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Die
Erfindung betrifft eine flache Anzeigevorrichtung für die Anzeige
mittels Wechselstrom-Plasmaentladung und ein Verfahren zu ihrer
Herstellung.
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Flache
Plasmaentladungs-Anzeigevorrichtung benutzen im allgemeinen ein
Doppelelektrodensystem, d.h. den sogenannten Matrix-Anzeigemodus,
mit ersten und zweiten Elektroden, die jeweils aus mehreren, parallel
angeordneten Elektroden bestehen, die als X-Elektroden und Y-Elektroden
bezeichnet werden, wobei die gewünschte
Anzeige dadurch bewirkt wird, daß zwischen aus den beiden Elektrodengruppen
ausgewählten
Elektroden eine Plasmaentladung statfindet (siehe z.B. japanische
offengelegte Patentanmeldung Nr. 6-52802 (1994)).
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Matrix-Plasmaentladungs-Anzeigevorrichtungen
dieser Typs sind so ausgebildet, daß die Umgebungen von einander
gegenüberliegenden
ersten und zweiten Substraten versiegelt sind, so daß zwischen
beiden Substraten ein luftdichter Zwischenraum entsteht. Durch die
Anordnung von ersten Elektroden, die sich in einer ersten Richtung
erstrecken, ist auf einer Innenfläche des ersten Substrats eine erste
Elektrodengruppe ausgebildet, die eine Entladungselektrode darstellt,
und durch die Anordnung von zweiten Elektroden, die sich in einer
die erste Richtung senkrecht kreuzenden zweiten Richtung erstrecken,
ist auf der Innenfläche
des zweiten Substrats eine zweite Elektrodengruppe ausgebildet,
die die andere Entladungselektrode darstellt.
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Auf
beiden Flächen
der ersten und zweiten Elektrodengruppe ist eine dielektrische Schicht
ausgebildet. Außerdem
ist darauf eine Oberflächenschicht
ausgebildet, die aus MgO oder dgl. besteht.
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Weiterhin
ist z.B. auf beiden Seiten einer Elektrode zwischen der ersten und
der zweiten Elektrode fluoreszierendes Material angeordnet, das
das benötigte
Licht emittiert.
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In
dieser Konfiguration wird zwischen den ausgewählten ersten und zweiten Elektroden
eine benötigte
Wechselspannung angelegt, so daß eine Entladung
stattfindet, wobei das fluoreszierende Material von einem durch
die Entladung erzeugten ultravioletten Strahl beleuchtet wird, woduch
die gewünschte
farbige Anzeige erzeugt wird.
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Nun
ist in einer normalen Matrix-Plasmaentladungs-Anzeigevorrichtung
der Abstand zwischen den Elektroden z.B. auf 130 μm bis 200 μm eingestellt,
und es findet eine sogenannte negative Glimmentladung statt. In
dem Entladungsmodus, der vorwiegend diese negative Glimmentladung
benutzt, sind jedoch die Treiberspannung und der Treiberstrom vergleichsweise
hoch, und der Energieverbrauch wird größer. Da bei solchen flachen
Anzeigevorrichtungen die Tendenz zu immer größeren Bildschirmen besteht,
ist eine Reduzierung des Stromverbrauchs äußerst erwünscht.
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Die
vorliegende Erfindung sieht eine Matrix-Plasmaentladungs-Anzeigevorrichtung
mit Wechselstromansteuerung sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung
vor.
