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DE68907434T2 - Tintenstrahlkopf. - Google Patents

Tintenstrahlkopf.

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DE68907434T2
DE68907434T2 DE89106516T DE68907434T DE68907434T2 DE 68907434 T2 DE68907434 T2 DE 68907434T2 DE 89106516 T DE89106516 T DE 89106516T DE 68907434 T DE68907434 T DE 68907434T DE 68907434 T2 DE68907434 T2 DE 68907434T2
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DE
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nozzle
ink
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Masanao C O Seiko Ep Matsuzawa
Hideki C O Seiko Epso Morozumi
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Tintenstrahlaufzeichnungsgerät zur Bildung eines Tintenbildes auf einem Medium wie etwa Aufzeichnungspapier oder ähnlichem durch Ausstoßen von Tintentröpfchen auf das Medium. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung den Tintenstrahlkopf eines solchen Tintenstrahlaufzeichnungsgerätes.
  • Ein Tintenstrahlkopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 mit einem Substrat, in dem eine Vielzahl von Düsen ausgebildet ist, und einem piezoelektrischen Wandler, der Tinte unter Druck setzt und ausstößt, ist in der US-A-4,072,959 offenbart. Bei diesem bekannten Tintenstrahlkopf werden den piezoelektrischen Wandler bildende Vibratoren nahezu rechtwinklig zu dem düsenbildenden Substrat ausgelenkt, so daß der Tintenkanal zu den Düsen kurz ist und die Abgabeeffizienz und Stabilität der Tintentröpfchen hoch sind. Da weiterhin die Tintenkanäle zwischen den Düsen über einen kurzen Abstand miteinander in Verbindung stehen, werden Blasen und Fremdstoffe wie Staub oder ähnliches, die mit der Tinte vermischt sein können, den normalen Betrieb nicht beeinflussen.
  • Die Vibratoren mit freitragendem oder Mittelstabaufbau bieten einen hohen elektromechanischen Wandlerwirkungsgrad und erlauben, mit einer kleinen Spannung die notwendige Vibratorauslenkung zu erzielen.
  • Andererseits sind mit dem vorgenannten Stand der Technik stabile Charakteristiken kaum zu erreichen. Die Größe eines Spalts zwischen jedem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat beeinflußt Charakteristiken wie die Ausstoßrate, die Ausstoßmenge und die Ausstoßerholzeit. Zur Erzielung befriedigender Charakteristiken muß daher die Spaltgröße mit einer sehr geringen Toleranz eingestellt werden. Zur Erhöhung der Ausstoßrate und der Ausstoßmenge der Tintentröpfchen ist es nötig, den Spalt zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem ihm gegenüberliegenden Vibrator innerhalb eines infinitesimalen konstanten Bereichs zu halten, um den Druck der nahe den Düsen vorhandenen Tinte zu erhöhen. In solch einem infinitesimalen Spalt steht der Vibratorauslenkung ein großer strömungsinduzierter Widerstand infolge einer Strömung der in dem Spalt zwischen dem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat vorhandenen Tinte entgegen. Auch ist es schwierig, einen geeigneten Dämpfungszustand der Vibratoren einzustellen, so daß, wenn beispielsweise die Dämpfung zu stark ist, der Maximalwert des Tintenausstoßdrucks minimal wird und die zum Erreichen des maximalen Ausstoßdrucks erforderliche Zeit im Vergleich zu dem Fall einer niedrigeren periodischen Dämpfung mit einer langen Zeitkonstante lang wird, wodurch der Energiewirkungsgrad verschlechtert wird. Ferner wird die Zufuhr der notwendigen Tinte für die erneute Bildung eines Düsenmeniskus für den nächsten Tintenausstoß durch den schmalen Spalt zwischen dem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat behindert, so daß die Zeit für die Tintenrückkehr lang wird und die Erholzeit verschlechtert, so wie eine Erscheinung einer Ausstoßmengenschwankung abhängig von der Ansteuerfrequenz unvermeidbar macht.
  • Die vorliegende Erfindung beabsichtigt, die oben genannten Probleme zu beseitigen und einen Tintenstrahlkopf mit einem hohen Energiewirkungsgrad und stabilen Charakteristiken zu schaffen, der gleichzeitig eine gute Ausstoßrate, Ausstoßmenge und Ausstoßerholzeit der Tintentröpfchen bietet.
  • Diese Aufgabe wird mit einem Tintenstrahlkopf der beanspruchten Art gelöst.
  • Wenn bei dieser Lösung der Vibrator deformiert und zum Tintenausstoß ausgelenkt wird, können eine Ausstoßdruckerzeugungscharakteristik und eine periodische Dämpfungscharakteristik abhängig von dem Strömungswiderstand, der auf die zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem beweglichen Teil des Vibrators vorhandene Tinte einwirkt, unabhängig voneinander gesteuert werden, was die Realisierung eines Kopfes mit stabilen Charakteristiken erlaubt.
