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DE9215287U1 - Kopf für Laserfräs- und -graviermaschinen für die Bearbeitung von im wesentlichen plattenförmigem Gut - Google Patents

Kopf für Laserfräs- und -graviermaschinen für die Bearbeitung von im wesentlichen plattenförmigem Gut

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DE9215287U1
DE9215287U1 DE9215287U DE9215287U DE9215287U1 DE 9215287 U1 DE9215287 U1 DE 9215287U1 DE 9215287 U DE9215287 U DE 9215287U DE 9215287 U DE9215287 U DE 9215287U DE 9215287 U1 DE9215287 U1 DE 9215287U1
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suction
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DE9215287U
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    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
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    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

13.715/kw5
Dipl.-Ing. Rolf Wissner, Rudolf-Wissell-Str. 16, 3400 Göttingen
Kopf für Laserfräs- und -graviermaschinen für die Bearbeitung von im wesentlichen plattenförmigen! Gut
Die Erfindung bezieht sich auf einen Kopf für Laserfräs- und -graviermaschinen für die Bearbeitung von im wesentlichen plattenförmigen! Gut, wie Folien, Bahnen, Platten und Blechen aus z. B. Metall, Kunststoff, Filz u. dgl. und deren Kombinationen, mit einem Düsenkörper, der einen meist kegelartigen, axial offenen Hohlraum aufweist und mit einer Halteeinrichtung für eine Linse zum Fokussieren eines Laserstrahlenbündels, wobei an den Hohlraum unterhalb der Linse eine Blasleitung für die Verbindung des Kopfs mit einer Druckluftquelle angeschlossen ist. Der Kopf ist für eine
Maschine bestimmt, die mit Hilfe eines Laserstrahls arbeitet. Der Laserstrahl wird mit einer Linse in dem Düsenkörper
fokussiert und auf das plattenförmige Gut gerichtet. Dabei
können die Parameter an der Bearbeitungsmaschine so
eingestellt werden, daß nur die Oberfläche des
plattenförmigen Guts von der Bearbeitung erreicht wird, so
daß eine Lasergraviermaschine entsteht. Wenn der Laserstrahl das plattenförmige Gut durchdringt, also beispielsweise bei entsprechender Relativbewegung zerschneidet bzw. in das Gut einschneidet, entsteht eine Laserfräsmaschine.
Ein Kopf für eine Laserfräs- und -graviermaschine mit den im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Merkmalen ist bekannt. Der Kopf weist einen Düsenkörper auf, der axial durchgehend hohl gestaltet ist, so daß ein sich meist nach unten
kegelartig verengender Hohlraum geschaffen ist, an dessen
oberem Ende die Linse in einer Aufnahmeeinrichtung gelagert ist, so daß der Hohlraum nach oben luftmäßig abgeschlossen
ist. Nach unten ist der Hohlraum offen, so daß der über die Linse fokussierte Laserstrahl an dieser Stelle frei auf das plattenförmige Gut austreten kann. Solche Köpfe werden
zuweilen auch als Schneiddüsen bezeichnet. In dem unterhalb der Linse im Düsenkörper gebildeten und nach oben durch die Linse abgeschlossenen Hohlraum endet eine Blasleitung, die an eine Druckluftquelle anschließbar ist, so daß es im Betrieb möglich ist, auf diese Art und Weise Druckluft in den
Hohlraum zu führen, die dann in gleicher Richtung wie der
Laserstrahl aus dem nach unten offenen Hohlraum austritt.
Diese Druckluft hat die Aufgabe, Dämpfe, die bei der
Bearbeitung des plattenförmigen Guts entstehen, an einem
Aufsteigen in den Hohlraum hinein und an einem Niederschlagen an der dem Hohlraum zugekehrten Oberfläche der Linse zu
verhindern. Die Kondensation derartiger Dämpfe an der
Linsenoberfläche und die dadurch bewirkte Abscheidung würde ohne den Druckluftstrom eintreten und dazu führen, daß die
Linse matt oder blind wird, so daß ihre Durchlässigkeit für den Laserstrahl beeinträchtigt wäre.
