JP2000061917A - Ｉｔｏ成形体およびその製造方法並びにｉｔｏ焼結体の製造方法 - Google Patents
Ｉｔｏ成形体およびその製造方法並びにｉｔｏ焼結体の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 酸化インジウムと酸化錫を含むスラリーを泥
漿鋳込み法を用いて冷間水圧プレス加工なしでエロージ
ョン領域を厚高にした密度むらの小さい成形体を得、得
られた成形体を焼結して高密度ＩＴＯ焼結体を製造す
る。 【解決手段】 酸化インジウム粉と酸化錫粉を調製して
スラリーを作り、樹脂及び無機粉体からなる高強度型を
用いて圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で、泥漿鋳込み成形し
て得られる、エロージョン領域を厚高にした形状をも
ち、密度むら１．０％以下の成形体およびその製造法。
比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と酸化錫
粉を調製してスラリーを作り、圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上
で泥漿鋳込み成形して得られる、エロージョン領域を厚
高にした形状をもち、密度むら１．５％以下で、かつ相
対密度５０％以上の成形体およびその製造法。また、上
記成形体を酸素雰囲気で焼成して得られる高密度ＩＴＯ
焼結体。
漿鋳込み法を用いて冷間水圧プレス加工なしでエロージ
ョン領域を厚高にした密度むらの小さい成形体を得、得
られた成形体を焼結して高密度ＩＴＯ焼結体を製造す
る。 【解決手段】 酸化インジウム粉と酸化錫粉を調製して
スラリーを作り、樹脂及び無機粉体からなる高強度型を
用いて圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で、泥漿鋳込み成形し
て得られる、エロージョン領域を厚高にした形状をも
ち、密度むら１．０％以下の成形体およびその製造法。
比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と酸化錫
粉を調製してスラリーを作り、圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上
で泥漿鋳込み成形して得られる、エロージョン領域を厚
高にした形状をもち、密度むら１．５％以下で、かつ相
対密度５０％以上の成形体およびその製造法。また、上
記成形体を酸素雰囲気で焼成して得られる高密度ＩＴＯ
焼結体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング法
で透明導電膜の形成に用いられるＩＴＯターゲットの製
造に関する。
で透明導電膜の形成に用いられるＩＴＯターゲットの製
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＴＯ薄膜は、液晶ディスプレイ等の透
明導電膜として広く用いられている。このＩＴＯ薄膜の
形成法としては、ＩＴＯ焼結体をターゲット材として使
用するスパッタリング成膜法が一般的である。
明導電膜として広く用いられている。このＩＴＯ薄膜の
形成法としては、ＩＴＯ焼結体をターゲット材として使
用するスパッタリング成膜法が一般的である。
【０００３】スパッタリング法では、マグネットによっ
て制御されたプラズマをターゲットに衝突させるため、
ターゲットがマグネットの形状に沿ってエロージョンを
受け、使用効率が低いという問題がある。使用効率を上
げるために、例えば特開昭５７−１８５９７３号公報及
び特開昭６０−３９１５８号公報にはターゲットの消耗
の激しい部分の厚みを大きくしたターゲットを用いるこ
とが記載されている。エロージョンを受ける領域（以
下、「エロージョン領域」という）を厚くしたターゲッ
トの製造法としては、金型プレス法により厚みの異なる
平板型のターゲットを複数成形し、これを焼成、加工し
てＩＴＯターゲットを得、バッキングプレートとよばれ
る支持体にハンダなどを用いて貼りあわせる方法があ
る。しかしこの方法では複数のターゲットを貼りあわせ
るために、ターゲットの継ぎ目が異常放電の原因となる
などの悪影響が考えられる。
て制御されたプラズマをターゲットに衝突させるため、
ターゲットがマグネットの形状に沿ってエロージョンを
受け、使用効率が低いという問題がある。使用効率を上
げるために、例えば特開昭５７−１８５９７３号公報及
び特開昭６０−３９１５８号公報にはターゲットの消耗
の激しい部分の厚みを大きくしたターゲットを用いるこ
とが記載されている。エロージョンを受ける領域（以
下、「エロージョン領域」という）を厚くしたターゲッ
トの製造法としては、金型プレス法により厚みの異なる
平板型のターゲットを複数成形し、これを焼成、加工し
てＩＴＯターゲットを得、バッキングプレートとよばれ
る支持体にハンダなどを用いて貼りあわせる方法があ
る。しかしこの方法では複数のターゲットを貼りあわせ
るために、ターゲットの継ぎ目が異常放電の原因となる
などの悪影響が考えられる。
【０００４】金型プレス法によってエロージョン領域を
厚高にした成形体を作成する方法も考えられるが、成形
体の厚高部分の密度低下が発生し、焼成によって得られ
る焼結体の厚高部分に、色むらや密度低下等の欠陥が発
生する。
厚高にした成形体を作成する方法も考えられるが、成形
体の厚高部分の密度低下が発生し、焼成によって得られ
る焼結体の厚高部分に、色むらや密度低下等の欠陥が発
生する。
【０００５】石膏型を使用し、常圧でスラリーを注入す
る泥漿鋳込み法によってエロージョン領域を厚高にした
ターゲットを成形し、これを冷間静水圧プレスによって
均一化、圧密化させ、焼成、加工してＩＴＯターゲット
を作成する方法がある（例えば、特開平１−２９０７６
４号公報）。しかしこの方法では、圧密化するために冷
間静水圧プレスを使用するためコスト高となる。
る泥漿鋳込み法によってエロージョン領域を厚高にした
ターゲットを成形し、これを冷間静水圧プレスによって
均一化、圧密化させ、焼成、加工してＩＴＯターゲット
を作成する方法がある（例えば、特開平１−２９０７６
４号公報）。しかしこの方法では、圧密化するために冷
間静水圧プレスを使用するためコスト高となる。
【０００６】複合セラミックス等の高強度材料を成形型
に使用した高圧泥漿鋳込み法によって成形密度の均一な
成形体を得る方法がある（例えば特開平８−３２５７１
６号公報）。しかしこれは平板型の成形例のみであり、
エロージヨン領域が厚高な形状の成形例がなく、さらに
成形密度の均一性に関する数値限定による良好な焼結体
が得られる具体的な説明がなされたものではない。
に使用した高圧泥漿鋳込み法によって成形密度の均一な
成形体を得る方法がある（例えば特開平８−３２５７１
６号公報）。しかしこれは平板型の成形例のみであり、
エロージヨン領域が厚高な形状の成形例がなく、さらに
成形密度の均一性に関する数値限定による良好な焼結体
が得られる具体的な説明がなされたものではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、使用
効率を高めるためにエロージョン領域が厚高な形状をも
ち、成形密度が均一なＩＴＯ成形体をスラリー加圧泥漿
鋳込み法で安価に製造する方法を提供することにある。
効率を高めるためにエロージョン領域が厚高な形状をも
ち、成形密度が均一なＩＴＯ成形体をスラリー加圧泥漿
鋳込み法で安価に製造する方法を提供することにある。
【０００８】また本発明の他の目的は、成形密度の均一
