[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

EP1251997B1 - Polierkopf für eine poliermaschine - Google Patents

Polierkopf für eine poliermaschine Download PDF

Info

Publication number
EP1251997B1
EP1251997B1 EP01909601A EP01909601A EP1251997B1 EP 1251997 B1 EP1251997 B1 EP 1251997B1 EP 01909601 A EP01909601 A EP 01909601A EP 01909601 A EP01909601 A EP 01909601A EP 1251997 B1 EP1251997 B1 EP 1251997B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
polishing
drive shaft
polishing head
head according
disc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP01909601A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1251997B2 (de
EP1251997A1 (de
Inventor
Christoph KÜBLER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Vision International GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7629520&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP1251997(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Priority to EP03025546A priority Critical patent/EP1386694B2/de
Publication of EP1251997A1 publication Critical patent/EP1251997A1/de
Publication of EP1251997B1 publication Critical patent/EP1251997B1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1251997B2 publication Critical patent/EP1251997B2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/02—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor by means of tools with abrading surfaces corresponding in shape with the lenses to be made
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B45/00—Means for securing grinding wheels on rotary arbors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load

Definitions

  • the invention relates to a polishing head for a polishing machine according to the preamble of 1.
  • a film head is known from DE 1 239 211 B. known.
  • EP 727 280 B1 describes a polishing machine for polishing spherical lens surfaces known.
  • This polishing machine has an upper carriage which can be moved in an x direction on.
  • This slide is a tool spindle that can be rotated around a vertical axis is connected.
  • the tool spindle is used to hold a Dressing tool.
  • To hold the workpiece or the lens is one with a Work piece spindle connected to another slide.
  • the workpiece spindle and the Workpiece spindle with the dressing tool are at a fixed distance from each other arranged.
  • the carriage carrying these two spindles can be moved in the z direction.
  • WO 97/00155 describes a polishing machine and a method for polishing optical ones Known areas.
  • the buffing machine has a buffing head with an elastic Membrane is provided.
  • the membrane is pressurized Controlled application of force to the surface to be polished.
  • the disadvantage of this Polishing machine that the size of the surface of the surface to be polished Depends on the pressurization.
  • the polishing head with the elastic membrane is moved by an associated spring in the direction of the to be polished Prestressed surface.
  • To provide tiltability of the elastic membrane around a point on the axis of rotation in the area of the flexible membrane Hydraulic cylinder provided.
  • the force applied to the surface to be polished is by assigned sensors, rotating strips and solenoite.
  • the polishing of the optical surface is carried out in Dependence on the speed of the polishing head and on the to be polished Surface contact pressure controlled by pressurization.
  • DE 1 239 211 B discloses a gimbal-mounted optical grinding or polishing tool known.
  • An alignment member is provided to align the polishing plate elastic material.
  • This alignment member does not practice the tool from the spindle lifting force. It can easily be designed so that even a force can Tool on the all-round movable joint, e.g. B. draws a ball joint, wherein however the alignment force is so weak that the setting of the tool on it Workpiece under the effect of the working pressure is possible.
  • the use of such Tool allows the automatic loading of an optical grinding machine, because that Workpiece remains rigid and axially immobile on the spindle and without lateral Tilting away takes a precisely defined position relative to the loading device.
  • the object of the invention is a polishing head for polishing a free-form surface to provide a high quality optical surface can be polished and by using a constant polishing abrasion on the entire optical to be polished Surface can be guaranteed.
  • the polishing plate is connected in a rotationally fixed manner to the drive shaft it is possible that the polishing plate follows the surface contour on the one to be machined Surface rests. Due to the articulated connection, the polishing plate can tilt run so that it has a maximum polishing area on the surface to be polished rests.
  • the non-rotatable articulated connection Connect the polishing plate to the drive shaft using a spherical imbus joint. Because of this Ball imbus joint, it is possible to set the pivot point around which the polishing plate is in any Directions can be pivoted as close as possible to the surface to be polished Arrange polishing plates.
  • the close arrangement of the articulated connection to the polishing Surface of the polishing plate has the advantage that the polishing plate has the surface contours can respond quickly.
  • one or more Assign locking element to secure the connection between the drive shaft and the polishing head.
  • the Locking element ensures that the Kugelimbuskopf from the assigned recess can't slip out. This allows the polishing plate to move from the to without any problems polished surface to be removed.
  • Detachability of the connection can also easily different polishing plates against each other be replaced.
  • a piston assigned to the pressure chamber is operatively connected to the drive shaft so that pressurization of the Pressure chamber is transferred to the polishing plate via the drive shaft.
  • the drive shaft in the hollow cylinder Bearing elements e.g. a roller bearing or a ball bearing translationally light to store it movably. This storage ensures that when pressurized the pressure chamber, the drive shaft moves translationally in the hollow cylinder can move and thus the initiated translational movement or Force application is almost completely transferred to the polishing plate.
  • Bearing elements e.g. a roller bearing or a ball bearing translationally light to store it movably. This storage ensures that when pressurized the pressure chamber, the drive shaft moves translationally in the hollow cylinder can move and thus the initiated translational movement or Force application is almost completely transferred to the polishing plate.
  • the polishing head (1) shown in FIG. 1 has a polishing plate (3) with a polishing pad (5) on.
  • the polishing layer (5) lies on a surface (41) of a workpiece to be polished (39).
  • the polishing plate 3 is connected to a drive shaft (7) via the articulated connection. added. In the illustrated embodiment, this is non-rotatable articulated Connection provided a ball imbus joint.
  • the drive shaft (7) is on the The end of the side facing the polishing plate is provided with a spherical imbus head (19) a recess (13) formed in the polishing plate (3) engages.
  • a locking element for example a spring element or spring pin on the polishing plate, which in a recess on Ball imbus head protrudes into it.
  • the drive shaft (7) can be displaced translationally via the bearing element (23) and rotatably in a hollow cylinder (49).
  • the hollow cylinder (49) is rotationally driven via a drive, not shown, of the polishing machine, the rotary movement due to the non-rotatable connection through the bearing element (23) completely on the drive shaft (7) for the polishing head is transferred.
  • a hydraulic or pneumatic system which is used to act upon the polishing head with the required polishing pressure is provided.
  • This has a pressure chamber cylinder (31) with a piston (33) accommodated in a translationally displaceable manner. to Decoupling the piston (33) from the rotational movement of the drive shaft (7) and the Hollow cylinders can pivot between the pressure chamber cylinder (31) and the Hollow cylinder (49) and between the connecting rod (32) driven by the piston (33) and the Drive shaft (7) may be provided.
  • Pressure chamber cylinder (31) formed pressure chamber (29) with a pressure supply (35) assigned to a pressure control valve (37) and a pressure reservoir (36).
  • the rotationally fixed translationally movable coupling between the hollow cylinder (49) and the Drive shaft (7) takes place via a roller bearing (23).
  • the drive shaft (7) does not have one rotationally symmetrical outer profile (43), preferably a polygonal profile.
  • the Form fit between the outer profile (43) of the drive shaft (7) and the inner wall of the Hollow cylinder is reached via rollers or rollers (25) in the bearing element (23) are added symmetrically to the outer profile of the drive shaft (7) and on the Roll off the outer profile (43) of the drive shaft.
  • the axes of rotation of the rolls or rollers are aligned perpendicular to the axis of rotation of the drive shaft (7).
  • a Ball bearing instead of the roller bearing of the drive shaft (7) in the hollow cylinder (49), a Ball bearing, as shown in Figure 4, may be provided.
  • too Drive axis a non-rotationally symmetrical at least in a region corresponding to the bearing Outer profile, especially a polygonal profile
  • polishing For polishing, the polishing head, whose diameter is smaller than the diameter of the surface to be polished, in one Swiveling movement in the radial direction moves over the optical surface (41) to be polished. Both the workpiece (39) and the polishing plate are almost the same Speed driven in the same direction.
  • the polishing plate over the Polishing optical surface (41) can be provided that the speed of the polishing plate or the speed of the workpiece, in particular depending on the radial position of the polishing plate. This speed change has a positive impact on you constant polishing removal.
  • the pressure fluctuations are very small held so that the polishing plate with constant force on the optical surface to be polished rests.
  • the pressure control valve also helps to compensate for pressure fluctuations.
  • the arrangement described in connection with a polishing machine according to the prior art technology are in particular non-rotationally symmetrical optical surfaces (41) polishable, whereby the polishing removal is constant over the entire optical surface.
  • the polishing surface of the polishing plate (3) rests as far as possible on the optical surface (41) to be polished. This will ensured in particular by the fact that the non-rotatable articulated connection between the polishing plate and the drive shaft (7) the polishing plate around one on the central axis (2) of the polishing head can be tilted in any direction and the Alignment of the polishing plate as a result of the surface contour of the surface to be polished (41) can follow.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Polierkopf für Poliermaschinen, insbesondere zum Polieren von optischen Flächen, mit einem Polierteller, der mit einer rotatorisch antreibbaren Antriebswelle verbunden ist. Erfindungsgemäss ist der Polierteller (3) mit der Antriebswelle (7) gelenkig und drehfest verbunden. Für die gelenkige drehfeste Verbindung kann ein Kugelimbusgelenk vorgesehen sein. Der Polierteller kann durch die gelenkige Verbindung rotierend der Oberfläche (41) des zu bearbeitenden Werkstückes (39) folgen, so dass stets der Polierbelag (5) auf einer maximal großen Fläche auf der Oberfläche (41) aufliegt.