Das Ausblasen von Druckluft über den Hohlraum des Düsenkörpers in Richtung auf das plattenförmige Gut ist jedoch insofern nachteilig, als die an der Oberfläche oder am Bearbeitungsspalt des Guts entstehenden Gase bei dem bekannten Kopf zwar von der Linse ferngehalten werden, sich jedoch an der Oberfläche der Platte im benachbarten Bereich zu der Bearbeitungsstelle niederschlagen. Diese Gase führen zu einem Mattiereffekt mit entsprechender Verschmutzung der Oberfläche in dem zur Bearbeitungsstelle benachbarten Bereich. Andererseits bildet sich z. B. bei der Bearbeitung bestimmter Kunststoffe, aber auch bei Metallplatten, oberhalb der Bearbeitungsstelle eine Gaswolke. Bei bestimmten Kunststoffen kann diese Gaswolke Chlor enthalten. Diese Gaswolke bleibt bzw. bildet sich auch beim Aufblasen des Spülluftstrahls des Düsenkörpers mehr oder weniger weit aus und vermindert die nutzbare Leistung des Lasers. Ein verstärktes Aufblasen von Druckluft führt zwar vorteilhaft zu einer Verkleinerung der Gaswolke, erbringt aber andererseits in nachteiliger Weise eine stärkeren Niederschlag auf dem plattenförmigen Gut. Eine Verringerung des Ausblasens von Druckluft läßt andererseits die Gaswolke wachsen, verringert die nutzbare Laserleistung und verringert den Niederschlag auf dem plattenförmigen Gut. Diese beiden gegenläufigen Forderungen bzw. Wirkung sind gleichzeitig nur bedingt zu erfüllen. Weiterhin ist nachteilig, daß das an dem plattenförmigen Gut bei seiner Bearbeitung entstehende Gas in die Umwelt abgeführt wird. Insbesondere beim Schneiden von plattenför:nigem Gut aus Kunststoff kann es beachtlichen Beeinträchtigung und Belästigungen der Bedienungspersonen kommen. Da das Material des plattenförmigen Guts durch die Bearbeitung mit dem Laserstrahl aufgeschmolzen wird, sich also zumindest in Teilbereichen in aufgeschmolzenem Zustand befindet, wirkt sich das Ausblasen von Druckluft aus dem
Hohlraum des Düsenkörpers derart aus, daß zumindest die oberen Randbereiche an der Bearbeitungsstelle nicht die gewünschte Glattheit erhält. Beim Gravieren erfolgt dieses Blindblasen der Ränder nur in einem oberen, dem Düsenkörper zugekehrten Bereich. Beim Fräsen von plattenförmigen! Gut ist die Anfälligkeit gegen Blindblasen noch größer, weil der Druckluftstrahl das plattenförmige Gut durchdringt und damit tiefer eindringen kann als beim Gravieren.
Um das bei der Bearbeitung entstehende Gas aufzufangen und abzusaugen, sind großvolumige Absauganlagen bekannt, die unterhalb der Auflagerung für das plattenförmige Gut vorgesehen sind. Diese Absauganlagen erfassen den gesamten Bereich der Auflagerung des plattenförmigen Guts, besitzen eines vergleichsweise großen Querschnitt und erfordern für Ihren Betrieb den Anschluß an entsprechend groß dimensionierte Gebläse. Solche Absauganlagen sind beim Gravieren nutzlos, da das gesamte erzeugte Gas auf der anderen Seite des plattenförmigen Guts anfällt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Kopf der eingangs beschriebenen Art bereitzustellen, der zur Verwendung mit Laserfräs- und -graviermaschinen geeignet ist und der die vermehrte Zufuhr von Blasluft gestattet, ohne daß die Nachteile des Niederschlags auf dem plattenförmigen Gut und das Blindblasen der Ränder des plattenförmigen Guts eintreten.