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend im einzelnen unter Bezug auf die Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • FIG. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Aufzeichnungsgerätes mit einem Tintenstrahlkopf gemäß der Erfindung ist,
  • FIG. 2 eine perspektivische Ansicht ist, die den Aufbau eines piezoelektrischen Wandlers darstellt, der in einer ersten Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes gemäß der Erfindung verwendet wird,
  • FIG. 3(a) und 3(b) eine Vorderansicht, bzw. eine Schnittansicht sind, die die Form eines düsenbildenden Substrats der ersten Ausführungsform der Erfindung darstellen,
  • FIG. 4 eine Teilschnittansicht ist, die den Aufbau des Tintenstrahlkopfes der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt,
  • FIG. 5 eine Zeichnung zur Darstellung des Druckerzeugungsmechanismus ist,
  • FIG. 6(a), (b) bis FIG. 9(a), (b) Zeichnungen sind, die verschiedene alternative Formen des düsenbildenden Substrats zeigen,
  • FIG. 10 eine Schnittansicht einer zweiten Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes der Erfindung ist,
  • FIG. 11 eine perspektivische Ansicht ist, die den Aufbau des piezoelektrischen Wandlers der zweiten Aussführungsform darstellt,
  • FIG. 12 eine Teilschnittansicht einer dritten Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes der Erfindung ist,
  • FIG. 13 eine Schnittansicht einer vierten Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes der Erfindung ist,
  • FIG. 14 eine perspektivische Ansicht ist, die den Aufbau des piezoelektrischen Wandlers darstellt, der in der vierten Ausführungsform verwendet wird,
  • FIG. 15 eine Zeichnung ist, die die Form des für eine fünfte Ausführungsform der Erfindung benutzten Vibrators zeigt,
  • FIG. 16 eine Teilschnittansicht der fünften Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes der Erfindung ist,
  • FIG. 17(a), (b) bis FIG. 19.(a), (b) Zeichnungen sind, die verschiedene alternative Formen des für die fünfte Ausführungsform verwendeten Vibrators zeigen,
  • FIG. 20(a) und (b) Zeichnungen sind, die eine sechste Ausführungsform der Erfindung darstellen, wobei (a) die Form eines düsenbildenden Substrats zeigt und (b) den Zusammenhang zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator angibt,
  • FIG. 21(a) und (b) Zeichnungen sind, die eine siebte Ausführungsform der Erfindung darstellen, wobei (a) die Form eines düsenbildenden Substrats zeigt und (b) den Zusammenhang zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator angibt, und
  • FIG. 22 eine Zeichnung zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung des düsenbildenden Substrats der sechsten Ausführungsform ist.
  • Beispiel 1
  • FIG. 1 stellt eine Ausführungsform eines Aufzeichnungsgerätes mit einem darin montierten Tintenstrahlkopf gemäß der Erfindung dar. Ein Aufzeichnungsmedium 1 ist unter dem Druck von Transportrollen 2 und 3 um eine Schreibwalze 4 gewunden und wird während der Aufzeichnung in der durch einen Pfeil 5 angegeben Richtung transportiert. Ein Tintenstrahlkopf 9 ist auf einem Wagen 8 montiert, der in der Richtung eines Pfeiles 10 parallel zur Schreibwalze 4 längs Führungsstangen 6, 7 verschiebar ist. Der Tintenstrahlkopf 9 hat eine Vielzahl von Düsen (nicht gezeigt in FIG. 1), die unabhängig gesteuert werden können, um Tintentröpfchen auszustoßen. Der Tintenstrahlkopf 9 wird in die Richtung eines Pfeiles 10 bewegt, während Tintentröpfchen selektiv von seinen Düsen ausgestoßen werden, und dadurch wird ein Tintenbild auf dem Aufzeichnungsmedium 1 ausgebildet.
  • FIG. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau eines piezoelektrischen Wandlers zeigt, der in dem Tintenstrahlkopf der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann. Der Wandler 20 umfaßt eine Vielzahl von Vibratoren 21, die durch Einschnitte 23 voneinander getrennt sind, und einen festen Abschnitt 22. Signalelektroden 25 aus einer Au-Dünnschicht sind auf einer Seite jeweiliger piezoelektrischer Elemente 24, die aus PZT bestehen, ausgebildet. Eine Metallplatte, die aus einer Ni-Schicht besteht, ist als eine gemeinsame Elektrode 26 auf der anderen Seite der piezoelektrischen Elemente 24 ausgebildet. Ein Abstandshalter 27 aus einer Ni- Schicht ist auf dem festen Abschnitt 22 ausbildet.
  • FIG. 3(a) ist eine Vorderansicht, die die Form eines düsenbildenden Substrats der vorliegenden Erfindung darstellt. FIG. 3(b) ist eine Schnittansicht des düsenbildenden Abschnitts längs der Linie A-A in FIG. 3(a). Das düsenbildende Substrat 30 ist aus einer dünnen Ni-Platte hergestellt, die eine Vielzahl von Düsen 31 aufweist, welche durch Galvanoformung ausgebildet sind. Andere Teile als ein bandartiger Abschnitt, der benachbarte Abschnitte von Düseneinlaßöffnungen 34 verbindet, sind durch Ätzen entfernt. Dadurch ergibt sich eine Höhendifferenz unter Bildung eines Bettes 32 in der Nachbarschaft der Düseneinlaßöffnungen 34 des düsenbildenden Substrats.
  • FIG. 4 ist eine Teilschnittansicht, die den Aufbau des Tintenstrahlkopfes 9 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Das düsenbildende Substrat 30, der piezoelektrische Wandler 20 und eine elastische Aufnahme 42 sind zwischen einem Hauptrahmen 40 und einem Hilfsrahmen 41 angeordnet. In dem Hilfsrahmen 41 ist ein Tintenbehälter 43 ausgebildet, und Tinte (nicht gezeigt) wird von dem Tintenbehälter 43 zu den Düsen 31 geführt. Die Richtung, in die das piezoelektrische Element 24 polarisiert ist, ist derart, daß die Kontraktionsrichtung orthogonal zu dem elektrischen Feld ist, das aufgebaut wird, wenn eine Spannung zwischen der gemeinsamen Elektrode 26 und der Signalelektrode 25 angelegt wird. Da die Ni- Dünnschicht, die die gemeinsame Elektrode 26 bildet, einen hohen Elastizitätsmodul aufweist, wird, wenn ein elektrisches Feld an das piezoelektrische Element angelegt wird, ein Biegemoment zu der Signalelektrode 25 erzeugt, das zu einer entsprechenden Verformung führt. Wenn daher in einem Bereitschaftszustand eine Spannung angelegt und selektiv entfernt wird, wird das freie Ende des Vibrators 21 verformt und gegen das düsenbildende Substrat 30 ausgelenkt, um Tinte durch die Düse 31 auszustoßen. Ein Spalt a zwischen dem Vibrator 21 und der Düse 31 ist mit dem Ziel einer besseren Tintenausstoßcharakteristik bemessen, während ein Spalt (b) zwischen dem Vibrator 21 und den anderen Abschnitten des Substrats 30 als dem Bett 32 der Düseneinlaßöffnungen 34 (FIG. 3(a)) so eingestellt ist, daß der Vibrator zur Erzielung einer stetigen Tintenspeisung in einem geeigneten periodischen Dämpfungsbereich arbeitet.
