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JP2000070709A - Material with titanium dioxide crystal oriented film - Google Patents

Material with titanium dioxide crystal oriented film

Info

Publication number
JP2000070709A
JP2000070709A JP10259158A JP25915898A JP2000070709A JP 2000070709 A JP2000070709 A JP 2000070709A JP 10259158 A JP10259158 A JP 10259158A JP 25915898 A JP25915898 A JP 25915898A JP 2000070709 A JP2000070709 A JP 2000070709A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
titanium dioxide
crystal orientation
orientation film
film
dioxide crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10259158A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidetoshi Saito
秀俊 斎藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KOSEI KK
Original Assignee
KOSEI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KOSEI KK filed Critical KOSEI KK
Priority to JP10259158A priority Critical patent/JP2000070709A/en
Publication of JP2000070709A publication Critical patent/JP2000070709A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a material exhibiting superior photocatalytic activity, having superior characteristics such as antibacterial action, antifouling action, ultra- hydrophilic action, deodorizing action and oil decomposition action and usable in various uses. SOLUTION: A titanium dioxide crystal oriented film is formed by atmospheric pressure opening type CVD on the surface of a substrate having many minute open holes and on the entire insides of the open holes. The substrate is preferably a reticular body having 0.01-3.0 mm opening at 3-50% opening rate or a plate-shaped body having through holes of 0.01-3.0 mm diameter 3-50% opening rate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、金属、ガラス、陶
磁器、セラミックス、炭素やプラスチック等の各種材料
からなり多数の微細な開孔を有する基材の表面に、二酸
化チタンからなる結晶配向膜を形成した材料に関する。
本発明の二酸化チタン結晶配向膜を有する材料は、光触
媒活性を示し、抗菌作用、防汚作用、超親水性作用、防
臭作用、油分解作用等の優れた特性を有し、調理器具、
食器、冷蔵庫等の厨房用品、医療用器具、トイレや洗面
所用材料、各種フィルター、空調機器、電子部品、建築
材料、道路関連資材等に巾広く用いられるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal orientation film made of titanium dioxide formed on a surface of a base material made of various materials such as metal, glass, porcelain, ceramics, carbon and plastic and having many fine holes. Related to the formed material.
The material having a titanium dioxide crystal orientation film of the present invention exhibits photocatalytic activity, has excellent properties such as antibacterial action, antifouling action, superhydrophilic action, deodorant action, oil decomposition action, and cooking utensils.
It is widely used for kitchen utensils such as tableware and refrigerators, medical equipment, toilet and toilet materials, various filters, air conditioners, electronic components, building materials, road-related materials, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】二酸化チタン薄膜が光触媒反応による種
々の機能を持つことは従来から知られており、金属材
料、半導体素子、プラスチック材料等の各種基材表面に
二酸化チタン薄膜を形成して反射防止材料、センサー材
料、絶縁材料等として用いることも公知である。本発明
者らは、先に、加熱した各種基材表面に大気圧開放下で
気化させたチタンアルコキシドを担体となる不活性ガス
とともに吹きつけることによって、光触媒活性に優れた
二酸化チタン結晶配向膜を有する材料が効率よく得られ
ることを見出し、提案した。(特開平10−15239
6号公報)
2. Description of the Related Art It has been known that a titanium dioxide thin film has various functions by a photocatalytic reaction, and a titanium dioxide thin film is formed on a surface of various base materials such as a metal material, a semiconductor element and a plastic material to prevent reflection. It is also known to use as a material, a sensor material, an insulating material, and the like. The present inventors previously sprayed a titanium alkoxide vaporized under atmospheric pressure release together with an inert gas serving as a carrier onto various heated substrate surfaces, thereby forming a titanium dioxide crystal orientation film having excellent photocatalytic activity. It has been found that a material having the same can be obtained efficiently and proposed. (JP-A-10-15239)
No. 6)

