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DE69121633T2 - Verfahren und Apparat zur Messung spektraler Absorption in undurchsichtigem Material und Verfahren und Apparat zur Messung einer Verteilung mikroskopischer Absorption - Google Patents

Verfahren und Apparat zur Messung spektraler Absorption in undurchsichtigem Material und Verfahren und Apparat zur Messung einer Verteilung mikroskopischer Absorption

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DE69121633T2
DE69121633T2 DE69121633T DE69121633T DE69121633T2 DE 69121633 T2 DE69121633 T2 DE 69121633T2 DE 69121633 T DE69121633 T DE 69121633T DE 69121633 T DE69121633 T DE 69121633T DE 69121633 T2 DE69121633 T2 DE 69121633T2
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DE
Germany
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light
sample
light beam
intensity
absorption
Prior art date
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DE69121633T
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Inventor
Tsutomu Ichimura
Fumio Inaba
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Japan Science and Technology Agency
Original Assignee
Research Development Corp of Japan
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Publication date
Priority claimed from JP2133066A external-priority patent/JPH0721452B2/ja
Priority claimed from JP2133067A external-priority patent/JPH0721451B2/ja
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Description

  • Die vorliegende Erfindung richtet sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der spektralen Absorption in streuenden Objekten, bspw. in Suspensionen oder Pulvern, sowie im Besonderen auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Spektral-Absorptions-Eigenschaften eines Anteils, der in einer bestimmten Richtung weitergeleitet wird, sofern ein Strahl aus einer bestimmten Richtung auf eine Probe gerichtet wird.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung von undurchsichtigen Proben, bspw. biologischen Proben, sowie im Besonderen auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsver teilung, wobei unnötig gestreutes Licht zur Verbesserung der Auflösung entfernt wird, so daß es möglich ist, die Absorption innerhalb eines sehr kleinen Bereichs der Probe exakt zu messen.
  • Seit der Entdeckung von Röntgenstrahlen wurden auf dem Gebiet der Biologie, insbesondere auf medizinischem Gebiet, in erheblichem Umfang Technologien benötigt und entwickelt, mit denen das Innere eines lebenden Körpers (bspw. eines menschlichen Körpers) beobachtet werden kann, ohne demselben Schaden zuzufügen (d.h., unblutige oder zerstörungsfreie Untersuchungsverfahren). Diese Technologien verwenden Gamma- und Röntgenstrahlen, welche unter den elek tromagnetischen Wellen die kürzesten Wellenlängen aufweisen, sowie Radiowellen, welche unter diesen die größten Wellenlängen besitzen. Die Technologie, welche erstere Strahlen einsetzt, wurde dem praktischen Gebrauch bereits in Form der Röntgen-CT zugeführt, und die Technologie, welche die letzteren Wellen nutzt, in Form der NMR-CT (Kernspintomographie, insbesondere Kernspinresonanztomographie).
  • Andererseits wurden weniger Versuche unternommen, bei in vivo- Untersuchungen ein Spektroskopieverfahren anzuwenden, welches sich mit der Messung und Untersuchung von ultravioletten, sichtbaren, nah-infraroten und infraroten Spektren befaßt, und welches in den Forschungsgebieten der Physik und der Chemie weit verbreitet ist. Dies liegt daran, daß biometrische Untersuchungsverfahren, welche Licht verwenden, insbesondere derartige, welche den Vorgang der Lichtabsorption oder Emission verwenden, im Hinblick auf eine "quantitative Bestimmung" viele Probleme ungelöst gelassen haben, um den wichtigsten Punkt anzusprechen. Dies hat zur Folge, daß die Reproduzierbarkeit ungenügend und die Verläßlichkeit gering ist im Verhältnis zu den Absolutwerten, welche man bei Untersuchungen erhält, welche gegenwärtig durchgeführt werden, bspw. unter Verwendung einer Vorrichtung, welche Reflekionsspektren mit einem Festkörperelement oder einer hochempfindlichen TV-Kamera mißt.
  • Unter Verwendung einer Anordnung, bei der Licht auf ein streuendes Objekt wie ein organisches Gewebe gerichtet wird, ist es möglich, diejenigen Lichtanteile, welche sich geradlinig ausbreiten, in einem gewissen Ausmaß herauszufiltern, wenn das Licht unter einem Winkel von 1800 empfangen wird. Jedoch ist das räumliche Auflösungsvermögen beim gegenwärtigen Stand der Technik nicht sehr groß.
  • Der Unterschied in dem räumlichen Auflösungsvermögen zwischen Röntgenstrahlen und Licht kann beim gegenwärtigen Stand der Technik nicht wieder gutgemacht werden. Jedoch wird die Verwendung von Lichtstrahlen, insbesondere von Strahlen aus dem nahen Infrarotbereich, die Erminlung eines Bildes der Sauerstoffkonzentration des Hämoglobins im Blut eines Gewebes erlauben. Diese Lichtstrahlen werden Informationen liefern, welche sich von denjenigen unterscheiden, die mit anderen Technologien wie NMR-CT und Röntgen-CT erhalten werden.
  • Demzufolge ist es für relativ dünne Gewebe mit einer Dicke von 3 bis 5 cm möglich, das hindurchgelassene Licht zu sensieren. Dies bedeutet, daß eine derartige "Photo-Röntgenographie" zu Diagnosezwecken verwendet werden kann. Weibliche Brüste haben ein relativ homogenes Gewebe und lassen Lichtstrahlen demzufolge bereitwillig hindurch, und dank ihrer Gestalt ist es nicht schwierig, das von diesen (Dicke: bis zu etwa 3 cm) weitergeleitete Licht zu sensieren. Aus diesem Grund wurde ein "Photo-Röntgenographie"-Verfahren zur medizinischen Untersuchung von Brustkrebs seit langer Zeit unter dem Namen "Diaphanoskopie" (Lichtabtastung) eingesetzt.
  • Ausgehend von diesen Tatsachen eindeckte der gegenwärtige Erfinder, daß eine mit Streulicht vermischte, ebene Welle aus dem Gemisch zur Beobachtung abgetrennt werden kann, indem ausschließlich das Spektrum 0. Ordnung (entsprechend dem ersten dunklen Ring einer Airy'schen Scheibe) des Fraunhofer-Beugungsbilds (Airy'sche Scheibe) der ebenen Welle ermittelt wird, und hierbei kann der größte Anteil des gestreuten Lichts enifemt werden. Vgl. hierzu bspw. die japanischen Patentanmeldungen Nr. 01-62898 (1989), 01-250034 (1989) sowie 02-77690 (1990). Wenn insbesondere nur das Muster 0. Ordnung eines Fraunhofer-Beugungsbilds einer ebenen Welle als Lichtsignal ermittelt wird, ist der Grad der Trennung des inkohärenten Streulichts von der ebenen Welle ge geben durch
  • (Streuintensität)/(Intensität der durchgelassenen ebenen Welle) = (λ/Dr)².