  • Unter Bezugnahme auf FIG. 5 sollen nun der Druckerzeugungsmechanismus und der Dämpfungsmechanismus detaillierter erläutert werden. Wenn, als einfaches Modell, zwei Scheiben sich einander mit konstanter Geschwindigkeit annähern, wie in FIG. 5 gezeigt, dann ist der zwischen den beiden Scheiben aufgebaute Druck annähernd durch die folgende Gleichung dargestellt:
  • wobei n: Viskosität des Fluids
  • V: Relativgeschwindigkeit zwischen den Scheiben
  • P: Druck
  • h: Abstand zwischen den Scheiben
  • 2a: Durchmesser jeder Scheibe
  • X und Z sind Variablen, wie in FIG. 5 definiert.
  • Ein Spitzendruck wird nahe der Scheibenmitte erzeugt, während kein Druck am Außenrandbereich erzeugt wird. Der Wert des Drucks hängt in großem Ausmaß von dem Abstand h zwischen den Scheiben ab.
  • Demgemäß ist es im Fall eines Stabvibrators wie bei der ersten Ausführungsform nötig, den Spalt zwischen dem düsenbildenden Substrat in der Nachbarschaft der Düsen und dem Vibrator auf einen geeigneten Wert zu bringen, um einen hohen Druck an dem Düsenabschnitt zu erreichen und einen wirkungsvollen Tintenausstoß zu erzielen. Wenn dieser Spalt zu klein ist, nimmt der Strömungswiderstand der Tinte zu den Düsen zu, so daß die Tinte nicht zufriedenstellend zugeführt wird. Unter Bezugnahme auf FIG. 4 bedeutet dies, daß das Maß a auf einen geeigneten Wert eingestellt werden muß. Der Spalt zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator (Maß b in FIG. 4) in dem Bereich außerhalb der Nachbarschaft der Düsen beinflußt die Druckerzeugung nicht. Wenn der Bereich bzw. die Fläche, wo der Spalt das Maß a in FIG. 4 hat, größer als nötig ist, wird der Tintenfluß zu den Düsen beeinträchtigt. Tests sind mit verschiedenen Größen von Vibratoren und Fluids verschiedener Viskositäten ausgeführt worden, und die Tintenausstoßcharakteristik ist bewertet worden. Es hat sich gezeigt, daß der Bereich, innerhalb dessen der Spalt das Maß a aufweist, eine Breite aufweisen sollte, die nicht größer als die des Vibrators ist. Bezeichnet man die Vibratorbreite mit B (FIG. 2) dann sollte, wenn der Bereich des das Maß a einhaltenden Spalts (dieser wird nachfolgend als der erste Bereich bezeichnet) durch einen Radius C von der Düsenmitte ausgedrückt wird, die Beziehung C&le;B/2 erfüllt sein. Der Restbereich des Spalts (zweiter Bereich) außerhalb des durch B/2 definierten ersten Bereichs beinflußt die Druckerzeugung an dem Düsenabschnitt nicht. Vom Gesichtspunkt der Ausstoßdruckerzeugung kann folglich ein effizienter Ausstoß dadurch realisiert werden, daß man Hohlräume in der Nachbarschaft der Düsen und außerdem Hohlräume in anderen Bereichen unabhängig voneinander steuert. Der Spalt in dem zweiten Bereich wird so eingestellt, daß der Strömungswiderstand und die bei einer Vibratorauslenkung von der Tintenströmung auf den Vibrator ausgeübte Massenlast gesteuert werden. Dadurch kann eine geeignete periodische Dämpfungscharakteristik des Vibrators eingestellt werden. Wenn der Spalt größer als ein geeigneter Wert ist, verhindert eine Restschwingung ein schnelles Ansprechen und ferner wird eine Vielzahl von Tintentröpfchen aufgrund eines einzigen Antriebssignals (Auslenkung des Vibrators) ausgestoßen. Wenn der Spalt kleiner als ein geeigneter Wert ist, wird die Strömungswiderstandslast übermäßig groß, und für die Auslenkung wird eine große Leistung erforderlich sein. Es wurde experimentell herausgefunden, daß die Srömungswiderstandslast in dem zweiten Bereich verringert werden muß, wenn die Tintenviskosität über 5 mPas liegt, so daß a < b vorzuziehen ist. Wenn die Tintenviskosität 5 mPas oder weniger beträgt, ist es günstig, daß eine geeignete Strömungswiderstandslast in dem zweiten Bereich vorgesehen wird, so daß a > b vorzuziehen ist.
  • Die erste Ausführungsform betrifft den ersteren Fall, wo die Tintenviskosität auf 8 mPas eingestellt ist, die Vibratorbreite 0,3 mm beträgt, das Spaltmaß a 20 um ist, das Spaltmaß b 40 um ist und das Maß C der Bettfläche 25 mm.