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、一段と
光触媒活性が優れた材料を得るために鋭意検討した結
果、基材として多数の微細な開孔を有する基材表面に二
酸化チタン結晶配向膜を形成した材料がきわめて優れた
光触媒活性を示すことを見出し、本発明を完成したもの
である。すなわち、本発明は、きわめて優れた光触媒活
性を示し、抗菌作用、防汚作用、超親水性作用、防臭作
用、油分解作用等の優れた特性を有し、巾広い用途に使
用される材料を提供することを目的とするものである。
The inventors of the present invention have conducted intensive studies to obtain a material having a further excellent photocatalytic activity. The inventors have found that the material on which the film is formed exhibits extremely excellent photocatalytic activity, and have completed the present invention. That is, the present invention provides a material that exhibits extremely excellent photocatalytic activity, has excellent properties such as antibacterial action, antifouling action, superhydrophilic action, deodorant action, and oil decomposition action, and is used for a wide range of applications. It is intended to provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するために次のような構成をとる。 1.多数の微細な開孔を有する基材表面に二酸化チタン
結晶配向膜を形成した材料。 2.目開きが0.01〜3.0mm、開孔率が3〜50
%である網状体を基材とすることを特徴とする1に記載
の材料。 3.孔径が0.01〜3.0mm、開孔率が3〜50%
である貫通孔を有する板状体を基材とすることを特徴と
する1に記載の材料。 4.開孔の内側部全面に二酸化チタン結晶配向膜を形成
したことを特徴とする1〜3のいずれか1項に記載の材
料。 5.二酸化チタン結晶配向膜が結晶表面と垂直方向に
(001)、(100)、(211)、(101)及び
(110)からなる結晶面から選択された方向に配向さ
れたものであることを特徴とする1〜4のいずれか1項
に記載の材料。 6.二酸化チタン結晶配向膜の厚さが0.1μm以上で
あることを特徴とする1〜5のいずれか1項に記載の材
料。 7.二酸化チタン結晶配向膜を形成する結晶の粒径が
0.01〜1μmであり、粒径分布が実質的に平均値±
100%であることを特徴とする1〜6のいずれか1項
に記載の材料。 8.二酸化チタン結晶配向膜が光触媒活性を有すること
を特徴とする1〜7のいずれか1項に記載の材料。 9.二酸化チタン結晶配向膜が大気圧開放型CVD法に
より形成されたものであることを特徴とする1〜8のい
ずれか1項に記載の材料。 10.基材が金属、ガラス、陶磁器、セラミックス、炭
素又はプラスチックから選ばれたものであることを特徴
とする1〜9のいずれか1項に記載の材料。 11.1〜10のいずれか1項に記載した材料により構
成された多層構造体。 12.11に記載された多層構造体からなるフィルタ
ー。
According to the present invention, the following structure is adopted to solve the above-mentioned problems. 1. A material in which a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the surface of a substrate having many fine holes. 2. The opening is 0.01 to 3.0 mm, and the opening ratio is 3 to 50.
The material according to 1, wherein the material is a base material having a mesh percentage of 0.1%. 3. The hole diameter is 0.01 to 3.0 mm, and the opening ratio is 3 to 50%.
2. The material according to 1, wherein the base material is a plate-like body having through holes. 4. The material according to any one of claims 1 to 3, wherein a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the entire inner surface of the opening. 5. The titanium dioxide crystal oriented film is characterized in that it is oriented in a direction perpendicular to the crystal surface in a direction selected from crystal planes consisting of (001), (100), (211), (101) and (110). 5. The material according to any one of 1 to 4, wherein 6. 6. The material according to any one of items 1 to 5, wherein the thickness of the titanium dioxide crystal orientation film is 0.1 μm or more. 7. The grain size of the crystal forming the titanium dioxide crystal orientation film is 0.01 to 1 μm, and the grain size distribution is substantially an average ±
The material according to any one of claims 1 to 6, which is 100%. 8. 8. The material according to any one of 1 to 7, wherein the titanium dioxide crystal orientation film has photocatalytic activity. 9. 9. The material according to any one of 1 to 8, wherein the titanium dioxide crystal orientation film is formed by an atmospheric pressure open type CVD method. 10. The material according to any one of claims 1 to 9, wherein the substrate is selected from metal, glass, ceramics, ceramics, carbon and plastic. 11. A multilayer structure made of the material described in any one of the above items 11 to 10. 12. A filter comprising the multilayer structure described in 12.11.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】本発明では、二酸化チタン結晶配
向膜を形成する基材として多数の微細な開孔を有する基
材を使用する。本発明において、微細な開孔とは、目開
き(網目を構成する隣り合う線材間の距離)が0.01
〜3.0mmである網目、又は孔径が0.01〜3.0
mmである貫通孔を意味する。このような基材として
は、(1)各種材料により構成された網状体、(2)各
種材料からなる板状体に機械加工や電子ビーム等により
貫通孔を設けたものや(3)スチールウール等の細径の
繊維を編織せずに重ね合わせて接合した多層構造体等が
挙げられる。基材となる網状体としては、例えば金属繊
維、ガラス繊維、炭素繊維等の無機繊維や耐熱性プラス
チック繊維等により構成された網状体が挙げられる。網
状体はこれらの繊維を平織り、綾織り等により織って構
成することができ、またこれらの繊維を織らずに重ね合
わせ必要に応じて固着して構成することもできる。好ま
しい網状体としては、ステンレス線、スチール線等の金
属線を織って得られる金網が挙げられる。金網を構成す
る金属の線径としては約0.01〜3.0mm、好まし
くは約0.02〜1.0mmのものが用いられる。また
金網の目開きは約0.01〜3.0mm、好ましくは約
0.02〜1.5mmで、開孔率は3〜50%、好まし
くは10〜40%のものが用いられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, a substrate having a large number of fine openings is used as a substrate on which a titanium dioxide crystal orientation film is formed. In the present invention, the fine opening means that the opening (distance between adjacent wires constituting the mesh) is 0.01.
Mesh having a diameter of ~ 3.0 mm or a pore size of 0.01 to 3.0 mm;
mm means a through hole. Examples of such a base material include (1) a reticulated body made of various materials, (2) a plate-shaped body made of various materials provided with through holes by machining, electron beam or the like, and (3) steel wool. And a multilayer structure in which fibers having a small diameter are overlapped and joined without knitting. Examples of the reticulated body serving as a base include reticulated bodies made of inorganic fibers such as metal fibers, glass fibers, and carbon fibers, and heat-resistant plastic fibers. The reticulated body can be constructed by weaving these fibers by plain weaving, twill weaving, or the like, or by laminating these fibers without weaving and fixing them if necessary. Preferred meshes include a wire mesh obtained by weaving a metal wire such as a stainless wire or a steel wire. The wire diameter of the metal constituting the wire mesh is about 0.01 to 3.0 mm, preferably about 0.02 to 1.0 mm. The mesh size of the wire mesh is about 0.01 to 3.0 mm, preferably about 0.02 to 1.5 mm, and the porosity is 3 to 50%, preferably 10 to 40%.

【0006】また、基材となる貫通孔を有する板状体を
構成する材料としては特に制限はなく、金属、陶磁器、
セラミックス、プラスチック等の微細な貫通孔を形成す
ることのできる材料はいずれも使用することができる
が、孔明け加工性や成形加工性等の点で鋼、ステンレス
鋼、アルミニウム、各種合金等の金属を使用することが
好ましい。板状体に形成する貫通孔の形状には制限はな
く、真円、楕円、長孔、角孔等任意の形状とすることが
できる。本発明における孔径としては、楕円や長孔、角
孔等の真円以外のものにおいては、短軸方向の径を意味
する。孔の配列状態は並列、千鳥状等任意であり、また
基材表面に対して垂直に孔を明けたもののほかに基材表
面に対して斜めに孔を明けたものとしてもよい。貫通孔
の好ましい孔径は0.05〜1.5mm、特に好ましく
は0.1〜1.0mmである。孔径が小さすぎる場合に
は、基材表面に二酸化チタン結晶配向膜を形成する際に
孔が二酸化チタンでふさがれることがあり、一方、孔径
が大きすぎる場合には、基材の開孔の内側部を含めた全
表面が相対的に小さくなるので、材料に充分な光触媒活
性を付与することが困難となる。板状の基材に貫通孔を
形成する方法には制限はなく、パンチング等の機械加工
や電子ビームによる孔明け等公知の方法を使用すること
ができる。
There is no particular limitation on the material constituting the plate-like body having a through-hole serving as a base material.
Any material capable of forming fine through-holes, such as ceramics and plastics, can be used, but metals such as steel, stainless steel, aluminum, and various alloys in terms of drilling workability and formability. It is preferred to use The shape of the through-hole formed in the plate-like body is not limited, and may be any shape such as a perfect circle, an ellipse, a long hole, and a square hole. The hole diameter in the present invention means the diameter in the minor axis direction in other than a perfect circle such as an ellipse, a long hole, and a square hole. The arrangement state of the holes is arbitrary, such as side-by-side or zigzag. The holes may be formed diagonally to the surface of the base material in addition to the holes formed perpendicular to the surface of the base material. The preferred hole diameter of the through hole is 0.05 to 1.5 mm, particularly preferably 0.1 to 1.0 mm. If the pore size is too small, the pores may be blocked by titanium dioxide when forming a titanium dioxide crystal orientation film on the substrate surface, while if the pore size is too large, Since the entire surface including the portion is relatively small, it is difficult to impart sufficient photocatalytic activity to the material. There is no limitation on the method of forming the through-holes in the plate-shaped base material, and a known method such as machining such as punching or punching with an electron beam can be used.