Description

Die Erfindung betrifft einen Polierkopf für eine Poliermaschine gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Solch ein Folierkopf ist aus der DE 1 239 211 B bekannt.
Aus der EP 727 280 B1 ist eine Poliermaschine zum Polieren sphärischer Linsenoberflächen bekannt. Diese Poliermaschine weist einen oberen in einer x-Richtung verfahrbaren Schlitten auf. Mit diesem Schlitten ist eine Werkzeugspindel, die um eine vertikale Achse drehbar gelagert ist, verbunden. Die Werkzeugspindel dient dabei zur Aufnahme eines Abrichtwerkzeuges. Zur Aufnahme des Werkstückes bzw. der Linse ist eine mit einem weiteren Schlitten verbundene Werkstückspindel vorgesehen. Die Werkstückspindel und die Werkstückspindel mit dem Abrichtwerkzeug sind in einem festen Abstand zueinander angeordnet. Der diese beiden Spindeln tragende Schlitten ist in z-Richtung verfahrbar.
Aus der WO 97/00155 ist eine Poliermaschine und ein Verfahren zum Polieren von optischen Flächen bekannt. Die Poliermaschine weist eine Polierkopf auf, der mit einem elastische Membran versehen ist. Durch Druckbeaufschlagung der Membran wird die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche geregelt. Nachteilig ist bei dieser Poliermaschine, dass die Größe der auf der zu polierenden Fläche aufliegende Fläche des Polierkopfes bzw. der Membran von der Druckbeaufschlagung abhängt. Der Polierkopf mit der elastischem Membran wird durch eine zugeordnete Feder in Richtung der zu polierenden Fläche vorgespannt. Für die Bereitstellung einer Kippbeweglichkeit der elastischen Membran, um eine auf der Drehachse im Bereich der flexiblen Membran liegenden Punkt, sind Hydraulikzylinder vorgesehen. Die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche wird durch zugeordnete Sensoren, Drehstreifen und Solenoit, detektiert.
In dem aus dieser Schrift bekannten Verfahren wird das Polieren der optischen Oberfläche in Abhängigkeit von der Drehzahl des polierenden Kopfes und der auf die zu polierende Oberfläche wirkenden Anpresskraft durch Druckbeaufschlagung gesteuert.
Aus der DE 1 239 211 B ist ein kardanisch gelagertes Optik- Schleif- oder Polierwerkzeug bekannt. Zur Ausrichtung des Poliertellers ist ein Ausrichtglied vorgesehen, das aus elastischem Werkstoff besteht. Dieses Ausrichtglied übt keine das Werkzeug von der Spindel abhebende Kraft aus. Es kann ohne weiteres so ausgebildet werden, dass sogar eine Kraft das Werkzeug an das allseitig bewegliche Gelenk, z. B. ein Kugelgelenk, heranzieht, wobei jedoch die Ausrichtkraft so schwach ist, dass die Einstellung des Werkzeuges auf das Werkstück unter der Wirkung des Arbeitsdruckes möglich ist. Die Verwendung eines solchen Werkzeuges gestattet das automatische Beschicken einer Optik- Schleifmaschine, da das Werkstück starr und axial unbeweglich auf der Spindel verbleibt und ohne seitliches Wegkippen eine genau definierte Lage relativ zu der Beschickungsvorrichtung, einnimmt.
Es ist Aufgabe der Erfindung einen Polierkopf zum Polieren einer Freiformfläche bereitzustellen, durch den eine qualitativ hochwertige optische Oberfläche polierbar ist und durch dessen Einsatz ein konstanter Polierabtrag auf der gesamten zu polierenden optischen Oberfläche gewährleistet werden kann.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch die im Patentanspruch 1 gegebenen Merkmale gelöst.
Ferner wird eine Poliermaschine mit dem Polierkopf in Anspruch 15 sowie ein Verfahren mit einem derartigen Polierkopf in Anspruch 16 beausprucht.
Durch die Maßnahme den Polierteller drehfest gelenkig mit der Antriebswelle zu verbinden ist es möglich, daß der Polierteller der Oberflächenkontur folgend auf der zu bearbeitenden Oberfläche aufliegt. Durch die gelenkige Verbindung kann der Polierteller Kippbewegungen ausführen, so daß er mit einer maximalen Polierfläche auf der zu polierenden Oberfläche aufliegt.
Zur Übertragung der Drehbewegung der Antriebswelle auf den Polierteller hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, den Polierteller mit der Antriebswelle mittels Formschluß zu verbinden, so daß die Drehbewegung der Antriebswelle aufgrund des Formschlusses auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt für die drehfeste gelenkige Verbindung den Polierteller über ein Kugelimbusgelenk mit der Antriebswelle zu verbinden. Durch dieses Kugelimbusgelenk ist es möglich, den Drehpunkt, um den der Polierteller in beliebige Richtungen geschwenkt werden kann, möglichst nah an der zu polierenden Oberfläche des Poliertellers anzuordnen. Die nahe Anordnung der gelenkigen Verbindung zur polierenden Oberfläche des Poliertellers hat den Vorteil, daß der Polierteller den Oberflächenkonturen reaktionsschnell folgen kann.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt der gelenkigen Verbindung ein oder mehrere Rastelement zur Sicherung der Verbindung von Antriebswelle und Polierkopf zuzuordnen. Ist als gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen, so wird mittels des Rastelementes sichergestellt, daß der Kugelimbuskopf aus der zugeordneten Ausnehmung nicht herausrutschen kann. Dadurch kann der Polierteller ohne Probleme von der zu polierenden Fläche entfernt werden. Durch die durch das Rastelement gewährleistete Lösbarkeit der Verbindung können außerdem verschiedene Polierteller leicht gegeneinander ausgetauscht werden.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt dem Polierkopf eine Druckkammer zuzuordnen wobei aus einer Druckbeaufschlagung der Druckkammer eine translatorische Bewegung des Poliertellers entlang einer Mittenachse des Polierkopfes resultiert. Liegt der Polierteller auf einer zu polierenden Oberfläche auf, so resultiert aus einer Druckbeaufschlagung ein erhöhter Polierdruck.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, wenn ein der Druckkammer zugeordneter Kolben mit der Antriebswelle in Wirkverbindung steht, so daß eine Druckbeaufschlagung der Druckkammer über die Antriebswelle auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt die Antriebswelle mittels eines koaxial angeordneten Hohlzylinders, in dem die Antriebswelle drehfest gelagert ist, über diesen Hohlzylinder anzutreiben. Für die Übertragung der Drehbewegung hat sich eine formschlüssige Verbindung als vorteilhaft erwiesen.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Antriebswelle in dem Hohlzylinder mittels Lagerelementen z.B. einer Wälzlagerung oder einer Kugellagerung translatorisch leicht bewegbar zu lagern. Durch diese Lagerung wird gewährleistet, daß bei Druckbeaufschlagung der Druckkammer sich die Antriebswelle in dem Hohlzylinder leichtgängig translatorisch bewegen kann und somit die eingeleitete translatorische Bewegung bzw. Kraftbeaufschlagung nahezu vollständig auf den Polierteller übertragen wird.
Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in weiteren abhängigen Ansprüchen beschrieben.
Anhand eines Ausführungsbeispieles wird die Erfindung im folgenden näher beschrieben.
