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DE69530473T2 - ATR-Kristallträger (abgeschwächte Totalreflexion) für Infrarotmikrospektroskopie - Google Patents

ATR-Kristallträger (abgeschwächte Totalreflexion) für Infrarotmikrospektroskopie

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Publication number
DE69530473T2
DE69530473T2 DE69530473T DE69530473T DE69530473T2 DE 69530473 T2 DE69530473 T2 DE 69530473T2 DE 69530473 T DE69530473 T DE 69530473T DE 69530473 T DE69530473 T DE 69530473T DE 69530473 T2 DE69530473 T2 DE 69530473T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mounting assembly
crystal
assembly according
sample
atr crystal
Prior art date
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Application number
DE69530473T
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DE69530473D1 (de
Inventor
David Gosbee
Simon Adrian Wells
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PerkinElmer Ltd
Original Assignee
PerkinElmer Ltd
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of DE69530473T2 publication Critical patent/DE69530473T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/02Objectives
    • G02B21/04Objectives involving mirrors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection

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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Gerät zum Durchführen spektroskopischer Analysen von Proben. Für gewöhnlich beinhaltet ein solches Gerät eine Quelle sichtbarer Strahlung und eine Quelle von Strahlungsenergie im Bereich nicht-sichtbarer Wellenlängen, für gewöhnlich Strahlung im Infrarotbereich (IR-Bereich). Die Infrarotstrahlung wird dazu verwendet, um die spektroskopische Analyse der Proben vorzunehmen.
  • Ein bekanntes Gerät dieser Art ist ein FT-IR-Mikroskop, wie es etwa von Perkin-Elmer hergestellt wird. Diese Art von Mikroskop kann man dazu verwenden, sehr kleine Proben zu analysieren. Die Probe kann man auf einem Objekttisch zwischen einer Objektivlinse und einer Feldlinse anbringen. Allgemein gesagt kann man das Mikroskop entweder in einer Durchgangseinstellung oder in einer Reflexionseinstellung verwenden. Die Reflexionseinstellung wird üblicherweise benutzt, wenn die zu untersuchende Probe für die Analysestrahlung undurchlässig ist. Das Mikroskop wird üblicherweise in Verbindung mit einem IR-Spektrophotometer verwendet, um ein IR-Spektrum der Probe zu erhalten.
  • Werden schwach reflektierende Proben in einer Reflexionseinstellung analysiert, wird bekanntlich ein Verfahren sogenannter gedämpfter Totalreflexion (ATR) verwendet. Dabei ist ein Kristall, der totale innere Reflexion oder gedämpfte totale innere Reflexion verwendet, mit der Probe während des Analyseschrittes in Kontakt angeordnet. Der Kontakt zwischen der Probe und dem Kristall wird üblicherweise durch das Beaufschlagen von Druck aufrecht erhalten. Herkömmlicherweise waren die Kristalle in der Form einer Halbkugel ausgebildet, wobei die untere Oberfläche der Halbkugel mit der Probe in Kontakt stand. Beispiele von Geräten, die solche Kristalle verwenden, findet man in US- A-5093580, JP-A-4-348254 und JP-A-5-164972. Die Kristalle sind üblicherweise aus einem infrarotdurchlässigen Material hergestellt wie etwa ZnSe oder Germanium. In einigen Geräten aus dem Stand der Technik sind die Kristalle so angebracht, dass man durch eine Bewegung den Kontakt mit der Probe aufheben kann, um eine Beobachtung der Probe durch Sichtkontakt während einer Aufbauphase zu ermöglichen.
  • Befindet sich der Kristall in seiner entfernten Stellung, betrachtet man die Probe beispielsweise durch ein optisches Mikroskop und der interessierende Bereich wird identifiziert und angemessen positioniert. Der Kristall wird dann mit der Probe in Kontakt gebracht und dann mit dem Mikroskop in seiner Infraroteinstellung analysiert.
