JP2000098122A - Color filter for reflection type liquid crystal display and its manufacture - Google Patents
Color filter for reflection type liquid crystal display and its manufactureInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は反射型液晶表示装置
用カラーフィルタに関するものであり、特に、廉価な反
射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter for a reflection type liquid crystal display, and more particularly to a color filter for a reflection type liquid crystal display which is inexpensive and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】透過型液晶表示装置用カラーフィルタの
多くにはマトリックス状遮光層が設けられている。これ
は、例えば、ツイストネマチック液晶を用いたＴＦＴ駆
動の液晶表示装置においては、ＴＦＴ素子の遮光、及び
液晶表示装置としてのコントラスト向上のためのもので
ある。反射型液晶表示装置において、例えば、スーパー
ツイストネマチック液晶、ゲストホスト液晶を用いたＴ
ＦＴ駆動でない液晶表示装置においては、マトリックス
状遮光層は必要なものではなく、また、元々コントラス
トが低いために、コントラスト向上への寄与も少ないも
のなので、原価低減のためにマトリックス状遮光層を設
けない反射型液晶表示装置用カラーフィルタが試みられ
ている。2. Description of the Related Art Many color filters for transmission type liquid crystal display devices are provided with a matrix light-shielding layer. This is, for example, in a TFT-driven liquid crystal display device using a twisted nematic liquid crystal, for the purpose of shielding the TFT elements and improving the contrast of the liquid crystal display device. In a reflection type liquid crystal display device, for example, a super twisted nematic liquid crystal, a T
In a liquid crystal display device which is not driven by FT, a matrix-shaped light-shielding layer is not necessary, and since the contrast is originally low, the contribution to the improvement of the contrast is small. No color filters for reflective liquid crystal display devices have been tried.
【０００３】従来、液晶表示装置用カラーフィルタの製
造においては、マトリックス状遮光層の材料としてはス
パッタリング法などにより成膜されたクロム膜が多く用
いられ、液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程にお
いて、クロム膜によるマトリックス状遮光層の形成と同
時に、位置合わせマーカーも形成されていた。Conventionally, in the production of a color filter for a liquid crystal display device, a chromium film formed by a sputtering method or the like is often used as a material for a matrix light-shielding layer. At the same time as the formation of the matrix light-shielding layer by the chromium film, an alignment marker was also formed.
【０００４】この位置合わせマーカーは、液晶表示装置
用カラーフィルタの製造の際に使用する三色のカラーフ
ィルタ画素の位置合わせマーカー、液晶表示装置の製造
の際に使用する対向基板との貼り合わせ用位置合わせマ
ーカー、断裁用位置合わせマーカーなどで構成されてい
る。This alignment marker is used for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device, and is used for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device. It is composed of a positioning marker, a cutting positioning marker, and the like.
【０００５】さて、原価低減のためにマトリックス状遮
光層を設けないで反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
を製造すると、上記クロム膜による位置合わせマーカー
も同時に形成されなくなるので、カラーフィルタ画素の
形成と同時に、三色のカラーフィルタ画素と同じ材料で
位置合わせマーカーを形成することになる。If a color filter for a reflection type liquid crystal display device is manufactured without providing a matrix-like light-shielding layer for cost reduction, the chromium film alignment marker is not formed at the same time. At the same time, an alignment marker is formed from the same material as the three color filter pixels.