性を数値で規定し、規定値内のＩＴＯ成形体を焼成する
ことにより厚高部分に色むらや密度低下等の欠陥の無い
高密度ＩＴＯ焼結体を製造する方法を提供することにあ
る。
性を数値で規定し、規定値内のＩＴＯ成形体を焼成する
ことにより厚高部分に色むらや密度低下等の欠陥の無い
高密度ＩＴＯ焼結体を製造する方法を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、泥漿鋳込
み法によって得られたエロージョン領域が厚高な形状を
もつＩＴＯ成形体を切断、サンプリングしてＩＴＯ成形
体の各部分の密度を測定し、密度むらが非常に小さくな
る成形条件を見い出した。ここで密度むらとは、測定し
た各部分の密度の最大値と最小値の差の、平均密度に対
する百分率として定義した。さらにＩＴＯ成形体の密度
むらと、焼成によって得られた焼結体の欠陥を検討し、
エロージョン領域が厚高の形状をもつ良好な高密度の焼
結体を得るための成形体の条件を見い出した。ここでい
う焼結体の欠陥とは、厚高部分の凹凸（中央部分のへこ
み）、クラック、色むらのことである。
み法によって得られたエロージョン領域が厚高な形状を
もつＩＴＯ成形体を切断、サンプリングしてＩＴＯ成形
体の各部分の密度を測定し、密度むらが非常に小さくな
る成形条件を見い出した。ここで密度むらとは、測定し
た各部分の密度の最大値と最小値の差の、平均密度に対
する百分率として定義した。さらにＩＴＯ成形体の密度
むらと、焼成によって得られた焼結体の欠陥を検討し、
エロージョン領域が厚高の形状をもつ良好な高密度の焼
結体を得るための成形体の条件を見い出した。ここでい
う焼結体の欠陥とは、厚高部分の凹凸（中央部分のへこ
み）、クラック、色むらのことである。
【００１０】さらに、本発明者らは、酸化インジウム粉
の比表面積を限定することにより、緻密なＩＴＯ成形体
が得られ、その結果ＩＴＯ成形体が十分な強度を持ち乾
燥、脱脂、焼成工程でのハンドリングが容易となること
および良好な高密度の焼結体が得られることを見い出し
た。ここでいう比表面積とは、ＢＥＴ法で測定した値の
ことである。これらの知見に基づいて、本発明を完成す
るに至った。
の比表面積を限定することにより、緻密なＩＴＯ成形体
が得られ、その結果ＩＴＯ成形体が十分な強度を持ち乾
燥、脱脂、焼成工程でのハンドリングが容易となること
および良好な高密度の焼結体が得られることを見い出し
た。ここでいう比表面積とは、ＢＥＴ法で測定した値の
ことである。これらの知見に基づいて、本発明を完成す
るに至った。
【００１１】本発明は、下記の事項をその特徴としてい
る。 （１）酸化インジウムと酸化錫からなるスラリーに圧力
３ｋｇ／ｃｍ2 以上で石膏型を用いて泥漿鋳込み成形し
て得られる、エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密
度むらが１．５％以下であるＩＴＯの成形体。 （２）酸化インジウムと酸化錫からなるスラリーに圧力
１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で、樹脂及び無機粉体からなる型
を用いて泥漿鋳込み成形して得られる、エロージョン領
域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．０％以下のＩＴ
Ｏ成形体。 （３）比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、
比表面積１〜８ｍ2 ／ｇの酸化錫からなるスラリーに圧
力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得られる、
エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．
５％以下で、かつ相対密度５０％以上のＩＴＯ成形体。 （４）比表面積３〜８ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、比
表面積１〜８ｍ2 ／ｇ酸化錫からなるスラリーに圧力３
ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得られる、エロ
ージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．５％
以下でかつ相対密度５８％以上のＩＴＯ成形体。
る。 （１）酸化インジウムと酸化錫からなるスラリーに圧力
３ｋｇ／ｃｍ2 以上で石膏型を用いて泥漿鋳込み成形し
て得られる、エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密
度むらが１．５％以下であるＩＴＯの成形体。 （２）酸化インジウムと酸化錫からなるスラリーに圧力
１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で、樹脂及び無機粉体からなる型
を用いて泥漿鋳込み成形して得られる、エロージョン領
域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．０％以下のＩＴ
Ｏ成形体。 （３）比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、
比表面積１〜８ｍ2 ／ｇの酸化錫からなるスラリーに圧
力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得られる、
エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．
５％以下で、かつ相対密度５０％以上のＩＴＯ成形体。 （４）比表面積３〜８ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、比
表面積１〜８ｍ2 ／ｇ酸化錫からなるスラリーに圧力３
ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得られる、エロ
ージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．５％
以下でかつ相対密度５８％以上のＩＴＯ成形体。
【００１２】（５）（ａ）原料として酸化インジウム粉
と酸化錫粉を用い、仮焼処理によって酸化インジウムの
比表面積を３〜１５ｍ2 ／ｇ、酸化錫の比表面積を１〜
８ｍ2／ｇにする原料粉の仮焼工程、（ｂ）仮焼した酸
化インジウムと酸化錫およびイオン交換水を樹脂製ポッ
トにいれ、乾式ボールミルで粉砕、混合し、その後水、
分散剤およびバインダーを加えて湿式ボールミルでスラ
リーを調製してスラリーの粘度を２００ｃｐ以下、濃度
を６５％以上にするスラリーの調製工程、（ｃ）調製し
たスラリーに消泡剤を添加して滅圧脱気する工程、
（ｄ）脱気したスラリーを成形型を用いた加圧による泥
漿鋳込み法により、エロージョン領域が厚高部分を有す
るＩＴＯ成形体を成形する成形工程、および（ｅ）厚高
部分を有するＩＴＯ成形体を室温で乾燥後、脱脂炉を用
いて４００〜６００℃で脱脂する工程、からなることを
特徴とするＩＴＯ成形体の製造方法。
と酸化錫粉を用い、仮焼処理によって酸化インジウムの
比表面積を３〜１５ｍ2 ／ｇ、酸化錫の比表面積を１〜
８ｍ2／ｇにする原料粉の仮焼工程、（ｂ）仮焼した酸
化インジウムと酸化錫およびイオン交換水を樹脂製ポッ
トにいれ、乾式ボールミルで粉砕、混合し、その後水、
分散剤およびバインダーを加えて湿式ボールミルでスラ
リーを調製してスラリーの粘度を２００ｃｐ以下、濃度
