively moves a table and its grindstone in a direction parallel to the surface to be machined and polishes the surface to be machined with the grit, and (a) occurs with the grinding process. Collecting means for collecting the chips of the grinding stone together with the grit; (b) separating means for separating the chips and the grit; and (c) supplying the grit separated by the separating means onto the polishing table. Grit supply means.
【0007】第2発明は、第1発明の砥石の研磨加工装
置において、(a) 前記グリットは磁石に吸着される磁性
材料にて構成されており、(b) 前記分離手段は、磁力の
作用でそのグリットを吸着して前記切粉から分離するも
のであることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided the grinding wheel polishing apparatus according to the first aspect of the present invention, wherein (a) the grit is made of a magnetic material that is attracted to a magnet, and (b) the separating means is provided with a magnetic force. And the grit is adsorbed and separated from the chips.
【0008】第3発明は、第2発明の砥石の研磨加工装
置において、前記分離手段によって磁力の作用で分離さ
れたグリットが前記研磨台と前記砥石との間に入り込む
前にそのグリットを脱磁する脱磁手段を有することを特
徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the grinding wheel polishing apparatus of the second aspect, the grit separated by the action of the magnetic force by the separating means is demagnetized before entering the gap between the polishing table and the grinding stone. It is characterized by having a demagnetizing means.
【0009】第4発明は、第1発明〜第3発明の何れか
の砥石の研磨加工装置において、(a) 前記分離手段によ
って分離したグリットのうち所定の大きさのものだけを
選別する選別手段を有し、(b) 前記グリット供給手段
は、その選別されたグリットのみを前記研磨台上へ供給
するものであることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the grinding wheel polishing apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein: (a) sorting means for sorting only a predetermined size of the grit separated by the separating means. (B) wherein the grit supply means supplies only the selected grit to the polishing table.
【0010】第5発明は、第1発明〜第3発明の何れか
の砥石の研磨加工装置において、(a) 前記分離手段によ
って分離したグリットを粒度別に分級して貯蔵する分級
貯蔵手段と、(b) その分級された複数種類のグリットの
うち任意のグリットが前記グリット供給手段によって前
記研磨台上へ供給されるように選択できる選択手段とを
有することを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the grinding wheel polishing apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein (a) a classification storage means for classifying and storing the grit separated by the separation means according to particle size; b) selecting means for selecting any one of the classified plural kinds of grit to be supplied onto the polishing table by the grit supply means.
【0011】第6発明は、第5発明の砥石の研磨加工装
置において、(a) 前記砥石の砥粒の粒度、要求加工面粗
さ、および加工速度の少なくとも一つに関する情報を入
力する入力手段と、(b) その入力手段によって入力され
た情報に基づいて使用するグリットの種類を決定する使
用グリット決定手段とを有し、(c) 前記選択手段は、そ
の使用粒度決定手段によって決定された種類のグリット
を自動的に選択するように構成されていることを特徴と
する。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the grinding wheel polishing apparatus according to the fifth aspect, wherein: (a) input means for inputting information relating to at least one of the grain size of the abrasive grains of the whetstone, a required processing surface roughness, and a processing speed. And (b) use grid determining means for determining the type of grid to be used based on the information input by the input means, and (c) the selecting means is determined by the use granularity determining means. The kind of grit is automatically selected.
【0012】[0012]
【発明の効果】このような砥石の研磨加工装置において
は、回収手段によって回収された切粉とグリットとが分
離手段によって分離され、グリットのみがグリット供給
手段により研磨台上へ供給されて再使用されるので、切
粉の混入に起因する研磨能率の低下やグリットの早期磨
耗が抑制される。In such a grindstone polishing apparatus, the chips and the grit collected by the collecting means are separated by the separating means, and only the grit is supplied to the polishing table by the grit supplying means and reused. Therefore, a decrease in the polishing efficiency and an early wear of the grit due to the mixing of the chips are suppressed.
【0013】第2発明では、磁石に吸着される磁性材料
製のグリットが用いられ、磁力の作用でグリットと切粉
とが分離されるようになっているため、グリットと切粉
とが略同じ大きさであっても良好に分離できる。また、
このように磁力の作用で分離されたグリットは磁化され
るが、第3発明では研磨台と砥石との間にグリットが入
り込む前に脱磁手段によって脱磁されるため、研磨時に
グリットが相互に吸着して研磨性能が損なわれたり、鉄
等の磁性材料製の部材にグリットが付着したりすること
が防止される。In the second invention, a grit made of a magnetic material that is attracted to a magnet is used, and the grit and the chips are separated by the action of a magnetic force. Even if the size is large, it can be separated well. Also,
Although the grit separated by the action of the magnetic force is magnetized in this way, in the third invention, the grit is demagnetized by the demagnetizing means before the grit enters between the polishing table and the grindstone. It is possible to prevent the polishing performance from being impaired due to the adsorption and the grit from being attached to a member made of a magnetic material such as iron.
【0014】第4発明では、分離手段によって分離され
たグリットのうち所定の大きさのものだけを選別手段で
選別し、グリット供給手段により研磨台上へ供給するよ
うになっているため、研磨加工で磨滅した比較的小さな
グリットを除去することが可能で、グリットの磨滅によ
る細粒化に起因する研磨能率の低下が抑制される。[0014] In the fourth aspect of the present invention, only the grit separated by the separation means is separated by a predetermined size by the selection means and supplied to the polishing table by the grit supply means. It is possible to remove a relatively small grit worn by the method, and it is possible to suppress a decrease in the polishing efficiency due to a finer grain due to the worn grit.