Erfindungsgemäß wird dies bei dem Kopf mit den eingangs genannten Merkmalen dadurch erreicht, daß der Kopf einen «isi^grainn aufweist, .ipr &ggr;&ogr;&tgr; dem nügenkörper in Ausströmrichtung des Hohlraums angeordnet und über eine Saugleitung an eine Saugquelle anschließbar ist, und daß der Saugraum von dem Düsenkörper, dem plattenförmigen Gut und einer dazwischen vorgesehenen nachgiebigen Dichtung begrenzt ist.
Bei dem neuen Kopf wird gleichzeitig geblasen und gesaugt, d. h. über die Blasleitung und den Hohlraum des Düsenkörpers wird Druckluft in Richtung auf das plattenförmige Gut ausgeblasen. Dieses Ausblasen erfolgt in einen Saugraum hinein, aus dem andererseits gezielt abgesaugt wird. Damit entsteht im Saugraum eine definierte Strömung dergestalt, daß die einzelnen Strömungspfade bogenförmig nach oben verlaufen, wobei die ausgeblasene Druckluft nach oben umgelenkt wird, bevor sie die Oberfläche des plattenförmigen Guts erreicht. Diese definierte Strömung im Saugraum verhindert bzw. vermindert nicht nur den beschriebenen Mattiereffekt, sondern bricht gleichzeitig eine entstehende Gaswolke über der Bearbeitungsstelle nach allen Seiten auf, so daß die Ausdehnung dieser Gaswolke erheblich geringer als im Stand der Technik ist. Besonders wirkungsvoll ist die beschriebene Wirkung, wenn mehr gesaugt als geblasen wird, also pro Zeiteinheit mehr Gas abgeführt als zugeführt wird. Dies läßt sich besonders einfach dadurch realisieren, daß die Saugleitung einen größeren freien Querschnitt als die Blasleitung aufweist. Es besteht natürlich auch die Möglichkeit, die Saugquelle anders zu dimensionieren als die Druckluftquelle.
Ein weiterer Vorteil des neuen Kopfs besteht darin, daß er gleichzeitig einen Schutz gegen Berührung darstellt. Auch ein Strahlenschutz wird mit ihm verwirklicht, denn es ist bei manchen Materialien nicht ausgeschlossen, daß Reflexionen des Laserstrahls stattfinden. Wenn der neue Kopf in Verbindung mit einer Laserfräsmaschine Verwendung findet, kann die unterhalb der Auflagevorrichtung für das pidtLeiifürmiye Gut vorgesehene Absauganlage erheblich geringer dimensioniert werden als im Stand der Technik, da der neue Kopf bereits eine wesentlichen Absaugfunktion erfüllt, die gezielt an der Bearbeitungsstelle erbracht wird. Durch das Absaugen im Bereich des Kopfs wird schließlich auch ein Niederschlag der
Dämpfe bzw. des Gases an der äußeren Oberfläche des Düsenkörpers verhindert.
Der Düsenkörper kann vorzugsweise doppelwandig ausgebildet sein und einen an die Saugleitung angeschlossenen Saramelraum aufweisen, der über achssymmetrisch angeordnete Durchbrechungen mit dem Saugraum in Verbindung steht. Damit wird achssymmetrisch um den Laserstrahl herum gleichmäßig und gezielt abgesaugt, so daß sich die beschriebene definierte Strömung im Saugraum ebenfalls achssymmetrisch ausbildet.
Die Durchbrechungen mit ihren Achsen können etwa parallel zur Achse des Hohlraums des Düsenkörpers, jedoch gegensinnig zu diesem durchströmt vorgesehen sein. Auch damit wird die Strömung im Saugraum gerichtet und beeinflußt.
