DE69617335T2 - System zum Messen der Dicke und des Brechungsindexes eines Films - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die optische Reflektometrie und insbesondere auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Messen der Dicke und des Brechungsindexes eines Films, wie z. B. eines Blattes oder einer Bahn.
• In vielen industriellen Prozessen hat die Steuerung der Filmdicke eine wesentliche Bedeutung. Die Herstellung von photographischen Filmen z. B. erfordert die Erzeugung einer einheitlichen Schicht einer Emulsion auf einem Träger. Vom Standpunkt der Prozeßsteuerung ist es vorteilhaft, in der Lage zu sein, die Filmdicke während des Filmerzeugungsprozesses zu messen, anstatt den Film in einem Labor zu messen, nachdem der Film hergestellt wurde. Wenn Muster nicht prozeßgekoppelt gemessen werden, kann die Korrektur eines Maschinenfehlers nicht durchgeführt werden, bevor ein beträchtliches Volumen eines fehlerhaften Materials verarbeitet wurde. Dies führt zu Abfall. Zu Zwecken der vorliegenden Erklärung soll der Begriff "Film" Bahnen und Blätter einschließen.
• Frühere Verfahren zum Messen der Filmdicke können in Kontaktverfahren und kontaktlose Verfahren unterteilt werden. Bei einem Kontaktverfahren wird ein Mikrometer, das in physikalischen Kontakt mit beiden Seiten des Filmes kommt, verwendet. Diese Verfahren haben den Nachteil, daß sie den Film während des Messens physikalisch verformen, was zu ungenauen Messungen und einem möglichen Schaden an dem Film durch Lochfraß oder Kratzer führt. Zusätzlich sind diese Verfahren nur schwer auf die direkt prozeßgekoppelte Messung von sich schnell bewegenden Filmbahnen anzuwenden.
• Kontaktlose Verfahren, die auf der Dämpfung eines Strahls von subatomaren Teilchen oder Strahlung, wie z. B. Betateilchen oder Gammastrahlen, basieren, sind im Stand der Technik auch bekannt. Die Dämpfung eines Elektronenstrahls durch den Film wird z. B. verwendet, um die Filmdicke bei einem bekannten Verfahren dieses Typs zu bestimmen. Diese Methodik weist drei Nachteile auf. Zuerst muß das System für jeden Typ von Film kalibriert werden, da die Dämpfung von der chemischen Zusammensetzung und der Dicke des Films abhängt. Zweitens beruht das System üblicherweise auf einer radioaktiven Quelle, um den Teilchenstrahl zu erzeugen. Es ist im allgemeinen wünschenswert, die Verwendung von radioaktiven Materialien aus Gründen der Kosten, der Sicherheit und aus psychologischen Gründen zu begrenzen. Drittens wird normalerweise ein Zugriff auf beide Seiten des Films benötigt, so daß die Quelle auf einer Seite und der Detektor auf der anderen Seite plaziert werden kann.
• Verfahren zum Messen der Dicke von Filmen unter Verwendung eines optischen Autokorrelators sind im Stand der Technik ebenfalls bekannt. Zu Zwecken dieser Erläuterung wird ein optischer Autokorrelator als ein Interferometer definiert, das eine variable Differenzzeitverzögerung aufweist. Ein Ausführungsbeispiel eines optischen. Autokorrelators wird z. B. im Kapitel 5 von Statistical Optics von Joseph W. Goodman (John Wiley & Sons, 1985, Seiten 157-170) beschrieben. Den Fachleuten sind die Prinzipien des Betriebs eines optischen Autokorrelators bekannt, bestimmte Prinzipien jedoch werden hierin aufgrund ihrer Relevanz für dieses Patent deutlich gemacht. Bei einem Autokorrelationsinterferometer, bei dem Licht in zwei unterschiedliche Pfade gespalten wird und darin wieder kombiniert und auf eine Photodiode gerichtet wird, wird die erfaßte Lichtintensität als eine Funktion eines Parameters gemessen. Dieser Parameter kann die Differenz-Optischer-Pfad-Länge ΔL des Interferometers sein oder die Differenzzeitverzögerung Δt des Interferometers. Diese Parameter sind durch ΔL = n c Δt aufeinander bezogen, wobei c die Lichtgeschwindigkeit im Vakuum ist und n der Gruppenindex des Mediums (gewöhnlich Luft) des Differenz-Optischer-Pfads. Die erfaßte