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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf zum Drucken
durch Ausspritzen von Tinte auf ein Druckmedium.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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In
einem Tintenstrahldrucker verteilt ein Tintenstrahlkopf Tinte, die
aus einem Tintentank zugeführt
wird, zu Druckkammern. Der Tintenstrahlkopf legt selektiv Druck
an jede Druckkammer an, um Tinte durch eine Düse auszuspritzen. Als ein Mittel
zum selektiven Anlegen von Druck an die Druckkammern kann eine Betätigungseinheit
verwendet werden, in der keramische piezoelektrische Lagen laminiert sind.
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Um
ein Beispiel zu nennen, ist ein Tintenstrahlkopf dieser Art bekannt,
der eine einzelne Betätigungseinheit
aufweist, in der kontinuierliche flache piezoelektrische Lagen,
die sich über
mehrere Druckkammern erstrecken, laminiert sind und wenigstens eine
der piezoelektrischen Lagen zwischen einer gemeinsamen Elektrode,
die von vielen Druckkammern gemeinsam genutzt wird und auf dem Erdungspotenzial
gehalten wird, und vielen einzelnen Elektroden, d. h. Ansteuerungselektroden,
die an Positionen, die den jeweiligen Druckkammern entsprechen,
angeordnet sind, eingeschlossen ist (siehe
US-Patent Nr. 5,402,159 ). Der Teil
der piezoelektrischen Lage, der zwischen den einzelnen Elektroden und
der gemeinsamen Elektrode eingeschlossen ist und in seiner Dicke
polarisiert ist, wird in seiner Dickenrichtung als eine aktive Schicht
durch den sogenannten piezoelektrischen Längseffekt expandiert oder kontrahiert,
wenn an eine einzelne Elektrode auf einer Seite der Lage ein anderes
Potenzial angelegt wird als an die gemeinsame Elektrode auf der
anderen Seite. Dadurch ändert
sich das Volumen der entsprechenden Druckkammer, so dass Tinte durch
eine Düse,
die mit der Druckkammer in strömungsmäßiger Verbindung
steht, in Richtung eines Druckmediums ausgespritzt wird.
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Um
bei einem solchen Tintenstrahlkopf gute Tintenausspritzergebnisse
zu erreichen, muss die Betätigungseinheit
präzise
an einer Durchgangseinheit dergestalt positioniert werden, dass
die einzelnen Elektroden sich in vorgegebenen Positionen befinden
müssen,
die in einer Draufsicht den jeweiligen Druckkammern entsprechen.
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In
vielen Fällen
wird ein solcher Tintenstrahlkopf, wie er oben beschrieben ist,
aufgrund verschiedener Fertigungsbeschränkungen in der folgenden Weise
hergestellt. Das heißt,
die Durchgangseinheit, in der Tintendurchgänge, die Druckkammern enthalten,
ausgebildet sind, wird von der Betätigungseinheit separat hergestellt.
Die Durchgangseinheit wird dann mit einem Klebstoff an die Betätigungseinheit so
angeklebt, dass sich die Druckkammern nahe der Betätigungseinheit
befinden. Bei diesem Klebevorgang wird eine Markierung auf der Durchgangseinheit
mit einer Markierung auf der Betätigungseinheit in Übereinstimmung
gebracht.
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Im
Allgemeinen jedoch werden die piezoelektrischen Lagen der Betätigungseinheit
mittels eines Sinterprozesses hergestellt, während die Durchgangseinheit
mit Metallfolien laminiert wird. Darum ist die Positionsgenauigkeit
der Elektroden umso geringer, je größer die piezoelektrischen Lagen
sind. Je länger
der Kopf ist, desto schwieriger wird der Positionierungsprozess
zwischen den Druckkammern in der Durchgangseinheit und den einzelnen
Elektroden in der Betätigungseinheit.
Infolge dessen kann es sein, dass der Produktionsertrag der Köpfe verringert wird.
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Andererseits
ist die Betätigungseinheit
eine teure winzige Komponente, und weil sie aus Keramik besteht,
ist sie sehr spröde.
Besonders bei der Betätigungseinheit,
die eine polygonale Form aufweist, brechen leicht die Ecken ab.
Der Bruchverlust ist eine Ursache für einen Anstieg der Fertigungskosten.
Des Weiteren muss die Betätigungseinheit
sehr behutsam gehandhabt werden, damit keine Ecke gegen eine andere
Komponente stößt. Dadurch
wird die Montage des Tintenstrahlkopfes schwierig.
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KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines
Tintenstrahlkopfes, bei dem eine Betätigungseinheit nur schwer zerbrochen
werden kann.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Tinten-strahlkopf vorgesehen
mit einer Durchgangseinheit mit Druck-kammern, die jeweils mit einer
Düse zum
Ausstoßen
von Tinte verbunden sind. Die Mehrzahl von Druckkammern ist entlang ei-ner
Ebene so angeordnet, dass sie einander benachbart sind. Der Tintenstrahlkopf
weist weiter eine Betätigungseinheit
auf, die an einer Oberfläche
der Durchgangseinheit befestigt ist, zum Verändern des Volumens einer jeden
Druckkammer. Die Betä-tigungseinheit
ist so gebildet, dass sie sich entlang der Druckkammern erstreckt.
Die Betätigungseinheit
enthält
Druk-kerzeugungsabschnitte entsprechend zu den entsprechenden Druckkammern.
Die Betätigungseinheit
weist ihr Profil mit fünf
oder mehr geraden Abschnitten auf. Jeder gerade Abschnitt ist mit einem
benachbarten geraden Abschnitt an einem rechten Win-kel oder einem
stumpfen Winkel verbunden.
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Bei
diesem Merkmal wird die Betätigungseinheit
kaum beim Her-stellen des Tintenstrahlkopfes gebrochen, indem jede
Ecke der Betätigungseinheit in
einem rechten Winkel oder einem stumpfen Winkel gebildet ist.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Andere
und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen
aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen
hervor, in denen Folgendes zu sehen ist:
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1 ist
eine allgemeine Ansicht eines Tintenstrahldruckers, der Tintenstrahlköpfe enthält.
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2 ist
eine perspektivische Ansicht eines Tintenstrahlkopfes.
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3 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie III-III in 2.
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4 ist
eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, der in dem Tintenstrahlkopf
von 2 enthalten ist.
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5 ist
eine vergrößerte Ansicht
des mit einer Punkt-Strich-Linie
umgrenzten Bereichs in 4.
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6 ist
eine vergrößerte Ansicht
des mit einer Punkt-Strich-Linie
umgrenzten Bereichs in 5.
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7 ist
eine teilweise Schnittansicht des Kopfhauptkörpers von 4.
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8 ist
eine vergrößerte Ansicht
des mit einer Ein-Strich-zwei-Punkt-Linie
umgrenzten Bereichs in 5.
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9 ist
eine teilweise auseinandergezogene Ansicht des Kopfhauptkörpers von 4.
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10 ist
eine vergrößerte Schnittansicht
eines seitlichen Blicks auf den Bereich, der in 7 mit einer
Punkt-Strich-Linie
umgrenzt ist.
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11 ist
eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, der in einem anderen
Tintenstrahlkopf enthalten ist.
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12 ist
ein Blick von unten auf den Kopfhauptkörper von 11.
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13 ist
eine Querschnittsansicht des Kopfhauptkörpers von 11.
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14 ist
eine vergrößerte Ansicht
des Bereichs Q, der in 13 mit einer Punkt-Strich-Linie umgrenzt
ist.
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15 ist
eine teilweise Schnittansicht des Kopfhauptkörpers von 11.
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16 ist
eine vergrößerte Schnittansicht, die
den detaillierten Aufbau einer Betätigungseinheit in dem Kopfhauptkörper von 11 veranschaulicht.
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17 ist
eine vergrößerte Draufsicht
auf eine Betätigungseinheit
in dem Kopfhauptkörper
von 11.
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18 ist
eine vergrößerte Draufsicht,
die einen Nahtabschnitt zwischen zwei Betätigungseinheiten von 17 zeigt.
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19 ist
eine vergrößerte Draufsicht
auf eine Betätigungseinheit
von 18.
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20 ist
eine vergrößerte Draufsicht,
die einen Nahtabschnitt zwischen zwei Betätigungseinheiten von 19 zeigt.
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21A ist eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, der
in einem Tintenstrahlkopf gemäß eines
anderen Tintenstrahlkopfes enthalten ist, in dem vier Betätigungseinheiten
angeordnet sind.
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21B ist eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, der
in einem Tintenstrahlkopf gemäß eines
anderen Tintenstrahlkopfes enthalten ist, in dem vier Betätigungseinheiten
angeordnet sind.
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22 ist
eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, der in einem Tintenstrahlkopf
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
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23 ist
ein Blick von unten auf den Kopfhauptkörper von 22.
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24 ist
eine Querschnittsansicht des Kopfhauptkörpers von 22.
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25 ist
eine vergrößerte Ansicht
des Bereichs E, der in 24 mit einer Punkt-Strich-Linie umgrenzt
ist.
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26 ist
eine teilweise Schnittansicht des Kopfhauptkörpers von 22.
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27 ist
eine vergrößerte Schnittansicht, die
den detaillierten Aufbau einer Betätigungseinheit in dem Kopfhauptkörper von 22 veranschaulicht.
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28A ist eine schematische Ansicht, die das Profil
ei ner Betätigungseinheit
veranschaulicht, die in dem Kopfhauptkörper von 22 enthalten
ist.
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28B ist eine schematische Ansicht, die das Profil
einer Betätigungseinheit
als eine Modifizierung veranschaulicht.
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29A ist eine Draufsicht auf eine Modifizierung
des Kopfhauptkörpers
von 22, der heptagonale Betätigungseinheiten enthält.
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29B ist eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 29A enthalten ist.
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30A ist eine Draufsicht auf eine weitere Modifizierung
des Kopfhauptkörpers
von 22, der oktagonale Betätigungseinheiten enthält.
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30B ist eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 30A enthalten ist.
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31A ist eine Draufsicht auf eine weitere Modifizierung
des Kopfhauptkörpers
von 22, die teilweise gerundete Betätigungseinheiten
enthält.
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31B ist eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 31A enthalten ist.
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32 ist
eine schematische Ansicht eines hauptsächlichen Teils eines Tintenstrahldruckers.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Zuerst
wird zum Verständnis
von Tintenstrahlköpfen
gemäß Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung ein Tintenstrahlkopf anhand der 1 bis 10 beschrieben. 1 ist
eine allgemeine Ansicht eines Tintenstrahldruckers, der Tintenstrahlköpfe enthält. Der
in 1 veranschaulichte Tintenstrahldrucker 101 ist
ein Farbtintenstrahldrucker mit vier Tintenstrahlköpfen 1.
In diesem Drucker 101 sind eine Papierzuführeinheit 111 und
eine Papierausgabeeinheit 112 in einem linken bzw. einem rechten
Abschnitt von 1 angeordnet.
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In
dem Drucker 101 erstreckt sich ein Papiertransportpfad
von der Papierzuführeinheit 111 zu
der Papierausgabeeinheit 112. Ein Paar Zuführwalzen 105a und 105b ist
der Papierzuführeinheit 111 unmittelbar
nachgeordnet, um ein Papier als ein Bildaufzeichnungsmedium zu ergreifen
und vorwärts
zu transportieren. Mittels des Paares Zuführwalzen 105a und 105b wird
das Papier von der linken zur rechten Seite in 1 transportiert.
In der Mitte des Papiertransportpfades sind zwei Bandumlaufwalzen 106 und 107 und
ein Endlostransportband 108 angeordnet. Das Transportband 108 läuft um die
Bandumlaufwalzen 106 und 107 herum und erstreckt
sich zwischen ihnen. Die Außenseite,
d. h. die Transportseite, des Transportbandes 108 ist mit
Silikon behandelt. Somit kann ein Papier, das durch das Paar Zuführwalzen 105a und 105b hindurchgeführt wird,
auf der Transportseite des Transportbandes 108 mittels der
Adhäsion
der silikonbehandelten Seite gehalten werden. In diesem Zustand
wird das Papier stromabwärts
(nach rechts) transportiert, indem eine Bandwalze 106 in
der Uhrzeigerrichtung in 1 angetrieben wird (der Richtung,
die durch einen Pfeil 104 bezeichnet ist).
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Andruckelemente 109a und 109b sind
an Positionen zum Zuführen
eines Papiers auf die Bandwalze 107 bzw. zum Herunternehmen
des Papiers von der Bandwalze 106 angeordnet. Jedes der
Andruckelemente 109a und 109b dient dem Andrücken des
Papiers auf die Transportseite des Transportbandes 108,
damit sich das Papier nicht von der Transportseite des Trans portbandes 108 lösen kann.
Somit haftet das Papier sicher an der Transportseite.
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Eine
Ablösevorrichtung 110 ist
entlang des Papiertransportpfades dem Transportband 108 unmittelbar
nachgeordnet. Die Ablösevorrichtung 110 löst das Papier,
das an der Transportseite des Transportbandes 108 anhaftet,
von der Transportseite, um das Papier in Richtung der rechtsseitigen
Papierausgabeeinheit 112 zu transportieren.
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Jeder
der vier Tintenstrahlköpfe 1 hat
an seinem unteren Ende einen Kopfhauptkörper 1a. Jeder Kopfhauptkörper 1a hat
einen rechteckigen Querschnitt. Die Kopfhauptkörper 1a sind dicht
beieinander angeordnet, wobei die Längsachse jedes Kopfhauptkörpers 1a senkrecht
zur Papiertransportrichtung (senkrecht zur 1) verläuft. Das
heißt,
dieser Drucker 101 ist ein Zeilendrucker. Der Boden jedes der
vier Kopfhauptkörper 1a ist
dem Papiertransportpfad zugewandt. Im Boden jedes Kopfhauptkörpers 1a befinden
sich eine Anzahl Düsen,
die jeweils eine Tintenausspritzöffnung
mit einem kleinen Durchmesser aufweisen. Die vier Kopfhauptkörper 1a spritzen Tinte
der Farben Magenta, Gelb, Cyan bzw. Schwarz aus.
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Die
Kopfhauptkörper 1a sind
so angeordnet, dass ein schmaler Freiraum zwischen der Unterseite jedes
Kopfhauptkörpers 1a und
der Transportseite des Transportbandes 108 entsteht. Der
Papiertransportpfad verläuft
innerhalb des Freiraums. Bei diesem Aufbau werden – während ein
Papier, das durch das Transportband 108 transportiert wird,
unmittelbar unter den vier Kopfhauptkörpern 1a der Reihe
nach vorbeigeführt
wird – die
jeweiligen Farbtinten durch die entsprechenden Düsen in Richtung der Oberseite,
d. h. der Druckseite, des Papiers ausgespritzt, um ein gewünschtes
Farbbild auf dem Papier herzustellen.
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Der
Tintenstrahldrucker 101 ist mit einer Wartungseinheit 117 für eine automatische
Wartung der Tintenstrahlköpfe 1 ausgestattet.
Die Wartungseinheit 117 enthält vier Kappen 116 zum
Bedecken der Unterseiten der vier Kopfhauptkörper 1a sowie ein
nicht-veranschaulichtes Reinigungssystem.
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Während der
Tintenstrahldrucker 101 druckt, befindet sich die Wartungseinheit 117 in
einer Position unmittelbar unter der Papierzuführeinheit 117 (Rückzugsposition).
Wenn nach Beendigung des Druckvorgangs eine vorgegebene Bedingung
erfüllt ist
(wenn zum Beispiel ein Zustand, in dem kein Druckvorgang ausgeführt wird,
für einen
vorgegebenen Zeitraum fortbesteht oder wenn der Drucker 101 ausgeschaltet
wird), so bewegt sich die Wartungseinheit 117 in eine Position
unmittelbar unter den vier Kopfhauptkörpern 1a (Kappenposition),
in der die Wartungseinheit 117 die Unterseiten der Kopfhauptkörper 1a mit
den jeweiligen Kappen 116 bedeckt, um zu verhindern, dass
Tinte in den Düsen
der Kopfhauptkörper 1a antrocknet.
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Die
Bandumlaufwalzen 106 und 107 und das Transportband 108 werden
von einem Tragrahmen 113 getragen. Der Tragrahmen 113 befindet
sich auf einem zylindrischen Element 115, das unter dem
Tragrahmen 113 angeordnet ist. Das zylindrische Element 115 kann
sich um eine Welle 114 drehen, die an einer Position angeordnet
ist, die von der Mitte des zylindrischen Elements 115 abweicht.
Somit kann durch Drehen der Welle 114 die Höhe des obersten Abschnitts
des zylindrischen Elements 115 verändert werden, um den Tragrahmen 113 entsprechend
nach oben oder unten zu bewegen. Wenn die Wartungseinheit 117 aus
der Rückzugsposition
in die Kappenposition bewegt wird, so muss das zylindrische Element 115 zuvor
um einen vorgegebenen Winkel gedreht worden sein, um das Transportband 108 und die
Bandumlaufwalzen 106 und 107 um eine notwendige
Distanz aus der in 1 veranschaulichten Position
abwärts
zu bewegen. Dadurch wird Platz für
die Bewegung der Wartungseinheit 117 gewährleistet.
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In
dem von dem Transportband 108 umgebenen Bereich ist eine
nahezu rechteckige parallelflachförmige Führung 121 (deren Breite
im Wesentlichen gleich der Breite des Transportbandes 108 entspricht)
an einer Position angeordnet, die den Tintenstrahlköpfen 1 gegenüberliegt.
Die Führung 121 befindet
sich in Kontakt mit der Unterseite des oberen Teils des Transportbandes 108,
um den oberen Teil des Transportbandes 108 von innen her
zu stützen.
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Als
nächstes
wird der Aufbau jedes Tintenstrahlkopfes 1 genauer beschrieben. 2 ist
eine perspektivische Ansicht des Tintenstrahlkopfes 1. 3 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie III-III in 2.
Wenden wir uns den 2 und 3 zu. Der Tintenstrahlkopf 1 enthält einen
Kopfhauptkörper 1a, der
eine – von
oben gesehen – rechteckige
Form aufweist und sich in einer Richtung (der Hauptabtastrichtung)
erstreckt, und einen Basisabschnitt 131 zum Tragen des
Kopfhauptkörpers 1a.
