DE60122837T2

DE60122837T2 - Mit Antireflexionsfilmen ausgestattetes Substrat und dessen Herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE60122837T2
Application number: DE60122837T
Authority: DE
Inventors: Yoshihito Yokohama-shi Katayama; Yukio Aiko-gun Kimura; Mikako Yokohama-shi Maekawa; Eiji Yokohama-shi Shidoji; Kazuyoshi Aiko-gun NODA
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2000-07-27
Filing date: 2001-07-24
Publication date: 2007-09-06
Anticipated expiration: 2021-07-25
Also published as: EP1176434A1; US20020051294A1; DE60122837D1; US6570709B2; EP1176434B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, die verhindern, dass der Reflexionsfarbton bläulich wird, selbst wenn der Einfallswinkel klein ist, weshalb es zweckmäßig für ein Fenster einer Transportvorrichtung, wie z.B. als Windschutzscheibe eines Automobils bzw. Kraftfahrzeugs verwendet wird, und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Da herkömmlich das Reflexionsvermögen von sichtbarem Licht (nachstehend manchmal einfach als Reflexionsvermögen bezeichnet) von der Filmoberflächenseite (Innenseite) einer Windschutzscheibe eines Automobils hoch ist, wurde der Farbton z.B. des Innenraums auf einen Farbton auf der Basis eines dunklen Farbtons (wie z.B. schwarz) beschränkt, um die Reflexion des Armaturenbretts und von dessen Umgebung zu unterdrücken und das Sichtvermögen des Fahrers zu erhöhen. Dies hat die Farbe des Automobilinnenraums und das Design eines Automobils signifikant beschränkt.
Es war auch erwünscht, die Reflexion auf einer Heckscheibe eines Automobils zu unterdrücken, obwohl kein Problem bezüglich des Sichtvermögens des Fahrers besteht.
In den vergangenen Jahren besteht eine Tendenz dahingehend, dass der Einbauwinkel einer Windschutzscheibe und einer Heckscheibe im Hinblick auf die Gestaltung des Aussehens spitz ist und demgemäß besteht eine Tendenz dahingehend, dass das Problem der Reflexion auf der Innenoberfläche signifikanter wird.
Demgemäß war es erforderlich, das Reflexionsvermögen auf der Innenoberfläche z.B. einer Windschutzscheibe zu vermindern und den zulässigen Bereich der Innenraumgestaltung zu vergrößern.
Als ein Verfahren zur Erfüllung solcher Anforderungen ist es bekannt, auf der Oberfläche z.B. einer Windschutzscheibe einen Antireflexionsfilm zu bilden. Beispielsweise wurden die folgenden Verfahren vorgeschlagen, wie z.B. 1) ein Verfahren des Bildens eines transparenten Mehrschicht-Antireflexionsfilms (JP-A-4-357134, JP-A-4-357135, JP-A-6-305775, JP-A-8-152501) und 2) ein Verfahren des Bildens eines transparenten Einschicht-Antireflexionsfilms.
US-A-5,935,716 beschreibt einen Antireflexions-Glasgegenstand, der ein Glassubstrat und eine erste und eine zweite pyrolytische Beschichtung aus einem Metalloxid umfasst. US-A-5,744,227 beschreibt einen dauerbeständigen Körper mit Antireflexionseigenschaften, der ein Polymersubstrat, eine Hartbeschichtungsschicht, eine Mehrschicht-Antireflexionsbeschichtung und eine schmierende Schicht umfasst. WO 00/33110 beschreibt einen Antireflexionsfilm für ein Fenster einer Transportvorrichtung, der einen Licht-absorbierenden Film umfasst, der im Wesentlichen aus einem Nitrid und einem Oxid besteht.
Andererseits ist es erforderlich, dass eine Windschutzscheibe oder eine Heckscheibe eines Automobils das direkte Sonnenstrahlungslicht im Hinblick auf die Temperatur im Automobil so stark wie möglich abschirmt, und gegenwärtig wird vorwiegend ein wärmeabsorbierendes Glas des grünen Typs verwendet. Demgemäß ist es bevorzugt, dass eine Windschutzscheibe im Hinblick auf die Gestaltung des Aussehens eines Automobils auch achromatisch oder grün ist.
Bei dem transparenten Film, der durch das vorstehend genannte Verfahren 1) oder 2) erhalten wird, neigt jedoch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel von sichtbarem Licht klein ist, wie z.B. in einem Fall von 0° bis 30°, der Reflexionsfarbton dazu, bläulich zu sein, und die vorstehend genannten Anforderungen können mit einem solchen Film nicht erfüllt werden.
Ferner besteht das Verfahren 1) darin, einen bekannten Mehrschicht-Antireflexionsfilm durch ein Nassverfahren zu bilden. In einem Fall der Bildung von drei Schichten ist die Gesamtfilmdicke groß und hat einen Wert von mindestens etwa 250 nm und die Herstellungskosten sind hoch.
In dem Verfahren 2) kann im Fall der Vakuumabscheidung MgF₂ aufgebracht werden. Es ist jedoch erforderlich, einen Film auf einem heißen Substrat zu bilden, um zu bewirken, dass MgF₂ eine angemessene Festigkeit aufweist, und die Stabilität der Filmdickenverteilung, die für die Abscheidung charakteristisch ist, ist unzureichend, was bezüglich der Produktivität problematisch ist.
Andererseits wurde ein neuer Typ von Mehrschicht-Antireflexionsfilm vorgeschlagen, der einen lichtabsorbierenden Film als einen Bestandteil umfasst (JP-A-64-70701, US-Patent 5,091,244). Wenn dieser Mehrschicht-Antireflexionsfilm jedoch direkt auf eine Windschutzscheibe eines Automobils aufgebracht wird, wird in einem Fall keine angemessene Antireflexionsleistung erhalten, bei dem der Einfallswinkel groß ist, oder der Reflexionsfarbton neigt dazu, gelblich oder rötlich zu sein.
Ferner absorbiert ein Antireflexionsfilm, der den vorstehend genannten lichtabsorbierenden Film umfasst, Licht, wodurch eine Tendenz dahingehend besteht, dass die Durchlässigkeit gering ist. Ein wärmeabsorbierendes Glas des grünen Typs, das gegenwärtig im Allgemeinen für ein Glas für ein Automobil verwendet wird, neigt dazu, die Durchlässigkeit im Bereich des sichtbaren Lichts geringfügig zu vermindern. Demgemäß wird dann, wenn ein lichtabsorbierender Film und ein wärmeabsorbierendes Glas kombiniert werden, die Durchlässigkeit sehr niedrig sein, und die Kombination kann gemäß den Vorschriften bezüglich der Durchlässigkeit einer Windschutzscheibe eines Automobils in jedem Land beschränkt sein.
Die Herstellung einer Windschutzscheibe eines Automobils umfasst am meisten bevorzugt das Beschichten eines Flachglassubstrats, worauf geschnitten, gebogen und laminiert wird. Kein herkömmlicher Antireflexionsfilm weist jedoch eine Hochtemperaturverarbeitungsbeständigkeit gegen eine hohe Temperatur von 560 bis 700°C während eines Biegeschritts bei der Herstellung einer Windschutzscheibe eines Automobils auf. Wenn beispielsweise Zinnoxid für einen Antireflexionsfilm als ein Material mit einem mäßigen Brechungsindex verwendet wird, ändern sich der Brechungsindex und andere optische Leistungen aufgrund der Kristallinität bei einer hohen Temperatur und Risse oder ein Ablösen können bzw. kann auf einem Film aufgrund einer Volumenänderung resultieren. Insbesondere weist von Gläsern mit einem transparenten Mehrschicht-Antireflexionsfilm, die gemäß dem vorstehenden Punkt (1) erhalten worden sind, ein Glas mit mindestens drei Antireflexionsfilmschichten eine Gesamtfilmdicke von mindestens etwa 250 nm auf und ist somit dick, und demgemäß kann der Film während eines Hochtemperaturbiegeschritts Risse aufweisen und es ist unmöglich, einen solchen Film mit dem vorstehend genannten Schritt zu bilden.
Ferner ist ein herkömmlicher Antireflexionsfilm keinesfalls gegen eine Wärmebehandlung zum Tempern beständig.