【0007】本発明の材料を構成する基材の形状には特
に制限はなく、平板状、円筒状、半球状、円錐台状、ト
レー状等任意のものとすることができる。本発明の材料
は、あらかじめ所望の形状に成形した基材表面に二酸化
チタン結晶配向膜を形成することによって製造すること
ができ、また、平板状の基材表面に二酸化チタン結晶配
向膜を形成した後に、基材を所望の形状に成形すること
によって製造することもできる。さらに、繊維状の基材
に二酸化チタン結晶配向膜を形成した後に、この繊維を
網状体等所望の形状に成形してもよい。また、本発明の
材料は、各種形状の二酸化チタン結晶配向膜を有する基
材を複数使用し、多層構造体とすることもできる。この
ような多層構造体では、光触媒活性を有する二酸化チタ
ン結晶配向膜の表面積が増大するので、例えば空気、
水、飲食物のフィルター等の用途に使用する際の浄化能
力が著しく増大する。
[0007] The shape of the substrate constituting the material of the present invention is not particularly limited, and may be any shape such as a flat plate, a cylinder, a hemisphere, a truncated cone, and a tray. The material of the present invention can be produced by forming a titanium dioxide crystal orientation film on the surface of a substrate previously formed into a desired shape, and also forming a titanium dioxide crystal orientation film on a flat substrate surface. It can also be manufactured later by shaping the base material into a desired shape. Further, after forming the titanium dioxide crystal orientation film on the fibrous base material, the fibers may be formed into a desired shape such as a network. Further, the material of the present invention may be a multilayer structure using a plurality of substrates having titanium dioxide crystal orientation films of various shapes. In such a multilayer structure, since the surface area of the titanium dioxide crystal orientation film having photocatalytic activity increases, for example, air,
The purifying ability when used for applications such as filters for water and food and drink is remarkably increased.

【0008】本発明の材料は、材料を使用する技術分野
や目的、用途等に応じて基材の種類や寸法、形状等を適
宜選択することができる。例えば、柔軟で成形加工性を
必要とする場合には、網状体を基材とする材料を使用す
ることができる。また、強度や剛性を必要とする場合に
は、適当な厚さを有する板状体に貫通孔を形成した基材
から得られる材料を使用することができる。さらに、網
状体を基材とする柔軟性を有する材料と、貫通孔を有す
る剛性のある板状体を基材とする材料を組み合わせて使
用してもよい。
The type, size, shape, etc. of the substrate of the material of the present invention can be appropriately selected according to the technical field, purpose, application, etc., in which the material is used. For example, if the material is flexible and requires moldability, a material having a net as a base material can be used. When strength or rigidity is required, a material obtained from a base material having a through-hole formed in a plate having an appropriate thickness can be used. Furthermore, you may use combining the material which has the flexibility which uses a net-like body as a base material, and the base material which has a rigid plate-like body which has a through-hole.

【0009】本発明の二酸化チタン結晶配向膜とは、二
酸化チタンの単結晶からなる配向膜ならびに多結晶から
なる配向膜を意味する。ここで、単結晶配向膜とは、材
料学の分野で通常用いられるように、配向膜全体が単一
の結晶で構成されたものだけではなく、配向膜が三次元
方向の結晶方位が一致する多数の結晶により構成された
ものをも包含するものである。上記本発明の特定方向に
配向された二酸化チタン結晶配向膜を有する材料は、気
化させたチタンアルコキシド(原料錯体)を担体となる
不活性ガスとともに、大気圧開放下で加熱された基材表
面に吹き付けることによって、効率よく製造することが
できる。
The titanium dioxide crystal oriented film of the present invention means an oriented film made of a single crystal of titanium dioxide and an oriented film made of a polycrystal. Here, the single-crystal alignment film is not limited to a single-crystal alignment film, which is generally used in the field of materials science, and the alignment film has the same three-dimensional crystal orientation as the alignment film. It also includes those composed of a large number of crystals. The material having a titanium dioxide crystal oriented film oriented in a specific direction according to the present invention is obtained by coating a vaporized titanium alkoxide (raw material complex) together with an inert gas serving as a carrier on the surface of a substrate heated under atmospheric pressure. By spraying, it can be manufactured efficiently.

【0010】二酸化チタン結晶配向膜を形成する原料と
しては、一般式 Ti(OR)4 で表されるチタンアル
コキシドを使用する。(式中、Rは炭素数2〜10のア
ルキル基を表す。) これらのチタンアルコキシドの中では、Ti(OC2
5 4(以下、「TTE」と略記する)、Ti(O−i
−C3 7 4 (以下、「TTIP」と略記する)、T
i(O−n−C4 9 4 (以下、「TTNB」と略記
する)が好ましく、中でもTTIPは二酸化チタンの堆
積速度が速く、得られる配向膜の結晶構造の制御も容易
であることから、特に好ましい原料である。
As a raw material for forming the titanium dioxide crystal orientation film, a titanium alkoxide represented by the general formula Ti (OR) 4 is used. (In the formula, R represents an alkyl group having 2 to 10 carbon atoms.) Among these titanium alkoxides, Ti (OC 2 H
5 ) 4 (hereinafter abbreviated as “TTE”), Ti (O-i
-C 3 H 7) 4 (hereinafter, abbreviated as "TTIP"), T
i (O-n-C 4 H 9) 4 ( hereinafter, abbreviated as "TTNB") be preferred, TTIP is fast deposition rate of titanium dioxide, it is easy to control the crystal structure of the alignment film obtained Therefore, it is a particularly preferable raw material.