を６５％以上にするスラリーの調製工程、（ｃ）調製し
たスラリーに消泡剤を添加して滅圧脱気する工程、
（ｄ）脱気したスラリーを成形型を用いた加圧による泥
漿鋳込み法により、エロージョン領域が厚高部分を有す
るＩＴＯ成形体を成形する成形工程、および（ｅ）厚高
部分を有するＩＴＯ成形体を室温で乾燥後、脱脂炉を用
いて４００〜６００℃で脱脂する工程、からなることを
特徴とするＩＴＯ成形体の製造方法。
【００１３】（６）（ｄ）工程において、成形型として
石膏型が使用され、スラリー加圧圧力が３ｋｇ／ｃｍ2
以上１０ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、エロージョン領域が
厚高部分を有するＩＴＯ成形体の密度むらが１．５％以
下である前記（５）に記載のＩＴＯ成形体の製造方法。 （７）（ｄ）工程において、成形型として樹脂および無
機粉体からなる型が使用され、スラリー加圧圧力が１０
ｋｇ／ｃｍ2 以上１００ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、エロ
ージョン領域が厚高部分を有するＩＴＯ成形体の密度む
らが１．０％以下である前記（５）に記載のＩＴＯ成形
体の製造方法。 （８）石膏型の表面、または樹脂および無機粉体からな
る型の表面に１〜１０μｍの気孔をもつ成形型を使用す
ることを特徴とする前記（６）または（７）に記載のＩ
ＴＯ成形体の製造方法。 （９）前記（１）〜（８）で得られたＩＴＯ成形体に酸
素雰囲気下で１４００〜１６００℃の温度で焼成するこ
とを特徴とする相対密度９８．５％以上のＩＴＯ焼結体
の製造方法。
石膏型が使用され、スラリー加圧圧力が３ｋｇ／ｃｍ2
以上１０ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、エロージョン領域が
厚高部分を有するＩＴＯ成形体の密度むらが１．５％以
下である前記（５）に記載のＩＴＯ成形体の製造方法。 （７）（ｄ）工程において、成形型として樹脂および無
機粉体からなる型が使用され、スラリー加圧圧力が１０
ｋｇ／ｃｍ2 以上１００ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、エロ
ージョン領域が厚高部分を有するＩＴＯ成形体の密度む
らが１．０％以下である前記（５）に記載のＩＴＯ成形
体の製造方法。 （８）石膏型の表面、または樹脂および無機粉体からな
る型の表面に１〜１０μｍの気孔をもつ成形型を使用す
ることを特徴とする前記（６）または（７）に記載のＩ
ＴＯ成形体の製造方法。 （９）前記（１）〜（８）で得られたＩＴＯ成形体に酸
素雰囲気下で１４００〜１６００℃の温度で焼成するこ
とを特徴とする相対密度９８．５％以上のＩＴＯ焼結体
の製造方法。
【００１４】以下に、本発明を詳細に説明する。本発明
の泥漿鋳込み法によるＩＴＯ成形体およびＩＴＯ焼結体
の製造工程は、図１に示す通りである。以下に、その各
製造工程について説明する。 （ａ）原料粉の仮焼 原料粉としては、市販の酸化インジウム粉、酸化錫粉が
使用できる。原料粉が微粒で凝集しやすい場合は、仮焼
処理によって微粒子を粒成長させてもよい。仮焼処理に
よって酸化インジウムの比表面積を３〜１５ｍ2 ／ｇに
すると、成形密度５０％以上のＩＴＯ成形体を得ること
ができる。また仮焼処理によって酸化インジウムの比表
面積を３〜８ｍ2 ／ｇにすると、成形密度５８％以上の
ＩＴＯ成形体を得ることができる。酸化錫の比表面積は
１〜８ｍ2 ／ｇが好ましい。
の泥漿鋳込み法によるＩＴＯ成形体およびＩＴＯ焼結体
の製造工程は、図１に示す通りである。以下に、その各
製造工程について説明する。 （ａ）原料粉の仮焼 原料粉としては、市販の酸化インジウム粉、酸化錫粉が
使用できる。原料粉が微粒で凝集しやすい場合は、仮焼
処理によって微粒子を粒成長させてもよい。仮焼処理に
よって酸化インジウムの比表面積を３〜１５ｍ2 ／ｇに
すると、成形密度５０％以上のＩＴＯ成形体を得ること
ができる。また仮焼処理によって酸化インジウムの比表
面積を３〜８ｍ2 ／ｇにすると、成形密度５８％以上の
ＩＴＯ成形体を得ることができる。酸化錫の比表面積は
１〜８ｍ2 ／ｇが好ましい。
【００１５】（ｂ）ボールミルによる粉砕、混合
酸化インジウム、酸化錫、イオン交換水を樹脂製ポット
に入れ乾式ボールミルにより粉砕、混合する。酸化錫は
５〜１０ｗｔ％が好ましい。その後、水および分散剤、
バインダーを加えて、湿式ボールミルによりスラリーを
調製する。容器は、ポリエチレン製、ポリプロピレン
製、ナイロン製のものなどが使用できる。ボールは、ジ
ルコニア製、樹脂製のものなどが使用できる。分散剤
は、ポリカルボン酸系のものが使用できる。バインダー
としては、ワックスエマルジョン系、アクリルエマルジ
ョン系のものが使用できる。スラリーの粘度は２００ｃ
ｐ以下が好ましく、スラリーの濃度は６５％以上が好ま
しい。
に入れ乾式ボールミルにより粉砕、混合する。酸化錫は
５〜１０ｗｔ％が好ましい。その後、水および分散剤、
バインダーを加えて、湿式ボールミルによりスラリーを
調製する。容器は、ポリエチレン製、ポリプロピレン
製、ナイロン製のものなどが使用できる。ボールは、ジ
ルコニア製、樹脂製のものなどが使用できる。分散剤
は、ポリカルボン酸系のものが使用できる。バインダー
としては、ワックスエマルジョン系、アクリルエマルジ
ョン系のものが使用できる。スラリーの粘度は２００ｃ
ｐ以下が好ましく、スラリーの濃度は６５％以上が好ま
しい。
【００１６】（ｃ）脱気
スラリーに消泡剤を添加して減圧脱気する。消泡剤はア
ミド系のものなどが使用できる。
ミド系のものなどが使用できる。
【００１７】（ｄ）スラリーの泥漿鋳込み成形
脱気したスラリーを石膏あるいは樹脂及び無機粉体から
なる成形型を使用して泥漿鋳込み法により成形し、図２
に示す形状の成形体を得る。泥漿鋳込み成形とは、常圧
あるいは加圧によりスラリーを型に注入し、スラリー中
の水分を成形型の多孔質面を介して除き、成形体を得る
方法である。成形型としては、石膏型や樹脂及び無機粉
体からなる型が使用できる。
なる成形型を使用して泥漿鋳込み法により成形し、図２
に示す形状の成形体を得る。泥漿鋳込み成形とは、常圧
あるいは加圧によりスラリーを型に注入し、スラリー中
の水分を成形型の多孔質面を介して除き、成形体を得る
方法である。成形型としては、石膏型や樹脂及び無機粉
体からなる型が使用できる。
【００１８】石膏型は、１〜１０μｍの気孔をもつ型が
使用できる。石膏型は吸水性に優れているためスラリー
を常圧で注入しても成形が可能であるが、厚高部分を有
する成形体を成形する場合、成形体の密度むらをなくす
ためには冷間静水圧プレス加工が必須である。本発明で
は冷間静水圧プレス加工を必要とせず、スラリー圧力３
ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形することにより密度むら１．５
％以下の成形体が得られる。石膏型はその強度から１０
ｋｇ／ｃｍ2 以下のスラリー圧力で成形することが好ま
しい。
使用できる。石膏型は吸水性に優れているためスラリー
を常圧で注入しても成形が可能であるが、厚高部分を有
する成形体を成形する場合、成形体の密度むらをなくす
ためには冷間静水圧プレス加工が必須である。本発明で
は冷間静水圧プレス加工を必要とせず、スラリー圧力３
ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形することにより密度むら１．５
％以下の成形体が得られる。石膏型はその強度から１０