Lichtintensität, ausgedrückt als eine Funktion der Differenzzeitverzögerung, wird die Kohärenzfunktion des Eingangslichtes genannt. So führt ein Empfänger, der die Zeitverzögerung zwischen Licht, das von unterschiedlichen Oberflächen eines Films reflektiert wird, die gleiche Funktion durch wie ein Empfänger, der die Pfadverzögerung zwischen Licht bestimmt, das von unterschiedlichen Oberflächen eines Films reflektiert wird. Ein Bestimmen des Abstandes zwischen Spitzen in der Kohärenz-Funktion des reflektierten Lichtes ist eine weitere Weise, um die gleiche Funktion zu beschreiben. Zu Zwecken der vorliegenden Erläuterung soll der Begriff Differenzzeitverzögerung die Differenzpfadverzögerung einschließen.
• Ein Michelson-Interferometer ist ein Beispiel eines derartigen Autokorrelators. Ein Beispiel einer Vorrichtung zum Messen der Filmdicke, die ein Michelson-Interferometer benutzt, wird im U.S.-Patent 3,319,515, das Flournoy übertragen wurde, gelehrt. Bei diesem System wird der Film mit einem parallel ausgerichteten Lichtstrahl mit einem Winkel bezüglich der Oberfläche des Films beleuchtet. Die vordere und die hintere Oberfläche des Films erzeugen reflektierte Lichtsignale. Die Distanz zwischen den beiden reflektierenden Oberflächen wird dann durch Prüfen der Spitzen in dem Autokorrelationsspektrum bestimmt, das bei einem Michelson- Interferometer erzeugt wird, das das reflektierte Licht als seinen Eingang empfängt. Leider kann dieses Verfahren nur das Produkt des Gruppenindexes und der Filmdicke bestimmen. Wenn eine Abweichung bei dieser Größe erfaßt wird, müssen zusätzliche Messungen durchgeführt werden, um zu bestimmen, ob sich die Filmzusammensetzung geändert hat oder ob sich die Dicke verändert hat. Der Gruppenindex ist als das Verhältnis der Ausbreitungsgeschwindigkeit eines Lichtimpulses in dem Medium relativ zu der Ausbreitungsgeschwindigkeit des Impulses in einem Vakuum definiert.
• Die DE-A-2,448,294 offenbart eine Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Films mit einer oberen und einer unteren Oberfläche, die eine Einrichtung zum Erzeugen eines ersten Sondenlichtsignals und eines zweiten Sondenlichtsignals aus einer Lichtquelle; eine erste Richtungseinrichtung zum Richten des ersten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche eines Films mit einem ersten Einfallswinkel; eine zweite Richtungseinrichtung zum Richten des zweiten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche des Films mit einem zweiten Einfallswinkel, der sich von dem ersten Einfallswinkel unterscheidet; eine Einrichtung zum Kombinieren des Lichtes, das durch die erste Richtungseinrichtung und die zweite Richtungseinrichtung gesammelt wird, um ein gesammeltes Lichtsignal zu bilden; und einen Empfänger zum Empfangen des gesammelten Lichtsignals und zum Bestimmen der Zeitverzögerung zwischen Licht, das von der oberen und der unteren Oberfläche des Films von dem gesammelten Lichtsignal reflektiert wird, aufweist.
• Die vorliegende Erfindung möchte eine verbesserte Messung der Dicke und/oder des Brechungsindexes eines Films schaffen.
• Gemäß einem Aspekt dar vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zum Messen der Dicke eines Films, wie in Anspruch 1 spezifiziert, geschaffen.
• Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Messen der Dicke eines Films, wie in Anspruch 5 spezifiziert, geschaffen.
• Das bevorzugte Ausführungsbeispiel liefert ein System, das keinen Kontakt zwischen dem Film und der Meßvorrichtung benötigt. Dieses System kann ferner ein Flattern des Films aufnehmen. Es kann auch sowohl den Brechungsindex als auch die Filmdicke unabhängig bestimmen. Ferner kann dieses System sowohl den Brechungsindex als auch die Dicke des Films bestimmen, ohne einen Zugriff auf beide Seiten des Films zu benötigen.