Es zeigt:
Figur 1
eine schematische Skizze des Polierkopfes in einem dessen Mittenachse enthaltenen Schnittes;
Figur 2
einen Schnitt entlang der Ebene II - II in Figur 1;
Figur 3
einen Schnitt entlang der Ebene III - III in Figur 1; und
Figur 4
Schnitt entlang der Ebene III - III bei einem alternativen Ausführungsbeispiel.
Der in Figur 1 dargestellte Polierkopf (1) weist einen Polierteller (3) mit einem Polierbelag (5) auf. Der Polierbelag (5) liegt auf einer zu polierenden Oberfläche (41) eines Werkstückes (39) auf.
Der Polierteller 3 ist über die gelenkige Verbindung an einer Antriebswelle (7) aufgenommen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist für diese drehfeste gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen. Die Antriebswelle (7) ist dazu auf der dem Polierteller zugewandten Seite endseitig mit einem Kugelimbuskopf (19) versehen, der in eine im Polierteller (3) ausgebildete Ausnehmung (13) eingreift.
Zur Sicherung ist die Verbindung zwischen dem Kugelimbuskopf (19) und dem Polierteller (3) mittels eines Rastelementes (15) gesichert ist. Als Rastelement können beispielsweise ein Federelement bzw. Federstift am Polierteller, der in eine Ausnehmung am Kugelimbuskopf hinein ragt, vorgesehen sein.
Es ist auch möglich, den Kugelimbuskopf (19) an dem Polierteller auszubilden; in diesem Fall ist dann in der Antriebswelle (7) eine Ausnehmung zur drehsicheren gelenkigen Aufnahme des Kugelimbuskopfes vorzusehen. Allerdings ist in diesem Fall der Abstand zwischen der Gelenkstelle - also dem Punkt, um den eine Kippung des Poliertellers relativ zur starren Antriebswelle erfolgen kann - und der zu polierenden Fläche (41) größer.
Die Antriebswelle (7) ist über Lagerelement (23) translatorisch verschiebbar und drehfest in einem Hohlzylinder (49) gelagert. Der Hohlzylinder (49) wird rotatorisch angetrieben über einen nicht dargestellten Antrieb der Poliermaschine, wobei die Drehbewegung aufgrund der drehfesten Verbindung durch das Lagerelement (23) vollständig auf die Antriebswelle (7) für den Polierkopf übertragen wird.
Auf der vom Polierkopf abgewandten Seite der Antriebswelle (7) ist in dem Hohlzylinder (49) ein Hydraulik- oder Pneumatiksystem, das zur Beaufschlagung des Polierkopfes mit dem erforderlichen Polierdruck dient, vorgesehen. Dieses weist einen Druckkammerzylinder (31) mit einem darin translatorisch verschiebar aufgenommenen Kolben (33) auf. Zur Entkoppelung des Kolbens (33) von der Drehbewegung der Antriebswelle (7) und des Hohlzylinders können Drehlager zwischen dem Druckkammerzylinder (31) und dem Hohlzylinder (49) sowie zwischen dem vom Kolben (33) angetriebenen Pleul (32) und der Antriebswelle (7) vorgesehen sein. Zur Druckbeaufschlagung des Kolbens (33) ist der im Druckkammerzylinder (31) gebildeten Druckkammer (29) eine Druckversorgung (35) mit einem Druckregelventil (37) und einem Druckreservoir (36) zugeordnet. Durch Druckbeaufschlagung der Druckkammer (29) wird eine entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes (1) gerichteten Kraft auf den Kolben (33) eingeleitet. Aus dieser Kraft resultiert eine translatorische Bewegung des Poliertellers bzw. eine Erhöhung der wirkenden Polierkraft, sofern der Polierbelag (5)auf einer zu polierenden optischen Fläche (41) eines Werkstückes (39) aufliegt.
Die drehfeste translatorisch bewegbare Kopplung zwischen dem Hohlzylinder (49) und der Antriebswelle (7) erfolgt über ein Wälzlager (23). Die Antriebswelle (7) weist dazu ein nicht rotationssymmetrisches Außenprofil (43), vorzugsweise ein Mehrkantprofil auf. Der Formschluß zwischen dem Außenprofil (43) der Antriebswelle (7) und der Innenwand des Hohlzylinders wird über Rollen oder Walzen (25) erreicht, die in dem Lagerelement (23) symmetrisch zum Außenprofil der Antriebswelle (7) aufgenommen sind und an dem Außenprofil (43) der Antriebswelle abrollen. Die Drehachsen der Rollen oder Walzen sind dabei senkrecht zur Rotationachse der Antriebswelle (7) ausgerichtet.
Anstelle der Wälzlagerung der Antriebswelle (7) in dem Hohlzylinder (49) kann auch eine Kugellagerung, wie in Figur 4 dargestellt, vorgesehen sein. Zur drehfesten translatorisch verschiebbaren Verbindung sind die Kugeln (53) in Längsnuten (51) des Hohlzylinders (49) und weiteren Längsnuten (55) der Antriebswelle (7) gelagert, wobei sich die Längsnuten parallel zur Rotationsachse der Antriebswelle (7) erstrecken. Auch in diesem Fall weist die Antriebsachse wenigstens in einem der Lagerung entsprechenden Bereich ein nichtrotationssysmmetrisches Außenprofil, insbesondere ein Mehrkantprofil auf
Im folgenden wird das Polierverfahren näher beschrieben. Zum Polieren wird der Polierkopf, dessen Durchmesser kleiner ist als der Durchmesser der zu polierenden Fläche, in einer Schwenkbewegung in radialer Richtung über die zu polierende optische Fläche (41) bewegt. Sowohl das Werkstück (39) als auch der Polierteller werden dabei mit nahezu gleicher Drehzahl in identischer Richtung angetrieben. Bei Bewegung des Poliertellers über die zu polierende optische Fläche (41) kann vorgesehen sein, daß die Drehzahlen des Poliertellers oder die Drehzahl des Werkstückes, insbesondere in Abhängigkeit von der radialen Position des Poliertellers, zu verändern. Diese Drehzahländerung hat einen positiven Einfluß auf einen konstanten Polierabtrag.
Durch die Wahl eines sehr großen Speichervolumens (36) im Verhältnis zum sich verändernden Volumen des Kolbens (31), werden die Druckschwankungen sehr klein gehalten, so daß der Polierteller mit konstanter Kraft auf der zu polierenden optischen Fläche aufliegt. Das Druckregelventil trägt auch noch zum Ausgleich von Druckschwankungen bei.
Durch die beschriebene Anordnung in Verbindung mit einer Poliermaschine nach dem Stand der Technik sind insbesondere nicht rotationssymmetrische optische Oberflächen (41) polierbar, wobei der Polierabtrag über die gesamte optische Fläche konstant ist. Für den gleichmäßigen Polierabtrag ist es erforderlich, daß der Polierbelag des Poliertellers (3) möglichst großflächig auf der zu polierenden optischen Fläche (41) aufliegt. Dies wird insbesondere dadurch gewährleistet, daß durch die drehfeste gelenkige Verbindung zwischen dem Polierteller und der Antriebswelle (7) der Polierteller um einen auf der Mittenachse (2) des Polierkopfes liegenden Punkt in beliebige Richtungen gekippt werden kann und die Ausrichtung des Poliertellers dadurch der Oberflächenkontur der zu polierenden Fläche (41) folgen kann.
Bezugszeichenliste:
1
Polierkopf
2
Mittenachse
3
Polierteller
5
Polierbelag (∼ Belag)
7
Antriebswelle
9
gelenkige Verbindung
13
Ausnehmung im Polierteller
15
Rastelement
19
Kugelimbuskopf
20
Ausnehmung
23
Lagerelemente
25
Walzen oder Rollen
29
Druckkammer
31
Druckkammerzylinder
32
Pleuel
33
Kolben
35
Druckversorgung
36
Reservoir
37
Druckregelventil
39
Werkstück
41
Optische Fläche
43
Außenprofil
49
Hohlzylinder
51
Längsnuten
53
Kugeln
55
Längsnut in Antriebswelle