  • Mit anderen Worten, je größer der Strahldurchmesser oder der Durchmesser Dr der Eingangsöffnung eines in hohem Grade gerichteten Detektorsystems, bspw eines lichtempfindlichen Überlagerungssystems, eines lichtempfindlichen Michelson-Systems, eines in hohem Grade gerichteten optischen Systems, etc., im Vergleich mit der Wellenlänge λ ist, um so mehr verringert sich der Anteil des Streulichts, und um so stärker kann das Streulicht von der ebenen Welle abgetrennt werden. Der gegenwärtige Erfinder sah zur Durchführung einer derartigen Beobachtung als hochgerichtetes, optisches System beispielhaft ein optisches System mit zwei Mikroöffnungen P&sub1; und P&sub2; vor, welche voneinander beabstandet sind, wie dies in Figur 7 dargestellt ist. Dieses optische System ist derart angeordnet, daß Licht der 0. Ordnung mit einem Empfänger 23 durch die Mikroöffnung P&sub2; delektiert wird. Der gegenwärtige Erfinder schlug darüber hinaus auch ein in hohem Grade gerichtetes, optisches System mit einer hohlen, gerade gestreckten, langen und dünnen Glasfaser 35 vor, wobei die innere Oberfläche des Mantels mit einem lichtabsorbierenden Werkstoff, bspw. Kohlenstoff, beschichtet ist, wie dies in Figur 8 dargestellt ist. Weiterhin zog der gegenwärtige Erfinder verschiedene, in hohem Grade gerichtete, optische Systeme in Erwägung, ähnlich den in den Figuren 9 bis 16 dargestellten: Ein hochgerichtetes optische System (Fig. 9), welches eine Objektivlinse Ob aufweist, in deren Brennebene eine Mikroöffnung P angeordnet ist damit ausschließlich das Muster 0. Ordnung eines durch die Objektivlinse Ob gebildeten Fraunhofer-Beugungsbildes hindurchgelangen kann; ein hochgradig gerichtetes, optisches System (Fig. 10) mit einer Linse GL, deren Brechungsindex sich graduell ändert, und mit einer Mikroöffnung P (ähnlich der in Figur 9 gezeig ten), welche in der Brennebene an einem Ende der Linse GL mit dem abgestuften Brechungsindex angeordnet ist; ein hochgradig gerichtetes optisches System (Fig. 11 und 12), wobei die Mikroöffnung P durch eine optische Faser SM ersetzt ist, welche dieselbe Funktion übernimmt wie die Mikroöffnung P; ein hochgradig gerichtetes, optisches System (Fig. 13 und 15) mit einer Objektivlinse Ob2, welche identisch mit einer Objektivlinse Ob1 an der Eingangsseite ist und an der Ausgangsseite der Mikroöffnung P oder optischen Faser SM des oben beschriebenen, hochgerichteten optischen Systems angeordnet ist; sowie ein hochgradig gerichtetes optisches System (Fig. 14 und 16), wobei eine Linse GL2 mit einem graduell variierenden Brechungsindex, welche identisch mit einer eingangsseitig angeordneten Linse GL1 mit abgestuftem Brechungsindex ist, an der Ausgangsseite der Mikroöffnung P oder der optischen Faser SM angeordnet ist.
  • Übrigens gibt es bekannte Verfahren zur Messung der Absorption in undurchsichtigen Proben, bspw. das Milchglasverfahren, wobei ein geradliniger Anteil und eine Transmissions- und Streukomponente einer Streuungen hervorrufenden Probe gemeinsam von einem milchigen Glas gestreut werden, um ein Maß für die Schwächung des Gesamtwerts der Transmission durch die Probe zu erhalten [vgl. bspw. Kazuo Shibata "Photobiology Series: Introduction to Spectral Measurement", Seiten 62 bis 82 (20. Juni 1976, Kyoritsu Shuppan K.K.)]. Heterogene Systeme wie Suspensionen von Partikeln, bspw. Zellen, Körnchen, oder festes Pulver absorbieren und streuen das Licht im allgemeinen. Dementsprechend ist es schwierig, ausschließlich die Absorptions-Wellenlängen-Eigenschaften derartiger heterogener Systeme zu bestimmen. Aus diesem Grund ist es eine übliche Praxis, eine Größe zu bestimmen, mit der die tatsächlichen Absorptions- Wellenlängen-Eigenschaften approximiert werden können. Insbesondere wird eine Schwächung des Gesamtwerts der Transmission bestimmt, um die Absorption zu ersetzen. Die Schwächung des Gesamtwerts der Transmission ist der gemeinsame Logarithmus des Verhältnisses aus einem Bündel von Lichtstrahlen, welche sowohl durch Absorption als auch durch Streuung vermindert sind, und aus den einfallenden Lichtstrahlen, was sich im allgemeinen nicht mit den Absorptionseigenschaften deckt. Damit die Schwächung des Gesamtwerts der Transmission so weit als möglich an die tatsächlichen Absorptionseigenschaften angenähert werden kann, werden die parallel durchlaufenden Strahlen und die gestreut hindurch laufenden Strahlen von einem Detektor mit derselben Einfangrate detektiert, so daß die Auswirkung der Streuung auf das Verhältnis der Lichtstrahlen gering wird Als Verfahren wurde zu diesem Zweck die Milchglasmethode in der Praxis ange wendet. Zusätzlich wurde das die Transmission integrierende Kugelverfahren, das photoelektrische Oberflächenkontaktverfahren, etc. in der Praxis als Verfahren zur Minimierung der Auswirkung der Streuung angewendet, indem die gesamten, durchgehenden Strahlen, sowohl parallel hindurchlaufende Strahlen wie auch gestreut hindurchlaufende Strahlen, eingefangen werden. Ein Verfahren, welches sowohl das Kontaktverfahren wie auch Streuverfahren gemeinsam benutzt, wurde ebenfalls eingesetzt als intermediäres Verfahren zwischen der Ermittlung parallel hindurchlaufender Lichtstrahlen und gestreut hindurchlaufender Lichtstrahlen mit derselben Einfangrate und der Ermittlung aller hindurchlaufender Lichtstrahlen.
  • Unterdessen wurde bis jetzt zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer Streuungen verursachenden Probe ein Meßverfahren angewendet, welches in Figur 17 skizziert ist. Um dies deutlich auszuführen, das Licht einer Lichtquelle, welche Lichstrahlung über einen weiten Spektralbereich emittiert, läuft durch ein Interferometer zur Fourier-Spektroskopie, und wird sodann mittels eines umschaltbaren Transmissions-/Reflexions-Spiegels entweder auf einen optischen Transmissionspfad oder auf einen optischen Reflexionspfad gesandt. Sofern der optische Transmissionspfad ausgewählt ist, wird das Beleuchtungslicht durch ein unteres Cassegrain-System, welches als Kondensorlinse betrieben wird, auf einen sehr kleinen Punkt einer auf einem Probentisch abgelegten Probe ge sammelt. Licht, welches durch den Meßpunkt hindurchtritt, sowie dasjenige Licht, welches an dem Meßpunkt nach vorne gestreut wird, wird durch ein oberes Cassegrain-System, welches als Objektivlinse betrieben wird, auf eine Öffnung fokussiert, und das Licht, welches durch diese Öffnung hindurchtritt, wird auf einen Detektor gelenkt, um die Absorptionseigenschaften in dem Meßpunkt zu ermitteln.
