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FR3063385B1 - Circuit integre avec detection d'amincissement par la face arriere et condensateurs de decouplage - Google Patents

Circuit integre avec detection d'amincissement par la face arriere et condensateurs de decouplage Download PDF

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FR3063385B1 FR1751595A FR1751595A FR3063385B1 FR 3063385 B1 FR3063385 B1 FR 3063385B1 FR 1751595 A FR1751595 A FR 1751595A FR 1751595 A FR1751595 A FR 1751595A FR 3063385 B1 FR3063385 B1 FR 3063385B1
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Abstract

Circuit intégré, comprenant un substrat semiconducteur (SB) ayant une face arrière (FR) et une face avant (FV) et incluant un ensemble d'au moins un caisson semiconducteur (CS1, CS2) électriquement isolé du reste (3) du substrat, et un dispositif (DIS) de détection d'un amincissement du substrat par sa face arrière, ledit dispositif (DIS) comportant un groupe d'au moins une première tranchée (TR11) s'étendant dans ledit au moins un caisson entre deux endroits de sa périphérie et depuis ladite face avant jusqu'à un emplacement situé à distance du fond dudit au moins un caisson, ladite au moins une première tranchée (TR11) étant électriquement isolée du caisson, et des moyens de détection (4) configurés pour mesurer une grandeur physique représentative de la résistance électrique du caisson entre deux zones de contact (ZC1, ZC2) respectivement situées de part et d'autre dudit groupe d'au moins une première tranchée.
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