• Das bevorzugte Ausführungsbeispiel liefert eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Messen der Dicke eines Films mit einer oberen und einer unteren Oberfläche. Die Vorrichtung umfaßt ein erstes Kopplungselement oder Strahlteiler zum Erzeugen eines ersten Sondenlichtsignals und eines zweiten Sondenlichtsignals aus einer Lichtquelle mit niedriger Kohärenz. Das erste Sondenlichtsignal wird in Richtung der oberen Oberfläche des Films mit einem ersten Einfallswinkel gerichtet, wobei das Licht, das die obere Oberfläche des Films verläßt, gesammelt wird. Ähnlich wird das zweite Sondenlichtsignal in Richtung der oberen Oberfläche des Films mit einem zweiten Einfallswinkel, der sich von dem ersten Einfallswinkel unterscheidet, gerichtet, wobei das Licht, das die obere Oberfläche des Films verläßt, ebenfalls gesammelt wird. Das gesammelte Licht wird kombiniert, um ein gesammeltes Lichtsignal zu bilden, das an einen Empfänger eingegeben wird, der die Zeitverzögerung zwischen Licht, das von der oberen und der unteren Oberfläche des Films reflektiert wird, bestimmt. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Empfänger aus einem optischen Autokorrelator oder einem optischen Spektrumanalysator aufgebaut, der einen Schaltungsaufbau zum Schaffen der Fourier- Transformation des Frequenzbereichsspektrums umfaßt, das aus dem kombinierten Lichtsignal gemessen wird.
• Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird unten lediglich beispielhaft Bezug nehmend auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
• Fig. 1 eine schematische Darstellung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Dickenüberwachungsvorrichtung;
• Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht der Oberfläche des Films, der gemessen wird;
• Fig. 3 den Ausgang, der durch einen Autokorrelationsempfänger erzeugt wird, wenn dieser in Verbindung mit der Vorrichtung aus Fig. 1 verwendet wird;
• Fig. 4 ist eine Schnittansicht der Faserenden und Linsen, die in der Vorrichtung aus Fig. 1 verwendet werden;
• Fig. 5 eine Schnittansicht der Faserenden und Linsen, die bei einem anderen Ausführungsbeispiel verwendet werden; und
• Fig. 6 ist eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels, das ein optisches Reflektometer als Empfänger verwendet.
• Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Dickenüberwachungsvorrichtung 10, die eine Lichtquelle mit niedriger Kohärenz 12 verwendet, um ein Lichtsignal zu erzeugen, das von einem 3-dB- Kopplungselement 16 in zwei Teile gespalten wird, die auf einen Film 15 angewendet werden, dessen Dicke gemessen werden soll. Die Lichtsignale werden über Fasern 13 und 14 angewendet. Das erste Signal trifft auf den Film 15 mit annähernd normalem Einfall auf, während das zweite Signal mit einem schrägen Winkel auf den Film auftrifft. Licht, das von den Oberflächen des Films reflektiert wird, wird von den optischen Fasern gesammelt. Ein Spiegel 11 reflektiert das Licht aus der Faser 13, das durch den Film reflektiert wird, zurück in die laser 13. Das gesammelte Licht wird durch ein Kopplungselement 16 kombiniert, um ein Ausgangslichtsignal auf einer Faser 17 zu schaffen, das an einen Empfänger gesendet wird, der vorzugsweise ein Autokorrelator ist.
• Die Kohärenzlänge der Lichtquelle 12 muß, verglichen mit der Dicke des Films, der gemessen werden soll, klein sein. Derartige Lichtquellen sind im Bereich der optischen Reflektometrie häufig und werden deshalb hierin nicht detailliert besprochen. Zu Zwecken der vorliegenden Erläuterung reicht es aus, anzumerken, daß eine kantenemittierende lichtemittierende Diode als Lichtquelle 12 verwendet werden kann.
• Ein exemplarischer Autokorrelator 18, der aus einem Michelson-Interferometer aufgebaut ist, ist bei 18 gezeigt. Das Licht, das auf das Michelson-Interferometer auftrifft, wird durch den Strahlteiler 19 in zwei Strahlen geteilt, die unterschiedliche Pfade durchlaufen. Der erste Pfad ist durch die Position eines festen Spiegels 20 bestimmt und der zweite durch einen bewegbaren Spiegel 21. Nach dem Durchlaufen der unterschiedlichen Pfade wird das Licht durch den Strahlteiler 19 rekombiniert und auf eine Photodiode 22 gerichtet, die die Intensität des Lichtes mißt, die aufgrund der Interferenz des Lichtes mit der Position des Spiegels 21 variiert.
