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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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GEBIET DER ERFINDUNG
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Diese
Erfindung betrifft dielektrische Barrierenentladungslampen, die
dielektrische Barrierenentladungen verwenden, um Excimerlicht auszusenden.
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BESCHREIBUNG DES STANDS DER TECHNIK
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In
den letzten Jahren wurde eine Technologie zur Oberflächenbehandlung
entwickelt und praktisch eingesetzt, bei der Metalle, Glas und andere Materialien
mit Vakuum-Ultraviolettlicht mit Wellenlängen von 200 nm oder weniger
bestrahlt werden, wobei die Wirkung der Wärmebehandlungsvorrichtung zur
Bestrahlung mit Vakuum-Ultraviolettlicht und das dadurch erzeugte
Ozon auf das zu behandelnde Material einwirken, wobei diese Technologie
auch eine Reinigungsbehandlungstechnologie, die an der Oberfläche des
zu behandelnden Materials anhaftende organische Verunreinigungen
entfernt, und eine Technologie zur Bildung eines Oxidfilms umfasst,
die einen Oxidfilm an der Oberfläche
des zu behandelnden Materials bildet.
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Die
Lampen, die zur Durchführung
dieser Art von Ultraviolettbehandlung verwendet wurden, waren dielektrische
Barrierenentladungslampen, die eine Entladungskammer umfassen, die
aus einem Dielektrikum hergestellt ist und mit einem für Excimerlicht
geeigneten Gas gefüllt
ist, wobei eine dielektrische Barrierenentladung (auch "ozonisierende Entladung" oder "stille Entladung" genannt – siehe
Denki Gakkai: "Discharge
Handbook", revidierte
Ausgabe Juni 1989, S. 263) in der Entladungskammer Exicimer erzeugt
und zur Aussendung von Excimerlicht führt.
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Eine
solche dielektrische Barrierenentladungslampe ist zum Beispiel in
EP 0607960 A1 offenbart.
Die Lampe weist eine Entladungskammer mit einer zylindrischen, doppelrohrförmigen Konstruktion
auf, umfassend ein äußeres Rohr
und ein inneres Rohr, die einen zylindrischen Entladungsraum definieren,
der mit einem Entladungsgas gefüllt ist,
in dem durch eine dielektrische Barrierenentladung Excimermoleküle gebildet
werden.
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Nachfolgend
wird ein Beispiel für
ein Verfahren zur Herstellung einer solchen dielektrischen Barrierenentladungslampe
beschrieben. 7 ist eine erklärende Querschnittsansicht,
die ein Beispiel der Struktur des Kammermaterials zur Bildung der
Entladungskammer in einer herkömmlichen
dielektrischen Barrierenentladungslampe zeigt. In dieser Figur ist 40A das
Kammermaterial zur Bildung der Entladungskammer der dielektrischen
Barrierenentladungslampe. Es weist eine doppelrohrförmige Struktur
auf, die ein zylindrisches äußeres Rohr 41 und
ein inneres Rohr 42 aus Quarzglas umfasst, das ein Dielektrikum
ist. Die beiden Enden des äußeren Rohres 41 und
des inneren Rohres 42 sind durch Stirnwände 43, 44 miteinander
verbunden, und der Raum zwischen dem äußeren Rohr 41 und
dem inneren Rohr 42 bildet einen ringförmigen Innenraum R. Darüber hinaus
ist ein Absaugrohr 45 derart mit der Stirnwand 43 verbunden,
dass es mit dem Innenraum R in Verbindung steht.
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Bevor
der Innenraum R mit einem Entladungsgas gefüllt wird, wird das Innere dieses
Kammermaterials 40A gereinigt, beispielsweise indem eine
Nadel 46A einer Spritze 46 in das Absaugrohr 45 eingeführt wird,
wie dies in 8 dargestellt wird, und indem
ein Reinigungsreagens wie zum Beispiel eine wässrige Ammoniumfluoridlösung in
das Kammermaterial 40A gespritzt wird. Nachdem die Innenfläche des
Kammermaterials 40A gereinigt wurde, wird das Reinigungsreagens
aus dem Kammermaterial 40A geschüttelt. Danach wird das Kammermaterial 40A mit
Wasser gespült,
um allfälliges
verbleibendes Reinigungsreagens herauszuwaschen; das Spülwasser
wird auf die gleiche Weise wie das Reinigungsreagens eingespritzt
und entfernt.