【0011】本発明では、上記原料錯体を気化器で気化
し、担体となる不活性ガスとともに、大気圧開放下で加
熱された基材表面に吹き付け、基材表面に二酸化チタン
の結晶配向膜を形成する。担体となる不活性ガスとして
は、特に制限はなく、窒素、ヘリウム、アルゴン等通常
用いられる不活性ガスはいずれも使用可能であるが、経
済性等の点で窒素ガスを使用することが好ましく、中で
も液体窒素を通して水分を除去した窒素ガスを使用する
ことが特に好ましい。原料錯体の気化温度は、原料の種
類に応じて調整するが、例えばTTE、TTIP、TT
NBの場合には、70〜150℃とすることが好まし
い。
In the present invention, the raw material complex is vaporized in a vaporizer and sprayed together with an inert gas serving as a carrier onto the surface of a heated substrate under atmospheric pressure, thereby forming a crystal orientation film of titanium dioxide on the surface of the substrate. Form. The inert gas serving as a carrier is not particularly limited, and any commonly used inert gas such as nitrogen, helium, and argon can be used.However, it is preferable to use nitrogen gas from the viewpoint of economy and the like. Among them, it is particularly preferable to use nitrogen gas from which water has been removed through liquid nitrogen. The vaporization temperature of the raw material complex is adjusted according to the type of the raw material, for example, TTE, TTIP, TT
In the case of NB, the temperature is preferably set to 70 to 150 ° C.

【0012】不活性ガス担体により運ばれた原料錯体
を、大気圧開放下で加熱された基体表面に吹き付けるに
あたっては、スリット型のノズルから移動する基材表面
に吹き付けることによって、網状、平板状、円筒状、半
球状、円錐台状、あるいは皿、トレー等種々の形状にあ
らかじめ成形した基材表面に、連続的に二酸化チタンの
結晶配向膜を形成することが可能となる。二酸化チタン
を含む塗料を使用し、塗布や浸漬等により二酸化チタン
被膜を基材表面に形成する従来の技術では、基材として
多数の微細な開孔を有する基材を使用した場合には、被
膜形成時に開孔内部が二酸化チタン粒子によってふさが
れ、貫通した開孔を有する材料を得ることは困難であっ
た。また貫通した開孔が得られる場合でも開孔の内側部
全面に二酸化チタン被膜を形成することはできず、開孔
の内側部が部分的に二酸化チタン被膜で覆われたものが
得られるのみであった。本発明では、溶媒等を使用しな
い大気圧開放型CVD法を採用することによって、基材
の微細な開孔の内側部全面に二酸化チタン結晶配向膜が
形成され、しかも貫通した開孔を有する材料を製造する
ことがはじめて可能となった。また、原料の気化温度や
供給量、担体ガスの流量、基材温度等をそれぞれ調整す
ることによって、得られる結晶配向膜の結晶構造を制御
し、結晶配向膜の配向方向、膜の厚さ、結晶の粒径や粒
径分布を所望のものに調整することが可能である。
When the raw material complex carried by the inert gas carrier is sprayed on the surface of the substrate heated under atmospheric pressure, the material complex is sprayed onto the surface of the substrate moving from a slit type nozzle, thereby forming a net-like, plate-like, It is possible to continuously form a crystal orientation film of titanium dioxide on the surface of a base material preformed in various shapes such as a cylinder, a hemisphere, a truncated cone, or a dish or tray. In the conventional technique of using a paint containing titanium dioxide and forming a titanium dioxide coating on the surface of the substrate by coating or dipping, when a substrate having a large number of fine holes is used as the substrate, the coating is At the time of formation, the inside of the opening was closed by titanium dioxide particles, and it was difficult to obtain a material having a through hole. In addition, even when a through hole is obtained, a titanium dioxide film cannot be formed on the entire inner surface of the hole, and only a film in which the inner portion of the hole is partially covered with the titanium dioxide film is obtained. there were. In the present invention, a material having a titanium dioxide crystal orientation film formed on the entire inner surface of the fine opening of the base material by employing an atmospheric pressure open type CVD method without using a solvent or the like, and having a through hole For the first time. Further, by adjusting the vaporization temperature and supply amount of the raw material, the flow rate of the carrier gas, the substrate temperature, and the like, the crystal structure of the obtained crystal orientation film is controlled, the orientation direction of the crystal orientation film, the thickness of the film, It is possible to adjust the crystal grain size and grain size distribution to desired ones.

【0013】本発明では、基材表面に形成する二酸化チ
タン結晶配向膜を、結晶表面と垂直方向に(001)、
(100)、(211)、(101)及び(110)か
らなる結晶面から選択された方向に配向されたものとす
ることが好ましい。これらの特定方向に配向された二酸
化チタン結晶配向膜は、光、特に紫外線を照射した際
に、次のような種々の光触媒作用を発揮する。 (1)顕著な抗菌作用(制菌作用及び滅菌作用)を有す
るとともに、死滅した菌や毒素等の菌の産生物を分解す
ることができるので、汚れを防止し持続性のある抗菌作
用を発揮する。 (2)汚れの付着を防止するとともに、付着した汚れを
分解し、自然に降る雨や水洗により簡単に除去して表面
の光沢を維持する。 (3)臭いの元となる物質を分解し、脱臭、消臭作用を
有する。 (4)紫外線照射により水との接触角が減少して0度に
近くなり、水を弾かなくなる。したがって、表面に水滴
が形成されず一様な水膜となり、曇りを防止することが
できる。 (5)空気中の窒素酸化物(NOx)や硫黄酸化物(S
0x)を分解し、空気を浄化する。 (6)有機ハロゲン化合物や油分等の水中の汚染物質や
飲食物中の汚染物質を分解し、水や飲食物を浄化する。 (7)適当な色素と組み合わせることによって、太陽エ
ネルギーを電気に変換する。 したがって、これら特定方向に配向された二酸化チタン
結晶配向膜を表面に有する材料は、上記の特性を生かし
て医療器具、食器、調理用具、冷蔵庫、冷蔵車両、洗面
所や台所用品、内装材、外装材ほか各種の建築材料、照
明器材、道路関連資材、エアコンのフイルター、水や飲
食物処理用フイルター、コンデンサーやICチップ等の
電子部品、太陽光発電装置等の材料として、巾広く使用
することができるものである。
In the present invention, the titanium dioxide crystal orientation film formed on the base material surface is (001) perpendicular to the crystal surface.
It is preferable that the crystal is oriented in a direction selected from the crystal plane composed of (100), (211), (101), and (110). The titanium dioxide crystal oriented film oriented in these specific directions exhibits the following various photocatalytic actions when irradiated with light, particularly ultraviolet rays. (1) It has a remarkable antibacterial action (bacteriostatic action and sterilization action) and can decompose dead bacteria and toxins and other bacterial products, thereby preventing dirt and exhibiting a persistent antibacterial action. I do. (2) Prevents the adhesion of dirt, decomposes the dirt, and easily removes it by naturally falling rain or water washing to maintain the surface gloss. (3) It decomposes substances that cause odor, and has a deodorizing and deodorizing action. (4) The contact angle with water decreases due to the irradiation of ultraviolet rays, becomes close to 0 degrees, and water does not repel. Therefore, no water droplets are formed on the surface and a uniform water film is formed, so that fogging can be prevented. (5) Nitrogen oxides (NOx) and sulfur oxides (S
0x) to purify the air. (6) Decompose water and food and drink by decomposing contaminants in water and food and drink such as organic halogen compounds and oils. (7) Convert solar energy into electricity by combining it with an appropriate dye. Therefore, the material having a titanium dioxide crystal oriented film oriented in a specific direction on the surface thereof is a medical device, tableware, cooking utensil, refrigerator, refrigerated vehicle, washroom or kitchenware, interior material, exterior material, taking advantage of the above characteristics. Can be widely used as materials for building materials, lighting equipment, road-related materials, air conditioner filters, filters for water and food processing, electronic components such as capacitors and IC chips, and solar power generation equipment. You can do it.