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Die
Erfindung stellt eine flache Anzeigevorrichtung zur Verfügung, in
der ein erstes und ein zweites Substrat so angeordnet sind, daß sie einander
gegenüberliegen,
auf dem ersten Substrat eine aus einer Mehrzahl von ersten Elektroden
bestehende erste Elektrodengruppe als eine Entladungselektrode ausgebildet
ist, wobei diese ersten Elektroden entlang einer Oberfläche des
ersten Substrats primär in
einer Richtung verlaufen, auf dem zweiten Substrat eine aus einer
Mehrzahl von zweiten Elektroden bestehende zweite Elektrodengruppe
als die andere Entladungselektrode ausgebildet ist, auf dem zweiten
Substrat eine Mehrzahl von vorstehenden Wänden parallel zueinander ausgebildet
sind, die entlang einer Oberfläche
des zweiten Substrats in einer die erste Richtung kreuzenden zweiten
Richtung verlaufen, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Elektroden jeweils
auf den obersten Abschnitten zumindest jeder zweiten der genannten
vorstehenden Wände
ausgebildet sind und daß der
Abstand zwischen den auf den obersten Abschnitten der vorstehenden
Wände ausgebildeten
zweiten Elektroden und den den zweiten Elektroden gegenüberliegenden
ersten Elektroden auf weniger als 50 μm festgelegt ist, wobei die
Anzeige durch Plasmaentladung hauptsächlich mit Kathodenglimmentladung
erfolgt.
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Die
Erfindung stellt ferner ein Verfahren zur Herstellung einer flachen
Anzeigevorrichtung zur Verfügung
mit dem Verfahrensschritt des Ausbildens einer ersten Elektrodengruppe,
die so aufgebaut ist, daß auf
einem ersten Substrat eine Mehrzahl von ersten Elektroden angeordnet
ist, die entlang einer Oberfläche
des ersten Substrats primär
in einer als erste Richtung definierten Richtung verlaufen, dem Verfahrensschritt
des Ausbildens von gitterartigen, vorstehenden Stäben, bestehend
aus vorstehenden Stababschnitten, die in einer die ersten Elektroden kreuzenden Richtung
verlaufen und in vorbestimmten Abständen parallel zueinander angeordnet
sind, und aus überschneidenden,
vorstehenden Stababschnitten, die die genannten vorstehenden Stababschnitte
kreuzen und zwischen den ersten Elektroden verlaufen, dem Verfahrensschritt
des Ausbilden einer Gruppe aus vorstehenden Wänden, die so aufgebaut ist,
daß eine
Mehrzahl von vorstehenden Wänden,
die entlang einer Oberfläche
des zweiten Substrats in einer zweiten Richtung verlaufen, parallel
zueinander auf dem zweiten Substrat angeordnet sind, dem Verfahrensschritt
des Aufschleuderns eines elektrisch leitfähigen Materials auf die vorstehenden
Wände des
zweiten Substrats aus einer diagonal oberen Richtung, die die zweite
Richtung kreuzt, und des Ablagerns des elektrisch leitfähigen Materials
selektiv auf den obersten Abschnitten der vorstehenden Wände und
der Seitenwände
in der Nachbarschaft der vorstehenden Wände, so daß durch das elektrisch leitfähige Material
zweite Elektroden gebildet werden, die auf den obersten Abschnitten
der benötigten
vorstehenden Wände
ausgebildet sind, und dem Verfahrensschritt des Aufbringens einer
fluoreszierenden Schicht zwischen den vorstehenden Wänden, wobei
das erste und zweite Substrat in der Weise einander gegenüberliegend
angeordnet werden, daß die
erste und die zweite Richtung einander kreuzen, und wobei die vorstehenden
Wände und
die überschneidenden
vorstehenden Stababschnitte zumindest so zusammenwirken, daß der Abstand
zwischen den zweiten Elektrode und den ersten Elektroden auf einen
vorbestimmten Abstand von weniger als 50 μm festgelegt wird.
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Da
bei der flachen Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung die Entladung
als Kathodenglimmentladung stattfinden kann, läßt sich die Ansteuerleistung
stärker
reduzieren werden als bei der negativen Glimmentladung, und der
Stromspareffekt wird insbesondere bei einer Anzeigevorrichtung mit großem Bildschirm
verbessert.