Der Basisabschnitt 131, der den Kopfhauptkörper 1a trägt, trägt des Weiteren
Ansteuerungs-ICs 132 zum Zuführen von Ansteuerungssignalen
zu einzelnen Elektroden 35a und 35b (siehe 6 und 10)
sowie Substrate 133.
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Wenden
wir uns 2 zu. Der Basisabschnitt 131 besteht
aus einem Basisblock 138, der teilweise an die Oberseite
des Kopfhauptkörpers 1a gebondet
ist, um den Kopfhauptkörper 1a zu
tragen, und einem Halter 139, der an die Oberseite des
Basisblocks 138 gebondet ist, um den Basisblock 138 zu
tragen. Der Basisblock 138 ist ein nahezu rechteckiges
quaderförmiges
Element mit im Wesentlichen der gleichen Länge wie der Kopfhauptkörper 1a.
Der Basisblock 138, der aus einem metallischen Material wie
zum Beispiel Edelstahl hergestellt ist, dient als eine leichte Struktur
zum Verstärken
des Halters 139. Der Halter 139 besteht aus einem
Halterhauptkörper 141,
der nahe dem Kopfhauptkörper 1a angeordnet ist,
und einem Paar Haltertragabschnitten 142, von denen sich
jeder auf der Seite des Halterhauptkörpers 141 erstreckt,
die dem Kopfhauptkörper 1a gegenüberliegt.
Jeder Haltertragabschnitt 142 ist als ein flaches Element
konfiguriert. Diese Haltertragabschnitte 142 erstrecken
sich in der Längsrichtung
des Halterhauptkörpers 141 und
sind parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet.
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Paarweise
vorhandene, abwärts
gerichtete Einfassungsabschnitte 141a sind in beiden Endabschnitten
des Halterhauptkörpers 141a in
einer Unterabtastrichtung (senkrecht zur Hauptabtastrichtung) angeordnet.
Jeder Einfassungsabschnitt 141a erstreckt sich über die
gesamte Länge
des Halterhauptkörpers 141.
Infolge dessen wird in dem unteren Abschnitt des Halterhauptkörpers 141 durch
das Paar Einfassungsabschnitte 141a eine nahezu rechteckige
parallelflachförmige
Rinne 141b gebildet. Der Basisblock 138 ist in
der Rinne 141b aufgenommen. Die Oberseite des Basisblocks 138 ist
am Boden der Rinne 141b des Halterhauptkörpers 141 mit
einem Klebstoff angeklebt. Der Basisblock 138 ist ein wenig dicker,
als die Rinne 141b des Halterhauptkörpers 141 tief ist.
Infolge dessen ragt das untere Ende des Basisblocks 138 nach
unten über
die Einfassungsabschnitte 141a hinaus.
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Innerhalb
des Basisblocks 138 ist – als ein Durchgang für Tinte,
die dem Kopfhauptkörper 1a zuzuführen ist – ein Tintenreservoir 3 als
ein nahezu rechteckiger quaderförmiger
Raum (Hohlraum) ausgebildet, der sich in der Längsrichtung des Basisblocks 138 erstreckt.
In der Unterseite 145 des Basisblocks 138 sind Öffnungen 3b (siehe 4)
ausgebildet, die jeweils mit dem Tintenreservoir 3 in strömungsmäßiger Verbindung
stehen. Das Tintenreservoir 3 ist über eine nicht-veranschaulichte
Zufuhrröhre
mit einem nicht-veranschaulichten
Haupttintentank (Tintenzufuhrquelle) innerhalb des Druckerhauptkörpers verbunden.
Somit wird dem Tintenreservoir 3 zweckmäßigerweise Tinte vom Haupttintentank
zugeführt.
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An
der Unterseite 145 des Basisblocks 138 ragt die
unmittelbare Umgebung jeder Öffnung 3b von
dem umgebenden Abschnitt nach unten hervor. Der Basisblock 138 steht
mit einer Durchgangseinheit 4 (siehe 3)
des Kopfhauptkörpers 1a an
dem einzigen unmittelbaren Umgebungsabschnitt 145a jeder Öffnung 3b der
Unterseite 145 in Kontakt. Somit ist der Bereich der Unterseite 145 des
Basisblocks 138 mit Ausnahme des unmittelbaren Umgebungsabschnitts 145a jeder Öffnung 3b von
dem Kopfhauptkörper 1a beabstandet.
Betätigungseinheiten 21 sind
in einer Entfernung angeordnet.
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An
der äußeren Seitenfläche jedes
Haltertragabschnitts 142 des Halters 139 ist ein
Ansteuerungs-IC 132 mit einem elastischen Element 137,
wie zum Beispiel einem dazwischen befindlichen Schwamm, befestigt.
Ein Wärmeableiter 134 ist
in engem Kontakt mit der äußeren Seitenfläche des
Ansteuerungs-IC 132 angeordnet. Der Wärmeableiter 134 besteht
aus einem nahezu rechteckigen quaderförmigen Element zum effizienten
Abstrahlen von Wärme,
die in dem Ansteuerungs-IC 132 entsteht. Eine flexible
gedruckte Schaltung (FGS) 136, die als ein Stromversorgungselement
fungiert, ist mit dem Ansteuerungs-IC 132 verbunden. Die
mit dem Ansteuerungs-IC 132 verbundene FGS 136 ist
an das entsprechende Substrat 133 und den Kopfhauptkörper 1a angelötet und
elektrisch mit ihnen verbunden. Das Substrat 133 ist außerhalb
der FGS 136 über dem
Ansteuerungs-IC 132 und dem Wärmeableiter 134 angeordnet.
Die Oberseite des Wärmeableiters 134 ist
mit einem Versiegelungselement 149 an das Substrat 133 gebondet.
Außerdem
ist die Unterseite des Wärmeableiters 134 mit
einem Versiegelungselement 149 an die FGS 136 gebondet.
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Zwischen
der Unterseite jedes Einfassungsabschnitts 141a des Halterhauptkörpers 141 und
der Oberseite der Durchgangseinheit 4 ist ein Versiegelungselement 150 angeordnet,
so dass die FGS 136 dazwischenliegt. Die FGS 136 ist
durch das Versiegelungselement 150 an der Durchgangseinheit 4 und dem
Halterhauptkörper 141 befestigt.
Darum kann selbst bei einem länglichem
Kopfhauptkörper 1a verhindert
werden, dass der Kopfhauptkörper 1a durchgebogen
wird; es kann verhindert werden, dass der Verbindungsabschnitt zwischen
jeder Betätigungseinheit
und der FGS 136 mechanischen Spannungen ausgesetzt wird,
und die FGS 136 kann sicher gehalten werden.
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Wenden
wir uns 2 zu. In der unmittelbaren Umgebung
jeder unteren Ecke des Tintenstrahlkopfes 1 entlang der
Hauptabtastrichtung sind sechs hervorstehende Abschnitte 30a in
regelmäßigen Abständen entlang
der entsprechenden Seitenwand des Tintenstrahlkopfes 1 angeordnet.
Diese hervorstehenden Abschnitte 30a befinden sich an beiden Enden
in der Unterabtastrichtung einer Düsenplatte 30 in der
untersten Schicht des Kopfhauptkörpers 1a (siehe 7A und 7B).
Die Düsenplatte 30 ist
entlang der Grenzlinie zwischen jedem hervorstehenden Abschnitt 30a und
dem anderen Abschnitt um etwa 90 Grad gebogen. Die hervorstehenden
Abschnitte 30a befinden sich an Positionen, die den unmittelbaren
Umgebungen der beiden Enden verschiedener zu bedruckender Papierblätter entsprechen.
Jeder gebogene Abschnitt der Düsenplatte 30 hat
eine Form, die nicht rechtwinklig, sondern gerundet ist. Diese Konfiguration
erschwert es einem Papier, hängen
zu bleiben, d. h. sich zu verklemmen, wozu es kommen kann, weil
die Vorderkante des Papiers, das an den Kopf 1 herantransportiert
wurde, gegen die Seitenfläche
des Kopfes 1 stößt.
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4 ist
eine schematische Draufsicht auf den Kopfhauptkörper 1a. In 4 ist
ein Tintenreservoir 3, das in dem Basisblock 138 ausgebildet
ist, phantomhaft mit einer durchbrochenen Linie veranschaulicht.
Wenden wir uns 4 zu. Der Kopfhauptkörper 1a hat – von oben
betrachtet – eine
rechteckige Form, die sich in einer Richtung (der Hauptabtastrichtung)
erstreckt. Der Kopfhauptkörper 1a enthält eine
Durchgangseinheit 4, in der eine große Anzahl von Druck kammern 10 und
eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 8 an
den vorderen Enden der Düsen
(für beide
siehe 5, 6 und 7) ausgebildet
sind, wie weiter unten noch beschrieben wird. Trapezartige Betätigungseinheiten 21,
die zickzackartig in zwei Reihen angeordnet sind, sind auf die Oberseite
der Durchgangseinheit 4 gebondet. Jede Betätigungseinheit 21 ist
so angeordnet, dass ihre parallelen gegenüberliegenden Seiten (Ober- und
Unterseite) in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 4 verlaufen. Die schrägen Seiten
aller benachbarten Betätigungseinheiten 21 überlappen sich
in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 4.
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Die
Unterseite der Durchgangseinheit 4, die dem gebondeten
Bereich jeder Betätigungseinheit 4 entspricht,
wird zu einem Tintenausspritzbereich gemacht. In der Oberfläche jedes
Tintenausspritzbereichs sind eine große Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 8 in
einer Matrix angeordnet, wie weiter unten noch beschrieben wird.
In dem Basisblock 138, der über der Durchgangseinheit 4 angeordnet
ist, ist ein Tintenreservoir 3 in der Längsrichtung des Basisblocks 138 ausgebildet.
Das Tintenreservoir 3 steht mit einem (nicht-veranschaulichten)
Tintentank über eine Öffnung 3a,
die in einem Ende des Tintenreservoirs 3 ausgebildet ist,
so in strömungsmäßiger Verbindung,
dass das Tintenreservoir 3 immer mit Tinte gefüllt ist.
In dem Tintenreservoir 3 sind Paare von Öffnungen 3b in
Bereichen, in denen es keine Betätigungseinheit 21 gibt,
so angeordnet, dass sie zickzackartig in der Längsrichtung des Tintenreservoirs 3 verlaufen.
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5 ist
eine vergrößerte Ansicht
des mit einer Punkt-Strich-Linie
umgrenzten Bereichs in 4. Wenden wir uns den 4 und 5 zu.
Das Tintenreservoir 3 steht über jede Öffnung 3b mit einem
Verteilerkanal 5, der unter der Öffnung 3b angeordnet ist,
in strömungsmäßiger Verbindung.
Jede Öffnung 3b ist
mit einem (nicht-veranschaulichten) Filter versehen, um in der Tinte
enthaltenen Staub und Schmutz aufzufangen. Der Vorderendabschnitt
jedes Verteilerkanals 5 verzweigt sich in zwei Unterverteilerkanäle 5a.
Unter einer einzelnen Betätigungseinheit 21 erstrecken
sich zwei Unterverteilerkanäle 5a von
jeder der zwei Öffnungen 3b auf
beiden Seiten der Betätigungseinheit 21 in
der Längsrichtung
des Tintenstrahlkopfes 1. Das heißt, unter der einzelnen Betätigungseinheit 21 erstrecken
sich insgesamt vier Unterverteilerkanäle 5a in der Längsrichtung
des Tintenstrahlkopfes 1. Jeder Unterverteilerkanal 5a ist
mit Tinte gefüllt,
die aus dem Tintenreservoir 3 herangeführt wird.
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6 ist
eine vergrößerte Ansicht
des mit einer Punkt-Strich-Linie
umgrenzten Bereichs in 5. Wenden wir uns den 5 und 6 zu.
Auf der Oberseite jeder Betätigungseinheit 21 sind
einzelne Elektroden 35a, die jeweils – von oben betrachtet – eine nahezu
rhombische Form haben, regelmäßig in einer
Matrix angeordnet. Außerdem
sind einzelne Elektroden 35b mit der gleichen Form wie
die einzelnen Elektroden 35a in der Betätigungseinheit 21 so angeordnet,
dass sie die jeweiligen einzelnen Elektroden 35a überlappen.
Eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 8 sind
regelmäßig in einer
Matrix in der Oberfläche
des Tintenausspritzbereichs entsprechend der Betätigungseinheit 21 der
Durchgangseinheit 4 angeordnet. In der Durchgangseinheit 4 sind
Druckkammern (Hohlräume) 10,
die – von oben
betrachtet – jeweils
eine nahezu rhombische Form aufweisen, die ein wenig größer ist
als die der einzelnen Elektroden 35a und 35b,
regelmäßig in einer
Matrix angeordnet. Darüber
hinaus sind in der Durchgangseinheit 4 auch noch Öffnungen 12 regelmäßig in einer
Matrix angeordnet. Diese Druckkammern 10 und Öffnungen 12 stehen
mit den entsprechenden Tintenausspritzöffnungen 8 in strömungsmäßiger Verbindung.
Die Druckkammern 10 sind an Positionen angeordnet, die
den jeweiligen einzelnen Elektroden 35a und 35b entsprechend.
Von oben betrachtet, ist der große Teil der einzelnen Elektro den 35a und 35b in
einem Bereich der entsprechenden Druckkammer 10 enthalten.
In den 5 und 6 sind – zur besseren Verständlichkeit
der Zeichnungen – die
Druckkammern 10, die Öffnungen 12 usw. mit
durchgezogenen Linien veranschaulicht, obgleich sie mit durchbrochenen
Linien veranschaulicht sein sollten, weil sie sich innerhalb der
Betätigungseinheit 21 oder
der Durchgangseinheit 4 befinden.
-
7 ist
eine teilweise Schnittansicht des Kopfhauptkörpers 1a von 4 in
der Längsrichtung einer
Druckkammer. Wie aus 7 zu ersehen ist, ist jede Tintenausspritzöffnung 8 am
vorderen Ende einer verjüngten
Düse ausgebildet.
Jede Tintenausspritzöffnung 8 steht über eine
Druckkammer 10 (Länge:
900 μm,
Breite: 350 μm)
und eine Öffnung 12 mit
einem Unterverteilerkanal 5a in strömungsmäßiger Verbindung. Somit sind
innerhalb des Tintenstrahlkopfes 1 Tintendurchgänge 32 ausgebildet,
die sich jeweils von einem Tintentank über ein Tintenreservoir 3,
einen Verteilerkanal 5, einen Unterverteilerkanal 5a,
eine Öffnung 12 und
eine Druckkammer 10 zu einer Tintenausspritzöffnung 8 erstrecken.
-
Wenden
wir uns 7 zu. Die Druckkammer 10 und
die Öffnung 12 sind
auf verschiedenen Ebenen angeordnet. Darum kann in dem Abschnitt
der Durchgangseinheit 4, der dem Tintenausspritzbereich
unter einer Betätigungseinheit 21 entspricht, eine Öffnung 12,
die mit einer einzelnen Druckkammer 10 in strömungsmäßiger Verbindung
steht, innerhalb des gleichen Abschnitts – von oben gesehen – angeordnet
sein wie eine Druckkammer 10, die sich neben der Druckkammer 10 befindet,
die mit der Öffnung 12 in
strömungsmäßiger Verbindung
steht. Infolge dessen kann – weil
die Druckkammern 10 mit einer hohen Dichte nahe beieinander
angeordnet werden können – ein Bilddruck
mit hoher Auflösung mittels
eines Tintenstrahlkopfes 1 mit einem relativ kleinen Belegungsbereich
realisiert werden.
-
In
der Ebene der 5 und 6 sind Druckkammern 10 innerhalb
eines Tintenausspritzbereichs in zwei Richtungen angeordnet, und
zwar einer Richtung in der Längsrichtung
des Tintenstrahlkopfes 1 (erste Anordnungsrichtung) und
einer Richtung, die ein wenig schräg zu der seitlichen Richtung des
Tintenstrahlkopfes 1 verläuft (zweite Anordnungsrichtung).
Die erste und die zweite Anordnungsrichtungen bilden einen Winkel δ, der ein
wenig kleiner als der rechte Winkel ist. Die Tintenausspritzöffnungen 8 sind
in der ersten Anordnungsrichtung mit 50 dpi (dots per inch) angeordnet.
Die Druckkammern 10 hingegen sind in der zweiten Anordnungsrichtung
dergestalt angeordnet, dass der Tintenausspritzbereich, der einer
einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht,
zwölf Druckkammern 10 enthält. Darum
gibt es innerhalb der gesamten Breite des Tintenstrahlkopfes 1 in
einem Bereich des Raumes zwischen zwei Tintenausspritzöffnungen 8,
die in der ersten Anordnungsrichtung nebeneinander liegen, zwölf Tintenausspritzöffnungen 8.
An beiden Enden jedes Tintenausspritzbereichs in der ersten Anordnungsrichtung
(entsprechend einer schrägen
Seite der Betätigungseinheit 21)
wird die obige Bedingung erfüllt,
indem man eine Kompensationsbeziehung zu dem Tintenausspritzbereich
herstellt, welcher der gegenüberliegenden
Betätigungseinheit 21 in
der seitlichen Richtung des Tintenstrahlkopfes 1 entspricht. Darum
kann man in dem Tintenstrahlkopf 1 durch Ausspritzen von
Tintentröpfchen
der Reihe nach durch eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 8,
die in der ersten und der zweiten Richtung angeordnet sind, bei
relativer Bewegung eines Papiers in der seitlichen Richtung des
Tintenstrahlkopfes 1 einen Druck mit 600 dpi in der Hauptabtastrichtung ausführen.
-
Als
nächstes
wird der Aufbau der Durchgangseinheit 4 eingehender anhand
von 8 beschrieben. 8 ist eine
schematische Ansicht, welche die Positionsbeziehung zwischen jeder
Druckkammer 10, jeder Tintenausspritzöffnung 8 und jeder Öffnung (jedem
beschränktem
Durchgang) 12 zeigt. Wenden wir uns 8 zu. Druckkammern 10 sind
in Reihen in der ersten Anordnungsrichtung in vorgegebenen Abständen mit
500 dpi angeordnet. Zwölf
Reihen von Druckkammern 10 sind in der zweiten Anordnungsrichtung
angeordnet. Insgesamt sind die Druckkammern 10 in dem Tintenausspritzbereich, der
einer einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht, zweidimensional
angeordnet.