Unter diesen Umständen ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat bereitzustellen, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein hervorragendes Antireflexionsvermögen für Licht aufweist, das von der Filmoberflächenseite her in einem schiefen Winkel einfällt, das eine hohe Durchlässigkeit aufweist, und durch das der Reflexionsfarbton nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel von sichtbarem Licht von der nicht-Filmoberflächenseite her groß ist, sondern auch in einem Fall; bei dem er klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein, und das eine hervorragende Wärmebeständigkeit aufweist.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens zur einfachen Herstellung eines wärmebiegbaren oder wärmetemperbaren Glassubstrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, auf das Biegen oder Tempern angewendet wurde, welches ein hervorragendes Antireflexionsvermögen für Licht aufweist, das von der Filmoberflächenseite her in einem schiefen Winkel einfällt, das eine hohe Durchlässigkeit aufweist, und durch das der Reflexionsfarbton nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel von sichtbarem Licht von der nicht-Filmoberflächenseite her groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem er klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Glases für ein Automobil, das ein hervorragendes Antireflexionsvermögen für Licht aufweist, das von der Filmoberflächenseite her in einem schiefen Winkel einfällt, das eine hohe Durchlässigkeit aufweist, und durch das der Reflexionsfarbton nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel von sichtbarem Licht von der nicht-Filmoberflächenseite her groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem er klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein.
Die vorliegende Erfindung stellt (1) ein wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat bereit, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein transparentes Substrat und erste und zweite Antireflexionsfilmschichten umfasst, welche in dieser Reihenfolge auf einer Seite des transparenten Substrats abgeschieden (aufgebracht) sind, wobei die erste Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,6 bis 2,6 und einer geometrischen Filmdicke (nachstehend manchmal einfach als „Filmdicke" bezeichnet) von dem 1,1-bis 1,9-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten, und die zweite Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer Filmdicke von dem 0,5- bis 1,1-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten: d = λ/[4n{1 – (sinθ/n)2}1/2]wobei d eine Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung jeder Schicht ist, n ein Brechungsindex jeder Schicht, λ = 550 nm und θ = 60° ist, wobei die erste Schicht ein dünner Film ist, welcher aus einem Oxynitrid von Zinn besteht.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (2) das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß dem vorstehenden Punkt (1) bereit, wobei die erste Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,6 bis 2,6 und einer Filmdicke von 60 bis 200 nm ist, und die zweite Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer Filmdicke von 50 bis 140 nm ist.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (3) das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß einem der vorstehenden Gegenstände (1) oder (2) bereit, wobei der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm der ersten Schicht 0 at-% übersteigt und weniger als 4,0 at-% ist.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (4) das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß einem der vorstehenden Gegenstände (1) bis (3) bereit, wobei die zweite Schicht ein dünner Film ist, welcher ein Oxid von Silizium enthält.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (5) ein wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, bereit, wobei die erste Schicht eine geometrische Filmdicke von 104 bis 124 nm aufweist und die zweite Schicht ein Siliziumoxidfilm mit einer geometrischen Filmdicke von 85 bis 105 nm ist.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (6) das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß einem der vorstehenden Gegenstände (1) bis (5) bereit, wobei jede Schicht einen Extinktionskoeffizienten von höchstens 0,05 in dem sichtbaren Lichtbereich aufweist.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (7) ein Verfahren zum Herstellen eines Substrats bereit, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches das Unterwerfen des wärmebiegbaren oder wärmetemperbaren Glassubstrats, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß der Definition in einem der vorstehenden Punkte (1) bis (6), einer Wärmebehandlung umfasst, um das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat herzustellen, auf das Biegen oder Tempern angewendet wurde.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (8) ein Verfahren zum Herstellen eines laminierten Glases bereit, welches das Unterwerfen des transparenten wärmebiegbaren oder wärmetemperbaren Glassubstrats, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß der Definition in einem der vorstehenden Punkte (1) bis (6), wobei das transparente Substrat Glas ist, einem Biegen in eine dreidimensional gebogene Form durch eine Wärmebehandlung und Laminieren des Glassubstrats, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, und Biegen unterworfen worden ist, und eines anderen Glassubstrats mit annähernd der gleichen Form durch einen Zwischenfilm, umfasst.
Die vorliegende Erfindung stellt ferner (9) ein Fensterglas für ein Automobil bereit, weiches das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß der Definition in einem der vorstehenden Punkte (1) bis (6) verwendet.
Nachstehend wird die vorliegende Erfindung detailliert unter Bezugnahme auf die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben.
In den beigefügten Zeichnungen ist
1 ein Diagramm, welches das Reflexionsvermögen von Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° auf die Filmoberflächenseite einfällt, auf der Filmoberfläche erläutert,
2 eine schematische Querschnittsansicht, die ein Beispiel des Substrats veranschaulicht, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist,
3 eine schematische Querschnittsansicht, die ein Beispiel des laminierten Glases veranschaulicht, bei dem das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat eingesetzt wird,
4 eine schematische Querschnittsansicht, die ein Beispiel des erfindungsgemäßen Substrats veranschaulicht, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist,
5 eine schematische Querschnittsansicht, die ein Beispiel eines laminierten Glases veranschaulicht, bei dem das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete, erfindungsgemäße Substrat eingesetzt wird,
6 ein Diagramm, das spektrale Kurven des Reflexionsvermögens bezüglich sichtbarem Licht veranschaulicht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, welches auf der Antireflexionsfilmoberfläche reflektiert wird,
7 ein Diagramm, das spektrale Kurven des Reflexionsvermögens bezüglich sichtbarem Licht veranschaulicht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, welches auf der Antireflexionsfilmoberfläche reflektiert wird,
8 ein Diagramm, das spektrale Kurven des Reflexionsvermögens bezüglich sichtbarem Licht veranschaulicht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, welches auf der Antireflexionsfilmoberfläche reflektiert wird,
9 ein Diagramm, das spektrale Kurven des Reflexionsvermögens bezüglich sichtbarem Licht veranschaulicht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, welches auf der Antireflexionsfilmoberfläche reflektiert wird,
10 ein Diagramm, das den Reflexionsfarbton (x, y) bezüglich sichtbarem Licht veranschaulicht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der nicht-Filmoberflächenseite her einfällt, welches auf beiden Seiten reflektiert wird (einschließlich der Reflexion auf der Antireflexionsfilmoberflächenseite),
11 ein Diagramm, welches bei einem schiefen Winkel auf der Filmoberflächenseite einfallendes Licht erläutert.
Nachstehend wird das transparente Substrat, das in jedem Aspekt der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird, erläutert.
Das transparente Substrat, das in der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden soll, ist nicht speziell auf ein transparentes und farbloses Material beschränkt, und es kann auch ein gefärbtes Material eingesetzt werden, so lange die Durchlässigkeit so niedrig ist, dass das Ziel der vorliegenden Erfindung nicht beeinträchtigt wird. Beispielsweise kann Glas oder ein Kunststoff genannt werden.
Das Glas ist nicht speziell beschränkt und ein transparentes oder gefärbtes Floatglas (ein Glas, das mit einem Floatverfahren hergestellt worden ist) oder ein gefärbtes wärmeabsorbierendes Glas kann z.B. genannt werden. Insbesondere in einem Fall, bei dem die vorliegende Erfindung auf ein Glas für ein Automobil angewandt wird, ist es bevorzugt, im Hinblick auf die Verminderung der direkten Sonnenstrahlungsenergie ein wärmeabsorbierendes Glas zu verwenden. Ferner kann auch ein getempertes Glas verwendet werden.
Als Kunststoff kann z.B. ein transparentes oder gefärbtes Polycarbonat oder Polymethylmethacrylat genannt werden.
Das transparente Substrat, das in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann ein Laminat aus einem ersten transparenten Substrat, einem Zwischenfilm und einem zweiten transparenten Substrat sein. Als erstes und zweites transparentes Substrat können die vorstehend genannten transparenten Substrate gegebenenfalls kombiniert werden. Als Zwischenfilm kann z.B. ein transparentes oder gefärbtes Polyvinylbutyral oder Ethylenvinylacetat genannt werden. Das Laminat, das in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann jedwede optionale Kombination sein. Beispielsweise kann ein laminiertes Glas genannt werden, bei dem Glas als erstes und zweites transparentes Substrat und Polyvinylbutyral als Zwischenfilm verwendet werden. Spezielle Beispiele eines bevorzugten Laminats umfassen ein laminiertes Glas, bei dem jedwedes eines wärmeabsorbierenden Glases, eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases und eines Ultraviolett-absorbierenden Glases als jedes des ersten und des zweiten transparenten Substrats und Polyvinylbutyral als Zwischenfilm verwendet werden. Besonders bevorzugt ist ein laminiertes Glas, bei dem ein sehr gut wärmeabsorbierendes Glas als jedes des ersten und des zweiten transparenten Substrats und Polyvinylbutyral als Zwischenfilm verwendet werden. Wenn ein solches Glas mit einer niedrigen Durchlässigkeit verwendet wird, besteht eine Tendenz dahingehend, dass das Reflexionsvermögen von Licht, das von der Filmoberfläche einfällt, auf der nicht-Filmoberflächenseite abnimmt. Ein solches Glas wird zweckmäßig für ein Fenster einer Transportvorrichtung (wie z.B. ein Fenster eines Fahrzeugs) oder eine Abdeckung für ein Anzeigeinstrument verwendet. Es ist besonders für ein Fensterglas (insbesondere eine Windschutzscheibe oder eine Heckscheibe) eines Automobils geeignet.