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Darüber hinaus
lassen sich bei dem Herstellungsverfahren gemäß der Erfindung die voneinander
getrennten zweiten Elektroden leicht und genau durch die Methode
erzeugen, die es ermöglicht,
das elektrisch leitfähige
Material aus diagonaler Richtung auf die vorstehenden Wände auffliegen
zu lassen, so daß die
zweiten Elektroden isoliert auf den obersten Abschnitten der vorstehenden
Wände erzeugt
werden.
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1 zeigt
eine schematische perspektivische Ansicht eines Hauptabschnitts
einer flachen Anzeigevorrichtung bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
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2 zeigt
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht des Hauptabschnitts
der flachen Anzeigevorrichtung bei dem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
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3 zeigt
eine Rückansicht
des Hauptabschnitts der flachen Anzeigevorrichtung bei dem Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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4A und 4B zeigen
Querschnittsansichten des Hauptabschnitts in einem Schritt zur Herstellung
der zweiten Elektroden in einem Prozeß zur Herstellung der flachen
Anzeigevorrichtung bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung,
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5A und 5B zeigen
Querschnittsansichten des Hauptabschnitts zur Erläuterung
von Merkmalen der flachen Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung.
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Im
folgenden wird anhand der Zeichnungen eine flache Anzeigevorrichtung
nach einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben. 1 zeigt eine
schematische perspektivische Ansicht eines Hauptabschnitts der flachen
Anzeigevorrichtung, 2 zeigt eine auseinandergezogene
perspektivische Ansicht des Hauptabschnitts. 3 zeigt
eine von der Rückseite
aus betrachtete Aufsicht des Hauptabschnitts. Die vorliegende Erfindung
ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt.
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Die
flache Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung
ist so aufgebaut, daß ein
erstes und ein zweites Substrate 1 bzw. 2, die
jeweils z.B. aus einem Glassubstrat hergestellt sind, einander gegenüberliegen
und die (nicht dargestellten) Umgebungen der beiden Substrate 1 und 2 durch
Schmelzversiegelung oder dgl. luftdicht abgeschlossen sind.
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Das
vorliegende Beispiel betrifft den Fall, daß die Leuchtanzeige von der
Seite des ersten Substrats 1 aus betrachtet wird. In diesem
Fall ist zumindest das erste Substrat 1 z.B. ein transparentes
Glassubstrat, durch das das Anzeigelicht hindurchtritt.
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Auf
einer Innenfläche
des ersten Substrats 1 ist eine erste Elektrodengruppe,
nämlich
eine erste Entladungselektrodengruppe 21, angeordnet, die aus
einer Mehrzahl von ersten Elektroden, nämlich ersten Entladungselektroden 11 besteht,
welche die Entladungselektroden einer Seite bilden sollen und aus
elektrisch leitfähigen,
transparenten Schichten, wie ITO (Indium-Zinn-Oxid) bestehen und
in Streifenform parallel angeordnet sind, wobei die Richtung ihrer
Hauptausdehnung entlang der Oberfläche des Substrats 1 als
erste Richtung, nämlich
als Richtung X in der Zeichnung, definiert ist.
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Falls
die ersten Elektroden 11 aus elektrisch leitfähigen, transparenten
Schichten gebildet sind und ihre elektrische Leitfähigkeit
deshalb vergleichsweise niedrig ist, werden entlang der Richtung
ihrer Hauptausdehnung der ersten Elektroden 11 zur Kompensation
der elektrischen Leitfähigkeit
der ersten Elektroden 11 sogenannte Bus-Elektroden 11b abgelagert,
die z.B. aus Al bestehen, das eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit
besitzt.
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Weiterhin
sind vorstehende Stababschnitte 3y vorgesehen, die in vorbestimmten
Abständen
parallel zueinander angeordnet sind, die ersten Elektroden 11 kreuzen
und sich in einer zur Richtung X senkrechten zweiten Richtung Y
erstrecken. Außerdem
sind kreuzende, vorstehende Stababschnitte 3x vorgesehen,
die die vorstehenden Stababschnitte 3y kreuzen und in der
Richtung X verlaufen, so daß auf dem
ersten Substrat 1 gitterförmige vorstehende Stäbe 3 ausgebildet
sind.