【0014】本発明の材料では、多数の微細な開孔を有
する基材を使用して、開孔の内側部全面にも二酸化チタ
ン結晶配向膜を形成し、しかもこの開孔が貫通している
ことによって、単に基材表面に二酸化チタン結晶配向膜
を形成した材料に比較して、光触媒活性を有する二酸化
チタン結晶配向膜の全表面積が大巾に増大し、したがっ
て得られる光触媒活性も著しく増大する。特に、本発明
の材料を複数使用し、必要に応じてスペーサー等を介在
させて多層構造体を形成した場合には、光触媒活性を有
する二酸化チタン結晶配向膜の全表面積が飛躍的に増大
するので、得られる光触媒作用も一段と向上する。なか
でも網状体を基材とする材料から構成した多層構造体
は、柔軟性、成形加工性等をも兼備するので、例えば各
種のフィルターとして空気や排気ガスの浄化、水の浄化
やビール、ジュース等の飲食物のろ過等の用途に特に有
用である。
In the material of the present invention, a substrate having a large number of fine holes is used, and a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the entire inner surface of the holes, and the holes penetrate. As a result, the total surface area of the titanium dioxide crystal orientation film having photocatalytic activity is greatly increased, and thus the obtained photocatalytic activity is also significantly increased, as compared to a material in which a titanium dioxide crystal orientation film is simply formed on the substrate surface. . In particular, when a plurality of the materials of the present invention are used and a multilayer structure is formed with spacers or the like interposed therebetween as necessary, the total surface area of the titanium dioxide crystal orientation film having photocatalytic activity is dramatically increased. The obtained photocatalytic action is further improved. Above all, a multilayer structure composed of a material having a net-like body as a base material also has flexibility, moldability, etc., so that, for example, various filters can be used for purifying air and exhaust gas, purifying water, beer, and juice. It is particularly useful for applications such as filtration of food and drink.

【0015】本発明で、上記の特定方向に配向された結
晶配向膜は、ある1つの方向のみに配向された二酸化チ
タン結晶により構成されていても、2つ以上の方向に配
向された二酸化チタン結晶により構成されていても、同
様の効果を奏するものである。本発明によれば、基材表
面に形成する結晶配向膜の膜厚は、所望のものとするこ
とができるが、膜厚を0.1μm以上とすることによっ
て基材に抗菌性をはじめとする種々の特性を付与するこ
とができるので、通常は0.1〜10μm、好ましくは
0.2〜2.0μmとする。また、配向膜を形成する結
晶の粒径は、可視光線及び紫外線の波長と同程度とした
場合に顕著な抗菌性等の光触媒活性が得られ、特に、粒
径分布のそろった結晶配向膜とした場合にはその効果が
著しい。したがって、結晶粒径として、0.01〜1μ
m、粒径分布が実質的に平均値±100%である結晶配
向膜とすることが好ましく、粒径分布が平均値±50%
である結晶配向膜とすることが特に好ましい。本発明に
おける結晶の粒径分布は、材料学の分野での常法に従
い、つぎのようにして算出する。すなわち、図8にみら
れるように、横軸に配向膜を構成する各結晶の粒径(最
大直径)、縦軸に結晶の個数をとって描いたヒストグラ
ムにおいて、縦軸の最大値Y1 の50%以上のものを対
象として(図8の斜線部)、結晶粒径の平均値及び粒径
分布を算出するものである。
In the present invention, even if the crystal orientation film oriented in a specific direction is composed of a titanium dioxide crystal oriented in only one direction, the titanium dioxide film oriented in two or more directions is used. The same effect can be obtained even if the device is made of a crystal. According to the present invention, the thickness of the crystal orientation film formed on the surface of the substrate can be any desired value. Since various characteristics can be imparted, the thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 2.0 μm. In addition, when the particle size of the crystal forming the alignment film is substantially the same as the wavelength of visible light and ultraviolet light, remarkable anticatalytic and other photocatalytic activities are obtained. If you do, the effect is remarkable. Therefore, the crystal grain size is 0.01 to 1 μm.
m, it is preferable that the crystal orientation film has a particle size distribution substantially having an average value of ± 100%, and the particle size distribution has an average value of ± 50%.
It is particularly preferable that the crystal orientation film is as follows. The particle size distribution of the crystals in the present invention is calculated as follows according to a conventional method in the field of materials science. That is, as shown in FIG. 8, in the histogram drawn with the particle diameter (maximum diameter) of each crystal constituting the alignment film on the horizontal axis and the number of crystals on the vertical axis, the maximum value Y 1 of the vertical axis is obtained. The average value of the crystal grain size and the grain size distribution are calculated for those having 50% or more (shaded portions in FIG. 8).