Claims (20)

  1. Polierkopf, insbesondere zum Polieren von optischen Flächen, mit einem Polierteller, der mit einer rotatorisch antreibbaren Antriebswelle verbunden ist, und der Polierteller (3) mit der Antriebswelle (7) gelenkig und drehfest verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Druckkammer (29) vorgesehen ist, wobei aus einer Duckbeaufschlagung der Druckkammer (29) eine translatorische Bewegung des Poliertellers (3) entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes resultiert.
  2. Polierkopf nach Anspruch 1, ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Drehbewegung der Antriebswelle (7) mittels Formschluss auf den Polierteller (3) übertragen wird.
  3. Polierkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Polierteller (3) um einen auf der Mittenachse (2) liegenden Punkt kippbar an der Antriebswelle (7) gelagert ist.
  4. Polierkopf nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Formschluss zur Übertragung der Drehbewegung der Antriebswelle (7) auf den Polierteller (3) in der gelenkigen Verbindung hergestellt ist.
  5. Polierkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als gelenkige Verbindung ein Kugelinbusgelenk vorgesehen ist.
  6. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Rastelement (15) zur Sicherung der gelenkigen Verbindung von Polierteller (3) und Antriebswelle (7) vorgesehen ist.
  7. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckkammer (29) einen Druckkammerzylinder (31) umfasst, in dem ein Kolben (33) translatorisch bewegbar angeordnet ist.
  8. Pollierkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Kolben (33) mit der Antriebswelle (7) in Wirkverbindung steht.
  9. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (7) drehfest und translatorisch entlang der Mittenachse (2) des Polierkopfes verschiebbar in einem angetriebenen Hohlzylinder (49) gelagert.
  10. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (7) drehfest und translatorisch entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes verschiebbar gelagert ist und mit einem rotatorisch angetriebenen Kolben drehfest verbunden ist.
  11. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (7) mindestens in einem Teilbereich ein nichtrotationssymmetrisches Außenprofil (43) aufweist.
  12. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Außenprofil (43) in Form eines Mehrkantprofils ausgebildet ist.
  13. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Außenprofil (43) über eine Wälzlagerung (23, 25) drehfest mit dem Hohlzylinder in Verbindung steht.
  14. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Außenprofil (43) Längsnuten (51) aufweist, in denen Kugeln (53) angeordnet sind, über die die Antriebswelle (7) mit dem Hohlzylinder (49), der innenseitig im gegensinnig ausgebildeten Längsnuten (51) versehen ist, verbunden ist.
  15. Poliermaschine mit einem Polierkopf gemäß mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche.
  16. Verfahren zum Polieren einer punktunsymmetrischen Freiformfläche mit einer Poliermaschine nach Anspruch 15, wobei der Polierteller (3), der in gleicher Drehrichtung rotatorisch angetrieben wird, wie die zu polierende optische Fläche.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der zu bearbeitende Körper (3) mit annähernd gleicher Drehfrequenz angetrieben wird wie der Polierteller (3).
  18. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehteller (3) eine radiale Bewegung relativ zum zu bearbeitenden Körper (39) ausführt.
  19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass in Abhängigkeit von der radialen Position des Drehtellers (3) die Drehfrequenz des Drehtellers (3) oder der zu polierenden Fläche (41) verändert wird.
  20. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 16 - 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Kammer (29) in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche (41) geregelt wird, so dass der auf der optischen Oberfläche (41) aufliegende Drehteller auf dieselbe einen vorbestimmten konstanten Polierdruck ausübt.
EP01909601A 2000-02-03 2001-01-11 Polierkopf für eine poliermaschine Expired - Lifetime EP1251997B2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03025546A EP1386694B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10004455 2000-02-03
DE10004455 2000-02-03
PCT/EP2001/000253 WO2001056740A1 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Polierkopf für eine poliermaschine

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03025546A Division EP1386694B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine
EP03025546.7 Division-Into 2003-11-08

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1251997A1 EP1251997A1 (de) 2002-10-30
EP1251997B1 true EP1251997B1 (de) 2004-04-14
EP1251997B2 EP1251997B2 (de) 2011-06-08

Family

ID=7629520

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03025546A Expired - Lifetime EP1386694B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine
EP01909601A Expired - Lifetime EP1251997B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Polierkopf für eine poliermaschine

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03025546A Expired - Lifetime EP1386694B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine

Country Status (7)