ｋｇ／ｃｍ2 以下のスラリー圧力で成形することが好ま
しい。
【００１９】樹脂及び無機粉体からなる型は、吸水性、
通水性に乏しいためにスラリーを加圧して鋳込むのが好
ましく、また１〜１０μｍの気孔をもつものが使用でき
る。この型は、強度が高く、高圧でスラリーを注入し成
形時間を大幅に短縮することが可能である。またこの型
を使用して厚高部分を有する成形体を成形する場合、ス
ラリー圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形することにより
密度むら１．０％以下の成形体が得られ、石膏型と比較
して成形時間を短縮できる。樹脂及び無機粉体からなる
型は、スラリーの漏れ、型固定治具のコストの問題から
スラリー圧力１００ｋｇ／ｃｍ2 以下で使用することが
好ましい。
通水性に乏しいためにスラリーを加圧して鋳込むのが好
ましく、また１〜１０μｍの気孔をもつものが使用でき
る。この型は、強度が高く、高圧でスラリーを注入し成
形時間を大幅に短縮することが可能である。またこの型
を使用して厚高部分を有する成形体を成形する場合、ス
ラリー圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形することにより
密度むら１．０％以下の成形体が得られ、石膏型と比較
して成形時間を短縮できる。樹脂及び無機粉体からなる
型は、スラリーの漏れ、型固定治具のコストの問題から
スラリー圧力１００ｋｇ／ｃｍ2 以下で使用することが
好ましい。
【００２０】（ｅ）成形体の乾燥、脱脂
ＩＴＯ成形体は室温で乾燥された後、熱風循環式脱脂炉
等を使用して残留水分及びバインダーを除去する。脱脂
温度は４００〜６００℃が好ましい。
等を使用して残留水分及びバインダーを除去する。脱脂
温度は４００〜６００℃が好ましい。
【００２１】（ｆ）ＩＴＯ成形体焼成成形体を酸素雰囲
気下焼成することにより相対密度９８．５％以上のＩＴ
Ｏ焼結体を得ることができる。焼成温度は１４００〜１
６００℃が好ましい。
気下焼成することにより相対密度９８．５％以上のＩＴ
Ｏ焼結体を得ることができる。焼成温度は１４００〜１
６００℃が好ましい。
【００２２】
【実施例】以下に、本発明を実施例と比較例により更に
説明する。実施例１ 比表面積７．１ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉２２５０ｇ
と、比表面積３．４ｍ2 ／ｇの酸化錫粉２５０ｇ、イオ
ン交換水７５ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交換
水４５０ｇとポリカルボン酸系分散剤２０ｇを入れ、１
時間ボールミルで混合した。１時間後にワックス系バイ
ンダー２５ｇを添加し、１９時間ボールミル混合を行っ
た。スラリーにアミド系消泡剤１．３ｇを添加し減圧脱
気を行った。このスラリーの濃度は８１％だった。
説明する。実施例１ 比表面積７．１ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉２２５０ｇ
と、比表面積３．４ｍ2 ／ｇの酸化錫粉２５０ｇ、イオ
ン交換水７５ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交換
水４５０ｇとポリカルボン酸系分散剤２０ｇを入れ、１
時間ボールミルで混合した。１時間後にワックス系バイ
ンダー２５ｇを添加し、１９時間ボールミル混合を行っ
た。スラリーにアミド系消泡剤１．３ｇを添加し減圧脱
気を行った。このスラリーの濃度は８１％だった。
【００２３】スラリー濃度の定義は、次の通りである。
スラリー濃度（％）＝溶質重量／（溶質重量＋溶媒重
量）×１００ 次に石膏型を用いてスラリー圧力４．０ｋｇ／ｍ2 、成
形時間６０分の条件で泥漿鋳込み成形し、成形サイズ２
４５×２４５×１１ｔ（５ｔ）のＩＴＯ成形体を得た。
成形体は室温で乾燥後、６００℃で３時間脱脂を行っ
た。成形体を、図３に示す位置で切断し、平板（５ｔ）
部分、テーパー部分（５．１１ｔ部分）、厚高部分（１
１ｔ部分）から約２０ｍｍ角の大きさにサンプリングし
て試料とした。成形体１枚から試料を６０個以上サンプ
リングした。
量）×１００ 次に石膏型を用いてスラリー圧力４．０ｋｇ／ｍ2 、成
形時間６０分の条件で泥漿鋳込み成形し、成形サイズ２
４５×２４５×１１ｔ（５ｔ）のＩＴＯ成形体を得た。
成形体は室温で乾燥後、６００℃で３時間脱脂を行っ
た。成形体を、図３に示す位置で切断し、平板（５ｔ）
部分、テーパー部分（５．１１ｔ部分）、厚高部分（１
１ｔ部分）から約２０ｍｍ角の大きさにサンプリングし
て試料とした。成形体１枚から試料を６０個以上サンプ
リングした。
【００２４】次に、サンプリングした試料の表面を清浄
にし、質量を測定した。さらに試料に防水処理を施すた
めに油に浸し、その後油を軽く拭きとり、試料を針金等
で水中に吊したときの天秤の読みを測定し、成形密度を
求めた。
にし、質量を測定した。さらに試料に防水処理を施すた
めに油に浸し、その後油を軽く拭きとり、試料を針金等
で水中に吊したときの天秤の読みを測定し、成形密度を
求めた。
【００２５】成形密度の計算方法は、式１による。
【式１】
ただし、
Ｄ：成形密度（％）
Ａ：試料の質量（ｇ）
Ｂ：防水処理した試料の質量（ｇ）
Ｃ：防水処理した試料を水中に吊したときの天秤の読み
（ｇ） ρ：試験温度における水の密度（ｇ／ｃｍ3 ） ＩＴＯの真密度を７．１５（ｇ／ｃｍ3 ）とし、各サン
プルの成形密度から密度むらを求めた。
（ｇ） ρ：試験温度における水の密度（ｇ／ｃｍ3 ） ＩＴＯの真密度を７．１５（ｇ／ｃｍ3 ）とし、各サン
プルの成形密度から密度むらを求めた。
【００２６】密度むらの計算方法は、式２による。
【式２】
ただし、
ΔＤ：密度むら（％）
Ｄmax ：成形密度最大値（％）
Ｄmin ：成形密度最小値（％）
Ｄave ：成形密度の平均値（％）
【００２７】成形密度及び密度むらの測定結果を、表１
に示す。脱脂した成形体の１／２を酸素雰囲気にて１５
５０℃で８時間焼成しＩＴＯ焼結体を得た。ＩＴＯ焼結
体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２に示す。
に示す。脱脂した成形体の１／２を酸素雰囲気にて１５
５０℃で８時間焼成しＩＴＯ焼結体を得た。ＩＴＯ焼結
体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２に示す。
【００２８】焼成密度の計算方法は、次の通りである。
密度（％）＝重量／体積／７．１５×１００
成形密度分布を測定するときの試料のサンプリング方法
を、図３に示す。成形体を長軸（Ｌ）方向に１／２に切
断し、片側について厚さ別に１〜６の部分に切断する。
を、図３に示す。成形体を長軸（Ｌ）方向に１／２に切
断し、片側について厚さ別に１〜６の部分に切断する。
【００２９】実施例２
比表面積１４．７ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面
積３．２ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用して泥漿鋳込み成形
した以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度む
らを測定し、その後焼成した。成形密度、密度むらの測
定結果を、表１に示す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の
欠陥の有無について、表２に示す。