-
Die
Druckkammern 10 sind in zwei Arten klassifiziert, und zwar
Druckkammern 10a, in denen jeweils eine Düse mit dem
oberen spitzwinkligen Abschnitt in 8 verbunden
ist, und Druckkammern 10b, in denen jeweils eine Düse mit dem
unteren spitzwinkligen Abschnitt verbunden ist. Die Druckkammern 10a und 10b sind
in der ersten Anordnungsrichtung zu Druckkammerreihen 11a bzw. 11b angeordnet.
Wenden wir uns 8 zu. In dem Tintenausspritzbereich,
der einer einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht,
sind – von
der unteren Seite von 8 – ausgehend zwei Druckkammerreihen 11a und
zwei Druckkammerreihen 11b angeordnet, die sich neben der
oberen Seite der Druckkammerreihen 11a befinden. Die vier
Druckkammerreihen aus den zwei Druckkammerreihen 11a und
den zwei Druckkammerreihen 11b bilden eine Gruppe von Druckkammerreihen.
Eine solche Gruppe von Druckkammerreihen ist – ausgehend von der unteren Seite
in dem Tintenausspritzbereich, der einer einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht – wiederholt dreimal
angeordnet. Eine gerade Linie, die durch den oberen spitzwinkligen
Abschnitt jeder Druckkammer in jeder Druckkammerreihe 11a und 11b verläuft, kreuzt
die untere schräge
Seite jeder Druckkammer in der Druckkammerreihe neben der oberen
Seite dieser Druckkammerreihe.
-
Wie
oben beschrieben, sind – wenn
man senkrecht auf 8 blickt – zwei erste Druckkammerreihen 11a und
zwei Druckkammerreihen 11b, in denen mit Druckkammern 10 verbundene
Düsen an verschiedenen
Positionen angeordnet sind, im Wech sel nebeneinander angeordnet.
Folglich sind – insgesamt
betrachtet – die
Druckkammern 10 regelmäßig angeordnet.
Andererseits sind Düsen
in einem zentralen Bereich jeder Gruppe von Druckkammerreihen, die
durch die oben erwähnten
vier Druckkammerreihen gebildet wird, konzentriert angeordnet. In dem
Fall, dass jeweils vier Druckkammerreihen eine Gruppe von Druckkammerreihen
bilden und eine solche Gruppe von Druckkammerreihen – ausgehend von
der unteren Seite, wie oben beschrieben – wiederholt dreimal angeordnet
ist, entsteht somit ein düsenfreier
Bereich in der unmittelbaren Umgebung der Grenze zwischen jeweils
benachbarten Gruppen von Druckkammerreihen, d. h. auf beiden Seiten
jeder Gruppe von Druckkammerreihen, die aus vier Druckkammerreihen
besteht. Breite Unterverteilerkanäle 5a erstrecken sich
dort zum Zuführen
von Tinte zu den entsprechenden Druckkammern 10. In diesem Tintenstrahlkopf
sind in dem Tintenausspritzbereich, der einer einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht, insgesamt
vier breite Unterverteilerkanäle 5a in
der ersten Anordnungsrichtung angeordnet, und zwar einer auf der
unteren Seite von 8, einer zwischen der untersten
Gruppe von Druckkammerreihen und der zweit-untersten Gruppe von
Druckkammerreihen und zwei auf beiden Seiten der obersten Gruppe
von Druckkammerreihen.
-
Wenden
wir uns 8 zu. Düsen, die mit Tintenausspritzöffnungen 8 zum
Ausspritzen von Tinte in strömungsmäßiger Verbindung
stehen, sind in der ersten Anordnungsrichtung in regelmäßigen Abständen von
50 dpi so angeordnet, dass sie den jeweiligen Druckkammern 10 entsprechen,
die in der ersten Anordnungsrichtung regelmäßig angeordnet. Andererseits – während zwölf Druckkammern 10 auch
in der zweiten Anordnungsrichtung regelmäßig angeordnet sind und einen
Winkel θ zu
der ersten Anordnungsrichtung bilden – enthalten zwölf Düsen, die
den zwölf
Druckkammern 10 entsprechen, solche, die jeweils mit dem
oberen spitzwinkligen Abschnitt der entsprechenden Druckkammer 10 in
strömungsmäßiger Verbindung
stehen, und solche, die jeweils mit dem unteren spitz winkligen Abschnitt
der entsprechenden Druckkammer 10 in strömungsmäßiger Verbindung
stehen, weshalb sie in der zweiten Anordnungsrichtung nicht regelmäßig in regelmäßigen Abständen angeordnet
sind.
-
Wenn
alle Düsen
mit den auf derselben Seite befindlichen spitzwinkligen Abschnitten
der jeweiligen Druckkammern 10 in strömungsmäßiger Verbindung stehen, so
sind die Düsen
auch in der zweiten Anordnungsrichtung in regelmäßigen Abständen regelmäßig angeordnet. In diesem Fall
sind die Düsen so
angeordnet, dass sie sich in der ersten Anordnungsrichtung um eine
Distanz verschieben, die einer Druckauflösung von 600 dpi je Druckkammerreihe – von der
unteren Seite zur oberen Seite von 8 – entspricht.
Ganz anders ist in diesem Tintenstrahlkopf – weil vier Druckkammerreihen
aus zwei Druckkammerreihen 11a und zwei Druckkammerreihen 11b eine
Gruppe von Druckkammerreihen bilden und eine solche Gruppe von Druckkammerreihen – ausgehend
von der unteren Seite – wiederholt
dreimal angeordnet ist – die
Verschiebung der Düsenposition
in der ersten Anordnungsrichtung je Druckkammerreihe von der unteren
Seite zur oberen Seite von 8 nicht
immer die gleiche.
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Es
wird ein Bandbereich R in dem Tintenstrahlkopf 1 besprochen,
der eine Breite (etwa 508,0 μm),
die 50 dpi entspricht, in der ersten Anordnungsrichtung hat und
sich senkrecht zu der ersten Anordnungsrichtung erstreckt. In diesem
Bandbereich R enthält
jede von zwölf
Druckkammerreihen nur eine einzige Düse. Das heißt, wenn ein solcher Bandbereich
R an einer optionalen Position in dem Tintenausspritzbereich, der
einer einzelnen Betätigungseinheit 21 entspricht,
definiert wird, so sind immer zwölf
Düsen in
dem Bandbereich R verteilt. Die Positionen von Punkten, die jeweils
durch Projizieren der zwölf
Düsen auf
eine gerade Linie erhalten werden, die sich in der ersten Anordnungsrichtung
erstreckt, sind voneinander um eine Distanz entfernt, die einer Druckauflösung von
600 dpi entspricht.
-
Wenn
die in einem einzelnen Bandbereich R enthaltenen zwölf Düsen – von einer
Düse ausgehend,
deren Bild, das auf eine gerade Linie projiziert wird, die sich
in der ersten Anordnungsrichtung erstreckt, am weitesten links liegt – der Reihe
nach mit (1) bis (12) bezeichnet werden, so die zwölf Düsen in der
Reihenfolge (1), (7), (2), (8), (5), (11), (6), (12), (9), (3),
(10) und (4) – von
der unteren Seite ausgehend – angeordnet.
-
In
dem auf diese Weise aufgebauten Tintenstrahlkopf 1 kann
durch richtiges Ansteuern der aktiven Schichten in der Betätigungseinheit 21 ein
Buchstabe oder eine Zahl, eine Figur oder dergleichen mit einer
Auflösung
von 600 dpi hergestellt werden. Das heißt, indem man selektiv aktive
Schichten entsprechend den zwölf
Druckkammerreihen der Reihe nach in Abstimmung auf den Transport
eines Druckmediums ansteuert, kann ein bestimmter Buchstabe, eine bestimmte
Zahl oder eine bestimmte Figur auf das Papier gedruckt werden.
-
Es
wird beispielhaft ein Fall beschrieben, bei dem eine gerade Linie,
die sich in der ersten Anordnungsrichtung erstreckt, mit einer Auflösung von
600 dpi gedruckt wird. Zuerst wird kurz ein Fall beschrieben, bei
dem Düsen
mit den auf derselben Seite befindlichen spitzwinkligen Abschnitten
von Druckkammern 10 in strömungsmäßiger Verbindung stehen. In diesem
Fall beginnt – in
Abstimmung auf den Transport eines Papiers – die Tintenausspritzung mit
einer Düse
in der untersten Druckkammerreihe in 8. Die Tintenausspritzung
verschiebt sich dann aufwärts,
wobei eine Düse
ausgewählt
wird, die der Reihe nach zu der oberen benachbarten Druckkammerreihe
gehört.
Dadurch werden der Reihe nach Tintenpunkte in der ersten Anordnungsrichtung
gebildet, die mit 600 dpi nebeneinander liegen. Schließlich bilden
alle Tintenpunkte eine gerade Linie, die sich in der ersten Anordnungsrichtung
mit einer Auflösung von
600 dpi erstreckt.
-
Andererseits
beginnt bei diesem Tintenstrahlkopf die Tintenausspritzung mit einer
Düse in der
untersten Druckkammerreihe 11a in 8, und die
Tintenausspritzung verschiebt sich dann aufwärts, wobei eine Düse, die
der Reihe nach mit der oberen benachbarten Druckkammerreihe in strömungsmäßiger Verbindung
steht, in Abstimmung auf den Transport eines Druckmediums ausgewählt wird. In
dieser Ausführungsform
jedoch sind – weil
die Positionsverschiebung von Düsen
in der ersten Anordnungsrichtung je Druckkammerreihe von der unteren Seite
zu der oberen Seite nicht immer die gleiche ist – Tintenpunkte, die der Reihe
nach in der ersten Anordnungsrichtung in Abstimmung auf den Transport eines
Druckmediums gebildet werden, nicht in regelmäßigen Abständen von 600 dpi angeordnet.
-
Genauer
gesagt, wird – wie
in 8 gezeigt, und in Abstimmung auf den Transport
eines Druckmediums – Tinte
zuerst durch eine Düse
(1), die mit der untersten Druckkammerreihe 11a in 8 in strömungsmäßiger Verbindung
steht, ausgespritzt, um auf dem Druckmedium eine Punktreihe in Abständen zu
bilden, die 50 dpi (etwa 508,0 μm)
entsprechen. Anschließend
wird – während das
Druckmedium transportiert wird und die Position beim Ausbilden der
geraden Linie die Position einer Düse (7) erreicht hat,
die mit der zweit-untersten Druckkammerreihe 11a in strömungsmäßiger Verbindung
steht – Tinte durch
die Düse
(7) ausgespritzt. Der zweite Tintenpunkt wird dadurch an
einer Position gebildet, die von der ersten gebildeten Punktposition
in der ersten Anordnungsrichtung um eine Distanz des Sechsfachen des
Abstandes verschoben ist, die 600 dpi entspricht (etwa 42,3 μm) (etwa
42,3 μm × 6 = etwa
254,0 μm).
-
Wenn
dann das Druckmedium weiter transportiert wird und die Position
beim Ausbilden der geraden Linie die Position einer Düse (2),
die mit der dritt-untersten Druckkammerreihe 11b in strömungsmäßiger Verbindung
steht, erreicht hat, so wird Tinte durch die Düse (2) ausgespritzt.
Der dritte Tintenpunkt wird dadurch an einer Position gebildet,
die von der ersten gebildeten Punktposition in der ersten Anordnungsrichtung
um eine Distanz des Abstandes, der 600 dpi (etwa 42,3 μm) entspricht,
verschoben ist. Wenn dann das Druckmedium weiter transportiert wird
und die Position beim Ausbilden der geraden Linie die Position einer
Düse (8),
die mit der viert-untersten Druckkammerreihe 11b in strömungsmäßiger Verbindung
steht, erreicht hat, so wird Tinte durch die Düse (8) ausgespritzt.
Der vierte Tintenpunkt wird dadurch an einer Position gebildet,
die von der ersten gebildeten Punktposition in der ersten Anordnungsrichtung
um eine Distanz des Siebenfachen des Abstandes verschoben ist, der
600 dpi (etwa 42,3 μm) (etwa
42,3 μm × 7 = etwa
296,3 μm)
entspricht. Wenn dann das Druckmedium weiter transportiert wird
und die Position beim Ausbilden der geraden Linie die Position einer
Düse (5),
die mit der fünftuntersten
Druckkammerreihe 11a in strömungsmäßiger Verbindung steht, erreicht
hat, so wird Tinte durch die Düse
(5) ausgespritzt. Der fünfte
Tintenpunkt wird dadurch an einer Position gebildet, die von der
ersten gebildeten Punktposition in der ersten Anordnungsrichtung
um eine Distanz des Vierfachen des Abstandes verschoben ist, der
600 dpi (etwa 42,3 μm)
(etwa 42,3 μm × 4 = etwa
169,3 μm)
entspricht.
-
Danach
werden in der gleichen Weise Tintenpunkte ausgebildet, wobei Düsen ausgewählt werden,
die mit Druckkammern 10 der Reihe nach von der unteren
Seite zu der oberen Seite in 8 in strömungsmäßiger Verbindung
stehen. Wenn in diesem Fall die Zahl einer Düse in 8 gleich
N ist, so wird ein Tintenpunkt an einer Position gebildet, die von
der ersten gebildeten Punktposition in der ersten Anordnungsrichtung
um eine Distanz verschoben ist, die (Vergrößerung n = N – 1) × (Abstand,
der 600 dpi entspricht) entspricht. Wenn die zwölf Düsen schließlich ausgewählt wurden,
so wird die Lücke
zwischen den Tintenpunkten, die durch die Düsen (1) in den untersten
Druckkammerreihen 11a in 8 in einem Abstand,
der 50 dpi (etwa 508,0 μm)
entspricht, zu bilden sind, mit elf Punkten ausgefüllt, die
in Abständen,
die 600 dpi (etwa 42,3 μm)
entsprechen, gebildet werden. Darum kann insgesamt eine gerade Linie,
die sich in der ersten Anordnungsrichtung erstreckt, mit einer Auflösung von
600 dpi gezogen werden.
-
Als
nächstes
wird der Schnittaufbau des Tintenstrahlkopfes 1 beschrieben. 9 ist
eine teilweise auseinandergezogene Ansicht des Kopfhauptkörpers 1a von 4. 10 ist
eine vergrößerte Schnittansicht
bei seitlichem Blick auf den Bereich, der in 7 mit einer
Punkt-Strich-Linie umgrenzt ist. Wenden wir uns den 7 und 9 zu.
Ein Hauptabschnitt an der Unterseite des Tintenstrahlkopfes 1 hat
einen Schichtaufbau, der aus insgesamt zehn laminierten Lagen Material
besteht, und zwar von oben her: eine Betätigungseinheit 21,
eine Hohlraumplatte 22, eine Basisplatte 23, eine Öffnungsplatte 24,
eine Zufuhrplatte 25, Verteilerplatten 26, 27 und 28,
eine Deckplatte 29 und eine Düsenplatte 30. Von
diesen bilden neun Platten – mit
Ausnahme der Betätigungseinheit 21 – eine Durchgangseinheit 4.
-
Wie
weiter unten noch näher
beschrieben wird, ist die Betätigungseinheit 21 aus
fünf piezoelektrische
Lagen 41 bis 45 laminiert (siehe 10)
und ist so mit Elektroden versehen, dass nur die oberste Schicht
und die zweite Schicht neben der obersten Schicht Abschnitte enthalten,
die aktiv sind, wenn ein elektrisches Feld angelegt wird (im Weiteren
einfach als "Schicht
mit aktiven Schichten (aktiven Abschnitten)" bezeichnet), und die übrigen drei
Schichten sind inaktiv. Die Hohlraumplatte 22 besteht aus
Metall, in dem eine große
Anzahl von im Wesentlichen rhombischen Öffnungen ausgebildet sind,
die den jeweiligen Druckkammern 10 entsprechen. Die Basisplatte 23 besteht
aus Metall, in dem ein Strömungsloch
zwischen jeder Druckkammer 10 der Hohlraumplatte 22 und
der entsprechenden Öffnung 12 und
ein Strömungsloch
zwischen der Druckkammer 10 und der entspre chenden Tintenausspritzöffnung 8 ausgebildet
sind. Die Öffnungsplatte 24 besteht
aus Metall, in dem – zusätzlich zu Öffnungen 12 – Strömungslöcher zum
Verbinden jeder Druckkammer 10 der Hohlraumplatte 22 mit
der entsprechenden Tintenausspritzöffnung 8 ausgebildet
sind. Die Zufuhrplatte 25 besteht aus Metall, in dem Strömungslöcher zwischen
jeder Öffnung 12 und
dem entsprechenden Unterverteilerkanal 5a und Strömungslöcher zum Verbinden
jeder Druckkammer 10 der Hohlraumplatte 22 mit
der entsprechenden Tintenausspritzöffnung 8 ausgebildet
sind. Jede der Verteilerplatten 26, 27 und 28 besteht
aus Metall, das einen oberen Abschnitt jedes Unterverteilerkanals 5a definiert
und in dem Strömungslöcher zum
Verbinden jeder Druckkammer 10 der Hohlraumplatte 22 mit
der entsprechenden Tintenausspritzöffnung 8 ausgebildet
sind. Die Deckplatte 29 besteht aus Metall, in dem Strömungslöcher zum
Verbinden jeder Druckkammer 10 der Hohlraumplatte 22 mit
der entsprechenden Tintenausspritzöffnung 8 ausgebildet
sind. Die Düsenplatte 30 besteht
aus Metall, in dem verjüngte
Tintenausspritzöffnungen 8,
die jeweils als eine Düse
fungieren, für
die jeweiligen Druckkammern 10 der Hohlraumplatte 22 ausgebildet
sind.
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Diese
zehn Lagen 21 bis 30 werden in Schichten gelegt,
die zueinander so positioniert sind, dass ein Tintendurchgang 32 gebildet
wird, wie er in 6 veranschaulicht ist. Der Tintendurchgang 32 erstreckt
sich zuerst von dem Unterverteilerkanal 5a aufwärts, erstreckt
sich dann horizontal in der Öffnung 12,
erstreckt sich dann weiter aufwärts,
erstreckt sich dann wieder horizontal in der Druckkammer 10,
erstreckt sich dann schräg
nach unten in einer bestimmten Länge
von der Öffnung 12 weg
und erstreckt sich dann vertikal abwärts in Richtung der Tintenausspritzöffnung 8.