Country Link
US (3) US20030045211A1 (de)
EP (2) EP1386694B2 (de)
JP (1) JP4945771B2 (de)
AU (1) AU2001237285A1 (de)
DE (3) DE50101982D1 (de)
TW (1) TW558477B (de)
WO (1) WO2001056740A1 (de)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001056740A1 (de) 2000-02-03 2001-08-09 Carl Zeiss Polierkopf für eine poliermaschine
DE10250856A1 (de) * 2002-10-25 2004-05-13 Carl Zeiss Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern
DE10319945A1 (de) * 2003-05-02 2005-01-27 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen
DE102004003131A1 (de) * 2004-01-15 2005-08-11 Carl Zeiss Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer optischen Fläche, optisches Bauelement, sowie Verfahren zum Herstellen eines Polierwerkzeugs
DE102004062319B3 (de) * 2004-12-20 2006-03-02 Schneider Gmbh + Co. Kg Polierwerkzeug
DE102005052314A1 (de) 2005-11-01 2007-05-03 Satisloh Gmbh Fast-Tool-Anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
DE202008016454U1 (de) * 2008-06-17 2009-03-05 Satisloh Gmbh Werkzeug zum Polieren und Feinschleifen von optisch wirksamen Flächen in der Feinoptik
JP4709257B2 (ja) * 2008-08-08 2011-06-22 株式会社トプコン レンズ研磨装置
GB2477557A (en) * 2010-02-08 2011-08-10 Qioptiq Ltd Aspheric optical surface polishing tool with individually movable polishing pads
DE102010019491B4 (de) 2010-04-30 2015-07-09 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug zur Bearbeitung von optischen Flächen, insbesondere Freiformflächen
DE102011014230A1 (de) 2011-03-17 2012-09-20 Satisloh Ag Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an insbesondere Brillengläsern
FR2972672B1 (fr) 2011-03-18 2013-03-15 Coriolis Composites Attn Olivier Bouroullec Machine d'application de fibres avec systeme de securite
CN102490104A (zh) * 2011-12-09 2012-06-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 非球面反射镜自动加工装置
DE102012014399A1 (de) 2012-07-20 2014-05-15 Carl Zeiss Vision International Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln und Ausgeben eines für einen Brillenträger geeigneten Brillenlinsentyp
DE102012216724A1 (de) 2012-09-19 2014-03-20 Carl Zeiss Vision International Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Polierbearbeitung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung sowie entsprechendes Verfahren zur Herstellung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung
US9352509B1 (en) * 2013-05-08 2016-05-31 The Boeing Company Tools and methods for use in removing a coating
ITBS20130066A1 (it) * 2013-05-16 2014-11-17 Cms Spa Unita' portautensile di macchine lucidatrici di lastre in pietra o affini
CN103302585A (zh) * 2013-06-25 2013-09-18 濮阳市亚利机械制造有限公司 一种用于研磨空气炮炮口的研磨机
DE102014206424A1 (de) 2014-04-03 2015-10-08 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug sowie Vorrichtung und Verfahren zur formfehleroptimierten Polierbearbeitung von Brillenlinsenoberflächen und Gießformschalen zur Brillenlinsenherstellung
DE102016004328A1 (de) * 2016-04-13 2017-10-19 Satisloh Ag Werkzeugspindel für eine Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an Werkstücken
DE102016006741A1 (de) * 2016-06-06 2017-12-07 Schneider Gmbh & Co. Kg Werkzeug, Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
CN106002521A (zh) * 2016-07-19 2016-10-12 苏州誉衡昌精密机械有限公司 一种自动抛光轮机构
DE102017102094B4 (de) 2017-02-02 2019-07-11 Steffen Nitschke Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung
CN107186572B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种非球面光学元件抛光装置
CN107322411B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大口径非球面光学元件抛光装置
JP2019000957A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 株式会社春近精密 レンズ研磨装置およびレンズ研磨方法
CN109514384A (zh) * 2018-11-07 2019-03-26 西安工业大学 非球面光学元件的抛光方法和装置
CN109202709A (zh) * 2018-11-21 2019-01-15 中国科学院光电技术研究所 一种气压控制恒定压力自适应抛光磨头
EP3663039A1 (de) 2018-12-03 2020-06-10 Carl Zeiss Vision International GmbH Poliermaschine zur bearbeitung einer optischen fläche eines brillenglases, aufnahmevorrichtung zur verwendung in der poliermaschine, verfahren zur polierbearbeitung von optischen flächen von brillengläsern und verfahren zum herstellen eines brillenglases
JP7354879B2 (ja) * 2020-03-05 2023-10-03 トヨタ自動車株式会社 自動水研装置
CN111906672B (zh) * 2020-07-21 2021-05-07 温州大学 一种基于气压砂轮的自动化抛光装置
CN113618542A (zh) * 2021-07-13 2021-11-09 中国兵器科学研究院宁波分院 一种抛光设备
CN118123685B (zh) * 2024-04-30 2024-10-01 扬州利凯机械制造有限公司 一种轴承制造用轴承抛光机