積３．２ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用して泥漿鋳込み成形
した以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度む
らを測定し、その後焼成した。成形密度、密度むらの測
定結果を、表１に示す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の
欠陥の有無について、表２に示す。
【００３０】実施例３
比表面積３．２ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．２ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力４．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間６０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度むらを
測定し、焼成した。成形密度、密度むらの測定結果を、
表１に示す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無
について、表２に示す。
３．２ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力４．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間６０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度むらを
測定し、焼成した。成形密度、密度むらの測定結果を、
表１に示す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無
について、表２に示す。
【００３１】実施例４
比表面積６．８ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉５４００ｇ
と比表面積２．５ｍ2／ｇの酸化錫粉６００ｇ、イオン
交換水１８０ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交換
水１０８０ｇとポリカルボン酸系分散剤４８ｇを入れ１
時間ボールミル混合した。１時間後にワックス系バイン
ダー６０ｇを添加し１９時間ボールミル混合を行った。
スラリーにアミド系消泡剤３ｇを添加し、減圧脱気を行
った。このスラリーの濃度は８１％であった。
と比表面積２．５ｍ2／ｇの酸化錫粉６００ｇ、イオン
交換水１８０ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交換
水１０８０ｇとポリカルボン酸系分散剤４８ｇを入れ１
時間ボールミル混合した。１時間後にワックス系バイン
ダー６０ｇを添加し１９時間ボールミル混合を行った。
スラリーにアミド系消泡剤３ｇを添加し、減圧脱気を行
った。このスラリーの濃度は８１％であった。
【００３２】次に樹脂及び無機粉体からなる型を用いて
スラリー圧力４．０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間６０分の条
件で泥漿鋳込み成形し、成形サイズ７３０×２５２×１
１ｔ（５ｔ）ｍｍの成形体を得た。成形体は室温で乾燥
後、６００℃で３時間脱脂を行った。脱脂後に実施例１
と同じ方法で成形密度、密度むらを求めた。成形密度、
密度むらの測定結果を、表１に示す。脱脂した成形体を
実施例１と同様の方法で焼成した。ＩＴＯ焼結体の密
度、焼結体の欠陥の有無について、表２に示す。
スラリー圧力４．０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間６０分の条
件で泥漿鋳込み成形し、成形サイズ７３０×２５２×１
１ｔ（５ｔ）ｍｍの成形体を得た。成形体は室温で乾燥
後、６００℃で３時間脱脂を行った。脱脂後に実施例１
と同じ方法で成形密度、密度むらを求めた。成形密度、
密度むらの測定結果を、表１に示す。脱脂した成形体を
実施例１と同様の方法で焼成した。ＩＴＯ焼結体の密
度、焼結体の欠陥の有無について、表２に示す。
【００３３】実施例５
比表面積６．０ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１
０．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度、密度むらを測定し、焼成
した。成形密度、密度むらの測定結果を、表１に示す。
ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表
２に示す。
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１
０．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度、密度むらを測定し、焼成
した。成形密度、密度むらの測定結果を、表１に示す。
ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表
２に示す。
【００３４】実施例６
比表面積６．５ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．３ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１
５．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度を測定し、焼成した。ＩＴ
Ｏ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２に
示す。
３．３ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１
５．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度を測定し、焼成した。ＩＴ
Ｏ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２に
示す。
【００３５】実施例７
比表面積６．９ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２
２．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度、密度むらを測定し、焼成
した。成形密度、密度むらの測定結果を表１に示す。Ｉ
ＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２
に示す。
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２
２．０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例
４と同様に成形し、成形密度、密度むらを測定し、焼成
した。成形密度、密度むらの測定結果を表１に示す。Ｉ
ＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について、表２
に示す。
【００３６】比較例１
比表面積７．１ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．１ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。ＩＴＯ成形体の