  • Solchermaßen ist es möglich, den Transmissionsanteil einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in der Probe zu messen, indem die obige Messung in ähnlicher Form wiederholt wird, wobei der Probentisch in den Richtungen X und Y gerastert verstellt wird. Wenn der verschwenkbare Spiegel in Richtung auf den opti schen Reflexionspfad umgeklappt wird, so wird das Beleuchtungslicht durch das obere Cassegrain-System in einem Punkt der Probe gesammelt, und dasjenige Licht, welches von dem Meßpunkt reflektiert und zurückgestreut wird, wird durch dasselbe, obere Cassegrain-System auf die Öffnung fokussiert. Solchermaßen kann der Reflexionsanteil der mikroskopischen Absorptionsverteilung in der Probe auf demselben Weg gemessen werden wie oben beschrieben.
  • Figur 18 zeigt ein weiteres, übliches Mikrospektroskopieverfah ren, welches eine Kombination aus einem optischen Mikroskop und einem Spektrophotometer verwendet, um ein Absorptionsspektrum eines sehr kleinen Bereichs zu beobachten. Licht einer Lichtquelle 1 wird durch ein Spektroskop m&sub0; in monochromatisches Licht umgewandelt, um eine Blende (Mikroöffnung) p zu beleuchten. Betrachtet man die Blende p als Lichtquelle eines Mikroskopsystems, so gelangt deren Licht durch ein Beleuchtungsmikroskop m&sub1;. Folglich wird ein verkleinertes Bild der Blende p auf einer Probenebene 5 erzeugt. Dieses Bild wird durch ein weiteres Mikroskop m&sub2; vergrößert und zu einem Detektor d gelenkt. Sofern eine Probe an der Position 5 abgelegt wird, wo das verkleinerte Bild der Blende erzeugt wird, ist es möglich, die Absorption eines äußerst kleinen Bereichs der Probe zu messen. Übrigens ist der Streueffekt groß, sofern dasselbe Meßverfahren, das bei streuungsarmen Proben Verwendung findet, eingesetzt wird, um ein Absorptionsspek trum einer Probe zu erhalten, welche Streuungen verursacht, so daß es unmög lich ist, ein exaktes Absorptionsspektrum aufzunehmen. Zur Messung der Absorption in undurchsichtigen Proben sind technische Verfahren bekannt, wobei die Auslöschung des Gesamtwerts der Transmission unter Verwendung eines Milchglases oder einer integrierenden Kugel gemessen wird, wie oben ausgeführt.
  • Die oben beschriebenen, bekannten Verfahren leiden jedoch an den im folgenden dargelegten Problemen: (1) Das Milchglasverfahren bringt den Nachteil mit sich, daß die lichtstreuende Wirkung sich in Abhängigkeit von der Wellenlänge störend verändert; (2) das Verfahren mit der Kugel zur Berücksichtigung der gesamten Transmission leidet an dem Nachteil, daß ein weißes Reflexionsmaterial in der lntegrationskugel bei einer kurzen Wellenlänge ein stark verschlechtertes Reflexionsvermögen zeigt, insbesondere nahe dem ultravioletten Bereich, selbst bei Verwendung von MgO-Pulver, welches als optimales Reflexionsmaterial bekannt ist, so daß keine zuverlässigen Daten erhalten werden können; (3) das photoelektrische Oberflächenkontaktverfahren, welches zwei Detektoren verwendet, bringt Schwierigkeiten bei der Einhaltung gleichbleibender Empfindlichkeitseigenschaften in Abhängigkeit von der Wellenlänge mit sich, während das photoelektrische Oberflächenkontaktverfahren mit nur einem Detektor Probleme bei der Einrichtung einer Probe und einer Steuervorrichtung innerhalb eines begrenzten Raums bereitet; und (4) das Verfahren, welches eine Verbindung aus dem Kontaktverfahren und dem Streuverfahren einsetzt, leidet an der Begleiterscheinung, daß es notwendig ist, die Größe einer Probe und Abstand und Größe des Detektors geeignet auszuwählen, obwohl es den vorangehenden drei Verfahren überlegen ist.
  • Zusätzlich beinhalten die vier üblichen Verfahren den gemeinsamen Nachteil, daß es Fälle gibt, bei denen die gemessene Auslöschung der Gesamttransmission nicht an die Absorptionswellenlänge von Schwebeteilchen approximiert werden kann. Um dies genauer auszuführen, sobald die Intensität der reflektierten Strahlen zunimmt, wird es unmöglich, eine Approximation durchzuführen. Wenn das streuende Raummuster, welches von einer Probe gebildet wird, durch die Wellenlänge beeinflußt wird, so wird die Wellenlängenänderung der gestreut hindurchlaufenden Strahlen unterschiedlich gegenüber derjenigen der gestreut Reflektierten Strahlen, so daß keine Approximation gemacht werden kann. Weiterhin ist es schwierig, eine Absorptionsmessung durchzuführen, welche ein räumliches Auflösungsvermögen bietet, bspw. zur Bestimmung eines Absorptionsortes. Obwohl die bekannten Verfahren zur Absorptionsmessung in dünnen, heterogenen Systemen wie verdünnten Suspensionen geeignet sind, können diese Verfahren nicht zur Absorptionsmessung in dichten, durchscheinenden Objekten wie biologi schen Proben herangezogen werden, wenn die Streuung so stark ist, daß die Kubelta-Munk-Beziehung gültig ist.
  • Bei dem mikrospektroskopischen Meßverfahren für den infraroten Bereich, welches ein Fourier-Spektroskop verwendet, und bei dem mikrospektroskopischen Meßverfahren für den sichtbaren Bereich, welches ein Beugungsgitter- Spektroskop verwendet, bei diesen oben beschriebenen Verfahren sind keine Maßnahmen getroffen, um undurchsichtige Proben zu messen, welche Streuungen verursachen, und demzufolge ergeben sich bei derartigen Proben große Meßfehler, so daß keine verläßlichen Daten erhalten werden. Mit anderen Worten, da unnötig gestreutes Licht aus der Umgebung einschließlich der Vorder- und Rückseite des Meßpunkts dazugemischt wird, ist es unmöglich, exakte Absorptionseigenschaften zu messen. Da außerdem andere, Fraunhofer'sche Beugungs muster neben dem Beugungsmuster 0. Ordnung in die Objektivlinse gelangen, ist die Auflösung begrenzt. Das Meßverfahren, welches eine einfache Kombination des Meßverfahrens mit dem Milchglas oder der Integrationskugel darstellt und als Meßverfahren für die Absorption in undurchsichtigen Proben entwickelt wurde, sowie das mikrospektroskopische Meßverfahren beinhalten das Problem, daß das aufgenommene Lichtsignal schwach ist, wodurch es schwierig wird, eine Messung durchzuführen, und demzufolge kann dieses Verfahren in der Praxis nicht verwendet werden. Da das Verfahren mit dem Milchglas oder einer lntegrationskugel kaum mehr als ein Integrationsverfahren darstellt, kann es nicht für Proben verwendet werden, bei denen keine Approximation gemacht werden kann, weil die Intensität reflektierter Strahlen hoch ist oder weil die Wellenlängenänderung gestreut durchgelassener Strahlen mit derjenigen gestreut reflektierter Strahlen identisch ist, so daß sich große Fehler ergeben; hier könnte selbst eine deutlich erhöhte Aufnahmeempfindlichkeit keine Verbesserung bringen. Selbst wenn ein derartiges Meßverfahren angewendet werden kann, ist das räumliche Auflösungs vermögen herabgesetzt. Somit gibt es bis jetzt kein geeignetes Meßverfahren für ein Absorptionsspektrum in einem sehr kleinen Bereich einer undurchsichtigen Probe, welche Streuungen hervorruft.