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Die
kreuzenden vorstehenden Abschnitte 3x sind zwischen den
ersten Elektroden 11 so angeordnet, daß sie die ersten Elektroden 11 teilweise überspannen
oder nicht.
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Auf
der ganzen Oberfläche
des ersten Substrats 1 ist eine dielektrische Schicht 4 abgelagert, deren
Dicke nicht größer ist
als der halbe Abstand zwischen den ersten Elektroden 11.
Darauf ist eine z.B. aus MgO hergestellte Oberflächenschicht 5 ausgebildet,
die eine Hilfsfunktion hat und die Elektroden schützt.
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Auf
einer Innenfläche
des zweiten Substrats 2 sind in Entsprechung zu den auf
dem ersten Substrat 1 ausgebildeten vorstehenden Stababschnitten 3y des
vorstehenden Stabs 3 streifenförmige vorstehende Wände 6 ausgebildet,
die z.B. in der zweiten Richtung, d.h. in der Richtung Y, verlaufen
und einzeln zwischen den vorstehenden Stababschnitten 3y angeordnet
sind. Das heißt,
die vorstehenden Wände 6 sind
in einem Abstand angeordnet, der halb so groß ist wie der Abstand der vorstehenden
Stababschnitte 3y.
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Auf
den obersten Abschnitten der vorstehenden Wände 6 sind speziell
zwischen den streifenförmigen
vorstehenden Stababschnitten 3y entlang der Erstreckungsrichtung
dieser vorstehenden Wände 6 zweite
Elektroden, nämlich
zweite Entladungselektroden 12, abgelagert, so daß eine zweite
Elektrodengruppe, nämlich
eine zweite Elektrodengruppe 22, gebildet wird.
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Wenn
man bei dieser Konfiguration dafür sorgt,
daß die
vorstehenden Wände 6 und
die vorstehenden Stababschnitte 3y in Kontakt miteinander kommen
oder aneinander angrenzen, und ihre Höhe entsprechend wählt, wird
der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Substrat 1 und 2,
d.h. der Abstand zwischen den ersten und zweiten Elektroden 11 und 12 kleiner
als 50 μm,
vorzugsweise nicht größer als
20 μm, d.h.
der Abstand ist so eingestellt, daß Kathodenglimmentladung möglich ist.
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Auf
den beiden Seiten 6c jeder der vorstehenden Wände, auf
denen jeweils die zweiten Elektroden 12 ausgebildet sind,
werden fluoreszierende Schichten angeordnet, die Licht der gleichen
Farbe emittieren. Bei der Herstellung einer flachen farbigen Anzeigevorrichtung
wird z.B. in den Nutenabschnitten zwischen beiden vorspringenden
Wänden 6 auf beiden
Seiten einer vorspringenden Wand 6c fluoreszierendes Material
R angeordnet, das rotes Licht emittiert. In den jeweiligen Nutenabschnitten
zwischen anderen vorstehenden Wänden 6c und
vorstehenden Wänden 6 zu
beiden Seiten derselben, die einander benachbart sind, ordnet man
fluoreszierendes Material G an, das grünes Licht emittiert, und fluoreszierendes
Material B, das blaues Licht emittiert.
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Auf
diese Weise wirken die vorstehenden Stababschnitte 3 und
die vorstehenden Wände 6 auf dem
ersten und dem zweiten Substrat 1 und 2 zusammen,
um die Entladung so zu isolieren, daß Entladungsbereiche entstehen,
die voneinander getrennt sind, und in diesen Bereichen werden Pixelbereiche
ausgebildet, in denen Licht der jeweiligen Farbe emittiert wird.