【０００６】しかし、反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタのカラーフィルタ画素の色濃度は、バックライトを
用いる透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフ
ィルタ画素の色濃度より低い濃度である。この理由は、
反射型液晶表示装置は外光の反射光を利用するため、カ
ラーフィルタ自体を透明性の高いものとする必要がある
からである。従って、カラーフィルタの製造の際の位置
合わせ装置にて、カラーフィルタ画素による位置合わせ
マーカーを検出することが困難なものとなる。そして、
位置合わせマーカーのみのために、クロム膜による位置
合わせマーカーを別途形成することになり、原価低減の
効果は殆どない状態である。However, the color density of the color filter pixel of the color filter for the reflection type liquid crystal display device is lower than the color density of the color filter pixel of the color filter for the transmission type liquid crystal display device using a backlight. The reason for this is
This is because the reflection type liquid crystal display device uses the reflected light of the external light, so that the color filter itself needs to have high transparency. Therefore, it becomes difficult to detect the alignment marker based on the color filter pixel by the alignment device at the time of manufacturing the color filter. And
Since only the positioning marker is used, a positioning marker made of a chrome film is separately formed, and there is almost no effect of cost reduction.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決すべくされたものであり、マトリックス状遮光
層を設けない反射型液晶表示装置用カラーフィルタにお
いて、位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価
な反射型液晶表示装置用カラーフィルタ、及び、その製
造方法を提供することを課題とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a color filter for a reflection type liquid crystal display device having no matrix light-shielding layer has a function of an alignment marker. It is an object of the present invention to provide an inexpensive and inexpensive color filter for a reflective liquid crystal display device and a method of manufacturing the same.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上の
略中央部にカラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に
位置合わせマーカーを具備する反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタであって、該位置合わせマーカーが光反射
性金属膜上に着色感光性樹脂を用いて形成されたことを
特徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a color filter for a reflection type liquid crystal display device comprising a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and an alignment marker at a peripheral portion on the transparent substrate. A color filter for a reflective liquid crystal display device, wherein the alignment marker is formed on a light-reflective metal film using a colored photosensitive resin.
【０００９】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タの製造方法において、（１）該透明基板上の周辺部の
該位置合わせマーカーを形成する部分に光反射性金属膜
を設け、（２）該透明基板上に第一色目のカラーフィル
タ画素用着色感光性樹脂を塗布し、第一色目のカラーフ
ィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼ねたフォトマ
スクを介しての露光、及び現像を行い、該透明基板上の
略中央部に第一色目のカラーフィルタ画素を形成し、同
時に該透明基板上の周辺部の該光反射性金属膜上に位置
合わせマーカーを形成し、（３）該透明基板上に第二色
目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、該
位置合わせマーカーを基準として、第二色目のカラーフ
ィルタ画素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色
目のカラーフィルタ画素用フォトマスクを介しての露
光、及び現像を行い、該透明基板上の略中央部に第二色
目のカラーフィルタ画素を形成し、（４）上記（３）を
第三色目以降の所望する色数回おこない、第三色目以降
の所望する色数のカラーフィルタ画素を該透明基板上の
略中央部に形成し、反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造することを特徴とする反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタの製造方法である。Further, the present invention relates to a method of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device comprising a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and an alignment marker at a peripheral portion on the transparent substrate. Providing a light-reflective metal film on a portion of the peripheral portion on the transparent substrate where the alignment marker is to be formed; (2) applying a colored photosensitive resin for a color filter pixel of the first color on the transparent substrate; Exposure and development are performed through a photomask that also serves as a color filter pixel for the first color and an alignment marker, and a color filter pixel for the first color is formed substantially at the center on the transparent substrate. Forming a positioning marker on the light-reflective metal film in a peripheral portion on the transparent substrate; (3) applying a colored photosensitive resin for a color filter pixel of a second color on the transparent substrate; With reference to the above, the photomask for the color filter pixel of the second color is aligned, exposed through the photomask for the color filter pixel of the second color, and developed, and substantially at the center on the transparent substrate. A color filter pixel of a second color is formed. (4) The above (3) is performed several times for a desired number of colors after the third color, and a color filter pixel of a desired number of colors after the third color is formed on the transparent substrate. A method of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device, comprising: forming a color filter for a reflection type liquid crystal display device at a substantially central portion.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下に本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタ及びその製造方法を、一実施形
態に基づいて説明する。図１は、本発明による反射型液
晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の平面図であ
る。また、図２は、図１における反射型液晶表示装置用
カラーフィルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention and a method for manufacturing the same will be described below based on one embodiment. FIG. 1 is a plan view of one embodiment of a color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the color filter for the reflective liquid crystal display device in FIG.
