DE69027363T2

DE69027363T2 - Verfahren für die Herstellung von Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfen

Info

Publication number: DE69027363T2
Application number: DE69027363T
Authority: DE
Inventors: Tadayoshi Inamoto; Hideaki Mashio; Minoru Nozawa; Masami Yokota
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1989-03-24
Filing date: 1990-03-23
Publication date: 1996-11-14
Anticipated expiration: 2010-03-24
Also published as: DE69027363D1; EP0393855B1; EP0393855A1; US5126768A; ES2087890T3; ATE139186T1

Description

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahikopfes, insbesondere ein Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahl -Aufzeichnungskopfes (Tintenstrahlaufzeichnungskopf) mit einer Ausbringöffnungsplatte des Types, bei der die Richtung der Zuführung von Flüssigkeit (Tinte) zu dem Abschnitt in dem Flüssigkeitskanal (Tintenpassage), welcher dem Glied entspricht, welches die Ausbringenergie erzeugt, und die Richtung der Ausbringung der Flüssigkeit aus der Ausbringöffnung als ein Teil der Anordnung unterschiedlich sind.
Ein Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf (Tintenstrahlaufzeichnungskopf), der an einem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungs system (Tintenstrahlaufzeichnungssystem) angewendet wird, ist im allgemeinen mit einer feinen Ausbringöffnung für die Aufzeichnungsflüssigkeit (nachfolgend auch als "Öffnung" bezeich net), einem Flüssigkeitskanal (Tintenpassage) und einem Abschnitt zur Erzeugung von Energie zur Abgabe der Flüssigkeit, der an einem Teil des Flüssigkeitskanales vorgesehen ist, ausgerüstet. Im Stand der Technik ist als ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungs kopfes beispielsweise das Verfahren bekannt, bei dem eine Platte wie beispielsweise Glas, Metall, etc. verwendet wird, eine feine Nut ausgebildet wird durch eine Bearbeitung wie beispielsweise Schneiden, Ätzen, etc. und dann wird die Platte mit der daran ausgebildeten Nut mit einer anderen geeigneten Platte verbunden, um einen Flüssigkeitskanal auszubilden.
Jedoch kann bei dem Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf, der gemäß dem bekannten Verfahren hergestellt worden ist, die Rauhigkeit der inneren Wandf läche des Flüssigkeitskanales, der durch eine Schneidearbeit ausgebildet worden ist, zu groß sein oder eine Verzerrung beziehungsweise ein Verzug kann in dem Flüssigkeitskanal auftreten und zwar aufgrund einer Differenz bei der Ätzrate, wobei Probleme auftraten derart, daß es schwierig war, Flüssigkeitskanäle zu erhalten mit einem konstanten Widerstand des Flüssigkeitskanales und daß eine Varianz auftreten kann in dem Charakteristika -der Abgabe der Aufzeichnungsflüssigkeit des Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes nach der Herstellung. Auch war es wahrscheinlich, daß Fehler und Risse der Platte während der Schneidearbeit ausgebildet wurden, wodurch auch das Problem auftrat, daß die Ausbeute der Herstellung nicht so gut war.
Weiterhin gibt es im Falle der Ätzarbeit viele Herstellungsschritte, wodurch auch der Nachteil auftrat, daß ein Anstieg der Herstellungskosten verursacht worden war.
Andererseits war als das Problem bei den vorstehend erwähnten bekannten Herstellungsverfahren bekannt, daß bei einer Beschichtung einer mit einer Nut versehenen Platte mit einem daran ausgebildeten Flüssigkeitskanal mit einem Substrat, welches mit einem Antriebselement, wie einem piezoelektrischen Element oder einem Elektrizität-Wärme-Konverter zur Erzeugung der Ausbringenergie, um für die Ausbringung der Aufzeichnungsflüssigkeit verwendet zu werden, die Verbindung zwischen diesen Platten schwierig, wodurch auch das Problem eines Fehlens an Produktivität bei der Massenfertigung auftrat.
Auch ist der Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf im allgemeinen unter seiner Umgebung bei der Verwendung immer in Kontakt mit einer Aufzeichnungsflüssigkeit (im allgemeinen eine Tintenlösung, die hauptsächlich aus Wasser zusammengesetzt ist, welches in dem meisten Fällen nicht neutral ist, oder einer Tintenlösung, welche hauptsächlich aus einem organischen Lösungsmittel zusammengesetzt ist). Daher ist, während es erwünscht ist, daß der Werkstoff zur Bildung der Struktur des Kopfes, welcher den Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf bildet, keinen Abfall der Festigkeit, welcher durch die Aufzeichnungsflüssigkeit bedingt ist, verursachen soll oder im Gegensatz hierzu keine gefährliche Komponente abgeben soll, welche dem Verwendungsbereich der Aufzeichnungsflüssigkeit verringern würde, wie es bei dem vorstehend erwähnten bekannten Verfahren der Fall ist und zwar teilweise aufgrund der Beschränkung des Verfahrens der Bearbeitung etc., ist es nicht unbedingt möglich gewesen, einen Werkstoff auszuwählen, welcher für derartige Aufgaben geeignet war.
Als die Technik zur Lösung derartiger Probleme der bekannten Verfahren machten die vorliegenden Erfinder eine Erfindung bezüglich eines Verfahrens zur Herstellung eines Flüssigkeits strahl Aufzeichnungskopfes unter Verwendung eines Werkstoffes, welches unter einem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist als dem Glied für die Bildung der Wand des Flüssigkeitskanales und der vorliegende Anmelder hat früher den Gegenstand angemeldet (offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 61-154947).
Es hat sich jedoch dieses Verfahren nicht als unbedingt zufriedenstellend herausgestellt bei der Herstellung der Flüssigkeitskammer, nämlich wie beispielsweise der Größe und der Höhe der mit dem Flüssigkeitskanal verbundenen Flüssigkeitskammer Insbesondere ist es bei einem Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf des Vollinien Types, der eine Abgabe über die volle Breite des Papiers des Aufzeichnungspapieres mit Öffnungen und Flüssigkeitskanälen mit hoher Dichte ausführt, die damit verbunden sind, wichtig, das Volumen der Flüssigkeitskammer groß auszubilden, um eine dauerhafte und gleichförmige Abgabe der Aufzeichnungsflüssigkeit zu bewirken und es ist in starkem Maße erwünscht, ein Herstellungsverfahren zu entwickeln, welches tür eine Massenfertigung eines Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungs kopfes von einem solchen Typ mit vielen Öffnungen mit hoher Dichte geeignet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe beziehungsweise dieser Probleme erfanden die Erfinder ein Verfahren, welches als eine Zusammenfassung beinhaltet, in sukzessiver Weise auf einem ersten Substrat eine feste Schicht zur Bildung wenigstens eines Flüssigkeitskanales eine Schicht eines Werkstoffes, welcher unter einem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist, die für die Bildung einer Wand wenigstens eines Flüssigkeitskanales und ein zweites Substrat zu laminieren, dann eine Maske des zweiten Substrates zu laminieren, Ausstrahlen eines aktiven Energiestrahles aus der vorstehend erwähnten Maske, um wenigstens die Wand des Flüssigkeitskanales der Schicht des Werkstoffes, welcher unter einem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist, auszuhärten und weiterhin Entfernen der festen Schicht und der Schicht des Werkstoffes, welcher unter einem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist aus zwischen den beiden Substraten (GB-A-2189746).
Jedoch wird bei diesem Verfahren, da eine Maske an dem zweiten Substrat laminiert wird aufgrund des Einflusses einer Brechung des aktiven Energiestrahles oder der schräg einfallenden Komponente des Lichtes in dem aktiven Energiestrahl bei dem Prozeß des Durchtritts durch das zweite Substrat der Abschnitt des Randes des Musters des ausgehärteten Abschnittes ungenau, wodurch ein Flüssigkeitskanal etc. von der erwünschten Form in manchen Fällen nicht erhalten werden konnte.
Weiterhin ist bei diesem Verfahren eine Vorrichtung zur Ausrichtung für die Paßgenauigkeit zwischen dem zweiten Substrat und der Maske erforderlich.
Daneben wird bei diesem Verfahren, wenn ein Schlupf bei der Paßgenauigkeit beziehungsweise ein Verrutschen bei dem Vorgang der Ausrichtung auftritt, die Präzision der Abmessung des Flüssigkeitskanales verschlechtert. Auch gibt es ein derartiges Problem, daß für die korrekte Paßgenauigkeit eine in hohem Maße entwickelte Technik und viel Zeit erforderlich ist.
Im Stand der Technik, wie er vorstehend beschrieben worden ist, sind als der Flüssigkeitsstrahl Auf ieichnungskopf, der eine Aufzeichnung durch die Abgabe von Flüssigkeit durch die Ausbringöffnung ausführt, verschiedene Typen bekannt geworden.
Um sie breit zu klassifizieren, gibt es den Typ, bei dem die Richtung der Zuführung von Flüssigkeit zu dem Abschnitt, wo die Energie, die für die Ausbringung von Flüssigkeit aus dem Glied zur Erzeugung von Energie zur Ausbringung in den Flüssigkeitskanal verwendet wird und die Richtung der Abgabe aus der Ausbringöffnung weitgehend die gleiche sind und den Typ, bei dem sich diese Richtungen unterscheiden und zwar um beispielsweise 700.
Als das Verfahren zur Herstellung von zum Beispiel des zu letztgenannten, ist das Verfahren, wie es untenstehend beschrieben ist und in der offengelegten japanischen Patentanmeldung beschrieben ist, bekannt geworden.
Als erstes wird, wie es in Fig. 1 A dargestellt ist, auf einem Substrat 1, welches mit einem Glied 2 zur Erzeugung von Energie zur Erzeugung der Energie, welche für die Abgabe von Flüssigkeit verwendet werden soll, um Energiewirkkammern 18 und eine Flüssigkeitskammer 11 zu bilden, welche im allgemeinen mit dem jeweiligen Energiewirkkammern in Verbindung steht und zwar gemäß dem in bekannter Weise praktizierten photolithographischen Verfahren, zum Beispiel eine Wand 16 mit einer vorbestimmten Form gebildet und zwar unter Verwendung eines lichtempfindlichen Werkstoffes.
Als nächstes wird, wie es in Fig. 1 B dargestellt ist, die Ausbringöffnungsplatte 6 mit Ausbringöffnungen 8 für die Ausbringung von Flüssigkeit mit der Wand 16 mit einem Klebemittel 17 verbunden und zwar mit Paßgenauigkeit beziehungsweise Übereinstimmung, so daß die jeweiligen Ausbringöffnungen angeordnet werden können entsprechend den jeweiligen Energiewirkkammern, um einen Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf zu ergeben, wie er in der Draufsicht in Fig. 1 C dargestellt ist.
Jedoch traten gemäß dem Verfahren, wie es vorstehend beschrieben worden ist, aufgrund des Schrittes der Verbindung der Ausbringöffnungsplatte mit einem Klebemittel nach der Bildung der Energiewirkabschnitte und der Wand für die Bildung der gemeinsamen Kammer mit einem lichtempfindlichen Werkstoff gelegentlich die nachfolgenden Probleme auf.
1) In den Flüssigkeitskanal und die gemeinsame Flüssigkeitskammer, die auf dem Substrat gebildet sind, werden durch die Schritte der Herstellung in wahrscheinlicher Weise Schmutz oder Staub eingeschlossen und verbleiben dort, wodurch die Ausbeute gering ist.
2) Die Einstellung der Art und die Bedingungen der Aufbringung des Klebemittels während der Verbindung der Ausbringöffnungsplatte war schwierig und in manchen Fällen wurde die Ausbringöffnung mit dem Klebemittel verstopft oder das Klebemittel kann in den Flüssigkeitskanal und die Flüssigkeitskammer strömen.
3) Um eine gut ausgeglichene Festigkeit der Klebung an den jeweiligen verbundenen Flächen der Wand zu erhalten, welche unter Verwendung des lichtempfindlichen Kunststoffes beziehungsweise Harzes ausgebildet werden, nämlich der Klebemittelschicht und der Ausbringöffnungsplatte ist die Art des Klebemittels, welches verwendet wird, beschränkt.
4) Es wird eine flache ebene Charakteristik, die für eine gute Haftung notwendig ist, für die verbundene Fläche zwischen der Ausbringöffnungsplatte und der Wand an dem Substrat gefordert.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zu schaffen für die Herstellung eines neuen Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes, welches die Probleme löst, wie sie vorstehend beschrieben worden sind.
Gemäß der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes vorgesehen, wobei das Verfahren die Merkmale gemäß dem Anspruch 1 besitzt.
Die vorliegende Erfindung macht es möglich, daß eine Flüssigkeitskammer in einem weiten Bereich an Formen gebildet werden kann und sie schafft auch ein Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes, welches kostengünstig, genau und zuverlässig ist. Ausführungsformen der Erfindung machen es möglich, daß ein Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf hergestellt wird, welcher fein bearbeitete Flüssigkeitskanäle besitzt und welcher eine gute Genauigkeit und auch eine gute Ausbeute erzielt. Ausführungsformen der Erfindung machen es möglich, daß ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf hergestellt wird, der von ausgezeichneter mechanischer Festigkeit und chemischer Widerstandsfähigkeit ist mit nur einem geringen gegenseitigen Einfluß zwischen dem Werkstoff des Aufzeichnungskopfes und demjenigen der Aufzeichnungsflüssigkeit.
Die vorliegende Erfindung kann ebenfalls die Probleme lösen, welche in einem Prozeß auftreten, der den Schritt der Verbindung einer Ausbringtffnungsplatte mit einem Flüssigkeitskanal, etc., aufweist und zwar unter der Verwendung eines Klebemittels.
Um eine Bemusterung des Formwerkstoffes mit einem Werkstoff mit Lichtempfindlichkeit bezüglich eines aktiven Energiestrahles zur Bildung der Wand des Flüssigkeitskanales und der Flüssigkeitskammer etc. zu bewirken und zwar durch eine dem Muster entsprechend geformte Bestrahlung mit dem aktiven Energiestrahl, wird der aktive Energiestrahl nicht ausgestrahlt mit einer Maske, welche über dem ersten Substrat oder dem zweiten Substrat angeordnet wird, sondern die Belichtung wird mit einer schützenden Schicht für den aktiven Energiestrahl bewirkt, wel che als die Belichtungsmaske auf der Oberfläche gegenüber dem Füllwerkstoff des ersten Substrates oder des zweiten Substrates fungiert.