  • Im Stand der Technik, vgl. GB-A 2191855, ist eine Vorrichtung und ein Verfahren mit den Merkmalen des Oberbegriffs der Ansprüche 1 und 4 bekannt. Mit der dortigen Anordnung wird beabsichtigt, die bekannten Eigenschaften eines Michelsonlnterferometers hilfsweise zu verwenden, um die Reflexionsorte in einem integrierten, optischen Cip aufzuspüren. Die Anordnung befaßt sich jedoch nicht mit dem Problem der Bestimmung spektraler Absorptionseigenschaften einer undurchsichtigen, Licht aussendenden Probe.
  • Somit ist es ein erstes Anliegen der gegenwärtigen Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung spektraler Absorptionseigenschaften zu schaffen, wobei gestreute Lichtstrahlen eines streuenden Objekts, bspw. von einer Suspension oder von organischem Gewebe, so weit als möglich enifemt und parallele Strahlen einer in einer bestimmten Richtung weitergeleiteten Komponente (insbesondere geradlinig durchlaufende Komponentenstrahlen) aufgefangen werden.
  • Eine weitere Absicht der Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung vorzuschlagen, wobei unnötig gestreutes Licht enifemt wird, um die Auflösung zu verbessern, so daß es möglich ist, die Absorption in einem sehr kleinen Bereich einer undurchsichtigen Probe, bspw. eines organischen Gewebes, exakt zu messen. Diese Ziele lassen sich mit den kennzeichnenden Merkmalen der Ansprüche 1 und 4 erreichen.
  • Weitere günstige Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung und den nachgeordneten Ansprüchen sowie anhand der beigefügten Zeichnung. Hierbei zeigt:
  • Fig. 1 eine Ansicht, um die Anordnung und Betriebsart eines lichtempfangenden System vom Michelson-Typ als hochgerichtetem Aufnahme system zu erklären, welches in der gegenwärtigen Erfindung verwendet wird;
  • Fig. 2 eine Anordnung eines Spektral-Absorptions-Meßgeräts gem. der vorliegenden Erfindung mit einem lichtempfangenden System vom Michelson-Typ, welches auf eine durchlässige Probe angewendet wird;
  • Fig. 3 ein spezielles Beispiel eines Geräts zur Messung spektraler Absorptionseigenschaften in einem großen Bereich einer Probe;
  • Fig. 4 eine Ansicht zur Erklärung der Struktur und Betriebsart eines hochauflösenden Aufnahmesystems mit einem lichtempfindlichen System vom Michelson-Typ, welches gem. der vorliegenden Erfindung im Rahmen eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer undurch sichtigen Probe eingesetzt wird;
  • Fig. 5 die Anordnung einer erfindungsgemäßen Ausführungsform des Gerätes zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung unter Verwendung eines lichtempfänglichen Systems vom Michelson- Typ, welches auf eine durchlässige Probe angewendet wird;
  • Fig. 6 ein spezielles Beispiel eines erfindungsgemäßen Geräts zur Messung der mikroskopischen Absorptionsverteilungseigenschaften einer Probe;
  • Fig. 7 - 16 Strukturen hochgerichteter optischer Systeme, welche von dem Erfinder vor dieser Anmeldung vorgeschlagen worden sind;
  • Fig. 17 die Anordnung eines herkömmlichen Geräts zur Messung der mikro skopischen Absorptionsverteilung, welches ein Fourierspektroskop verwendet; sowie
  • Fig. 18 die Anordnung eines herkömmlichen Geräts zur Messung der mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer sehr kleinen Probe, welches ein Spektruskop vom Beugungsgittertyp verwendet.
  • Ein lichtempfängliches System vom Michelson-Typ ist als Mittel bekannt, welches in der Lage ist, eine sehr kleine Anderung im Brechungsindex od. dgl. festzustellen. Bei einem lichtempfänglichen System 4 vom Michelson-Typ, wie es in Figur 1 dargestellt ist, wird das Licht eines Lasers 1 von einem Strahlenteiler BS in zwei Lichtstrahlen aufgespalten, von denen einer von den Spiegeln M1 und M2 reflektiert wird, um durch eine Probe S hindurchzutreten, welche in den Pfad des reflektierenden Lichts eingefügt ist, und das hindurchfallende Licht wird mit einem (später beschriebenen) geradlinigen Lichtstrahl mittels eines halbdurchlässigen Spiegeis HM zusammengefaßt. Der geradlinige Lichtstrahl (welcher im folgenden als "Referenzlicht" bezeichnet wird) läuft nach dem Durchtritt durch den Strahlteiler BS durch den halbdurchlässigen Spiegel HM und fällt auf einen beweglichen Spiegel M, der in Richtung des in der Figur wiedergegebenen, mit zwei Spitzen versehenen Pfeils bewegt wird. Das Licht wird in die entgegengesetzte Richtung reflektiert und von dem halbdurchlässigen Spiegel HM mit dem durch die Probe S hindurchlaufenden Lichtstrahl vereinigt, und das dabei entstehende, zusammengesetzte Licht wird in einem Detektor 2 photoelektrisch umgesetzt. Der Detektor 2 erzeugt ein Ausgangssignal, dem ein lnterferenzsignal überlagert ist, welches mit der Geschwindigkeit der Bewegung des Spiegels M korrespondiert. Die Intensität des Wechselanteus des Ausgangssignals ist proportional zur Durchlässigkeit der Probe S, und die Phase des Signals hängt von der Dicke oder dem Brechungsindex der Probe S ab. Das lichtempfängliche System 4 vom Michelson-Typ ist somit in der Lage, eine sehr kleine Änderung in dem Brechungsindex o.ä. zu erkennen.