Das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, kann mit einem funktionellen Film, wie z.B. einem Antireflexionsfilm, auf der Seite gegenüber der Seite, auf der die Antireflexionsfilme ausgebildet sind, ausgestattet werden.
Das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, ist ein Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein transparentes Substrat und mindestens zwei Antireflexionsfilmschichten umfasst, die auf einer Seite des transparenten Substrats abgeschieden (aufgebracht) sind, wobei das Reflexionsvermögen von Licht, das mit einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, auf der Filmoberfläche höchstens 6 % bei dem gesamten Wellenlängenbereich von 400 bis 480 nm beträgt.
Die Anzahl von Schichten des Antireflexionsfilms ist nicht speziell beschränkt, so lange sie mindestens zwei beträgt, jedoch beträgt die Anzahl der Schichten vorzugsweise zwei oder drei.
In der vorliegenden Erfindung ist das Reflexionsvermögen von Licht, das von der Filmoberflächenseite her einfällt, auf der Filmoberfläche das Verhältnis des reflektierten Lichts, das auf der Filmoberfläche reflektiert wird, zu dem einfallenden Licht im Fall von Licht, das von der Filmoberflächenseite des Substrats her einfällt, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist. Demgemäß wird das Reflexionsvermögen auf der Filmoberfläche aus dem reflektierten Licht auf der Filmoberfläche ausschließlich des reflektierten Lichts, das auf der nicht-Filmoberfläche (der Seite, die keine Filme aufweist) reflektiert wird, erhalten.
Insbesondere wird zur Messung der Reflexion nur auf der Antireflexionsfilmoberflächenseite die nicht-Filmoberfläche, die der Antireflexionsfilmoberflächenseite gegenüber liegt, mit einem schwarzen Anstrichmittel beschichtet, und das Reflexionsvermögen bei jeder Wellenlänge wird gemessen.
In der vorliegenden Erfindung wird, wie es in der 1 veranschaulicht ist, das Reflexionsvermögen in einem Fall verwendet, bei dem das reflektierte Licht von Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° einfällt, an einer Position bei einem Reflexionswinkel von 5° empfangen wird.
Gemäß der 1 wird Licht, das von einer Lichtquelle 110 emittiert wird und bei einem Einfallswinkel von 5° zu einer Senkrechten 130 eines Substrats 100, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, einfällt, auf der Filmoberfläche des Substrats 100, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, bei einem Reflexionswinkel von 5° zur Senkrechten 130 reflektiert und erreicht einen Licht-empfangenden Abschnitt 120 und das Reflexionsvermögen wird gemessen.
Das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, weist ein Reflexionsvermögen auf der Filmoberfläche von höchstens 6 % bei dem gesamten Wellenlängenbereich von 400 bis 480 nm auf, erhalten wie vorstehend beschrieben unter Verwendung von Licht, das bei einem Winkel von 5° einfällt, wodurch der Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberflächenseite des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, festgestellt wird, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein, und der Reflexionsfarbton gegebenenfalls neutral sein kann.
In einem Fall, bei dem das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, als Windschutzscheibe eines Automobils verwendet wird, wird es üblicherweise derart verwendet, dass die Filmoberfläche auf die Innenraumseite (Automobilinnenraumseite) gerichtet ist und die nicht-Filmoberfläche auf die Außenseite (Automobilaußenseite) gerichtet ist. Demgemäß ist der Reflexionsfarbton, der im Hinblick auf die Gestaltung des Aus sehens problematisch ist, ein Farbton von reflektiertem Licht, das von der nicht-Filmoberflächenseite her einfällt, auf der nicht-Filmoberfläche und der Filmoberfläche.
Insbesondere spezifiziert die vorliegende Erfindung das Reflexionsvermögen von Licht, das von der Filmoberflächenseite her bei einem spezifischen Einfallswinkel einfällt, bei einem spezifischen Wellenlängenbereich, so dass der problematische Reflexionsfarbton von Licht, das von der nicht-Filmoberflächenseite her einfällt, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein, und der Reflexionsfarbton gegebenenfalls neutral sein kann.
In der vorliegenden Erfindung beträgt das Reflexionsvermögen von Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, auf der Filmoberfläche vorzugsweise höchstens 4 % bei dem gesamten Wellenlängenbereich von 400 bis 480 nm, wodurch es weniger wahrscheinlich ist, dass der Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberflächenseite her festgestellt wird, bläulich ist.
Ferner beträgt der Wellenlängenbereich in der vorliegenden Erfindung als Standard 400 bis 480 nm, jedoch beträgt das Reflexionsvermögen von Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite her einfällt, auf der Filmoberfläche vorzugsweise höchstens 6 %, mehr bevorzugt höchstens 4 % bei dem gesamten Wellenlängenbereich von 400 bis 700 nm, wodurch der von der nicht-Filmoberflächenseite her festgestellte Reflexionsfarbton neutral ist.
Ferner beträgt der Einfallswinkel des einfallenden Lichts in der vorliegenden Erfindung 5°, jedoch liegt das Reflexionsvermögen auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel bei 0° bis 10° liegt, innerhalb des vorstehend genannten Bereichs.
Das wärmebiegbare und wärmetemperbare Glassubstrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung ist ein Substrat, welches ein transparentes Substrat und erste und zweite Antireflexionsfilmschichten umfasst, welche in dieser Reihenfolge auf einer Seite des transparenten Substrats abgeschieden sind, wobei die erste Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,6 bis 2,6 und einer Filmdicke von dem 1,1- bis 1,9-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten, die zweite Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer Filmdicke von dem 0;5- bis 1,1-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten: d = λ/[4n{1 – (sinθ/n)2}1/2]wobei d eine Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung jeder Schicht ist, n ein Brechungsindex jeder Schicht, λ = 550 nm und θ = 60° ist, wobei die erste Schicht ein dünner Film ist, welcher aus einem Oxynitrid von Zinn besteht.
Demgemäß neigt der Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberflächenseite des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, festgestellt wird, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu, bläulich zu sein, und der Reflexionsfarbton kann gegebenenfalls neutral sein.
Das wärmebiegbare und wärmetemperbare Glassubstrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung ist mit zwei Antireflexionsfilmschichten ausgestattet, wobei jede der ersten und der zweiten Schicht einen Brechungsindex innerhalb spezifischer Bereiche aufweist, und jede Schicht eine Filmdicke innerhalb eines spezifischen Bereichs abhängig vom Brechungsindex aufweist, um einen gewünschten Reflexionsfarbton zu erhalten.
Bei einem Winkel θ = 60° handelt es sich bei dem einfallenden Licht um Licht, das in einem schiefen Winkel einfällt.
Die 11 ist ein Diagramm, das bei einem schiefen Winkel einfallendes Licht in der vorliegenden Erfindung erläutert. Wenn der Einbauwinkel einer Glasscheibe für eine Transportvorrichtung α° ist und die Blickrichtung eines Betrachters (Fahrers) in der horizontalen Richtung liegt (der Betrachter blickt auf einen unendlichen Abstand), kreuzen sich die Blickrichtung des Betrachters und die Glasscheibe am Punkt A und der Winkel, der durch die Blickrichtung des Betrachters und die Linie senkrecht zur Tangentenlinie der Glasscheibe am Punkt A gebildet wird, beträgt etwa (90 – α)° (= θ°).
Andererseits wird Innenraumlicht (wie z.B. Licht um das Armaturenbrett 20), das in einem Winkel von etwa θ° am Punkt A einfällt, den Betrachter gemäß den Snell'schen Reflexionsgesetzen erreichen.
Der Einfallswinkel von Licht steht üblicherweise für den Winkel, der durch die Richtung senkrecht zu der Reflexionsebene und die Richtung des einfallenden Lichts gebildet wird. In einem Fall, bei dem der Einbauwinkel der Glasscheibe α° ist, beträgt der Einfallswinkel von Licht von der Filmoberflächenseite (Innenraumseite) etwa θ°. Wenn beispielsweise der Einbauwinkel α 30° beträgt, ist das einfallende Licht von der Filmoberflächenseite Licht, das bei einem Winkel von 60° einfällt.
Nachstehend bezieht sich der „Einfallswinkel" auf den Einfallswinkel von Licht von der Filmoberflächenseite, falls nichts anderes angegeben ist.
Der Brechungsindex ist ein Brechungsindex bei einer Wellenlänge von 550 nm. Materialien der ersten und der zweiten Schicht sind nicht speziell beschränkt, so lange jede Schicht einen Brechungsindex innerhalb des vorstehend angegebenen Bereichs aufweist.