• Nun wird Bezug auf Fig. 2 genommen, die eine Ausschnittsvergrößerung der Oberfläche des Films 15 in dem Bereich ist, in dem der schräge Strahl auf den Film 15 auftrifft. Der Brechungsindex des Films ist durch "n" angegeben. Die Optischer-Pfad-Verlängerung, B, entlang eines Pfades 25 relativ zu einem Pfad 24, ist bestimmt durch
• wobei angenommen wird, daß der Gruppenindex und der Brechungsindex annähernd gleich sind. Wenn dieser Annäherung nicht genüge getan wird, dann muß n² in Gleichung (1) durch nng ersetzt werden, wobei ng der Gruppenindex ist, und n in dem Zähler der Gleichung (1) durch ng ersetzt werden.
• Der Unterschied der Optischer-Pfad-Verzögerung für das Lichtsignal mit normalem Einfall, A, wird angegeben durch
• A = 2ngt 2nt (2)
• Auch hier wird davon ausgegangen, daß n ng ist. Der Wert von Θ&sub1; ist aus der Geometrie bekannt. Der von Θ&sub2; wird durch Θ&sub1; und n unter Verwendung des Snell-Brechungsgesetzes bestimmt. Somit können die Gleichungen (1) und (2) gelöst werden, wenn A und B bekannt sind, um n und t zu bestimmen.
• Die Werte von A und B können aus dem Ausgang des Autokorrelators bestimmt werden. Nun wird Bezug auf Fig. 3 genommen, die den Ausgang des Autokorrelators 18 darstellt. Das große Signal, das bei 30 für x = 0 gezeigt ist, ist immer vorhanden, da jede Signalstruktur, die in den Autokorrelator eingegeben wird, immer mit sich selbst korreliert sein wird. Wenn die optische Verzögerung in einem Zweig des Autokorrelators mit der Verzögerung zwischen zwei Reflexionen übereinstimmt, erscheint eine Spitze in dem Ausgang des Autokorrelators. Dies ist ein direktes Ergebnis der niedrigen Kohärenzlänge der Lichtquelle 12. So weist der Ausgang des Autokorrelators eine Spitze 31 entsprechend der Differenz in den optischen Pfaden für das Normaler-Einfall-Licht auf, das von der vorderen und der hinteren Oberfläche des Films abreflektiert wird. Zusätzlich wird es auch eine Spitze 32 entsprechend den Differenzen der Pfade für die schrägen Reflexionen von der vorderen und der hinteren Oberfläche des Films geben. Da die Signale in den Fasern 13 und 14 von der gleichen Quelle herrühren, wird es auch Spitzen entsprechend der Überlagerung zwischen Reflexionen bei dem Normaler-Einfall-Arm und denen bei dem Schräger-Einfall-Arm geben, wenn die Längen der Fasern 13 und 14 gleich sind. Da derartige Spitzen die Interpretation der Daten verkomplizieren würden, verwendet das bevorzugte Ausführungsbeispiel Faserlängen, die dieses Problem vermeiden. Schließlich soll angemerkt sein, daß eine symmetrische Spitzenstruktur auch für negative x-Werte beobachtet wird.
• Die obigen Ausführungsbeispiele wurden mittels zweier Faserenden beschrieben, die sich in der Nähe zu dem Film befinden. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel befinden sich die Faserenden in einer gewissen Distanz von dem Film, um Raum für Flattern und eine Toleranz für Winkelabweichungen der Reflexionsoberfläche des Films zu schaffen, was inhärent ist, wenn der Film während einer schnellen Bewegung flattert. Um die zusätzliche Distanz unterzubringen, und um die gewünschte Toleranz zu schaffen, werden Linsen und Reflexionsoberflächen verwendet. Die Weise, auf die diese Anordnung funktioniert, kann vielleicht bezugnehmend auf Fig. 4 leichter verstanden werden, die eine Schnittansicht der Faserenden, Linsen und des Filmes, der gemessen werden soll, ist. Licht, das die Faser 13 verläßt, wird mit Hilfe der Linse 103 parallel ausgerichtet. Licht, das den Film 15 verläßt, wird durch die Linse 104 und den Spiegel 110 zurück in die Faser 13 fokussiert. Ähnlich richtet eine Linse 102 Licht, das die Faser 14 verläßt, auf den Film aus, sammelt das Licht, das von dem Film zurückreflektiert wird, und koppelt das Licht, das den Film verläßt, und fokussiert das gesammelte Licht zurück in die Faser 14.