【0015】第5発明では、分離手段によって分離され
たグリットが分級貯蔵手段により粒度別に分級して貯蔵
されるとともに、その分級された複数種類のグリットの
うち選択手段により選択された任意のグリットがグリッ
ト供給手段によって研磨台上へ供給されるようになって
いるため、適当な種類(粒度)のグリットを選択するこ
とにより、グリットの磨滅による細粒化に起因する研磨
能率の低下が抑制される。また、研磨加工すべき砥石の
砥粒の粒度、要求加工面粗さ、加工速度などに応じて適
当な種類のグリットを選択することにより、所望の仕上
げ研磨等を行うことが可能で、種々の粒度の砥石に対し
て良好な研磨加工を行うことができるようになり、例え
ば♯150程度以下の粒度の砥石に対してもグリットに
よる研磨加工が可能となる。In the fifth invention, the grit separated by the separation means is classified and stored by the classification storage means according to particle size, and an arbitrary grit selected by the selection means among the plurality of classified grit is selected. Since the grit is supplied onto the polishing table by the grit supply means, a decrease in the polishing efficiency due to fine grinding due to abrasion of the grit is suppressed by selecting an appropriate type (grit) of grit. . Also, by selecting an appropriate type of grit according to the grain size of the abrasive grains of the grindstone to be polished, the required processing surface roughness, the processing speed, etc., it is possible to perform a desired finish polishing, etc. Good polishing can be performed on a grindstone having a grain size. For example, polishing can be performed with grit on a grindstone having a grain size of about $ 150 or less.
【0016】なお、第1発明〜第4発明においても、適
当な粒度のグリットを使用することにより、♯150程
度以下の粒度の砥石に対しても良好な研磨加工を行うこ
とができるが、1種類のグリットだけでは第5発明のよ
うな高い汎用性は得られない。In the first to fourth inventions as well, by using a grit having an appropriate particle size, good polishing can be performed even on a grindstone having a particle size of about $ 150 or less. High versatility as in the fifth invention cannot be obtained with only the kind of grit.
【0017】第6発明では、砥石の砥粒の粒度、要求加
工面粗さ、および加工速度の少なくとも一つに関する情
報が入力手段によって入力されると、その情報に基づい
て使用するグリットの種類が決定され、その決定された
種類のグリットが選択手段により自動的に選択されるよ
うになっているため、それ等の砥粒の粒度、要求加工面
粗さ、加工速度に応じて自動的に適切な研磨加工が行わ
れる。In the sixth invention, when information relating to at least one of the grain size of the abrasive grains of the grindstone, the required processing surface roughness, and the processing speed is input by the input means, the type of grit to be used is determined based on the information. It is determined, and the grit of the determined type is automatically selected by the selecting means, so that the grit is automatically automatically selected according to the grain size of the abrasive grains, the required surface roughness, and the processing speed. Polishing is performed.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】本発明の砥石の研磨加工装置は、
ビトリファイド砥石の製造に際して、焼成後の砥石を所
定寸法に仕上げ加工する場合に好適に用いられるが、そ
の他の砥石の研磨加工にも使用できる。グリットの供給
は、回収したものだけでなく、新品のグリットを適宜投
入するようにしても良い。新品グリットの投入は、回収
グリットを供給するグリット供給手段を利用しても良い
が、それとは別に新品グリット用の供給手段を設けるこ
ともできる。研磨台と砥石との相対移動は、自転運動、
公転運動、直線往復運動、それ等の運動の組合せなど、
種々の移動形態を採用できる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In the production of a vitrified grindstone, it is preferably used when finishing the burned grindstone to a predetermined size, but can also be used for polishing other grindstones. The grit may be supplied not only from the collected grit but also from a new grit. The supply of new grit may be performed by using a grit supply means for supplying the collected grit, but a separate supply means for new grit may be provided. The relative movement between the polishing table and the whetstone is
Revolving motion, linear reciprocating motion, a combination of these motions, etc.
Various movement modes can be adopted.
【0019】グリットとしては、第2発明のように鉄な
ど磁石に吸着する磁性材料製のものが好適に用いられ
る。分離手段としては、磁力を利用する他に比重の差を
利用して分離するものなど、グリットの材質等に応じて
種々の手段を採用できる。グリットの大きさは、研磨加
工すべき砥石の砥粒の粒度等に応じて適宜設定される
が、例えば砥粒の粒度が♯46〜♯80程度の場合には
新品で♯36程度のグリットが好適に用いられる。As the grit, a material made of a magnetic material such as iron which is attracted to a magnet as in the second invention is preferably used. As the separating means, various means can be employed depending on the material of the grit, such as a means for separating using a difference in specific gravity, in addition to using magnetic force. The size of the grit is appropriately set according to the grain size of the abrasive grains of the grindstone to be polished. For example, when the grain size of the abrasive grains is about 46 to 80, a new grit of about 36 It is preferably used.
【0020】第3発明の脱磁手段は、少なくともグリッ
トが研磨台と砥石との間に入り込む前に脱磁するもので
あれば良く、例えばグリット供給手段によってグリット
が搬送される過程で脱磁するように配設される。The demagnetizing means of the third invention only needs to demagnetize at least before the grit enters between the polishing table and the grindstone. For example, it is demagnetized in a process in which the grit is conveyed by the grit supply means. It is arranged as follows.