【００１１】図１及び図２に示すように、反射型液晶表
示装置用カラーフィルタは、透明基板（１）上の略中央
部にカラーフィルタ画素（２）、透明基板（１）上の周
辺部の位置合わせマーカー（３）の部分に光反射性金属
膜（７）、及び、この光反射性金属膜（７）上に位置合
わせマーカー（３）が設けられており、カラーフィルタ
画素（２）間にはマトリックス状遮光層が設けられてい
ない。図１及び図２において、Ｒ、Ｇ、Ｂは各々カラー
フィルタの赤色画素、緑色画素、青色画素を示してい
る。As shown in FIGS. 1 and 2, a color filter for a reflection type liquid crystal display device has a color filter pixel (2) at a substantially central portion on a transparent substrate (1) and a peripheral portion on the transparent substrate (1). The light-reflective metal film (7) is provided at the position of the positioning marker (3), and the positioning marker (3) is provided on the light-reflective metal film (7). No matrix-like light-shielding layer is provided between them. 1 and 2, R, G, and B represent red, green, and blue pixels of a color filter, respectively.
【００１２】図３は、図１における光反射性金属膜
（７）及び位置合わせマーカー（３）の一部を拡大した
平面図である。また、図４は、図３における位置合わせ
マーカー（３）をＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。図
３及び図４に示すように、透明基板（１）上の周辺部の
位置合わせマーカー（３）を形成する部分に、位置合わ
せマーカー（３）より大きめの光反射性金属膜（７）が
設けられ、この光反射性金属膜（７）上に第一色目のカ
ラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を用いて形成された
位置合わせマーカー（３）が設けられている。FIG. 3 is an enlarged plan view of a part of the light-reflective metal film (7) and the alignment marker (3) in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the positioning marker (3) in FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, a light-reflective metal film (7) which is larger than the alignment marker (3) is provided on a portion of the transparent substrate (1) where the alignment marker (3) is formed. A positioning marker (3) formed on the light-reflective metal film (7) by using a colored photosensitive resin for a color filter pixel of the first color.
【００１３】図５は、本発明による位置合わせマーカー
（３）の機能を示す説明図である。図５において、例え
ば、カラーフィルタの製造の際の位置合わせ装置にて、
位置合わせマーカー（３）を検出するための、位置合わ
せ装置の上方からの入射光（Ｉ1 ）は、位置合わせマー
カー（３）により吸収され入射光（Ｉ2 ）となる。この
入射光（Ｉ2 ）は光反射性金属膜（７）にて反射され反
射光（Ｒ1 ）となるが、この反射光（Ｒ1 ）は再び位置
合わせマーカー（３）により吸収され反射光（Ｒ2 ）と
して上方へ反射される。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the function of the alignment marker (3) according to the present invention. In FIG. 5, for example, with a positioning device at the time of manufacturing a color filter,
Incident light (I 1 ) from above the alignment device for detecting the alignment marker (3) is absorbed by the alignment marker (3) to become incident light (I 2 ). This incident light (I 2 ) is reflected by the light-reflective metal film (7) to become reflected light (R 1 ), but this reflected light (R 1 ) is again absorbed by the alignment marker (3) and is reflected light. The light is reflected upward as (R 2 ).
【００１４】すなわち、前記のように、反射型液晶表示
装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度
は、透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィ
ルタ画素の色濃度より低いものであるが、反射型液晶表
示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度
と同一の色濃度を有する位置合わせマーカー（３）への
入射光（Ｉ1 ）は、位置合わせマーカー（３）により往
復２回の吸収をされた反射光（Ｒ2 ）となるので、色濃
度は約２倍になり位置合わせマーカー（３）の検出は容
易に可能なものとなる。That is, as described above, the color density of the color filter pixels of the color filter for the reflection type liquid crystal display device is lower than the color density of the color filter pixels of the color filter for the transmission type liquid crystal display device. (I 1 ) incident on the alignment marker (3) having the same color density as the color density of the color filter pixel of the color filter for the liquid crystal display device of the type, is absorbed twice by the alignment marker (3). Since the reflected light (R 2 ) is obtained, the color density is approximately doubled, and the alignment marker (3) can be easily detected.
【００１５】図６（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射
型液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面
で示す説明図である。図６（イ）における透明基板
（１）は十分な強度、平坦性、耐熱性、耐薬品性などを
有したものが好ましい。透明基板としてコーニング
（株）製、底膨張ガラス、品番７０５９などが用いられ
る。FIGS. 6A to 6F are cross-sectional views showing the steps of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention. The transparent substrate (1) in FIG. 6A preferably has sufficient strength, flatness, heat resistance, chemical resistance and the like. Corning Co., Ltd., bottom expansion glass, product number 7059, etc. are used as the transparent substrate.