Die nachgiebige Dichtung ist zweckmäßig als Bürstenreihe ausgebildet, damit eine Anpassung an den Abstand zwischen dem freien unteren Ende des Düsenkörpers und der Oberfläche des plattenförmigen Guts eingestellt bzw. angepaßt werden kann. Hinsichtlich der nachgiebigen Dichtung kommt es nicht unbedingt darauf an, daß diese auf der Oberfläche des plattenförmigen Guts aufliegt. Da ohnehin mehr abgesaugt als aufgeblasen wird, ist es nicht nachteilig, wenn in diesem Bereich ein Spalt besteht, durch den Fremdluft mit angesaugt wird.
Mit besonderem Vorteil ist ein zweiter Saugraum um den ersten Saugraum herum vorgesehen und der zweite Saugraum ist von einer zweiten nachgiebigen Dichtung begrenzt. Diese beiden Saugräüme, die somit kaskctdenrürmiy angeordnet sind, können vorteilhaft mit unterschiedlicher Saugintensität betrieben werden, wobei es sich empfiehlt, die Hauptabsaugung im ersten inneren Saugraum vorzusehen und den zweiten Saugraum nur vergleichsweise vermindert abzusaugen. Der zweite Saugraum bildet dabei gleichsam einen Schutzraum für den ersten
Saugraum· Der zweite Saugraum kann dabei über Verbindungsleitungen an den Sammelraum angeschlossen sein, so daß der Sammelraum und die dort angeschlossene Saugleitung die Absaugung von Gasen aus beiden Saugräumen gemeinsam gestattet.
Zweckmäßig ist es, wenn die Durchbrechungen zum ersten Saugraum einen größeren freien Querschnitt als die Verbindungsleitungen zum zweiten Saugraum aufweisen. In diesem Fall ergibt sich mit recht einfachen Mitteln eine vergleichsweise größere Saugwirkung im ersten Saugraum.
Der Düsenkörper kann von einem scheibenartigen Tellerkörper umgeben sein, der die beiden Dichtungen trägt und die Durchbrechungen zum ersten Saugraum und die Verbindungsleitungen zum zweiten Saugraum aufweist. Dieser scheibenartige Tellerkörper stellt dann gleichzeitig auch eine Begrenzung für den ersten Saugraum und den zweiten Saugraum dar. Der scheibenartige Tellerkörper kann auch drehbar am Düsenkörper gelagert sein, wobei die Verbindungsleitungen teilweise im Düsenkörper und teilweise im Tellerkörper angeordnet sind. Durch die drehbare Lagerung kann eine Schnittkantensteuerung zwischen den Teilen der Verbindungsleitungen erreicht werden, so daß es durch Verdrehen des Tellerkörpers möglich ist, den freien Querschnitt in den Verbindungsleitungen zum zweiten Saugraum relativ zu dem freien Querschnitt der Durchbrechungen einzustellen.
Bevorzugte Ausführungsformen des neuen Kopfs sind in den Ze.ichm.mqen daraestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Figur 1 einen Vertikalschnitt durch eine erste Ausführungsform des Kopfs und
Figur 2 einen Vertikalschnitt durch eine zweite Ausführungsform des Kopfs.