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Wenden
wir uns 10 zu. Die Betätigungseinheit 21 enthält fünf piezoelektrische
Lagen 41, 42, 43, 44 und 45 mit
der gleichen Dicke von etwa 15 μm. Diese
piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 sind zu einer
kontinuierlichen geschichte ten flachen Platte (kontinuierliche flache
Schichten) geformt, die so angeordnet ist, dass sie sich über viele
Druckkammern 10 erstreckt, die innerhalb eines einzelnen
Tintenausspritzbereichs in dem Tintenstrahlkopf 1 ausgebildet
sind. Weil die piezoelektrischen Lagen 41 to 45 so
angeordnet sind, dass sie sich über
viele Druckkammern 10 als die kontinuierlichen flachen
Schichten erstrecken, können
die einzelnen Elektroden 35a und 35b mit einer
hohen Dichte zum Beispiel mittels einer Siebdrucktechnik angeordnet
werden. Darum können
auch die Druckkammern 10, die an Positionen ausgebildet
sind, die den einzelnen Elektroden 35a und 35b entsprechen,
mit einer hohen Dichte angeordnet werden. Dadurch wird der Druck
eines Bildes mit hoher Auflösung
möglich.
In dieser Ausführungsform
besteht jede der piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 aus
einem Keramikmaterial auf Blei-Zirkonat-Titanat (PZT)-Basis, das
Ferroelektrizität
aufweist.
-
Zwischen
der obersten piezoelektrischen Lage 41 und der piezoelektrischen
Lage 42, die sich in Abwärtsrichtung neben der piezoelektrischen
Lage 41 befindet, ist eine etwa 2 μm dicke gemeinsame Elektrode 34a auf
den gesamten Unter- und
Oberseiten der piezoelektrischen Lagen ausgebildet. Des Weiteren
ist zwischen der piezoelektrischen Lage 43, die sich in
Abwärtsrichtung
neben der piezoelektrischen Lage 42 befindet, und der piezoelektrischen Lage 44,
die sich in Abwärtsrichtung
neben der piezoelektrischen Lage 43 befindet, eine etwa
2 μm dicke
gemeinsame Elektrode 34b angeordnet, die wie die gemeinsame
Elektrode 34a ausgebildet ist. Auf der Oberseite der piezoelektrischen
Lage 41 ist eine etwa 1 μm
dicke einzelne Elektrode 35a so ausgebildet, dass sie jeder
Druckkammer 10 entspricht (siehe 6). Die
einzelne Elektrode 35a hat – von oben betrachtet – eine ähnliche
Form (Länge:
850 μm, Breite:
250 μm)
wie die Druckkammer 10, so dass ein Projektionsbild der
einzelnen Elektrode 35a, das entlang der Dickenrichtung
der einzelnen Elektrode 35a projiziert wird, in der entsprechenden
Druck kammer 10 enthalten ist. Des Weiteren ist zwischen
den piezoelektrischen Lagen 42 und 43 eine etwa
2 μm dicke einzelne
Elektrode 35b angeordnet, die wie die einzelne Elektrode 35a ausgebildet
ist. Zwischen der piezoelektrischen Lage 44, die sich in
Abwärtsrichtung neben
der piezoelektrischen Lage 43 befindet, und der piezoelektrischen
Lage 45, die sich in Abwärtsrichtung neben der piezoelektrischen
Lage 44 befindet, sowie auf der Unterseite der piezoelektrischen Lage 45 befindet
sich keine Elektrode. Jede der Elektroden 34a, 34b, 35a und 35b besteht
zum Beispiel aus einem metallischen Material auf Ag-Pd-Basis.
-
Die
gemeinsamen Elektroden 34a und 34b sind in einem
nicht-veranschaulichten
Bereich geerdet. Somit werden die gemeinsamen Elektroden 34a und 34b in
einem Bereich, der einer beliebigen Druckkammer 10 entspricht,
auf dem Erdungspotenzial gehalten. Die einzelnen Elektroden 35a und 35b in
jedem Paar, das einer Druckkammer 10 entspricht, stehen
unabhängig
von einem anderen Paar einzelner Elektroden mit (nicht-veranschaulichten)
Anschlussdrähten,
die innerhalb der FGS 136 verdrahtet sind, in Kontakt,
so dass das Potenzial jedes Paares einzelner Elektroden unabhängig von
dem anderen Paar gesteuert werden kann. Die einzelnen Elektroden 35a und 35b sind über die
Anschlussdrähte mit
dem Ansteuerungs-IC 132 verbunden. In diesem Fall können die
einzelnen Elektroden 35a und 35b in jedem Paar,
die vertikal angeordnet sind, mit dem Ansteuerungs-IC 132 über dieselbe
Anschlussleitung verbunden sein. In einer Modifizierung können viele Paare
gemeinsamer Elektroden 34a und 34b, die jeweils
eine Form haben, die größer ist
als die einer Druckkammer 10, so dass das Projektionsbild
jeder gemeinsamen Elektrode, das in der Dickenrichtung der gemeinsamen
Elektrode projiziert wird, die Druckkammer enthalten kann, für jede Druckkammer 10 vorhanden
sein. In einer weiteren Modifizierung können viele Paare gemeinsamer
Elektroden 34a und 34b, die jeweils eine Form
haben, die etwas kleiner ist als die einer Druckkammer 10,
so dass das Projektionsbild jeder gemeinsamen Elektrode, das in der
Dickenrichtung der gemeinsamen Elektrode projiziert wird, in der
Druckkammer enthalten sein kann, für jede Druckkammer 10 vorhanden
sein. Somit braucht die gemeinsame Elektrode 34a oder 34b nicht
immer eine einzelne leitfähige
Lage zu sein, die auf der gesamten Fläche einer piezoelektrischen Lage
ausgebildet ist. Bei den obigen Modifizierungen müssen jedoch
alle gemeinsamen Elektroden elektrisch miteinander verbunden sein,
so dass sich der Abschnitt, der einer beliebigen Druckkammer 10 entspricht,
auf dem gleichen Potenzial befindet.
-
In
dem Tintenstrahlkopf 1 sind die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 in
ihrer Dickenrichtung polarisiert. Das heißt, die Betätigungseinheit 21 hat
einen sogenannten unimorphen Aufbau, bei dem die oberen (d. h. von
der Druckkammer 10 entfernt gelegenen) drei piezoelektrischen
Lagen 41 bis 43 Schichten sind, in denen es aktive
Schichten gibt, und die unteren (d. h. nahe der Druckkammer 10 gelegenen) zwei
piezoelektrischen Lagen 44 und 45 als inaktive Schichten
ausgebildet sind. Wenn die einzelnen Elektroden 35a und 35b in
einem Paar auf ein positives oder ein negatives vorgegebenes Potenzial
eingestellt sind und wenn zum Beispiel die Polarisation in der gleichen
Richtung verläuft
wie das elektrische Feld, so fungiert darum der unter dem Einfluss
des elektrischen Feldes stehende Abschnitt in den piezoelektrischen
Lagen 41 bis 43, der zwischen den gemeinsamen
und den einzelnen Elektroden angeordnet ist, als eine aktive Schicht
(Druckerzeugungsabschnitt) und zieht sich senkrecht zu der Polarisation durch
den transversalen piezoelektrischen Effekt zusammen. Weil andererseits
die piezoelektrischen Lagen 44 und 45 nicht durch
ein elektrisches Feld beeinflusst werden, ziehen sie sich nicht
in sich selbst zusammen. Somit entsteht ein mechanischer Spannungsunterschied
senkrecht zur Polarisation zwischen den oberen piezoelektrischen
Lagen 41 bis 43 und den unteren piezoelektrischen
Lagen 44 und 45. Infolge dessen sind die ge samten
piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 bereit, sich
zu einer konvexen Form in Richtung der inaktiven Seite zu verformen
(unimorphe Verformung). Zu diesem Zeitpunkt, wie in 10 veranschaulicht,
ist die unterste Seite der piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 an
der Oberseite der Trennwand (der Hohlraumplatte) 22, die
Druckkammern voneinander trennt, fixiert, und infolge dessen verformen
sich die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu
einer konvexen Form in Richtung der Druckkammerseite. Darum wird
das Volumen der Druckkammer 10 verringert, um den Druck
der Tinte zu erhöhen.
Die Tinte wird dadurch durch die Tintenausspritzöffnung 8 ausgespritzt.
Danach, wenn die einzelnen Elektroden 35a und 35b auf
das gleiche Potenzial wie das der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b zurückgeführt werden,
kehren die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu
der ursprünglichen
Form zurück,
und die Druckkammer 10 kehrt ebenfalls zu ihrem ursprünglichen
Volumen zurück.
Somit saugt die Druckkammer 10 Tinte durch den Verteilerkanal 5 herein.
-
In
einem weiteren Ansteuerungsverfahren werden alle einzelnen Elektroden 35a und 35b vorher auf
ein anderes Potenzial gesetzt als das der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b.
Wenn eine Ausspritzanforderung ausgegeben wird, so wird das entsprechende
Paar einzelner Elektroden 35a und 35b einmal auf
das gleiche Potenzial gesetzt wie das der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b.
Danach wird, mit einem vorgegebenen Timing, das Paar einzelner Elektroden 35a und 35b wieder
auf ein anderes Potenzial als das der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b gesetzt.
In diesem Fall kehren zu dem Zeitpunkt, wenn das Paar einzelner
Elektroden 35a und 35b auf das gleiche Potenzial
gesetzt wird wie das der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b,
die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu ihren
ursprünglichen
Formen zurück.
Das Volumen der entsprechenden Druckkammer 10 wird dadurch
aus seinem anfänglichen
Zustand (dem Zustand, in dem sich die Potenziale beider Elektroden
voneinander unterscheiden) vergrößert, um
Tinte aus dem Verteilerkanal 5 in die Druckkammer 10 zu saugen.
Danach verformen sich zu dem Zeitpunkt, an dem das Paar einzelner
Elektroden 35a und 35b wieder auf das andere Potenzial
im Vergleich zu dem Potenzial der gemeinsamen Elektroden 34a und 34b gesetzt
wird, die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu
einer konvexen Form in Richtung der Druckkammer 10. Das
Volumen der Druckkammer 10 wird dadurch verringert, und der
Druck der Tinte in der Druckkammer 10 nimmt zu, um die
Tinte auszuspritzen.
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Wenn
andererseits die Polarisation in der umgekehrten Richtung als die
Richtung des elektrischen Feldes, das an die piezoelektrischen Lagen 41 bis 43 angelegt
wird, erfolgt, so sind die aktiven Schichten in den piezoelektrischen
Lagen 41 und 42, die sich zwischen den einzelnen
Elektroden 35a und 35b und den gemeinsamen Elektroden 34a und 34b befinden,
bereit, sich senkrecht zur Polarisation durch den transversalen
piezoelektrischen Effekt zu längen.
Infolge dessen verformen sich die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu
einer konkaven Form in Richtung der Druckkammer 10. Darum
wird das Volumen der Druckkammer 10 vergrößert, um
Tinte aus dem Verteilerkanal 5 zu saugen. Danach, wenn
die einzelnen Elektroden 35a und 35b zu ihrem
ursprünglichen
Potenzial zurückkehren,
kehren auch die piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 zu
ihrer ursprünglichen
flachen Form zurück.
Die Druckkammer 10 kehrt dadurch zu ihrem ursprünglichen
Volumen zurück,
um Tinte durch die Tintenausspritzöffnung 8 auszuspritzen.
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Als
nächstes
wird ein Herstellungsverfahren für
den Tintenstrahlkopf 1 beschrieben.
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Zur
Herstellung des Tintenstrahlkopfes 1 werden eine Durchgangseinheit 4 und
jede Betätigungseinheit 21 separat
parallel hergestellt, und dann werden beide miteinander verbondet.
Zur Herstellung der Durchgangseinheit 4 wird jede Platte 22 bis 30,
aus der die Durchgangseinheit 4 bestehen soll, unter Verwendung
eines strukturierten Photoresist als Maske geätzt, wodurch Öffnungen,
wie sie in den 7 und 9 veranschaulicht
sind, in den jeweiligen Platten 22 bis 30 ausgebildet
werden. Danach werden die neun Platten 22 bis 30 dergestalt
mit dazwischen aufgebrachten Klebstoffen zu Schichten gelegt, dass
Tintendurchgänge 32 darin
entstehen. Die neun Platten 22 bis 30 werden dadurch
miteinander verbondet, so dass eine Durchgangseinheit 4 entsteht.
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Zum
Herstellen jeder Betätigungseinheit 21 wird
zuerst eine leitfähige
Paste, die als einzelne Elektroden 35b fungieren soll,
in einem Muster auf eine keramische grüne Lage gedruckt, die als eine
piezoelektrischen Lage 43 dienen soll. Parallel dazu werden
leitfähige
Pasten, die als gemeinsame Elektroden 34a und 34b dienen
sollen, in einem Muster auf keramische grüne Lagen gedruckt, die als
piezoelektrische Lagen 42 und 44 dienen sollen.
Danach werden fünf
grüne Lagen,
die als piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 dienen
sollen, zu Schichten gelegt und in eine Spannvorrichtung eingespannt.
Der so erhaltene Schichtaufbau wird dann bei einer vorgegebenen
Temperatur gebrannt. Danach werden einzelne Elektroden 35a auf
der piezoelektrischen Lage 41 des gebrannten Schichtaufbaus
ausgebildet. Zum Beispiel können
die einzelnen Elektroden 35a in der Weise ausgebildet werden,
dass ein leitfähiger
Film auf eine gesamte Oberfläche
der piezoelektrischen Lage 41 plattiert wird und dann überflüssige Abschnitte
des leitfähigen
Films mittels Laserstrukturierung abgetragen werden. Alternativ
können
die einzelnen Elektroden 35a durch Abscheiden eines leitfähigen Films
auf der piezoelektrischen Lage 41 mittels PVD (Physical
Vapor Deposition) unter Verwendung einer Maske mit Öffnungen
an Abschnitten, die den jeweiligen einzelnen Elektroden 35a entsprechen, ausgebildet
werden. Bis zu diesem Prozess ist die Herstellung der Betätigungseinheit 21 beendet.
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Als
nächstes
wird die wie oben beschrieben hergestellte Be tätigungseinheit 21 so
mit einem Klebstoff an die Durchgangseinheit 4 geklebt,
dass die piezoelektrische Lage 45 mit der Hohlraumplatte 22 in Kontakt
stehen kann. Zu diesem Zeitpunkt werden beide anhand von Positionsmarkierungen,
ie auf der Oberfläche
der Hohlraumplatte 22 der Durchgangseinheit 4 bzw.
auf der Oberfläche
der piezoelektrischen Lage 41 angeordnet sind, miteinander
verbondet.
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Danach
werden Durchgangslöcher
ausgebildet, um vertikal angeordnete entsprechende einzelne Elektroden 35a und 35b miteinander
zu verbinden. Die Durchgangslöcher
werden dann mit einem leitfähigen
Material ausgefüllt.
Danach wird zum Zweck des Anlegens von elektrischen Signalen an
die einzelnen Elektroden 35a und 35b und die gemeinsamen
Elektroden 34a und 34b die FGS 136 auf
die Bondungspositionen, die den jeweiligen Elektroden auf der Betätigungseinheit 21 entsprechen,
angelötet und
so elektrisch mit ihnen verbunden. Danach wird die Herstellung des
Tintenstrahlkopfes 1 mittels eines vorgegebenen Prozesses
vervollständigt.
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Wie
oben beschrieben, werden im Gegensatz zu den anderen Elektroden
die einzigen einzelnen Elektroden 35a nicht mit den Keramikmaterialien zu
piezoelektrischen Lagen 41 bis 45 gebrannt. Das hat
den Grund, dass, weil die einzelnen Elektroden 35a frei
liegen, sie bei hoher Brenntemperatur verdampfen können. Infolge
dessen ist es schwierig, ihre Dicke im Vergleich zu den anderen
Elektroden 34a, 34b und 35b, die mit
Keramikmaterialien überzogen
sind, zu steuern. Doch selbst die Dicke der anderen Elektroden 34a, 34b und 35b kann
beim Brennen etwas abnehmen. Darum ist es schwierig, sie mit einer
geringen Dicke auszubilden, wenn das Beibehalten der Kontinuität nach dem
Brennen berücksichtigt
wird. Weil im Gegensatz dazu die einzelnen Elektroden 35a nach
dem Brennen mittels der oben beschriebenen Technik hergestellt werden,
können
sie mit einer geringeren Dicke ausgebildet werden als die anderen
Elektroden 34a, 34b und 35b. Somit kann
bei dem Tintenstrahlkopf 1, wenn die ein zelnen Elektroden 35a in
der obersten Schicht mit einer geringeren Dicke ausgebildet werden
als die anderen Elektroden 34a, 34b und 35b,
die Verformung der piezoelektrischen Lagen 41 bis 43,
die aktive Schichten enthalten, kaum durch die einzelnen Elektroden 35a begrenzt
werden. Dadurch werden die Effizienzen (elektrische Effizienz und
Flächeneffizienz)
der Betätigungseinheit 21 verbessert.
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Weil
in dem Tintenstrahlkopf 1 die piezoelektrischen Lagen 41 bis 43,
die aktive Schichten enthalten, und die piezoelektrischen Lagen 44 und 45,
die als die inaktiven Schichten fungieren, aus dem gleichen Material
bestehen, braucht das Material während
des Herstellungsprozesses nicht gewechselt zu werden. Somit lassen
sie sich durch einen relativ einfachen Prozess herstellen, der eine
Senkung der Herstellungskosten erwarten lässt. Darüber hinaus kann aufgrund der
Tatsache, dass jede der piezoelektrischen Lagen 41 bis 43,
die aktive Schichten enthalten, und die piezoelektrischen Lagen 44 und 45, die
als die inaktiven Schichten fungieren, im Wesentlichen die gleiche
Dicke haben, durch die Vereinfachung des Herstellungsprozesses eine
weitere Senkung der Kosten angestrebt werden. Das liegt daran, dass
die Dickensteuerung problemlos bewerkstelligt werden kann, wenn
die Keramikmaterialien, die als die piezoelektrischen Lagen dienen
sollen, schichtweise eingesetzt werden.