【0021】第4発明の選別手段、第5発明の分級貯蔵
手段は、例えば所定の大きさの目の篩などを用いて構成
される。選別手段は、例えば所定値以上の大きさのグリ
ットを選別するものでも良い。The sorting means of the fourth invention and the classification and storage means of the fifth invention are constituted by using, for example, a sieve having a predetermined size. The selection unit may be, for example, a unit that selects grit having a size equal to or larger than a predetermined value.
【0022】第5発明の選択手段は、複数種類のグリッ
トを貯蔵している各容器を開閉して任意のグリットを流
出させる開閉シャッターや、各容器からそれぞれグリッ
トをコンベアや吸引器などで搬出する搬出装置など、種
々の手段を採用できる。また、シャッター開閉手段など
の駆動手段により自動的に任意のグリットを選択するよ
うにしても良いが、上記開閉シャッターを手動操作で開
閉するなど、手動操作で任意のグリットを選択できるよ
うになっていても良い。第6発明では、使用グリット決
定手段の決定に従って自動的に使用するグリットを選択
するが、作業者のキー入力や選択操作、或いはスイッチ
のON、OFF操作などで、使用するグリットを任意に
選択できるようになっていても良い。使用するグリット
の種類は1種類であるのが普通であるが、複数種類のグ
リットを同時に選択できるようにしても良い。According to a fifth aspect of the present invention, the selection means includes an opening / closing shutter for opening / closing each container storing a plurality of types of grit and discharging an arbitrary grit, and transporting the grit from each container using a conveyor or a suction device. Various means such as a carry-out device can be adopted. Further, an arbitrary grit may be automatically selected by a driving unit such as a shutter opening / closing unit, but an arbitrary grit can be selected manually by opening / closing the opening / closing shutter manually. May be. In the sixth invention, the grid to be used is automatically selected according to the determination by the grid to be used determining means. However, the grid to be used can be arbitrarily selected by an operator's key input or selection operation, or a switch ON / OFF operation. It may be. Usually, only one kind of grit is used, but a plurality of kinds of grit may be selected at the same time.
【0023】第6発明の入力手段は、作業者がキー操作
や選択操作などで入力するものでも良いし、砥石に付随
する記録媒体やオンラインなどで入力するようになって
いても良い。入力する情報は、砥石の砥粒の粒度、要求
加工面粗さ、および加工速度の何れか1つでも良いし、
3つ共入力するようになっていても良い。加工速度は、
研磨台と砥石との相対移動速度や押圧力などである。使
用グリット決定手段は、例えば砥石砥粒の粒度、要求加
工面粗さ、加工速度をパラメータとして使用するグリッ
トの粒度を決定するデータマップなどを記憶している。
例えば、荒仕上げ加工時で高速加工(加工速度が大)を
行う場合は、新品または粗粒グリットを使用し、仕上げ
加工時や細粒砥石に対して精密加工(加工速度が小)を
行う場合は、細粒グリットを使用するように定められ
る。The input means according to the sixth aspect of the present invention may be input by an operator through key operation or selection operation, or may be input on a recording medium attached to the grindstone or online. The information to be input may be any one of the grain size of the abrasive grains of the grindstone, the required processing surface roughness, and the processing speed,
All three may be input. The processing speed is
The relative movement speed and pressing force between the polishing table and the grindstone are used. The used grit determination means stores, for example, a data map for determining the particle size of the grit using the particle size of the grindstone, the required processing surface roughness, and the processing speed as parameters.
For example, when performing high-speed processing (high processing speed) during rough finishing, use a new or coarse-grit grit, and perform precision processing (low processing speed) on fine-grain stones during finishing processing. Is defined to use fine grit.
【0024】なお、砥石砥粒の粒度や要求加工面粗さに
応じて、使用するグリットの種類(粒度)および加工条
件(相対移動速度や押圧力など)を自動的に決定するな
ど、種々の態様で実施できる。Various types of grit to be used (grain size) and processing conditions (relative moving speed, pressing force, etc.) are automatically determined in accordance with the grain size of the grinding stone and the required surface roughness. It can be implemented in an embodiment.
【0025】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ
詳細に説明する。図1の(a) は、本発明の一実施例であ
る砥石の研磨加工装置10の概略構成図で、(b) は研磨
台12や砥石14付近を示す平面図である。研磨台12
は略円盤形状を成していて、その平坦な上面が略水平と
なる姿勢で配設されているとともに、略垂直(鉛直)な
中心線S1 まわりに回転駆動されるようになっている。
研磨台12上には多数の微小なグリット16が載置され
ており、その上に研磨すべき砥石14が配置され、押え
板18により研磨台12に所定の押圧力で押圧されると
ともに、その押え板18の中心線S2 まわりに押え板1
8と共に回転駆動されることにより、砥石14の平坦な
被加工面(下側の面)がグリット16によって研磨加工
される。本実施例では、図1の(b) に矢印で示されてい
るように、研磨台12、砥石14共に、それぞれ中心線
S1 、S2 の右まわりに回転させられるようになってい
る。押え板18は、研磨台12の中心を挿通して上方へ
延び出している支持ポスト20により、中心線S1 まわ
りの回転不能に所定位置に配設され、図示しないモータ
により中心線S2 まわりに回転駆動される。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1A is a schematic configuration diagram of a grindstone polishing apparatus 10 according to one embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a plan view showing the vicinity of a polishing table 12 and a grindstone 14. Polishing table 12
Is not a generally disc-shaped, with its flat top surface is disposed in a posture to be substantially horizontal, and is rotated in a substantially vertical (perpendicular) center line S around 1.