  • Bei herkömmlichen Anordnungen, die Halbkugel-Kristalle verwenden, gibt es zwei bedeutende Probleme. Eines ist Unsicherheit in Bezug auf den tatsächlich analysierten Bereich der Probe, und das andere ist, genügend Druck zwischen dem Kristall und der Probe an dem Kontaktbereich zu erzeugen, um eine zuverlässige Messung zu erhalten.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Gerät, bei dem diese Probleme gemildert sind.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Anbringungsbaugruppe für einen ATR- Kristall geschaffen, die einen Rahmen mit sich im Allgemeinen radial erstreckenden Schenkeln, ein axial nach unten vorstehendes Tragelelement, das von dem Rahmen getragen wird, wobei das Trageelement ein erstes und ein zweites Element enthält, die zueinander relativ beweglich sind, einen ATR-Kristall, der an einem Ende des zweiten Elementes getragen wird, eine Einrichtung, die das zweite Element in einer ersten axialen Richtung vorspannt, und eine Einrichtung umfasst, die eine Bewegung des zweiten Elementes gegen die Spanneinrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zu der ersten Richtung zulässt.
  • Das zweite Element kann axial so innerhalb eines äußeren röhrenförmigen ersten Elementes angeordnet sein, dass die Elemente relative axiale Bewegung ausführen können. Der ATR-Kristall kann mit Klebstoff an dem unteren Ende des zweiten Elements befestigt sein. Die Spanneinrichtung kann eine Feder umfassen, die sich in dem oberen Abschnitt des ersten röhrenförmigen Elements befindet. Das Tragelement kann eine Einrichtung enthalten, die Einstellung der Vorspannung gestattet, die von der Feder auf das zweite Element ausgeübt wird.
  • Der ATR-Kristall kann einen Kristallkörper umfassen, der einen ersten Körperabschnitt, durch den analysierende Strahlung in Richtung einer zu analysierenden Probe hindurchtreten kann, und einen im Allgemeinen konischen zweiten Teil umfassen, dessen Spitze im Betrieb mit der Probe in Kontakt ist.
  • Der erste Körperabschnitt kann teilweise kugelförmig sein und die Strahlung kann im Wesentlichen ohne Brechung durch ihn hindurchtreten.
  • Mittels einer solchen Anordnung besteht die Möglichkeit, eine verhältnismäßig kleine, flache Oberfläche an der Spitze des Kegels zu erzeugen, um eine bestimmte Kontaktfläche mit der Probe zu schaffen. Ferner kann, weil die von der Spitze des Kegels geschaffene Fläche verhältnismäßig klein ist, der Kristall dazu verwendet werden, einen Hochdruckkontakt zwischen der Probe und dem Kristall zu entwickeln, ohne die Kontaktfläche zu vergrößern.
  • Der Kristallkörper kann eine plane Fläche aufweisen, um Ankleben an einem Träger zu ermöglichen. Die Kontaktfläche der Spitze wird Abmessungen im Bereich von 50 Mikron bis 200 Mikron aufweisen, wobei eine typischer Wert in der Größenordnung von 100 Mikron liegt.
  • Die vorliegende Anbringungsbaugruppe kann als ein Anbau für ein bestehendes Gerät zum Durchführen spektroskopischer Analysen, wie etwa dem FT-IR-Mikroskop, vorgesehen werden.
  • Die Erfindung wird nun bloß beispielhaft, insbesondere unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen, beschrieben. In den Zeichnungen:
  • Fig. 1 ist eine schematische Seitenansicht, die die Hauptelemente eines FT-IR- Mikroskops darstellt;
  • Fig. 2 und 3 sind Ansichten ähnlich der Fig. 1, die den Betrieb des Mikroskops darstellen;
  • Fig. 4 und 5 sind schematische Ansichten, die die ATR-Technik zeigen;
  • Fig. 6a bis 6c sind Draufsicht, Seitenansicht und Ansicht von unten eines ATR-Kristalls gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 7a ist eine schematische Seitenansicht, die den ATR-Kristall in seiner Position zeigt, während die Probe betrachtet wird;
  • Fig. 7b ist eine Ansicht ähnlich der Fig. 7a und zeigt den Kristall in seiner Position während eines Messschrittes;
  • Fig. 8 ist eine Seitenansicht einer Anbringungsbaugruppe für einen ATR-Kristall;
  • Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht der Anbringungsbaugruppe von unten;
  • Fig. 10 ist eine Explosionsansicht der Anbringungsbaugruppe, und
  • Fig. 11 ist eine Seitenansicht der Anbringungsbaugruppe, bei der sich der Kristall in seiner angehobenen Stellung befindet.