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Des
Weiteren werden in dem Tintenstrahlkopf 1 separate Betätigungseinheiten 21,
die den jeweiligen Tintenausspritzbereichen entsprechen, so an die
Durchgangseinheit 4 gebondet, dass sie in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 4 angeordnet sind. Darum kann jede
der Betätigungseinheiten 21, die
in der Abmessungsgenauigkeit und der Positionsgenauigkeit der einzelnen
Elektroden 35a, 35b ungleichmäßig sein könnten, weil sie durch Sintern
oder dergleichen hergestellt werden, unabhängig von einer anderen Betätigungseinheit 21 an
der Durchgangseinheit 4 positioniert werden.
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Somit
wird selbst im Fall eines langen Kopfes die Zunahme der Verschiebung
jeder Betätigungseinheit 21 von
der exakten Position an der Durchgangseinheit 4 eingeschränkt, und
beide können
präzise
zueinander positioniert werden. Darum können selbst im Hinblick auf
einzelne Elektroden 35a und 35b, die von einer
Markierung relativ entfernt sind, die einzelnen Elektroden 35a und 35b nicht
erheblich aus der vorgegebenen Position auf der entsprechenden Druckkammer 10 verschoben
werden. Infolge dessen lassen sich gute Tintenausspritzergebnisse erzielen,
und der Produktionsertrag der Tintenstrahlköpfe 1 wird deutlich
gesteigert. Andererseits, und im Gegensatz zum oben Dargelegten,
ist – wenn
eine langgeformte Betätigungseinheit 21 wie
die Durchgangseinheit 4 hergestellt wird – die Verschiebung der
einzelnen Elektroden 35a und 35b von der vorgegebenen
Position auf der entsprechenden Druckkammer 10 – von oben
betrachtet – umso
größer, je weiter
die einzelnen Elektroden 35a und 35b von der Markierung
entfernt sind, wenn die Betätigungseinheit 21 über die
Durchgangseinheit 4 gelegt wird. Infolge dessen werden
die Tintenausspritzergebnisse einer Druckkammer 10, die
von der Markierung relativ entfernt ist, schlechter, weshalb die
Gleichmäßigkeit
der Tintenausspritzergebnisse des Tintenstrahlkopfes 1 nicht
erreicht wird.
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Außerdem kann
in dem wie oben beschrieben aufgebauten Tintenstrahlkopf 1 durch
Anordnen der piezoelektrischen Lagen 41 bis 43 zwischen
den gemeinsamen Elektroden 34a und 34b und den
einzelnen Elektroden 35a und 35b das Volumen jeder Druckkammer 10 problemlos
durch den piezoelektrischen Effekt verändert werden. Weil des Weiteren jede
der piezoelektrischen Lagen 41 bis 43, die aktive Schichten
enthalten, die Form einer kontinuierlichen flachen Schicht aufweist,
lassen sie sich leicht herstellen.
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Des
Weiteren weist der Tintenstrahlkopf 1 die Betätigungseinheiten 21 auf,
die jeweils einen unimorphen Aufbau ha ben, wobei die piezoelektrischen
Lagen 44 und 45 nahe jeder Druckkammer 10 inaktiv
sind und die piezoelektrischen Lagen 41 bis 43,
die von jeder Druckkammer 10 entfernt angeordnet sind,
aktive Schichten enthalten. Darum kann die Änderung des Volumens jeder
Druckkammer 10 durch den transversalen piezoelektrischen
Effekt verstärkt
werden. Infolge dessen kann im Vergleich zu einem Tintenstrahlkopf,
bei dem eine Schicht, die aktive Schichten enthält, auf der Seite der Druckkammer 10 angeordnet
ist und eine inaktive Schicht auf der gegenüberliegenden Seite angeordnet
ist, eine Verringerung der Spannung, die an die einzelnen Elektroden 35a und 35b anzulegen
ist, und/oder eine hohe Integration der Druckkammern 10 angestrebt werden.
Durch Senken der anzulegenden Spannung kann der Treiber zum Ansteuern
der einzelnen Elektroden 35a und 35b kleiner gestaltet
werden, und die Kosten können
niedrig gehalten werden. Außerdem kann
jede Druckkammer 10 kleiner gebaut werden. Des Weiteren
kann selbst im Fall einer hohen Integration der Druckkammern 10 eine
ausreichende Menge Tinte ausgespritzt werden. Somit kann eine Verkleinerung
des Kopfes 1 und eine hochdichte Anordnung von Druckpunkten
realisiert werden.
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Des
Weiteren hat in dem Tintenstrahlkopf 1 jede Betätigungseinheit 21 eine
im Wesentlichen trapezartige Form. Die Betätigungseinheiten 21 sind
in zwei Reihen zickzackförmig
so angeordnet, dass sich die parallelen gegenüberliegenden Seiten jeder Betätigungseinheit 21 in
der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 4 erstrecken und die schrägen Seiten
jeder benachbarten Betätigungseinheit 21 einander
in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 4 überlappen.
Weil die schrägen
Seiten jeder benachbarten Betätigungseinheiten 21 einander
auf diese Weise überlappen,
können – wenn sich
der Tintenstrahlkopf 1 in der seitlichen Richtung des Tintenstrahlkopfes 1 relativ
zu einem Druckmedium bewegt – die
Druckkammern 10 in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 4 einander
kompensieren. Infolge dessen kann ein kleiner Tintenstrahlkopf 1 mit
einer sehr schmalen Breite und gleichzeitig hoch-auflösendem Druck
realisiert werden.
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Weil
des Weiteren viele Druckkammern 10, die nebeneinander liegen,
in der Durchgangseinheit 4 in einer Matrix angeordnet sind,
können
die vielen Druckkammern 10 innerhalb einer relativ geringen Größe mit einer
hohen Dichte angeordnet werden.
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In
dem oben beschriebenen Tintenstrahlkopf 1 sind trapezartige
Betätigungseinheiten
in zwei Reihen zickzackförmig
angeordnet. Aber es braucht nicht jede Betätigungseinheit trapezartig
zu sein. Des Weiteren brauchen Betätigungseinheiten auch in nur einer
einzigen Reihe in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit angeordnet zu sein. Betätigungseinheiten können in
drei oder mehr Reihen zickzackförmig angeordnet
sein.
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Als
nächstes
wird ein Referenzbeispiel nützlich
zum Verständnis
der vorliegenden Erfindung beschrieben. 11 ist
eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper eines Tintenstrahlkopfes
gemäß dieses Beispieles.
Bei dem Tintenstrahlkopf und dem Tintenstrahldrucker gemäß dieses
Beispieles wird, weil die Teile mit Ausnahme des Kopfhauptkörpers denen
der oben beschriebenen Kopfhautkörper ähneln, hier
auf deren detaillierte Beschreibung verzichtet.
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Wenden
wir uns 11 zu. Ein Kopfhauptkörper 201 eines
Tintenstrahlkopfes gemäß dieses Beispieles
hat – von
oben betrachtet – eine
rechteckige Form, die sich in einer Richtung (Hauptabtastrichtung)
erstreckt. Der Kopfhauptkörper 201 enthält eine Durchgangseinheit 204,
in der eine große
Anzahl von Druckkammern 210 und eine große Anzahl
von Tintenausspritzöffnungen 208 ausgebildet
sind, wie weiter unten noch beschrieben wird. Auf die Oberseite der
Durchgangseinheit 204 sind zwei parallelogrammförmige Betätigungseinheiten 221 (in 11 sind
die rechte und die lin ke mit den Bezugszahlen 221a bzw. 221b bezeichnet)
nebeneinander gebondet. Jede Betätigungseinheit 221 ist
so angeordnet, dass sich ihre eine Seite B in der Längsrichtung
des Kopfhauptkörpers 201 erstreckt.
Die benachbarten Betätigungseinheiten 221 sind
so angeordnet, dass sie entlang der Breitenrichtung (der Richtung
der kürzeren
Länge)
des Kopfhauptkörpers 201 aufeinander ausgerichtet
sind, wobei ihre schrägen
Seiten C nahe beieinander liegen. Eine Tintenzufuhröffnung 202 ist in
der Oberseite der Durchgangseinheit 204 offen. Die Tintenzufuhröffnung 202 ist über einen
(nicht-veranschaulichten) Durchgang mit einer Tintenzufuhrquelle
verbunden.
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Wenden
wir uns 12 zu, die eine Ansicht des
Kopfhauptkörpers 201 in
einem im Vergleich zu 11 umgekehrten Betrachtungswinkel
darstellt (ein Blick von der Druckflächenseite). Zwei parallelogrammförmige Tintenausspritzbereiche
R1 sind in der Unterseite der Durchgangseinheit 204 so
angeordnet, dass sie den jeweiligen Bereichen entsprechen, wo die
Betätigungseinheiten 221 angeordnet sind.
Eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 208 mit
kleinem Durchmesser sind in der Oberfläche jedes Tintenausspritzbereichs
R1 angeordnet.
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Dieses
Beispiel zeigt einen Fall eines Einfarbdrucks. Der Tintenzufuhröffnung 202 wird
Tinte mit einer einzigen Farbe (zum Beispiel schwarz) zugeführt. Um
einen Mehrfarbdruck auszuführen,
sind Kopfhauptkörper 201,
deren Anzahl der Anzahl der Farben entspricht (zum Beispiel im Fall
der vier Farben Gelb, Cyan, Magenta und Schwarz vier Kopfhauptkörper 201),
in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit ausgerichtet. Den
Kopfhauptkörpern 201 werden
voneinander verschiedene Farbtinten zum Drucken zugeleitet.
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13 ist
eine Schnittansicht, die den inneren Aufbau der Durchgangseinheit 204 veranschaulicht.
Wenden wir uns 13 zu, wo ein Verteilerkanal 205 in
der Durchgangseinheit 204 ausgebildet ist. Der Verteilerkanal 205 steht über die
Tintenzufuhröffnung 202 in
strömungsmäßiger Verbindung
mit einer Tintenzufuhrquelle, weshalb der Verteilerkanal 205 immer
mit Tinte gefüllt
ist. Die Tintenzufuhröffnung 202 ist
vorzugsweise mit einem Filter zum Auffangen von in der Tinte enthaltenem
Staub und Schmutz versehen.
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Der
Verteilerkanal 205 ist im größten Teil der Durchgangseinheit 204 dergestalt
ausgebildet, dass er sich über
die zwei Tintenausspritzbereiche R1 hinweg erstreckt. In einem Teil
des Verteilerkanals 205, der jedem Tintenausspritzbereich
R1 entspricht, ist eine große
Anzahl schmaler parallelogrammförmiger Inselabschnitte 205a dergestalt
ausgebildet, dass sie in regelmäßigen Abständen angeordnet
sind. Die Länge
jedes Inselabschnitts 205a verläuft in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204. Bei diesem Aufbau fließt Tinte,
die über
die Tintenzufuhröffnung 202 zugeführt wird,
zwischen allen benachbarten Inselabschnitten 205a in dem
Verteilerkanal 205 hindurch und wird dann zu (weiter unten
beschriebenen) Druckkammern 210 verteilt, die in der Durchgangseinheit 204 in
jedem Tintenausspritzbereich R1 ausgebildet sind.
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Wenden
wir uns 15 zu. Jede Tintenausspritzöffnung 208 ist
als eine verjüngte
Düse ausgebildet.
Die Tintenausspritzöffnung 208 steht über eine Druckkammer 210,
die eine – von
oben betrachtet – im
Wesentlichen parallelogrammförmige
Gestalt aufweist, und eine Öffnung 212 mit
einem Verteilerkanal 205 in strömungsmäßiger Verbindung. Bei diesem Aufbau
wird Tinte von dem Verteilerkanal 205 über die Öffnung 212 zu der
Druckkammer 210 geführt. Durch
Ansteuern einer Betätigungseinheit 221,
wie weiter unten noch beschrieben wird, wird eine Strahlenergie
an die Tinte in der Druckkammer 210 angelegt, um die Tinte
durch die Tintenausspritzöffnung 208 in
einem Strahl auszuspritzen.
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14 veranschaulicht
einen detaillierten Aufbau des Be reichs, der in 13 mit
dem Bezugszeichen Q bezeichnet ist. Wie aus 14 ersichtlich ist,
sind in einem Bereich der Oberseite der Durchgangseinheit 204,
die einem Tintenausspritzbereich R1 entspricht, eine große Anzahl
von Druckkammern 210 in einer Matrix nebeneinander angeordnet.
Weil die Druckkammern 210 auf einer anderen Ebene ausgebildet
sind als die Öffnungen 212,
wie in 15 veranschaulicht, ist eine
Anordnung, wie sie in 14 veranschaulicht ist, möglich, in
der jede Öffnung 212,
die mit einer Druckkammer 210 verbunden ist, eine andere
Druckkammer 210 überlappt.
Infolge dessen kann eine hoch-dichte Anordnung der Druckkammern 210 realisiert
werden, was zu einer Verkleinerung des Kopfhauptkörpers 201 und
einer Erhöhung
der Auflösung
eines herzustellenden Bildes beitragen kann.
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15 veranschaulicht
einen konkreten Aufbau eines Durchgangs von einem Verteilerkanal 205 zu
einer Tintenausspritzöffnung 208.
Wenden wir uns 15 zu. Die Durchgangseinheit 204 ist
aus insgesamt neun Materiallagen laminiert, und zwar einer Hohlraumplatte 222,
einer Basisplatte 223, einer Öffnungsplatte 224,
einer Zufuhrplatte 225, Verteilerplatten 226, 227 und 228,
einer Deckplatte 229 und einer Düsenplatte 230. Die
oben beschriebenen Betätigungseinheiten 221 sind
an die Oberseite der Durchgangseinheit 204 gebondet, so
dass ein Kopfhauptkörper 201 entsteht.
Der detaillierte Aufbau jeder Betätigungseinheit 221 wird
weiter unten beschrieben.
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Eine
parallelogrammförmige Öffnung ist
in der Hohlraumplatte 222 ausgebildet, so dass eine Druckkammer 210 gebildet
wird, wie oben beschrieben. Eine verjüngte Tintenausspritzöffnung 208 ist unter
Verwendung einer Presse in der Düsenplatte 230 ausgebildet.
Durch jede der Platten 223 bis 229 hindurch sind
Strömungslöcher 251 zwischen
den Platten 222 und 230 ausgebildet. Die Druckkammer 210 steht über die
Strömungslöcher 251 mit
der Tintenausspritzöffnung 208 in
strömungsmäßiger Verbindung.
In der Öffnungsplatte 224 ist eine Öffnung 212 als
ein Langloch ausgebildet. Ein Ende der Öffnung 212 ist über ein
Strömungsloch 252,
das in der Basisplatte 223 ausgebildet ist, mit einem Endabschnitt
der Druckkammer 210 (gegenüber dem Endabschnitt, der mit
der Tintenausspritzöffnung 208 verbunden
ist) verbunden. Die Öffnung 212 dient dem
richtigen Steuern der Menge an Tinte, die der Druckkammer 210 zuzuführen ist,
und dem Verhindern, dass zu viel oder zu wenig Tinte durch die Tintenausspritzöffnung 208 gespritzt
wird. In der Zufuhrplatte 225 ist ein Strömungsloch 253 ausgebildet. Das
Strömungsloch 253 verbindet
das andere Ende der Öffnung 212 mit
dem Verteilerkanal 205.
-
Jede
der neun Platten 222 bis 230, die die Durchgangseinheit 204 bilden,
besteht aus Metall. Die Druckkammer 210, die Öffnung 212 und
die Strömungslöcher 251, 252 und 253 werden
durch selektives Ätzen
jeder Metallplatte mittels einer Maskenstruktur ausgebildet. Die
neun Platten 222 bis 230 werden in Schichten angeordnet
und miteinander verbondet, wobei sie dergestalt zueinander positioniert
werden, dass darin der in 15 veranschaulichte
Durchgang ausgebildet wird.
-
Wenden
wir uns 16 zu. Jede Betätigungseinheit 221 enthält fünf piezoelektrische
Lagen 241 bis 245 mit der gleichen Dicke von etwa
15 μm. Diese
piezoelektrischen Lägen 241 bis 245 werden als
kontinuierliche flache Schichten ausgebildet. Eine einzelne Betätigungseinheit 221 ist
so angeordnet, dass sie sich über
viele Druckkammern 210 hinweg erstreckt, die in einem einzelnen
Tintenausspritzbereich R1 des Kopfhauptkörpers 201 ausgebildet
sind. Dadurch kann eine hoch-dichte Anordnung einzelner Elektroden 235a und 235b in
der Betätigungseinheit 221 realisiert
werden. Jede der piezoelektrischen Lagen 241 bis 245 besteht
aus einem Keramikmaterial auf Blei-Zirkonat-Titanat (PZT)-Basis
mit Ferroelektrizität.
-
Zwischen
der ersten und der zweiten piezoelektrischen Lage 241 und 242 – von oben
aus gesehen – ist
eine etwa 2 μm
dicke gemeinsame Elektrode 234a angeordnet, die im Wesentlichen
auf den gesamten Unter- und Oberseiten der piezoelektrischen Lagen
ausgebildet ist. Des Weiteren ist zwischen der dritten und der vierten
piezoelektrischen Lage 243 und 244 eine etwa 2 μm dicke gemeinsame
Elektrode 234b angeordnet. Auf der Oberseite der ersten
piezoelektrischen Lage 241 ist eine etwa 1 μm dicke einzelne
Elektrode 235a entsprechend jeder Druckkammer 210 ausgebildet.
Wie in 13 veranschaulicht, hat die
einzelne Elektrode 235a – von oben betrachtet – eine ähnliche
Form wie die Druckkammer 210, obgleich die einzelne Elektrode 235a ein
wenig kleiner ist als die Druckkammer 210. Die einzelne
Elektrode 235a ist so angeordnet, dass die Mitte der einzelnen
Elektrode 235a mit der Mitte der entsprechenden Druckkammer 210 übereinstimmt.
Des Weiteren ist zwischen der zweiten und der dritten piezoelektrischen
Lage 242 und 243 eine etwa 2 μm dicke einzelne Elektrode 235b angeordnet,
die wie die einzelne Elektrode 235a geformt ist. Der Abschnitt,
wo die einzelnen Elektroden 235a und 235b angeordnet sind,
entspricht einem Druckerzeugungsabschnitt A zum Anlegen eines Drucks
an die Tinte in der Druckkammer 210. Zwischen der vierten
und der fünften
piezoelektrischen Lage 244 und 245 und auf der
Unterseite der fünften
piezoelektrischen Lage 245 befindet sich keine Elektrode.