Infolgedessen wird der Schritt der Ausrichtung zwischen der Schicht, welche die Maske und den lichtempfindlichen Werkstoff besitzt und dem ersten Substrat oder dem zweiten Substrat und die dafür notwendige Vorrichtung entbehrlich, so daß eine Verbesserung der Präzision des Tintenflüssigkeitskanales und eine Abkürzung der Bearbeitungszeit erzielt werden kann. Weiterhin wird der Einfluß der schräg einfallenden Komponenten oder der Beugung beziehungsweise Brechung etc. des aktiven Energiestrahles verringert, so daß die Schärfe der Ränder des Musters, welche durch die Übertragung eines Musters auf den Füllwerkstoff erhalten werden, verbessert wird zusammen mit der Präzision des Tintenflüssigkeitskanales. Es ist auch keine teure Vorrichtung für die Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl erforderlich, welche insbesondere eine hohe Parallelität ergibt.
Weiterhin gibt es gemäß dem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung, da der Abschnitt, welcher zu dem Flüssigkeitskanal etc. wird, durch die feste Schicht besetzt wird, während der Schritte der Herstellung keinen Einschluß und keinen verbleibt von Abfallprodukten, Staub etc. innerhalb des Flüssigkeitskanales etc..
Auch kann aufgrund der aushärtenden Behandlung durch Bestrahlung mit dem aktiven Energiestrahl auf den Abschnitt, welcher wenigstens die Wand des Flüssigkeitskanales der lichtempfindlichen Werkstoffschicht (Schicht des Werkstoffes, welcher durch den aktiven Energiestrahl ausgehärtet werden kann) ein gut ausgeglichener verbundener Zustand des Sübstrates erreicht werden und eine Wand mit der ausgehärteten Schicht und der Ausbringöffnungsplatte kann erhalten werden, so daß verschiedene Probleme, wie sie vorstehend beschrieben worden sind, welche die Verwendung eines Klebemittels begleiten, können vermieden werden. D.h., da kein Klebemittel verwendet wird für die Verbindung der Ausbringöffnungsplatte, können nachteilige Vorgänge, welche durch die Verwendung eines Klebemittels verursacht werden, vermieden werden.
Da die ausgehärtete Schicht für die Bildung der Wand an zwei Stellen anhaftet, nämlich an dem Substrat und an der Ausbringöffnungsplatte, um den Aufzeichnungskopf zu bilden, werden Beschränkungen gemäß der bekannten Struktur bezüglich der Auswahl der Werkstoffe für die Verstärkung der Festigkeit der Verbindung, welche mittels der haf tenden Schicht erreicht werden, erleichtert, so daß sich ein größerer Grad der Freiheit beim Design einstellt.
Das vorliegende Verfahren besitzt den weiteren Vorteil, daß keine so streng flache ebene Charakteristik, wie es in dem Fall der Verwendung eines Klebemittels für die verbundene Fläche zwischen der Ausbringöffnungsplatte und der ausgehärteten Schicht gefordert wird. Daher kann gemäß dem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung die Gesamtausbeute bei der Bildung eines Flüssigkeitskanales etc. und die Verbindung der Ausbringöffnungsplatte in signifikanter Weise verbessert werden und die Herstellungskosten können in signifikanter Weise verringert werden
Es wird nun an Hand eines lediglich Beispieles unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben werden, wie die Erfindung ausgeführt werden kann.
Fig. 1 A - 1 C sind Diagramme, welche die Schritte der Herstellung des Kopfes zeigen, wie sie-bekannt sind.
Fig. 2 A - 2 F sind Schritt-Diagramme, welche die hauptsächlichen Schritte gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung darstellen.
Fig. 3 A ist eine Draufsicht des Zustandes nach Fig. 2 B, Fig. 3 B ist eine Draufsicht des Zustandes nach Fig. 2 D, Fig. 3 C ist eine perspektivische Ansicht des Zustandes nach Fig. 2 F, die Figuren 4 A und 4 B, die Darstellungen nach den Figuren und 6 zeigen die Arten der Anordnung des abdeckenden Abschnittes bei anderen Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 7 bis Fig. 13 sind schematische Diagramme zur Darstellung der grundlegenden Schritte des Verfahrens zur Herstellung des Kopfes gemäß einer weiteren Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung:
Fig. 7: eine schematische perspektivische Ansicht des ersten Substrates vor der Bildung eines unebenen Gliedes;
Fig. 8 A: eine schematische Draufsicht des ersten Substrates nach der Bildung eines unebenen Gliedes;
Fig. 8 B: eine schematische Draufsicht des zweiten Substrates;
Fig. 9 A und Fig. 9 B: eine schematische geschnittene Schnittansicht des ersten Substrates nach der Bildung des unebenen Gliedes und des füllenden Gliedes;
Fig. 10 A und Fig. 10 B: schematische Schnittansicht des zweiten Substrates nach der Anbringung der abdeckenden Schicht des aktiven Energiestrahles auf dem zweiten Substrat;
Fig. 11 A und Fig. 11 B: schematische Schnittansicht des Laminates des ersten Substrates, des unebenen Gliedes, des füllenden Gliedes, der abdeckenden Schicht und des zweiten Substrates;
Fig. 12 A und Fig. 12 B: schematische geschnittene Schnittansicht des Laminates nach der Entfernung des unebenen Gliedes und eines Teiles des füllenden Gliedes;
Fig. 13: eine schematische perspektivischen Ansicht des Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopfes in einem vervollständigten Zustand.
In Fig. 9 bis Fig. 12 sind die jeweiligen Figuren der A- Serie geschnittene Schnittansicht, die an den Positionen entsprechend der Linie A-A' gemäß Fig. 8 A und Fig. 8 B geschnitten sind und die Figuren der B-Serie sind geschnittene Trennplatte, die an den Positionen gemäß der B-B' Linie gemäß Fig. 8 A und Fig. 8 B geschnitten sind.
Fig. 14 ist eine perspektivische Ansicht, welche den Hauptteil eines Beispieles der Tintenstrahlvorrichtung zeigt mit dem Tintenstrahlkopf, welcher nach dem Herstellungsverfahren des Tintenstrahlkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, daran befestigt.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird nun ein Beispiel gemäß der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben.
Bei den nachfolgenden Beispielen wird der Flüssigkeitskanal und die gemeinsame Flüssigkeitskammer gemäß dem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung ausgebildet aber eine gleichzeitige Bildung der gemeinsamen Flüssigkeitskammer kann durchgeführt werden, wenn dies erwünscht ist und das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung kann auch für die Bildung von nur des Flüs sigkeitskanales verwendet werden. Diese Flüssigkeitskanäle, die gemeinsame Flüssigkeitskammer etc., werden in zusammenfassender Weise als der "Bahnweg der Tinte" bezeichnet.
Zuerst werden, wie in Fig. 2 A dargestellt, Glieder 2 zur Erzeugung der Ausbringenergie an vorbestimmten Positionen angeordnet und eine feste Schicht 4 wird vorgesehen und zwar so, daß sie wenigstens den Abschnitt der Flüssigkeitsbahn an einem Substrat 1 mit Flüssigkeitszuführöffnungen 3 besetzt.
Eine Schnittansicht des Substrates, welches mit der festen Schicht versehen ist, ist in Fig. 2 B dargestellt und ihre Draufsicht in Fig. 3 A.
Das Substrat 1 bildet einen Teil (Unterseite) des Flüssigkeits kanales und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer und fungiert auch als die Unterstützung für die feste Schicht 4 und die Schicht des Werkstoffes, welche mit dem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist, welche die untenstehend beschrieben ausgebildet wird und deren Form und Werkstoff ausgewählt werden kann in Abhängigkeit von dem Design beziehungsweise der Ausgestaltung eines erwünschten Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes.
Als das Glied 2 zur Erzeugung von Ausbringenergie zur Erzeugung der Energie, welche für die Ausbringung der Flüssigkeit verwendet wird, kann ein Glied zur Erzeugung von Wärmeenergie, welches Wärmeenergie als die Ausbringenergie erzeugt, verwendet werden, wie beispielsweise ein Elektrizität-Wärme-Konverter etc., oder eines, welches den Druck für die Ausbringung durch mechanische Verformung erzeugt, wie beispielsweise ein piezoelektrisches Element, etc..
Mit dem Glied zur Erzeugung der Ausbringenergie ist eine Einrichtung zur Abgabe von Signale zur Leitung beziehungsweise Führung der Erzeugung der Abgabe verbunden, wie beispielsweise Elektroden für die Aufbringung beziehungsweise Abgabe von elektrischen Signalen, obwohl sie nicht dargestellt sind.
Auch können zu dem Zweck der Verbesserung der Standfestigkeit dieser Glieder beziehungsweise Einrichtungen zur Erzeugung von Ausbringenergie verschiedene funktionale Schichten, wie beispielsweise eine Schutzschicht, etc. ebenfalls vorgesehen sein.
Die vorstehend erwähnte feste Schicht 4 wird entfernt nach den jeweiligen Schritten, wie sie untenstehend beschrieben werden und der entfernte Abschnitt wird zu dem Flüssigkeitskanal und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer Daher wird die Anordnung der festen Schicht 4 entsprechend der Form und der Anordnung des erwünschten Flüssigkeitskanales und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer bestimmt.
Als der Werkstoff und die Einrichtung, welche zur Bildung der festen Schicht 4 verwendet werden sollen, können diejenigen, die untenstehend angeführt sind, insbesondere als Beispiel genannt werden.
(1) Es wird ein lichtempfindlicher trockener Film verwendet und die feste Schicht wird entsprechend dem sogenannten Abbildungsbildungsverfahren für einen Trockenfilm ausgebildet.
(2) Auf einem Substrat 1 wird eine von einem Lösungsmittel lösliche Polymerschicht mit einer erwünschten Dicke und eine lichtunempfindliche Schicht sukzessive laminiert und nach der Musterbildung der lichtunempfindlichen Schicht wird die von einem Lösungsmittel lösliche Polymerschicht selektiv entfernt.
(3) Es wird auf dem Kunststoff ein Druckvorgang bewirkt.
Als der lichtempfindliche Trockenfilm, der in (1) erwähnt ist, ist sowohl der positive Typ als auch der negative Typ verfügbar. Beispielsweise ist im Falle eines Trockenfilmes vom positiven Typ ein Trockenfilm vom positiven Typen, der in einem Entwickler durch eine Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl löslich gemacht ist, geeignet, während im Falle eines Trockenfilmes vom negativen Typ ein Trockenfilm vom negativen Typ, welcher vom photopolymerisierbaren Typ ist, aber mit Methylenchlorid oder einem starken Alkali aufgelöst oder abgelöst werden kann, geeignet.
Als der Trockenfilm vom positiven Typ kann insbesondere beispielsweise "OZATEC R225" (Marke, Hoechst Japan K.K) verwendet werden, während als der Trockenfilm vom negativen Typ "OZATEC T Serie" (Marke, Hoechst Japan K.K), "PHOTEC PHT Serie (Marke, Hitachi Kasei Kogyo K.K), "RISTON" (Marke, Du Pont den Nemours Co.), etc verwendet werden kann.
Selbstverständlich können nicht nur diese kommerziell verfügbaren Werkstoffe, sondern auch Kunststoff-Zusammensetzungen, welche in positiver Weise vorliegenden, beispielsweise Kunststoff Zusammensetzungen, die hauptsächlich aus Naphtol-Chinon-Ediazid Derivaten und Phenolharzen vom Novolak-Typ und Kunststoff Zusammensetzungen, welche in negativer Weise fungieren, beispielsweise Zusammensetzungen, welche hauptsächlich aus Acryloligomeren mit Acryl Esther als der reaktiven Gruppe, thermoplastischen Polymerverbindungen und Verstärkern oder Zusammensetzungen zusammengesetzt sind, welche Polythiole, Polyenverbindungen und Verstärker, etc aufweisen, in ähnlicher Weise verwendet werden.
Als das von einem Lösungsmittel lösliche Polymer, welches in (2) erwähnt worden ist, kann jede polymere Verbindung verfügbar beziehungsweise verwendbar sein, für die ein Lösungsmittel existiert, welches dazu in der Lage ist, es zu lösen und welches einen beschichteten Film mittels Beschichtung ausbilden kann-. Als die lichtunempfindliche Schicht, welche hier verwendet werden kann, kann in typischer Weise ein flüssiger Photoresist vom positiven Typ mit einem Phenolharz vom Novolak-Typ und Naphtol- Chinon-Ediaziden umfaßt sein, ein flüssiger Photoresist vom negativen Typ mit Polyvinyl Cinnamat, ein flüssiger Photoresist vom negativen Typ mit Zyklokautschuk und Bisazid, ein lichtunempfindlicher Trockenfilm vom negativen Typ, Tinten vom aushärtbaren Typ und UV-Strahlen aushärtbaren Typ, etc..
Als der Werkstoff zur Bildung der festen Schicht durch das in (3) erwähnte Druckverfahren kann beispielsweise eine lithographische Tinte, eine Siebdruckfarbe und ein Harz beziehungsweise Kunststoff vom Übertragungstyp, etc. verwendet werden, welche verwendet worden sind in den jeweiligen Trocknungsystemen des Typs vom Verdampfungstrocknen, vom aushärtbaren Typ oder vom UV-Strahlen aushärtbaren Typ, etc..
Unter den Werkstoffen, wie sie vorstehend erwähnt worden sind, ist bezüglich der Genauigkeit bei der Bearbeitung, der Einfachheit der Entfernung oder der Bearbeitbarkeit die Einrichtung, welche den lichtempfindlichen Film nach (1) verwendet, bevorzugt und unter diesen ist es insbesondere zu bevorzugen, einen Trockenfilm vom positiven Typ zu verwenden. D.h., ein lichtempfindlicher Werkstoff vom positiven Typ ist deutlich besser beispielsweise bezüglich der Auflösung als ein lichtempfindlicher Werkstoff vom negativen Typ. Er besitzt ein besonders Merkmalen, daß ein Reliefmuster mit einer vertikalen und gleichmäßigen seitlichen Wandfläche oder einer Form im Schnitt von sich verjüngender oder sich umgekehrt verjüngender Form einfach ausgebildet werden kann, was das Optimum darstellt bei der Bildung einer Tintenbahn. Auch besetzt er ein besonderes Merkmal, daß das Reliefmuster weg gelöst werden kann durch einen Entwickler oder ein organisches Lösungsmittel und daher bevorzugt ist als der Werkstoff für die Bildung der festen Schicht gemäß der vorliegenden Erfindung. Insbesondere kann der lichtempfindliche Werkstoff vom positiven Typ unter Verwendung eines Naphtol- Chinon-Ediaziden oder Phenolharzes vom Novolak-Typ vollständig in einer schwach alkalischen wässrigen Lösung oder einem Alkohol gelöst werden und daher wird keinerlei Beschädigung des Elementes zur Erzeugung der Ausbringenergie auftreten und sie kann auch sehr schnell bei den nachfolgenden Schritten entfernt werden. Unter solchen lichtempfindlichen Werkstoffen vom positiven Typ ist eines, welches als Trockenfilm ausgebildet ist, der am meisten bevorzugte Werkstoff dadurch, daß ein Film mit einer Dicke von 10 ist 100 µm erhalten werden kann.