  • Die FIG. 6(a), (b) bis 9(a), (b) sind Vorderansichten, die verschiedene Formen des düsenbildenden Substrats für den Tintenstrahlkopf gemäß der Erfindung darstellen, bzw. Schnittansichten
  • Die FIG. 6(a), (b) bis 9(a), (b) sind Vorderansichten, die verschiedene Formen des düsenbildenden Substrats für den Tintenstrahlkopf gemäß der Erfindung darstellen, bzw. Schnittansichten längs den Linien B-B, C-C, D-D und E-E. Die in FIG. 6 gezeigten Formen sind dafür gedacht, die Tintenspeisung der Düsen dadurch von allen Umfangsrichtungen zu vergrößern, daß dem Bett 32 eines nahe der Einlaßöffnung 34 jeder Düse 31 gelegenen Abschnitts eine kreisförmige Form gegeben wird verglichen mit dem bandartigen Bett 32, das in FIG. 3(a) gezeigt ist. Die Anordnungen, die in den FIG. 7 bis 9 gezeigt sind, unterscheiden sich von der in FIG. 6 gezeigten darin, daß Nuten 33 vorgesehen sind, die radial von der Düsenmitte ausgehen, um dadurch die Tintenzufuhr weiter zu verstärken. Der Boden der Nuten 33 liegt auf derselben Ebene wie die übrigen Teile außer dem des Betts 32. Die FIG. 7 und 9 sind insbesondere wirkungsvoll zur Verringerung der gegenseitigen Beeinflussung unter den Düsen, da Nuten 33 nicht in Abschnitten des Betts 32 vorgesehen sind, die benachbarten Düsen gegenüberliegen.
  • Bei dem oben erläuterten Aufbau werden die Dicke des Abstandshalters 27 und die Höhe des Betts 32 zur Auswahl gewünschter Spaltmaße a und b geeignet eingestellt. Damit die Vibratoren 21 mit einer geeigneten Dämpfung betrieben werden, wird der Spalt zur Zufuhr der für den Wiederaufbau eines Düsenmeniskus nach Ausstoß von Tintentröpfchen erforderlichen Tinte von den Spaltmaß b nahe dem festen Ende der Vibratoren bestimmt. Der zum Ausstoß der Tintentröpfchen notwendinge Spalt wird von dem Spaltmaß a nahe dem freien Ende der Vibratoren bestimmt. Dadurch erzielt man einen wirkungsvollen Tintenstrahlkopf, der einen hohen Energiewirkungsgrad aufweist und verschiedene Charakteristiken wie Ausstoßrate, Ausstoßmenge und Ausstoßerholzeit gleichzeitig erfüllt.
  • Wie oben erläutert, wird bei dieser Ausführungsform eine einstückig mit dem piezoelektrischen Element ausgebildete dünne metallische Platte als Abstandshalter verwendet. Eine gesonderte dünne metallische Platte kann jedoch eingesetzt und zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem piezoelektrischen Element als der Abstandshalter fixiert werden. Außerdem wurde ein freitragender Stabvibrator beschrieben. Ein ähnlicher Aufbau ist aber auch mit einem Mittelstabvibrator erreichbar.
  • Bei der oben beschriebenen Ausführungsform ist die Fläche der Düseneinlaßöffnung weiter als die der Düsenauslaßöffnung, d.h. die Düse ist im Querschnitt trichterartig. Die Düsenform ist allerdings nicht speziell auf diese besondere Form beschränkt, sondern es ist ersichtlich, daß auch andere Formen für die Düse der Erfindung eingesetzt werden können.
  • Beispiel 2
  • FIG. 10. zeigt eine andere Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes, der eine Vibratorform verwendet, die sich von der der vorherigen Ausführungsform unterscheidet. Der grundsätzliche Aufbau ist ähnlich der vorangehenden Ausführungsform, weshalb sich die folgende Beschreibung auf die Unterschiede konzentrieren wird.
  • In FIG. 10 ist ein Vibrator 52 gegenüber jeder Düse 53 unter Bildung eines infinitesimalen Spalts nahe seines freien Endes angeordnet. Ein Verdrahtung 55 ist mit den Signalelektroden 54 verbunden, um selektiv eine Spannung an die Vibratoren anzulegen.
  • Der Aufbau des piezoelektrischen Wandlers 56 ist in FIG. 11 gezeigt. Bei dieser Ausführungsform weist jeder Vibrator an einem vorderen Nasenabschnitt eine Schicht 57 zur Einstellung des Spalts auf.
  • Beispiel 3
  • FIG. 12 zeigt eine Teilschnittansicht einer dritten Ausführungsform des Tintenstrahlkopfes gemäß der Erfindung. Ein düsenbildendes Substrat 60 umfaßt eine dünne metallische Platte, in der eine Vielzahl von Düsen 61 ausgebildet ist und bei der ein Abschnitt um die Düse gegenüber dem freien Ende eines Vibrators 62 dicker ausgebildet ist als andere Abschnitte.
  • Ein Vibrator 62 ist gegenüber jeder Düse 61 unter Bildung eines infinitesimalen Spalts nahe dem freien Ende des Vibrators angeordnet.
  • Bei dieser Ausführungsform ist eine Nut 64 in einem Teil des düsenbildenden Substrats 60 gegenüber der Nachbarschaft eines festen Endes des Vibrators 62 ausgebildet. Demzufolge werden der Spalt b in der Nachbarschaft des festen Endes des Vibrators und der Spalt a in der Nachbarschaft des freien Endes des Vibrators von der Dicke eines Abstandshalters 65 und der Dicke der Nut 64 bestimmt. Wiederum wird der Spalt b danach bestimmt, daß eine gewünschte periodische Dämpfung des Vibrators 62 erreicht wird, und der Spalt a im Hinblick auf den notwendigen Tintenausstoß.