Jede der Elektroden 234a, 234b, 235a und 235b besteht
zum Beispiel aus einem metallischen Material auf Ag-Pd-Basis.
-
Die
gemeinsamen Elektroden 234a und 234b sind in einem
nicht-veranschaulichten Bereich geerdet. Somit werden die gemeinsamen
Elektroden 234a und 234b in einem Bereich, der
einer beliebigen Druckkammer 210 entspricht, auf dem Erdungspotenzial
gehalten. Damit das Potenzial der einzelnen Elektroden 235a und 235b in
jedem Paar, das einer Druckkammer 210 entspricht, unabhängig von
einem anderen Paar ge steuert werden kann, sind sie über eine
Anschlussleitung, die für
jedes Paar einzelner Elektroden 235a und 235b separat
vorhanden ist, mit einem geeigneten Ansteuerungs-IC verbunden.
-
In
dem Kopfhauptkörper 201 sind
die piezoelektrischen Lagen 241 bis 245 in ihrer
Dicke zu polarisieren. Das heißt,
die Betätigungseinheit 221 hat einen
sogenannten unimorphen Aufbau, bei dem die oberen (d. h. von der
Druckkammer 210 entfernt befindlichen) drei piezoelektrischen
Lagen 241 bis 243 Schichten sind, die aktive Schichten
enthalten, und die unteren (d. h. nahe der Druckkammer 210 befindlichen)
zwei piezoelektrischen Lagen 244 und 245 als inaktive
Schichten ausgebildet sind.
-
Wenn
bei diesem Aufbau die einzelnen Elektroden 235a und 235b in
einem Paar auf ein positives oder ein negatives vorgegebenes Potenzial
eingestellt sind und wenn zum Beispiel die Polarisation in der gleichen
Richtung verläuft
wie das elektrische Feld, so zieht sich der Abschnitt (eine aktive
Schicht, d. h. ein Druckerzeugungsabschnitt) in den piezoelektrischen
Lagen 241 bis 243, der sich zwischen den gemeinsamen
und den einzelnen Elektroden befindet, senkrecht zur Polarisation
zusammen. Weil andererseits die inaktiven piezoelektrischen Lagen 244 und 245 durch
kein elektrisches Feld beeinflusst werden, ziehen sie sich nicht
in sich selbst zusammen. Somit entsteht entlang der Polarisation
ein mechanischer Spannungsunterschied zwischen den oberen piezoelektrischen
Lagen 241 bis 243 und den unteren piezoelektrischen
Lagen 244 und 245. Infolge dessen sind die gesamten
piezoelektrischen Lagen 241 bis 245 bereit, sich
zu einer konvexen Form in Richtung der inaktiven Seite zu verformen
(unimorphe Verformung). Weil die Unterseite der untersten piezoelektrischen
Lage 245 an der Oberseite der Trennwand, welche die Druckkammern 210 trennt,
fixiert ist, verformt sich zu diesem Zeitpunkt der Druckerzeugungsabschnitt
A der piezoelektrischen Lagen 241 bis 245 zu ei ner
konvexen Form in Richtung der Seite der Druckkammer 210,
um das Volumen der Druckkammer 210 zu verkleinern. Infolge
dessen steigt der Druck der Tinte an, wodurch Tinte durch die Tintenausspritzöffnung 208 ausgespritzt
wird. Wenn danach das Anlegen der Ansteuerspannung an die einzelnen
Elektroden 235a und 235b beendet wird, so kehren
die piezoelektrischen Lagen 241 bis 245 zu der
ursprünglichen
Form zurück,
und die Druckkammer 210 kehrt ebenfalls zu ihrem ursprünglichen Volumen
zurück.
Somit saugt die Druckkammer 210 Tinte über den Verteilerkanal 205 herein.
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Als
nächstes
wird die Form der zwei Betätigungseinheiten 221a und 221b und
die Anordnung einzelner Elektroden 235a und 235b (oder
anders ausgedrückt:
die Anordnung der Druckerzeugungsabschnitte A) beschrieben. 17 veranschaulicht die
Form einer Betätigungseinheit 221a und
die Anordnung von Druckerzeugungsabschnitten. 18 zeigt
die Beziehung zwischen einem Nahtabschnitt zwischen den Betätigungseinheiten 221a und 221b und
Druckerzeugungsabschnitten in einem zusätzlichen Bereich.
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Der
Kopfhauptkörper 201 enthält zwei
Betätigungseinheiten 221a und 221b,
wie oben beschrieben. Die zwei Betätigungseinheiten 221a und 221b haben
recht ähnliche
Formen und die gleiche Anordnung der Druckerzeugungsabschnitte A.
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Wie
in den 11 und 17 veranschaulicht,
ist die Betätigungseinheit 221a parallelogrammförmig und
ist so angeordnet, dass ihre eine Seite B parallel zur Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 verläuft und ihre andere Seite C
schräg
zur Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 verläuft. Wie in 17 veranschaulicht,
gibt es in der Betätigungseinheit 221a zwei
Bereiche P1 und P2, die in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 204 durch
eine gerade Linie in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 getrennt sind. Das heißt, die Bereiche
P1 und P2 liegen in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 204 nebeneinander.
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Im
Basisbereich P1 der beiden Bereiche P1 und P2 sind eine große Anzahl
von Druckerzeugungsabschnitten A1 nebeneinander in einer Matrix in
der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 und entlang der anderen Seite
C des Parallelogramms angeordnet.
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In
dem anderen Bereich (dem zusätzlichen Bereich
P2) als der Basisbereich P1 sind Druckerzeugungsabschnitte A2 nebeneinander
in einer Matrix lediglich in der unmittelbaren Umgebung einer spitzwinkligen
Ecke D des Parallelogramms nahe der Betätigungseinheit 221b angeordnet.
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Wenn,
wie in 18 veranschaulicht, die in dieser
Weise aufgebauten zwei Betätigungseinheiten 221a und 221b in
Reihe in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 angeordnet sind, wie in 11 veranschaulicht,
so befinden sich die Druckerzeugungsabschnitte A2 des zusätzlichen
Bereichs P2, der in der Betätigungseinheit 221a angeordnet
ist, an einer Stelle, die einem Bereich (dem schraffierten Bereich
G in 18) entspricht, wo kein Druckerzeugungsabschnitt
A in dem Basisbereich P1 angeordnet sein kann, weil er sich in der
Naht zwischen den Betätigungseinheiten 221a und 221b befindet.
Das heißt,
die Druckerzeugungsabschnitte A2 des zusätzlichen Bereichs P2 sind so
angeordnet, dass sie einem Lückenabschnitt
G zwischen den Druckerzeugungsabschnitten A1 des Basisbereichs P1,
der sich in der Betätigungseinheit 221a befindet, und
den Druckerzeugungsabschnitten A1 des Basisbereichs P1, der sich
in der benachbarten Betätigungseinheit 221b befindet,
entsprechen. Obgleich es also keine separate Betätigungseinheit gibt, um Tinte
durch den Lückenabschnitt
G hindurch auszuspritzen, kann ein Kopfhauptkörper 201 bereitgestellt werden,
der über
die gesamte Längsrichtung
der Durchgangseinheit unterbrechungsfrei drucken kann.
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Oder
anders ausgedrückt:
Weil in dem Bereich (Bereich G) nahe dem Nahtabschnitt zwischen den
Betätigungseinheiten 221a und 221b kein
Druckerzeugungsabschnitt angeordnet werden kann, können auch
keine Druckkammer 210 und keine Tintenausspritzöffnung 208 in
diesem Bereich angeordnet werden. Wenn also die Druckerzeugungsabschnitte
A2 nicht in dem zusätzlichen
Bereich P2, der sich in der Betätigungseinheit 221a befindet,
angeordnet wären,
so wäre
das Drucken in dem Abschnitt, der dem Lückenabschnitt G entspricht,
nicht möglich. Infolge
dessen würde
ein Abschnitt, wo keine Tinte ausgespritzt werden kann, in dem Nahtabschnitt
zwischen den Betätigungseinheiten 221a und 221b entstehen.
Weil aber die Druckerzeugungsabschnitte A2 in dem zusätzlichen
Bereich P2, der sich in der Betätigungseinheit 221a befindet,
in einem Abschnitt angeordnet sind, der jenen Bereich G in der seitlichen Richtung
der Durchgangseinheit überlappt,
gibt es keinen Abschnitt, wo das Ausspritzen von Tinte unmöglich ist.
Infolge dessen kann ein Bild unterbrechungsfrei auf einem Papier
hergestellt werden.
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Wie
oben beschrieben, enthält
in dieses Beispiel die Betätigungseinheit 221 Reihen,
in denen jeweils eine große
Anzahl von Druckerzeugungsabschnitten A1 und A2 in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 angeordnet sind. Was die Längen dieser
Reihen in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 204 anbelangt, ist jede Reihe in
dem Basisbereich P1 länger
als jede Reihe in dem zusätzlichen Bereich
P2. Was des Weiteren die Anzahl der Reihen in der seitlichen Richtung
der Durchgangseinheit 204 anbelangt, ist die Anzahl der
Reihen in dem zusätzlichen
Bereich P2 die gleiche wie die Anzahl der Reihen, die in der Länge des
entsprechenden Bereichs G in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 204 vorhanden
sein könnten.
Wenn also eine imaginäre
gerade Linie gezogen wird, die in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 204 verläuft, so
ist die Anzahl der Reihen, welche die imaginäre gerade Linie in dem Bereich
schneidet, wo sich die benachbarten Betätigungseinheiten 221a und 221b einander überlappen,
die gleiche wie die Anzahl der Reihen, welche die imaginäre gerade
Linie in dem Bereich schneidet, wo sich die benachbarten Betätigungseinheiten 221a und 221b nicht
einander überlappen.
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Das
oben beschriebene Merkmal kann nur erreicht werden, wenn man zwei
Betätigungseinheiten 221a und 221b mit
dem gleichen Aufbau anordnet. Somit kann die Anordnung von Teilen
vereinfacht werden, und die Kosten und die Anzahl der Prozessschritte,
die für
das Konstruieren oder Herstellen der Betätigungseinheiten 221a und 221b notwendig
sind, können
verringert werden.
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Die
Anordnung von Druckerzeugungsabschnitten A in der Betätigungseinheit 221,
die in diesem Beispiel beschrieben wird, ist nur ein Beispiel. Zum
Beispiel kann eine Betätigungseinheit 255,
wie sie in 19 veranschaulicht ist, verwendet
werden. 19 veranschaulicht ein weiteres
Beispiel der Anordnung von Druckerzeugungsabschnitten in einer Betätigungseinheit. 20 zeigt
die Beziehung zwischen einem Nahtabschnitt zwischen Betätigungseinheiten
und Druckerzeugungsabschnitten in einem zusätzlichen Bereich in der Anordnung
von 19.
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Die
Betätigungseinheit 255a von 19 ist in
der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit in drei Bereiche P11,
P12 und P13 unterteilt. Der mittlere Bereich P11 in der seitlichen
Richtung der Durchgangseinheit dient als ein Basisbereich, und die übrigen Bereiche
P12 und P13 dienen als zusätzliche Bereiche.
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Wie
bei der Anordnung von 17 sind in dem Basisbereich
P11 eine große
Anzahl von Druckerzeugungsabschnitten A11 nebeneinander in einer
Matrix in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit und entlang der anderen Seite C des Parallelogramms
angeordnet. In einem zusätzlichen
Bereich P12 sind Druckerzeugungsabschnitte A12 nebeneinander in
einer Matrix in der unmittelbaren Umgebung einer spitzwinkligen
Ecke D des Parallelogramms nahe der Betätigungseinheit 255b angeordnet.
In dem anderen zusätzlichen
Bereich P13 sind Druckerzeugungsabschnitte A13 nebeneinander in
einer Matrix in der unmittelbaren Umgebung einer spitzwinkligen
Ecke D des Parallelogramms von der Betätigungseinheit 255b entfernt
angeordnet.
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Darum
sind, wie in 20 veranschaulicht, die Druckerzeugungsabschnitte
A12 des zusätzlichen
Bereichs P12 der Betätigungseinheit 255a und die
Druckerzeugungsabschnitte A13 des zusätzlichen Bereichs P13 der Betätigungseinheit 255b in
einem Lückenabschnitt
G zwischen den Druckerzeugungsabschnitten A11 des Basisbereichs
P11, der sich in der Betätigungseinheit 255a befindet,
und den Druckerzeugungsabschnitten A11 des Basisbereichs P11, der
sich in der benachbarten Betätigungseinheit 255b befindet,
angeordnet. Somit kann dem Kopfhauptkörper 201 Tinte zugeführt werden,
die über
die gesamte Längsrichtung
der Durchgangseinheit unterbrechungsfrei ausgespritzt werden kann.
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Des
Weiteren kann dieses Beispiel auch die gleichen Vorteile mit sich
bringen wie die oben beschriebenen. Genauer gesagt, weil die zwei
Betätigungseinheiten 255a und 255b in
der Längsrichtung der
Durchgangseinheit 204 angeordnet sind, kann selbst im Fall
einer langen Durchgangseinheit 204 eine hohe Genauigkeit
bei der Positionierung der Betätigungseinheiten 255a und 255b an
der Durchgangseinheit 204 erreicht werden. Darum können gute
Tintenausspritzergebnisse erreicht werden, und der Produktionsertrag
der Tintenstrahlköpfe 201 kann
deutlich gesteigert werden. Außerdem
kann durch Anordnen der piezoelektrischen Lagen 241 bis 243 zwischen
den gemeinsamen Elektroden 234a und 234b und den
einzelnen Elektroden 235a und 235b das Volumen
jeder Druckkammer 210 problemlos durch den piezoelektrischen
Effekt verändert
werden. Des Weiteren können
die piezoelektrischen Lagen 241 bis 243, die aktive
Schichten enthalten, auf einfache Weise hergestellt werden, weil
sie kontinuierliche flache Schichten sind. Weil des Weiteren eine Betätigungseinheit 221 mit
einem unimorphen Aufbau verwendet wird, wobei die piezoelektrischen
Lagen 244 und 245 nahe jeder Druckkammer 210 inaktiv
sind und die piezoelektrischen Lagen 241 bis 243, die
von jeder Druckkammer 210 entfernt liegen, Schichten sind,
die aktive Schichten enthalten, kann die Änderung des Volumens jeder
Druckkammer 210 mittels des transversalen piezoelektrischen
Effekts verstärkt
werden, und es kann eine Senkung der an die einzelnen Elektroden 235a und 235b anzulegenden
Spannung und/oder eine hohe Integration der Druckkammern 210 angestrebt
werden. Des Weiteren können
in der Durchgangseinheit 204 – weil eine große Anzahl
von Druckkammern 210 nebeneinander in einer Matrix angeordnet
sind – die
vielen Druckkammern 210 mit einer hohen Dichte innerhalb einer
relativ geringen Größe angeordnet
werden.
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In
diesem Beispiel sind zwei Betätigungseinheiten
angeordnet. Es können
aber natürlich
auch drei oder mehr Betätigungseinheiten
angeordnet sein. Das Anordnen vieler Betätigungseinheiten kann zu einem
langen Tintenstrahlkopf führen.
Ein solcher langer Tintenstrahlkopf ist von Vorteil, weil mit ihm
ein noch größeres Papier
mit hoher Geschwindigkeit bedruckt werden kann.
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21A und 21B veranschaulichen
Kopfhauptkörper 271 und 272 gemäß Modifizierungen des
Beispieles, wobei vier Betätigungseinheiten 261 (in
den 21A und 21B sind
sie von rechts nach links mit den Bezugszahlen 261a, 261b, 261c bzw. 261d bezeichnet),
die jeweils wie eine Betätigungseinheit 221 oder 255 aufgebaut
sind, in einer Reihe auf Durchgangseinheiten 274, die nahe
ihren beiden Enden Tintenzufuhröffnungen 273 aufweisen,
angeordnet und daran gebondet sind. Eine solche Betätigungseinheit 261,
wie eine Betätigungseinheit 221 oder 255,
kann gemeinsam für
Durch gangseinheiten mit verschiedenen Längen verwendet werden, zum Beispiel
von einer relativ kurzen Durchgangseinheit, wie in 11 veranschaulicht,
bis zu einer langen Durchgangseinheit, wie in 21A veranschaulicht. Somit kann eine solche Betätigungseinheit
vielseitig als ein Bauteil verwendet werden, wodurch die Herstellungskosten
gesenkt werden können.
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In
den Kopfhauptkörpern 201 und 271,
wie in den 11 und 21A veranschaulicht,
sind Betätigungseinheiten
auf einer Durchgangseinheit in einer geraden Linie so angeordnet,
dass sie in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit ausgerichtet sind.
Jedoch können,
wie in einem Kopfhauptkörper 272,
der zum Beispiel in 21B veranschaulicht
ist, Betätigungseinheiten 261a, 261b, 261c und 261d in einer
Zickzackform angeordnet sein. Jedoch ist vom Standpunkt der Kompaktheit
eines Tintenstrahlkopfes die in 11 oder 21A veranschaulichte
Anordnung bevorzugt, in der Betätigungseinheiten
in einer geraden Linie in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit so angeordnet sind, dass sie regelmäßig in der
seitlichen Richtung der Durchgangseinheit ausgerichtet sind. Speziell
im Fall der Anordnung von 11 oder 21A kann der Tintenstrahlkopf schmal gehalten
werden. Wenn also zwei oder mehr Tintenstrahlköpfe entlang ihrer Breite angeordnet sind,
um ihnen Tinten verschiedener Farben für einen Mehrfarbdruck zuzuführen, so
können
sie innerhalb eines kompakten Raumes angeordnet werden. Dies ist
außerdem
von Vorteil, weil das Auftreten einer Farbscherung in einem Bild
verringert werden kann, selbst wenn ein Papier beim Drucken schräg geführt wird.
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Als
nächstes
wird eine Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben. 22 ist
eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper eines Tintenstrahlkopfes
gemäß dieser
Ausführungsform.