Family Cites Families (72)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE318561C (de) *
US2836939A (en) * 1955-03-24 1958-06-03 White Arthur Howard Machine for producing spherical surfaces
US2821813A (en) * 1956-06-28 1958-02-04 Siemens Ag Albis Machine for the production of a paraboloidal body
US2916857A (en) * 1958-02-14 1959-12-15 American Optical Corp Lens surfacing machines
US2994164A (en) * 1960-07-08 1961-08-01 American Optical Corp Method and apparatus for simultaneously grinding lenses
CH450205A (de) † 1961-09-28 1968-01-15 Philips Nv Einrichtung zum Schleifen und Polieren insbesondere gekrümmter Oberflächen von Glasgegenständen
US3226887A (en) * 1962-03-07 1966-01-04 Univis Inc Method and apparatus for processing of ophthalmic lens
US3330075A (en) * 1964-07-01 1967-07-11 Coburn Mfg Company Inc Sphere polisher
DE1239211B (de) * 1964-10-14 1967-04-20 Wilhelm Lot K G Optikmaschinen Kardanisch gelagertes Optik-Schleif- oder Polierwerkzeug
US3589078A (en) * 1968-07-26 1971-06-29 Itek Corp Surface generating apparatus
US3624969A (en) * 1970-07-15 1971-12-07 American Optical Corp Lens generating apparatus
US3968598A (en) † 1972-01-20 1976-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Workpiece lapping device
JPS5321159B2 (de) * 1972-07-17 1978-06-30
DE2252503C3 (de) 1972-10-26 1975-12-18 Wilhelm Loh Kg Optikmaschinenfabrik, 6330 Wetzlar Futter für optische Linsen zur Verwendung in Linsenschleif- oder Poliermaschinen
US3900971A (en) * 1972-10-26 1975-08-26 Loh Kg Optik W Machine for producing surfaces of optical lenses, for example toric surfaces
CH556719A (de) 1973-06-29 1974-12-13 Studer Rudolf Motorisch, insbesondere elektromotorisch, angetriebener schlagbohrhammer.
US3874123A (en) 1973-10-11 1975-04-01 Mwa Company Metal conditioning planetary grinder
US3897703A (en) 1974-02-08 1975-08-05 Olin G Phipps Universal socket
US4068413A (en) * 1975-10-02 1978-01-17 Suddarth Jack M Adjustable lens grinding apparatus
DE2734650C2 (de) * 1976-08-03 1983-05-26 Kabushiki Kaisha Seikosha, Tokyo Maschine zum Polieren von Schwingquarzen
US4128968A (en) * 1976-09-22 1978-12-12 The Perkin-Elmer Corporation Optical surface polisher
FR2366912A1 (fr) * 1976-10-06 1978-05-05 Essilor Int Tete de travail pour machine a surfacer les lentilles, notamment les lentilles ophtalmiques en matiere organique, et machine comportant une telle tete de travail
US4232485A (en) * 1977-08-13 1980-11-11 Dollond & Aitschison (Services) Limited Apparatus for polishing curved surfaces
US4166342A (en) * 1977-11-21 1979-09-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Toroidal polisher
US4201018A (en) * 1978-10-23 1980-05-06 Clarence Pool Cabbing device for gemstones
JPS55115745U (de) * 1979-02-10 1980-08-15
JPS55115745A (en) * 1979-02-28 1980-09-05 Toshiba Corp Portable telephone unit
DE2937977C2 (de) * 1979-09-20 1984-06-14 Prontor-Werk Alfred Gauthier Gmbh, 7547 Wildbad Maschine zum Schleifen oder Fräsen von konvexen und/oder konkaven sphärischen Flächen
JPS5884845A (ja) * 1981-11-17 1983-05-21 Asahi Chem Ind Co Ltd 成形用アクリロニトリル系重合体組成物
JPS5884845U (ja) * 1981-12-03 1983-06-08 有限会社佐野光学 レンズ研磨装置
JPS6299065A (ja) 1985-10-22 1987-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 球面研削装置
US4956944A (en) * 1987-03-19 1990-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
JPS63232948A (ja) * 1987-03-19 1988-09-28 Canon Inc 加圧回転装置
US4974368A (en) * 1987-03-19 1990-12-04 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
FR2629746B1 (fr) 1988-04-06 1991-01-25 Bertin & Cie Procede et dispositif de polissage d'un composant optique
US5076683A (en) † 1988-09-14 1991-12-31 Allergan, Inc. Spuncast compound contact lens
US5069081A (en) 1990-01-16 1991-12-03 Nippon Thompson Co., Ltd. Multi-mode splined ball screw assembly
JP2894766B2 (ja) * 1990-01-30 1999-05-24 日東光学株式会社 球面レンズ研磨機
JPH0761606B2 (ja) * 1990-03-01 1995-07-05 株式会社春近精密 光学レンズ・ミラー等球面加工装置
JPH04201054A (ja) * 1990-11-29 1992-07-22 Nippon Electric Glass Co Ltd ブラウン管用パネルの表面研磨方法及び装置
JP2938593B2 (ja) * 1991-01-31 1999-08-23 キヤノン株式会社 研磨工具保持装置および該研磨工具保持装置を備えた研磨ヘッド
US5579509A (en) 1991-02-08 1996-11-26 International Business Machines Corporation Apparatus and method for verifying compatibility of system components
JP3078093B2 (ja) * 1992-03-18 2000-08-21 宇部気密ハウジング株式会社 排気フード
DE4214266A1 (de) † 1992-05-01 1993-11-04 Loh Engineering Ag Oensingen Vorrichtung zur fuehrung eines werkstuecks oder werkzeugs bei der bearbeitung torischer oder sphaerischer flaechen optischer linsen auf schleif- oder poliermaschinen
JPH0588859U (ja) * 1992-05-13 1993-12-03 株式会社春近精密 レンズ・鏡等研磨装置
JP3304168B2 (ja) * 1993-06-11 2002-07-22 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨方法
JPH077846U (ja) * 1993-07-09 1995-02-03 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨機上軸機構
US5577950A (en) 1993-11-29 1996-11-26 Coburn Optical Industries, Inc. Conformal tool operating apparatus and process for an ophthalmic lens finer/polisher
DE4442181C1 (de) † 1994-11-26 1995-10-26 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung optischer Flächen
DE59500684D1 (de) 1995-02-14 1997-10-23 Opto Tech Gmbh Vorrichtung zum Polieren sphärischer Linsenoberfläche
US5759457A (en) * 1995-02-24 1998-06-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing an optical element