• Eine andere optische Anordnung zum Schaffen des gewünschten Abstandes ist in Fig. 5 gezeigt. Hier ist die Faser 13 durch zwei Fasern 131 und 132 ersetzt. Die Faser 131 und eine Linse 134 wirken wie eine Lichtquelle, die einen parallel ausgerichteten Strahl liefert, der auf den Film gerichtet ist. Eine Linse 133 und die Faser 132 sammeln das Licht, das von dem Film reflektiert wird. Das Licht von der Faser 132 wird mit dem von der Faser 14 in einem Kopplungs- Element kombiniert, bevor es durch den Autokorrelator empfangen wird.
• Obwohl die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele ein Michelson-Interferometer als Autokorrelator verwenden, können andere Formen eines Autokorrelators verwendet werden. Ein optischer Spektrumanalysator, der die optische Leistung als eine Funktion der Wellenlänge oder der optischen Frequenz mißt, kann verwendet werden. Die Fourier-Transformation des Frequenzbereichsspektrums liefert ein Ausgangssignal, das mit dem eines Autokorrelators identisch ist.
• Während die obigen Ausführungsbeispiele einen Autokorrelator als den Empfänger verwenden, können andere Typen von Reflektometerempfängern ebenso verwendet werden. Eine derartige andere Anordnung ist bei 100 in Fig. 6 gezeigt. Das Licht von einer Quelle mit niedriger Kohärenz 12 wird durch ein erstes Kopplungselement 161 in zwei Signale gespalten. Das Signal auf der Faser 164 wird in zwei Signale gespalten, um ein Sondenpaar zu bilden, das Fasern 130 und 140 aufweist, das diese Signale mit zwei Einfallswinkeln auf den Film 15 anwendet, und das Licht, das von dem Film 15 zurückreflektiert wird, sammelt. Das gesammelte Licht wird beim Kopplungselement 161 mit dem zweiten Lichtsignal rekombiniert, das durch das Kopplungselement 161 erzeugt wird, nachdem das zweite Lichtsignal einen variablen Referenzpfad durchlaufen hat, der einen bewegbaren Spiegel 121 aufweist. Die Signale, die beim Kopplungselement 161 kombiniert werden, erfahren eine konstruktive Interferenz, wenn die Verzögerung des Referenzpfades mit der Übergangszeit für die Signale auf dem Sondenarm des Reflektometers übereinstimmt. Die Intensität des Lichtes, das das Kopplungselement 161 verläßt, wird von einem Photodetektor 121 gemessen. Dieser Typ von Empfänger kann käuflich erworben werden (HP 8504 Präzisionsreflektometer von Hewlett Packard). Aus dem Ausgang der Photodiode als eine Funktion der Spiegelposition X können die Filmdicke und der Brechungsindex, wie oben erklärt, bestimmt werden.
• Jeder Typ von Reflektometer, der eine ausreichende räumliche Auflösung aufweist, um die Filmreflexionen zu unterscheiden, kann in dieser Konfiguration verwendet werden. Diese Konfiguration wird jedoch nicht bevorzugt, da die Ergebnisse sensibel gegenüber Abweichungen der Längen der verschieden Fasern sind. Derartige Abweichungen können aufgrund von Temperaturfluktuationen oder mechanischer Belastung auftreten. Im Gegensatz dazu sind die Ergebnisse, die mit einem Autokorrelationsempfänger erhalten werden, unabhängig von derartigen Fluktuationen.
• Während die obigen Ausführungsbeispiele mittels zweier Sondenlichtsignale beschrieben wurden, eines mit normalem Einfall und eines mit schrägem Einfall, wird es für Fachleute offensichtlich sein, daß beide Signale mit schrägem Einfall angewendet werden könnten, vorausgesetzt, daß die Einfallswinkel unterschiedlich sind. Die obige Anordnung wird bevorzugt, weil die berechneten Ergebnisse weniger sensibel gegenüber Ausrichtungsfehler sind.
• Während die obige Erläuterung sich auf den Film mit einer oberen und einer unteren Oberfläche bezogen hat, wird es den Fachleuten verständlich sein, daß diese Begriffe lediglich passende Bezeichnungen für die beiden Oberflächen des Films sind.