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Nachdem
das Kammermaterial 40A mit seiner reinen Innenfläche trocken
ist, wird das Absaugrohr 45 mit einer Absaugvorrichtung
verbunden, die Luft in dem Innenraum R wird abgesaugt, und der Innenraum
R wird mit dem Entladungsgas gefüllt.
Anschließend
wird, wie dies in 9 dargestellt ist, das Absaugrohr 45 weggebrannt,
wobei der Innenraum R zum Beispiel mittels eines Brenners versiegelt
wird, wodurch ein Lampenhauptkörper 50 gebildet
wird, bei dem in der Entladungskammer 40, die einen Absaugrohrrest 47 aufweist,
das Entladungsgas eingeschlossen ist.
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Die
dielektrische Barrierenentladungslampe wird hergestellt, indem ein
geeignetes Mittel verwendet wird, um eine Elektrode an der Außenfläche des äußeren Rohrs 41 des
Lampenhauptkörpers 50 und eine
andere Elektrode an der Innenfläche
des inneren Rohrs 42 anzubringen.
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Es
treten jedoch folgende Probleme auf, wenn dielektrische Barrierenentladungslampen durch
das oben beschriebene Verfahren hergestellt werden. Es ist schwierig,
die Vorgänge
des Einspritzens und Entfernens der Reinigungsflüssigkeiten in das und aus dem
Kammermaterial 40A durch das mit dem Kammermaterial 40A verbundene
Absaugrohr 45 mit hoher Arbeitseffizienz durchzuführen. Daher braucht
die Herstellung von dielektrischen Barrierenentladungslampen viel
Zeit.
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Da
es schwierig ist, die Vorgänge
des Einspritzens und Entfernens der Reinigungsflüssigkeiten in das und aus dem
Kammermaterial 40A durchzuführen, kommt es manchmal vor,
dass die Innenfläche
des Kammermaterials 40A nicht entsprechend gereinigt werden
kann und dass Schmutz oder Fremdkörper innerhalb des Kammermaterials 40A zurückbleiben.
Wenn daher eine dielektrische Barrierenentladungslampe mit diesem
Kammermaterial 40A hergestellt wird, werden ordnungsgemäße Entladungen
in dieser dielektrischen Barrierenentladungslampe verhindert, die
Emissionsintensität
sinkt, und es kommt zu einer ungleichmäßigen Emission.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Diese
Erfindung geht von der oben beschriebenen Situation aus, wobei es
ihr vorrangiger Zweck ist, eine dielektrische Barrierenentladungslampe
zu schaffen, bei der die Innenfläche
des Kammermaterials einfach und zuverlässig gereinigt werden kann, die
daher gute Emissionseigenschaften hat und die einfach herzustellen
ist.
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Dieser
Zweck wird durch eine dielektrische Barrierenentladungslampe mit
einer Entladungskammer mit einer zylindrischen, doppelrohrförmigen Konstruktion
erfüllt,
die ein äußeres Rohr
und ein inneres Rohr umfasst, wobei der zylindrische Entladungsraum,
der zwischen dem äußeren Rohr
und dem inneren Rohr gebildet ist, mit einem Entladungsgas gefüllt ist,
in dem durch eine dielektrische Barrierenentladung Excimermoleküle gebildet
werden, wobei die Entladungskammer mit mindestens zwei Fluidverteilungsrohr-Resten
versehen ist, die jeweils mit der Entladungskammer verbunden sind
und an entgegengesetzten Enden der Entladungskammer gebildet sind.
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Was
die Herstellung der wie oben beschrieben aufgebauten dielektrischen
Barrierenentladungslampe betrifft, so werden zwei oder mehr Fluidverteilungsrohre
an dem Kammermaterial vorgesehen, das die Entladungskammer bildet,
wodurch es möglich
ist, mindestens ein Fluidverteilungsrohr als Weg zum Einspritzen
oder zum Entfernen von Reinigungsflüssigkeiten zu verwenden, während das
andere Fluidverteilungsrohr als Weg für die in dem Kammermaterial
befindliche, abzusaugende Luft verwendet werden kann, wodurch der
Vorgang des Einspritzens von Reinigungsflüssigkeiten in das Kammermaterial
und der Vorgang von deren Entfernung einfach und zuverlässig durchgeführt werden
können.