GB9512262D0 (en) † 1995-06-16 1995-08-16 Bingham Richard G Tool for computer-controlled machine for optical polishing and figuring
DE29521396U1 (de) † 1995-09-08 1997-02-27 Maier, Dieter, Prof. Dr.-Ing., 91207 Lauf Schleifkopf zum Bearbeiten von Glasscheiben
DE29517615U1 (de) 1995-11-07 1995-12-21 Festo Kg, 73734 Esslingen Fluidbetätigter Arbeitszylinder
JPH10545A (ja) * 1996-06-12 1998-01-06 Nikon Corp 研磨ヘッド
JPH1019058A (ja) 1996-07-01 1998-01-20 Kayseven Co Ltd クラッチ及びそれを用いた変速装置
JPH1029149A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Nagata Seisakusho:Kk 研磨装置
DE19633855A1 (de) * 1996-08-16 1998-02-19 Mannesmann Ag Verfahren und Vorrichtung zum Nachschleifen der in Warmbandwalzgerüsten eingebauten Walzen
JPH10175148A (ja) * 1996-10-14 1998-06-30 Nikon Corp プラスチックレンズ用基材及びその製造装置及び製造方法
DE19701312A1 (de) 1997-01-16 1998-07-23 Zeiss Carl Fa Brillenglas mit sphärischer Vorderseite und multifokaler Rückseite, sowie Verfahren zu seiner Herstellung
CN1067010C (zh) * 1997-02-20 2001-06-13 国际科技资源公司 制镜片用垫圈
DE19756960B4 (de) 1997-12-20 2011-06-09 Asphericon Gmbh Verfahren zum Bearbeiten von rotationssymmetrischen Funktionsflächen
DE29803158U1 (de) † 1998-02-23 1998-08-06 Schneider GmbH + Co. KG, 35239 Steffenberg Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen
US6165057A (en) * 1998-05-15 2000-12-26 Gill, Jr.; Gerald L. Apparatus for localized planarization of semiconductor wafer surface
ATE424968T1 (de) * 1998-12-01 2009-03-15 Univ London Poliervorrichtung mit antriebsvorrichtungen zum führen des schleifwerkzeugs entlang einer präzessionsbahn und verfahren zu deren verwendung
WO2001056740A1 (de) 2000-02-03 2001-08-09 Carl Zeiss Polierkopf für eine poliermaschine
DE10164628A1 (de) 2001-02-09 2002-09-05 Optotech Optikmasch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
JP2002346895A (ja) 2001-05-29 2002-12-04 Olympus Optical Co Ltd レンズ研磨機の上軸機構
JP4019058B2 (ja) 2001-07-17 2007-12-05 株式会社日立国際電気 電子装置用冷却装置及び冷却装置付電子装置
JP4244372B2 (ja) 2002-01-11 2009-03-25 日本精機株式会社 半導体センサ装置
JP3990205B2 (ja) 2002-06-21 2007-10-10 オリンパス株式会社 研磨装置
JP4201054B2 (ja) 2007-02-16 2008-12-24 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ及びその製造方法及び液晶表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
US8011996B2 (en) 2011-09-06
US20080020691A1 (en) 2008-01-24
US7588480B2 (en) 2009-09-15
DE10100860A1 (de) 2001-08-23
AU2001237285A1 (en) 2001-08-14
EP1386694A1 (de) 2004-02-04
EP1251997B2 (de) 2011-06-08
DE50101982D1 (de) 2004-05-19
JP4945771B2 (ja) 2012-06-06
EP1386694B2 (de) 2013-01-09
EP1386694B1 (de) 2009-05-20
EP1251997A1 (de) 2002-10-30
WO2001056740A1 (de) 2001-08-09
US20030045211A1 (en) 2003-03-06
TW558477B (en) 2003-10-21
US20050037695A1 (en) 2005-02-17
JP2003525756A (ja) 2003-09-02
DE50114907D1 (de) 2009-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1251997B1 (de) Polierkopf für eine poliermaschine
EP0567894B1 (de) Vorrichtung zur Führung eines Werkstücks oder Werkzeugs bei der Bearbeitung torischer oder sphärischer Flächen optischer Linsen auf Schleif- oder Poliermaschinen
EP1698432B1 (de) Polierteller für ein Werkzeug zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an insbesondere Brillengläsern
WO2017178110A1 (de) Werkzeugspindel für eine vorrichtung zur feinbearbeitung von optisch wirksamen flächen an werkstücken
EP3206837A1 (de) Polierteller für ein werkzeug zur feinbearbeitung von optisch wirksamen flächen an brillengläsern
DE2252503A1 (de) Aufnahmefutter fuer optische linsen
DE1752510C3 (de) Vorrichtung zum zentrischen Aufspannen eines ringförmigen Werkstückes an einer Planscheibe
DE3407615A1 (de) Werkstueckspindel fuer eine maschine zur oberflaechenbehandlung
DE19634839A1 (de) Feinstbearbeitung mit Vibrationskopf
DE2847192C2 (de) Maschine zum Entgraten bzw. Anfasen der Kanten ringförmiger Werkstücke, insbesondere Kolbenringe
DE10031057B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum korrigierenden Feinstpolieren von vorbearbeiteten optischen Linsen und Spiegeln
DE10106007B4 (de) Vorrichtung zum Polieren von Linsen
DE2937977A1 (de) Maschine zum erzeugen von konvexen und/oder konkaven sphaerischen flaechen, insbesondere solcher von optischen linsen
CH669925A5 (de)
DE426020C (de) Vorrichtung zum Praegepolieren von Achszapfen mittels abrollender Polierwerkzeuge
DE3608864A1 (de) Vorrichtung zum schleifen von aussen- und/oder innenmantelflaechen
DE102008011215A1 (de) Vorrichtung zur mechanischen Finishbearbeitung von Laufflächen an Wälzlagerringen
DE1577482C3 (de) Vorrichtung zur Feinstbearbeitung der Kurbelzapfen von Kurbelwellen mittels mindestens eines Femstbearbeitungsge rates mit einem Geratetrager
DE10057228B4 (de) Verfahren zum Schleifen von optischen Linsen mittels Ring- und Formwerkzeugen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102009025784A1 (de) Rohrausschleifmaschine mit einstellbarer Seitenführung des Schleifbandes
DE19619825A1 (de) Vorrichtung zum Mikrofinishen von Kurbelwellen oder dergleichen Werkstücken
DE3537382A1 (de) Vorrichtung zum schleifen von halbzeug
DE1293638B (de) Fräs- oder Poliermaschine für optische Linsen
DE102005004463A1 (de) Polierkopf zum Bearbeiten einer Oberfläche einer optischen Linse
DE2308988B2 (de) An einer Honvorrichtung angeordnetes Honwerkzeug