  • Beispiel 4
  • FIG. 13 ist eine Schnittansicht des Tintenstrahlkopfes gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung. Eine düsenbildende Platte 72, ein Abstandshalter 73, ein piezoelektrischer Wandler 74 und eine elastische Aufnahme 75 sind zwischen einem Hauptrahmen 70 und einem Hilfsrahmen 71 angeordnet und mit Hilfe von Schrauben 76, 77 aneinander befestigt. Die düsenbildende Platte 72 umfaßt eine dünne metallische Platte, in der eine Vielzahl von Düsen 78 ausgebildet ist. Eine Heizeinrichtung 79 ist an der Rückseite des Hilfsrahmens 71 montiert und wird dazu verwendet, den Tintenstrahlkopf auf eine Arbeitstemperatur aufzuheizen und eine Heißschmelztinte (nicht gezeigt), die in einen Tintenbehälter 80 und um den piezoelektrischen Wandler 74 gefüllt ist, aufzulösen. Die Tinte hat bei Raumtemperatur einen festen Zustand.
  • FIG. 14 ist eine perspektivische Ansicht des piezoelektrischen Wandlers 74. Er umfaßt eine Vielzahl von Vibratoren 81, die durch Einschnitte getrennt sind, und einen festen Abschnitt 82. Ein piezoelektrisches Element 83, das aus PZT besteht, hat eine Signalelektrode 84, die aus einer Au-Dünnschicht besteht, auf einer Seite und eine gemeinsame Elektrode 85, die aus einer Ni-Dünnschicht besteht, auf der anderen Seite. Das piezoelektrische Element 83 und die gemeinsame Elektrode 85 sind mittels eines Lots (mit einem Schmelzpunkt von 140ºC) bei einer Temperatur von 160ºC, die höher ist als die vorgenannte Arbeitstemperatur, miteinander verbunden. Da der lineare Ausdehnungskoeffizient von Ni, das die gemeinsame Elektrode 85 bildet, größer als der des piezoelektrischen Elements 83 ist, wird bei einer Arbeitstemperatur von 110ºC ein Biegemoment eines Bimetalleffekts erzeugt und damit eine nach innen gerichtete Verwerfung einer Krümmung R&supmin;¹ auf der Seite der gemeinsamen Elektrode hervorgerufen (dieser Zustand ist in FIG. 14 gezeigt). Die linearen Ausdehnungskoeffizienten des piezoelektrischen Elements und des Ni, die bei dieser Ausführungsform verwendet werden, sind 1,8 x 10&supmin; &sup6; K&supmin;¹, bzw. 12,8 x 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹. Wenn die Spannweite des freitragenden Stabs 3 mm beträgt, werden eine nach innen gerichtete Verwerfung mit einer Krümmung R&supmin;¹ = 6,0 m&supmin;¹ und einem Krümmungsradius R = 166,7 mm durch eine Temperaturdifferenz von 50ºC und eine Verwerfung y = 27 um (FIG. 13) erhalten. In FIG. 13 ist der piezoelektrische Wandler 74 fest auf der Düsenplatte angebracht, so daß die Tangente des festen Endes des Vibrators 81 parallel zur Düsenplatte 72 gehalten wird. Das freie Ende des Vibrators 81 ist gegenüber einer entsprechenden Düse 78 unter Zwischenlage eines infinitesimalen Spalts nahe dem freien Ende angeordnet, der durch die Verwerfung erzeugt wird. Das feste Ende des Wandlers 74 ist zwischen dem Hauptrahmen 70 und dem Hilfsrahmen 71 über den Abstandshalter 73 und die elastische Aufnahme 75 eingeklemmt. Damit bleibt der piezoelektrische Wandler 74 in diesem Bereich flach, und als Folge davon ergibt sich eine interne Spannung. Der Vibrator ist mit einem relativ kurzen festen Ende ausgelegt, so daß die interne Spannung nicht einen zulässigen Bereich überschreitet, so daß eine Beschädigung des Vibrators verhindert wird.
  • Eine Verdrahtung 86 ist mit den einzelnen Signalelektroden 84 verbunden, um selektiv die Vibratoren zu erregen. Die gemeinsamen Elektroden 85 sind auf jedem Vibrator unabhängig ausgebildet und dadurch elektrisch miteinander verbunden, daß für den Abstandshalter 73 Ni verwendet wird und für den Hauptrahmen 70 ein Al oder Zn Druckgußteil.
  • Die Arbeitsweise dieser Ausführungsform der Erfindung soll als nächstes unter Bezugnahme auf FIG. 13 erläutert werden. Eine Heißschmelztinte wird von dem Tintenbehälter 80 um die Düsen herumgeführt. Wie bei der vorangegangenen Ausführungsform wird durch Anlegen einer Spannung an den Vibrator die Nase des Vibrators ausgelenkt und Tinte von der Düse 78 ausgestoßen.
  • Bei dem oben beschriebenen Aufbau wird der Spalt b für die Einstellung einer geeigneten periodischen Dämpfung des Vibrators 81 von der Dicke des Abstandshalters 73 bestimmt. Eine Verwerfung oder Wölbung y wird gemäß dem oben erläuterten Bimetalleffekt am freien Ende des Vibrators 81 erzeugt. Daher wird der Spalt a zwischen der Düse und der Nachbarschaft des freien Endes des Vibrators, der für das Ausstoßen von Tinte erforderlich ist, dadurch sichergestellt, daß das feste Ende des Vibrators 81 über den Abstandshalter 73 auf die düsenbildende Platte 72 geklemmt wird. Wenn dann ein elektrisches Signal dem Vibrator eingeprägt wird, erreicht er eine Endauslenkung unter einer periodischen Dämpfung einer langen Zeitkonstante. Damit kann der Tintenausstoßdruck maximiert werden und die Zeit zum Erreichen des maximalen Ausstoßdrucks kann verkürzt werden. Selbst wenn auf dem Vibrator ein Element mit einem anderen linearen Ausdehnungskoeffizienten vorgesehen ist, kann, da die Arbeitstemperatur durch Verwendung einer Heißschmelztinte gesteuert wird, eine Schwankung der Wölbung gemäß dem Bimetalleffekt infolge einer Änderung der Umgebungstemperatur verhindert werden.