  • Da die von der Probe S in eine bestimmte Richtung gestreute Komponente, welche von der Richtung des Referenzlichts abweicht, sich nicht mit dem Referenzlicht auf der Detektoroberfläche des Detektors 2 überlappt, wird von dieser kein Schwebungssignal erzeugt, und das gestreute Licht wird näherungsweise als Konstantkomponente erkannt. Somit übernimmt das lichtempfängliche System 4 vom Michelson-Typ auch die Funktion eines hochgerichteten Empfangssystems, welches in der Lage ist, eine derartige Streukomponente auf einfachem Weg zu entfernen und ausschließlich eine Lichtkomponente zu erfassen, welche sich in derselben Richtung ausbreitet wie das Referenzucht, und außerdem kann auch ein sehr schwaches Signal erkannt werden, wie oben beschrieben. Dementsprechend verwendet die vorliegende Erfindung die Struktur eines lichtempfänglichen Systems 4 vom Michelson-Typ als hochgerichtetes Erfassungssystem.
  • Übrigens erfaßt das lichtempfängliche System 4 vom Michelson-Typ die Intensität des von der Probe S durchgelassenen oder gestreuten Lichts auf der Basis eines Prinzips, welches im folgenden kurz erläutert werden soll. Angenommen, daß das Referenzucht, welches zur Kombination herangezogen werden soll, als V&sub2; bezeichnet wird, und das von der Probe S durchgelassene oder gestreute Licht (im folgenden gegebenenfalls als "Probenlicht" angesprochen) sei V&sub1;, so können diese beiden Lichtquellen wie folgt ausgedrückt werden:
  • V&sub1;=A&sub1;exp [-i (ω&sub1;t+φ&sub1;)]
  • V&sub2;=A&sub2;exp [-i (ω&sub2;t+φ&sub2;)]
  • Wenn diese zwei Lichtwellen V&sub1; und V&sub2; in einem überlagerten Zustand beobachtet (erfaßt) werden, ist das empfangene Signal S gegeben durch
  • S= V&sub1;+V&sub2; ²=V&sub1; V&sub1;*V&sub2; V&sub2;*+V&sub1; V&sub2;*+V&sub1;* V&sub2;
  • Weil
  • V&sub1; V&sub1;*=A&sub1;², V&sub2; V&sub2;*=A&sub2;²
  • und
  • V&sub1; V&sub2;*=A&sub1; A&sub2;exp[-i(ω&sub1;-a)&sub2;)t-i(φ&sub1;-φ&sub2;)
  • V&sub1;* V&sub2;=A&sub1; A&sub2;exp[+i(ω&sub1;-ω&sub2;)t+i(φ&sub1;-φ&sub2;)
  • V&sub1; V&sub2;*+V&sub1;* V&sub2;=2A&sub1; A&sub2;cos[(ω&sub1;-ω&sub2;)t+(φ&sub1;-φ&sub2;)]
  • ist das empfangene Signal S gegeben durch
  • S=A&sub1;²+A&sub2;²+2A&sub1; A&sub2;cos[(ω&sub1;-ω&sub2;)t+(φ&sub1;-φ&sub2;)]
  • Da in einem lichtempfänglichen System 4 vom Michelson-Typ die Beziehungen ω&sub1;=ω&sub2; and φ&sub2;=φ&sub1;+kt gelten, ist das empfangene Signal gegeben durch
  • S=A&sub1;²+A&sub2;²+2A&sub1; A&sub2;coskt
  • Solchermaßen ist es möglich, die Amplitude A&sub1; des Probenlichts V&sub1; aus der Größe des Wechselanteils des empfangenen Signals zu erhalten.
  • Als undurchsichtige Proben, welche im Rahmen der vorliegenden Erfindung einer Spektralabsorptionsmessung unterzogen werden können, werden keine Proben verwendet, welche einfallendes Licht vollständig abblocken und dieses überhaupt nicht in Vorwärtsrichtung hindurchlassen, sondern dünne, heterogene Systeme wie verdünnte Suspension, bspw. biologische Proben, und auch Prüflinge wie dichte, durchscheinende biologische Proben, durch welche so gut wie kein Licht direkt hindurchtreten kann, ohne gestreut zu werden, bei denen jedoch Licht austritt, welches an feinen Streupartikeln innerhalb der Probe mehrfach nach vorne gestreut worden ist. Natürlich kann auch eine Probe als Meßobjekt verwendet werden, welche Licht auf direktem Wege hindurchtreten
  • Im folgenden wird eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Messung der Spektralabsorptionseigenschaften einer undurchsichtigen Probe beschrieben.
  • Figur 2 zeigt eine Vorrichtung, welche ein lichtempfängliches System 4 vom Michelson-Typ verwendet, um die Spektralabsorptionseigenschaften einer durchlässigen Probe 20 zu bestimmen. Bei dieser Anordnung wird ein Lichtstrahl, welcher von einem Laser 10 mit einstellbarer Wellenlänge ausgesendet wird, mittels eines Strahlumsetzers 11 in ein Bündel von parallelen Strahlen mit geeignetem Durchmesser umgewandelt und sodann von einem Strahlteiler BS in zwei Lichtstrahlen aufgeteilt, d.h., in einen geradlinig weiterlaufenden Lichtstrahl und in einen reflektierten Lichtstrahl. Eine durchlässige Probe 20 wird in den Pfad des reflektierten Lichtstrahls, welcher über Spiegel M1 und M2 weitergeleitet wird, eingefügt, und das Licht, welches durch die Probe 20 hindurchfällt und dabei gestreut wird, wird mit dem Referenzucht mittels eines halbdurchlässigen Spiegeis HM vereinigt. Das Referenzlicht, welches durch den Strahlteiler BS hindurchtritt, wird weiter durch den halbdurchlässigen Spiegel HM hindurchgeschickt, um auf einen beweglichen Spiegel M zu fallen, der in Richtung des in der Figur wiedergegebenen, mit zwei Spitzen versehenen Pfeils bewegt wird. Das Referenzlicht, welches von dem Spiegel M in die umgekehrte Richtung zurückgeworfen wird, wird durch den halbdurchlässigen Spiegel HM mit dem Probenlicht zusammengeführt, und das resultierende, zusammengesetzte Licht wird in einem Detektor 2 photoelektrisch umgewandelt. Dieser liefert ein Ausgangssignal, welchem ein Interferenzsignal überlagert ist, wobei die Frequenz des Interferenzsignals mit der Geschwindigkeit des bewegten Spiegels M korrespondiert. Da die Intensität der Wechselkomponente des Ausgangssignals des Detektors 2 proportional zur Intensität des in der durchlässigen Probe 20 gestreuten Lichts ist, können die Spektralabsorptionseigenschaften an der Intensität der Wechselkomponente abgelesen werden, wenn die Wellenlänge des Lasers 10 von verstellbarer Wellenlänge durchgestimmt wird.
  • Figur 3 zeigt eine Vorrichtung, welche das in Figur 2 wiedergegebene lichtempfindliche System 4 vom Michelson-Typ verwendet. Da dieses Gerät insofern modifiziert wurde, als einfach die entsprechende, in Figur 2 wiedergegebene Anordnung in eine vertikale Form gebracht wurde, ist eine detaillierte Erklärung nicht notwendig. Es sollte festgehalten werden, daß in Figur 3 ein Antriebssystem 14 vorgesehen ist, um den beweglichen Spiegel M entlang seiner optischen Achse zu verschieben.