A large number of fine grit 16 is placed on the polishing table 12, and a grindstone 14 to be polished is disposed thereon, and is pressed against the polishing table 12 by a holding plate 18 with a predetermined pressing force. pressing plate 1 about the center line S 2 of the presser plate 18
The flat processing surface (lower surface) of the grindstone 14 is polished by the grit 16 by being rotationally driven together with 8. In this embodiment, as shown by arrows in FIG. 1B, both the polishing table 12 and the grindstone 14 can be rotated clockwise around the center lines S 1 and S 2 , respectively. The holding plate 18 is disposed at a predetermined position so as to be unrotatable around the center line S 1 by a support post 20 extending upward through the center of the polishing table 12, and is rotated around a center line S 2 by a motor (not shown). Is driven to rotate.
【0026】上記砥石14は、ビトリファイドボンド
(長石や陶石、耐火粘土など)によって砥粒が結合され
たビトリファイド砥石で、砥粒の粒度は♯46〜♯15
0程度である。また、グリット16は、磁石に吸着され
る鉄製(鉄砂など)で、新品の粒度は♯36程度であ
る。なお、図ではグリット16を明確に示すために過大
に表している。The grinding stone 14 is a vitrified grinding stone in which abrasive grains are bonded by vitrified bonds (eg, feldspar, potter's stone, refractory clay, etc.).
It is about 0. The grit 16 is made of iron (iron sand or the like) adsorbed by a magnet, and has a new particle size of about $ 36. In the figure, the grit 16 is exaggerated for clear illustration.
【0027】研磨台12の周囲には受け樋22が位置固
定に設けられ、研磨台12上から周囲へ落下したグリッ
ト16や研磨加工に伴って発生した砥石14の切粉(研
磨粉)を受け止めるようになっているとともに、その受
け樋22内に落下したグリット16や切粉は、研磨台1
2の側面に設けられたスクレーパ24により、研磨台1
2の回転に伴って中心線S1 の右まわりに移動させら
れ、落し穴26から落下する。落下したグリット16お
よび切粉は、一旦容器28内に収容された後バケット付
きの垂直コンベア30によって上方へ搬出され、ホッパ
31内に投入されて水平コンベア32上に供給される。
水平コンベア32の一方のプーリ34は永久磁石にて構
成されており、鉄製のグリット16はプーリ34まわり
を半回転して容器36内に落下するが、磁石に吸着され
ない切粉はプーリ34まわりを1/4回転してシュート
38上に落下し、容器40内に収容される。切粉の成分
は、砥石14の砥粒を構成しているアルミナや炭化ケイ
素、ビトリファイドボンドを構成している長石や陶石な
どで、永久磁石製のプーリ34に吸着されることはな
い。上記受け樋22およびスクレーパ24によって回収
手段が構成されており、永久磁石製のプーリ34を有す
る水平コンベア32によって分離手段が構成されてい
る。A receiving gutter 22 is provided around the polishing table 12 at a fixed position to receive the grit 16 dropped from the polishing table 12 to the periphery and the cutting powder (polishing powder) of the grindstone 14 generated by the polishing process. The grit 16 and the chips that have fallen into the receiving trough 22 are
2 by the scraper 24 provided on the side surface of the polishing table 1
With the rotation of No. 2, it is moved clockwise around the center line S1, and falls through the pit 26. The dropped grit 16 and the swarf are once stored in a container 28, then carried out upward by a vertical conveyor 30 having a bucket, thrown into a hopper 31 and supplied onto a horizontal conveyor 32.
One pulley 34 of the horizontal conveyor 32 is constituted by a permanent magnet, and the iron grit 16 rotates halfway around the pulley 34 and falls into the container 36, but chips that are not attracted to the magnet are moved around the pulley 34. After falling by 1/4 turn, it falls on the chute 38 and is stored in the container 40. The components of the chips are alumina and silicon carbide constituting the abrasive grains of the grindstone 14, feldspar and pottery stone constituting the vitrified bond, and are not adsorbed to the pulley 34 made of the permanent magnet. The receiving gutter 22 and the scraper 24 constitute a collecting means, and the horizontal conveyor 32 having a permanent magnet pulley 34 constitutes a separating means.
【0028】容器36内のグリット16は、バケット付
きの垂直コンベア42により上方へ搬出され、ホッパ4
3内に投入されてシュート44上を滑落し、前記研磨台
12上へ再び供給される。垂直コンベア42の途中には
脱磁手段として脱磁器46が設けられており、前記永久
磁石製のプーリ34によって磁化されたグリット16を
脱磁するようになっている。研磨台12上へのグリット
16の供給位置は、図1(b) に白抜き矢印で示すように
研磨台12の回転方向において、砥石14よりも少し上
流側の位置に設定されている。垂直コンベア42および
シュート44を含んでグリット供給手段が構成されてい
る。The grit 16 in the container 36 is carried out upward by a vertical conveyor 42 having a bucket, and the hopper 4
3 and slides down on the chute 44 and is supplied onto the polishing table 12 again. A demagnetizer 46 is provided in the middle of the vertical conveyor 42 as a demagnetizing means, and demagnetizes the grit 16 magnetized by the pulley 34 made of the permanent magnet. The supply position of the grit 16 onto the polishing table 12 is set at a position slightly upstream of the grindstone 14 in the rotation direction of the polishing table 12 as shown by a white arrow in FIG. The grit supply means includes the vertical conveyor 42 and the chute 44.