  • Beispiel 5
  • FIG. 15(a) zeigt einen Teil eines Vibrators 90 des piezoelektrischen Wandlers einer fünften Ausführungsform der Erfindung. FIG. 15(a) zeigt die Seite eines Vibratorabschnitts, die dem düsenbildenden Substrat zugewandt ist. FIG. 15(b) ist eine Schnittansicht längs der Linie F-F in FIG(a). Der piezoelektrische Wandler dieser Ausführungsform umfaßt eine Vielzahl von Vibratoren 90 und einen festen Abschnitt. Eine Signalelektrode 92 bestehend aus einer Au-Dünnschicht ist auf einer Seite eines piezoelektrischen Elements 91 ausgebildet, während eine metallische Platte bestehend aus einer Ni-Schicht und dienend als eine gemeinsame Elektrode 93 auf der anderen Seite des piezoelektrischen Elements 91 ausgebildet ist. Die metallische Platte weist an dem freien Ende des Vibrators 90 gegenüber einer Düse einen verdickten Abschnitt auf, der einen kreisförmigen Vorsprung 94 bildet.
  • FIG. 16 ist eine Teilschnittansicht, die den Aufbau des Tintenstrahlkopfes gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung darstellt. Der Spalt a zwischen dem auf dem Vibrator 90 vorgesehenen Vorsprung 94 und einem düsenbildenden Substrat 95 ist so bemessen, daß die Tintentröpfchenausstoßcharakteristik verbessert wird. Der Spalt b zwischen dem anderen Abschnitt als dem Vorsprung 94 des Vibrators 90 und dem düsenbildenden Substrat 95 wird unabhängig von dem Spalt a so eingestellt, daß der Vibrator mit einer geeigneten periodischen Dämpfung betrieben wird und Tinte stetig von allen Umfangsrichtungen den Düsen zugeführt wird.
  • Die FIG. 17(a), (b) bis FIG. 19(a), (b) sind Zeichnungen entsprechend FIG. 15(a), (b) und zeigen alternative Konstruktionen des Vibrators. Gemäß den FIG. 17 bis 19 sind Nuten 96 in dem kreisförmigen Vorsprung 94 vorgesehen, um die Tintenzufuhr weiter zu verbessern. Die Nuten 96 gehen radial von der Düsenmitte aus, und ihr Boden liegt in der gleichen Ebene wie die anderen Abschnitte als der Vorsprung 94. Insbesondere sind die in den FIG. 17 und 19 gezeigten Alternativen auf beiden, benachbarten Vibratoren zugewandten Seiten nicht mit Nuten 96 versehen, wodurch eine gegenseitige Beeinflussung unter den Düsen verringert wird.
  • Beispiel 6
  • Die FIG. 20(a) und (b) sind eine Vorderansicht bzw. eine Schnittansicht, die die Form des düsenbildenden Substrats einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Diese Ausführungsform eignet sich für einen Fall, wo die Viskosität der Tinte niedrig ist und die Beziehung zwischen der Breite a des Spalts im ersten Bereich nahe der Düse und der Breite b des Spalts im übrigen Bereich auf a > b eingestellt ist. Da der grundsätzliche Aufbau ähnlich den vorangegangenen Ausführungsformen ist, soll dieser hier nicht weiter beschrieben werden. Das düsenbildende Substrat 100 ist durch Galvanoformen hergestellt und daher allgemein mit einer gleichförmigen Dicke aufgebaut.
  • Wie in FIG. 22 gezeigt ist eine elektrolytisch plattierte Schicht 203 auf einem Bezugsformstück mit einem auf einem Isolator 201 ausgebildeten Leitermuster 202 ausgebildet. Die Schicht 203 wird mit einer Resistschicht 204 beschichtet, und eine elektrolytisch plattierte Schicht 205 wird weiter auf Teilen der Schicht 202 ausgebildet, die durch Musterung freigelegt werden.
  • Nachdem dann schließlich die Resistschicht 204 entfernt wird, wird durch Galvanoformung eine Form mit einem gewünschten Düsenloch und einer geeigneten Höhendifferenz erhalten. Eine elektrolytisch plattierte Schicht wird auf der Form ausgebildet und danach von der Form entfernt, um das in FIG. 2 gezeigte gestufte düsenbildende Substrat zu erhalten. Nach dem Zusammenbau führt dieses düsenbildende Substrat zu einem Spalt einer Breite a in einem ersten Bereich und einem Spalt einer Breite b in dem übrigen zweiten Bereich zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator. Was die Ausdehnung des ersten Bereichs angeht, wird auf die Beschreibung der FIG. 3 bis 5 Bezug genommen.
  • Beispiel 7
  • Die FIG. 21(a), (b) sind eine Vorderansicht bzw. eine Schnittansicht ähnlich den FIG. 20(a), (b), die die Beziehung zwischen dem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat einer siebten Ausführungsform zeigen. In den FIG. 21(a) und (b) sind dieselben Bezugszahlen wie in den FIG. 20(a), (b) verwendet. Wie die sechste Ausführungsform, dient die siebte Ausführungsform für den Fall, wo die Viskosität der Tinte gering ist. In einem kreisförmigen ersten Bereich eines Radius c in der Nachbarschaft der Düse hat das düsenbildende Substrat eine Ausnehmung, die zu einer Spaltbreite a führt, die größer als die Spaltbreite b in dem übrigen Bereich des Spalts zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator ist.