Daher ist es möglich,
die Innenfläche
des Kammermaterials zu reinigen sowie Schmutz und Fremdkörper von
ihr zu entfernen. Auf diese Weise ist es möglich, einen Abfall der Emissionsintensität und das Auftreten
ungleichmäßiger Emissionen
zu verhindern, die durch Verunreinigungen oder Fremdkörper auf
der Innenfläche
des Kammermaterials herrühren, wodurch
gute Emissionseigenschaften erzielt werden können.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Querschnittsansicht eines Beispiels der dielektrischen Barrierenentladungslampe gemäß dieser
Erfindung.
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2 ist
eine Querschnittansicht, die ein Beispiel der Struktur des Kammermaterials
zur Bildung der Entladungskammer der in 1 dargestellten
dielektrischen Barrierenentladungslampe zeigt.
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3 ist
eine Querschnittsansicht, die die Verbindung zwischen dem ersten
Fluidverteilungsrohr und einer Stirnwand des in 2 dargestellten Kammermaterials
im Einzelnen zeigt.
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4 ist
eine erklärende
Zeichnung, die ein Beispiel des Verfahrens zur Einspritzung eines
Reinigungsmittels in das in 3 dargestellte
Kammermaterial zeigt.
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5 ist
eine Querschnittsansicht, die den Lampenhauptkörper zeigt, der durch den Versiegelungsprozess
entsteht.
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6 ist
eine Querschnittsansicht des Kammermaterials, die ein Beispiel der
Verbindung der Fluidverteilungsrohre zeigt.
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7 ist
eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel der Struktur des Kammermaterials
zur Bildung der Entladungskammer in einer herkömmlichen dielektrischen Barrierenentladungslampe
zeigt.
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8 ist
eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel des Verfahrens zur Einspritzung
eines Reinigungsmittels in das in 7 dargestellte
Kammermaterial zeigt.
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9 ist
eine Querschnittsansicht, die den Lampenhauptkörper zeigt, der durch den bekannten Versiegelungsprozess
entsteht.
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GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Im
Folgenden wird die Art der Ausführung der
dielektrischen Barrierenentladungslampe gemäß dieser Erfindung erklärt. 1 zeigt
die Struktur eines Beispiels einer dielektrischen Barrierenentladungslampe
gemäß dieser
Erfindung. Diese dielektrische Barrierenentladungslampe weist eine
versiegelte Entladungskammer 10 mit einer doppelrohrförmigen Struktur
auf, die ein zylindrisches äußeres Rohr 11 aus
einem Dielektrikum und ein zylindrisches inneres Rohr 12 aus
einem Dielektrikum umfasst, das konzentrisch mit dem äußeren Rohr 11 ist
und einen Außendurchmesser
aufweist, der kleiner ist als der Innendurchmesser des äußeren Rohres 11.
Bei dieser Entladungskammer 10 sind die Enden des äußeren Rohres 11 und
des inneren Rohres 12 durch Stirnwände 13, 14 miteinander
verbunden, wodurch zwischen dem äußeren Rohr 11 und
dem inneren Rohr 12 ein ringförmiger Entladungsraum S gebildet wird,
der mit einem Entladungsgas gefüllt
ist.
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Das
dielektrische Material, das die Entladungskammer 10 bildet,
kann ein Material sein, das durchlässig für das Excimerlicht ist, das
von der Entladungskammer 10 ausgesendet wird, wie z. B.
synthetisches Quarzglas. Das in der Entladungskammer 10 eingeschlossene
Entladungsgas kann ein Gas sein, das Excimerlicht mit einer Wellenlänge von
200 nm oder weniger aussendet, wie z. B. Xenongas oder ein Gemisch
aus Argon und Chlor.