Als nächstes wird auf das Substrat 1 mit der daran ausgebildeten festen Schicht 4 eine Schicht 5 eines Werkstoffes, welcher von einem aktiven Energiestrahl aushärtbar ist, laminiert, um die feste Schicht 4 abzudecken, wie es in Fig. 2 C dargestellt ist.
Als der Werkstoff, welcher durch einen aktiven Energiestrahl aushärtbar ist, kann jedes Material, welches in die vorstehend erwähnte feste Schicht abdeckender Weise vorgesehen sein kann, in geeigneter Weise verwendet werden. Da jedoch dieses Material zu dem strukturellen Glied des Flüssigkeitsaufzeichnungskopfes wird und zwar durch die Bildung dieser Wände des Flüssigkeitskanales und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer, wird es bevorzugt, eines auszuwählen und zu verwenden, welches ausgezeichnet ist bezüglich der Gesichtspunkte des Anhaftens an dem Substrat, der mechanischen Festigkeit, der Dauerfestigkeit bezüglich der Abmessungen und bezüglich des Widerstandes gegen Korrosion. Spezifische Beispiele eines solchen Materials können in geeigneter Weise durch aktive Energie aushärtbare Werkstoffe sein, welche flüssig sind und mit einem UV-Strahl und Elektronenstrahl aushärtbar sind, und vor allem Epoxydharze, Acrylharze, Diglykol-Dialkylkarbonate, ungesättigte Polyesterharze, Polyurethanharze, Polyimidharze, Melaminharze, Phenolharze, Harnstoffharze, etc.. Insbesondere sind Epoxydharze, welche eine kationische Polymerisation mit Licht beginnen können, Acryl- Oligomere mit Acrylester Gruppen, die zur radikalen Polymerisation mit Licht in der Lage sind, ein Kunststoff vom Typ einer photo-additiven Polymerisation unter Verwendung von Polythiol und Polyen, ungesättigten cycloacetal Harzen, etc besitzen eine hohe Geschwindigkeit bei der Polymerisation und sind auch ausgezeichnet bezüglich der physikalischen Eigenschaften des Polymers und sind daher als der strukturelle Werkstoff geeignet.
Als das Verfahren zum Laminieren des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes können beispielsweise insbesondere die Verfahren zum Laminieren mittels eines Instruments zur Ausbringung unter Verwendung von Düsen eingeschlossen werden, die für das Substrat geeignet sind, eines Applikators, eines Streichbeschichters, eines Walzenbeschichters, eines Sprühbeschichters, eines Spinnbeschichters, etc. In dem Fall eines Laminierens eines aushärtbaren flüssigen Werkstoffes wird es bevorzugt, das Laminieren während der Vermeidung der Mischung mit Luftblasen nach der Entgasung des Werkstoffes durchzuführen.
Als nächstes wird, wie in Fig. 2D gezeigt, eine Ausbringöffnungsplatte mit der Schicht 5 des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoff des Substrates 1 verbunden.
Bei dem Vorgang der Verbindung können, um die Schicht des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes zu einer gewünschten Dicke auszubilden, einige Vorkehrungen gemacht werden, beispielsweise das Vorsehen eines Abstandes zwischen der Ausbringöffnungsplatte 6 und dem Substrat 1 und das Vorsehen einer Vertiefung an dem Ende der Ausbringplatte 6.
An der oberen Fläche der Ausbringöffnungsplatte 6 ist eine Schutzschicht 7 zum Schutz des aktiven Energiestrahles vorgese hen, welcher notwendig ist für die Aushärtung der Schicht des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes. Eine Draufsicht ihres Zustandes ist in Fig. 3 B dargestellt. Die Schutzschicht 7 kann auch an der Ausbringöffnungsplatte 6 vorgesehen werden nach der Anordnung der Ausbringöffnungsplatte 6 auf der von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffschicht 5.
Die Schutzschicht 7 ist zumindest an der Position vorgesehen, wo der Verbindungsabschnitt zwischen der Ausbringöffnung 8 und dem Flüssigkeitskanal bei dem Schritt wie er untenstehend beschrieben ist, ausgebildet wird. Auch können, wenn es notwendig ist, den Strömungswiderstand durch Vergrößerung des Volumens des Flüssigkeitskanales zu verringern, die Energiewirkkammer als der Bereich entsprechend dem Glied zur Erzeugung von Ausbringenergie, welcher in der Flüssigkeitsbahn ausgebildet wird oder der gemeinsamen Kammer, und zwar durch ebenfalls Anordnen von Schutzschichten an den notwendigen Abschnitten, wie beispielsweise der Flüssigkeitskammer und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer, wie in Fig. 2 D dargestellter, die Schichten des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes an den Positionen entsprechend ihren oberen Abschnitten entfernt werden, um deren Volumina größer auszubilden als diejenigen, welche durch die feste Schicht 4 begrenzt werden.
Die Dicke der Ausbringöffnungsplatte 6 kann entsprechend der mechanischen Festigkeit, den erwünschten Charakteristika bei der Ausbringung etc. ausgewählt werden und beispielsweise kann eine Dicke von etwa 1 µm bis 100 µm verwendet werden.
Die Ausbringöffnungsplatte 6 kann aus einer Glasplatte, einem Kunststoffilm oder Blatt, einem Film oder einem Blatt aus einer ausgehärteten lichtempfindlichen Zusammensetzung, einer transparenten Keramiktafel etc. ausgebildet werden.
Die Schutzschicht 7 kann an der gewünschten Position und in der gewünschten Form an der Ausbringöffnungsplatte 6 gemäß dem Verfahren der Auftragung eines Musters unter Verwendung einer Photolithographie unter dem Gebrauch verschiedener lichtempfindlicher Zusammensetzungen etc. vorgesehen werden.
Die Schutzschicht 7 wird unter der Auswahl ihres Werkstoffes zu ausgebildet, daß sie schließlich von der Ausbringöffnungsplatte 6 entfernt werden kann.
Die Schutzschicht 7 kann ausgebildet werden nach dem Verfahren, welches einen photolithographischen Schritt unter der Verwendung eines lichtempfindlichen Trockenfilmes vom negativen Typ, wie beispielsweise diejenigen der Handelsnamen LAMINAR TD (DYNACHEM), SR-1000G-50 (Hitachi Kasei), etc. verwendet. Für die Entfernung der Schutzschicht wird in diesem Fall eine Tauchbehandlung in einer 2 bis 5% Alkalilösung in dem Fall von LAMINAR und einer Tauchbehandlung in einer Flüssigkeit wie beispielsweise Methylenchlorid etc. in dem Fall von SR-1000G-50 verwendet werden. Eine wirksame Entfernung ist möglich durch die Verwendung einer Behandlung mit Schall in Kombination.
Es ist auch möglich, die Schutzschicht 7 durch das Verfahren auszubilden, welches Gebrauch macht von dem photolithographischen Schritt unter Verwendung eines lichtempfindlichen Trokkenfilmes vom positiven Typ wie beispielsweise dem Handelsnamen OZATEC H225 (Hoechst Japan). Durch die Ausbildung der Schutzschicht 7 aus dem gleichen Werkstoff wie die feste Schicht 4 wird es möglich, diese mit der gleichen Flüssigkeit für die Entfernung zu entfernen. Als die Flüssigkeit für die Entfernung können in diesem Fall Lösungsmittel wie beispielsweise Alkohole und alkalische Lösung von 1% oder mehr verwendet werden.
Nach dem Erhalt eines Laminates auf diese Weise indem sukzessive das Substrat 1, die feste Schicht 4, die von ein;em aktiven Energiestrahl aushärtbare Werkstoffschicht 5 und der Ausbringöffnungsplatte 6 laminiert worden ist, wird ein aktiver Energiestrahl 9 von oberhalb der Ausbringöffnungsplatte 6, wie in Fig. 2 E dargestellt, ausgestrahlt.
Durch die Ausstrahlung des aktiven Energiestrahles 9 wird das von einem aktiven Energiestrahl aushärtbare Material an dem bestrahlten Abschnitt ausgehärtet, um die ausgehärteten Kunststoffschichten 10a, 10b auszubilden und zur gleichen Zeit wird die Verbindung des Substrates 1 und der Ausbringöffnungsplatte 6 durch die Aushärtung bewirkt.
Als der aktive Energiestrahl kann ein UV-Strahl, ein Elektronenstrahl, sichtbares Licht etc. verwendet werden, da aber die Belichtung durch Übertragung durch die Ausbringöffnungsplatte 6 bewirkt wird, werden ein UV-Strahl, sichtbares Licht bevorzugt und im Hinblick auf die Polymerisationsrate ist ein UV-Strahl am meisten geeignet. Als die Strahlenquelle für einen UV-Strahl können in bevorzugter Weise Lichtquellen mit hoher Energiedichte, wie beispielsweise eine Hochdruck Quecksilberlampe, eine Ultra-Hochdruck Quecksilberlampe, eine Halogenlampe, eine Xenonlampe, eine Metall-Halogenlampe, ein Kohle-Lichtbogen etc. verwendet werden. Obwohl eine Bearbeitung mit besserer Genauigkeit ausgeführt werden kann, wenn das Licht aus diesen Lichtquellen eine höhere Parallelität besitzt und weniger Wärme erzeugt, sind UV Strahlen, welche im allgemeinen für eine Bearbeitung von gedruckten Platten oder gedruckten Verdrahtungen oder zum Auswerten von einer Farbe vom Licht-aushärtbaren Typ verwendet werden, allgemein verfügbar.
Darauf nachfolgend wird der nicht ausgehärtete Teil der festen Schicht 4 entfernt, um dem Flüssigkeitskanal 12 und die Flüssigkeitskammer 11 auszubilden (Fig. 2 F).
Das Verfahren zur Entfernung der festen Schicht 4 und des Abschnittes aus von einer aktiven Energie aushärtbaren Werkstoffes wird ausgewählt in Abhängigkeit von den Arten der festen Schicht und des von einer aktiven Energie aushärtbaren Werkstoffes, die verwendet worden sind.
Insbesondere wird beispielsweise das Verfahren der Entfernung durch Eintauchen in eine Flüssigkeit zum Entfernen, welche die feste Schicht 4 und den von einem aktiven Energiestrahl ausgehärteten Werkstoff auflöst oder anschwellen läßt oder abzieht etc., kann als eines der bevorzugten genannt werden. In diesem Fall kann auch, wenn es notwendig ist, eine Einrichtung zur Beschleunigung der Entfernung, wie beispielsweise eine Behandlung mit Schall, eine Behandlung mit Sprühen, Wärme, Bewegung, Schwingungen, Zirkulation unter Druck und so weiter eingesetzt werden.
Als die vorstehend erwähnte Flüssigkeit zur Entfernung kann beispielsweise eine verwendet werden durch Auswahl aus Halogen enthaltende Kohlenwasserstoffe, Ketone, Esther, aromatische Kohlenwasserstoffe, Esther, Alkohole, N-Methylpyrrolidone, Dimethylformamide, Phenol, Wasser, eine Wasser enthaltende Säure oder Lauge, etc.. In einer solchen Flüssigkeit für die Entfernung kann auch ein grenzflächenaktiver Stoff hinzugefügt werden, wenn dies erforderlich ist.
Bei der in den Zeichnungen dargestellten Anordnung kann das Laminat nach der Beendigung der Behandlung durch Bestrahlung mit dem aktiven Energiestrahl in eine Flüssigkeit eingetaucht werden, welche die feste Schicht 4 etc. auflöst, um die feste Schicht 4 und den nicht ausgehärteten Abschnitt von der Ausbringöffnung 8 und der Öffnung 3 zur Zuführung der Flüssigkeit zu entfernen, um auf diese Weise den in Fig. 3 C dargestellten Zustand zu erhalten.
Die die Flüssigkeit zuführende Öffnung ist nicht in notwendiger Weise auf dem Substrat 1 gebildet, sondern kann auch an einem anderen Abschnitt vorgesehen werden, wenn dies erwünscht ist und sie wird in bevorzugter Weise an der Stelle vorgesehen, an der die feste Schicht 4 etc. einfach weg gelöst werden kann.
Bei dem Beispiel, wie es vorstehend beschrieben worden ist, ist eine Schutzschicht an der Bohrungen Fläche der Ausbringöffnungsplatte vorgesehen, aber wie es in Fig. 4 A dargestellt ist, kann eine Schutzschicht 7 an der unteren Fläche der Ausbringöffnungsplatte 6 vorgesehen sein, um ein Laminat auszubilden, wie es in Fig. 4 B dargestellt ist.
Weiterhin ist es, wie es in Fig. 5 dargestellt ist, auch möglich, eine Ausbringöffnungsplatte 15 zu verwenden, welche einen Abschnitt 13 zum Schutz des aktiven Energiestrahles, der an dem notwendigen Abschnitt ausgebildet ist, aufweist und kann auch an der Ausbringöffnung 8 mit einem schützenden Werkstoff gegen den aktiven Energiestrahl gefüllt werden, um am Ende entfernt werden zu können.
Der gegen den aktiven Energiestrahl schützende Abschnitt 13 kann auch beispielsweise durch Dispergieren eines Farbstoffes an einem vorbestimmten Abschnitt einer Glasplatte ausgebildet werden.
Auch kann das Füllen des gegen den aktiven Energiestrahl schützenden Werkstoffes 14 in die Ausbringöffnung 8 unter Verwendung eines Verfahrens ausgeführt werden, bei dem ein Wachs mit der Fähigkeit gegen Licht zu schützen, in einem geeigneten Lösungs mittel aufgelöst wird und die Lösung in die Ausbringöffnung 8 eingespritzt wird, gefolgt von der Entfernung des Lösungsmittels durch eine Behandlung mit Wärme oder dem Verfahren, bei dem ein Resist vom positiven Typ, wie beispielsweise das (Handelsname) OFPR800 (Tokyo Oka) etc. in die Ausbringöffnung 8 eingespritzt wird und das Lösungsmittel beziehungsweise die Lösung durch eine Behandlung mit Wärme etc. entfernt wird.
Bei der Ausbringöffnungsplatte, wie sie in Fig. 5 dargestellt ist, ist das Füllen des gegen den aktiven Energiestrahl schü-t zenden Werkstoffes 14 in die Ausbringöffnung 8 nicht notwendigerweise erforderlich. D.h., wenn das Material 14 nicht verwendet wird, wird der von einer aktiven Energie aushärtbare Werkstoff unter der Ausbringöffnung 8 ausgehärtet, aber während der Entfernung des nicht ausgehärteten Abschnittes, welcher den ausgehärteten Abschnitt in der Form einer Ringröhre umgibt, kann auch der ausgehärtete Abschnitt unter der Ausbringöffnung 8 einfach entfernt werden durch Behandlung mit Schall und einer Zirkulation der Flüssigkeit unter Druck in der auf lösenden Lösung.
Weiterhin ist es, wie es in Fig. 6 dargestellt ist, ebenfalls möglich, eine Ausbringöffnungsplatte 19 zu verwenden, welche durch Füllen des gegen den aktiven Energiestrahl schützenden Werkstoffes 14 in die Ausbringöffnung 8 ähnlich wie bei dem Beispiel nach Fig. 5 gebildet wird und durch Vorsehen der Schutzschicht 20 an der unteren Fläche der Ausbringöffnungsplatte 19 durch Auftragen eines Musters einer anorganischen Werkstoffschicht mit der Fähigkeit gegen Licht zu schützen, wie beispielsweise Aluminium, Chrom etc. und zwar gemäß einem Verfahren, welches die photolithographischen Schritte verwendet.