【００１６】図６（ロ）〜（ハ）に示すように、透明基
板上の周辺部の位置合わせマーカー（３）を形成する部
分にのみ光反射性金属膜（７）を、例えば、スパッタリ
ング法（８）により光反射性金属膜用マスク（９）を介
して成膜する。この光反射性金属膜（７）は光反射性を
有するものであればよく、アルミニウム、クロム、銅な
どが用いられる。As shown in FIGS. 6 (b) to 6 (c), a light-reflective metal film (7) is formed only on the peripheral portion of the transparent substrate where the alignment marker (3) is to be formed, for example, by a sputtering method. According to (8), a film is formed via the light reflective metal film mask (9). The light-reflective metal film (7) only needs to have light reflectivity, and aluminum, chromium, copper, or the like is used.
【００１７】次に、図６（ニ）に示すように、透明基板
上に第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂
（４）を塗布し、第一色目のカラーフィルタ画素用と位
置合わせマーカー用を兼ねたフォトマスクを介しての露
光、及び現像を行う。この際の現像液としては、炭酸ソ
ーダ水溶液によるアルカリ現像液などが用いられる。現
像後にポストベークとして２３０℃、０．５時間程度の
加熱を行い、図６（ホ）に示すように、透明基板上の略
中央部に第一色目のカラーフィルタ画素（２）、（Ｒ）
を形成し、同時に透明基板上の周辺部の光反射性金属膜
（７）上に位置合わせマーカー（３）を形成する。Next, as shown in FIG. 6D, a colored photosensitive resin (4) for the first color filter pixel is applied on the transparent substrate, and is aligned with the first color filter pixel. Exposure and development are performed through a photomask that also serves as a marker. As a developing solution at this time, an alkali developing solution using a sodium carbonate aqueous solution or the like is used. After development, post-baking is performed at 230 ° C. for about 0.5 hour, and as shown in FIG. 6E, the first color filter pixels (2), (R)
Is formed, and at the same time, an alignment marker (3) is formed on the light-reflective metal film (7) in the peripheral portion on the transparent substrate.
【００１８】続いて、透明基板上に第二色目のカラーフ
ィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマー
カー（３）を基準として、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラ
ーフィルタ画素用フォトマスクを介してのＵＶ露光、及
び現像を行い、第二色目のカラーフィルタ画素を形成す
る。例えば、第二色目として緑色、第三色目として青色
のカラーフィルタ画素を形成し、図６（ヘ）に示す反射
型液晶表示装置用カラーフィルタを得る。この着色感光
性樹脂としては、例えば、富士フィルムオーリン（株）
製：着色感光性樹脂「ＣＳ２０００−Ｒ、ＣＳ２０００
−Ｇ、ＣＳ２０００−Ｂ」などが用いられる。Subsequently, a colored photosensitive resin for color filter pixels of the second color is applied on the transparent substrate, and the position of the photomask for color filter pixels of the second color is aligned with reference to the alignment marker (3). Then, UV exposure and development are performed through a photomask for color filter pixels of the second color to form color filter pixels of the second color. For example, a green color filter pixel is formed as the second color and a blue color filter pixel is formed as the third color to obtain a color filter for a reflective liquid crystal display device shown in FIG. Examples of the colored photosensitive resin include, for example, Fuji Film Ohlin Co., Ltd.
Manufactured by: Colored photosensitive resin "CS2000-R, CS2000"
-G, CS2000-B "or the like.