【0016】また、他の好ましい材料としては、二酸化
チタンの結晶配向膜が網目構造を有するものが挙げられ
る。これらの材料としては、必要に応じて基材表面に二
酸化チタンの結晶配向膜形成後に、酸素雰囲気下でアニ
ーリング処理を施したものを使用することができる。本
発明で、結晶配向膜が網目構造を有するとは、針状の結
晶が交差した状態のものや、ハニカム状に配列した状態
のものを意味する。そして、酸素雰囲気下でアニーリン
グ処理をするとは、二酸化チタンからなる結晶配向膜を
大気圧下、電気炉を用いて酸素気流中で300℃〜60
0℃の任意の温度で数時間加熱することを意味する。
Another preferred material is one in which the crystal orientation film of titanium dioxide has a network structure. As these materials, if necessary, after forming a crystal orientation film of titanium dioxide on the surface of the base material, those subjected to an annealing treatment in an oxygen atmosphere can be used. In the present invention, that the crystal orientation film has a network structure means a state in which needle-like crystals intersect or a state in which the crystals are arranged in a honeycomb shape. Then, the annealing treatment in an oxygen atmosphere means that the crystal orientation film made of titanium dioxide is heated at 300 ° C. to 60 ° C. in an oxygen stream using an electric furnace at atmospheric pressure.
This means heating at an arbitrary temperature of 0 ° C. for several hours.

【0017】本発明では、二酸化チタンからなる結晶配
向膜の表面に、さらに銀、銅あるいはそれらの酸化物の
皮膜を形成することができ、その場合には、抗菌性が一
段と改善された材料を得ることができる。二酸化チタン
結晶配向膜の表面に、銀、銅あるいはそれらの酸化物の
皮膜を形成するには、上記方法によって二酸化チタン結
晶配向膜を形成した後に、必要により所望の形状に切断
又は成形し、コーティング法、浸漬法、スパッタリング
法、熱CVD法等の通常の方法により、銀、銅あるいは
それらの酸化物の皮膜を形成すればよい。銀又は銅の皮
膜を形成するにはスパッタリング法を、またそれらの酸
化物の皮膜を形成するには本発明と同様の方法を使用す
ることが好ましい。これらの皮膜は必ずしも開孔の内側
部にまで形成する必要はなく、基材の表面及び/又は裏
面にのみ設けるようにしてもよい。
According to the present invention, a film of silver, copper or their oxides can be further formed on the surface of the crystal orientation film composed of titanium dioxide. In this case, a material having further improved antibacterial properties is used. Obtainable. To form a film of silver, copper or their oxides on the surface of the titanium dioxide crystal orientation film, after forming the titanium dioxide crystal orientation film by the above method, cut or mold into a desired shape if necessary, and coat. A silver, copper or oxide film of silver or copper may be formed by an ordinary method such as a method, an immersion method, a sputtering method, and a thermal CVD method. It is preferable to use a sputtering method to form a silver or copper film and a method similar to the present invention to form a film of these oxides. These coatings do not necessarily need to be formed up to the inside of the opening, and may be provided only on the front surface and / or the back surface of the base material.

【0018】[0018]

【実施例】つぎに、本発明を実施例により説明するが、
本発明がこれらの実施例により限定されるものではない
ことは言うまでない。なお、以下の実施例では、特開平
10−152396号公報に記載された装置と同様の装
置を使用して基材表面に二酸化チタン結晶配向膜を形成
した。
Next, the present invention will be described with reference to examples.
It goes without saying that the present invention is not limited by these examples. In the following examples, a titanium dioxide crystal orientation film was formed on the surface of a base material using an apparatus similar to the apparatus described in JP-A-10-152396.

【0019】(実施例1)原料錯体としてTTIPを用
い、原料気化温度120℃、窒素ガス流量1.5dm3
/min.でTTIPを気化させた。基材として、線径
0.1mmのステンレス線からなる100メッシュの金
網(目開き0.154mm、開孔率35%)を使用し、
高温ゾーンの温度400℃に設置した加熱炉中に、11
1.75m/min.の速度で供給し、巾1.0mmの
スリットを有するスリット型ノズルから上記原料ガス混
合物を吹き付け、基材表面に膜厚1.0μmの二酸化チ
タン多結晶配向膜を形成させた。得られた二酸化チタン
多結晶配向膜の状態を、走査型電子顕微鏡(以下、「S
EM」と略記する)及びX線回折により観察したとこ
ろ、多結晶配向膜はアナターゼ構造を持ち、膜を形成す
る結晶表面と垂直方向に(001)面に配向されたもの
であった。また、結晶の粒径は0.01〜0.5μm
で、粒径分布は0.25±0.25μmであった。この
多結晶配向膜の表面のSEM写真を図1(倍率150
倍)及び図2(倍率35000倍)に示す。この多結晶
配向膜は図1にみられるように、金網を構成するステン
レス線の全周囲にわたって均一に形成されている。ま
た、図2から、この多結晶配向膜が網目構造を有するこ
とがわかる。
(Example 1) TTIP was used as a raw material complex, a raw material vaporization temperature was 120 ° C, and a nitrogen gas flow rate was 1.5 dm 3.
/ Min. Vaporized the TTIP. As a base material, a 100-mesh wire mesh (aperture 0.154 mm, aperture ratio 35%) made of a stainless wire having a wire diameter of 0.1 mm was used.
In a heating furnace installed at a temperature of 400 ° C. in a high-temperature zone, 11
1.75 m / min. The above-mentioned raw material gas mixture was sprayed from a slit type nozzle having a slit having a width of 1.0 mm to form a 1.0 μm-thick titanium dioxide polycrystalline alignment film on the surface of the substrate. The state of the obtained titanium dioxide polycrystalline alignment film was measured by a scanning electron microscope (hereinafter referred to as “S
Observed by EM ") and X-ray diffraction, the polycrystalline alignment film had an anatase structure and was oriented in the (001) plane perpendicular to the crystal surface forming the film. Also, the grain size of the crystal is 0.01 to 0.5 μm
The particle size distribution was 0.25 ± 0.25 μm. An SEM photograph of the surface of this polycrystalline alignment film is shown in FIG.
2) and FIG. 2 (35,000 times magnification). As shown in FIG. 1, this polycrystalline alignment film is formed uniformly over the entire periphery of the stainless wire constituting the wire netting. FIG. 2 shows that this polycrystalline alignment film has a network structure.