Beispiel 1

Entsprechend den Schritten, wie sie in Fig. 2 A - 2 F dargestellt sind, wurde ein Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf hergestellt.
Zuerst wurden an einer Siliziumplatte mit einer SiO&sub2; thermisch oxidierten Schicht (Dicke der Schicht 5 µm) als dem Substrat 1 Elemente zur Erzeugung von Wärme (50 µm x 50 µm x 1500 A, Anordnungsabstand 125 µm) mit HFB2 als das die Wärme überzeugende Glied 2 angeordnet, wie es in Fig. 2 A dargestellt ist. Mit den jeweiligen Elementen zur Erzeugung der Wärme wurden Verdrahtungen zur Anlage von Signalen für die Ausbringung verbunden und an diesen Elementen zur Erzeugung von Wärme und Verdrahtungen wurde eine SiO&sub2; Schutzschicht (Dicke der Schicht 1.0 µm) vorgesehen.
Als nächstes wurde, wie in Fig. 2 B dargestellt, eine feste Schicht 4 mit einem vorbestimmten Muster (Dicke der Schicht 20 bis 200 µm) auf dem Substrat ausgebildet gemäß dem Verfahren, welches photolithographische Schritte unter Verwendung eines lichtempfindlichen Trockenfilmes verwendet.
Als nächstes wurde, wie in Fig. 2 C dargestellt, eine Schicht 5 eines von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes, welcher mit einem UV Strahl ausgehärtet werden kann und die feste Schicht 4 abdeckt, durch Beschichtung ausgebildet und zwar gemäß einem solchen Verfahren wie beispielsweise Beschichtung durch Rollen, Tauchen, Laminieren oder Sprühen, etc..
Als nächstes wurden an einer Platte mit einem transparenten Kunststoff wie beispielsweise Glas, Polyethylen Terephtalat etc. Ausbringöffnungen 8 (innerer Durchmesser 40 µm, Anordnungsabstand 125 µm) ausgebildet und weiterhin wurde auf deren oberer Fläche eine Schutzschicht (Dicke der Schicht 20 bis 200 µm) vorgesehen, wie es in Fig. 2 D dargestellt ist und zwar nach dem Verfahren, wie es vorstehend beschrieben worden ist, um eine Ausbringöffnungsplatte 6 zu erhalten.
Der Abschnitt der Schutzschicht 7, welcher die Ausbringöffnung 8 abdeckt, wurde in einer kreisförmigen Form von 50 µm im Durchmesser ausgebildet und zwar konzentrisch mit der Ausbringöffnung 8 und der Abschnitt an der festen Schicht 4 wurde mit der Form der gemeinsamen Flüssigkeitskammer zusammenfallend ausgebildet.
Die auf diese Weise ausgebildete Ausbringöffnungsplatte 6 wurde unter Druck, wie in Fig. 2 D dargestellt, laminiert an der Schicht 5 aus dem von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoff mit Paßgenauigkeit, um ein Laminat zu erhalten.
Als nächstes wurde, wie in Fig. 2 E dargestellt, ein UV Strahl (paralleles Licht) von oberhalb der Seite der Ausbringöffnungsplatte 6 ausgestrahlt. Der Zustand der Bestrahlung war 100 J/ cm².
Nach dem Ende der Bestrahlung wurde das Laminat unter normaler Temperatur für etwa 10 Minuten eingetaucht und die feste Schicht 4 und der nicht ausgehärtete Abschnitt der Schicht 5 aus dem von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoff wurde zwischen dem Substrat 1 und der Ausbringöffnungsplatte 6 weg gelöst. Weiterhin wurde nach einem Waschen und Trocknen die Schutzschicht 7 an der oberen Fläche der Ausbringöffnungsplatte 6 entfernt und zwar gemäß dem Verfahren wie es vorstehend beschrieben worden ist, um einen Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf zu erhalten.
Hier wurde das Verfahren zur Entfernung der festen Schicht und des nicht ausgehärteten Werkstoffes nach der Entfernung der Schutzschicht 7 als wirksamer heraus gefunden.
Auch können in Abhängigkeit von der Kombination der Werkstoffe die Schutzschicht 7, die feste Schicht 4 und der nicht ausgehärtete Werkstoff zur gleichen Zeit entfernt werden.