Die Filmdicke jeder der ersten und der zweiten Schicht wird durch eine Beziehung mit der Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung spezifiziert. Dabei wird die Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung allgemein gemäß der folgenden Formel erhalten: d = λ[4n{1 – (sinθ/n}2}1/2]wobei d eine Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung und n ein Brechungsindex ist.
In der vorliegenden Erfindung wird die Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung jeder Schicht aus dem Brechungsindex jeder Schicht bei den Bedingungen von λ = 550 nm und θ = 60° erhalten.
Die erste Schicht weist eine Filmdicke des 1,1- bis 1,9-fachen der Filmdicke als Antireflexionsbedingung der ersten Schicht auf, erhalten gemäß der vorstehenden Formel. Die zweite Schicht weist eine Filmdicke des 0,5- bis 1,1-fachen der Filmdicke als Antireflexionsbedingung der zweiten Schicht auf, erhalten gemäß der vorstehenden Formel.
Insbesondere werden in dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung die Filmdicken auf der Basis der Filmdicken als Antireflexionsbedingungen in einem Fall, bei dem die Wellenlänge 550 nm und der Einfallswinkel 60° betragen, so eingestellt, dass die erste Schicht dicker ist als die vorstehende Filmdicke und die zweite Schicht dünner ist als die vorstehende Filmdicke.
Beispielsweise werden die Filmdicken für eine Windschutzscheibe eines Automobils auf Werte der Filmdicken als Antireflexionsbedingungen, wie sie aus der vorstehend genannten Formel erhalten werden, so eingestellt, dass die Reflexion von Licht, das bei einem Winkel von 60° einfällt, verhindert wird. Im Gegensatz dazu werden in der vorliegenden Erfindung die Filmdicken so eingestellt, dass sie von den vorstehend genannten Filmdicken als Antireflexionsbedingungen abweichen, wobei das Reflexionsvermögen in einem Fall eines Einfallswinkels von 60° geringfügig beeinträchtigt wird, um zu bewirken, dass es sich bei dem Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberfläche sichtbar ist, nicht nur in einem Fall um einen gewünschten Reflexionsfarbton handelt, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist.
In dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind bevorzugte Kombinationen der Brechungsindizes und der Verhältnisse (Vergrößerungen) der Filmdicken bezogen auf die Filmdicken als Antireflexionsbedingungen der ersten und der zweiten Schicht in der Tabelle 1 gezeigt.
Tabelle 1

Von diesen Kombinationen sind besonders bevorzugte Kombinationen in der Tabelle 2 gezeigt.

Tabelle 2
Tabelle 2 (Fortsetzung)
Das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung ist ein Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein transparentes Substrat und erste und zweite Antireflexionsfilmschichten umfasst, die in dieser Reihenfolge auf einer Seite des transparenten Substrats gemäß des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung abgeschieden (aufgebracht) sind, wobei die erste Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 7,6 bis 2,6 und einer Filmdicke von 60 bis 200 nm ist, und die zweite Schicht ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer Filmdicke von 50 bis 140 nm ist.
Demgemäß neigt der Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberflächenseite des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, festgestellt wird, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu, bläulich zu sein, und der Reflexionsfarbton kann gegebenenfalls neutral sein.
Der Brechungsindex ist ein Brechungsindex bei einer Wellenlänge von 550 nm. Materialien der zweiten Schicht sind nicht speziell beschränkt, so lange jede Schicht einen Brechungsindex innerhalb des vorstehend angegebenen Bereichs aufweist.
Das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung ist mit zwei Antireflexionsfilmschichten ausgestattet, wobei jede der ersten und der zweiten Schicht einen Brechungsindex und eine Filmdicke innerhalb eines spezifischen Bereichs aufweist, wodurch ein gewünschter Reflexionsfarbton erhalten werden kann.
In dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind bevorzugte Kombinationen von Brechungsindizes und Filmdicken der ersten und der zweiten Schicht in der Tabelle 3 gezeigt.
Tabelle 3

Von diesen Kombinationen sind besonders bevorzugte Kombinationen in der Tabelle 4 gezeigt.

Tabelle 4
Tabelle 4 (Fortsetzung)
Bezüglich des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung, bei dem die Anzahl der Antireflexionsfilmschichten zwei beträgt, und des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung, sind die Materialien des zweiten Antireflexionsfilms nicht speziell beschränkt. Die zweite Schicht ist im Hinblick auf den Brechungsindex jedoch vorzugsweise ein dünner Film, der ein Oxid von Silizium enthält. Durch die Verwendung solcher Materialien ist nicht nur die Durchlässigkeit hoch, sondern es besteht auch eine Tendenz dahingehend, dass sie die Bedingungen in jedem des ersten und des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung leicht erfüllt.
Ferner ist die zweite Schicht vorzugsweise ein dünner Film, der aus jedwedem von (1) einem Oxid von Silizium, (2) einem Mischoxid von Silizium und Aluminium und (3) einem Oxynitrid von Silizium besteht, wodurch sich die optischen Eigenschaften selbst nach einer Wärmebehandlung nicht wesentlich ändern und die mechanischen Eigenschaften nach der Wärmebehandlung gut sind. Die erste Schicht ist ein dünner Film, der im Hinblick auf die Wärmebeständigkeit während der Wärmebehandlung, wie es nachstehend beschrieben wird, aus einem Oxynitrid von Zinn besteht.
Das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, gemäß des fünften Aspekts der vorliegenden Erfindung ist ein Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein transparentes Substrat und erste und zweite Antireflexionsfilmschichten umfasst, die in dieser Reihenfolge auf einer Seite des transparenten Substrats abgeschieden (aufgebracht) sind, wobei die erste Schicht eine Filmdicke von 104 bis 124 nm aufweist und die zweite Schicht ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 85 bis 105 nm ist.
Demgemäß neigt der Reflexionsfarbton, der von der nicht-Filmoberflächenseite des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, festgestellt wird, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu, bläulich zu sein, und der Reflexionsfarbton kann gegebenenfalls neutral sein.
Ferner besteht durch den vorstehend beschriebenen Filmstapel eine Tendenz dahingehend, dass die Änderung des Volumens des Films selbst dann gering ist, wenn eine Wärmebehandlung durchgeführt wird, dass keine Risse oder ein Ablösen auftreten bzw. auftritt und dass die optischen Eigenschaften aufrechterhalten werden.
Dabei muss die erste Schicht im Wesentlichen ein Zinnoxynitridfilm sein und dieser kann ein weiteres Element als Verunreinigung enthalten. Ferner muss die zweite Schicht im Wesentlichen ein Siliziumoxidfilm sein und dieser kann ein weiteres Element als Verunreinigung enthalten.
Die erste Schicht weist eine Filmdicke vorzugsweise von 109 bis 121 nm auf und die zweite Schicht weist eine Filmdicke vorzugsweise von 90 bis 100 nm auf.
Gemäß des dritten Aspekts der vorliegenden Erfindung übersteigt der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm, der in der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird, im Hinblick auf die Wärmebeständigkeit vorzugsweise 0 at-% und beträgt weniger als 4,0 at-% (besonders bevorzugt übersteigt der Gehalt an Stickstoff 0 at-% und beträgt weniger als 0,9 at-%). Der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm übersteigt nach der Wärmebehandlung vorzugsweise 0 at-% und beträgt weniger als 4,0 at-% (besonders bevorzugt übersteigt der Gehalt an Stickstoff 0 at-% und beträgt weniger als 0,9 at-%). Der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm wird unter Verwendung einer XPS-Messvorrichtung (Quantum 2000, von PHI hergestellt) gemessen. Die Röntgenquelle und die Ladungskalibrierung sind wie folgt: Röntgenquelle: AIK α-Strahlen, die mittels eines Quarzkristalls monochromatisch gemacht werden, Strahldurchmesser: 100 μm, Ausgangsleistung: 15 kV, 20 W Ladungskalibrierung: Elektronenschwarm: 30 eV, Ar⁺-Ionenschwarm: 6 eV Das Messverfahren ist insbesondere wie folgt. Der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm wird ebenfalls in der gleichen Weise gemessen.
Unter Verwendung eines Ar⁺-Ionenstrahls (1 keV, 6,25 mA/cm²) wird ein Rasterabtasten in einer Fläche von 2 mm × 2 mm auf einer Probenoberfläche durchgeführt, um die Fläche zu messen, die einem Spritzätzen der Oberflächenschicht unterzogen worden ist (der Detektionswinkel des Photoelektrons beträgt 45° und die Breite der Wegenergie des Photoelektronenanalysegeräts beträgt 117,4 eV).