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Der
von dem ersten und dem zweiten Substrat 1 und 2 begrenzte
luftdichte Zwischenraum wird evakuiert. In diesem luftdichten Zwischenraum
wird ein benötigtes
Gas, d.h. ein oder mehrere Arten von Gas, ausgewählt z.B. aus He, Ne, Ar, Xe
und Kr, einem Gasgemisch aus Ne und Xe, d.h. sog. Penning-Gas, unter
einem Druck von beispielsweise 0,05 bis 5,0 versiegelt. In diesem
Fall kann ein Abschnitt vorgesehen sein, in welchem Gas in einem
solchen Grad zirkulieren kann, daß die Entladung keinen Einfluß auf einen
anderen Abschnitt ausübt,
so daß die Entladungsbereiche
evakuiert werden können
und Gas glatt versiegelt werden kann.
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Da
bei der oben beschriebenen flachen Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung
der Abstand zwischen den ersten und den zweiten Elektroden 11 und 12 so
eingestellt ist, daß er
kleiner als 50 μm,
vorzugsweise nicht größer als
20 μm, ist,
kann die Entladung zwischen ihnen hauptsächlich durch Kathodenglimmentladung
stattfinden.
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Auf
diese Weise lassen sich die Treiberspannung und der elektrische
Treiberstrom, d.h. die elektrische Treiberleistung, im Vergleich
zum Fall der negativen Glimmentladung, reduzieren, und insbesondere
kann der Stromverbrauch reduziert werden, der bei Anzeigevorrichtungen
mit großem
Bildschirm zu einem Problem wird. Es erübrigt sich darauf hinzuweisen,
daß unter
Kathodenglimmentladung im Sinne der Erfindung hauptsächlich eine
solche vom Standpunkt ihres Zwecks zu verstehen ist, sie umfaßt jedoch
auch den Fall, daß sie
mit einem anderen Entladungsmodus teilweise vermischt ist, der zufallsbedingt
auf irgendwelche Ursachen zurückzuführen ist.
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Im
folgenden wird ein Verfahren zur Herstellung der flachen Anzeigevorrichtung
nach einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben. Dieses Ausführungsbeispiel bezieht sich
auf das Gerät von 1 bis 3,
und es wird ein Beispiel beschrieben. Das Herstellungsverfahren
gemäß der Erfindung
ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt.
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Zunächst wird
ein Beispiel für
das Herstellungsverfahren auf der Seite des ersten Substrats 1 beschrieben.
In diesem Fall wird z.B. das transparente Glassubstrat 1 vorbereitet
und auf der Innenfläche des
Substrats 1 wird die erste Elektrodengruppe 21 ausgebildet.
Dabei wird auf der ganzen Innenfläche des Substrats 1 eine
transparente, elektrisch leitfähige
Schicht, z.B. aus ITO, in einer Dicke von beispielsweise 300 nm
abgelagert. Diese elektrisch leitfähige transparente Schicht wird
mittels Photolithographie in einem Muster geätzt, so daß die Mehrzahl von streifenförmigen ersten
Elektroden 11 entsteht. Das heißt, auf dem auf der ganzen
Oberfläche
ausgebildeten ITO wird eine Photoresistschicht aufgebracht und diese
dann getrocknet. Sie wird nach dem benötigten Muster belichtet und
dann entwickelt, so daß eine
konkrete Ätzmaske
entsteht, die parallel angeordnet ist. Diese Ätzmaske wird dann für die Musterätzung der
transparenten, elektrisch leitfähigen Schicht
in einer Ätzlösung benutzt,
die aus einer Mischung von Salzsäure
und Eisenchlorid besteht. Auf diese Weise werden die ersten Elektroden 11 ausgebildet.
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Als
Nächstes
werden die Bus-Elektroden 11b erzeugt. Dabei wird zunächst auf
der gesamten Oberfläche
des ersten Substrats ein Material mit hervorragender elektrischer
Leitfähigkeit,
wie Al, in einer Dicke von etwa 1 μm aufgedampft, so daß die ersten Elektroden 11 abgedeckt
werden. Dann wird mittels Photolithographie der oben beschriebene
Musterätzprozeß durchgeführt, wobei
als Ätzlösung Phosphorsäure benutzt
wird, so daß die
Bus-Elektroden 11b auf den ersten Elektroden 3 und 4 so
ausgebildet werden, daß sie
die Breite der Elektroden 11 teilweise überdecken.