  • Wie oben beschrieben, ist der Spalt zwischen dem düsenbildenden Substrat und dem Vibrator in einen ersten Bereich nahe einer Düseneinlaßöffnung des düsenbildenden Substrats und einen übrigen zweiten Bereich unterteilt. Die Spaltbreite in dem ersten Bereich ist verschieden von der in dem zweiten Bereich. Die Breite a des Spalts in dem ersten Bereich hat einen für den Tintenausstoß nötigen Wert. Die Spaltbreite b in dem zweiten Bereich, der einen Speisekanal für die Tinte bildet, ist so gewählt, daß nach dem Ausstoß eines Tintentröpfchens eine schnelle Wiederausbildung eines Düsenmeniskus erlaubt wird. Damit wird die Zeit für die Wiederauffüllung der Tinte auf einen geeigneten Wert gebracht. Dadurch kann die Erholzeit verkürzt werden, während die Tintentröpfchenausstoßrate und die Ausstoßmenge auf gewünschten Werten gehalten werden können. So schafft die vorliegende Erfindung einen Tintenstrahlkopf besserer Leistung durch gleichzeitige Verbesserung verschiedener Eingenschaften wie der Tintentröpfchenausstoßrate, der Ausstoßmenge, der Ausstoßerholzeit und der Ausstoßstabilität und ähnlichem.
  • Da ferner der Spalt zwischen dem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat in dem zweiten Bereich auf einen Wert eingestellt werden kann, der es dem Vibrator erlaubt, in einem geeigneten periodischen Dämpfungsbereich zu arbeiten, wird der Energieverbrauch infolge der Viskosität der in dem Spalt zwischen dem Vibrator und dem düsenbildenden Substrat vorhandenen Tinte verringert, was einen Betrieb mit einer relativ niedrigen Steuerspannung gestattet. Da die Spaltbreite des ersten Bereichs und die des zweiten Bereichs unabhängig voneinander eingestellt werden können, ist die Toleranz zur Einstellung der jeweiligen Breite vergrößert, was die Herstellungsausbeute erhöht.

Claims (2)

1. Tintenstrahlkopf für ein Tintenstrahlaufzeichnungsgerät mit einem düsenbildenden Substrat (30), in dem eine Vielzahl von Düsen (31) ausgebildet ist, und einem piezoelektrischen Wandler (20), der eine Vielzahl von Vibratoren mit jeweils wenigsten einem fixierten Ende aufweist, welche einer jeweiligen Düse (31) gegenüberliegend angeordnet und unabhängig voneinander ansteuerbar sind, wobei ein mit Tinte gefüllter Spalt zwischen dem düsenbildenden Substrat (30) und den Vibratoren (21) ausgebildet ist und die Breite (a) des Spalts in einem ersten Bereich nahe den Düsen (31) und um diese herum verschieden von der Breite (b) des Spalts in einem restlichen zweiten Bereich ist, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Bereich eine Länge von der Position einer Düse (31) in Richtung auf das fixierte Vibratorende aufweist, die der Hälfte oder weniger als der Hälfte der Breite (B) der Vibratoren (21) ist.
2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, bei dem die Breite (a) des Spalts in dem ersten Bereich kleiner als die (b) in dem zweiten Bereich ist, wenn die Viskosität der Tinte mehr als 5 mPas beträgt, und daß die Breite (a) des Spalts in dem ersten Bereich größer als die (b) des zweiten Bereichs ist, wenn die Viskosität der Tinte 5 mPas oder weniger beträgt.
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Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0372521B1 (de) * 1988-12-07 1993-04-14 Seiko Epson Corporation Auf Abruf arbeitender Tintenstrahldruckkopf
JPH0764060B2 (ja) * 1989-06-09 1995-07-12 シャープ株式会社 インクジェットプリンタ
JP2841750B2 (ja) * 1989-07-03 1998-12-24 セイコーエプソン株式会社 オンデマンド型インクジェット印字ヘッド
US5255016A (en) * 1989-09-05 1993-10-19 Seiko Epson Corporation Ink jet printer recording head
US5703632A (en) * 1989-09-18 1997-12-30 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head orifice plate mounting arrangement
US5189443A (en) * 1989-09-18 1993-02-23 Canon Kabushiki Kaisha Recording head having stress-minimizing construction
US5162818A (en) * 1989-09-18 1992-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head having a window for observation of electrical connection
JP2964618B2 (ja) * 1989-11-10 1999-10-18 セイコーエプソン株式会社 インクジェットプリンタ用のヘッド
US6186619B1 (en) 1990-02-23 2001-02-13 Seiko Epson Corporation Drop-on-demand ink-jet printing head
JP3041952B2 (ja) * 1990-02-23 2000-05-15 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法
JP2728980B2 (ja) * 1991-01-07 1998-03-18 シャープ株式会社 インクジェットヘッド装置
JPH05177834A (ja) * 1991-06-04 1993-07-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド
US5450107A (en) * 1991-12-27 1995-09-12 Xerox Corporation Surface ripple wave suppression by anti-reflection in apertured free ink surface level controllers for acoustic ink printers
US5592202A (en) * 1994-11-10 1997-01-07 Laser Master Corporation Ink jet print head rail assembly
US6371596B1 (en) 1995-10-25 2002-04-16 Hewlett-Packard Company Asymmetric ink emitting orifices for improved inkjet drop formation
US6123413A (en) * 1995-10-25 2000-09-26 Hewlett-Packard Company Reduced spray inkjet printhead orifice
KR0185329B1 (ko) * 1996-03-27 1999-05-15 이형도 기록액의 운동 관성을 이용한 기록 장치
DE19626428A1 (de) * 1996-07-01 1998-01-15 Heinzl Joachim Tröpfchenwolkenerzeuger
US5901425A (en) 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
US6002549A (en) * 1996-11-01 1999-12-14 Seagate Technology, Inc. Dither microactors for stiction release in magnetic disc drives
US6052251A (en) 1996-11-01 2000-04-18 Seagate Technology, Inc. Actuator arm integrated piezoelectric microactuator