Claims (1)

1. Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Films, der eine obere und eine unter Oberfläche aufweist, wobei die Vorrichtung folgende Merkmale aufweist:

eine Einrichtung (16, 162) zum Erzeugen eines ersten Sondenlichtsignals und eines zweiten Sondenlichtsignals aus einer Lichtquelle mit niedriger Kohärenz (12);

eine erste Richtungseinrichtung (13) zum Richten des ersten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche eines Films mit einem ersten Einfallswinkel und zum Sammeln von Licht, das die obere Oberfläche des Films verläßt;

eine zweite Richtungseinrichtung (14) zum Richten des zweiten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche des Films mit einem zweiten Einfallswinkel, der sich von dem ersten Einfallswinkel unterscheidet, und zum Sammeln von Licht, das die obere Oberfläche des Films (15) verläßt;

eine Einrichtung (16, 162) zum Kombinieren des Lichtes, das durch die erste Richtungseinrichtung und die zweite Richtungseinrichtung gesammelt wird, um ein gesammeltes Lichtsignal zu bilden; und

einen Empfänger (18) zum Empfangen des gesammelten Lichtsignals und zum Bestimmen der Zeitverzögerung zwischen Licht, das von der oberen und der unteren Oberfläche des Films (15) reflektiert wird, aus dem gesammelten Lichtsignal.

2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der der Empfänger (18) einen optischen Autokorrelator aufweist.

3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der der Empfänger (18) ein optisches Reflektometer aufweist.

4. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der der Empfänger (18) einen optischen Spektrumanalysator aufweist.

Ein Verfahren zum Messen der Dicke eines transparenten Films, der eine obere und eine untere Oberfläche aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

Erzeugen eines ersten Sondenlichtsignals und eines zweiten Sondenlichtsignals aus einer Lichtquelle mit niedriger Kohärenz (12);

Richten des ersten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche des Films (15) mit einem ersten Einfallswinkel und Sammeln von Licht, das die obere Oberfläche des Films (15) verläßt;

Richten des zweiten Sondenlichtsignals in Richtung der oberen Oberfläche des Films (15) mit einem zweiten Einfallswinkel, der sich von dem ersten Einfallswinkel unterscheidet, und Sammeln von Licht, das die obere Oberfläche des Films (15) verläßt;

Kombinieren des gesammelten Lichtes von dem ersten und dem zweiten Sondenlichtsignal, um ein gesammeltes Lichtsignal zu bilden; und

Bestimmen der Zeitverzögerung zwischen Licht, das von der oberen und der unteren Oberfläche des Films (15) reflektiert wird, aus dem gesammelten Lichtsignal (18) in einem Empfänger.

6. Ein Verfahren gemäß Anspruch 5, das den Schritt des Bereitstellens eines optischen Autokorrelators für den Empfänger (18) umfaßt.

7. Ein Verfahren gemäß Anspruch 5, das den Schritt des Bereitstellens Eines optischen Reflektometers für den Empfänger (18) umfaßt.

8. Ein Verfahren gemäß Anspruch 5, das den Schritt des Bereitstellens eines optischen Spektrumanalysators für den Empfänger (18) umfaßt.