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Die
gitterförmigen
vorstehenden Stäbe 3,
die aus den vorstehenden Stababschnitten 3y und den diese
kreuzenden vorstehenden Stababschnitten 3x bestehen, werden
mit Hilfe eines Druckverfahrens mit einer Höhe von beispielsweise 20 μm und mit
einer Breite von beispielsweise 30 μm bis 40 μm erzeugt.
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Anschließend wird
auf der gesamten Fläche die
dielektrische Schicht, z.B. aus SiO2, durch
chemische Ablagerung aus der Dampfphase (CVD-Verfahren) oder dgl.
ausgebildet, und es wird MgO im Hochvakuum in einer Dicke von etwa
0,5 μm bis
1,0 μm aufgedampft
und auf diese Weise die Oberflächenschicht 5 erzeugt.
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Was
das Verfahren zur Herstellung auf der Seite des zweiten Substrats 2 mit
den zweiten Elektroden betrifft, so wird zunächst beschrieben, wie die vorstehenden
Wände 6 nach
dem Druckverfahren hergestellt werden.
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In
diesem Fall wird eine Glaspaste mehrere Male überdruckt. Die Dicke pro Druckprozeß beträgt in diesem
Fall etwa 10 μm,
und das Drucken wird wiederholt, so daß ein Streifendruck in einer
Höhe (Dicke)
von 50 μm
bis 80 μm
entsteht. Anschließend wird
bei einer Temperatur von beispielsweise 500°C bis 600°C getrocknet. Dadurch können die
vorstehenden Wände 6 mit
einer Höhe
von etwa 30 μm
bis 60 μm
erzeugt werden.
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Anschließend wird
auf den obersten Abschnitten zumindest jeder zweiten vorstehenden Wand 6c der
vorstehenden Wände 6 die
elektrisch leitfähige
Schicht ausgebildet. Wenn die elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet wird,
wie dies in 4A dargestellt ist, wird ein
elektrisch leitfähiges Material,
wie Al, aus der diagonal oberen Richtung X entlang der Papierfläche auf
den vorstehenden Wänden 6 abgelagert,
die entlang der Richtung Y ausgebildet sind, die die Papierfläche von 4A senkrecht
schneidet, und zwar z.B. durch ein Aufdampfen im Vakuum, das Richteigenschaft
in einer Richtung besitzt, in der das elektrisch leitfähige Material
fließt, d.h.
durch sogenanntes diagonales Aufdampfen im Vakuum. Dadurch entstehen
in den Basisbereichen der vorstehenden Wände 6, die im Schatten
der benachbarten vorstehenden Wände 6 liegen,
Abschnitte, auf denen das elektrisch leitfähige Material 13 nicht
abgelagert wird, so daß das
elektrisch leitfähige Material 13 auf
jeder der vorstehenden Wände 6 isoliert
ausgebildet wird. Deshalb wird elektrisch leitfähiges Material 13,
das von dem elektrisch leitfähigen Material 13 der
vorstehenden Wände 6 zu
beiden Seiten der vorstehenden Wände 6c isoliert
ist, nur auf jeder zweiten der vorstehenden Wände 6c abgelagert,
so daß die
zweiten Elektroden 12 aus dem getrennten elektrisch leitfähigen Material 13 jeweils
auf den vorstehenden Wänden 6c ausgebildet
werden kann.
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Ferner
wird, wie in 4B dargestellt, von der oberen
diagonalen Seite von 4A eine ähnliche diagonale Ablagerung
im Vakuum durchgeführt, so
daß das
elektrisch leitfähige
Material 13 dicker ausgebildet werden kann.