厚高部分に凹凸が生じ、これにより研削加工代の増大が
必要となった。
３．１ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。ＩＴＯ成形体の
厚高部分に凹凸が生じ、これにより研削加工代の増大が
必要となった。
【００３７】比較例２
比表面積６．８ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
５ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間２３０分で泥漿鋳込み成形し
た以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度むら
を測定した。成形密度、密度むらの測定結果を表１に示
す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について
表２に示す。
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
５ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間２３０分で泥漿鋳込み成形し
た以外は実施例１と同様に成形し、成形密度、密度むら
を測定した。成形密度、密度むらの測定結果を表１に示
す。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥の有無について
表２に示す。
【００３８】比較例３
比表面積６．９ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
５ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。ＩＴＯ成形体の
厚高部分に凹凸が生じ、これにより研削加工代の増大が
必要となった。
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
５ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。ＩＴＯ成形体の
厚高部分に凹凸が生じ、これにより研削加工代の増大が
必要となった。
【００３９】比較例４
比表面積６．０ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２．
０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。成形体に２５ｍ
ｍのクラックがあった。
２．５ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２．
０ｋｇ／ｃｍ2 で泥漿鋳込み成形した以外は実施例１と
同様に成形し、成形密度、密度むらを測定した。成形密
度、密度むらの測定結果を表１に示す。成形体に２５ｍ
ｍのクラックがあった。
【００４０】比較例５
比表面積６．３ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉５４００ｇ
と比表面積２．５ｍ2／ｇの酸化錫粉６００ｇ、イオン
交換水１８０ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ、２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交
換水１０８０ｇとポリカルボン酸系分散剤４８ｇを入
れ、１時間ボールミル混合した。１時間後にワックス系
バインダー６０ｇを添加し、１９時間ボールミル混合を
行った。スラリーにアミド系消泡剤３ｇを添加し減圧脱
気を行った。このスラリーの濃度は８１％だった。
と比表面積２．５ｍ2／ｇの酸化錫粉６００ｇ、イオン
交換水１８０ｇ及びジルコニアボールを樹脂製ポットに
入れ、２０時間ボールミル混合を行った。次にイオン交
換水１０８０ｇとポリカルボン酸系分散剤４８ｇを入
れ、１時間ボールミル混合した。１時間後にワックス系
バインダー６０ｇを添加し、１９時間ボールミル混合を
行った。スラリーにアミド系消泡剤３ｇを添加し減圧脱
気を行った。このスラリーの濃度は８１％だった。
【００４１】次に石膏型を用いてスラリー圧力１．０ｋ
ｇ／ｃｍ2 、成形時間９０分の条件で泥漿鋳込み成形
し、成形サイズ７１５×２５０×１１ｔ（５ｔ）ｍｍの
成形体を得た。成形体は室温で乾燥後、６００℃で３時
間脱脂を行った。成形密度は５８．２％だった。脱脂し
た成形体を酸素雰囲気にて１５５０℃で８時間焼成しＩ
ＴＯ焼結体を得た。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥
の有無について表２に示す。
ｇ／ｃｍ2 、成形時間９０分の条件で泥漿鋳込み成形
し、成形サイズ７１５×２５０×１１ｔ（５ｔ）ｍｍの
成形体を得た。成形体は室温で乾燥後、６００℃で３時
間脱脂を行った。成形密度は５８．２％だった。脱脂し
た成形体を酸素雰囲気にて１５５０℃で８時間焼成しＩ
ＴＯ焼結体を得た。ＩＴＯ焼結体の密度、焼結体の欠陥
の有無について表２に示す。
【００４２】比較例６
比表面積７．１ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．１ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間５０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度を測定し、焼
成した。成形密度は５９．４％だった。ＩＴＯ焼結体の
密度、焼結体の欠陥の有無について表２に示す。
３．１ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力１．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間５０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度を測定し、焼
成した。成形密度は５９．４％だった。ＩＴＯ焼結体の
密度、焼結体の欠陥の有無について表２に示す。
【００４３】比較例７
比表面積６．４ｍ2 ／ｇの酸化インジウム粉と比表面積
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間９０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度を測定し、焼
成した。成形密度は５７．８％だった。ＩＴＯ焼結体の
密度、焼結体の欠陥の有無について表２に示す。
３．０ｍ2 ／ｇの酸化錫粉を使用し、スラリー圧力２．
０ｋｇ／ｃｍ2 、成形時間９０分で泥漿鋳込み成形した
以外は実施例１と同様に成形し、成形密度を測定し、焼
成した。成形密度は５７．８％だった。ＩＴＯ焼結体の
密度、焼結体の欠陥の有無について表２に示す。
【００４４】成形時のスラリー圧力、成形時間、成形密
度、密度むらの値を表１に示す。スラリー圧力３ｋｇ／
ｃｍ2 以上で成形した場合、密度むらが１．５％以下の
非常に均一な成形体が得られる。樹脂及び無機粉体から
なる型を使用して、スラリー圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上
で成形すると密度むらが１．０％以下の成形体が得ら
れ、成形時間が短縮できるという利点がある。
度、密度むらの値を表１に示す。スラリー圧力３ｋｇ／
ｃｍ2 以上で成形した場合、密度むらが１．５％以下の
非常に均一な成形体が得られる。樹脂及び無機粉体から