【0020】(実施例2)基材として、線径0.025
mmのステンレス線からなる500メッシュの金網(目
開き0.026mm、開孔率26%)を使用したほか
は、実施例1と同様にして基材表面に膜厚1.0μmの
二酸化チタン多結晶配向膜を形成させた。得られた多結
晶配向膜はアナターゼ構造を持ち、膜を形成する結晶表
面と垂直方向に(001)面に配向されたものであっ
た。また、結晶の粒径分布は0.25±0.25μmで
あった。この多結晶配向膜の表面のSEM写真を図3
(倍率150倍)及び図4(倍率5000倍)に示す。
この多結晶配向膜は図3にみられるように、金網を構成
するステンレス線の全周囲にわたって均一に形成されて
いる。
Example 2 As a substrate, a wire diameter of 0.025 was used.
A titanium dioxide polycrystal having a film thickness of 1.0 μm was formed on the surface of the substrate in the same manner as in Example 1 except that a 500-mesh wire mesh (aperture 0.026 mm, opening ratio: 26%) made of a stainless steel wire having a thickness of 2.5 mm was used. An alignment film was formed. The obtained polycrystalline alignment film had an anatase structure and was oriented in the (001) plane perpendicular to the crystal surface forming the film. The particle size distribution of the crystals was 0.25 ± 0.25 μm. FIG. 3 shows an SEM photograph of the surface of the polycrystalline alignment film.
(Magnification 150 times) and FIG. 4 (magnification 5000 times).
As shown in FIG. 3, the polycrystalline alignment film is formed uniformly over the entire circumference of the stainless wire forming the wire net.

【0021】(実施例3)基材として、厚さ1mmのス
テンレス板に電子ビームにより貫通孔を形成したもの
(孔径0.1mm、開孔率38%)を使用したほかは、
実施例1と同様にして基材表面に膜厚1.0μmの二酸
化チタン多結晶配向膜を形成させた。得られた多結晶配
向膜はアナターゼ構造を持ち、膜を形成する結晶表面と
垂直方向に(001)面に配向されたものであった。ま
た、結晶の粒径分布は0.25±0.25μmであっ
た。この多結晶配向膜の表面のSEM写真を図5(倍率
50倍)、図6(倍率500倍)及び図7(倍率500
0倍)に示す。この多結晶配向膜は図6にみられるよう
に貫通孔の内側部全面に形成されている。また、図7か
らこの多結晶配向膜が網目構造を有することがわかる。
(Example 3) As a substrate, a stainless steel plate having a thickness of 1 mm and a through hole formed by an electron beam (hole diameter: 0.1 mm, opening ratio: 38%) was used.
In the same manner as in Example 1, a polycrystalline oriented titanium dioxide film having a thickness of 1.0 μm was formed on the substrate surface. The obtained polycrystalline alignment film had an anatase structure and was oriented in the (001) plane perpendicular to the crystal surface forming the film. The particle size distribution of the crystals was 0.25 ± 0.25 μm. SEM photographs of the surface of the polycrystalline alignment film are shown in FIGS. 5 (50 ×), 6 (500 ×), and 7 (500 ×).
0 times). This polycrystalline alignment film is formed on the entire inner surface of the through hole as shown in FIG. FIG. 7 shows that the polycrystalline alignment film has a network structure.

【0022】(光触媒活性試験)上記各実施例で得られ
た二酸化チタン結晶配向膜を有する材料の光触媒活性を
以下の方法により試験した。油を付着させた指を二酸化
チタン結晶配向膜表面に押しつけて膜表面に油を付着さ
せ、UV灯を100mmの距離により照射し、油の分解
過程を目視により観察した。比較の為に、基材として貫
通孔を有さない厚さ1mmのステンレス板に、実施例1
と同様の条件下で二酸化チタン多結晶配向膜を形成した
材料(以下、「比較例」という)を使用して同様の試験
を行った。本発明の各実施例及び比較例ともに、油を付
着させた直後には指紋の縞模様がはっきり認められる
が、UV灯の照射直後から二酸化チタン結晶配向膜の光
触媒活性により油の分解が始まり、数秒で指紋跡が消滅
するとともに親油性により油の表面積が若干広がった。
UV灯の照射を続けると、油の分解が進行し油の表面積
は縮小し消滅した。比較例では7日後に油が消滅した
が、上記各実施例で得られた多数の微細な開孔を有する
材料では、4〜5日後に油は消滅した。このことから、
本発明の多数の微細な開孔を有する基材表面に二酸化チ
タン結晶配向膜を形成した材料は、単なる板状の基材に
二酸化チタン結晶配向膜を形成した材料と比較して、一
段と優れた光触媒活性を有することが判明した。
(Photocatalytic activity test) The photocatalytic activity of the material having a titanium dioxide crystal orientation film obtained in each of the above examples was tested by the following method. The oil-deposited finger was pressed against the surface of the titanium dioxide crystal orientation film to cause the oil to adhere to the surface of the film, and the film was irradiated with a UV lamp at a distance of 100 mm, and the oil decomposition process was visually observed. For comparison, a 1 mm thick stainless steel plate having no through hole as a substrate
A similar test was performed using a material on which a titanium dioxide polycrystalline alignment film was formed under the same conditions as described above (hereinafter, referred to as “Comparative Example”). In each of the Examples and Comparative Examples of the present invention, a stripe pattern of a fingerprint is clearly observed immediately after the oil is deposited, but the decomposition of the oil starts due to the photocatalytic activity of the titanium dioxide crystal orientation film immediately after irradiation with a UV lamp, In a few seconds, the fingerprint trace disappeared, and the lipophilicity slightly increased the surface area of the oil.
When the irradiation with the UV lamp was continued, the decomposition of the oil progressed, and the surface area of the oil was reduced and disappeared. In the comparative example, the oil disappeared after 7 days. However, in the material having a large number of fine holes obtained in each of the above examples, the oil disappeared after 4 to 5 days. From this,
The material of the present invention in which a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the surface of a substrate having a large number of fine holes is more excellent than a material in which a titanium dioxide crystal orientation film is formed on a mere plate-like substrate. It was found to have photocatalytic activity.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明の材料では、多数の微細な開孔を
有する基材を使用して、開孔の内側部全面にも二酸化チ
タン結晶配向膜を形成し、しかもこの開孔が貫通してい
ることによって、単に基材表面に二酸化チタン結晶配向
膜を形成した材料に比較して、光触媒活性を有する二酸
化チタン結晶配向膜の全表面積が大巾に増大し、したが
って得られる光触媒活性も著しく増大する。特に、本発
明の材料を複数使用し、必要に応じてスペーサー等を介
在させて多層構造体を形成した場合には、光触媒活性を
有する二酸化チタン結晶配向膜の全表面積が飛躍的に増
大するので、得られる光触媒作用も一段と向上する。ま
た、柔軟性や成形加工性を必要とする用途には網状体か
らなる基材を使用し、強度や剛性を必要とする用途には
貫通孔を有する板状体を基板として使用する等、使用目
的に応じて材料を選択することが可能であり、きわめて
巾広い用途に適用することができるものである。
According to the material of the present invention, a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the entire inner surface of a hole by using a substrate having a large number of fine holes. As a result, the total surface area of the titanium dioxide crystal orientation film having photocatalytic activity is greatly increased as compared to a material in which a titanium dioxide crystal orientation film is simply formed on the substrate surface, and thus the obtained photocatalytic activity is also remarkable. Increase. In particular, when a plurality of the materials of the present invention are used and a multilayer structure is formed with spacers or the like interposed therebetween as necessary, the total surface area of the titanium dioxide crystal orientation film having photocatalytic activity is dramatically increased. The obtained photocatalytic action is further improved. For applications that require flexibility and moldability, a net-like base material is used, and for applications that require strength and rigidity, a plate-like body with through holes is used as the substrate. The material can be selected according to the purpose, and can be applied to a very wide range of applications.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明により網状体の表面に形成した二酸化チ
タン結晶配向膜の1例のSEM写真である。
FIG. 1 is an SEM photograph of an example of a titanium dioxide crystal orientation film formed on the surface of a network according to the present invention.