【0029】なお、上記ホッパ43内には、新品のグリ
ット16が適宜補給されるようになっている。また、研
磨台12の近傍などには集塵機が設けられ、♯60程度
以下のグリット16や切粉を吸引除去するようになって
いる。The hopper 43 is supplied with new grit 16 as needed. A dust collector is provided in the vicinity of the polishing table 12, for example, so as to suck and remove the grit 16 and the swarf of about $ 60 or less.
【0030】このような本実施例の研磨加工装置10に
おいては、水平コンベア32によってグリット16と切
粉とが分離され、グリット16のみが研磨台12上へ供
給されて再使用されるため、切粉の混入に起因する研磨
能率の低下やグリット16の早期磨耗が抑制される。ま
た、本実施例では永久磁石製のプーリ34により、磁力
の作用で鉄製のグリット16と切粉とが分離されるた
め、グリット16と切粉とが略同じ大きさであっても良
好に分離される。しかも、磁力の作用で分離されたグリ
ット16は、垂直コンベア42によって上方へ搬送され
る過程で脱磁器46によって脱磁されるため、研磨時に
グリット16が相互に吸着して研磨性能が損なわれた
り、鉄製の研磨台12等にグリット16が付着したりす
ることが防止される。In the polishing apparatus 10 of this embodiment, the grit 16 and the chips are separated by the horizontal conveyor 32, and only the grit 16 is supplied to the polishing table 12 and reused. A decrease in the polishing efficiency and early wear of the grit 16 due to the mixing of the powder are suppressed. Further, in this embodiment, since the iron grit 16 and the chips are separated by the action of the magnetic force by the permanent magnet pulley 34, even if the grit 16 and the chips are approximately the same size, the grit 16 and the chips are separated well. Is done. Moreover, the grit 16 separated by the action of the magnetic force is demagnetized by the demagnetizer 46 in the process of being transported upward by the vertical conveyor 42, so that the grit 16 is attracted to each other during polishing and the polishing performance is impaired. The grit 16 is prevented from adhering to the iron polishing table 12 and the like.
【0031】ここで、本発明の効果を具体的に明らかに
するために、本発明者等が行った試験結果を説明する。
使用したグリット16の粒度は新品の状態で♯36、研
磨加工する砥石14は「A60M610×54×30
4.8」、すなわち砥粒の粒度が♯60のビトリファイ
ド砥石で、押え板18による押圧力は40kgf/cm
2 である。そして、グリット16が磨滅するとともに砥
石14の切粉がグリット16に混入している場合(水平
コンベア32による分離なしで切粉を含むグリットを循
環させる従来例)と、水平コンベア32によってグリッ
ト16を切粉から分離して循環させる場合と、粒度が♯
36の新品のグリット16を用いて加工した場合とにつ
いて、それぞれ加工能率を調べたところ、表1に示す結
果が得られた。かかる表1から明らかなように、本発明
の分離グリットによれば、従来の混入グリットに比較し
て加工能率が30%程度向上し、新品グリットを使用す
る場合と同程度の加工能率が得られる。混入グリット、
分離グリットによる試験は、新品グリットを所定量ずつ
連続的に供給しながら循環させて研磨加工を行った場合
に、グリットの粒度分布が略一定の略平衡状態になった
時に行ったもので、その時のグリットの平均粒度および
割合は表2に示す通りである。Here, the effects of the present invention will be specifically clarified.
In order to do so, test results performed by the present inventors will be described.
The particle size of the grit 16 used is $ 36 as new,
The grindstone 14 to be polished is “A60M610 × 54 × 30
4.8 ”, that is, vitrification with a grain size of $ 60
The pressing force by the holding plate 18 is 40 kgf / cm.
TwoIt is. And as the grit 16 wears out,
When the chips of the stone 14 are mixed in the grit 16 (horizontal
Circulate grit containing chips without separation by conveyor 32
And a horizontal conveyor 32.
In the case of separating and circulating the chip 16 from the chips,
With new 36 grit 16
The processing efficiency was examined, and the results shown in Table 1 were obtained.
The fruit was obtained. As is clear from Table 1, the present invention
According to the separation grit, compared to the conventional mixed grit
Processing efficiency is improved by about 30%, and new grit is used.
The same processing efficiency as in the case of Mixed grit,
In the test using the separated grit, a new grit is
When polishing is performed by circulating while supplying continuously
In addition, the grit particle size distribution became almost constant and almost equilibrium
The grit average particle size at that time and
The ratio is as shown in Table 2.
【0032】[0032]
【表1】 [Table 1]
【表2】 [Table 2]
【0033】次に、本発明の他の実施例を説明する。な
お、以下の実施例において前記実施例と実質的に共通す
る部分には同一の符号を付して詳しい説明を省略する。Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, portions substantially common to the above embodiments are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【0034】図2のシュート50は前記シュート44の
代わりに用いられるもので、中間部に篩52が設けられ
ているとともに振動発生器54により所定の振動が付与
されるようになっており、例えば♯50以下など所定の
粒度以下のグリット16を篩52から落下させて除去す
ることにより、所定の粒度以上のグリット16だけを研
磨台12上へ供給する。供給するグリット16の粒度、
すなわち篩52の目の大きさは、研磨加工すべき砥石1
4の砥粒の粒度や要求加工面粗さ、加工速度などに応じ
て適宜設定され、篩52から落下したグリット16を研
磨台12上へ供給するように構成することもできる。上
記篩52および振動発生器54は選別手段に相当する。The chute 50 shown in FIG. 2 is used in place of the chute 44. The chute 50 is provided with a sieve 52 at an intermediate portion and is provided with a predetermined vibration by a vibration generator 54. The grit 16 having a predetermined particle size or less such as $ 50 or less is dropped from the sieve 52 to be removed, so that only the grit 16 having a predetermined particle size or more is supplied onto the polishing table 12. The particle size of the grit 16 to be supplied,
That is, the size of the mesh of the sieve 52 is determined by the whetstone 1 to be polished.