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Eine
Elektrode 21, beispielsweise ein Geflecht aus Metall oder
anderem elektrisch leitendem Material, ist in engem Kontakt mit
der Außenfläche 15 des äußeren Rohres 11 der
Entladungskammer 10 vorgesehen, und eine weitere Elektrode 22,
beispielsweise eine Aluminiumfolie, ist in engem Kontakt mit der
Innenfläche 16 des
inneren Rohres 12 vorgesehen. Diese andere Elektrode 22 kann
aus zwei halbzylinderförmigen
Aluminiumfolien gebildet sein, die durch ein geeignetes Druckteil
gegen die Innenfläche 16 gedrückt werden.
Die Elektrode 21 und die Elektrode 22 sind mit
einer Hochfrequenz-Stromquelle 23 verbunden. Zwei Fluidverteilungsrohr-Reste 25, 26 sind
derart an den Stirnwänden 13, 14 an den
Enden der Entladungskammer 10 gebildet, dass die Fluidverteilungsrohr-Reste 25, 26 in
Achsrichtung voneinander beabstandet sind.
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Die
oben beschriebene dielektrische Barrierenentladungslampe wird wie
folgt hergestellt. 2 zeigt das Kammermaterial 10A,
das für
die Herstellung der dielektrischen Barrierenentladungslampe von 1 verwendet
wird. Dieses Kammermaterial 10A weist die gleiche Grundstruktur
auf wie das in 7 dargestellte Kammermaterial 40A;
an einer Stirnwand 13 ist ein erstes Fluidverteilungsrohr 30 vorgesehen,
und an der entgegengesetzten Stirnwand 14 ist ein zweites
Fluidverteilungsrohr 31 vorgesehen, die beide in Verbindung
mit dem Innenraum R stehen. Das erste Fluidverteilungsrohr 30 und
das zweite Fluidverteilungsrohr 3 weisen unterschiedliche
Rohrdurchmesser auf, wobei der Durchmesser des ersten Fluidverteilungsrohrs 30 größer ist
als jener des zweiten Fluidverteilungsrohrs 31.
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3 ist
eine erklärende
Querschnittsansicht, die einen vergrößerten Teil der Verbindung
zwischen dem ersten Fluidverteilungsrohr 30 und der Stirnwand 13 des
in 2 dargestellten Kammermaterials 10A zeigt.
Ein durchmesserreduzierter Abschnitt 30A des ersten Fluidverteilungsrohrs 30 ist nahe
seines Verbindungspunktes mit der einen Stirnwand 13 gebildet.
Dieser durchmesserreduzierte Abschnitt 30A wird zum Beispiel
durch Erhitzen mittels eines Brenners gebildet, wobei bei einem
Fluidverteilungsrohr mit einem Außendurchmesser von 8,0 mm und
einem Innendurchmesser von 6,0 mm der durchmesserreduzierte Abschnitt 30A einen
Außendurchmesser
von 5,0 mm und einen Innendurchmesser von 3,0 mm aufweisen würde. Ein ähnlicher
durchmesserreduzierter Abschnitt (nicht dargestellt) ist in dem
zweiten Fluidverteilungsrohr 31 gebildet.
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Ein
solches Kammermaterial 10A wird zuerst dem Reinigungsvorgang
unterzogen. Bei dem Reinigungsvorgang wird eine Reinigungsflüssigkeit
mit geeigneter Konzentration, wie z. B. 9 Gew.-% Ammoniumfluorid,
für die
Reinigungsbehandlung mittels Reagens verwendet, während Reinigungswasser
für die
Spülbehandlung
verwendet wird. Bei der Reinigungsbehandlung mittels Reagens wird
das Kammermaterial 10A allmählich in ein mit einem Reagens 32 gefülltes Reagensbad 33 getaucht,
wobei das Kammermaterial 10A schräg gehalten wird und das erste
Fluidverteilungsrohr 30 nach unten gerichtet ist. Während das
Reinigungsreagens durch das erste Fluidverteilungsrohr 30 in
das Kammermaterial 10A fließt, entweicht die in dem Kammermaterial 10A befindliche
Luft durch das zweite Fluidverteilungsrohr 31, wodurch
das Kammermaterial 10A auf sehr einfache Weise mit dem
Reinigungsreagens 32 gefüllt wird. Das Kammermaterial 10A wird,
wie dies in 4 dargestellt ist, beispielsweise
30 Minuten lang in dem Reinigungsreagens liegen gelassen, wonach es
aus dem Reagensbad 33 entnommen wird. Während das Kammermaterial 10A entnommen
wird, wobei es schräg
gehalten wird und das erste Fluid verteilungsrohr 30 nach
unten gerichtet ist, fließt
das Reinigungsreagens 32 durch das erste Fluidverteilungsrohr 30 heraus,
und gleichzeitig strömt
durch das zweite Fluidverteilungsrohr 31 Luft in das Kammermaterial 10A ein.