  • Fig. 1 zeigt die Hauptelemente eines FT-LR-Mikroskops wie dem von Perkin-Elmer hergestellten. Das Mikroskop beinhaltet ein optisches Mikroskop (10), das über einem Betrachtungs-/IR-Spiegel (11) angeordnet ist, der seinerseits über einer beabstandeten Blende (12) angeordnet ist. Unter der beabstandeten Blende (12) ist ein Transmissions- /Reflexionsspiegel (14) angeordnet, der über einem Objektiv-Cassegrain-Aufbau (16) und einem Kondensator-Cassegrain-Aufbau (18) angeordnet ist. Zwischen den beiden Gassegrains befindet sich eine Probenposition (20), üblicherweise ein Objekttisch. Unter dem Kondensator-Cassegrain (18) befindet sich ein flacher Spiegel (22), der Strahlung von einer ringförmigen Verbindungsoptik (24) umlenken kann, die eingerichtet ist, um Strahlung von einer Strahlungsquelle zu empfangen, für gewöhnlich einer Quelle sichtbarer Strahlung oder einer Infrarotstrahlungsquelle. Das Gerät beinhaltet ebenfalls einen Detektor und eine MCT-Cassegrain-Anordnung (26), die dazu verwendet wird, die spektroskopische Analyse in Verbindung mit einem IR-Spektrometer (nicht gezeigt) durchzuführen.
  • Man wird verstehen, dass das Mikroskop eine Quelle sichtbarer Strahlung beinhaltet und auch an eine Infrarotstrahlungsquelle angeschlossen sein kann, die üblicherweise in einem zugeordneten Spektrophotometer beinhaltet ist. Diese Quellen sind in Fig. 1 nicht gezeigt.
  • Die Fachleute werden die Art und Weise verstehen, auf die ein solches Mikroskop funktioniert, und eine umfassende Erläuterung dieser Funktionsweise ist zum Zwecke des Verständnisses der vorliegenden Erfindung nicht erforderlich. Eine umfassendere Beschreibung des Mikroskops befindet sich in einem Artikel mit dem Titel "An FTIR microscope" von D. W. Shearing, E. F. Young und T. P. Byron, der in American Laboratory, November 1990 veröffentlicht wurde, und auch in dem Benutzerhandbuch des Perkin- Elmer FT/IR-Mikroskops.
  • Kurz gesagt, man wird verstehen, dass ein erster Schritt bei der Analyse einer Probe unter Verwendung eines Mikroskops der in Fig. 1 gezeigten Art darin besteht, die Probe zu betrachten, um den zu untersuchenden Bereich zu bestimmen. Die Konfiguration des Mikroskops während der Betrachtung der Probe ist in Fig. 2 gezeigt. Bei dieser Anordnung wird ein einfallender Strahl von Strahlung von der Quelle sichtbaren Lichts in Richtung auf den Reflexionsspiegel (14) gelenkt und zu dem Objektiv-Cassegrain (16) reflektiert. Von dem Cassegrain läuft der Lichtstrahl zu der Position der Probe und Licht wird durch das Objektiv-Cassegrain zu dem optischen Mikroskop (10) umgekehrt.
  • Nachdem die Probe richtig auf ihrem Objekttisch angeordnet ist, kann eine Standard- Reflexionsmessung vorgenommen werden, und der Aufbau in diesem Betriebszustand ist in Fig. 3 dargestellt. Der einlaufende Strahl analysierender Strahlung läuft wiederum zu dem Reflexionsspiegel (14) und durch das Objektiv-Cassegrain (16) zu der Probenposition (20). Von der Probe wird der Strahl nach oben reflektiert durch das Objektiv- Cassegrain, durch die beabstandete Blende (12) zu dem Spiegel (11). Man beachte, dass es sich bei dem Spiegel (11) um ein bewegliches Element handelt, das sich in der Betrachtungskonfiguration der Fig. 2 nicht in seiner Betriebsposition befindet, sondern in diese Position für die Analyse gebracht wird. Von dem Spiegel (11) wird der Strahl in Richtung auf die Detektoranordnung gelenkt, was eine Vornahme einer spektroskopische Analyse ermöglicht.