The grit 16 dropped from the sieve 52 may be appropriately set according to the grain size of the abrasive grains, the required processing surface roughness, the processing speed, and the like, and may be configured to be supplied to the polishing table 12. The sieve 52 and the vibration generator 54 correspond to a sorting unit.
【0035】この場合には、分離手段(水平コンベア3
2)によって切粉と分離されたグリット16のうち所定
の粒度以上のものだけを選別して研磨台12上へ供給す
るため、研磨加工で磨滅した比較的小さなグリット16
が除去され、グリット16の磨滅による細粒化に起因す
る研磨能率の低下が抑制される。In this case, the separating means (horizontal conveyor 3)
Since only the grit 16 having a predetermined particle size or more is selected from the grit 16 separated from the swarf and supplied to the polishing table 12, the relatively small grit 16 worn by the polishing process is removed.
Is removed, and a decrease in the polishing efficiency due to the grain refinement due to the abrasion of the grit 16 is suppressed.
【0036】図3の分級貯蔵手段60は、分離手段(水
平コンベア32)によって切粉と分離されたグリット1
6を粒度によって3種類に分けて貯蔵するもので、目の
大きさが異なる篩62、64が設けられるとともに振動
発生器66、68によって振動させられる2種類のシュ
ート70、72を備えており、前記垂直コンベア42に
よって容器36から搬出されたグリット16はホッパ7
4内に投入されてシュート70、72上を順次滑落させ
られ、その過程で粒度に応じて3種類に分級される。篩
62の目は篩64よりも小さく、例えば♯54程度以下
のグリット16を落下させて貯蔵容器76a内に貯蔵
し、篩64は例えば♯46程度以下のグリット16を落
下させて貯蔵容器76b内に貯蔵し、シュート70、7
2上を共に通過した残りのグリット16すなわち♯36
〜♯46程度のグリット16は貯蔵容器76c内に貯蔵
される。The classification storage means 60 shown in FIG. 3 includes the grit 1 separated from the chips by the separation means (horizontal conveyor 32).
6 is divided into three types according to the particle size and stored, and sieves 62 and 64 having different eye sizes are provided, and two types of chutes 70 and 72 vibrated by vibration generators 66 and 68 are provided. The grit 16 carried out of the container 36 by the vertical conveyor 42 is
4, and are sequentially slid down on the chutes 70 and 72, and classified into three types according to the particle size in the process. The mesh of the sieve 62 is smaller than the sieve 64. For example, the grit 16 of about $ 54 or less is dropped and stored in the storage container 76a, and the sieve 64 is dropped of the grit 16 of about $ 46 or less and stored in the storage vessel 76b. And shoots 70 and 7
2 and the remaining grit 16 that has passed together
The grit 16 of about $ 46 is stored in the storage container 76c.
【0037】上記各貯蔵容器76a、76b、76cに
は、選択手段としてそれぞれエアシリンダ等の開閉手段
78a、78b、78cによって開閉されるシャッター
80a、80b、80cが設けられており、任意のシャ
ッター80が開かれることにより貯蔵容器76a、76
b、76c内の何れかのグリット16が例えば前記ホッ
パ43内に投入され、シュート44から研磨台12上へ
供給される。開閉手段78a、78b、78cは、それ
ぞれコントローラ82からの指令信号に従って作動させ
られるようになっており、コントローラ82は、キーボ
ードなどの入力手段84から砥石14の砥粒の粒度、要
求加工面粗さ、加工速度などの情報が入力されることに
より、予め記憶されたデータマップなどに基づいて使用
するグリット16を決定し、対応する開閉手段78a、
78b、または78cによりシャッター80a、80
b、または80cを開いて所定の粒度のグリット16を
供給する。コントローラ82は使用グリット決定手段に
相当するもので、本実施例では予め記憶されたプログラ
ムに従って信号処理を行うコンピュータを含んで構成さ
れている。Each of the storage containers 76a, 76b and 76c is provided with shutters 80a, 80b and 80c which are opened and closed by opening and closing means 78a, 78b and 78c such as air cylinders as selection means. Are opened, the storage containers 76a, 76
Any of the grit 16 in b and 76 c is put into, for example, the hopper 43, and is supplied from the chute 44 onto the polishing table 12. The opening / closing means 78a, 78b, 78c are each operated in accordance with a command signal from the controller 82. The controller 82 operates the input means 84 such as a keyboard to input the grain size of the abrasive grains of the grindstone 14, the required surface roughness. When the information such as the processing speed is input, the grit 16 to be used is determined based on a data map or the like stored in advance, and the corresponding opening / closing means 78a,
The shutters 80a, 80c are provided by 78b or 78c.
b or 80c is opened to supply grit 16 of a predetermined particle size. The controller 82 corresponds to a use grid determining means, and in the present embodiment, includes a computer that performs signal processing according to a program stored in advance.