Die Peaks von N_1s O_1s und Sn_3d5/2 werden gemessen, um eine Peakfläche zu erhalten, und das Verhältnis der Anzahl von Atomen auf der Oberfläche wird unter Verwendung von relativen Empfindlichkeitskoeffizienten berechnet, um den Gehalt (at-%) an Stickstoff zu erhalten. Die relativen Empfindlichkeitskoeffizienten sind 0,499 bezüglich N_1s, 0,733 bezüglich O_1s bzw. 4,890 bezüglich Sn_3d5/2.
In der vorliegenden Erfindung entspricht ein Fall, bei dem das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung zwei Antireflexionsfilmschichten aufweist, vorzugsweise gleichzeitig dem zweiten Aspekt.
Bezüglich der Substrate, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, gemäß des ersten bis fünften Aspekts der vorliegenden Erfindung weist jede Schicht einen Extinktionskoeffizienten von vorzugsweise höchstens 0,05 im Bereich des sichtbaren Lichts auf.
Dabei wird der Extinktionskoeffizient im Allgemeinen aus der folgenden Formel erhalten: k = (α × λ0)/4π,wobei k der Extinktionskoeffizient, λ₀ die Wellenlänge von einfallendem Licht im Vakuum und α der Absorptionskoeffizient ist.
Wenn jede Schicht einen Extinktionskoeffizienten von höchstens 0,05 aufweist, kann die Durchlässigkeit (Tv) für sichtbares Licht, das bei einem Einfallswinkel von 0° auf das Substrat einfällt, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, unter Verwendung eines Substrats (insbesondere eines Glassubstrats) mit einer Durchlässigkeit für sichtbares Licht (Tv) von mindestens 70 %, auf mindestens 70 % gebracht werden. Durch Auswählen eines Filmstapels der Antireflexionsfilme und unter Verwendung eines Substrats mit einer Tv von mindestens 73 % kann ein Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, mit einer Tv von min destens 75 % erhalten werden, und die Durchlässigkeit einer Windschutzscheibe eines Automobils, die in jedem Land vorgeschrieben ist, kann selbst dann erhalten werden, wenn ein wärmeabsorbierendes Glas zur Abschirmung des direkten Sonnenstrahlungslichts als ein Substrat verwendet wird.
Der Extinktionskoeffizient jeder Schicht im Bereich des sichtbaren Lichts beträgt mehr bevorzugt höchstens 0,01.
Gemäß des siebten Aspekts der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen eines Substrats, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, bereitgestellt, welches das Unterwerfen des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, definiert in einem des ersten bis sechsten Aspekts der vorliegenden Erfindung, einer Wärmebehandlung umfasst, um das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat herzustellen, auf das Biegen oder Tempern angewendet wurde.
Gemäß des siebten Aspekts der vorliegenden Erfindung kann das Biegen oder Tempern durch eine Wärmebehandlung durchgeführt werden und demgemäß ist es nicht erforderlich, nach dem Biegen oder Tempern Antireflexionsfilme auszubilden, was im Hinblick auf die Herstellungsschritte vorteilhaft ist.
Demgemäß sind die Substrate, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, gemäß des ersten bis sechsten Aspekts der vorliegenden Erfindung vorzugsweise Substrate, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche einem Biegen oder Tempern durch eine Wärmebehandlung unterzogen werden können.
Das Biegen ist ein Verfahren, das während oder unmittelbar nach der Wärmebehandlung durchgeführt wird, um ein planares Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, zu einer dreidimensional gebogenen Form in einer Weise zu verformen, dass die Antireflexionsfilmoberflächenseite auf die Innenraumseite gerichtet ist, wenn das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung z.B. für eine Windschutzscheibe oder eine Türscheibe eines Automobils verwendet wird.
Das Tempern ist ein Verfahren, bei dem durch Abschrecken eines Substrats, unmittelbar nachdem ein planares Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, einer Wärmebehandlung unterworfen worden ist, eine Druckspannungsschicht auf eine Glasoberfläche aufgebracht wird, so dass die Antireflexionsfilmoberflächenseite auf die Innenraumseite ge richtet ist, wenn das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung z.B. für eine Windschutzscheibe eines Automobils verwendet wird.
Beim Biegen und Tempern beträgt die Temperatur während der Wärmebehandlung 560 bis 700°C und die Wärmebehandlung wird in einer Luftatmosphäre durchgeführt. Die Wärmebehandlung wird etwa 3 bis etwa 10 min durchgeführt.
Ein Glas, das herkömmlich mit mindestens drei Antireflexionsfilmschichten ausgestattet ist, weist eine Gesamtdicke von mehr als etwa 250 nm auf und ist deshalb dick, wodurch es wahrscheinlich ist, dass sich durch die Wärmebehandlung Risse auf den Filmen bilden, und es kann kein Biegen oder Tempern durchgeführt werden. Ferner besteht bei einem Glas, das mit zwei Filmschichten ausgestattet ist, wobei eine oder beide der zwei Schichten ein Zinnoxidfilm ist bzw. sind, eine Tendenz dahingehend, dass die optischen Eigenschaften aufgrund der Wärmebehandlung beeinträchtigt werden, und es ist wahrscheinlich, dass Risse oder ein Ablösen auftreten bzw. auftritt, und demgemäß kann kein Biegen oder Tempern durchgeführt werden.
Im Gegensatz dazu werden bezüglich des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung Materialien verwendet, bei denen es weniger wahrscheinlich ist, dass sich deren optische Eigenschaften und deren Volumen aufgrund der Wärmebehandlung verändern, und die Gesamtfilmdicke kann je nach dem auf weniger als 250 nm eingestellt werden, und demgemäß kann ein Biegen oder Tempern durch eine Wärmebehandlung durchgeführt werden.
Das Verfahren zur Bildung des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung ist nicht speziell beschränkt, jedoch ist es bevorzugt, Antireflexionsfilme auf dem Substrat durch ein Sputterverfahren zu bilden. Das Sputterverfahren kann ein DC-Sputterverfahren (Gleichstromsputterverfahren) oder ein AC-Sputterverfahren (Wechselstromsputterverfahren) sein. Ein DC-Sputterverfahren ist bevorzugt und ein Magnetron-DC-Sputterverfahren ist besonders bevorzugt, da das Verfahren stabil durchgeführt werden kann und es einfach ist, Filme in einer großen Fläche auszubilden.
Als das Sputterverfahren kann auch ein Reaktivsputtern unter Verwendung eines Reaktivgases durchgeführt werden.
Dabei ist in einem Fall des Bildens eines Isolierfilms (wie z.B. eines Silicafilms) aus einem elektrisch leitfähigen Target ein AC-Sputterverfahren bevorzugt, da keine Tendenz zu einer signifikanten Lichtbogenbildung besteht und die Filmbildung stabil durchgeführt werden kann.
Als ein Verfahren zur Herstellung des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, bei dem das transparente Substrat, das in der vorliegenden Erfindung verwendet werden soll, ein Laminat ist, können Antireflexionsfilme auf einem ersten transparenten Substrat gebildet werden, das dann mittels eines Zwischenfilms auf ein zweites transparentes Substrat laminiert wird, oder ein erstes transparentes Substrat und ein zweites transparentes Substrat können mittels eines Zwischenfilms laminiert werden und dann können Antireflexionsfilme gebildet werden.
Wenn das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung, ein Substrat ist, bei dem ein Biegen durch eine Wärmebehandlung angewandt werden kann, können Antireflexionsfilme auf einem ersten Substrat eingesetzt werden, das so verarbeitet ist, dass es durch eine Wärmebehandlung eine dreidimensional gebogene Form aufweist, und weiter mittels eines Zwischenfilms auf ein zweites transparentes Substrat laminiert werden. Beispielsweise wird das Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung, bei dem das Substrat Glas ist, einem Biegen unterzogen, so dass es durch eine Wärmebehandlung eine dreidimensional gebogene Form aufweist, und dann werden das Glassubstrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches einem Biegen unterzogen worden ist, und ein anderes Glassubstrat, des etwa die gleiche Form aufweist, mittels eines Zwischenfilms laminiert, so dass ein laminiertes Glas bereitgestellt wird, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist. Dieses Verfahren zur Herstellung eines laminierten Glases ist der achte Aspekt der vorliegenden Erfindung.
Dabei ist es bevorzugt, das zweite transparente Substrat auf der nicht-Filmoberflächenseite des ersten transparenten Substrats anzuordnen, so dass sie während des Biegens nicht miteinander in Kontakt sind, und sie gleichzeitig einem Biegen unterzogen werden, so dass sie eine dreidimensional gebogene Form aufweisen, und dann das zweite transparente Substrat auf das erste transparente Substrat laminiert wird.