In Figur 1 ist ein Kopf &Pgr; dargestellt, der mit senkrechter Achse 2 an der Laserfräs- und -graviermaschine angeordnet ist und betrieben wird. Der Kopf 1 weist einen Düsenkörper 3 auf, der konzentrisch zu der Achse 2 einen meist kegelstumpfartigen Hohlraum 4 aufweist, der oben und unten axial durchgehend offen gestaltet ist. Im oberen Bereich des Düsenkörpers, der im Durchmesser entsprechend groß gestaltet ist, ist eine Aufnahmeeinrichtung 5 vorgesehen, mit deren Hilfe eine Linse 6 im Düsenkörper 3 gelagert ist. Die Linse dient der Fokussierung eines hier nicht dargestellten Laserstrahls bzw. Laserstrahlenbündels, welches von einem Laser erzeugt von oben vermittels der Linse 6 fokussiert durch den Hohlraum 4 in Richtung nach unten auf ein plattenförmiges Gut 7 gerichtet ist. Je nach den dabei angewendeten Parametern, insbesondere der Intensität des Laserstrahls und den gewählten Abständen sowie den zeitlichen Parametern der Relativbewegung dringt der Laserstrahl entweder nur in die Oberfläche des plattenförmigen Guts 7 ein, was hier durch eine gepunktet wiedergegebene Vertiefung 8 angedeutet ist. In diesem Fall wird die Maschine als Lasergraviermaschine betrieben. Andererseits ist es möglich, den Laserstrahl so einwirken zu lassen, daß er die gesamte Dicke des plattenförmigen Guts durchdringt, was durch eine gestrichelte Durchbrechung 9 angedeutet ist.
In den Hohlraum 4 unterhalb der Linse 6 mündet eine Blasleitung 10, über die Druckluft von einer schematisch diiyfcidtiüufc;Ji_fciii Dl ucklaTLqutiile Ii xii Riuhtuny eines Pfeils 12 in den Hohlraum 4 eingeführt wird, so daß diese Druckluft nach unten aus dem Hohlraum 4 in gleicher Richtung und parallel zu dem Laserstrahl austritt.
Unterhalb des Düsenkörpers 3 bzw. zwischen seinem freien unteren Ende um den Hohlraum 4 herum und der dem Kopf zugekehrten Oberfläche des plattenförmigen Guts ist ein erster Saugraum 13 geschaffen, der von einem Teil des Düsenkörpers 3, einem mit dem Düsenkörper 3 verbundenen Tellerkörper 14 und einer Dichtung 15 begrenzt ist. Es versteht sich, daß der Düsenkörper 3 und der Tellerkörper auch einstückig ausgebildet sein können. Der Tellerkörper weist Durchbrechungen 16 auf, die mit ihren Achsen 17 zweckmäßig parallel zu der Achse 2 vorgesehen sind. Die Durchbrechungen 16 verbinden den Saugraum 13 mit einem Sammelraum 18 am Düsenkörper 3, der oberhalb des Sammelraums 18 vorgesehen ist. Zur Bildung des Sammelraums 18 kann der Düsenkörper 3 auch doppelwandig, wie in Figur 1 dargestellt, ausgebildet sein. Vom Sammelraum 18 führt eine Saugleitung zu einer Saugquelle 20, die wiederum nur schematisch angedeutet ist. Die Saugleitung 19 kann einen erheblich größeren freien Durchtrittsquerschnitt als die Blasleitung aufweist, damit auf einfache Weise eine vergleichmäßigte Strömung insbesondere im Bereich des Saugraums 13 entsteht und auf diese Art und Weise mehr Luft bzw. Gas abgesaugt als aufgeblasen wird.
Im Saugraum 13 entsteht eine definierte Strömung, deren Strömungspfade durch Pfeile 21 verdeutlicht ist. Man erkennt, daß die Strömungspfade hier bogenförmig verlaufen und ihre Strömungsrichtung, die zunächst von oben nach unten gerichtet ist, wieder nach oben umkehren, so daß die dem Saugraum 13 zugekehrte Oberfläche des plattenförmigen Guts von dieser Strömung möglichst wenig tangiert wird. Damit wird zugleich ein Mattiersffekt im Bereich dieser Oberfläche vermieden. Die abgesaugte Luft und die Dämpfe und Gase, die durch die Wärmeeinwirkung des Laserstrahls am plattenförmigen Gut 7 entstehen, werden mit der Strömung im Saugraum 13 erfaßt und durch die Durchbrechungen 16 in den Saugraum abgeleitet, in welchem die Strömung etwa gemäß Pfeilen
fließt. Die definierte Strömung gemäß den Pfeilen 21 im Saugraum 13 führt auch dazu, daß eine sich über der Bearbeitungsstelle bildende Gas- bzw. Dampfwolke gleichsam symmetrisch zur Achse 2 von der Strömung aufgerissen und abgeführt wird, so daß diese Wolke eine erheblich geringere Ausdehnung bekommt als im Stand der Technik. Damit wird der Laserstrahl besser und wirkungsvoller genutzt.