【図2】図1の二酸化チタン結晶配向膜の高倍率のSE
M写真である。
FIG. 2 is a high magnification SE of the titanium dioxide crystal orientation film of FIG.
It is an M photograph.

【図3】本発明により網状体の表面に形成した二酸化チ
タン結晶配向膜の他の例のSEM写真である。
FIG. 3 is a SEM photograph of another example of a titanium dioxide crystal alignment film formed on the surface of a network according to the present invention.

【図4】図3の二酸化チタン結晶配向膜の高倍率のSE
M写真である。
FIG. 4 shows a high magnification SE of the titanium dioxide crystal orientation film of FIG.
It is an M photograph.

【図5】本発明により貫通孔を有する板状体の表面に形
成した二酸化チタン結晶配向膜の1例のSEM写真であ
る。
FIG. 5 is an SEM photograph of one example of a titanium dioxide crystal orientation film formed on the surface of a plate having a through hole according to the present invention.

【図6】図5の二酸化チタン結晶配向膜の倍率を上げた
SEM写真である。
6 is an SEM photograph in which the magnification of the titanium dioxide crystal orientation film of FIG. 5 is increased.

【図7】図5の二酸化チタン結晶配向膜の倍率を更に上
げたSEM写真である。
FIG. 7 is a SEM photograph of the titanium dioxide crystal orientation film of FIG. 5 at a further increased magnification.

【図8】結晶の粒径分布の算出方法を説明する図であ
る。
FIG. 8 is a diagram for explaining a method of calculating a crystal particle size distribution.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G069 AA03 AA08 AA11 BA04A BA04B BA08 BA13A BA14A BA17 BA22A BA48A EA08 EB01 FB03 4K030 BA46 BB02 BB03 BB12 CA01 CA02 CA05 CA06 CA07 CA08 CA17 LA01 LA11 LA24  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G069 AA03 AA08 AA11 BA04A BA04B BA08 BA13A BA14A BA17 BA22A BA48A EA08 EB01 FB03 4K030 BA46 BB02 BB03 BB12 CA01 CA02 CA05 CA06 CA07 CA08 CA17 LA01 LA11 LA24

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多数の微細な開孔を有する基材表面に二
酸化チタン結晶配向膜を形成した材料。
1. A material in which a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the surface of a substrate having a large number of fine holes.
【請求項2】 目開きが0.01〜3.0mm、開孔率
が3〜50%である網状体を基材とすることを特徴とす
る請求項1に記載の材料。
2. The material according to claim 1, wherein the base material is a net having an opening of 0.01 to 3.0 mm and a porosity of 3 to 50%.
【請求項3】 孔径が0.01〜3.0mm、開孔率が
3〜50%である貫通孔を有する板状体を基材とするこ
とを特徴とする請求項1に記載の材料。
3. The material according to claim 1, wherein the base material is a plate having a through-hole having a pore diameter of 0.01 to 3.0 mm and a porosity of 3 to 50%.
【請求項4】 開孔の内側部全面に二酸化チタン結晶配
向膜を形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれ
か1項に記載の材料。
4. The material according to claim 1, wherein a titanium dioxide crystal orientation film is formed on the entire inner surface of the opening.
【請求項5】 二酸化チタン結晶配向膜が結晶表面と垂
直方向に(001)、(100)、(211)、(10
1)及び(110)からなる結晶面から選択された方向
に配向されたものであることを特徴とする請求項1〜4
のいずれか1項に記載の材料。
5. A titanium dioxide crystal orientation film having (001), (100), (211), (10) in the direction perpendicular to the crystal surface.
5. A crystal oriented in a direction selected from a crystal plane composed of (1) and (110).
A material according to any one of the preceding claims.
【請求項6】 二酸化チタン結晶配向膜の厚さが0.1
μm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれ
か1項に記載の材料。
6. A titanium dioxide crystal orientation film having a thickness of 0.1
The material according to any one of claims 1 to 5, wherein the thickness is not less than μm.
【請求項7】 二酸化チタン結晶配向膜を形成する結晶
の粒径が0.01〜1μmであり、粒径分布が実質的に
平均値±100%であることを特徴とする請求項1〜6
のいずれか1項に記載の材料。
7. The crystal forming the titanium dioxide crystal oriented film has a particle size of 0.01 to 1 μm, and the particle size distribution is substantially an average value ± 100%.
A material according to any one of the preceding claims.
【請求項8】 二酸化チタン結晶配向膜が光触媒活性を
有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に
記載の材料。
8. The material according to claim 1, wherein the titanium dioxide crystal orientation film has a photocatalytic activity.
【請求項9】 二酸化チタン結晶配向膜が大気圧開放型
CVD法により形成されたものであることを特徴とする
請求項1〜8のいずれか1項に記載の材料。
9. The material according to claim 1, wherein the titanium dioxide crystal orientation film is formed by an atmospheric pressure open CVD method.
【請求項10】 基材が金属、ガラス、陶磁器、セラミ
ックス、炭素又はプラスチックから選ばれたものである
ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の
材料。
10. The material according to claim 1, wherein the substrate is selected from the group consisting of metal, glass, ceramics, ceramics, carbon and plastic.
【請求項11】 請求項1〜10のいずれか1項に記載
した材料により構成された多層構造体。
11. A multilayer structure comprising the material according to any one of claims 1 to 10.
【請求項12】 請求項11に記載された多層構造体か
らなるフィルター。
12. A filter comprising the multilayer structure according to claim 11.
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