【００１９】上記のように、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタはカラーフィルタ画素（２）間
にはマトリックス状遮光層が設けられていないものであ
る。そして、位置合わせマーカー（３）は光反射性金属
膜（７）上に第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光
性樹脂（４）を用いて形成するので、位置合わせマーカ
ーの色濃度は十分にあり、例えば、カラーフィルタの製
造の際の位置合わせ装置、対向基板との貼り合わせ装
置、断裁装置などにての、位置合わせマーカーの検出は
確実なものとなる。As described above, the color filter for the reflection type liquid crystal display device according to the present invention does not have a matrix light-shielding layer between the color filter pixels (2). Since the alignment marker (3) is formed on the light-reflective metal film (7) by using the colored photosensitive resin for a color filter pixel of the first color (4), the color density of the alignment marker is sufficiently high. Yes, for example, the detection of a positioning marker by a positioning device, a bonding device with a counter substrate, a cutting device, or the like at the time of manufacturing a color filter becomes reliable.
【００２０】また、上記のように、本発明による反射型
液晶表示装置用カラーフィルタは、光反射性金属膜
（７）の材料としてマトリックス状遮光層に常用されて
いるクロムに限定されず安価な材料を用いることがで
き、位置合わせマーカーを形成する部分にのみに設け、
また、位置合わせマーカー（３）の材料は第一色目のカ
ラーフィルタ画素用着色感光性樹脂であり、更には、第
一色目のカラーフィルタ画素の形成と同時に位置合わせ
マーカーを形成するので、廉価な反射型液晶表示装置用
カラーフィルタとなる。Further, as described above, the color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention is not limited to chromium commonly used in a matrix light-shielding layer as a material of the light-reflective metal film (7), and is inexpensive. Material can be used, provided only in the part where the alignment marker is formed,
Further, the material of the alignment marker (3) is a colored photosensitive resin for the color filter pixel of the first color, and the alignment marker is formed simultaneously with the formation of the color filter pixel of the first color. It becomes a color filter for a reflection type liquid crystal display device.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明による反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルタ基板には、マトリックス状遮光層を設けてお
らず、透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画素、透
明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備し、その
位置合わせマーカーが光反射性金属膜上に着色感光性樹
脂を用いて形成されているので、位置合わせマーカーの
機能が損なわれない、廉価な反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルタとなる。The color filter substrate for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention does not have a matrix-like light-shielding layer, and has a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and a color filter pixel at a peripheral portion on the transparent substrate. Since the alignment marker is provided on the light-reflective metal film using a colored photosensitive resin, the function of the alignment marker is not impaired. Become a filter.
【００２２】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造する際に、（１）透明基板上の周辺部の位置合
わせマーカーを形成する部分に光反射性金属膜を設け、
（２）透明基板上に第一色目のカラーフィルタ画素用着
色感光性樹脂を塗布し、第一色目のカラーフィルタ画素
用と位置合わせマーカー用を兼ねたフォトマスクを介し
ての露光、及び現像を行い、透明基板上の略中央部に第
一色目のカラーフィルタ画素を形成し、同時に透明基板
上の周辺部の光反射性金属膜上に位置合わせマーカーを
形成し、（３）透明基板上に第二色目のカラーフィルタ
画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマーカーを
基準として、第二色目のカラーフィルタ画素用フォトマ
スクの位置合わせを行い、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクを介しての露光、及び現像を行い、透
明基板上の略中央部に第二色目のカラーフィルタ画素を
形成し、（４）上記（３）を第三色目以降の所望する色
数回おこない、第三色目以降の所望する色数のカラーフ
ィルタ画素を該透明基板上の略中央部に形成するので、
位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価な反射
型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法とな
る。Further, according to the present invention, when manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device having a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and an alignment marker at a peripheral portion on the transparent substrate, (1) A) a light-reflective metal film is provided on a portion of the transparent substrate where the alignment marker is to be formed,
(2) A colored photosensitive resin for color filter pixels of the first color is applied on a transparent substrate, and exposure and development through a photomask that also serves as a color filter pixel for the first color and an alignment marker are performed. Then, the first color filter pixel is formed substantially at the center on the transparent substrate, and at the same time, the alignment marker is formed on the light-reflective metal film at the peripheral portion on the transparent substrate. The second color filter pixel colored photosensitive resin is applied, and the second color filter pixel photomask is aligned with the alignment marker as a reference. To form a second color filter pixel substantially at the center of the transparent substrate, and (4) performing the above (3) several times for a desired number of colors after the third color. Since the desired color filter pixels of the number of colors after color is formed in a substantially central portion on the transparent substrate,
It is a method for manufacturing a low-cost color filter for a reflection-type liquid crystal display device, which does not impair the function of the alignment marker.