Bei dem Tintenstrahlkopf und dem Tintenstrahldrucker gemäß dieser
Ausführungsform
wird, weil die Teile mit Ausnahme des Kopfhauptkörpers denen der oben be schriebenen ähneln, hier
auf deren detaillierte Beschreibung verzichtet.
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Wenden
wir uns 22 zu. Ein Kopfhauptkörper 301 eines
Tintenstrahlkopfes gemäß dieser Ausführungsform
hat – von
oben betrachtet – eine rechteckige
Form, die sich in einer Richtung erstreckt. Der Kopfhauptkörper 301 enthält eine
Durchgangseinheit 304, in der eine große Anzahl von Druckkammern 310 und
eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 308 ausgebildet
sind, wie weiter unten noch beschrieben wird. Auf der Oberseite der
Durchgangseinheit 304 sind vier Betätigungseinheiten 321 mit
jeweils der Form eines regelmäßigen Sechsecks
(in 22 sind sie von rechts nach links mit den Bezugszahlen 321a, 321b, 321c bzw. 321d bezeichnet)
zickzackförmig
in zwei Reihen angeordnet und sind an die Oberseite der Durchgangseinheit 304 gebondet.
Jede Betätigungseinheit 321 ist
so angeordnet, dass sich ihre gegenüberliegenden parallelen Seiten
(Ober- und Unterseiten) in der Längsrichtung
des Kopfhauptkörpers 301 erstrecken.
Alle benachbarten Betätigungseinheiten 321 sind
so angeordnet, dass ihre schrägen
Seiten nahe beieinander liegen und überlappende Abschnitte in der
seitlichen Richtung der Durchgangseinheit aufweisen.
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Wenden
wir uns 23 zu, die eine Ansicht der
Durchgangseinheit 304 in einem im Vergleich zu 22 umgekehrten
Betrachtungswinkel darstellt (ein Blick von der Druckflächenseite).
Vier hexagonale Tintenausspritzbereiche R2 befinden sich in der Unterseite
der Durchgangseinheit 304 entsprechend den jeweiligen Bereichen,
wo die Betätigungseinheiten 321 angeordnet
sind. Eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen 308 mit
kleinem Durchmesser sind in der Oberfläche jedes Tintenausspritzbereichs R2
angeordnet. Ein Basisblock 302 ist auf der Oberseite des
Kopfhauptkörpers 301 angeordnet.
Ein Paar Tintenreservoirs 303 mit jeweils einer schmalen Form
in der Längsrichtung
des Kopfhauptkörpers 301 sind
in dem Basisblock 302 angeordnet. Ei ne Öffnung 303a ist in
der Oberseite des Basisblocks 302 an einem Ende jedes Tintenreservoirs 303 ausgebildet.
Jede Öffnung 303a ist
mit einem nicht-veranschaulichten Tintentank verbunden. Infolge
dessen ist jedes Tintenreservoir 303 immer mit Tinte gefüllt.
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24 ist
eine Schnittansicht, die den inneren Aufbau der Durchgangseinheit 304 veranschaulicht.
Wenden wir uns 24 zu, wo Verteilerkanäle 305,
die als Tintenzufuhrquellen fungieren, in der Durchgangseinheit 304 ausgebildet
sind. Jeder Verteilerkanal 305 steht über die entsprechende Öffnung 305a,
die in der Oberseite der Durchgangseinheit 304 ausgebildet
ist, mit einem Tintenreservoir 303 in strömungsmäßiger Verbindung.
Jede Öffnung 305a ist
vorzugsweise mit einem Filter zum Auffangen von in der Tinte enthaltenem
Staub und Schmutz versehen.
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Jeder
Verteilerkanal 305 verzweigt sich an seiner Öffnung 305a,
um einer Anzahl von Druckkammern 310 Tinte zuzuführen, wie
weiter unten noch beschrieben wird. Wenn jeder hexagonale Tintenausspritzbereich
R2, der in 23 veranschaulicht ist, in 23 vertikal
gleichmäßig in zwei
Bereiche unterteilt ist, so wird ein einzelner Verteilerkanal 305 dergestalt
ausgebildet, dass er einem der zwei Bereiche entspricht. Es sind
acht Verteilerkanäle 305 vorhanden,
und jeder von ihnen ist so geformt, dass er Tinte zu allen Druckkammern 310,
die in dem entsprechenden Bereich enthalten sind, verteilt und zuführt.
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Die
Tintenausspritzöffnung 308,
die sich in einem halben Bereich in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit
befindet, steht über
einen Verteilerkanal 305 mit einem der Tintenreservoirs 303 in
einem Paar in strömungsmäßiger Verbindung.
Die Tintenausspritzöffnung 308 in
dem anderen halben Bereich in der seitlichen Richtung des Tintenstrahlkopfes
steht mit dem anderen Tintenreservoir 303 in strömungsmäßiger Verbindung.
Durch ein solches Anordnen der Vertei lerkanäle 305, der Öffnungen 305a und
der Tintenreservoirs 303 lassen sich zwei Druckbetriebsarten
realisieren: (1) eine Betriebsart, bei der die Tintenreservoirs 303 in
dem Paar mit Tinte der gleichen Farbe beaufschlagt werden, um einen hoch-auflösenden Einfarbdruck
auszuführen,
und (2) eine Betriebsart, bei der die Tintenreservoirs 303 in dem
Paar mit Tinte verschiedener Farben beaufschlagt werden, um einen
Zweifarbdruck mit dem einzelnen Kopfhauptkörper 301 auszuführen. Dies
ist ein weithin nutzbarer Aufbau.
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Wenden
wir uns 26 zu. Jede Tintenausspritzöffnung 308 ist
als eine verjüngte
Düse ausgebildet.
Die Tintenausspritzöffnung 308 steht über eine Druckkammer 310 mit
einer – von
oben betrachtet – nahezu
rhombischen Form und eine Öffnung 312 in strömungsmäßiger Verbindung
mit einer Verteilerkanal 305. Bei diesem Aufbau wird Tinte über das
Tintenreservoir 303 zu dem Verteilerkanal 305 geleitet und
wird außerdem
von dem Verteilerkanal 305 über die Öffnung 312 zu der
Druckkammer 310 geleitet. Durch Ansteuern einer Betätigungseinheit 321,
wie weiter unten noch beschrieben wird, wird eine Strahlenergie
an die Tinte in der Druckkammer 310 angelegt, um die Tinte
durch die Tintenausspritzöffnung 308 in
einem Strahl auszuspritzen.
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25 veranschaulicht
einen detaillierten Aufbau des Bereichs, der in 24 mit
dem Bezugszeichen E bezeichnet ist. Wie aus 25 zu
ersehen ist, sind in einem Bereich der Oberseite der Durchgangseinheit 304,
der einem Tintenausspritzbereich R2 entspricht, eine große Anzahl
von Druckkammern 310 in einer Matrix nebeneinander angeordnet.
Weil die Druckkammern 310 auf einer anderen Ebene ausgebildet
sind als die Öffnungen 312,
wie in 26 veranschaulicht, ist eine
Anordnung möglich, in
der jede Öffnung 312,
die mit einer Druckkammer 310 verbunden ist, eine andere
Druckkammer 310 überlappt.
Infolge dessen kann eine hochdichte Anordnung der Druckkammern 310 realisiert
werden, was zu einer Verkleinerung des Kopfhauptkörpers 301 und
ei ner Erhöhung
der Auflösung
eines herzustellenden Bildes beitragen kann.
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26 veranschaulicht
einen konkreten Aufbau eines Durchgangs von einem Verteilerkanal 305 zu
einer Tintenausspritzöffnung 308.
Wenden wir uns 26 zu. Die Durchgangseinheit 304 ist
aus insgesamt neun Materiallagen laminiert, und zwar einer Hohlraumplatte 322,
einer Basisplatte 323, einer Öffnungsplatte 324,
einer Zufuhrplatte 325, Verteilerplatten 326, 327 und 328,
einer Deckplatte 329 und einer Düsenplatte 330. Die
oben beschriebenen Betätigungseinheiten 321 sind
an die Oberseite der Durchgangseinheit 304 gebondet, wodurch
ein Kopfhauptkörper 301 entsteht.
Der detaillierte Aufbau jeder Betätigungseinheit 321 wird
weiter unten beschrieben.
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Eine
rhombische Öffnung
ist in der Hohlraumplatte 322 ausgebildet, so dass eine
Druckkammer 310 gebildet wird. Eine verjüngte Tintenausspritzöffnung 308 ist
in der Düsenplatte 330 mit
einer Presse ausgebildet. Durch jede der Platten 323 bis 329 hindurch
sind zwischen den Platten 322 und 330 Strömungslöcher 351 ausgebildet.
Die Druckkammer 310 steht über die Strömungslöcher 351 mit der Tintenausspritzöffnung 308 in
strömungsmäßiger Verbindung.
Eine Öffnung 312 ist
als ein Langloch in der Öffnungsplatte 324 ausgebildet.
Ein Ende der Öffnung 312 ist über ein
Strömungsloch 352,
das in der Basisplatte 323 ausgebildet ist, mit einem Endabschnitt
der Druckkammer 310 (gegenüber dem Endabschnitt, der mit
der Tintenausspritzöffnung 308 verbunden
ist) verbunden. Die Öffnung 312 dient dem
richtigen Steuern der Menge an Tinte, die der Druckkammer 310 zuzuführen ist,
und dem Verhindern, dass zuviel oder zu wenig Tinte durch die Tintenausspritzöffnung 308 ausgespritzt
wird. Ein Strömungsloch 353 ist
in der Zufuhrplatte 325 ausgebildet. Das Strömungsloch 353 verbindet
das andere Ende der Öffnung 312 mit
dem Verteilerkanal 305.
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Jede
der neun Platten 322 bis 330, aus denen die Durchgangseinheit 304 gebildet
wird, besteht aus Metall. Die Druckkammer 310, die Öffnung 312 und
die Strömungslöcher 351, 352 und 353,
die oben beschrieben sind, werden durch selektives Ätzen jeder
Metallplatte mittels einer Maskenstruktur ausgebildet. Die neun
Platten 322 bis 330 werden in Schichten angeordnet
und aneinander gebondet, wobei sie so positioniert werden, dass
darin der in 26 veranschaulichte Durchgang
gebildet wird.
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Als
nächstes
wird der Aufbau jeder Betätigungseinheit 321 beschrieben.
Wenden wir uns 27 zu. Die Betätigungseinheit 321 enthält fünf piezoelektrische
Lagen 341 bis 345 mit der gleichen Dicke von etwa
15 μm. Diese
piezoelektrischen Lagen 341 bis 345 sind als kontinuierliche
flache Schichten ausgebildet. Eine einzelne Betätigungseinheit 321 ist so
angeordnet, dass sie sich über
viele Druckkammern 310 hinweg erstreckt, die in einem einzelnen Tintenausspritzbereich
R2 des Kopfhauptkörpers 301 ausgebildet
sind. Dadurch kann eine hoch-dichte Anordnung einzelner Elektroden 335a und 335b realisiert
werden. Jede der piezoelektrischen Lagen 341 bis 345 besteht
aus einem Keramikmaterial auf Blei-Zirkonat-Titanat (PZT)-Basis
mit Ferroelektrizität.
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Zwischen
der ersten und der zweiten piezoelektrischen Lage 341 und 342 – von oben
aus gesehen – ist
eine etwa 2 μm
dicke gemeinsame Elektrode 334a angeordnet, die im Wesentlichen
auf den gesamten Unter- und Oberseiten der piezoelektrischen Lagen
ausgebildet ist. Des Weiteren ist zwischen der dritten und der vierten
piezoelektrischen Lage 343 und 344 eine etwa 2 μm dicke gemeinsame
Elektrode 234b angeordnet. Auf der Oberseite der ersten
piezoelektrischen Lage 341 ist eine etwa 1 μm dicke einzelne
Elektrode 335a entsprechend jeder Druckkammer 310 ausgebildet.
Wie in 24 veranschaulicht, hat die
einzelne Elektrode 335a – von oben betrachtet – eine ähnliche
Form wie die Druckkammer 310, obgleich die einzelne Elektrode 335a ein
wenig kleiner ist als die Druckkammer 310. Die einzelne
Elektrode 335a ist so angeordnet, dass die Mitte der einzelnen
Elektrode 335a mit der Mitte der entsprechenden Druckkammer 310 übereinstimmt.
Des Weiteren ist zwischen der zweiten und der dritten piezoelektrischen
Lage 342 und 343 eine etwa 2 μm dicke einzelne Elektrode 335b angeordnet,
die wie die einzelne Elektrode 335a geformt ist. Zwischen
der vierten und der fünften
piezoelektrischen Lage 344 und 345 und auf der
Unterseite der fünften
piezoelektrischen Lage 345 befindet sich keine Elektrode.
Jede der Elektroden 334a, 334b, 335a und 335b besteht
zum Beispiel aus einem metallischen Material auf Ag-Pd-Basis.
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Die
gemeinsamen Elektroden 334a und 334b sind in einem
nicht-veranschaulichten Bereich geerdet. Somit werden die gemeinsamen
Elektroden 334a und 334b in einem Bereich, der
einer beliebigen Druckkammer 310 entspricht, auf dem Erdungspotenzial
gehalten. Damit das Potenzial der einzelnen Elektroden 335a und 335b in
jedem Paar, das einer Druckkammer 310 entspricht, unabhängig von
einem anderen Paar gesteuert werden kann, sind sie über eine
Anschlussleitung, die für
jedes Paar einzelner Elektroden 335a und 335b separat
vorhanden ist, mit einem (nicht veranschaulichten) geeigneten Ansteuerungs-IC
verbunden.
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In
dem Kopfhauptkörper 301 sind
die piezoelektrischen Lagen 341 bis 345 in ihrer
Dicke zu polarisieren. Das heißt,
die Betätigungseinheit 321 hat einen
sogenannten unimorphen Aufbau, bei dem die oberen (d. h. von der
Druckkammer 310 entfernt befindlichen) drei piezoelektrischen
Lagen 341 bis 343 Schichten sind, die aktive Schichten
enthalten, und die unteren (d. h. nahe der Druckkammer 310 befindlichen)
zwei piezoelektrischen Lagen 344 und 345 als inaktive
Schichten ausgebildet sind.
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Wenn
bei diesem Aufbau die einzelnen Elektroden 335a und 335b in
einem Paar auf ein positives oder ein negatives vorgegebenes Potenzial
eingestellt sind und wenn zum Beispiel die Polarisation in der gleichen
Richtung verläuft
wie das elektrische Feld, so zieht sich der Abschnitt (eine aktive
Schicht, d. h. ein Druckerzeugungsabschnitt) in den piezoelektrischen
Lagen 341 bis 343, der sich zwischen den gemeinsamen
und den einzelnen Elektroden befindet, senkrecht zur Polarisation
zusammen. Weil andererseits die inaktiven piezoelektrischen Lagen 344 und 345 durch
kein elektrisches Feld beeinflusst werden, ziehen sie sich nicht
in sich selbst zusammen. Somit entsteht entlang der Polarisation
ein mechanischer Spannungsunterschied zwischen den oberen piezoelektrischen
Lagen 341 bis 343 und den unteren piezoelektrischen
Lagen 344 und 345. Infolge dessen sind die gesamten
piezoelektrischen Lagen 341 bis 345 bereit, sich
zu einer konvexen Form in Richtung der inaktiven Seite zu verformen
(unimorphe Verformung). Weil die Unterseite der untersten piezoelektrischen
Lage 345 an der Oberseite der Trennwand, welche die Druckkammern 310 trennt,
fixiert ist, verformen sich zu diesem Zeitpunkt die piezoelektrischen
Lagen 341 bis 345 zu einer konvexen Form in Richtung
der Seite der Druckkammer 310, um das Volumen der Druckkammer 310 zu
verkleinern. Infolge dessen steigt der Druck der Tinte an, wodurch
Tinte durch die Tintenausspritzöffnung 308 ausgespritzt
wird. Wenn danach das Anlegen der Ansteuerspannung an die einzelnen
Elektroden 335a und 335b beendet wird, so kehren
die piezoelektrischen Lagen 341 bis 345 zu der
ursprünglichen
Form zurück,
und die Druckkammer 310 kehrt ebenfalls zu ihrem ursprünglichen
Volumen zurück.
Somit saugt die Druckkammer 310 Tinte über den Verteilerkanal 305 herein.
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Zum
Herstellen jeder Betätigungseinheit 321 werden
zuerst keramische grüne
Lagen, die als piezoelektrische Lagen 341 bis 345 dienen
sollen, in Schichten gelegt und dann ge brannt. Zu diesem Zeitpunkt
wird je nach Bedarf ein metallisches Material, das als einzelne
Elektroden 335a oder eine gemeinsame Elektrode 334a oder 334b dienen
soll, auf jeder keramischen grünen
Lage zu einem Muster gedruckt. Danach wird ein metallisches Material,
das als einzelne Elektroden 335a dienen soll, auf die gesamte Oberseite
der ersten piezoelektrischen Lage 341 plattiert, und dann
werden überflüssige Abschnitte des
Materials mittels Laserstrukturierung abgetragen. Alternativ wird
ein metallisches Material, das als einzelne Elektroden 335a dienen
soll, unter Verwendung einer Maske mit Öffnungen an Abschnitten, die den
jeweiligen einzelnen Elektroden 335a entsprechen, abgeschieden.
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Die
auf diese Weise hergestellte Betätigungseinheit 321 ist
sehr spröde,
weil sie aus Keramik besteht. Insbesondere ist, weil die Ecken der
Betätigungseinheit 321 sehr
leicht abbrechen, ein sehr vorsichtiger Umgang bei der Herstellung
und der Montage erforderlich, um zu vermeiden, dass eine Ecke mit
einer anderen Komponente in Kontakt kommt.
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Jedoch
hat, wie in 28A veranschaulicht, die eine
Draufsicht auf die Betätigungseinheit 321 ist, in
dem Tintenstrahlkopf gemäß dieser
Ausführungsform
die Betätigungseinheit 321 das
Profil eines im Wesentlichen regelmäßigen Sechsecks. Jeder von sechs
geraden Abschnitten (Seiten) L1 bis L6, die in diesem Profil enthalten
sind, ist mit einem benachbarten geraden Abschnitt L mit etwa 120° verbunden. Weil
keine der sechs Ecken (Abschnitte aller benachbarten geraden Abschnitte
L, die einander kreuzen) θ1
bis θ6
einen spitzen Winkel hat, können
sie dank dessen nur schwer abgebrochen werden. Darum kann die Betätigungseinheit 321 als
ein teures Präzisionsbauteil
nicht so ohne Weiteres mitten im Herstellungsprozess kaputt gehen.