なる型を使用して、スラリー圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上
で成形すると密度むらが１．０％以下の成形体が得ら
れ、成形時間が短縮できるという利点がある。
【００４５】比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウ
ムと、酸化錫からなるスラリーをスラリー加圧３ｋｇ／
ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形することにより、エロージ
ョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．５％以下
であり、相対密度５０％以上の成形体が得られる。また
比表面積３〜８ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、酸化錫か
らなるスラリーをスラリー加圧３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥
漿鋳込み成形することにより、エロージョン領域が厚高
な形状を持ち、密度むらが１．５％以下であり、相対密
度５８％以上の成形体が得られる。
ムと、酸化錫からなるスラリーをスラリー加圧３ｋｇ／
ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形することにより、エロージ
ョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．５％以下
であり、相対密度５０％以上の成形体が得られる。また
比表面積３〜８ｍ2 ／ｇの酸化インジウムと、酸化錫か
らなるスラリーをスラリー加圧３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥
漿鋳込み成形することにより、エロージョン領域が厚高
な形状を持ち、密度むらが１．５％以下であり、相対密
度５８％以上の成形体が得られる。
【００４６】スラリー圧力と焼成密度、焼成後の欠陥の
関係を表２に示す。スラリー圧力１〜２ｋｇ／ｃｍ2 で
成形した密度むらが１．８％以上ある成形体では、焼成
により表面の色むら、厚高部分の凹凸、クラック等が発
生しやすい。スラリー圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形し
た密度むらが１．０％以下の成形体では表面の色むら、
厚高部分の凹凸、クラック等の欠陥は発生しない。
関係を表２に示す。スラリー圧力１〜２ｋｇ／ｃｍ2 で
成形した密度むらが１．８％以上ある成形体では、焼成
により表面の色むら、厚高部分の凹凸、クラック等が発
生しやすい。スラリー圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形し
た密度むらが１．０％以下の成形体では表面の色むら、
厚高部分の凹凸、クラック等の欠陥は発生しない。
【００４７】実施例および比較例において測定したスラ
リー圧力と成形体の密度むらの関係を、図４に示す。
リー圧力と成形体の密度むらの関係を、図４に示す。
【００４８】成形体の密度分布について図５及び図６に
示す。図５はスラリー圧力１．５ｋｇ／ｃｍ2 で成形し
た成形体の形状と成形密度の関係を示す。スラリー圧力
１．５ｋｇ／ｃｍ2 で成形した場合、厚高部分の脱水が
不十分となり成形密度が低くなる。成形密度が低い箇所
では焼成による収縮率が大きく、焼成密度も低くなるた
め凹凸や色むらが発生しやすい。また成形体の端面及び
厚高部分で密度のばらつき（標準偏差）が大きく、焼成
時の収縮の差によるクラックが発生しやすい。
示す。図５はスラリー圧力１．５ｋｇ／ｃｍ2 で成形し
た成形体の形状と成形密度の関係を示す。スラリー圧力
１．５ｋｇ／ｃｍ2 で成形した場合、厚高部分の脱水が
不十分となり成形密度が低くなる。成形密度が低い箇所
では焼成による収縮率が大きく、焼成密度も低くなるた
め凹凸や色むらが発生しやすい。また成形体の端面及び
厚高部分で密度のばらつき（標準偏差）が大きく、焼成
時の収縮の差によるクラックが発生しやすい。
【００４９】図６にスラリー圧力２２ｋｇ／ｃｍ2 で成
形した成形体の厚さ形状と成形密度の関係を示す。スラ
リー圧力２２ｋｇ／ｃｍ2 で成形した場合、厚高部分の
脱水が十分に行われるため厚さによらず成形密度がほぼ
均一になる。このような成形体では焼成による収縮の
差、密度むらが小さく欠陥のない良好な焼結体が得られ
る。尚、スラリー圧力４ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形した成
形体の形状と成形密度の関係は図６と同様の結果にな
る。
形した成形体の厚さ形状と成形密度の関係を示す。スラ
リー圧力２２ｋｇ／ｃｍ2 で成形した場合、厚高部分の
脱水が十分に行われるため厚さによらず成形密度がほぼ
均一になる。このような成形体では焼成による収縮の
差、密度むらが小さく欠陥のない良好な焼結体が得られ
る。尚、スラリー圧力４ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形した成
形体の形状と成形密度の関係は図６と同様の結果にな
る。
【００５０】
【表１】
【００５１】
【表２】
【００５２】
【発明の効果】本発明によれば、泥漿鋳込み成形法にお
ける酸化インジウム粉の比表面積を限定しスラリー圧力
を適正範囲に選択することにより冷間静水圧プレス加工
を必要とせず、エロージョン領域を厚高にした形状をも
つ密度むらが小さく、厚高部に凹凸のないＩＴＯ成形体
が得られる。このＩＴＯ成形体を酸素雰囲気下で焼成す
ることにより良好な高密度焼結体が得られる。
ける酸化インジウム粉の比表面積を限定しスラリー圧力
を適正範囲に選択することにより冷間静水圧プレス加工
を必要とせず、エロージョン領域を厚高にした形状をも
つ密度むらが小さく、厚高部に凹凸のないＩＴＯ成形体
が得られる。このＩＴＯ成形体を酸素雰囲気下で焼成す
ることにより良好な高密度焼結体が得られる。
【００５３】
【図１】本発明に係る加圧鋳込み法によるＩＴＯターゲ
ットの製造工程及び密度測定試料のサンプリングに関す
る説明図である。
ットの製造工程及び密度測定試料のサンプリングに関す
る説明図である。
【図２】本発明の泥漿鋳込み法で得られる成形体の形状
を説明する図である。
を説明する図である。
【図３】成形密度分布を測定するときの試料のサンプリ
ング方法を示す図である。
ング方法を示す図である。
【図４】スラリー圧力と成形体の密度むらの関係を示す
図である。
図である。
【図５】スラリー圧力１〜２ｋｇ／ｃｍ2 で成形したと
きの厚さ形状と成形密度の関係を比較例２のデータを用
いて示した図である。
きの厚さ形状と成形密度の関係を比較例２のデータを用
いて示した図である。
【図６】スラリー圧力４ｋｇ／ｃｍ2 以上で成形したと
きの厚さ形状と成形密度の関係を実施例７のデータを用
いて示した図である。
きの厚さ形状と成形密度の関係を実施例７のデータを用
いて示した図である。
斜線 厚高部分
横線 平板部分
Ｌ 長軸長さ
Ｗ 短軸長さ
Ｔ１ 厚高部分厚さ
Ｔ２ 平板部分厚さ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4G030 AA34 AA39 BA02 BA15 CA07
CA08 GA08 GA09 GA14 GA16
GA18 GA20 GA25 GA27 GA33
PA21
4G052 CA05 CB14 CC02 CC05 CC15