【0038】この場合には、分離手段(水平コンベア3
2)によって切粉と分離されたグリット16が分級貯蔵
手段60により粒度別に分級して貯蔵されるとともに、
シャッター80a、80b、または80cが開かれるこ
とにより任意のグリット16が研磨台12上へ供給され
るため、適当な種類(粒度)のグリット16を選択する
ことにより、グリット16の磨滅による細粒化に起因す
る研磨能率の低下が抑制される。また、研磨加工すべき
砥石14の砥粒の粒度や要求加工面粗さ、加工速度など
が入力手段84によって入力されると、その情報に基づ
いて使用するグリット16の種類が決定され、そのグリ
ット16が供給されるように開閉手段78a、78b、
または78cが作動させられるため、それ等の砥粒の粒
度、要求加工面粗さ、加工速度などに応じて自動的に適
切な研磨加工が行われる。In this case, the separating means (horizontal conveyor 3)
The grit 16 separated from the chips by 2) is classified and stored by the classification storage means 60 according to particle size, and
Since any grit 16 is supplied onto the polishing table 12 by opening the shutters 80a, 80b, or 80c, by selecting a grit 16 of an appropriate type (granularity), the grit 16 is finely ground by abrasion. The reduction of the polishing efficiency caused by the above is suppressed. Further, when the grain size of the abrasive grains of the grindstone 14 to be polished, the required processing surface roughness, the processing speed, and the like are input by the input means 84, the type of the grit 16 to be used is determined based on the information, and Opening / closing means 78a, 78b,
Alternatively, since 78c is operated, appropriate polishing is automatically performed in accordance with the grain size of the abrasive grains, required processing surface roughness, processing speed, and the like.
【0039】以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明したが、これ等はあくまでも一実施形態であ
り、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更,改良
を加えた態様で実施することができる。The embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings. However, these are merely one embodiment, and the present invention is based on the knowledge of those skilled in the art. Can be implemented.
【図1】本発明の一実施例である砥石の研磨加工装置を
説明する図で、(a) は概略構成図、(b) は研磨台および
砥石付近を示す平面図である。FIGS. 1A and 1B are diagrams illustrating a grindstone polishing apparatus according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a schematic configuration diagram, and FIG. 1B is a plan view showing the vicinity of a polishing table and a grindstone.
【図2】所定の大きさのグリットを選別する選別手段の
一例を説明する概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a sorting unit that sorts grit of a predetermined size.
【図3】分級貯蔵手段、選択手段、使用グリット決定手
段、および入力手段の一例を説明する概略構成図であ
る。FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a classification storage unit, a selection unit, a used grid determination unit, and an input unit.
10:砥石の研磨加工装置 12:研磨台 14:砥石 16:グリット 22:受け樋(回収手段) 24:スクレーパ(回収手段) 32:水平コンベア(分離手段) 42:垂直コンベア(グリット供給手段) 44:シュート(グリット供給手段) 46:脱磁器(脱磁手段) 52:篩(選別手段) 54:振動発生器(選別手段) 60:分級貯蔵手段 78a、78b、78c:開閉手段(選択手段) 80a:80b、80c:シャッター(選択手段) 82:コントローラ(使用グリット決定手段) 84:入力手段 10: Grinding Stone Polishing Device 12: Polishing Table 14: Grinding Stone 16: Grit 22: Receiving Trough (Recovery Means) 24: Scraper (Recovery Means) 32: Horizontal Conveyor (Separation Means) 42: Vertical Conveyor (Grit Supply Means) 44 : Chute (grit supply means) 46: Demagnetizer (demagnetization means) 52: Sieve (selection means) 54: Vibration generator (selection means) 60: Classification storage means 78a, 78b, 78c: Opening / closing means (selection means) 80a : 80b, 80c: shutter (selection means) 82: controller (use grid determination means) 84: input means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 彰英 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 Fターム(参考) 3C047 AA18 BB01 EE02 GG14 GG17 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Akihide Ito 3-36 Noritakeshinmachi, Nishi-ku, Nagoya-shi, Aichi F-term in Noritake Co., Ltd. (reference) 3C047 AA18 BB01 EE02 GG14 GG17
Claims (6)
台上に砥石の平坦な被加工面を押圧しながら、該研磨台
と該砥石とを該被加工面と平行な方向へ相対移動させて
該被加工面を該グリットにより研磨加工する砥石の研磨
加工装置であって、 前記研磨加工に伴って発生する前記砥石の切粉を前記グ
リットと共に回収する回収手段と、 前記切粉と前記グリットとを分離する分離手段と、 該分離手段によって分離したグリットを前記研磨台上へ
供給するグリット供給手段とを有することを特徴とする
砥石の研磨加工装置。1. A grindstone and a whetstone are relatively moved in a direction parallel to the work surface while pressing a flat work surface of a whetstone on a polishing table on which a large number of minute grit are placed. A grindstone polishing apparatus for polishing the surface to be processed with the grit, and collecting means for collecting chips of the whetstone generated along with the polishing together with the grit; An apparatus for polishing a grindstone, comprising: separating means for separating grit; and grit supply means for supplying grit separated by the separating means onto the polishing table.
料にて構成されており、前記分離手段は、磁力の作用で
該グリットを吸着して前記切粉から分離するものである
ことを特徴とする請求項1に記載の砥石の研磨加工装
置。2. The method according to claim 1, wherein the grit is made of a magnetic material that is attracted to a magnet, and the separating unit is configured to attract the grit by the action of a magnetic force to separate the grit from the chips. The grinding device for grinding wheels according to claim 1.
されたグリットが前記研磨台と前記砥石との間に入り込
む前に該グリットを脱磁する脱磁手段を有することを特
徴とする請求項2に記載の砥石の研磨加工装置。3. A demagnetizing means for demagnetizing the grit before the grit separated by the action of magnetic force by the separating means enters between the polishing table and the grindstone. A grinding device for grinding wheels according to item 1.