Die Anwendung des Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, der vorliegenden Erfindung ist nicht speziell beschränkt, und es wird zweckmäßig z.B. als Fenster einer Transportvorrichtung (wie z.B. als Fenster eines Fahrzeugs) oder als Abdeckung für ein Anzeigeinstrument verwendet. Es ist besonders gut für ein Fensterglas (insbesondere eine Windschutzscheibe oder eine Heckscheibe) eines Automobils geeignet.
Nachstehend wird die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf Beispiele weiter detailliert beschrieben. Es sollte jedoch beachtet werden, dass die vorliegende Erfindung keinesfalls auf solche spezifischen Beispiele beschränkt ist.
1. Herstellung eines Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist
Referenzbeispiel 1
In einer Vakuumkammer wurden metallisches Sn, metallisches Ti und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases („SUNGREEN" mit einer Dicke von 2 mm, von Asahi Glass Company, Limited hergestellt, nachstehend als „VFL2" bezeichnet) als Glassubstrat 1, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 250 sccm Sauerstoff und 350 sccm Stickstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,45 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Sn ein Zinnoxynitridfilm mit einer Filmdicke von 98 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm und einem Stickstoffgehalt von 0,5 at-%) als erste Filmschicht 2 ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 13 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) als zweite Filmschicht 3 ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 105 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) als dritte Filmschicht 4 ausgebildet.
Eine schematische Querschnittsansicht, die das so erhaltene, mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Glas (das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat) veranschaulicht, ist in der 2 gezeigt.
Referenzbeispiel 2
Unter Verwendung des Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches im Beispiel 1 erhalten worden ist, wurde ein Biegen wie folgt durchgeführt.
Unter Verwendung des Glases 5, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches im Beispiel 1 erhalten worden ist, und eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als weiteres Glassubstrat 6 mit der gleichen Größe wie das vorstehend genannte Glas, wurde das Glas 5, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, so auf das andere Glassubstrat 6 gelegt, dass die Antireflexionsfilmoberflächenseite des Glases 5, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach oben (Außenseite) zeigte. Ein Pulver zur Verhinderung einer Wärmeverschmelzung wurde zwischen die zwei Gläser eingebracht.
Die zwei Gläser wurden auf eine Form zum Formen gelegt und eine Wärmebehandlung zum Biegen wurde in einem elektrischen Heizofen durchgeführt. Die Wärmebehandlung wurde in einer Luftatmosphäre unter den Bedingungen einer Vorheizzeit von 3 min, einer Haltezeit bei der maximalen Temperatur von 5 min, einer maximal erreichbaren Temperatur des Glases von 620°C und einer Härtungszeit von 3 min durchgeführt.
Nach dem Biegen zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe. Die beiden Gläser wurden gut in die Form eingepasst und einem Biegen unterzogen. Der Stickstoffgehalt in dem Zinnoxynitridfilm nach der Wärmebehandlung betrug 0,3 at-%.
Dann wurden die zwei Gläser, die dem Biegen unterzogen worden sind, mittels eines Zwischenfilms 7, der aus Polyvinylbutyral (PVB) hergestellt worden ist, zur Bildung eines laminierten Glases laminiert. Die Herstellung eines laminierten Glases wurde durch Entgasen mittels Erhitzen unter Vakuum und die Verwendung eines Kautschuksacks als ein Vorkontaktbindungsschritt und durch ein Autoklavenverfahren (maximale Temperatur: 135°C, Druck: 1,3 MPa) als Hauptkontaktbinden durchgeführt. Eine schematische Querschnittsansicht, die das so erhaltene laminierte Glas 8 veranschaulicht, ist in der 3 gezeigt.
Nach dem Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 3
Drei Antireflexionsfilmschichten wurden in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 gebildet, jedoch wurde anstelle des Glassubstrats im Beispiel 1 ein sehr gut wärmeabsorbierendes Glas (UV COOLGREEN mit einer Dicke von 2 mm, von Asahi Glass Company, Limited hergestellt, nachstehend als „UVFL2" bezeichnet) verwendet. Unter Verwendung des erhaltenen Glases, das mit Antireflexionsfilmen und einem sehr gut wärmeabsorbierenden Glas (UVFL2) mit der gleichen Größe wie das Glas ausgestattet war, wurde ein laminiertes Glas in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 hergestellt.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 4
In einer Vakuumkammer wurden metallisches ZnSn (Sn-Gehalt: 10 at-%), metallisches Ti und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von ZnSn ein Mischoxidfilm aus Zn und Sn mit einer Filmdicke von 105 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 5 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 103 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glassubstrat 6 zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein wärmeabsorbierendes Glas (VFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 5
In einer Vakuumkammer wurden metallisches TiSi (Si-Gehalt: 48 at-%), metallisches Ti und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von TiSi ein Mischoxidfilm aus Ti und Si mit einer Filmdicke von 80 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 25 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 103 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glassubstrat 6 zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein wärmeabsorbierendes Glas (VFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 6
In einer Vakuumkammer wurden metallisches Ti, metallisches TiSi (Si-Gehalt: 48 at-%) und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases (UVFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 4 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von TiSi ein Mischoxidfilm aus Ti und Si mit einer Filmdicke von 107 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 93 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glassubstrat 6 zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein sehr gut wärmeabsorbierendes Glas (UVFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Ferner wurde ein Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, in der gleichen Weise wie im Beispiel 6 hergestellt, jedoch wurde die zweite Schicht im Beispiel 6 zu einem Zinnoxynitridfilm von 107 nm geändert, und ein Biegen und ein Laminieren wurden durchgeführt. Die Bedingungen zur Bildung des Zinnoxynitridfilms waren mit denjenigen im Beispiel 1 identisch. Das erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, und das laminierte Glas nach dem Biegen und Laminieren wurden bewertet und es wurden so gute Ergebnisse wie im Beispiel 6 erhalten.
Beispiel 7
In einer Vakuumkammer wurden metallisches Sn und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung einer transparenten Glasscheibe („Floatglasscheibe" mit einer Dicke von 2 mm, die von Asahi Glass Company, Limited hergestellt worden ist, nachstehend als „FL2" bezeichnet) als Glassubstrat 11, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 250 sccm Sauerstoff und 350 sccm Stickstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,45 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Sn ein Zinnoxynitridfilm mit einer Filmdicke von 114 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm und einem Stickstoffgehalt von 0,5 at-%) als erste Filmschicht 12 ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 95 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) als zweite Filmschicht 13 ausgebildet.
Eine schematische Querschnittsansicht, die das so erhaltene Glas 15 veranschaulicht, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, ist in der 4 gezeigt.
Das im Beispiel 7 erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glassubstrat 16 zur Bildung eines laminierten Glases wurde eine transparente Glasscheibe (FL2) als weiteres Glassubstrat 16 mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet und ein laminiertes Glas wurde mittels eines aus PVB hergestellten Zwischenfilms hergestellt.
Eine schematische Querschnittsansicht, die das so erhaltene laminierte Glas 18 veranschaulicht, ist in der 5 gezeigt.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe. Der Stickstoffgehalt in dem Zinnoxynitridfilm nach der Wärmebehandlung betrug 0,3 at-%.
Beispiel 8
Zwei Antireflexionsfilmschichten wurden in der gleichen Weise wie im Beispiel 7 hergestellt, jedoch wurde das Glassubstrat im Beispiel 7 zu einem wärmeabsorbierenden Glas (VFL2) geändert. Unter Verwendung des erhaltenen Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, und eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas wurde ein laminiertes Glas in der gleichen Weise wie im Beispiel 7 erhalten.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Beispiel 9
Zwei Antireflexionsfilmschichten wurden in der gleichen Weise wie im Beispiel 7 hergestellt, jedoch wurde das Glassubstrat im Beispiel 7 zu einem sehr gut wärmeabsorbierenden Glas (UVFL2) geändert. Unter Verwendung des erhaltenen Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, und eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases (UVFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas wurde ein laminiertes Glas in der gleichen Weise wie im Beispiel 7 erhalten.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 10
In einer Vakuumkammer wurden ein Zr-Si-Target (Si-Gehalt: 53 at-%) und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 200 sccm Argon und 100 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern ein Mischoxidfilm aus Zr und Si mit einer Filmdicke von 128 nm (mit einem Brechungsindex von 1,80 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 95 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Referenzbeispiel 11
In einer Vakuumkammer wurden metallisches Ti und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases (UVFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 106 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 87 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren mit dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 7 unterzogen. Als weiteres Glas zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein sehr gut wärmeabsorbierendes Glas (UVFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Nach dem Biegen und Laminieren zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 12
In einer Vakuumkammer wurden metallisches Sn, metallisches Ti und metallisches Si (B-dotierter Polykristall als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als Glassubstrat 1, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurden 1000 sccm Distickstoffoxidgas (N₂O-Gas) eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,9 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Sn ein Zinnoxynitridfilm mit einer Filmdicke von 98 nm (mit einem Brechungsindex von 1,95 bei einer Wellenlänge von 550 nm und einem Stickstoffgehalt von 0,5 at-%) als eine erste Filmschicht 2 ausgebildet.