Auf diese Weise wird das Reinigungsreagens 32 auf sehr
einfache Weise aus der Entladungskammer 10 entfernt.
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Danach
wird das Kammermaterial 10A in ein mit Reinigungswasser
gefülltes
Bad getaucht, wobei auf die gleiche Weise wie bei der Reinigungsbehandlung
mittels Reagens vorgegangen wird. Nachdem die Innenseite des Kammermaterials 10A gespült wurde,
wird das Kammermaterial 10A aus dem Reinigungsbad genommen,
um die Spülbehandlung
abzuschließen.
Diese Spülbehandlung
mit Reinigungswasser wird vorzugsweise wiederholt, beispielsweise drei
Mal.
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Nach
dem Abschluss des Reinigungsvorgangs durchläuft das Kammermaterial 10A eine Trocknungsbehandlung.
Bei der Trocknungsbehandlung wird das Kammermaterial 10A mit
nach oben gerichtetem erstem Fluidverteilungsrohr 30 in
einen elektrischen Ofen eingebracht, dessen Temperatur auf zum Beispiel
80°C eingestellt
ist, und etwa 1 Stunde lang getrocknet.
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Anschließend durchläuft das
Kammermaterial 10A den Versiegelungsvorgang. Bei diesem
Versiegelungsvorgang wird der durchmesserreduzierte Abschnitt des
zweiten Fluidverteilungsrohrs 31 mit dem kleineren Durchmesser
mit einem Brenner erhitzt. Dadurch wird der durchmesserreduzierte
Abschnitt durchgebrannt, und es wird ein kuppelförmiger Fluidverteilungsrohr-Rest 26 erzeugt.
Nachdem das zweite Fluidverteilungsrohr 31 versiegelt wurde, wird
eine Absaugvorrichtung mit dem ersten Fluidverteilungsrohr 30 verbunden,
durch das die Luft aus dem Innenraum R abgesaugt wird, wonach der
Innenraum R mit einem Entladungsgas wie z. B. Xenon gefüllt wird.
Danach wird der durchmesserreduzierte Abschnitt des ersten Fluidverteilungsrohrs 30 mit
einem Brenner durchgebrannt, und es wird ein kuppelförmiger Fluidverteilungsrohr-Rest 25 gebildet.
Somit ist der Innenraum R versiegelt, und es wurde ein Lampenhauptkörper 20 gebildet,
der eine abgeschlossene, mit Entladungsgas gefüllte Entladungskammer 10 aufweist,
wobei an dem einen und dem anderen Ende zwei Fluidverteilungsrohr-Reste 25 und 26 gebildet
sind, wie dies in 5 dargestellt ist.
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Anschließend wird
eine Elektrode 21 an der Außenfläche des äußeren Rohres 11 des
Lampenhauptkörpers 20 angebracht,
und eine andere Elektrode 22 wird an der Innenfläche des
inneren Rohres 12 angebracht, wodurch eine dielektrische
Barrierenentladungslampe mit dem in 1 dargestellten
Aufbau hergestellt wird.