のうち所定の大きさのものだけを選別する選別手段を有
し、 前記グリット供給手段は、該選別されたグリットのみを
前記研磨台上へ供給するものであることを特徴とする請
求項1〜3の何れか1項に記載の砥石の研磨加工装置。4. A grit supply unit for selecting only grit separated from the grit separated by the separation unit, wherein the grit supply unit supplies the grit only to the polishing table. The grindstone polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
を粒度別に分級して貯蔵する分級貯蔵手段と、 該分級された複数種類のグリットのうち任意のグリット
が前記グリット供給手段によって前記研磨台上へ供給さ
れるように選択できる選択手段とを有することを特徴と
する請求項1〜3の何れか1項に記載の砥石の研磨加工
装置。5. A classification storage means for classifying and storing grit separated by the separation means according to particle size, and an arbitrary grit of the classified grit is supplied onto the polishing table by the grit supply means. The grinding device for grinding wheels according to any one of claims 1 to 3, further comprising a selection unit that can select the grinding wheel.
さ、および加工速度の少なくとも一つに関する情報を入
力する入力手段と、 該入力手段によって入力された情報に基づいて使用する
グリットの種類を決定する使用グリット決定手段とを有
し、前記選択手段は、該使用粒度決定手段によって決定
された種類のグリットを自動的に選択するように構成さ
れていることを特徴とする請求項5に記載の砥石の研磨
加工装置。6. An input means for inputting information relating to at least one of a grain size, a required processed surface roughness, and a processing speed of the abrasive grains of the whetstone, and a grit used based on the information input by the input means. 6. A use grid determining means for determining a type, wherein the selecting means is configured to automatically select a grid of the type determined by the use granularity determining means. A grinding device for grinding wheels according to item 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10326394A JP2000153459A (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Polishing machining device for grinding wheel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10326394A JP2000153459A (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Polishing machining device for grinding wheel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000153459A true JP2000153459A (en) | 2000-06-06 |
Family
ID=18187317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10326394A Pending JP2000153459A (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Polishing machining device for grinding wheel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000153459A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100817153B1 (en) * | 2002-06-17 | 2008-03-27 | 주식회사 포스코 | Apparatus for transferring the grit for working the uniform roughness of surface of the rolling roll |
JP2010234483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Honda Motor Co Ltd | Abrasive grains classifying apparatus |
KR101239847B1 (en) * | 2010-09-20 | 2013-03-18 | 안승호 | A polishing machine for automatic supply device |
CN109397096A (en) * | 2017-08-15 | 2019-03-01 | 永康市航峰橡塑制品有限公司 | A kind of processing workshop waste recovery exhaust circulating device |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP10326394A patent/JP2000153459A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100817153B1 (en) * | 2002-06-17 | 2008-03-27 | 주식회사 포스코 | Apparatus for transferring the grit for working the uniform roughness of surface of the rolling roll |
JP2010234483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Honda Motor Co Ltd | Abrasive grains classifying apparatus |
US8733554B2 (en) | 2009-03-31 | 2014-05-27 | Honda Motor Co., Ltd. | Abrasive grains classifying apparatus |
KR101239847B1 (en) * | 2010-09-20 | 2013-03-18 | 안승호 | A polishing machine for automatic supply device |
CN109397096A (en) * | 2017-08-15 | 2019-03-01 | 永康市航峰橡塑制品有限公司 | A kind of processing workshop waste recovery exhaust circulating device |
CN109397096B (en) * | 2017-08-15 | 2021-04-20 | 永康市航峰橡塑制品有限公司 | Processing workshop waste recycling exhaust circulating device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3605927B2 (en) | Method for reclaiming wafer or substrate material | |
JPS60242975A (en) | Surface grinding device | |
DE69410338D1 (en) | Grinding tool | |
TWI732012B (en) | Processing device | |
JP2000153459A (en) | Polishing machining device for grinding wheel | |
JP2737108B2 (en) | Polishing equipment | |
JP4537778B2 (en) | How to sharpen vitrified bond wheels | |
JP2020049559A (en) | Abrasive material regeneration method and device therefor | |
CN210173279U (en) | Automatic unloading vibration grinding machine of going up of integral type | |
JP2023028360A (en) | Machining device, and method for washing holding surface of chuck table | |
JP2016147359A (en) | Grinding whetstone | |
US2663980A (en) | Polishing method and material | |
JPH0957614A (en) | Double faces grinding wheel lapping apparatus | |
US20090191793A1 (en) | Method of and device for abrasive machining and abrasive tool provided therefor | |
JP2001007064A (en) | Grinding method of semiconductor wafer | |
Barylski et al. | Finishing of ceramics in a single-disk lapping machine configuration | |
JPS62292367A (en) | Elastic grain abrasive sheet covered with diamond | |
JP2556988B2 (en) | Stone continuous grinding and polishing equipment | |
JPH0230831B2 (en) | ||
CN218697058U (en) | Cycloid grinding machine | |
JPH10202528A (en) | Collecting device and method for surface deposit | |
JPS61214975A (en) | Grinding method of non-magnetic work and its device | |
JPH04788B2 (en) | ||
JP2001038640A (en) | Centerless grinding wheel and regenerating method and grinding method therefor | |
JPH05345266A (en) | Grinding method and blade for grinding device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20040518 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080611 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S801 | Written request for registration of abandonment of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311801 |
|
ABAN | Cancellation of abandonment | ||
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |