ES2308330T3 - Procedimiento para el aislamiento electrico de un sustrato para un modulo de potencia. - Google Patents
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Abstract
Procedimiento para el aislamiento eléctrico interior de un sustrato (20) para un módulo semiconductor de potencia con una envolvente aislante (60) a modo de bastidor con tapa y con un sustrato aislante (20) que comprende, como mínimo, un circuito impreso (26) y, como mínimo, un componente semiconductor de potencia (30) dispuesto sobre el mismo que está conectado de forma adaptada al circuito, preferentemente, mediante conexiones de unión (32) a elementos de conexión (80), otros circuitos impresos (26) y/o elementos semiconductores de potencia (30), caracterizado por los siguientes pasos substanciales: - Formación del sustrato (20) con, como mínimo, un elemento semiconductor de potencia (30) y las conexiones (32) adecuadas al circuito; - Recubrimiento del sustrato (20) con una masa aislante (70) dieléctrica y viscosa por medio de un procedimiento de colada; - Inducción del reticulado de la masa aislante (70); - Giro del sustrato (20) alrededor de un eje longitudinal (eje "x") para que la masa aislante (70) envuelva de forma cuidadoso las conexiones de unión (32) existentes y la masa aislante (70) sobrante pueda escurrirse; - Disposición del sustrato (20) en la caja (60) del módulo semiconductor de potencia.
Description
Procedimiento para el aislamiento eléctrico de
un sustrato para un módulo de potencia.
La invención se refiere a un procedimiento para
el aislamiento eléctrico interior de un sustrato para un módulo
semiconductor de potencia. Módulos semiconductores de potencia de
este tipo comprenden una caja de plástico aislante a modo de
bastidor con una tapa y un sustrato aislante. Sobre el sustrato está
dispuesto, como mínimo, un circuito impreso y, sobre éste, como
mínimo, un elemento semiconductor de potencia. Dicho elemento
semiconductor de potencia está conectado con elementos de conexión,
otros circuitos impresos y/o otros elementos semiconductores de
potencia. El estado de la técnica de conexiones internas de este
tipo está formado por conexiones de unión (soldaduras sin
aporte).
El estado de la técnica del aislamiento interior
de módulos semiconductores de potencia de este tipo está formado
por una masa aislante dieléctrica que está realizada como masa de
sellado sólida o masa de sellado blanda o como una combinación
entre ambos. Debido a su composición química y el peligro que ello
entraña para la salud, el masa de sellado sólida se utiliza cada
vez menos. Como masa de sellado blanda se han impuesto diferentes
variantes de caucho de silicona como estado de la técnica.
A menudo se utilizan variantes de caucho de
silicona de dos componentes que se mezclan en un dispositivo
adecuado sólo poco antes de proceder al rellenado del módulo
semiconductor de potencia. El rellenado de módulos semiconductores
de potencia y, por lo tanto, su aislamiento interior, se lleva a
cabo hasta una altura de relleno que asegura el recubrimiento
cuidadoso de todos los componentes relevantes a aislar.
Lo que resulta inconveniente en el mencionado
aislamiento interior de módulos semiconductores de potencia, según
el estado de la técnica, es la gran proporción de masa de sellado
que no es necesaria para el aislamiento, sino que está dispuesta en
el interior del módulo semiconductor de potencia sólo para conseguir
un relleno homogéneo.
También se conocen otros métodos para el
aislamiento eléctrico. Según la patente JP 61258436 se sumergen los
hilos eléctricos a aislar del componente en la masa de sellado y, a
continuación, se reparte la masa de sellado a lo largo de los hilos
invirtiendo el componente (véase resumen).
De acuerdo con la patente EP 0 214 621 se aplica
la masa de sellado y, a continuación, se invierte el componente
para dejar que la masa sobrante se escurra (véase columna 3, líneas
31-55). Según la patente DE 40 40 822, una vez
aplicada la masa de sellado, se gira el componente alrededor del eje
"z" (procedimiento "spin-on"). De esta
manera, la masa de sellado queda repartida homogéneamente y
parcialmente proyectada hacia fuera (véase resumen).
La presente invención tiene como objetivo dar a
conocer un procedimiento para el aislamiento eléctrico interior de
un sustrato para un módulo semiconductor de potencia que,
manteniendo las mismas propiedades eléctricas, reduce la cantidad
de masa aislante utilizada, como mínimo, a la mitad.
Este problema se resuelve mediante una
disposición, según la reivindicación 1, y realizaciones especiales
se encuentran en las reivindicaciones dependientes. La idea
fundamental de la invención se basa en un módulo semiconductor de
potencia destinado a ser montado directamente sobre un cuerpo de
refrigeración, presentando el módulo semiconductor de potencia una
caja de plástico aislante a modo de bastidor. Esta caja de plástico
presenta, asimismo, una tapa unida con la caja preferentemente
formando una sola pieza con la misma. La segunda superficie de
recubrimiento está formada por un sustrato que consta de una capa
aislante y, como mínimo, una capa metálica dispuesta sobre ésta y
que está dirigida hacia el interior del módulo semiconductor de
potencia. Esta capa metálica puede tener una estructura interna y
constituye como mínimo un circuito impreso del módulo semiconductor
de potencia. Sobre este circuito impreso está dispuesto, como
mínimo, un elemento semiconductor de potencia que está conectado de
forma adecuada para el circuito con, como mínimo, un elemento de
conexión que conduce hacia fuera, otro circuito impreso y/u otro
elemento semiconductor de potencia.
La primera realización del procedimiento, según
la invención, presenta los siguientes pasos:
- Formación del sustrato. A tal efecto, se
dispone preferentemente mediante soldadura, como mínimo, un elemento
semiconductor de potencia sobre un circuito impreso. A
continuación, se establecen las conexiones adecuadas al circuito
entre el elemento semiconductor de potencia, los elementos de
conexión, otros circuitos impresos y/u otros elementos
semiconductores de potencia. Estas conexiones se realizan
preferentemente mediante uniones de unión de hilo o cinta.
- Recubrimiento del sustrato con una masa
aislante dieléctrica y viscosa. Para ello, han resultado ser
ventajosos los procedimientos de colada, dado que en este caso la
masa aislante también rellena de forma cuidadoso, por ejemplo, las
zonas que están recubiertas por los hilos de conexión. Para acelerar
el procedimiento de colada, éste puede ser asistido por
presión.
- Inducción del reticulado de la masa aislante.
De forma ventajosa, según el procedimiento de la invención, se
utilizan masas aislantes cuya reticulación es inducida por la acción
de luz ultravioleta o por temperatura. Una reticulación completa de
la masa aislante ha de ser evitada en este momento del
procedimiento.
- Giro del sustrato alrededor de su eje
longitudinal (eje "x"). De esta manera puede escurrir la masa
aislante sobrante y las conexiones de unión existentes quedan
envueltas de forma cuidadoso por la masa aislante. En el transcurso
de este proceso de escurrido y recubrimiento la masa aislante sigue
reticulando. Durante esta fase del procedimiento, una reticulación
completa es posible, sin embargo, es preferente que durante esta
fase del procedimiento la reticulación todavía no sea completa.
- Disposición del sustrato en la caja del módulo
semiconductor de potencia. Si la masa aislante todavía no ha
reticulado por completo, ésta actuará ventajosamente como sustancia
adhesiva que establece una unión adhesiva entre la caja y el
sustrato.
El procedimiento de colada resultará muy
ventajoso, cuando es asistido por presión y/o cuando se aplica un
procedimiento de colada centrífuga, según el estado de la técnica,
ya que en este caso la masa aislante quedará repartida rápida y
homogéneamente sobre el sustrato.
La segunda realización del procedimiento, según
la invención, presenta los siguientes pasos substanciales:
- Formación del sustrato, según la primera
realización.
- Inmersión del sustrato con el lado dotado de,
como mínimo, un elemento semiconductor de potencia en la masa
aislante dieléctrica. De esta forma, la masa aislante penetra en
todos los intersticios como los que se hallan, por ejemplo, por
debajo de las conexiones de unión. Mientras se saca el sustrato de
la masa y durante un tiempo de espera adicional opcional, la masa
aislante sobrante puede escurrirse, quedando en especial también las
conexiones de unión existentes envueltas de masa aislante.
- Inducción del reticulado de la masa aislante,
según la primera realización. Con respecto al paso anterior, se
mantiene la posición del sustrato con el lado dotado del elemento
semiconductor hacia abajo. De esta manera se asegura que se
consigue un recubrimiento suficiente de las conexiones de unión.
Análogamente a la primera realización, en esta fase del
procedimiento resulta preferente que la reticulación no sea todavía
completa.
- Escurrido de masa aislante sobrante y
recubrimiento cuidadoso de las conexiones de unión existentes con
masa aislante de forma análoga a la primera realización.
- Disposición del sustrato en la caja del módulo
semiconductor de potencia, según la primera realización.
Lo que resulta ventajoso en ambas realizaciones
del procedimiento, según la invención, es que todas las partes a
aislar del módulo semiconductor de potencia, en especial también las
conexiones de unión, queden suficientemente bañadas y recubiertas
con la masa aislante dieléctrica.
Asimismo resulta ventajoso en ambas
realizaciones del procedimiento, según la invención, que durante el
escurrido el sustrato sea puesto temporalmente en rotación
alrededor de su eje vertical (dirección "z") para acelerar, de
esta manera, el escurrido.
Asimismo, resulta ventajoso aplicar un vacío al
sustrato durante la fase del escurrido, dado que de esta manera las
inclusiones de gas existentes eventualmente en la masa aislante
serán eliminadas de forma eficaz.
A continuación, se explicará la invención más
detalladamente en relación con las figuras 1 y 2.
En la figura 1 se muestra un corte a través de
un módulo semiconductor de potencia, según el estado de la
técnica.
En la figura 2 se muestra un módulo
semiconductor de potencia con un aislamiento interior realizado de
acuerdo con la invención.
En la figura 1 se muestra un corte a través de
un módulo semiconductor de potencia, según el estado de la técnica.
Se muestran un cuerpo de refrigeración (10), un sustrato (20) del
módulo semiconductor de potencia dispuesto sobre el mismo, así como
una caja (60) que enmarca y recubre éste.
El sustrato (20) se compone de un cuerpo de
material aislante (24), preferentemente, de una cerámica industrial
como el óxido de aluminio o el nitrito de aluminio, así como de
capas metálicas (22, 26) dispuestas a ambos lados de este cuerpo
aislante. Las capas metálicas están aplicadas sobre el cuerpo de
material aislante (24) por medio del conocido procedimiento DCB.
Preferentemente, la capa metálica (26) dirigida hacia el interior
de la caja (60) presenta una estructura interna y constituye, por lo
tanto, circuitos impresos aislados uno del otro. Estos circuitos
impresos presentan elementos semiconductores de potencia (30) como
diodos, tiristores, transistores bipolares de puerta aislada
(IGBTs) y/o MOSFETs y componentes de sensor (50) que están
dispuestos sobre los mismos mediante uniones de soldadura blanda.
Otras conexiones adecuadas al circuito de los elementos
semiconductores de potencia (30) con otros circuitos impresos (26)
se realizan mediante uniones de unión de hilo (32).
Los elementos de unión para la conexión
eléctrica de los circuitos impresos (26) del sustrato (20) con
líneas de alimentación externas están formados por resortes de
contacto (70).
El aislamiento interior del módulo semiconductor
de potencia está formado por un caucho de silicona (70) que rellena
el interior del módulo semiconductor de potencia hasta
aproximadamente media altura. La superficie (72) del caucho de
silicona que está dirigida en alejamiento del sustrato (20)
constituye, por lo tanto, una superficie plana.
En la figura 2 se muestra un módulo
semiconductor de potencia con un aislamiento interior realizado
según la invención. El cuerpo de refrigeración (10) y el sustrato
(20) con los elementos semiconductores de potencia (30), así como
sus conexiones adecuadas al circuito están realizados igual que en
la figura 1.
La masa aislante (70) se ha aplicado sobre el
sustrato (20) de acuerdo con una de las dos realizaciones del
procedimiento de la invención. La masa aislante (70) ha sido
aplicada hasta el borde del sustrato (20) y no había reticulado
todavía completamente antes de colocar el sustrato (20) en la caja
(60). La caja (60) está realizada de tal manera que con esta
disposición entre sí queda un hueco (62) a lo largo de una parte del
ancho de la caja. Tras su endurecimiento completo, la masa aislante
(70) dispuesta en este hueco (62) actúa, en este caso, como unión
adhesiva entre la caja (60) y el sustrato (20).
La masa aislante (70) aplicada mediante el
procedimiento de la invención presenta una superficie (74) que se
adapta al contorno del sustrato (20) con los elementos
semiconductores de potencia (30) y las conexiones de unión (32)
dispuestas sobre el mismo. Debido al procedimiento de la invención y
una viscosidad de la masa aislante (70) adaptada para ello entre
400 y 1400 mPas, todas las superficies del sustrato (20), todos los
elementos semiconductores de potencia (30) así como, sobre todo,
todas las conexiones de unión (32) quedan suficientemente
recubiertas para su aislamiento eléctrico.
Asimismo, la masa aislante (70) presenta los
siguientes parámetros: una resistencia de paso específica de más de
10^{15} ohm y una constante dieléctrica entre 2,5 y 3.
Es evidente que, mediante el procedimiento de la
invención para la formación de un aislamiento interior del sustrato
de un módulo semiconductor de potencia, la cantidad de masa aislante
(70) utilizada pudo ser reducida en más de la mitad sin modificar
las propiedades eléctricas.