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Falls
dies notwendig ist, kann in dem Beispiel von 1 und 2 das
elektrisch leitfähige
Material 13 anschließend
von den vorstehenden Wänden 6, mit
Ausnahme der vorstehenden Wänden 6c,
durch Musterätzen
mittels Photolithographie entfernt werden. Das elektrisch leitfähige Material 13 kann
jedoch auf allen vorstehenden Wänden 6 verbleiben.
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Danach
wird wiederholt lichtempfindlicher fluoreszierender Schlamm mit
fluoreszierenden Materialien der entsprechenden Farben, nacheinander in
die Nuten zwischen den benachbarten vorstehenden Wänden 6,
die die jeweiligen vorstehenden Wände 6c sandwichartig
einfassen, eingebracht und gestockt. Wie in 1 dargestellt,
werden die roten, grünen
und blauen fluoreszierenden Materialien R, G und B zu beiden Seiten
abgelagert, die die jeweiligen vorspringenden Wände 6c sandwichartig
einfassen, so daß die
fluoreszierenden Flächen
erzeugt werden.
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Außerdem wird
auf der gesamten Oberfläche
eine (in 2 nicht dargestellte) Oberflächenschicht 14 aus
MgO ausgebildet.
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Auf
diese Weise wird die Seite des zweiten Substrats 2 hergestellt.
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Anschließend werden
das erste und das zweite Substrat 1 und 2 so angeordnet,
daß sie
in der oben erwähnten
relativen Position einander gegenüberliegen. Sie werden dann
schmelzversiegelt und evakuiert, und in ihnen wird Gas versiegelt.
Auf diese Weise wird die gewünschte
flache Anzeigevorrichtung erzeugt. Die Endabschnitte der Bus-Elektroden 11b und
die Endabschnitte der zweiten Elektroden 12 werden in diesem
Fall nach außen
zu den Endabschnitten der Substrate 1 und 2 geführt, die
aus dem luftdichten Zwischenraum herausragen, so daß sie als
Zuführungsanschlüsse benutzt
werden, die zu den ersten Elektroden 11 und den zweiten
Elektroden 12 führen.
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Bei
dem oben beschriebenen Verfahren gemäß der Erfindung können für den Fall,
daß die
zweiten Elektroden durch diagonales Aufdampfen im Vakuum auf den
obersten Abschnitten der vorstehenden Wände 6 abgelagert werden,
die zweiten Elektroden 12 leicht voneinander getrennt werden.
Das Verfahren zur Ausbildung der zweiten Elektroden 12 durch
die Vorrichtung gemäß der Erfindung
ist jedoch nicht auf das oben beschriebene Verfahren zum Aufdampfen
im Vakuum beschränkt,
bei dem diagonales Aufschleudern benutzt wird. Statt dessen kann
auch ein Verfahren benutzt werden, bei dem die zweite Elektrode
auf der gesamten Fläche
abgelagert und dann durch Musterätzen
mittels Photolithographie aus den Bereichen des Nutenbodens entfernt
wird.
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Bei
dem oben beschriebenen Verfahren wird die Glaspaste wiederholt mit
dem Muster aufgedruckt, d.h. überdruckt,
und auf diese Weise werden die vorstehenden Wände 6 gebildet. Es
ist jedoch auch möglich,
die Glaspaste auf der gesamten Oberfläche in einer Dicke von 50 μm bis 80 μm zu drucken und
zu trocknen und auf der gesamten Oberfläche einen lichtempfindlichen
Film zu laminieren, der dann belichtet und in parallelen Streifen
gebrannt und entwickelt wird. Anschließend findet Sandstrahlen mit dem
lichtempfindlichen Film als Maske statt, so daß der nicht benötigte Teil
der Glasschicht entfernt wird. Der lichtempfindliche Film wird entfernt,
und es wird bei 500°C
bis 600°C
gebrannt, so daß die
vorstehenden Wände 6 mit
der erforderlichen Höhe
erzeugt werden können.