4K029 BA45 BA47 BC09 DC05 DC09
DC12
5G323 BA02 BB06 BC01
Claims (9)
- 【請求項１】酸化インジウムと酸化錫からなるスラリー
に圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で石膏型を用いて泥漿鋳込み
成形して得られる、エロージョン領域が厚高な形状を持
ち、密度むらが１．５％以下であることを特徴とするＩ
ＴＯ成形体。 - 【請求項２】酸化インジウムと酸化錫からなるスラリー
に圧力１０ｋｇ／ｃｍ2 以上で樹脂及び無機粉体からな
る型を用いて泥漿鋳込み成形して得られる、エロージョ
ン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが１．０％以下で
あることを特徴とするＩＴＯ成形体。 - 【請求項３】比表面積３〜１５ｍ2 ／ｇの酸化インジウ
ムと、比表面積１〜８ｍ2 ／ｇの酸化錫からなるスラリ
ーに圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得ら
れる、エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むら
が１．５％以下で、かつ相対密度５０％以上であること
を特徴とするＩＴＯ成形体。 - 【請求項４】比表面積３〜８ｍ2 ／ｇの酸化インジウム
と、比表面積１〜８ｍ2 ／ｇの酸化錫からなるスラリー
に圧力３ｋｇ／ｃｍ2 以上で泥漿鋳込み成形して得られ
る、エロージョン領域が厚高な形状を持ち、密度むらが
１．５％以下で、かつ相対密度５８％以上であることを
特徴とするＩＴＯの成形体。 - 【請求項５】（ａ）原料として酸化インジウム粉と酸化
錫粉を用い、酸化インジウムの比表面積を３〜１５ｍ2
／ｇ、酸化錫の比表面積を１〜８ｍ2 ／ｇに仮焼処理す
る原料粉の仮焼工程、 （ｂ）仮焼した酸化インジウムと酸化錫およびイオン交
換水を樹脂製ポットに入れ、乾式ボールミルで粉砕、混
合し、その後水、分散剤およびバインダーを加えて湿式
ボールミルでスラリーを調製してスラリーの粘度を２０
０ｃｐ以下、濃度を６５％以上にするスラリーの調製工
程、 （ｃ）調製したスラリーに消泡剤を添加して滅圧脱気す
る工程、 （ｄ）脱気したスラリーを成形型を用いた加圧による泥
漿鋳込み法により、エロージョン領域が厚高部分を有す
るＩＴＯ成形体を成形する成形工程、および（ｅ）厚高
部分を有するＩＴＯ成形体を室温で乾燥後、脱脂炉を用
いて４００〜６００℃で脱脂する工程、からなることを
特徴とするＩＴＯ成形体の製造方法。 - 【請求項６】（ｄ）工程において、成形型として石膏型
が使用され、スラリー加圧圧力が３ｋｇ／ｃｍ2 以上１
０ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、エロージョン領域が厚高部
分を有するＩＴＯ成形体の密度むらが１．５％以下であ
ることを特徴とする請求項５に記載のＩＴＯ成形体の製
造方法。 - 【請求項７】（ｄ）工程において、成形型として樹脂お
よび無機粉体からなる型が使用され、スラリー加圧圧力
が１０ｋｇ／ｃｍ2 以上１００ｋｇ／ｃｍ2 以下であ
り、エロージョン領域が厚高部分を有するＩＴＯ成形体
の密度むらが１．０％以下であることを特徴とする請求
項５に記載のＩＴＯ成形体の製造方法。 - 【請求項８】石膏型の表面、または樹脂および無機粉体
からなる型の表面に１〜１０μｍの気孔をもつ成形型を
使用することを特徴とする請求項６または７に記載のＩ
ＴＯ成形体の製造方法。 - 【請求項９】請求項１〜８で得られたＩＴＯ成形体を酸
素雰囲気下で１４００〜１６００℃の温度で焼成するこ
とを特徴とする相対密度９８．５％以上のＩＴＯ焼結体
の製造方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10237499A JP2000061917A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | Ｉｔｏ成形体およびその製造方法並びにｉｔｏ焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10237499A JP2000061917A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | Ｉｔｏ成形体およびその製造方法並びにｉｔｏ焼結体の製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061917A true JP2000061917A (ja) | 2000-02-29 |
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ID=17016232
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10237499A Pending JP2000061917A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | Ｉｔｏ成形体およびその製造方法並びにｉｔｏ焼結体の製造方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2000061917A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004090051A1 (ja) * | 2003-04-09 | 2006-07-06 | 株式会社ホソカワ粉体技術研究所 | 粉体塗料の製造方法、および当該製造方法により得られる粉体塗料 |
| JP2008255480A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Mitsubishi Materials Corp | 蒸着材及びその製造方法 |
| GB2482544A (en) * | 2010-08-06 | 2012-02-08 | Advanced Tech Materials | Making high density indium tin oxide sputtering targets |
| WO2016117688A1 (ja) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | Toto株式会社 | 鋳込成形体とその製造方法 |
| CN111006514A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-14 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种承烧板及平面陶瓷靶材的烧结方法 |
-
1998
- 1998-08-24 JP JP10237499A patent/JP2000061917A/ja active Pending
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| CN111006514A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-14 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种承烧板及平面陶瓷靶材的烧结方法 |
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