Um den ersten Saugraum 13 herum kann ein zweiter Saugraum 23 vorgesehen sein, dem eine Dichtung 24 zugeordnet ist, die ähnlich wie die Dichtung 15 ebenfalls als Bürstenleiste ausgebildet sein kann. Die Dichtungen 15 und 24 müssen nachgiebig ausgestattet sein, damit eine Veränderung des Abstands zwischen dem plattenförmigen Gut 7 und dem freien Ende des Düsenkörpers 3 möglich ist. Der zweite Saugraum 23 ist über Verbindungsleitungen 25 ebenfalls an den Sammelraum angeschlossen. Die Verbindungsleitungen 25 weisen insgesamt einen kleineren freien Querschnitt als die Durchbrechungen auf. Es findet also hier eine Drosselwirkung Verwendung, dergestalt, daß die Intensität der Absaugung im ersten Saugraum 13 erheblich größer als im zweiten Saugraum 23 ist. Dies ist darin begründet, daß die wesentlichen Dämpfe und Gase über der Bearbeitungsstelle, also im Saugraum 13, entstehen. Der Saugraum 23 hat eine gewisse Schutz- und Ergänzungsfunktion für den ersten Saugraum 13. Zur Verwirklichung unterschiedlicher Querschnitte kann die Anzahl der Durchbrechungen 16 größer als die Anzahl der Verbindungsleitungen 25 sein; darüberhinaus können unterschiedliche Durchmesser Verwendung finden. In einer bevorzugten Ausführungsform sind acht Durchbrechungen 16 über Jen Umfang konzentrisch zur Achse 2 gleichmäßig verteilt angeordnet, während der zweite Saugraum 23 nur über vier gleichmäßig verteilte Verbindungsleitungen 25 angeschlossen ist.
Der in Figur 2 dargestellte Kopf 1 ist in wesentlichen Bereichen übereinstimmend zu dem in Figur 1 dargestellten Kopf ausgebildet, wobei für gleiche Teile gleiche Bezugszeichen verwendet sind- Bei der Ausführung gemäß Figur 2 ist der Tellerkörper 14 jedoch drehbar an dem Düsenkörper gelagert, wobei er mit Hilfe eines Sicherungsrings 26 aufgehängt ist. Die Verbindungsleitungen 25 erstrecken sich mit einem ersten Teil 27 im Tellerkörper 14 und mit einem zweiten Teil 28 in der äußeren Schale des Düsenkörpers 3. Die jeweiligen Achsen können, wie in Figur 2 dargestellt, in einem Winkel zueinander angeordnet sein und die entsprechenden Durchmesser können unterschiedlich groß ausgebildet sein, so daß durch eine Relatiwerdrehung zwischen Tellerkörper 14 und Düsenkörper 3 im Bereich der Verbindungsleitungen eine Schnittkantensteuerung realisiert ist, um die Drosselwirkung in den Verbindungsleitungen 25 zu verändern und gegenüber der freien Durchtrittsfläche der Durchbrechungen 16 einstellbar zu machen. Damit ist es möglich, die jeweilige Saugwirkung in den Saugräumen 13 und 23 in ihren Verhältnis zueinander einzustellen.