  • Man wird ferner verstehen, dass die Konfiguration des Mikroskops, wie sie in Fig. 2 gezeigt ist, seine Reflexionseinstellung bildet. Wenn eine schwach reflektierende Probe untersucht wird, kennt man die Verwendung eines ATR-Kristalls, der zwischen dem Objektiv-Cassegrain und der Probe gestützt wird. Fig. 4 und 5 sind Ansichten, die jenen der Fig. 2 und 3 gleichwertig sind und die Stellung des ATR-Kristalls (40) während der Probenbetrachtung (Fig. 4) und während einer tatsächlichen Analysenmessung (Fig. 5) zeigen. Während der Analysenmessung steht der Kristall mit der Probe in Kontakt und die Hauptgrundsätze, nach denen der Kristall funktioniert, wird der Fachmann verstehen.
  • Die vorliegende Anordnung betrifft die besondere Form des verwendeten Kristalls. Der Kristall ist detailliert in Fig. 6a bis 6c gezeigt. Der Kristall umfasst einen zylindrischen Mittelabschnitt (60), einen oberen Abschnitt (61), der eine teilweise kugelförmige Oberfläche (62) aufweist, und ein flaches oberes Ende (63) und einen unteren, im wesentlichen kegelförmigen Abschnitt (65). Der Kristall ist für gewöhnlich aus einem Material gebildet, das Infrarotstrahlung durchlässt, beispielsweise Germanium oder Silizium. Ungefähre Abmessungen des Kristalls sind folgende: Der Radius des Mittelabschnitts (60) liegt in der Größenordnung von 2 mm, die axiale Erstreckung des Kristalls liegt insgesamt in der Größenordnung von 3 mm und die Spitze (66) des Kegels ist mit einer kleinen planen Oberfläche ausgebildet, deren Abmessungen für gewöhnlich 100 Mikron betragen, aber im Bereich von ungefähr 50 Mikron bis 200 Mikron liegen können.
  • Bei der vorliegenden Anordnung wird vorgeschlagen, den Kristall von dem Objektiv- Cassegrain auf die in Fig. 4 und 5 dargestellte Weise zu stützen. Fig. 7a und 7b stellen die Position des Kristalls (40) während der Betrachtungs- und der Messeinstellungen genauer dar. Wie man erkennen kann, tritt in der Betrachtungseinstellung die sichtbare Strahlung nicht durch den Kristall hindurch, während sie dies in der Messeinstellung tut. Die kugelförmige Oberfläche (62) ist so geformt, dass Strahlung im wesentlichen normal zu der Oberfläche (62) einfällt und somit ohne Brechung hindurchtritt. Von Bedeutung ist der Umstand, dass nur die plane Oberseite der Spitze des kegelförmigen Abschnitts mit der zu untersuchenden Probe in Kontakt steht. Die Bedeutung dieses Umstandes liegt darin, dass eine bekannte Berührungsfläche auf eine spezielle und wiederholbare Art und Weise für viele verschiedene Proben geschaffen wird. Ferner ermöglicht die Verwendung der relativ kleinen Fläche eine Berührung unter vergleichsweise hohen Druck zwischen der Probe und dem Kristall zu bilden, ohne die Berührungsfläche dazwischen zu vergrößern. Dies hilft dabei, verlässliche Messungen zu erhalten. Wegen der Wiederholbarkeit von Position und Fläche der Probe und des Berührungsdrucks, führt die Gestaltung des Kristalls zu einer größeren Proben-Wiederholbarkeit bei der ATR- Spektroskopie.
  • Der Kristall (40) kann in eine Anbringungsbaugruppe der in Fig. 8 bis 11 der Zeichnungen gezeigten Art eingebaut werden. Dieser Aufbau kann in bestehendes Spektroskopiegerät wie etwa dem FT-IR-Mikroskop eingebaut werden. Die in Fig. 8 bis 11 gezeigte Anordnung ist so entworfen, dass sie in das Perkin-Elmer FT/IR-Mikroskop passt und insbesondere an das Objektiv-Cassegrain (16) dieses Mikroskops angefügt werden kann. Die Anbringungsbaugruppe beinhaltet eine Rahmenstruktur, die sich radial erstreckende Schenkel (70) aufweist, die an einen Ring (71) angeschlossen sind, wobei die Rahmenstruktur mit dem Objektiv-Cassegrain an durch Winkel von einander beabstandeten Positionen des Umfangs mittels Schraubverbindungen (72) verbunden ist. An einer zentralen Position stützt die Rahmenstruktur eine sich abwärts erstreckende Anbringungsbaugruppe, die ein äußeres röhrenförmiges Element (74) umfasst, innerhalb dessen ein axial bewegliches Element (76) angeordnet ist. Das axial bewegliche Element weist einen unteren, sich verjüngenden Abschnitt auf, der an seinem unteren Ende den Kristall (40) trägt, wie in Fig. 6 gezeigt ist. Eine Feder (78) ist innerhalb des röhrenförmigen Elements (74) angeordnet und sorgt für eine Vorspannung des inneren Elements in Abwärtsrichtung. Eine Mutter (80) greift in den äußeren Gewindeabschnitt des zweiten Elements und kann dazu verwendet werden, die axiale Position des Kristalls einzustellen. Der Kristall kann mittels eines manuell bedienbaren Umschaltriegels (82), der per Hand bedient werden kann, um das zweite Element nach oben oder nach unten zu bewegen, angehoben und abgesenkt werden.