US6396667B1 (en) 1997-06-24 2002-05-28 Seagate Technology Llc Electromagnetic disc drive microactuator and suspension
US6855264B1 (en) 1997-07-15 2005-02-15 Kia Silverbrook Method of manufacture of an ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring
US7465030B2 (en) 1997-07-15 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with a magnetic field generator
US7468139B2 (en) 1997-07-15 2008-12-23 Silverbrook Research Pty Ltd Method of depositing heater material over a photoresist scaffold
US6935724B2 (en) 1997-07-15 2005-08-30 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle having actuator with anchor positioned between nozzle chamber and actuator connection point
US6712453B2 (en) 1997-07-15 2004-03-30 Silverbrook Research Pty Ltd. Ink jet nozzle rim
US7246884B2 (en) * 1997-07-15 2007-07-24 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead having enclosed inkjet actuators
US7556356B1 (en) 1997-07-15 2009-07-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead integrated circuit with ink spread prevention
US7195339B2 (en) 1997-07-15 2007-03-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle assembly with a thermal bend actuator
US7337532B2 (en) * 1997-07-15 2008-03-04 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacturing micro-electromechanical device having motion-transmitting structure
US6648453B2 (en) 1997-07-15 2003-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height
US6682174B2 (en) 1998-03-25 2004-01-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle arrangement configuration
US6269687B1 (en) 1997-09-22 2001-08-07 Seagate Technology Llc Force sensing slider
US6067215A (en) * 1997-10-09 2000-05-23 Seagate Technology, Inc. Magnetic shielding for electromagnetic microactuator
US6163434A (en) * 1997-10-23 2000-12-19 Seagate Technology Llc Piezoresistive position sensors embedded in disc drive microactuator
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
US6497476B1 (en) * 1998-10-12 2002-12-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid injection device, manufacturing method therefor, liquid injection method and manufacturing method for piezo-electric actuator
US6527370B1 (en) 1999-09-09 2003-03-04 Hewlett-Packard Company Counter-boring techniques for improved ink-jet printheads
AU2000242753B2 (en) * 2000-04-18 2004-09-30 Zamtec Limited Ink jet ejector
DE10139397B4 (de) * 2001-08-10 2005-12-22 Tallygenicom Computerdrucker Gmbh Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere Düsenkopf für Tintendrucker
US6938988B2 (en) 2003-02-10 2005-09-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Counter-bore of a fluid ejection device
US20060000925A1 (en) * 2004-06-30 2006-01-05 Maher Colin G Reduced sized micro-fluid jet nozzle structure
JP2008055643A (ja) * 2006-08-29 2008-03-13 Canon Inc 記録ヘッド
EP2147791A1 (de) * 2008-07-22 2010-01-27 Océ-Technologies B.V. Herstellungsverfahren für eine Tröpfchenausstoßvorrichtung und Tröpfchenausstoßvorrichtung
DE102010028435A1 (de) 2009-05-19 2010-11-25 Ebs Ink-Jet Systeme Gmbh Druckkopf eines Tintenstrahldruckers und Verfahren zum Reinigen einer Düse
US8628180B2 (en) * 2010-10-26 2014-01-14 Eastman Kodak Company Liquid dispenser including vertical outlet opening wall
EP2858824B1 (de) * 2012-06-08 2017-01-04 OCE-Technologies B.V. Tropfenausgabevorrichtung
US11794476B2 (en) 2018-05-11 2023-10-24 Matthews International Corporation Micro-valves for use in jetting assemblies
BR112020022990A2 (pt) 2018-05-11 2021-02-02 Matthews International Corporation microválvula e conjunto de jateamento
WO2019215671A2 (en) * 2018-05-11 2019-11-14 Matthews International Corporation Methods of fabricating micro-valves and jetting assemblies including such micro-valves
BR112020022988A2 (pt) 2018-05-11 2021-02-02 Matthews International Corporation microválvula e conjunto de jateamento
US10994535B2 (en) 2018-05-11 2021-05-04 Matthews International Corporation Systems and methods for controlling operation of micro-valves for use in jetting assemblies

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2527647C3 (de) * 1975-06-20 1981-06-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit Flüssigkeitströpfchen arbeitendes Schreibgerät
DE2728657A1 (de) * 1977-06-24 1979-01-04 Siemens Ag Duesenplatte fuer tintenschreibeinrichtungen
DE3028404A1 (de) * 1980-07-26 1982-07-22 NCR Corp., 45479 Dayton, Ohio Tintenstrahldrucker
DE3114192A1 (de) * 1981-04-08 1982-10-28 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet
DE3114224A1 (de) * 1981-04-08 1982-11-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet
DE3114259A1 (de) * 1981-04-08 1982-11-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet
DE3306101A1 (de) * 1983-02-22 1984-08-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet
DE3320441A1 (de) * 1983-06-06 1984-12-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet mit an beiden enden starr mit einer duesenplatte verbundenen stabfoermigen piezoelektrischen wandlern
JPS62179948A (ja) * 1986-02-03 1987-08-07 Ricoh Co Ltd インクジエツト記録装置における振動ユニツト
JPS644964A (en) * 1987-06-26 1989-01-10 Hitachi Ltd Magnetic head supporting device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0337429B1 (de) 1993-07-07
EP0337429A2 (de) 1989-10-18
DE68907434D1 (de) 1993-08-12
US4962391A (en) 1990-10-09
EP0337429A3 (en) 1990-08-22
HK71995A (en) 1995-05-19

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