【図１】本発明による反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタの一実施例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of one embodiment of a color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention.
【図２】図１における反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the color filter for a reflective liquid crystal display device in FIG.
【図３】図１における光反射性金属膜及び位置合わせマ
ーカーの一部を拡大した平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view of a part of the light reflective metal film and the alignment marker in FIG. 1;
【図４】図３における位置合わせマーカーをＸ−Ｘ’断
面で示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the positioning marker in FIG.
【図５】本発明による位置合わせマーカーの機能を示す
説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a function of a positioning marker according to the present invention.
【図６】（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面で示す説
明図である。6 (a) to 6 (f) are explanatory views showing, in cross-section, the steps of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device according to the present invention.
１…透明基板 ２…カラーフィルタ画素 ３…位置合わせマーカー ４…着色感光性樹脂 ７…光反射性金属膜 ８…スパッタリング法 ９…光反射性金属膜用マスク Ｒ…カラーフィルタの赤色画素 Ｇ…カラーフィルタの緑色画素 Ｂ…カラーフィルタの青色画素 REFERENCE SIGNS LIST 1 transparent substrate 2 color filter pixel 3 alignment marker 4 colored photosensitive resin 7 light reflective metal film 8 sputtering method 9 mask for light reflective metal film R red pixel of color filter G color Green pixel of filter B: Blue pixel of color filter
Claims (2)
素、透明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備す
る反射型液晶表示装置用カラーフィルタであって、該位
置合わせマーカーが光反射性金属膜上に着色感光性樹脂
を用いて形成されたことを特徴とする反射型液晶表示装
置用カラーフィルタ。1. A color filter for a reflection type liquid crystal display device comprising a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and an alignment marker at a peripheral portion on the transparent substrate, wherein the alignment marker is light-reflective. A color filter for a reflection type liquid crystal display device, wherein the color filter is formed using a colored photosensitive resin on a metal film.
素、透明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備す
る反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法にお
いて、（１）該透明基板上の周辺部の該位置合わせマー
カーを形成する部分に光反射性金属膜を設け、（２）該
透明基板上に第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光
性樹脂を塗布し、第一色目のカラーフィルタ画素用と位
置合わせマーカー用を兼ねたフォトマスクを介しての露
光、及び現像を行い、該透明基板上の略中央部に第一色
目のカラーフィルタ画素を形成し、同時に該透明基板上
の周辺部の該光反射性金属膜上に位置合わせマーカーを
形成し、（３）該透明基板上に第二色目のカラーフィル
タ画素用着色感光性樹脂を塗布し、該位置合わせマーカ
ーを基準として、第二色目のカラーフィルタ画素用フォ
トマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラーフィル
タ画素用フォトマスクを介しての露光、及び現像を行
い、該透明基板上の略中央部に第二色目のカラーフィル
タ画素を形成し、（４）上記（３）を第三色目以降の所
望する色数回おこない、第三色目以降の所望する色数の
カラーフィルタ画素を該透明基板上の略中央部に形成
し、反射型液晶表示装置用カラーフィルタを製造するこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタの
製造方法。2. A method of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device comprising a color filter pixel at a substantially central portion on a transparent substrate and an alignment marker at a peripheral portion on the transparent substrate. (2) applying a colored photosensitive resin for color filter pixels of the first color on the transparent substrate to form a color filter of the first color; Exposure through a photomask that also serves as a filter pixel and an alignment marker is performed, and development is performed to form a first color filter pixel in a substantially central portion on the transparent substrate, and at the same time, on the transparent substrate. An alignment marker is formed on the peripheral portion of the light-reflective metal film, and (3) a colored photosensitive resin for a color filter pixel of the second color is applied on the transparent substrate. The second color filter pixel photomask is aligned, exposed through the second color filter pixel photomask, and developed, and the second color is placed substantially in the center on the transparent substrate. (4) The above (3) is repeated a desired number of times for the third and subsequent colors to form a color filter pixel of a desired number of colors for the third and subsequent colors at a substantially central portion on the transparent substrate. And a method of manufacturing a color filter for a reflection type liquid crystal display device.
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