Ein Zinnoxynitridfilm (SnO_xN_y Film) mit einer hohen Wärmebeständigkeit kann durch eine Filmbildung unter Verwendung von N₂O-Gas im Vergleich zu einer Filmbildung unter Verwendung eines Mischgases aus Sauerstoff und Stickstoff als Entladungsgas wie im Beispiel 1 stabil erhalten werden.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 300 sccm Argon und 60 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,4 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Ti ein Titanoxidfilm mit einer Filmdicke von 13 nm (mit einem Brechungsindex von 2,4 bei einer Wellenlänge von 550 nm) als eine zweite Filmschicht 3 ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch diskontinuierliches DC-Sputtern eines Si-Targets, während an die Si-Kathode eine Gleichspannung von einer Gleichstromquelle angelegt wurde, die mittels eines Pulsmoduls (von Kyosan Electric Manufacturing Co., Ltd. hergestellt) gepulst wurde, ein Siliziumoxidfilm mit einer Dicke von 105 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glas 6 zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein wärmeabsorbierendes Glas (VFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet. Der Stickstoffgehalt in dem Zinnoxynitridfilm nach der Wärmebehandlung betrug 0,3 at-%.
Bezüglich des erhaltenen laminierten Glases zeigte sich nach dem Biegen und Laminieren keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Referenzbeispiel 13
In der gleichen Weise wie im Beispiel 12 wurden drei Antireflexionsfilmschichten auf einem wärmeabsorbierenden Glas (VFL2) ausgebildet. Unter Verwendung des erhaltenen Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, und eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases (UVFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas wurde ein laminiertes Glas in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 gebildet. Es zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe.
Wenn die Bildung des Silicafilms in jedem der Beispiele 1 bis 13 durch ein reaktives AC-Sputterverfahren unter Verwendung eines Si-Targets durchgeführt wurde (z.B. mittels „Twin Mag", das von Applied Films Corp. hergestellt wird), konnte die Filmbildung stabiler durchgeführt werden.
Vergleichsbeispiel 1
Ein laminiertes Glas wurde durch die Durchführung des Biegens und des Laminierens in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 hergestellt, jedoch wurde anstelle des Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, welches im Beispiel 1 erhalten worden ist, ein wärmeabsorbierendes Glas (VFL2) verwendet.
Vergleichsbeispiel 2
In einer Vakuumkammer wurden metallisches TiSi (Si-Gehalt: 58 at-%), metallisches TiSi (Si-Gehalt: 21 at-%) und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung eines wärmeabsorbierenden Glases (VFL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von TiSi (Si-Gehalt: 58 at-%) ein Mischoxidfilm von Ti und Si mit einer Filmdicke von 90 nm (mit einem Brechungsindex von 1,85 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde unter Verwendung des gleichen Entladungsgases wie bei der Bildung der ersten Schicht durch reaktives DC-Sputtern von TiSi (Si-Gehalt: 21 at-%) ein Mischoxidfilm von Ti und Si mit einer Filmdicke von 160 nm (mit einem Brechungsindex von 2,2 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Dritte Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 120 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Das so erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, wurde einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glas zur Bildung eines laminierten Glases wurde ein wärmeabsorbierendes Glas (VFL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Das erhaltene laminierte Glas war sehr stark verzogen und Falten waren auf den Antireflexionsfllmen ausgebildet.
Vergleichsbeispiel 3
In einer Vakuumkammer wurden metallisches TiSi (Si-Gehalt: 58 at-%) und metallisches Si (B-dotierter Polykristall) als Sputtertargets auf Kathoden aufgebracht und die Vakuumkammer wurde auf 1,3 × 10^–3 Pa evakuiert. Unter Verwendung einer transparenten Glasscheibe (FL2) als Glassubstrat, das in die Vakuumkammer eingebracht wurde, wurden Antireflexionsfilme wie folgt darauf ausgebildet.
Erste Schicht
Als Entladungsgas wurde ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von TiSi (Si-Gehalt: 58 at-%) ein Mischoxidfilm von Ti und Si mit einer Filmdicke von 82 nm (mit einem Brechungsindex von 1,85 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Zweite Schicht
Dann wurde als Entladungsgas ein Mischgas aus 100 sccm Argon und 500 sccm Sauerstoff eingeführt. Der Druck betrug dabei 0,35 Pa. Dann wurde durch reaktives DC-Sputtern von Si ein Siliziumoxidfilm mit einer Filmdicke von 124 nm (mit einem Brechungsindex von 1,46 bei einer Wellenlänge von 550 nm) ausgebildet.
Dann wurde das erhaltene Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, einem Biegen und Laminieren in der gleichen Weise wie im Beispiel 2 unterzogen. Als weiteres Glas zur Bildung eines laminierten Glases wurde eine transparente Glasscheibe (FL2) mit der gleichen Größe wie dieses Glas verwendet.
Bezüglich des erhaltenen laminierten Glases zeigte sich keine Änderung des Aussehens wie z.B. Falten, ein Ablösen oder eine Änderung der Farbe auf den Antireflexionsfilmen, und kein übermäßiges Verziehen der Glasscheibe. Der Reflexionsfarbton war jedoch dunkelblau.
Vergleichsbeispiel 4
Ein laminiertes Glas wurde durch Durchführen eines Biegens und eines Laminierens in der gleichen Weise wie im Beispiel 3, mit der Ausnahme, dass anstelle des Glases, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet war, welches im Beispiel 3 erhalten wurde, ein sehr gut wärmeabsorbierendes Glas (UVFL2) verwendet wurde, hergestellt.
Von den Gläsern, die mit Antireflexionsfilmen und dergleichen ausgestattet sind, wie sie in den Beispielen 1 bis 13 und den Vergleichsbeispielen 1 bis 4 erhalten worden sind, sind die Filmstapel und (a) der Brechungsindex, (b) die Filmdicke (nm) als Antireflexionsbedingung, (c) die Filmdicke (nm) und (d) das Verhältnis (Vergrößerung) der Filmdicke relativ zur Filmdicke als Antireflexionsbedingung jeder Antireflexionsfilmschicht in der Tabelle 9 gezeigt.
Jedes der Gläser, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Referenzbeispielen 1 bis 6, 12 und 13 erhalten worden sind, entspricht dem Substrat, das mit drei Antireflexionsfilmen ausgestattet ist.
Jedes der Gläser, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Beispielen 7 bis 9 erhalten worden sind, entspricht dem Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung. Ferner entspricht jedes der Gläser, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Referenzbeispielen 10 und 11 erhalten worden sind, dem Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, wobei der erste Antireflexionsfilm kein dünner Film ist, der einem Oxynitrid von Zinn entspricht.
Andererseits entsprechen die Vergleichsbeispiele 2 und 3 keinem der Substrate, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, der vorliegenden Erfindung.
2. Bewertung eines Substrats, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist
Bezüglich der Gläser, die in den Beispielen 1 bis 13 und den Vergleichsbeispielen 1 bis 4 erhalten worden sind, wurden die folgenden optischen Eigenschaften (1) bis (4) gemessen. Die Messungen von (1) und (4) wurden unter Verwendung einer D65-Lichtquelle gemäß JIS R3106 durchgeführt. Ferner wurde eine C-Lichtquelle für die Messungen von (2) und (3) verwendet.

(1) Durchlässigkeit (Tv) für sichtbares Licht, das bei einem Einfallswinkel von 0° einfällt.
(2) Kurve des spektralen Reflexionsvermögens bezüglich sichtbarem Licht bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite, das von der Antireflexionsfilmoberfläche reflektiert wird.

Zur Messung des Reflexionsvermögens nur auf der Antireflexionsfilmoberflächenseite wurde die nicht-Filmoberfläche an der Seite gegenüber der Antireflexionsfilmoberflächenseite mit einem schwarzen Anstrichmittel beschichtet und das Reflexionsvermögen bei jeder Wellenlänge wurde gemessen, um eine Kurve des spektralen Reflexionsvermögens zu erstellen.

(3) Reflexionsvermögen (Y) und Reflexionsfarbton (x, y) bezüglich sichtbarem Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der nicht-Filmoberflächenseite einfällt und auf beiden Seiten reflektiert wird (einschließlich einer Reflexion auf der Antireflexionsfilmoberflächenseite).
(4) Reflexionsvermögen (Rv) bezüglich sichtbarem Licht, das bei einem Einfallswinkel von 60° von der Filmoberflächenseite einfällt und auf beiden Seiten reflektiert wird (einschließlich einer Reflexion auf der nicht-Filmoberflächenseite (Glasoberflächenseite)).