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Es
folgt ein Beispiel für
die Abmessungen des Kammermaterials der dielektrischen Barrierenentladungslampe
gemäß der oben
beschriebenen Erfindung. Das äußere Rohr
(11) des Kammermaterials (10A) ist 300 mm lang,
der Außendurchmesser beträgt 26,5
mm, der Innendurchmesser 24,5 und die Wanddicke 1,0 mm. Das innere
Rohr (12) ist 300 mm lang, der Außendurchmesser beträgt 16 mm,
der Innendurchmesser 14 und die Wanddicke 1,0 mm. Das Fassungsvermögen des
Innenraums (R) beträgt
80 cm3. Das erste Fluidverteilungsrohr (30)
ist 150 mm lang, der Außendurchmesser
beträgt
8,0 mm, der Innendurchmesser 6,0 und die Wanddicke 1,0 mm. Das zweite
Fluidverteilungsrohr (31) ist 100 mm lang, der Außendurchmesser
beträgt
6,0 mm, der Innendurchmesser 4,0 und die Wanddicke 1,0 mm.
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Die
obige dielektrische Barrierenentladungslampe weist zwei Fluidverteilungsrohr-Reste 25, 26 auf,
wobei jeweils eines an jedem Ende der Entladungskammer 10 gebildet
ist, wodurch die beiden Fluidverteilungsrohr-Reste 25, 26 in
Richtung der Rohrachse der Entladungskammer 10 voneinander beabstandet
sind. Wenn die Entladungskammer 10 hergestellt wird, indem
ein Kammermaterial 10A verwendet wird, bei dem zwei Fluidverteilungsrohre 30, 31 an
Positionen vorgesehen sind, die in Richtung der Rohrachse voneinander
beabstandet sind, ist es somit möglich,
mindestens ein Fluidverteilungsrohr als Eintritts- und Austrittsweg
für Reinigungsflüssigkeit
zu verwenden und dabei auch zu gewährleisten, dass das andere
Fluidverteilungsrohr als Luftströmungsweg
in dem Kammermaterial 10A verfügbar ist. Auf diese Weise können die
Vorgänge
des Befüllens
des Kammermaterials mit Reinigungsflüssigkeit und der nachfolgenden
Entleerung sehr reibungslos und mit entsprechend hoher Effizienz
durchgeführt werden.
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Beim
Vorgang des Trocknens des Kammermaterials 10A strömt darüber hinaus
der Wasserdampf durch das erste Fluidverteilungsrohr 30 heraus,
das nach oben gerichtet ist, wodurch die Luft in dem Kammermaterial 10A reibungslos
zirkuliert und das Kammermaterial 10A auf effiziente Weise
getrocknet werden kann. Dadurch wird die Herstellung der dielektrischen
Barrierenentladungslampe gemäß dieser
Erfindung erleichtert, und die erforderliche Produktionszeit kann
beträchtlich
verkürzt
werden.
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Darüber hinaus
können
der Vorgang des Einspritzens von Reinigungsflüssigkeit in das Kammermaterial
und der Vorgang des Entfernens auf zuverlässige Weise ausgeführt werden,
wodurch es möglich
ist, die Innenfläche
des Kammermaterials 10A zuverlässig zu spülen und Schmutz sowie Fremdkörper von
ihr zu entfernen. Dadurch ist es möglich, eine Verringerung der
Emissionsintensität
sowie das Auftreten ungleichmäßiger Emissionen
aufgrund von Verunreinigun gen und Fremdkörpern in dem Kammermaterial 10A zu
verhindern, wodurch es möglich ist,
gute Emissionseigenschaften zu erzielen.
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Vorstehend
wurde die Ausführungsform
dieser Erfindung erklärt,
die dielektrische Barrierenentladungslampe gemäß dieser Erfindung ist jedoch nicht
auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt; es
ist möglich,
eine Vielzahl von Veränderungen
vorzunehmen. So gibt es zum Beispiel keine speziellen Einschränkungen
bezüglich
der Anzahl der an dem Kammermaterial angebrachten Fluidverteilungsrohre
oder bezüglich
ihres Durchmessers oder ihrer Position.