Beispiel 2

Ein in Fig. 4 B dargestelltes Laminat wurde gemäß der gleichen Schritte nach Fig. 2 A - 2 F bezüglich des Beispieles 1 erhalten mit der Ausnahme der Verwendung einer Ausbringöffnungsplatte 6, wie sie in Fig. 4 A dargestellt ist. Die Dicke der Schutzschicht 7, welche den Abstand zwischen dem Glied zur Erzeugung der Ausbringenergie und der Ausbringöffnung bestimmt, wurde zwischen 20 µm und 200 µm ausgebildet und zwar im Hinblick auf die Charakteristika der Ausbringung.
Als nächstes wurde das Laminat der gleichen Tauchbehandlung wie beim Beispiel 1 unterzogen und das schützende Material 7, die feste Schicht 4 und der nicht ausgehärtete Abschnitt der Schicht 5 des von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffes wurden zwischen dem Substrat 1 und der Ausbringöffnungsplatte 6 heraus gelöst, gefolgt von einem Waschen und Trocknen, um einen Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf zu erhalten.
Es werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen, wenn es notwendig ist, weitere Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben.
Bei den nachfolgenden Beispielen wird ein Werkstoff, welcher durch Bestrahlung mit einer aktiven Energie ausgehärtet wird, als der Füllwerkstoff verwendet, aber die vorliegende Erfindung ist nicht hierauf beschränkt.
Fig. 7 bis Fig. 13 sind schematische Diagramme zur Erläuterung der grundlegenden Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung und in jeder der Figuren 7 bis 13 ist ein Beispiel einer Ausbildung des Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes gemäß der vorliegenden Erfindung und sein Verfahren zur Herstellung dargestellt.
Bei diesem Beispiel ist ein Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf mit zwei Öffnungen dargestellt, aber das gleiche ist auch der Fall, wenn ein Flüssigkeitsaufzeichnungskopf mit vielen Öffnungen von hoher Dichte mit mehreren Öffnungen oder ein Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopf mit einer Öffnung verwendet wird wobei dies selbstverständlich ist.
Bei der vorliegenden Erfindung werden zwei Substrate verwendet, von denen jedes beispielsweise Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall etc. aufweist und von denen wenigstens eines durchlässig ist für einen aktiven Energiestrahl. Fig. 7 ist eine schematische perspektivische Ansicht eines Beispiel des ersten Substrates vor der Bildung eines unebenen Gliedes, welches wenigstens den Abschnitt besetzt, welcher zu dem Flüssigkeitskanal (Strömungskanal der Aufzeichnungsflüssigkeit) wird.
Das erste Substrat 31 wirkt als ein Teil des Flüssigkeitskanales und des Werkstoffes, der die Flüssigkeitskammer bildet und auch als Unterstützung während des Vorganges der Laminierung des unebenen Gliedes, wie untenstehend beschrieben und des füllenden Gliedes mit dem von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoff, wie es untenstehend beschrieben ist.
Wenn der Schritt der Bestrahlung mit dem aktiven Energiestrahl, wie es untenstehend beschrieben ist, von der Seite des Substrates 31 aus ausgeführt wird, muß das erste Substrat durchlässig für den aktiven Energiestrahl sein, aber wenn keine Bestrahlung mit aktiver Energie von der Seite des ersten Substrates 31 aus ausgeführt wird, ist seine Form, Werkstoff etc. nicht im besonderen beschränkt.
Auf dem vorstehend erwähnten ersten Substrat 31 sind Elemente 92 zur Erzeugung von Energie zur Ausbringung der Flüssigkeit vorgesehen, wie beispielsweise ein Element zur Erzeugung von Wärme oder ein piezoelektrisches Element etc. und zwar in einer erwünschten Anzahl (in Fig. 7 zwei). Die Ausbringenergie zur Abgabe kleiner Tröpfchen der Aufzeichnungsflüssigkeit wird der Aufzeichnungsflüssigkeit durch solche Elemente 32 zur Erzeugung der Energie zur Abgabe der Flüssigkeit aufgeprägt, um die Aufzeichnung zu bewirken.
Wenn beispielsweise ein Elektrizität-Wärme-Wandler als das vorstehend erwähnte Element 32 zur Erzeugung der Energie zur Abgabe der Flüssigkeit verwendet wird, wird die Aufzeichnungsflüssigkeit durch Erwärmung der Aufzeichnungsflüssigkeit durch das Element in seinem Hohlraum ausgestoßen. Auch wird beispielsweise, wenn ein piezoelektrisches Element verwendet wird, die Aufzeichnungsflüssigkeit durch eine mechanische Schwingung des Elementes ausgestoßen.
Mit diesen Elementen 32 sind Elektroden (nicht dargestellt) verbunden und zwar zur Eingabe von Steuersignalen für die Betätigung dieser Elemente. Auch sind als eine allgemeine Praxis für den Zweck der Verbesserung der Standfestigkeit dieser Elemente zur Erzeugung der Ausbringenergie etc. verschiedene Funktionsschichten, wie beispielsweise eine Schutzschicht etc. vorgesehen und selbstverständlich können solche Funktionsschichten auch gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen werden.
Darauf nachfolgend werden an der Stelle, welche den Flüssigkeitskanal bildet und der Stelle, welche die Flüssigkeitskammer bildet, welche damit an dem ersten Substrat 31 einschließlich der vorstehend erwähnten Elemente 32 zur Erzeugung der Ausbringenergie für die Flüssigkeit beispielsweise erhobene Glieder 33 vorgesehen, welche als die Form der Wände des Flüssigkeitskanales und/oder der Flüssigkeitskammer, dienen, wie es in Fig. 9 A dargestellt ist, vorgesehen. Die Formglieder müssen nicht in notwendiger Weise sowohl an den Stellen, welche den Flüssig-- keitskanal und die Flüssigkeitskammer bilden, vorgesehen sein, können aber wenigstens an der Stelle vorgesehen sein, welche den Flüssigkeitskanal bildet.
Fig. 10 B zeigt ein Beispiel des zweiten Substrates. In diesem Beispiel ist das Substrat 34 mit einer Vertiefung 35 an der vorbestimmten Stelle zur Bildung der Flüssigkeitskammer und zweier Öffnungen 36 zur Zuführung von Flüssigkeit ausgebildet. In den folgenden Figuren 9 bis 12 der A-Reihe zeigt jede eine schematische Schnittansicht des ersten und des zweiten Substra tes, geschnitten entlang der Linie A-A' in Fig. 8 A und Fig. 8 B und jede Fig. 9 bis 12 der B-Reihe eine schematische Schnittansicht des ersten und des zweiten Substrates, geschnitten entlang der Linie B-B' in Fig. 8 A und Fig. 8 B.
Das vorstehend erwähnte Formglied 33 wird entfernt nach dem jeweiligen Schritten, wie sie untenstehend beschrieben sind und der verbliebene Raumabschnitt wird wenigstens zu dem Flüssigkeitskanal.
Das Formglied 33 wird, wenn die Flüssigkeitskammer etc. zur gleichen Zeit zusätzlich zu dem Flüssigkeitskanal gebildet wird, wenn dies erwünscht ist, so vorgesehen, daß es auch den Abschnitt zur Bildung der Flüssigkeitskammer etc. bildet.
Selbstverständlich können die Formen des Flüssigkeitskanales und der Flüssigkeitskammer etc. wie erwünscht ausgebildet werden und das Formglied 33 kann ebenfalls entsprechend den Formen des Flüssigkeitskanales und der Flüssigkeitskammer ausgebildet werden.
Bei diesem Beispiel wird der Flüssigkeitskanal in zwei Teile geteilt, so daß die Aufzeichnungsflüssigkeit aus den jeweiligen zwei Öffnungen (Ausbringöffnungen), welche entsprechend den zwei Elementen zur Erzeugung der Ausbringenergie vorgesehen sind, ausgestoßen werden kann und die Flüssigkeitskammer wird als eine mit diesen verbundene ausgebildet, so daß die Aufzeichnungsflüssigkeit zu jedem der Flüssigkeitskanäle zugeführt werden kann.
Als der Werkstoff und die Einrichtung, welche bei der Bildung eines solchen Formgliedes 33 verwendet wird, können diejenigen, wie sie untenstehend beschrieben werden, umfaßt werden.
(1) Unter Verwendung eines lichtempfindlichen trockenen Filmes wird das unebene Glied entsprechend dem Abbildungsbildungsverfahren für einen Trockenfilm ausgebildet.
(2) Auf dem Substrat 31 wird eine von einem Lösungsmittel lösliche Polymerschicht und eine lichtunempfindliche Schicht sukzessive mit erwünschten Dicken laminiert und nach der Musterbildung der lichtunempfindlichen Schicht wird die von einem Lösungsmittel lösliche Polymerschicht selektiv entfernt.
(3) Es wird auf dem Kunststoff ein Druckvorgang bewirkt.
Als der lichtempfindliche Trockenfilm, der in (1) erwähnt ist, ist sowohl der positive Typ als auch der negative Typ verfügbar. Wenn es beispielsweise ein Trockenfilm vom positiven Typ ist, ist ein Trockenfilm vom positiven Typ, der in einem Entwickler durch eine Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl löslich gemacht ist, geeignet, während im Falle eines Trockenfilmes vom negativen Typ ein Trockenfilm vom negativen Typ, welcher vom photopolymerisierbaren Typ ist, aber mit Methylen chlorid oder einem starken Alkali aufgelöst oder abgelöst werden kann, geeignet.
Als der Trockenfilm vom positiven Typ kann insbesondere beispielsweise "OZATEC R225" (Marke, Hoechst Japan K.K) verwendet werden, während als der Trockenfilm vom negativen Typ "OZATEC T Serie" (Marke, Hoechst Japan K.K), "PHOTEC PHT Serie (Marke, Hitachi Kasei Kogyo K.K), "RISTON" (Marke, Du Pont den Nemours Co.), etc verwendet werden kann.
Selbstverständlich können nicht nur diese kommerziell verfügbaren Werkstoffe, sondern auch Kunststoff-Zusammensetzungen, welche in positiver Weise vorliegenden, beispielsweise Kunststoff Zusammensetzungen, die hauptsächlich aus Naphtol-Chinon-Ediazid Derivaten und Phenolharzen vom Novolak-Typ und Kunststoff Zusammensetzungen, welche in negativer Weise fungieren, beispielsweise Zusammensetzungen, welche hauptsächlich aus Acryloligomeren mit Acryl Esther als der reaktiven Gruppe, thermoplastischen Polymerverbindungen und Verstärkern oder Zusammensetzungen zusammengesetzt sind, welche Polythiole, Polyenverbindungen und Verstärker, etc aufweisen, in ähnlicher Weise verwendet werden.
Als das von einem Lösungsmittel lösliche Polymer, welches in (2) erwähnt worden ist, kann jede polymere Verbindung verfügbar beziehungsweise verwendbar sein, für die ein Lösungsmittel existiert, welches dazu in der Lage ist, es zu lösen und welches einen beschichteten Film mittels Beschichtung ausbilden kann. Als die lichtunempfindliche Schicht, welche hier verwendet werden kann, kann in typischer Weise ein flüssiger Photoresist vom positiven Typ mit einem Phenolharz vom Novolak-Typ und Naphtol Chinon-Ediaziden umfaßt sein, ein flüssiger Photoresist vom negativen Typ mit Polyvinyl Cinnamat, ein flüssiger Photoresist vom negativen Typ mit Zyklokautschuk und Bisazid, ein lichtunempfindlicher Trockenfilm vom negativen Typ, Tinten vom aushärtbaren Typ und UV-Strahlen aushärtbaren Typ, etc..
Als der Werkstoff zur Bildung der festen Schicht durch das in (3) erwähnte Druckverfahren kann beispielsweise eine lithographische Tinte, eine Siebdruckfarbe und ein Harz beziehungsweise Kunststoff vom Übertragungstyp, etc. verwendet werden, welche verwendet worden sind in den jeweiligen Trocknungsystemen des Typs vom Verdampfungstrocknen, vom aushärtbaren Typ oder vom UV-Strahlen aushärtbaren Typ, etc..
Unter der Gruppe der Werkstoffe, wie sie vorstehend erwähnt worden sind, ist bezüglich der Genauigkeit bei der Bearbeitung, der Einfachheit der Entfernung oder der Bearbeitbarkeit die Einrichtung, welche den lichtempfindlichen Film nach (1) verwendet, bevorzugt und unter diesen ist es insbesondere zu bevorzugen, einen Trockenfilm vom positiven Typ zu verwenden. D.h., ein lichtempfindlicher Werkstoff vom positiven Typ ist deutlich besser beispielsweise bezüglich der Auflösung als ein lichtempfindlicher Werkstoff vom negativen Typ. Er besitzt ein besonders Merkmalen, daß ein Reliefmuster mit einer vertikalen und gleichmäßigen seitlichen Wandfläche oder einer Form im Schnitt von sich verjüngender oder sich umgekehrt verjüngender Form einfach ausgebildet werden kann, was das Optimum darstellt bei der Bildung einer Tintenbahn. Auch besetzt er ein besonderes Merkmal, daß das Reliefmuster weg gelöst werden kann durch einen Entwickler oder ein organisches Lösungsmittel und daher bevorzugt ist als der Werkstoff für die Bildung der festen Schicht gemäß der vorliegenden Erfindung. Insbesondere kann der lichtempfindliche Werkstoff vom positiven Typ unter Verwendung eines Naphtol-Chinon-Ediaziden oder Phenolharzes vom Novolak- Typ vollständig in einer schwach alkalischen wässrigen Lösung oder einem Alkohol gelöst werden und daher wird keinerlei Beschädigung des Elementes zur Erzeugung der Ausbringenergie auftreten und sie kann auch sehr schnell bei den nachfolgenden Schritten entfernt werden. Unter solchen lichtempfindlichen Werkstoffen vom positiven Typ ist eines, welches als Trockenfilm ausgebildet ist, der am meisten bevorzugte Werkstoff dadurch, daß ein Film mit einer Dicke von 10 ist 100 µm erhalten werden kann.