  • Die inneren und äußeren Elemente (74 und 76) sind miteinander mittels einer Bajonett- Verbindung aneinandergeschlossen, bei der ein sich radial nach außen erstreckender Stift auf dem inneren Element (76) in einen Schlitz in dem äußeren Element (76) eingreift. Um den Kristall in eine obere Stellung zu bewegen, wird der Umschalter gegen die Vorspannung der Feder nach oben geschoben. Der Umschaltriegel wird dann verdreht, so dass die Bajonett-Verbindung diese Stellung auf eine Art und Weise beibehält, die der einer Glühbirnenverbindung ähnelt. Um den Kristall abzusenken, verdreht man den Umschaltriegel (82) zur Freigabe der Bajonett-Verbindung und das Element (76) kann dann in seine niedere Stellung fallen.

Claims (9)

1. Anbringungsbaugruppe für einen ATR-Kristall, die einen Rahmen (71) mit sich im Allgemeinen radial erstreckenden Schenkeln (70), ein axial nach unten vorstehendes Trageelement, das von dem Rahmen getragen wird, wobei das Trageelement ein erstes und ein zweites Element (74, 76) enthält, die zueinander relativ beweglich sind, einen ATR-Kristall (40), der an einem Ende des zweiten Elementes (76) getragen wird, eine Einrichtung (78), die das zweite Element in einer ersten axialen Richtung spannt, und eine Einrichtung umfasst, die Bewegung des zweiten Elementes gegen die Spanneinrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zu der ersten Richtung zulässt.
2. Anbringungsbaugruppe nach Anspruch 1, wobei das zweite Element (76) axial so innerhalb eines äußeren röhrenförmigen ersten Elementes (74) angeordnet ist, dass die Elemente relative axiale Bewegung ausführen können.
3. Anbringungsbaugruppe nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei der ATR-Kristall (40) mit Klebstoff an dem Ende des zweiten Elementes befestigt ist.
4. Anbringungsbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Spanneinrichtung eine Feder (78) umfasst, die sich in dem ersten röhrenförmigen Element (74) befindet.
5. Anbringungsbaugruppe nach Anspruch 2, wobei das Trageelement eine Einrichtung (80) enthält, die Einstellung der Spannung gestattet, die von der Feder auf das zweite Element ausgeübt wird.
6. Anbringungsbaugruppe nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der ATR- Kristall (40) von dem Typ ist, der einen Kristallkörper umfasst, der einen ersten Körperabschnitt (61), durch den analysierende Strahlung in Richtung einer zu analysierenden Probe hindurchtreten kann, und einen im Allgemeinen konischen zweiten Teil (65) aufweist, dessen Spitze in Funktion mit der Probe in Kontakt ist.
7. Anbringungsbaugruppe nach Anspruch 6, wobei der erste Körperabschnitt (61) teilweise kugelförmig ist und die Strahlung im Wesentlichen ohne Brechung durch ihn hindurchtreten kann.
8. Anbringungsbaugruppe nach Anspruch 6 oder Anspruch 7, wobei der Kristallkörper eine plane Fläche (63) aufweist, um Ankleben an einem Träger zu ermöglichen.
9. Anbringungsbaugruppe nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei die Kontaktfläche an der Spitze des konischen Teils (65) Abmessungen im Bereich von 50 Mikron bis 200 Mikron hat.
DE69530473T 1995-03-03 1995-03-03 ATR-Kristallträger (abgeschwächte Totalreflexion) für Infrarotmikrospektroskopie Expired - Lifetime DE69530473T2 (de)

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