  • Im folgenden werden erfindungsgemäße Ausführungsformen des Verfahrens und der Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer undurchsichtigen Probe beschrieben.
  • Die in den Figuren 2 und 3 dargestellte Beziehung zwischen der Probe S und dem Bündel paralleler Strahlen innerhalb des hochgerichteten optischen Systems 4 wird in das hochauflösende Erfassungssystem 40 geändert, dessen Anordnung Figur 4 zeigt, wobei einfallendes Licht auf einen sehr kleinen, punkiförmigen Bereich gerichtet wird, welcher mit der Beugungskomponente 0. Ordnung eines durch eine Linse erzeugten Fraunhoferschen Beugungsbildes korrespondiert, wodurch es möglich wird, das ausschließlich von diesem sehr kleinen Punkt gestreute Licht zu erfassen. Um dies genauer auszuführen, eine Kondensorlinse L1 mit einer relativ großen numerischen Apertur (NA) ist auf der Lichteinfalseite der Probe S zwischengeschaltet, so daß der rückwärtige Brennpunkt der Linse L1 mit einem Meßpunkt auf der Probe S zusammenfällt, und eine Objektivlinse L2 mit einer relativ großen numerischen Apertur (NA) ist derart zwischengeschalten, daß der vordere Brennpunkt der Linse L2 mit dem rückwärtigen Brennpunkt der Kondensorlinse L1 zusammenfällt. Mit dieser Anordnung wird Licht von einem Laser 1 durch die Kondensorlinse L1 auf einen sehr kleinen Punkt der Probe S gerichtet, und das von diesem sehr kleinen Punkt ausgehende Licht wird durch die Objektivlinse L2 in parallele Strahlen umgelenkt, welche in eine vorgegebene Richtung laufen. Solchermaßen wird aufgrund des Prinzips des hochgerichteten Detektorsystems 4 ausschließlich dasjenige Licht von dem Detektor 2 aufgefangen, welches sich in dieser Richtung ausbreitet. Auf diesem Weg ist es möglich, ausschließlich von einem sehr kleinen Bereich gestreutes Licht zu untersuchen, welches der 0. Beugungskomponente eines von einer Linse erzeugten Fraunhoferschen Beugungsbildes der Probe S entspricht. Demgemäß erlaubt die Verwendung des oben beschriebenen, hochauflösenden Detektorsystems 40 die Vermeidung einer Vermischung unnötig gestreuten Lichts aus der Umgebung einschließlich der Vorder- und Rückseite des Meßpunkts, und darüber hinaus können die Absorptionseigenschaften der Probe S mit extrem hoher Auflösung gemessen werden.
  • Figur 5 zeigt eine Vorrichtung, welche das in Figur 4 wiedergegebene, mit einem lichtempfänglichen System vom Michelson-Typ ausgerüstete, hochauflösende Detektorsystem 40 verwendet, um eine mikroskopische Absorptionsverteilung in einer durchlässigen Probe 20 zu messen. In dieser Vorrichtung wird Licht, welches von einem Laser 10 mit einstellbarer Wellenlänge ausgesendet wird, von einem Strahlumsetzer 11 in ein Bündel paralleler Strahlen von geeignetem Durchmesser zerlegt und sodann vermittels eines Strahlteilers BS in zwei Lichtstrahlen aufgespalten, d.h., in einen als Referenzlichtstrahl dienenden, geradlinig weiterlaufenden Lichtstrahl, und in einen reflektierten Lichtstrahl. Eine Kondensorlinse L1 und eine Objektivlinse L2 sind in dem Pfad des reflektierten Lichts, welches über Spiegel M1 und M2 umgelenkt wird, derart angeordnet, daß ihre Brennpunkte zusammenfallen, und eine durchlässige Probe 20 ist in dem gemeinsamen Brennpunkt eingefügt. Das Licht, welches durch die Probe 20 hindurchtritt und dabei gestreut wird, wird mit dem Referenzlichtstrahl in einem halbdurchlässigen Spiegel HM vereinigt. Der Referenzlichtstrahl, welcher sich aus dem Licht zusammensetzt, welches durch den Strahlteiler BS hindurchfällt, wird durch den halbdurchlässigen Spiegel HM hindurchgeleitet und fällt auf einen beweglichen Spiegel M, der in Richtung des in der Figur dargestellten, mit zwei Spitzen versehenen Pfeils bewegt wird. Das Referenzlicht, welches von dem bewegten Spiegel M in die entgegensetzte Richtung reflektiert wird, wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel HM mit dem Probenlicht zusammengefaßt, und das resultierende, zusammengesetzte Licht wird in einem Detektor 2 photoelektrisch umgewandelt. Der Detektor 2 erzeugt ein Ausgangssignal, welchem ein lnterferenzsignal überlagert ist, dessen Frequenz mit der Geschwindigkeit des bewegten Spiegels M korrespondiert. Da die Intensität der Wechselkomponente des Ausgangssignals proportional zur Intensität des von der durchlässigen Probe 20 gestreuten Lichts ist, kann eine Absorptionsverteilung in der Probe 20 gemessen werden, indem die Größe des Wechselanteils an jedem Meßpunkt festgestellt wird, während die Probe 20 von einem x-y-Scannergerät XY gerastert verfahren wird. Es ist ebenfalls möglich, eine spektrale Absorptionsverteilung zu messen, indem während der Aufnahme der Absorptionsverteilung die Wellenlänge des Lasers 10 mit variabler Wellenlänge durchgestimmt wird.
  • Figur 6 zeigt eine Vorrichtung, welche ein hochauflösendes Detektorsytem 40 verwendet, das über ein in Figur 4 dargestelltes, lichtempfängliches System vom Michelson-Typ verfügt. Da dieses Gerät eine Modifikation darstellt, welche dadurch entstanden ist, daß einfach die entsprechende Anordnung gemäß Figur 4 in eine vertikale Form umgruppiert wurde, ist eine detaillierte Erläuterung überflüssig. Es sollte angemerkt werden, daß in Figur 6 ein Antriebssystem 7 vorgesehen ist, um den beweglichen Spiegel M entlang der optischen Achse zu bewegen.
  • Obwohl bei den vorangehend beschriebenen Ausführungsformen angenommen wurde, daß der Laser 10 mit variabler Wellenlänge kontinuierlich oszilliert, sollte angemerkt werden, daß auch ein gepulster Laser mit variabler Wellenlänge verwendet werden kann. Insbesondere im Fall einer Probe, deren Eigenschaften sich bei kontinuierlicher Bestrahlung mit Laserlicht rapide ändert, ist es vorzuziehen, einen gepulsten Laser mit variabler Wellenlänge zu verwenden. Obwohl hinsichtlich des Detektors 2 keine speziellen Erläuterungen gemacht wurden, kann jedes Detektormittel Verwendung finden. Der reflektierende Spiegel des Michelson-Interferometers kann entweder mit einer konstanten Geschwindigkeit bewegt werden oder er oszilliert nach Art einer Sägezahnwelle.