Das kann zur Senkung der Herstellungskosten beitragen.
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Der
obige Effekt wird nicht nur dann erreicht, wenn eine oder mehrere
der Ecken θ1
bis θ6
mit 120° ausgebildet
werden. Wenn eine Ecke θn
mit 90° oder mehr
ausgebildet wird, so kann die Ecke θn nur schwer abgebrochen werden.
Um also zu bewirken, dass eine oder mehrere der sechs Ecken θ1 bis θ6 nur schwer
abzubrechen sind, genügt
es, dass ein oder mehrere der sechs geraden Abschnitte L1 bis L6
im rechten Winkel oder in einem stumpfen Winkel mit einem benachbarten
geraden Abschnitt L verbunden werden (der Mindestwert der Winkel θ1 bis θ6 an den
Kreuzungsabschnitten ist 90° oder
mehr). Das hexagonale Profil kann beliebig verändert werden, solange die obige
Bedingung erfüllt
ist. 28B veranschaulicht eine Betätigungseinheit 355 als
ein Beispiel, bei dem die obige Bedingung erfüllt ist.
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Des
Weiteren kann diese Ausführungsform auch
die gleichen Vorteile erbringen wie im Fall der oben beschriebenen.
Genauer gesagt, weil die vier Betätigungseinheiten 321 in
der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 304 angeordnet sind, kann selbst im
Fall einer langen Durchgangseinheit 304 eine hohe Genauigkeit
bei der Positionierung der Betätigungseinheiten 321 an
der Durchgangseinheit 304 erreicht werden. Darum können gute
Tintenausspritzergebnisse erreicht werden, und der Produktionsertrag
der Tintenstrahlköpfe 301 kann
deutlich gesteigert werden. Indem die piezoelektrischen Lagen 341 bis 343 zwischen
den gemeinsamen Elektroden 334a und 334b und den
einzelnen Elektroden 335a und 335b angeordnet
werden, kann außerdem
das Volumen jeder Druckkammer 310 problemlos durch den
piezoelektrischen Effekt verändert
werden. Des Weiteren können
die piezoelektrischen Lagen 341 bis 343, die aktive
Schichten enthalten, auf einfache Weise hergestellt werden, weil
sie kontinuierliche flache Schichten sind. Weil des Weiteren eine
Betätigungseinheit 321 mit
einem unimorphen Aufbau bereitgestellt wird, bei dem die piezoelektrischen
Lagen 344 und 345 nahe jeder Druckkammer 310 inaktiv sind
und die piezoelektrischen Lagen 341 bis 343, die von
jeder Druckkammer 310 entfernt liegen, Schichten sind,
die aktive Schichten enthal ten, kann die Änderung des Volumens jeder
Druckkammer 310 durch den transversalen piezoelektrischen
Effekt verstärkt werden,
und es kann eine Senkung der an die einzelnen Elektroden 335a und 335b anzulegenden
Spannung und/oder eine hohe Integration der Druckkammern 310 angestrebt
werden. Des Weiteren können in
der Durchgangseinheit 304 – weil eine große Anzahl
von Druckkammern 310 nebeneinander in einer Matrix angeordnet
sind – die
vielen Druckkammern 310 mit einer hohen Dichte innerhalb
einer relativ geringen Größe angeordnet
werden.
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In
der vorliegenden Erfindung ist das Profil jeder Betätigungseinheit
nicht auf ein Hexagon beschränkt.
Das heißt,
die Anzahl gerader Abschnitte L braucht nicht sechs zu sein, sondern
kann auch fünf, sieben,
acht oder mehr sein. Im Weiteren werden Modifizierungen des Profils
jeder Betätigungseinheit anhand
der 28 bis 30 beschrieben.
Bei den unten beschriebenen Modifizierungen werden die gleichen
Komponenten wie bei der oben beschriebenen dritten Ausführungsform
jeweils mit den gleichen Bezugszahlen wie bei der dritten Ausführungsform
bezeichnet.
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29A ist eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, bei
dem jede Betätigungseinheit
in einer heptagonalen Form ausgebildet. 29B ist
eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 29A enthalten ist. Wie aus den 29A und 29B zu
ersehen ist, sind in dieser Modifizierung die Komponenten des Kopfhauptkörpers 361 mit
Ausnahme der Betätigungseinheiten 362 (in 29A sind sie von rechts nach links mit dem Bezugszahlen 362a, 362b, 362c bzw. 362d bezeichnet)
wie jene des Kopfhauptkörpers 301 der Ausführungsform
aufgebaut.
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Wenden
wir uns 29B zu. Jede Betätigungseinheit 362 hat
ihr Profil, wobei eine Ecke eines Hexagons gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform
entlang einer geraden Linie abgeschnitten wurde. Infolge dessen
ist die Anzahl gerader Abschnitte L sieben (L8 bis L14), und was
die Winkel jeder Ecke anbelangt, so sind die Winkel θ8 bis θ12 etwa
120°, und
die Winkel θ13
und θ14
sind etwa 150°.
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30A ist eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, bei
dem jede Betätigungseinheit
in einer oktagonalen Form ausgebildet ist. 30B ist
eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 30A enthalten ist. Wie aus den 30A und 30B zu
ersehen ist, sind in dieser Modifizierung die Komponenten des Kopfhauptkörpers 371 mit
Ausnahme der Betätigungseinheiten 372 (in
der 30A sind sie von rechts nach
links durch die Bezugszahlen 372a, 372b, 372c bzw. 372d bezeichnet)
wie jene des Kopfhauptkörpers 301 der Ausführungsform
aufgebaut.
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Wenden
wir uns 303 zu. Jede Betätigungseinheit 372 hat
ihr Profil, bei dem zwei Ecken eines Hexagons gemäß der oben
beschriebenen Ausführungsform
entlang gerader Linien abgeschnitten wurde. Infolge dessen ist die
Anzahl gerader Abschnitte L acht (L15 bis L22), und was die Winkel
jeder Ecke anbelangt, sind die Winkel θ15, θ16, θ19 und θ20 etwa 120°, und die Winkel θ17, θ18, θ21 und θ22 sind
etwa 150°.
Bei den oben beschriebenen zwei Modifizierungen lässt sich
die Ecke schwerer abbrechen als im Fall der oben beschriebenen hexagonalen
Betätigungseinheit 321,
weil der Winkel jeder Ecke jedes abgeschnittenen Abschnitts 150° beträgt, was
größer ist
als bei der oben beschriebenen hexagonalen Betätigungseinheit 321.
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31A ist eine Draufsicht auf einen Kopfhauptkörper, bei
dem zwei Verbindungsabschnitte benachbarter gerader Abschnitte L
in der Betätigungseinheit
der oben beschriebenen Ausführungsform
als gerundete Abschnitte F ausgebildet sind. 31B ist
eine Draufsicht auf eine Betätigungseinheit,
die in dem Kopfhauptkörper
von 31A enthalten ist. Wie aus den 31A und 31B zu
ersehen ist, sind bei dieser Modifizierung die Komponenten des Kopfhauptkör pers 381 mit
Ausnahme der Betätigungseinheiten 382 (in 31A sind sie von rechts nach links durch die Bezugszahlen 382a, 382b, 382c bzw. 382d bezeichnet)
wie jene des Kopfhauptkörpers 301 des
Referenzbeispieles aufgebaut.
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Wenden
wir uns 31B zu. Jede Betätigungseinheit 382 hat
sechs gerade Abschnitte L23 bis L28. Zwei Verbindungsabschnitte
benachbarter gerader Abschnitte L (L23 und L28 sowie L25 und L26)
in der Betätigungseinheit 382 sind
als gerundete Abschnitte F ausgebildet, wo benachbarte gerade Abschnitte
L glatt miteinander verbunden sind. Jeder gerundete Abschnitt F
lässt sich
nur sehr schwer abbrechen. Des Weiteren ist in diesem Fall der Winkel zwischen
allen benachbarten geraden Abschnitten L, einschließlich zweier
gerader Abschnitte auf beiden Seiten jedes gerundeten Abschnitts
F (θ23
bis θ27), größer als
90° (etwa
120°).
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Als
nächstes
wird ein anderes Beispiel nützlich
zum Verständnis
der vorliegenden Erfindung anhand von 32 beschrieben.
Bei dem Tintenstrahlkopf und dem Tintenstrahldrucker gemäß dieses
Beispieles wird – weil
die Teile mit Ausnahme des Kopfhauptkörpers denen der oben beschriebenen ähneln – hier auf
ihre detaillierte Beschreibung verzichtet.
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Ein
Kopfhauptkörper 401,
wie in 32 veranschaulicht, enthält eine
Durchgangseinheit 404, bei der eine große Anzahl von Druckkammern
und eine große
Anzahl von Tintenausspritzöffnungen
wie bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ausgebildet sind.
Zwei parallelogrammförmige
Betätigungseinheiten 421 (in 32 sind
die rechte und die linke durch die Bezugszahlen 421a bzw. 421b bezeichnet)
sind nebeneinander auf die Oberseite der Durchgangseinheit 404 gebondet.
Jede Betätigungseinheit 421 ist
so angeordnet, dass sich ihre eine Seite B in der Längsrichtung
des Kopfhauptkörpers 401 erstreckt.
Die benachbarten Betätigungseinheiten 421 sind
so angeordnet, dass sie in der seitli chen Richtung des Kopfhauptkörpers 401 aufeinander ausgerichtet
sind, wobei ihre schrägen
Seiten C nahe beieinander liegen. Zwei Betätigungseinheiten 421 überlappen
einander teilweise in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 404.
Eine Tintenzufuhröffnung 402 ist
in der Oberseite der Durchgangseinheit 404 offen. Die Tintenzufuhröffnung 402 ist über einen
nicht-veranschaulichten Durchgang mit einer Tintenzufuhrquelle verbunden.
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Auf
die Oberseite jeder Betätigungseinheit 421 ist
eine FGS 436 gebondet, um elektrische Signale an die einzelnen
und die gemeinsamen Elektroden in der Betätigungseinheit 421 anzulegen.
Auf jede FGS 436 ist ein Ansteuerungs-IC 432 gebondet, der
als eine Treiberschaltung zum Erzeugen von Ansteuerungssignalen
dient, die an die einzelnen Elektroden in der entsprechenden Betätigungseinheit 421 angelegt
werden. Jede FGS 436 ist elektrisch mit einer Steuereinheit 440 verbunden,
die eine CPU, einen RAM und einen ROM enthält. Die Steuereinheit 440 speist
Druckdaten in jeden Ansteuerungs-IC 432 ein. Jeder Ansteuerungs-IC 432 erzeugt
auf der Grundlage der Druckdaten Ansteuerungssignale für einzelne
Elektroden.
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In
jeder Betätigungseinheit 421 befinden
sich zwei Bereiche P21 und P22. Von diesen hat der Basisbereich
P21 eine parallelogrammartige Form, und seine Seiten verlaufen parallel
zu den jeweiligen Seiten der entsprechenden Betätigungseinheit 421.
Die Breite des Basisbereichs P21 ist etwas kürzer als die Seite B der Betätigungseinheit 421,
und seine Länge misst
etwa ¾ der
Seite C der Betätigungseinheit 421. In 32 ist
der Basisbereich P21 in einem oberen Abschnitt der Betätigungseinheit 421 angeordnet. Der
zusätzliche
Bereich P22 hat eine parallelogrammartige Form, und seine Seiten
verlaufen parallel zu den jeweiligen Seiten der entsprechenden Betätigungseinheit 421.
Der zusätzliche
Bereich P22 hat die gleiche Breite wie der Basisbereich P21 und
ist auf der unteren Seite des Basisbereichs P21 angeordnet. Der zusätzliche
Bereich P22 ist in zwei Teilbereiche P22a und P22b unterteilt, von
denen jeder eine parallelogrammartige Form aufweist, deren Seiten
parallel zu den jeweiligen Seiten der Betätigungseinheit 421 verlaufen.
Die Breite des Teilbereichs P22a misst etwa 1/5 der Seite B der
Betätigungseinheit 421,
und seine Länge
misst etwa 1/5 der Seite C der Betätigungseinheit 421.
In 32 befindet sich der Teilbereich P22a in unmittelbarer
Nähe des
unteren linken spitzwinkligen Abschnitts der Betätigungseinheit 421.
Die Breite des Teilbereichs P22b misst etwa 3/5 der Seite B der
Betätigungseinheit 421,
und seine Länge
misst etwa 1/5 der Seite C der Betätigungseinheit 421.
In 32 befindet sich der Teilbereich P22b auf der
unteren Seite des Basisbereichs P21 und auf der rechten Seite des
Teilbereichs P22a.
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In
jedem des Basisbereichs P21 und der Teilbereiche P22a und P22b des
zusätzlichen
Bereichs P22 sind eine große
Anzahl von Druckerzeugungsabschnitten nebeneinander in einer Matrix
in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 404 und entlang der Seite C des Parallelogramms
angeordnet. Druckkammern und Tintendurchgänge, die Düsen enthalten, sind in der
Durchgangseinheit 404 entsprechend den jeweiligen Druckerzeugungsabschnitten
ausgebildet.
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Wenn
die zwei Betätigungseinheiten 421a und 421b,
die wie oben beschrieben aufgebaut sind, in einer Reihe in der Längsrichtung
der Durchgangseinheit 404 angeordnet werden, wie in 32 veranschaulicht,
so wird ein Bereich (schraffierter Bereich G in 32),
wo keine Druckerzeugungsabschnitte vorhanden sind, nahe dem Nahtabschnitt
zwischen den Betätigungseinheiten 421a und 421b ausgebildet.
Wenn die einzigen Druckerzeugungsabschnitte in dem Basisbereich
P11 berücksichtigt
werden, so ist die Anzahl der Druckerzeugungsabschnitte in der seitlichen
Richtung der Durchgangseinheit 404 in der unmittelbaren
Umgebung des Nahtabschnitts kleiner als in dem Abschnitt, der nicht
die unmittelbare Umgebung des Nahtabschnitts bildet.
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Wenn
also in diesem Beispiel das Merkmal genutzt wird, dass der Teilbereich
P22a des zusätzlichen
Bereichs P22, der sich auf der unteren Seite des Basisbereichs P21
befindet, so angeordnet ist, dass er dem Bereich G entspricht, wo
keine Druckerzeugungsabschnitte vorhanden sind, nahe dem Nahtabschnitt
und in der seitlichen Richtung der Durchgangseinheit 404,
so steuert die Steuereinheit 440 jeden Ansteuerungs-IC 432 beim
Drucken so, dass Druckerzeugungsabschnitte in dem Basisbereich P21
und in dem Teilbereich P22a des zusätzlichen Bereichs P22 angesteuert
werden und keine Druckerzeugungsabschnitte in dem Teilbereich P22b des
zusätzlichen
Bereichs P22 angesteuert werden. Dadurch ist – weil die Druckerzeugungsabschnitte
in der Betätigungseinheit 421 in
einem Bereich mit im Wesentlichen der gleichen Form wie in der Betätigungseinheit 221 von 18 angeordnet
sind – die Anzahl
der Druckerzeugungsabschnitte in der Durchgangseinheit 404 in
der unmittelbaren Umgebung des Nahtabschnitts die gleiche wie in
dem anderen Abschnitt. Das heißt,
weil die Druckerzeugungsabschnitte des Teilbereichs P22a des zusätzlichen
Bereichs P22 so angeordnet sind, dass sie dem Lückenabschnitt zwischen den
Druckerzeugungsabschnitten des Basisbereichs P21, der sich in einer
Betätigungseinheit 421a befindet,
und den Druckerzeugungsabschnitten des Basisbereichs P21, der sich
in der benachbarten Betätigungseinheit 421b befindet, entsprechen,
kann der Kopfhauptkörper 401 mit
der Fähigkeit
ausgestattet werden, über
die gesamte Längsrichtung
der Durchgangseinheit unterbrechungsfrei zu drucken, ohne eine weitere
Betätigungseinheit
zum Ausspritzen von Tinte durch den Lückenabschnitt hindurch bereitstellen
zu müssen. Weil
des Weiteren der Druckerzeugungsabschnittsbildungsbereich in jeder
Betätigungseinheit 421 eine ähnliche
Form hat wie die Betätigungseinheit 421, kann
es kaum zu Problem des Verziehens, Verbiegens oder dergleichen der
Betätigungseinheit 421 kommen.
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Wie
aus der obigen Beschreibung hervorgeht, brauchen in diesem Beispiel
keine Tintendurchgänge
in dem Abschnitt der Durchgangseinheit 404, der dem Teilbereich
P22b des zusätzlichen
Bereichs P22 entspricht, vorhanden zu sein.
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Die
Materialien jeder piezoelektrischen Lage und jeder Elektrode sind
nicht auf die oben beschriebenen beschränkt. Sie können gegen andere bekannte
Materialien ausgetauscht werden. Die in Draufsicht- und Schnittansichten
dargestellten Formen jeder Druckkammer, die Anordnung der Druckkammern,
die Anzahl der piezoelektrischen Lagen, die aktive Schichten enthalten,
die Anzahl der inaktiven Schichten usw. können der Zweckmäßigkeit
entsprechend geändert
werden. Jede piezoelektrische Lage, die aktive Schichten enthält, kann
eine andere Dicke haben als jede inaktive Schicht.
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Des
Weiteren ist jede Betätigungseinheit
so aufgebaut, dass einzelne und gemeinsame Elektroden auf einer
piezoelektrischen Lage angeordnet sind. Aber eine solche Betätigungseinheit
braucht nicht immer an die Durchgangseinheit gebondet zu sein. Es
kann auch jede andere Betätigungseinheit verwendet
werden, wenn sie die Volumen der jeweiligen Druckkammern separat ändern kann.
Des Weiteren sind Druckkammern in einer Matrix angeordnet. Aber
die Druckkammern können
auch in einer oder mehreren Reihen angeordnet sein. Und obgleich
in der oben beschriebenen Ausführungsform
jede inaktive Schicht aus einer piezoelektrischen Lage besteht,
kann die inaktive Schicht auch aus einer isolierenden Lage bestehen,
bei der es sich um keine piezoelektrische Lage handelt.