Claims (8)
1. Procedimiento para el aislamiento eléctrico
interior de un sustrato (20) para un módulo semiconductor de
potencia con una envolvente aislante (60) a modo de bastidor con
tapa y con un sustrato aislante (20) que comprende, como mínimo, un
circuito impreso (26) y, como mínimo, un componente semiconductor de
potencia (30) dispuesto sobre el mismo que está conectado de forma
adaptada al circuito, preferentemente, mediante conexiones de unión
(32) a elementos de conexión (80), otros circuitos impresos (26) y/o
elementos semiconductores de potencia (30), caracterizado
por los siguientes pasos substanciales:
- Formación del sustrato (20) con, como mínimo,
un elemento semiconductor de potencia (30) y las conexiones (32)
adecuadas al circuito;
- Recubrimiento del sustrato (20) con una masa
aislante (70) dieléctrica y viscosa por medio de un procedimiento de
colada;
- Inducción del reticulado de la masa aislante
(70);
- Giro del sustrato (20) alrededor de un eje
longitudinal (eje "x") para que la masa aislante (70) envuelva
de forma cuidadoso las conexiones de unión (32) existentes y la masa
aislante (70) sobrante pueda escurrirse;
- Disposición del sustrato (20) en la caja (60)
del módulo semiconductor de potencia.
2. Procedimiento para el aislamiento eléctrico
interior de un sustrato (20) para un módulo semiconductor de
potencia con una envolvente aislante (60) a modo de bastidor con
tapa y con un sustrato (20) aislante que comprende, como mínimo, un
circuito impreso (26) y, como mínimo, un elemento semiconductor de
potencia (30) dispuesto sobre el mismo que está conectado de forma
adecuada al circuito, preferentemente, mediante conexiones de unión
(32) con elementos de conexión (80), otros circuitos impresos (26)
y/o elementos semiconductores de potencia (30),
caracterizado por los siguientes pasos substanciales:
- Formación del sustrato (20) con, como mínimo,
un elemento semiconductor de potencia (30) y las conexiones (32)
adecuadas al circuito;
- Inmersión del sustrato (20) con el lado dotado
de, como mínimo, un elemento semiconductor de potencia (30) en una
masa aislante (70) dieléctrica y viscosa;
- Inducción del reticulado de la masa aislante
(70);
- Recubrimiento cuidadoso de las conexiones de
unión (32) existentes con la masa aislante (70) y escurrido de la
masa aislante (70) sobrante;
- Disposición del sustrato (20) en la caja (60)
del módulo semiconductor de potencia.
3. Procedimiento, según la reivindicación 1 ó 2,
en el que el sustrato (20) es puesto temporalmente en rotación
alrededor de su eje vertical (eje "z") acelerando, de esta
manera, el escurrido.
4. Procedimiento, según la reivindicación 1 ó 2,
en el que la reticulación de la masa aislante adecuada (70) es
inducida por la acción de una luz ultravioleta.
5. Procedimiento, según la reivindicación 1 ó 2,
en el que la reticulación de la masa aislante adecuada (70) es
inducida por la aplicación de calor.
6. Procedimiento, según la reivindicación 1 ó 2,
en el que los respectivos pasos de escurrido se realizan bajo
aplicación de un vacío.
7. Procedimiento, según la reivindicación 1 ó 2,
en el que la masa aislante (70) presenta una resistencia de paso
específica de más de 10^{15} ohm, una viscosidad de entre 400 y
1400 mPas y una constante dieléctrica entre 2,5 y 3.
8. Procedimiento, según la reivindicación 1, en
el que el recubrimiento del sustrato (20) con la masa aislante
dieléctrica (70) se realiza mediante un procedimiento de colada
centrífuga asistida por presión.