  • Wie oben ausgeführt, wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und Vorrichtung zur Messung der spektralen Absorption in einer undurchsichtigen Probe eine streuende Probe mit einem hochgerichteten Licht von variabler Wellenlänge aus einer bestimmten Richtung beleuchtet, so daß die gestreuten Strahlen so weit als möglich entfernt werden, und darüber hinaus wird ausschließlich die Intensität der parallelen Strahlen eines in eine bestimmte Richtung hindurchtretenden Anteils (d.h., Strahlen eines geradlinigen Anteils) erfaßt, in dem ein hochgerichtetes, lichtempfängliches System vom Michelson-Typ verwendet wird.
  • Demzufolge ist es möglich, die spektralen Absorptionseigenschaften einer streuenden Probe mit hoher Genauigkeit zu messen, ohne in andere, unerwünschte Richtungen gestreutes Licht oder anderweitiges Lichtrauschen aufzunehmen. Zusätzlich wird die Steuerung der Messung gegenüber den herkömmlichen Meßverfahren außerordentlich vereinfacht, so daß die Messung extrem erleichtert ist. Solchermaßen ist das Verfahren und die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung geeignet für die Messung der spektralen Absorption eines in eine bestimmte Richtung hindurchgelassenen Anteils nicht nur in dünnen, heterogenen Systemen mit einem räumlichen Auflösungsvermögen, bspw. in Suspensionen oder organischen Geweben, sondern auch in dichten, transparenten Objekten, welche in einem gewissen Umfang Streuungen verursachen.
  • Bei dem Verfahren und der Vorrichtung zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer undurchsichtigen Probe gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein sehr kleiner Meßpunkt einer Probe mit gesammeltem, stark gerichteten Licht beleuchtet, und Licht, welches von dem Meßpunkt ausgeht, wird in parallele Strahlen umgewandelt oder unverändert in der Form einer Kugewelle belassen, und sodann unter Verwendung eines hochgerichteten lichtempfindlichen Systems vom Michelson-Typ erfaßt. Demzufolge ist es möglich, die Absorption in einem sehr kleinen Bereich einer Probe mit hoher Auflösung zu messen, ohne gestreutes Licht aus der Umgebung des Meßpunkts oder anderes Lichtrauschen aufzunehmen. Demzufolge sind das Verfahren und die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung geeignet zur Messung einer mikroskopischen Absorptionsverteilung in einer undurch sichtigen Probe, bspw. einem organischen Gewebe.

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Messung optischer Eigenschaften einer Licht streuenden Probe (20, 21), umfassend eine monochromatische Lichtquelle (10) von variabler Wellenlänge; einen Strahlteiler (BS) zur Aufteilung des Lichtstrahls der besagten Lichtquelle in einen ersten und einen zweiten Lichtstrahl; ein in dem Pfad des ersten Lichtstrahls angeordnetes Mittel (M) zur Verstellung der Länge des optischen Pfads des ersten Lichtstrahls; ein Mittel zum Unterstützen der streuenden Probe in dem optischen Pfad des zweiten Lichtstrahls; ein Mittel (HM) zur Zusammenführung des Lichts des zweiten Lichtstrahls, welches von der streuenden Probe (20, 21) ausgeht, mit dem Licht des ersten Lichtstrahls, welches von dem Verstellungsmittel (M) empfangen wird, und zur Projektion des resultierenden, zusammengesetzten Lichts in die selbe Richtung; und ein Mittel (2) zum Empfang des zusammengesetzten Lichts von dem Zusammenführungsmittel (HM) und zur Umwandlung des zusammengesetzten Lichts in ein elektrisches Signal, wobei das Mittel zur Umwandlung ein Element zur Bestimmung der Intensität des Wechselanteils des elektrischen Signals aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Zusammenführungsmittel (HM) der art angeordnet ist, um das Licht des zweiten Lichtstrahls aufzufangen, welches durch die undurchsichtige Probe (20, 21) hindurchläuft, die von dem Unterstützungsmittel gehalten wird; daß das Verstellungsmittel derart ausgebildet ist, um die Länge des optischen Pfads des ersten Lichtstrahls mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit zu verstellen, die zu der engen Bandweite der monochromatischen Lichtquelle (10) derart in Beziehung gesetzt ist, daß die Wechselkomponente des elektrischen Signals eine Frequenz hat, die durch die Interferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Lichtstrahl bestimmt ist; wobei das Mittel zur Bestimmung derart angeordnet ist, daß die Intensität der Wechselkomponente durch die Intensität des zweiten Lichtstrahls bestimmt wird, der sich durch die Probe ausbreitet; und die spektrale Absorption in der undurchsichtigen Probe kann durch Variation der Wellenlänge des ausgesendeten Lichts gemessen werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin gekennzeichnet durch ein Mittel zur Bestimmung der Intensität ausschließlich des ersten Lichtstrahls, um eine Referenzintensität zu liefern, und durch ein Mittel zum Vergleich der Referenzintensität mit der Intensität der Wechselkomponente, um die Auslöschung der gesamten Transmission zu bestimmen und solchermaßen ein Absorptionsspektrum der undurchsichtigen Probe bei Variation der Wellenlänge der monochromatischen Lichtquelle zu erhalten.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet weiterhin durch ein optisches System mit zusammenfallenden Brennpunkten, umfassend zwei konvergente optische Systeme (L1, L2), die im Pfad des zweiten Lichtstrahls angeordnet sind, wobei das Mittel zum Unterstützen der streuenden Probe einerseits derart angeordnet ist, um die Probe an dem gemeinsamen Brennpunkt der optischen Systene (L1, L2) zurechtzulegen, und andererseits Mittel (XY) zum gerasterten Verschieben der Probe relativ zum Brennpunkt aufweist, so daß die mikroskopische Absorptionsverteilung der Probe bestimmt werden kann.
4. Verfahren zur Messung optischer Eigenschaften einer Licht streuenden Probe (20, 21) mit den folgenden Schritten: Aufteilung des Lichtstrahls der monochromatischen Lichtquelle variabler Wellenlänge in einen ersten und einen zweiten Lichtstrahl; Zurechtlegen der Probe in dem Pfad des zweiten Lichtstrahls; Zusammenfassung des Lichts des zweiten Lichtstrahls, der die Probe durchsetzt, mit dem Licht des ersten Lichtstrahls; Umwandlung des zusammengefassten Lichts in ein elektrisches Signal und Bestimmung der Intensität einer Interferenzkomponente des elektrischen Signals; dadurch gekennzeichnet, daß das Licht des zweiten Lichtstrahls, welches mit dem ersten Lichtstrahl zusammengefasst wird, durch die Probe hindurchlaufendes Licht ist; daß die Länge des optischen Pfads des ersten Lichtstrahls mit einer Geschwindigkeit verstellt wird, die derart in Beziehung zu der schmalen Bandweite der Lichtquelle gesetzt ist, daß die Interferenzkomponente einen Wechselanteil aufweist, dessen Amplitude durch die Intensität des zweiten, durch die Probe hindurchlaufenden Lichtstrahls bestimmt ist; daß die Wellenlänge des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts verändert wird, und daß die korrespondierende Veränderung der Amplitude der Interferenzkomponente bestimmt wird, um einen Meßwert der spektralen Absorption der Probe zu liefern.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Licht des zweiten Lichtstrahls, welches durch die Probe hindurchlaufen soll, auf einen Punkt innerhalb der Probe fokussiert wird, die Probe wird relativ zum Brennpunkt gerastert verschoben, und ausschließlich das durch den Brennpunkt hinddurchlaufende Licht wird mit dem Licht des ersten Lichtstrahls zusammengefasst, wobei die mikroskopische Spektralabsorption der Probe bestimmt wird.