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Konkret
wird vorgezogen, dass die Fluidverteilungsrohre an Positionen angeordnet
sind, die etwas voneinander beabstandet sind. Wenn das erste Fluidverteilungsrohr 30 am
oberen Teil der Stirnwand 13 angebracht ist, wie dies in 6 dargestellt
ist, ist es am besten, wenn sich die Position des zweiten Fluidverteilungsrohres 31 an
der Position A befindet, die von dem zweiten Fluidverteilungsrohr 31 in
Achsrichtung des Kammermaterials 10A beabstandet ist und
vom ersten Fluidverteilungsrohr 30 in radialer Richtung
beabstandet ist. Es ist auch möglich,
die Fluidverteilungsrohre an dem äußeren Rohr 11 oder am
inneren Rohr 12 anstatt an den Stirnwänden 13, 14 des
Kammermaterials 10A anzubringen.
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In
der obigen Beschreibung beträgt
die Anzahl der an dem Kammermaterial angebrachten Fluidverteilungsrohre
zwei, in der folgenden Beschreibung wird jedoch auf den Fall eines
Kammermaterials eingegangen, an dem drei Fluidverteilungsrohre oder
vier Fluidverteilungsrohre angeordnet sind. Falls drei Fluidverteilungsrohre
an dem Kammermaterial angebracht sind, würde das erste Fluidverteilungsrohr 30 zum
Beispiel an der einen Stirnwand angebracht sein, das zweite Fluidverteilungsrohr
würde an
der anderen Stirnwand angebracht sein, und das dritte Fluidverteilungsrohr
würde am äußeren Rohr angebracht
sein. In diesem Fall wird vorgezogen, dass das dritte Fluidverteilungsrohr
an einer Position nahe einer Stirnwand angebracht ist.
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Falls
vier Fluidverteilungsrohre an dem Kammermaterial angebracht sind,
würde das
erste Fluidverteilungsrohr 30 zum Beispiel an der einen
Stirnwand angebracht sein, das zweite Fluidverteilungsrohr würde an der
anderen Stirnwand angebracht sein, das dritte Fluidverteilungsrohr
würde am äußeren Rohr
angebracht sein und das vierte Fluidverteilungsrohr würde am inneren
Rohr angebracht sein. In diesem Fall wird vorgezogen, dass das dritte
Fluidverteilungsrohr und das vierte Fluidverteilungsrohr an Positionen
angebracht sind, die sich in der Nähe der Stirnwände befinden.
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Mit
den oben beschriebenen Anordnungen werden die Vorgänge des
Beförderns
der Reinigungsflüssigkeiten
in das und aus dem Kammermaterial äußerst effizient sein.
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Zur
Beförderung
der Reinigungsflüssigkeit
in das Kammermaterial ist es möglich,
ein Verbindungsrohr an eines der Fluidverteilungsrohre anzuschließen und
die Reinigungsflüssigkeit
durch dieses Verbindungsrohr einzuspritzen. Die oben beschriebene Wirkung
wird in diesem Fall dadurch erzielt, dass die Luft in dem Kammermaterial
durch das zweite Fluidverteilungsrohr entweichen wird, wenn die
Reinigungsflüssigkeit
durch das erste Fluidverteilungsrohr in das Kammermaterial eingespritzt
wird.
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WIRKUNG DER ERFINDUNG
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Bei
der Herstellung der dielektrischen Barrierenentladungslampe gemäß dieser
Erfindung werden zwei oder mehr Fluidverteilungsrohre an dem Kammermaterial
angebracht, das die Entladungskammer bildet, und wenn eines oder
mehrere der Fluidverteilungsrohre dazu verwendet werden, Reinigungsflüssigkeiten
in das oder aus dem Kammermaterial zu befördern, so kann daher das andere
Fluidverteilungsrohr oder die anderen Fluidverteilungsrohre als
Weg für
die Beförderung
von Luft in das oder aus dem Kammermaterial beibehalten werden.
Somit kann der Vorgang der Beförderung
von Reinigungsflüssigkeiten
in das oder aus dem Kammermaterial auf einfache und zuverlässige Weise
durchgeführt werden.
Folglich ist es möglich,
das Kammermaterial zuverlässig
zu reinigen und Schmutz sowie Fremdkörper daraus zu entfernen, wodurch
es möglich
ist, ein Absinken der Emissionsintensität oder unregelmäßige Emissionen
zu verhindern, die durch Schmutz oder Fremdkörper an der Innenfläche des Kammermaterials
verursacht werden, so dass es möglich
ist, gute Emissionseigenschaften zu erzielen.