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Wie
oben erwähnt
wurde, findet in dem Schritt zur Herstellung der gewünschten
flachen Anzeigevorrichtung eine Wärmebehandlung bei hoher Temperatur
statt, so daß sich
das erste und zweite Substrat 1 und 2 zusammenziehen
und die vorstehenden Wände 6,
wie z.B. in 5A und 5B dargestellt,
gelegentlich gegenüber
den vorstehenden Stababschnitten 3y versetzt sind. Da jedoch
die kreuzenden vorstehenden Stababschnitte 3x ausgebildet
sind und die vorstehenden Wände 6 mit
den kreuzenden vorstehenden Stababschnitten 3x immer in
Kontakt kommen können,
kann auch in diesem Fall der Abstand zwischen den zweiten Elektroden 12 und
den ersten Elektroden 11 auf einen vorbestimmten Wert,
nämlich
weniger als 50 μm,
vorzugsweise nicht mehr als 20 μm,
eingestellt werden.
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel
beschränkt.
So können z.B.
das erste und das zweite Substrat aus der gesamten Fläche und
dem rückseitigen
Panel bestehen, die den luftdichten flachen Behälter darstellen, der die flache
Anzeigevorrichtung bildet, oder sie können aus einander gegenüberliegenden
Substraten bestehen, die in dem luftdichten flachen Behälter angeordnet
sind. Es sind verschiedene Modifizierungen und Änderungen möglich.
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Da
bei der flachen Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung, wie oben erwähnt, eine
Konfiguration angewendet wird, bei der Kathodenglimmentladung stattfindet,
kann die elektrische Ansteuerleistung stärker reduziert werden als bei
negativer Glimmentladung, so daß der
stromsparende Effekt speziell bei Anzeigevorrichtungen mit großem Bildschirm
verbessert werden kann.
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Für den Fall,
daß bei
der praktischen Herstellung das erste und zweite Substrat 1 und 2 aus
preiswertem Bleiglas oder dgl. bestehen, zieht sich das Bleiglas
durch die Wärmebehandlung
bei hoher Temperatur stark zusammen. Wenn die vorstehenden Stäbe 6 jedoch,
wie oben beschrieben, in Gitterform ausgebildet sind, kann selbst
dann, wenn die Substrate 1 und 2 versetzt werden,
der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Substrat 1 und 2,
d.h. der Zwischenraum zwischen den zweiten Elektroden und den ersten
Elektroden, auf dem vorbestimmten Abstand gehalten werden. Infolgedessen
kann der enge Abstand zwischen den Elektroden, der im Fall der Kathodenglimmentladung
zu einem Problem wird, sicher eingestellt werden, und die flache
Anzeigevorrichtung kann mit hoher Zuverlässigkeit sicher aufgebaut werden.
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Wenn
die vorstehenden Wände 6 entsprechend
dem Herstellungsverfahren gemäß der Erfindung
auf dem zweiten Substrat ausgebildet werden und die zweiten Elektroden
durch diagonales Aufschleudern auf den obersten Abschnitten der
vorstehenden Wände 6 ausgebildet
werden, kann das elektrisch leitfähige Material isoliert auf
den obersten Abschnitten der vorstehenden Wände ausgebildet werden. Dadurch
erübrigt
sich der Verfahrensschritt, bei dem das elektrisch leitfähige Material
zwischen den vorstehenden Wänden
getrennt wird, und die Fabrikation wird vereinfacht.
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Vorangehend
wurden bevorzugte Ausführungsbeispiele
der Erfindung unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben.
Die Erfindung ist selbstverständlich
nicht auf die diese Ausführungsbeispiele
beschränkt
ist, und der einschlägige
Fachmann kann verschiedene Änderungen
und Modifizierungen vornehmen, ohne daß dadurch der Rahmen der vorliegenden
Erfindung verlassen wird, wie er in den anliegenden Ansprüchen definiert
ist.