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Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69333642T2 (de) * 1992-07-31 2005-10-06 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung dreidimensionaler Information von Proben
US5416582A (en) * 1993-02-11 1995-05-16 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Method and apparatus for localization and spectroscopy of objects using optical frequency modulation of diffusion waves
US5713364A (en) * 1995-08-01 1998-02-03 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe analysis of materials
US5813987A (en) * 1995-08-01 1998-09-29 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe for analysis of materials
US6104945A (en) * 1995-08-01 2000-08-15 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
DE19548036C2 (de) * 1995-12-21 1999-09-09 Wagner Gmbh J Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken
AU5547798A (en) * 1996-11-15 1998-06-10 Optosens Optische Spektroskopie Und Sensortechnik Gmbh Method and device for combined absorption and reflectance spectroscopy
US6826422B1 (en) 1997-01-13 2004-11-30 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
US6091984A (en) 1997-10-10 2000-07-18 Massachusetts Institute Of Technology Measuring tissue morphology
JP4438111B2 (ja) * 1998-07-02 2010-03-24 ソニー株式会社 計測装置及び計測方法
FI982005A (fi) * 1998-09-17 2000-03-18 Wallac Oy Näytteiden kuvantamislaite
US6411838B1 (en) 1998-12-23 2002-06-25 Medispectra, Inc. Systems and methods for optical examination of samples
US6404497B1 (en) 1999-01-25 2002-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Polarized light scattering spectroscopy of tissue
US6902935B2 (en) 1999-12-15 2005-06-07 Medispectra, Inc. Methods of monitoring effects of chemical agents on a sample
DE10056382B4 (de) * 2000-11-14 2004-07-01 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Scanmikroskop
US6839661B2 (en) 2000-12-15 2005-01-04 Medispectra, Inc. System for normalizing spectra
US7116862B1 (en) * 2000-12-22 2006-10-03 Cheetah Omni, Llc Apparatus and method for providing gain equalization
US7145704B1 (en) 2003-11-25 2006-12-05 Cheetah Omni, Llc Optical logic gate based optical router
DE60105968T2 (de) 2001-03-28 2005-10-13 Agilent Technologies Inc., A Delaware Corp., Palo Alto Verbesserte Vorrichtung und Verfahren für Extinktionsbestimmungen
SE0200782D0 (sv) 2002-03-14 2002-03-14 Astrazeneca Ab Method of analysing a pharmaceutical sample
US6818903B2 (en) 2002-07-09 2004-11-16 Medispectra, Inc. Method and apparatus for identifying spectral artifacts
US7103401B2 (en) 2002-07-10 2006-09-05 Medispectra, Inc. Colonic polyp discrimination by tissue fluorescence and fiberoptic probe
US6768918B2 (en) 2002-07-10 2004-07-27 Medispectra, Inc. Fluorescent fiberoptic probe for tissue health discrimination and method of use thereof
WO2005114291A1 (en) * 2004-05-12 2005-12-01 Beth Israel Deaconess Medical Center, Inc. Method and apparatus for detecting microscopic objects
DE602005021857D1 (de) * 2005-04-20 2010-07-29 Honeywell Analytics Ag Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Gas
WO2010008789A2 (en) * 2008-06-23 2010-01-21 University Of South Florida Interferometric chemical sensor array
CN102499647B (zh) * 2011-11-14 2013-11-27 重庆大学 一种多模式低相干散射光谱仪
US9291500B2 (en) * 2014-01-29 2016-03-22 Raytheon Company Configurable combination spectrometer and polarizer
US9295420B2 (en) * 2014-01-29 2016-03-29 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Transmission-reflectance swappable Raman probe for physiological detections
US9335265B2 (en) * 2014-02-07 2016-05-10 Agilent Technologies, Inc. Spectrographic system utilizing a chirped, pulsed optical source
GB201612010D0 (en) * 2016-07-11 2016-08-24 Ge Healthcare A method and a measuring device for measuring the absorbance of a substance in a solution
EP3333567A1 (de) * 2016-12-07 2018-06-13 Institut National Polytechnique de Toulouse Verfahren und vorrichtung zur messung der kollimierten transmittanz eines halbtransparenten körpers
EP3421974A1 (de) * 2017-06-29 2019-01-02 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung und verfahren zur detektion von partikeln
CN108318890A (zh) * 2018-01-04 2018-07-24 西安理工大学 一种采用白光led作光源的气溶胶探测雷达系统
JP7465273B2 (ja) 2019-03-21 2024-04-10 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニー 光検出システム及びその使用方法
CN110044415B (zh) * 2019-04-19 2020-12-11 北京理工大学 错位差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置
CN109991191B (zh) * 2019-04-19 2020-12-11 北京理工大学 双边错位差动共焦透镜折射率测量方法
CN109991190B (zh) * 2019-04-19 2020-08-11 北京理工大学 横向相减差动共焦透镜折射率测量方法
CN110044414B (zh) * 2019-04-19 2020-12-11 北京理工大学 横向相减差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置
EP3825678A1 (de) * 2019-11-22 2021-05-26 Ams Ag Vorrichtung und verfahren zur detektion von objekten
CN114280694B (zh) * 2021-12-17 2023-05-05 南京信息工程大学 一种基于气象卫星光谱成像仪的快速辐射传输方法及系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1383639A (en) * 1970-10-27 1974-02-12 Beckman Riic Ltd Interference spectoscopy
JPS60258513A (ja) * 1984-06-05 1985-12-20 Olympus Optical Co Ltd 測光顕微鏡システム
US4652755A (en) * 1985-01-10 1987-03-24 Advanced Fuel Research, Inc. Method and apparatus for analyzing particle-containing gaseous suspensions
GB2191855A (en) * 1986-05-07 1987-12-23 Univ London Method and apparatus for detecting reflection sites
FR2617601B1 (fr) * 1987-07-03 1989-10-20 Thomson Csf Systeme d'imagerie par transillumination utilisant les proprietes d'antenne de la detection heterodyne
EP1245987B1 (de) * 1988-07-13 2008-01-23 Optiscan Pty Ltd Konfokales Rastermikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
DE69121633D1 (de) 1996-10-02
EP0458601B1 (de) 1996-08-28
US5345306A (en) 1994-09-06
EP0458601A1 (de) 1991-11-27

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