Auf das erste Substrat 31 mit dem darauf ausgebildeten vorstehend erwähnten Formglied 33 wird ein Füllglied 37 laminiert, um das Formglied zu bedecken, wie es in Fig. 9 A und Fig. 9 B dargestellt ist, wobei das Füllglied 37 wenigstens innerhalb des Hohlraumes des Formgliedes 33 eingefüllt ist. Das Füllglied 37 kann direkt an dem unebenen Glied laminiert werden oder alternativ kann der Hohlraum durch Laminierung auf dem unebenen Glied gefüllt werden unter dem Zustand, daß es an der Seite des zweiten Substrates beschichtet ist, wie es untenstehend beschrieben ist.
Als das Füllglied 37 kann jeder Werkstoff, der zur Abdeckung des vorstehend erwähnten Formgliedes vorgesehen werden kann, in geeigneter Weise verwendet werden. Jedoch wird es, da dieser Werkstoff zu dem strukturellen Glied beziehungsweise der Einrichtung des Flüssigkeitsaufzeichnungskopfes wird und zwar durch die Bildung der Wände des Flüssigkeitskanales und der gemeinsamen Flüssigkeitskammer, bevorzugt einen Werkstoff auszuwählen und zu verbinden, welcher ausgezeichnet ist bezüglich der Adhäsion an dem Substrat, der mechanischen Festigkeit, der Stabilität beziehungsweise Dauerhaftigkeit der Abmessungen und des Widerstandes gegen Korrosion. Spezifische Beispiele eines solchen Materials können in geeigneter Weise durch aktive Energie aushärtbare Werkstoffe sein, welche flüssig sind und mit einem UV-Strahl, sichtbares Licht, Röntgenstrahlen, IR-Strahlen und Elektronenstrahl aushärtbar sind, und vor allem Epoxydharze, Acrylharze, Diglykol-Dialkylkarbonate, ungesättigte Polyesterharze, Polyurethanharze, Polyimidharze, Melaminharze, Phenolharze, Harnstoffharze, etc.. Insbesondere sind Epoxydharze, welche eine kationische Polymerisation mit Licht beginnen können, Acryl-Oligomere mit Acrylester Gruppen, die zur radikalen Polymerisation mit Licht in der Lage sind, ein Kunststoff vom Typ einer photo-additiven Polymerisation unter Verwendung von Polythiol und Polyen, ungesättigten cycloacetal Harzen, etc besitzen eine hohe Geschwindigkeit bei der Polymerisation und sind auch ausgezeichnet bezüglich der physikalischen Eigenschaften des Polymers und sind daher als der strukturelle Werkstoff geeignet.
Als das Verfahren zum Laminieren des Füllgliedes können beispielsweise insbesondere die Verfahren zum Laminieren mittels eines Instruments zur Ausbringung unter Verwendung von Düsen eingeschlossen werden, die für das Substrat geeignet sind, eines Applikators, eines Streichbeschichters, eines Walzenbeschichters, eines Sprühbeschichters, eines Spinnbeschichters, etc.. In dem Fall eines Laminierens eines aushärtbaren flüssigen Werkstoffes wird es bevorzugt, das Laminieren während der Vermeidung der Mischung mit Luftblasen nach der Entgasung des Werkstoffes durchzuführen.
Als nächstes wird, wie in Fig. 10 A und Fig. 10 B dargestellt, eine Schutzschicht 38 mit Schutzfähigkeit gegen den aktiven Energiestrahl, der den Füllwerkstoff 37 aushärten kann teilweise an wenigstens einem Teil der Oberfläche des zweiten Substrates 34 angebracht, wie es untenstehend im Gegensatz zu dem ersten Substrat beschrieben ist.
Bei diesem Beispiel wird die Schutzschicht 38 nur an dem Hohlraum angebracht, welcher zu dem oberen Teil der Tintenflüssigkeitskammer wird, welche vorher an dem zweiten Substrat vorgesehen wird, die Schutzschicht muß aber nicht auf die Oberfläche des Hohlraumes beschränkt sein, kann aber bei der Ausgestaltung des Flüssigkeitskanales und der Flüssigkeitskammer auch an der Stelle entsprechend dem Abschnitt vorgesehen sein, an dem der Füllwerkstoff 37 an dem zweiten Substrat 34 nicht erforderlich ist.
Als das Verfahren zur Aufbringung der Schutzschicht 38 in einer erwünschten Form an dem zweiten Substrat können verschiedene Verfahren verwendet werden, wie beispielsweise Siebdrucken, Flexodrucken, das Übertragungsverfahren oder das Verfahren des Laminierens von Metall etc. an der gesamten Fläche des zweiten Substrates 34 durch Sputtern, Plattieren, Drucken etc. und dann Ätzen des nicht benötigten Abschnittes oder das Abhebverfahren. Weiterhin wird das Verfahren der Tauchbeschichtung des zweiten Substrates 34 in einer Lösung aus der Schutzschicht 38 und dann das Abwischen des Abschnittes, der sich von den vorbestimmten Abschnitten wie beispielsweise dem Hohlraum etc. unterscheidet, oder das Verfahren der Anbringung eines Klebebandes an dem Abschnitt, an dem die Schutzschicht 38 nicht notwendig ist, und dann dessen Tauchbeschichtung in der Lösung, wie sie vorstehend erwähnt worden ist, sind ebenfalls wirksame Verfahren.
Als nächstes wird, nachdem die Schutzschicht 38, wenn dies erforderlich ist, einer Behandlung mit Wärme, einer Bestrahlung mit aktiven Energiestrahlen etc. unterzogen wird, um an dem zweiten Substrat 34 befestigt zu bilden, das zweite Substrat 34 an den Füllwerkstoff 37 des ersten Substrates laminiert, wie es in Fig. 11 A und 11 B dargestellt ist.
In diesem Fall kann das zweite Substrat 34 auch Hohlräume zur Erzielung eines erwünschten Volumens der Flüssigkeitskammer an der Stelle der Bildung der Flüssigkeitskammer aufweisen. Selbstverständlich kann auch das zweite Substrat 34 einen erwünschten Werkstoff wie beispielsweise Glas, Kunststoff, lichtempfindliches Harz, Metall, Keramik etc. verwenden, wenn aber der Schritt der Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl von der Seite des zweiten Substrates 34 aus durchgeführt wird, muß es für den aktiven Energiestrahl durchlässig sein. Auch kann das zweite Substrat 34 vorher mit Öffnungen zur Zuführung von Flüssigkeit zur Zuführung der Aufzeichnungsflüssigkeit versehen werden. Durch die Bestrahlung mit einem solchen Energiestrahl wird der bestrahlte Abschnitt des Füllwerkstoffes 37 (in der Fig. durch das Symbol 40 gezeigter schraffierter Abschnitt) ausgehärtet, um eine ausgehärtete Schicht aus Harz beziehungsweise Kunststoff auszubilden und auch die Verbindung zwischen dem ersten Substrat 31 und dem zweiten Substrat 34 wird bewirkt.
Als der aktive Energiestrahl kann ein UV Strahl, ein Elektronenstrahl, sichtbares Licht, ein IR-Strahl, ein Röntgenstrahl etc. verwendet werden, da aber die Belichtung durch den Durchgang durch das Substrat bewirkt wird, werden ein UV Strahl und sichtbares Licht bevorzugt und bezüglich der Polymerisationsrate ist ein UV Strahl der am meisten geeignete. Als die Strahlenquelle für einen UV-Strahl können in bevorzugter Weise Lichtquellen mit hoher Energiedichte, wie beispielsweise eine Hochdruck Quecksilberlampe, eine Ultra-Hochdruck Quecksilberlampe, eine Halogenlampe, eine Xenonlampe, eine Metall- Halogenlampe, ein Kohle-Lichtbogen etc. verwendet werden. Obwohl eine Bearbeitung mit besserer Genauigkeit ausgeführt werden kann, wenn das Licht aus diesen Lichtquellen eine höhere Parallelität besitzt und weniger Wärme erzeugt, sind UV Strahlen, welche im allgemeinen für eine Bearbeitung von gedruckten Platten oder gedruckten Verdrahtungen oder zum Auswerten von einer Farbe vom Licht-aushärtbaren Typ verwendet werden, allgemein verfügbar.
Nachfolgend wird beispielsweise, wenn die Endfläche der Öffnung nicht zugänglich ist etc., wenn es erforderlich ist, das Laminat welches vollständig mit der vorstehend erwähnten Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl ausgehärtet ist, mittels einer Säge zum Zerschneiden von Chips unter Verwendung einer Diamantklinge etc. geschnitten, damit die Endfläche der Öffnung offen liegt. Jedoch ist ein solcher Vorgang des Schneidens nicht notwendigerweise erforderlich, aber wenn beispielsweise ein flüssiges aushärtbares Material verwendet wird, wird während der Laminierung des Werkstoffes eine Form verwendet, so daß das spitze Ende der Öffnung nicht durch einen Verschluß abgedeckt sein kann und auch das spitze Ende der Öffnung gleichmäßig ausgeformt werden kann und ein solcher Schritt des Schneidens nicht notwendig ist.
Nachfolgend werden von dem Laminat, welches durch die Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl ausgehärtet ist, das Formglied heranreicht und der nicht ausgehärtete Teil des Füllwerkstoffes 37 entfernt, wie in Fig. 12 A und 12 B dargestellt, um den Flüssigkeitskanal Eingriffsflächen und die Flüssigkeitskammer 42 zu bilden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da keine Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl auf das füllende Glied an der Stelle, welche die Flüssigkeitskammer bildet, bewirkt wird und es in einem nicht ausgehärteten Zustand entfernt wird, wie Flüssigkeitskammer frei ausgebildet werden unabhängig von dem Flüssigkeitskanal durch die Steuerung der Dicke der Schicht des füllenden Gliedes, welches an dem unebenen Glied laminiert wird.
Das Verfahren zum Entfernen des Formgliedes 33 und des nicht ausgehärteten Abschnittes des Füllwerkstoffes 37 ist nicht im besonderen beschränkt, aber es kann beispielsweise das Verfahren zum Entfernen durch Eintauchen in eine Flüssigkeit zum Entfernen, welche das Formglied 33 und den von einem aktiven Energiestrahl nicht ausgehärteten Werkstoff auflöst oder anschwellen läßt oder abzieht etc., als eines der bevorzugten genannt werden. In diesem Fall kann auch, wenn es notwendig ist, eine Einrichtung zur Beschleunigung der Entfernung, wie beispielsweise eine Behandlung mit Schall, eine Behandlung mit Sprühen, Wärme, Bewegung, Schwingungen, Zirkulation unter Druck und so weiter eingesetzt werden.
Als die vorstehend erwähnte Flüssigkeit zur Entfernung kann beispielsweise eine verwendet werden, die ausgewählt wird aus Halogen enthaltende Kohlenwasserstoffe, Ketone, Esther, aromatische Kohlenwasserstoffe, Esther, Alkohäle, N- Methylpyrrolidone, Dimethylformamide, Phenol, Wasser, eine Wasser enthaltende Säure oder Lauge, etc.. In einer solchen Flüssigkeit für die Entfernung kann auch ein grenzflächenaktiver Stoff hinzugefügt werden, wenn dies erforderlich ist. Wenn für das unebene Glied ein Trockenfilm vom positiven Typ verwendet wird, wird es wieder bevorzugt, eine Bestrahlung mit einem UV Strahl auf das unebene Glied aufbringen, um das Entfernen einfacher zu gestalten und im Fall der Verwendung anderer Werkstoffe wird es bevorzugt, die Flüssigkeit auf 40 bis 60º C zu erwärmen.
Fig. 12 A und Fig. 12 B zeigen in Zustand nachdem das Formglied 33 und der nicht ausgehärtete Teil des Füllwerkstoffes entfernt sind, wie es vorstehend beschrieben wurden ist und im Falle dieses Beispieles werden das unebene Glied 33 und der ausgehärtete Abschnitt des Füllwerkstoffes weg gelöst durch die Tauchbehandlung in einer Flüssigkeit, welche sie auflöst durch die Öffnung des Kopfes und der Öffnung 36 für die Zuführung der Flüssigkeit.
Bei diesem Beispiel verbleibt die Schutzschicht 38 auch nach der Fertigstellung des Kopfes.
Diese Schutzschicht muß jedoch nicht in notwendiger Weise nach der Fertigstellung des Kopfes verbleiben, sondern kann beispielsweise, wenn die Schicht für den Fall entfernt werden soll, daß eine Beobachtung der inneren Abschnitte des Flüssigkeitskanales und der Flüssigkeitskammer benötigt wird, d.h. die Schutzschicht kann gleichzeitig entfernt werden, wenn das unebene Glied entfernt wird und der nicht ausgehärtete Abschnitt des Füllgliedes und zwar unter Verwendung eines Werkstoffes, der in einer Lösung zur Entfernung des unebenen Gliedes und des nicht ausgehärteten Abschnittes des Füllwerkstoffes gelöst werden kann, wie es vorstehend beschrieben worden ist und zwar zur Bildung der Schicht. Auch kann der Schritt der Auflösung der Schutzschicht in getrennter Weise vorgesehen werden.
Fig. 13 zeigt eine schematische perspektivischen Ansicht des Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes, welcher nach dem jeweiligen Schritten erhalten wird, wie sie vorstehend beschrieben worden sind. Im Stadium der Vervollständigung der jeweiligen Schritte, wie sie vorstehend beschrieben worden sind, kann zur Optimierung des Abstandes zwischen dem Energieerzeugungselement 32 und der Öffnung 43 das Spitzenende der Öffnung geschnitten, poliert und geglättet werden, wenn dies erforderlich ist.
Als industrielle Werte des Verfahrens für die Herstellung des Flüssigkeitsstrahl Aufzeichnungskopfes gemäß der vorliegenden Erfindung sind die Punkte von Bedeutung, welche gemäß den nachfolgenden Punkten erwähnt werden.
(1) Eine präzise Bearbeitung ist möglich.
(2) Es gibt nur geringfügige Beschränkungen bezüglich der Bearbeitung der Form des Flüssigkeitskanales und der Form der Flüssigkeitskammer.
(3) Bei der Bearbeitung wird keine besondere Kenntnis gefordert und die Produktivität bei der Massenfertigung ist hervorragend.
(4) Der Auswahlbereich der von einem aktiven Energiestrahl aushärtbaren Werkstoffe ist breit und es kann ein Werkstoff verwendet werden, der sich in hervorragender Weise als der körperliche beziehungsweise strukturelle Werkstoff eignet.
(5) Die Kosten sind niedrig.