Bezuaszeichenliste:
1 = Kopf
2 = Achse
3 = Düsenkörper
4 = Hohlraum
5 = Aufnahmeeinrichtung
6 = Linse
7 = Gut
8 = Vertiefung
9 = Durchbrechung
10 = Blasleitung
11 = Druckluftquelle
12 = Pfeil
13 = Saugraum
14 = Tellerkörper
15 = Dichtung
16 = Durchbrechung
17 = Achse
18 = Sammelraum
19 = Saugleitung
20 = Saugquelle
21 = Pfeil
22 = Pfeil
23 = Saugraum
24 = Dichtung
25 = Verbindungsleitung
26 = Sicherungsring
27 = erster Teil
28 = zweiter Teil

Claims (10)

Schutzansprüche :
1. Kopf für Laserfräs- und -graviermaschinen für die Bearbeitung von im wesentlichen plattenförmigen Gut, wie Folien, Bahnen, Platten und Blechen aus z. B. Metall, Kunststoff, Filz u. dgl. und deren Kombinationen, mit einem Düsenkörper (3), der einen meist kegelartigen, axial offenen Hohlraum (4) aufweist und mit einer Halteeinrichtung für eine Linse (6) zum Fokussieren eines Laserstrahlenbündels, wobei an den Hohlraum (4) unterhalb der Linse (6) eine Blasleitung (10) für die Verbindung des Kopfs mit einer Druckluftquelle angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (1) weist einen Saugraum (13) aufweist, der vor dem Düsenkörper (3) in Ausstromrichtung des Hohlraums (4) angeordnet und über eine Saugleitung (19) an eine Saugquelle (20) anschließbar ist, und daß der Saugraum (13) von dem Düsenkörper (3), dem plattenförmigen Gut und einer dazwischen vorgesehenen nachgiebigen Dichtung (15) begrenzt ist.
2. Kopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugleitung (19) einen größeren freien Querschnitt als die Blasleitung (10) aufweist.
3. Kopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (3) doppelwandig ausgebildet ist und einen an die Saugleitung (19) angeschlossenen Sammelraum (18) aufweist, der über achssymmetrisch angeordnete Durchbrechungen (16) mit dem Saugraum (13) in Verbindung steht.
4. Kopf r\ar.h einf=m Oder iPhrprpn der Anspriirhp 1. bis 3 ,-dadurch gekennzeichnet, daß die Durchbrechungen (16) mit ihren Achsen (17) etwa parallel zu der Achse (2) des Hohlraums (4) des Düsenkörpers (3), jedoch gegensinnig zu diesem durchströmt vorgesehen sind.
5. Kopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die nachgiebige Dichtung (15) als Bürstenreihe ausgebildet ist.
6. Kopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Saugraum (23) um den ersten Saugraum 813) herum vorgesehen ist, und daß der zweite Saugraum (23) von einer zweiten nachgiebigen Dichtung (24) begrenzt ist.
7. Kopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Saugraum (23) über Verbindungsleitungen (25) an den Sammelraum (18) angeschlossen ist.
8. Kopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchbrechungen (16) zum ersten Saugraum (13) einen größeren freien Querschnitt als die Verbindungsleitungen (25) zum zweiten Saugraum (23) aufweisen.
9. Kopf nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (3) von einem scheibenartigen Tellerkörper (14) umgeben ist, der die beiden Dichtungen (15, 24) trägt und die Durchbrechungen (16) zum ersten Saugraum (13) und die Verbindungsleitungen (25) zum zweiten Saugraum (23) aufweist.
10. Kopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der scheibenartige Tellerkörper (14) drehbar am Düsenkörper (3) ytildCJfciiri. ist, und daß dit; VerLindungslei uuiiCjfcUi ^ 25) im Düsenkörper (3) und teilweise im Tellerkörper (14) angeordnet sind.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0618037A1 (de) * 1993-04-02 1994-10-05 International Business Machines Corporation Optik- und Umweltschutzvorrichtung für Laserbehandlungsverfahren
DE4331262A1 (de) * 1993-09-15 1995-03-16 Wissner Rolf Lasermaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks und Verfahren zur Steuerung einer Lasermaschine
WO2000007254A1 (en) * 1998-07-28 2000-02-10 National Power Plc Laser cutting and joining a fluorinated polymer membrane to a polymer frame

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