Der Wert von Rv beträgt in der Praxis vorzugsweise höchstens 12 %, besonders bevorzugt höchstens 10 %.
Die Ergebnisse der vorstehenden Punkte (1), (3) und (4) sind in der Tabelle 10 gezeigt und die Ergebnisse des vorstehenden Punkts (2) sind in den 6 bis 9 gezeigt und die Ergebnisse bezüglich des Reflexionsfarbtons (x, y) des vorstehenden Punkts (3) sind in der 10 gezeigt.
Bezüglich Gläsern, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Beispielen 1 bis 13 erhalten worden sind, beträgt das Reflexionsvermögen von Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der Filmoberflächenseite auf die Filmoberfläche einfällt, wie es aus den 6 bis 8 ersichtlich ist, in dem gesamten Wellenlängenbereich von 400 bis 480 nm höchstens 6 %, und diese Gläser entsprechen dem Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung. Dabei ist die Kurve des spektralen Reflexionsvermögens von Beispiel 12 mit derjenigen von Beispiel 2 identisch.
Die Gläser, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Beispielen 1 bis 13 erhalten worden sind, weisen verglichen mit einem herkömmlichen laminierten Glas ohne Antireflexionsfilm (Vergleichsbeispiel 1) ein vermindertes Rv (Reflexionsvermögen auf der Filmoberflächenseite bei einem Einfallswinkel von 60°) auf, und weisen im Wesentlichen das gleiche Rv auf wie ein herkömmliches Glas, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist (Vergleichsbeispiele 2 und 3) (Tabelle 10(4)).
Ferner beträgt die Tv (Durchlässigkeit für sichtbares Licht bei einem Einfallswinkel von 0°) selbst dann mindestens 75 %, wenn ein laminiertes Glas unter Verwendung von zwei sehr gut wärmeabsorbierenden Gläsern (UVFL2) hergestellt wird (Beispiele 3, 6, 9 und 11), und die Durchlässigkeit einer Windschutzscheibe eines Automobils, die in jedem Land vorgeschrieben wird, wird erhalten, und ein transparentes Substrat kann abhängig vom Zweck frei ausgewählt werden (Tabelle 10(1)).
Die Gläser, die mit Antireflexionsfilmen ausgestattet sind, welche in den Beispielen 1 bis 13 erhalten worden sind, weisen im Vergleich zum Vergleichsbeispiel 1 ein vermindertes Reflexionsvermögen (Y) bezüglich sichtbarem Licht auf, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der nicht-Filmoberflächenseite einfällt und auf beiden Seiten reflektiert wird (Tabelle 10(3)). Ferner wird gefunden, dass der Reflexionsfarbton (x, y) nahe an dem einer C-Lichtquelle liegt und nahezu neutral ist ((x, y) = (0,3101, 0,3162)) (10).
Andererseits ist bezüglich eines herkömmlich gebräuchlichen Glases, das mit Antireflexionsfilmen aus drei Schichten (Vergleichsbeispiel 2) oder zwei Schichten (Vergleichsbeispiel 3) ausgestattet ist, und das so gestaltet ist, dass das Reflexionsvermögen auf der Filmoberflächenseite bei einem Einfallswinkel von 60° minimal wird, um eine Reflexion des Armaturenbretts zu verhindern, die Reflexion des Farbtons (x, y) bezüglich sichtbarem Licht, das bei einem Einfallswinkel von 5° von der nicht-Filmoberflächenseite einfällt und auf beiden Seiten reflektiert wird, sowohl bezüglich x als auch bezüglich y kleiner als diejenige einer C-Lichtquelle, und der Reflexionsfarbton neigt dazu, bläulich zu sein (10).
Ferner beträgt, wie es vorstehend beschrieben worden ist, die Durchlässigkeit (Tv) für sichtbares Licht, das bei einem Einfallswinkel von 0° einfällt, mindestens 75 % bei den Gläsern, die mit Antireflexionsfilmen unter Verwendung eines sehr gut wärmeabsorbierenden Glases ausgestattet sind und die in den Beispielen 3, 6, 9, 11 und 13 erhalten worden sind, wohingegen sie im Vergleichsbeispiel 4, bei dem kein Antireflexionsfilm verwendet wird, weniger als 75 % beträgt, und die Durchlässigkeit einer Windschutzscheibe eines Automobils, wie sie in Europa, Australien und anderen Ländern vorgeschrieben ist, kann nicht erreicht werden (Tabelle 10(1)).
Tabelle 10
Das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, ist ein Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches hervorragende Antireflexionseigenschaften bezüglich Licht, das in einem schiefen Winkel von der Filmoberflächenseite einfällt, und eine hohe Durchlässigkeit aufweist, wodurch der Reflexionsfarbton, nicht nur in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel von sichtbarem Licht, das von der nicht-Filmoberflächenseite einfällt, groß ist, sondern auch in einem Fall, bei dem der Einfallswinkel klein ist, nicht dazu neigt, bläulich zu sein, und es kann ein Reflexionsfarbton erhalten werden, der nahezu neutral ist. Demgemäß ist es bevorzugt, das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, z.B. für eine Windschutzscheibe eines Automobils im Hinblick auf hervorragende Antireflexionseigenschaften und einer hervorragenden Gestaltung des Aussehens in einer Weise zu verwenden, dass die Filmoberflächenseite auf die Innenraumseite und die nicht-Filmoberflächenseite auf die Außenseite gerichtet ist.
Ferner ist es in einem Fall, bei dem das erfindungsgemäße Substrat, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, ein Substrat ist, das mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches auch eine hervorragende Wärmebeständigkeit aufweist, möglich, eine Wärmebehandlung (z.B. ein Biegen oder Tempern) nach der Filmbildung im Herstellungsverfahren durchzufüh ren, wodurch die Herstellungseffizienz verbessert wird und das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat einfach hergestellt werden kann.

Claims

Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches ein transparentes Substrat (11) und erste und zweite Antireflexionsfilmschichten (12, 13) umfasst, welche in dieser Reihenfolge auf einer Seite des transparenten Substrates (11) abgeschieden sind, wobei die erste Schicht (12) ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,6 bis 2,6 und einer geometrischen Filmdicke von dem 1,1- bis 1,9-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten, die zweite Schicht (13) ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer geometrischen Filmdicke von dem 0,5- bis 1,1-fachen der Filmdicke ist, als eine Antireflexionsbedingung, wie aus der nachstehenden Formel erhalten: d = λ/[4n{1 – (sinθ/n)2}1/2]wobei d eine Filmdicke als eine Antireflexionsbedingung jeder Schicht ist, n ein Brechungsindex jeder Schicht, λ = 550nm und θ = 60° ist, und wobei die erste Schicht (12) ein dünner Film ist, welcher aus einem Oxynitrid von Zinn besteht.
Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach Anspruch 1, wobei die erste Schicht (12) ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,6 bis 2,6 und einer geometrischen Filmdicke von 60 bis 200 nm ist, und die zweite Schicht (13) ein dünner Film mit einem Brechungsindex von 1,4 bis 1,56 und einer geometrischen Filmdicke von 50 bis 140 nm ist.
Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Gehalt an Stickstoff in dem Zinnoxynitridfilm der ersten Schicht (12) 0 at-% übersteigt und weniger als 4,0 at-% ist.
Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die zweite Schicht (13) ein dünner Film ist, welcher ein Oxid von Silizium enthält.
Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die erste Schicht (12) eine geometrische Filmdicke von 104 bis 124 nm aufweist und die zweite Schicht (13) ein Siliziumoxidfilm mit einer geometrischen Filmdicke von 85 bis 105 nm ist.
Wärmebiegbares oder wärmetemperbares Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei jede Schicht einen Extinktionskoeffizienten von höchstens 0,05 in dem sichtbaren Lichtbereich aufweist.
Verfahren zum Herstellen eines wärmebiegbaren oder wärmetemperbaren Glassubstrates, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, welches das Unterwerfen des Substrates, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 6, einer Wärmebehandlung umfasst, um das mit Antireflexionsfilmen ausgestattete Substrat herzustellen, auf das Biegen oder Tempern angewendet wurde.
Verfahren zum Herstellen eines laminierten Glases, welches das Unterwerten des wärmebiegbaren oder wärmetemperbaren Glassubstrates, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das transparente Substrat Glas ist, einem Biegen in eine dreidimensional gebogene Form durch eine Wärmebehandlung und Laminieren des Glassubstrates, wel ches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist und Biegen unterworfen worden ist, und eines anderen Glassubstrates mit annähernd der gleichen Form durch einen Zwischenfilm, umfasst.
Fensterglas für eine Automobil, welches das wärmebiegbare oder wärmetemperbare Glassubstrat, welches mit Antireflexionsfilmen ausgestattet ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 6 verwendet.