(6) Eine große Flüssigkeitskammer, die für einen Aufzeichnungskopf vom Typ mit vielen Feldern von hoher Dichte beziehungsweise Auflösung erforderlich ist, kann einfach ausgebildet werden und zusätzlich ist der Schritt der Bearbeitung einfach, um für die Massenfertigung geeignet zu sein.
(7) Da die Schutzschicht gegen den aktiven Energiestrahl die Funktion der Maske besitzt, wird keine Maske bei der Bestrahlung mit einem aktiven Energiestrahl während der Belichtung mit einem Muster benötigt.
(8) Da die Schutzschicht gegen den aktiven Energiestrahl als die Maske nahe bei dem Füllwerkstoff vorliegt ist der Einfluß der Beugung beziehungsweise Brechung des aktiven Energiestrahles, welcher ausgestrahlt wird und der schräg einfallenden Komponente des Lichtes auf die Muster-Belichtung sehr klein, wodurch die Muster-Belichtung mit hoher Genauigkeit ausgeführt werden kann, ohne den Gebrauch einer teuren aktiven Energiestrahl-Bestrahlungsvorrichtung mit hoher Parallelität.
(9) Der Musterrand des Musters des Füllwerkstoffes, welcher der Übertragung eines Musters unterworfen wird, wird scharf, wodurch ein Kopf mit hoher Präzision des Tintenkanales ausgebildet wird.
Bei den vorstehend beschriebenen Beispielen wurde der aktive Energiestrahl 39 von oberhalb des zweiten Substrates 34 ausgestrahlt, es ist aber nicht notwendigerweise erforderlich, daß er von der Seite des zweiten Substrates aus ausgestrahlt wird, sondern er kann auch von der Seite des ersten Substrates 31 aus ausgestrahlt werden. In diesem Fall wird die Schutzschicht 38 selbstverständlich an der Oberfläche des ersten Substrates 31 gegenüber dem Füllwerkstoff 37 laminier-t.
Auch in diesem Fall müssen, wenn die Elemente 32 zur Erzeugung der Ausbringenergie oder die Elektroden zur Zuführung der Energie an diese Elemente etc., den aktiven Energiestrahl 39 unterbrechen, müssen diese Elemente 32 zur Erzeugung der Ausbringenergie oder Elektroden etc. an geeigneten Positionen angeordnet werden. Auch ist das Vorsehen der Elemente 32 zur Erzeugung der Ausbringenergie oder Elektroden etc. an der Seite des zweiten Substrates eine ausgesprochen wirksame Methode.
Der aktive Energiestrahl kann auch sowohl von dem ersten als auch von dem zweiten Substrat aus ausgestrahlt werden und in diesem Fall ist die Schutzschicht 38 an den entsprechenden Stellen der beiden Substrate vorgesehen. In jedem Fall ist die Schutzschicht an der Innenseite des ersten und zweiten Substrates vorgesehen.
Fig. 14 ist eine schematische perspektivische Ansicht, welche ein Beispiel einer Tintenstrahl Aufzeichnungsvorrichtung IJRA zeigt, an der der Tintenstrahlkopf angeordnet ist, welcher gemäß dem Herstellungsverfahren nach der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, wobei der Wagen HC, der mit der Spiralnut 5004 der spiralförmigen Nut 5005 im Eingriff steht, welche sich durch die Getriebezahnräder 5011, 5009, welche die Antriebskraft übertragen, dreht, die mit einer normalen und rückwärts gerichteten Drehung dem Antriebsmotor 5013 zugeordnet sind, einen Stift (nicht dargestellt) besitzt und in die Richtungen der Pfeilköpfe a, b hin und her bewegt werden. Das Bezugszeichen 5002 bezeichnet eine Papierdruckplatte, welche ein Papier über die Richtung der Bewegung des Wagens gegen die Platten 5000 drückt. Die Bezugszeichen 5007 und 50086 eine Erfassungseinrichtung für die Ruheposition zur Ausführung einer Umdrehung der Drehrichtung etc. des Motors 5013 durch Bestäti gen der Anwesenheit des Hebels 5006 des Wagens mit einem Photokoppier. Das Bezugszeichen 5016 ist ein Glied für die Aufnahme des Kappengliedes 5022, welches die vordere Fläche des Aufzeichnungskopfes IJC vom Kartuschentyp abdeckt, welcher einstückig mit einem Tintentank vorgesehen ist, 5015 ist eine Einrichtung zum Ansaugen, um innerhalb der Kappe anzusaugen und vollführt eine Wiederherstellung des Ansaugens des Aufzeichnungskopfes durch die Öffnung 5023 innerhalb der Kappe. 5017 bezeichnet eine Reinigungsschneide, 5019 bezeichnet eine Einrichtung, um die Schneide rückwärts und vorwärts zu bewegen und diese werden kann der Platte 5018 abgestützt, welche den Hauptkörper trägt. Die Schneide oder Klinge ist nicht auf diese Form beschränkt, sondern eine Reinigungsschneide, die bekannt ist, kann selbstverständlich an diesem Beispiel angewandt werden. 5012 bezeichnet einen Hebels zur Auflösung des Ansaugens zur Wiederherstellung des Ansaugens und bewegt sich mit der Bewegung der Nocke 5020, welche dem Wagen zugeordnet ist und die Antriebskraft von dem Antriebsmotor kann durch eine bekannte Getriebeeinrichtung, wie beispielsweise eine Schaltkupplung etc. gesteuert werden.
Die vorliegende Erfindung erbringt hervorragende Effekte insbesondere bei einem Aufzeichnungskopf, einer Aufzeichnungsvorrichtung eines Bubble Jet Systems (Bläschen-Strahl-System) unter den Tintenstrahl-Aufzeichnungssystemen.
Hinsichtlich dessen repräsentativer Ausgestaltung und Prinzip wird eines, welches durch die Verwendung des grundlegenden Prinzipes, welches beispielsweise in den US Patenten 4, 723, 129 und 4 740, 796 beschrieben ist, bevorzugt. Dieses System ist anwendbar sowohl auf dem sogenannten Bei-Bedarf-Typ als auch dem kontinuierlichen Typ. Insbesondere ist der Fall des Bei-Bedarf-Typs wirksam, war durch das Anlegen wenigstens eines Antriebssignales, welches einen schnellen Anstieg der Temperatur ergibt, welcher über das Kristallisationssieden hinaus geht entsprechend der Aufzeichnungsinformation an den Elektrizität- Wärme-Wandlern, die entsprechend den Blättern oder den Flüssigkeitskanälen, welche die Flüssigkeit (Tinte) beinhalten, angeordnet sind, wird Wärmeenergie an den Elektrizität-Wärme- Wandlern erzeugt, um ein Filmsieden an der Wärmewirkungsfläche des Aufzeichnungskopfes zu bewirken und infolgedessen können die Bläschen innerhalb der Flüssigkeit (Tinte) ausgebildet werden, wobei eines nach dem anderen den Antriebssignalen entspricht. Durch die Ausbringung der Flüssigkeit (Tinte) durch eine Öffnung für den Ausstoß durch Wachsen und Schrumpfen des Bläschens wird wenigstens ein Tröpfchen ausgebildet. Durch die Ausbildung der Antriebssignale in Form von Impulsen kann das Wachstum und das Schrumpfen des Bläschens ohne Verzögerung und in geeigneter Weise bewirkt werden, um einen mehr bevorzugten Ausstoß der Flüssigkeit (Tinte) zu erreichen, der insbesondere eine hervorragende Antwort-Charakteristik besitzt. Als die Antriebssignale von solcher Impulsform sind solche geeignet, wie sie in den US Patenten 4, 463, 359 und 4, 345, 262 beschrieben sind. Weiterhin kann eine hervorragende Aufzeichnung durchgeführt werden, indem die Bedingungen verwendet werden, wie sie in dem US Patent 4, 313, 124 beschrieben sind und zwar bezüglich der Erfindung, welche die Geschwindigkeit des Anstiegs der Temperatur der vorstehend erwähnten Wärmewirkungsfläche betrifft.
Als die Ausbildung des Aufzeichnungskopfes ist zusätzlich zu den Ausbildungen in Kombination der Ausbringöffnung, des Flüssigkeitskanales, des Elektrizität-Wärme-Wandlers (linearer Flüssigkeitskanal oder Flüssigkeitskanal im rechten Winkel), wie sie im Rahmen der vorstehend erwähnten Beschreibung beschrieben sind, ist auch die Ausbildung unter Verwendung der US Patente 4, 558, 333 und 4, 459, 600 in der vorliegenden Erfindung inbegriffen, wobei diese US Patente die Ausbildung beschreiben, welche die Warmewirkungsfläche in der gebeugten Bereich aufweisen. Zusätzlich kann die vorliegende Erfindung auch in wirkungsvoller Weise in der Ausgestaltung gemacht werden, wie sie in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 59-123670 beschrieben ist, welche die Ausbildung beschreibt, die einen Schlitz verwendet, der gemeinsam für eine Vielzahl von Elektrizität-Wärme-Wandlern als der Ausbringabschnitt der Elektrizität-Wärme-Wandler vorgesehen ist oder gemäß der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 59-138461, welche die Ausgestaltung beschreibt, die die Öffnung zur Aufnahme einer Druckwelle der Wärmeenergie entsprechend des Ausbringabschnittes besitzt.
Weiterhin kann als der Aufzeichnungskopf vom Ganzzeilentyp mit einer Länge entsprechend der maximalen Breite des Aufzeichnungsmediums, welches durch die Aufzeichnungsvorrichtung be schrieben werden kann, entweder die Ausgestaltung verwendet werden, welche ihrer Länge durch eine Kombination einer Vielzahl von Aufzeichnungsköpfen genügt, wie sie gemäß der vorstehend angeführten Beschreibung beschrieben worden sind oder die Ausbildung, bei der ein Aufzeichnungskopf einstückig ausgebildet ist und die vorliegende Erfindung kann die vorstehend beschriebenen Wirkungen in wirkungsvoller Weise zeigen.
Zudem ist die vorliegende Erfindung auch bei einem Aufzeichnungskopf wirksam, der vom Typ eines frei beziehungsweise ohne weiteres austauschbaren Chip ist, welcher eine elektrische Verbindung mit der Hauptvorrichtung oder dem Vorrat an Tinte herstellt, indem er an der Hauptvorrichtung angeordnet ist oder im Falle der Verwendung eines Aufzeichnungskopfes vom Typ einer Kartusche, die einstückig an dem Aufzeichnungskopf selbst vor gesehen ist.
Auch wird das Hinzufügen einer Einrichtung zur Wiederherstellung für den Aufzeichnungskopf, eine Hilfseinrichtung zur Vorbereitung etc., die als die Ausgestaltung der Aufzeichnungsvor richtung gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen ist, bevorzugt, da die Wirkung der vorliegenden Erfindung weiter stabilisiert werden kann. Bestimmte Beispiele davon können für den Aufzeichnungskopf eine abdeckende Einrichtung, eine Reinigungseinrichtung, eine Einrichtung zur Erzeugung von Druck oder Entlüftung, Elektrizität-Wärme-Wandler oder ein anderes Heizelement oder eine Vorheizeinrichtung gemäß einer Kombination daraus beinhalten und sie ist auch für die Ausführung einer dauerhaften Aufzeichnung wirksam, um einen Vorbereitungsmodus auszuführen, welcher einen Ausstoß getrennt von dem Aufzeichnungsvorgang durchführt.
Weiterhin ist bezüglich der Art der Aufzeichnung der Aufzeichnungsvorrichtung die vorliegende Erfindung ausgesprochen wirkungsvoll für nicht nur die Aufzeichnung, welche nur durch eine Farbe eines Primärstromes wie beispielsweise schwarz etc. ausge wird, sondern auch an einer Vorrichtung, die mit wenigstens einer von mehreren Farben oder durch Farbmischung mit Vollfarben ausgerüstet ist, ob der Aufzeichnungskopf entweder einstückig ausgebildet sein mag oder aus vielen Teilen zusammengesetzt ist.
Bei den Beispielen gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie vorstehend beschrieben worden ist, ist die Beschreibung anhand einer flüssigen Tinte ausgeführt worden, aber gemäß der vorhegenden Erfindung kann sowohl eine Tinte verwendet werden, die bei Raumtemperatur fest ist als auch eine Tinte, welche bei Raumtemperatur weich ist. Bei der Tintenstrahlvorrichtung, wie sie vorstehend beschrieben worden ist, wird die Steuerung der Temperatur im allgemeinen so ausgeführt, daß sich die Viskosität der Tinte innerhalb eines Bereiches eines stabilen Ausstoßes befindet und zwar durch die Ausführung der Steuerung der Temperatur der Tinte selbst innerhalb eines Bereiches von 30º C ist 70º C und daher kann die Tinte flüssig sein, wenn Aufzeichnungssignale, welche verwendet werden sollen, angelegt werden.
Zudem kann durch die Vermeidung eines positiven Anstiegs der Temperatur durch Wärmeenergie durch deren Verwendung als die Energie für den Phasenübergang von dem festen Zustand zu dem flüssigen Zustand oder durch die Verwendung einer Tinte, welche sich verfestigt, wenn sie nicht verwendet wird und zwar zu dem Zweck einer Verhinderung eines Verdampfens der Tinte, jeder Gebrauch einer Tinte, welche sich zum ersten mal durch Wärmeenergie verflüssigt, wie beispielsweise eine, welche als Tintenflüssigkeit ausgestoßen wird durch Verflüssigung der Tinte durch die Aufbringung von Wärmeenergie entsprechend den Signalen oder eine Tinte, die schon anfängt, verfestigt zu werden kann dem Punkt, bei dem sie das Aufzeichnungsmedium etc. erreicht, auch bei der vorliegenden Erfindung anwendbar. In einem solchen Fall kann die Tinte in der Form den Elektrizität-Wärme- Wandlern gegenüberliegend ausgebildet sein unter dem Zustand, daß sie als flüssige oder feste Materie in einem Hohlraum oder einer Durchgangsbohrung eines porösen Blattes vorliegt, wie es in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 54-56847 und Nr. 60-71260 beschrieben ist. Bei der vorliegenden Erfin dung ist diejenige der vorstehend beschriebenen Tinten am wirkungsvollsten, welche das Filmsiedesystem ausführt, wie es vorstehend beschrieben worden ist.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopfes, mit den Schritten:

a) Ausbildung eines erhobenen Musters aus einem Material (4) auf einem Substrat (1), wobei das Material als eine Form dient, um zumindest einen Flüssigkeitskanal (12) innerhalb des fertigen Kopfes auszubilden; und

b) Ausbildung eines aushärtbaren Materials (5) auf dem Substrat (1), um einen Teil einer Wand auszubilden, die den sich ergebenden Kanal festlegt;

gekennzeichnet durch

c) Vorsehen einer Platte (6, 19) auf dem erhobenen Material (4) und dem aushärtbaren Material (5), um einen Teil der Kanal-Wand auszubilden, wobei die Platte die Funktion einer Maske aufweist, um festzulegen, welches Material entfernt werden soll und welches Material erhalten werden soll;

d) Bestrahlung (9) der Materialien (4, 5) durch die Platte (6, 19), um die Abschnitte der Materialien auszuhärten, die beim fertigen Produkt als Teil von zumindest der Kanal-Wand dienen werden; und

e) Entfernung der nicht ausgehärteten Abschnitte der Materialien aus dem sich ergebenden Kanal.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das aushärtbare Material (5) die Zwischenräume zwischen dem erhobenen Material (4) ausfüllt, aber nicht die Oberseite des erhobenen Materials bedeckt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das aushärtbare Material (5) die Zwischenräume zwischen dem erhobenen Material (4) ausfüllt und die Oberseite des erhobenen Materials bedeckt.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (6, 19) mit einer Schutzschicht (7, 20) auf der Oberfläche versehen ist.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (7, 20) nach der Bestrahlung entfernt wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (6) eine Ausstoß- Öffnungs-Platte (15) ist, die einstückig mit einer Schutzschicht (13) ausgebildet ist.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (20) auf der Unterseite der Platte (19) ausgebildet ist.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (1) kurz vor dem ersten Schritt a) mit einem oder mehreren Energieerzeugungselementen (2) versehen wird.

9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Energieerzeugungselement (2) ein elektrothermischer Wandler ist, um Wärmeenergie zu erzeugen.

10. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Energieerzeugungselement (2) ein piezoelektrisches Element ist.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erhobene Muster aus Material (4) aus einem lichtempfindlichen Trockenfilm vom positiven Typ besteht.

12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei-das erhobene Muster aus Material (4) aus Naphthochinondiazid und Novolak-Phenolharz besteht.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei das erhobene Muster (4) eine Dicke von 10 bis 200 µm aufweist.

14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das aushärtbare Material (5) aus Epoxy-Harzen, die sich unter Licht durch eine kationische Polymerisation verändern, aus Akryl-Oligomeren, die Akrylestergruppen aufweisen, die sich unter Licht durch eine radikale Polymerisation verändern, aus Harzen vom Photo-Additions-Polymerisations-Typ mit Polythiol und aus polyenen und ungesättigten Cyclo-Acetal-Harzen ausgewählt ist.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Platte (6) eine Dicke von 1 µm bis 100 µm aufweist.

16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Platte (6) aus Glas oder einem transparenten Kunststoff besteht.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 4, 5 oder 7 und jedem nachfolgenden Anspruch, wenn er von einem dieser Ansprüche abhängig ist, wobei die Schutzschicht durch Aufbringung einer lichtempfindlichen Mischung auf die Platte und durch Erzeugung eines Musters durch Photolithographie ausgebildet wird.