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DE102005059360B4 (de) * | 2005-12-13 | 2011-09-22 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Verguss von Schaltungsanordnungen |
DE102006006424B4 (de) * | 2006-02-13 | 2011-11-17 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Anordnung mit mindestens einem Leistungshalbleitermodul und einem Kühlbauteil und zugehöriges Herstellungsverfahren |
DE102006006425B4 (de) * | 2006-02-13 | 2009-06-10 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul in Druckkontaktausführung |
FR2905379B1 (fr) * | 2006-09-04 | 2008-11-07 | Bertin Technologies Soc Par Ac | Dispositif de collecte et de separation de particules et de microorganismes presents dans l'air ambiant |
US8164176B2 (en) * | 2006-10-20 | 2012-04-24 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor module arrangement |
DE102006058692A1 (de) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul mit Kontaktfedern |
DE102007024159B3 (de) * | 2007-05-24 | 2008-11-06 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul |
DE102008017454B4 (de) | 2008-04-05 | 2010-02-04 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul mit hermetisch dichter Schaltungsanordnung und Herstellungsverfahren hierzu |
DE102009000884B3 (de) | 2009-02-16 | 2010-10-07 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Halbleitermodul mit Gehäuse aus präkeramischem Polymer |
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DE102009046858B3 (de) * | 2009-11-19 | 2011-05-05 | Infineon Technologies Ag | Leistungshalbleitermodul und Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls |
US8511851B2 (en) * | 2009-12-21 | 2013-08-20 | Cree, Inc. | High CRI adjustable color temperature lighting devices |
DE102011004544B4 (de) | 2011-02-22 | 2013-06-13 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Schaltungsanordnung |
JP5762902B2 (ja) | 2011-09-16 | 2015-08-12 | 日本発條株式会社 | 接触端子 |
JP6825306B2 (ja) * | 2016-11-02 | 2021-02-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
DE102018133456A1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zum Verkapseln mindestens eines Trägersubstrats, Elektronikmodul und Werkzeug zum Verkapseln eines Trägersubstrats |
DE102020131493B4 (de) | 2020-11-27 | 2023-04-13 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Verkettete Anlage und Verfahren zur inneren elektrischen Isolation einer leistungselektronischen Schalteinrichtung |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61258436A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-15 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
US4709301A (en) * | 1985-09-05 | 1987-11-24 | Nec Corporation | Package |
JPH03177376A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-08-01 | Japan Gore Tex Inc | セラミック基板 |
DE4040822A1 (de) * | 1990-12-20 | 1992-07-02 | Bosch Gmbh Robert | Duennschichtueberzug ueber chips |
JPH04252041A (ja) * | 1991-01-28 | 1992-09-08 | Nec Corp | 混成集積回路の製造方法 |
JPH06302020A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-28 | Dainippon Ink & Chem Inc | 回転塗布方法および回転塗布装置 |
JP2994219B2 (ja) * | 1994-05-24 | 1999-12-27 | シャープ株式会社 | 半導体デバイスの製造方法 |
US5646071A (en) * | 1995-01-19 | 1997-07-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Equipment and method for applying a liquid layer |
JP3168901B2 (ja) * | 1996-02-22 | 2001-05-21 | 株式会社日立製作所 | パワー半導体モジュール |
JPH1041337A (ja) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 実装基板の製造方法およびその実装構造 |
JP3488345B2 (ja) * | 1996-08-20 | 2004-01-19 | 信越化学工業株式会社 | 硬化性シリコーンゴム組成物、その硬化物及びそれにより封止された樹脂封止型半導体装置 |
KR19980066284A (ko) * | 1997-01-22 | 1998-10-15 | 김광호 | 포토테지스트 도포장치 및 도포방법 |
US5916631A (en) * | 1997-05-30 | 1999-06-29 | The Fairchild Corporation | Method and apparatus for spin-coating chemicals |
US6441479B1 (en) * | 2000-03-02 | 2002-08-27 | Micron Technology, Inc. | System-on-a-chip with multi-layered metallized through-hole interconnection |
JP3705122B2 (ja) * | 2000-05-16 | 2005-10-12 | Jsr株式会社 | 有機ケイ素系重合体の製造方法、膜形成用組成物、膜の形成方法およびシリカ系膜 |
US6549409B1 (en) * | 2000-08-21 | 2003-04-15 | Vlt Corporation | Power converter assembly |
JP2002076190A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-15 | Toshiba Corp | 回路基板、半導体装置及びこれらの製造方法 |
US6445353B1 (en) * | 2000-10-30 | 2002-09-03 | Weinbrenner, Inc. | Remote controlled actuator and antenna adjustment actuator and electronic control and digital power converter |
JP2002252221A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 配線保護膜の形成方法及び電子部品 |
US6707671B2 (en) * | 2001-05-31 | 2004-03-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power module and method of manufacturing the same |
JP3731511B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-01-05 | 株式会社日立製作所 | コネクタ一体型パワーモジュール |
US6727594B2 (en) * | 2002-01-02 | 2004-04-27 | Intel Corporation | Polybenzoxazine based wafer-level underfill material |
US7074726B2 (en) * | 2002-01-31 | 2006-07-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate treating method and substrate treating apparatus |
JP3903850B2 (ja) * | 2002-06-10 | 2007-04-11 | 三菱電機株式会社 | インバーターモジュール |
US7332797B2 (en) * | 2003-06-30 | 2008-02-19 | Intel Corporation | Wire-bonded package with electrically insulating wire encapsulant and thermally conductive overmold |
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