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20020712

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

17Q First examination report despatched

Effective date: 20021227

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR LI

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REF Corresponds to:

Ref document number: 50101982

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20040519

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: GERMAN

RAP2 Party data changed (patent owner data changed or rights of a patent transferred)

Owner name: CARL ZEISS

LTIE Lt: invalidation of european patent or patent extension

Effective date: 20040414

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

ET Fr: translation filed
PLBQ Unpublished change to opponent data

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS OPPO

PLAQ Examination of admissibility of opposition: information related to despatch of communication + time limit deleted

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSDOPE2

PLAR Examination of admissibility of opposition: information related to receipt of reply deleted

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSDOPE4

PLBQ Unpublished change to opponent data

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS OPPO

PLBI Opposition filed

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

PLAX Notice of opposition and request to file observation + time limit sent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS2

26 Opposition filed

Opponent name: SCHNEIDER GMBH & CO. KG

Effective date: 20050113

PLAF Information modified related to communication of a notice of opposition and request to file observations + time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSCOBS2

PLAF Information modified related to communication of a notice of opposition and request to file observations + time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSCOBS2

PLBB Reply of patent proprietor to notice(s) of opposition received

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS3

PLAB Opposition data, opponent's data or that of the opponent's representative modified

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009299OPPO

R26 Opposition filed (corrected)

Opponent name: SCHNEIDER GMBH & CO. KG

Effective date: 20050113

RAP2 Party data changed (patent owner data changed or rights of a patent transferred)

Owner name: CARL ZEISS VISION GMBH

APBP Date of receipt of notice of appeal recorded

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNNOA2O

APAH Appeal reference modified

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSCREFNO

PLAB Opposition data, opponent's data or that of the opponent's representative modified

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009299OPPO

APBQ Date of receipt of statement of grounds of appeal recorded

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNNOA3O

R26 Opposition filed (corrected)

Opponent name: SCHNEIDER GMBH & CO. KG

Effective date: 20050113

APBU Appeal procedure closed

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNNOA9O

PUAH Patent maintained in amended form

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009272

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: PATENT MAINTAINED AS AMENDED

27A Patent maintained in amended form

Effective date: 20110608

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B2

Designated state(s): CH DE FR LI

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: AEN

Free format text: AUFRECHTERHALTUNG DES PATENTES IN GEAENDERTER FORM

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R102

Ref document number: 50101982

Country of ref document: DE

Effective date: 20110608

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 16

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 17

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 18

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20200121

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20200121

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20200121

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 50101982

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL