DE4407212C1 - Pressure sensor - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a pressure sensor according to the preamble of claim 1.
Derartige Drucksensoren weisen als Hauptbauelement eine Membran, beispielsweise aus Keramik, Glas oder einem kri stallinen Werkstoff und einen Grundkörper, beispielsweise aus Keramik, auf, wobei die Membran in einem definierten Abstand zum Grundkörper angeordnet und fixiert ist. Das aus der Membran und dem Grundkörper gebildete Sensorelement wird von einem Gehäuse aufgenommen und darin fixiert.Such pressure sensors have a main component Membrane, for example made of ceramic, glass or a kri stallinen material and a basic body, for example made of ceramic, with the membrane in a defined Distance to the base body is arranged and fixed. The end the membrane and the base body formed sensor element received by a housing and fixed in it.
Aus der DE 40 18 638 A1 ist ein Drucksensor bekannt gewor den, dessen Sensorelement aus Keramik besteht. Die Membran ist in ihrem Randbereich mit einer ringförmigen, dünnen Glasschicht versehen, die im Siebdruckverfahren aufgebracht und durch einen Läpp-Prozeß zur Verbesserung der Oberflä chenqualität nachbehandelt ist. Das Sensorelement wird von hinten in ein rotationssymmetrisches Gehäuse eingesetzt und zur Anlage an einem flanschartigen Aufnahmeteil des Gehäuses angebracht. Zwischen dem flanschartigen Aufnahmeteil des Gehäuses und der Membran ist im Bereich der ringförmigen Glasschicht ein Dichtungsring angeordnet, der ein Eindringen von Prozeßfluid in das Gehäuseinnere des Drucksensors ver hindert. A pressure sensor has become known from DE 40 18 638 A1 the whose sensor element is made of ceramic. The membrane is in the edge area with an annular, thin Glass layer provided, applied by screen printing and by a lapping process to improve the surface quality is treated. The sensor element is from inserted in a rotationally symmetrical housing at the back and for bearing against a flange-like receiving part of the housing appropriate. Between the flange-like receiving part of the Housing and membrane is in the area of the ring Glass layer arranged a sealing ring, which prevents penetration of process fluid in the interior of the pressure sensor ver prevents.
Ein ähnliches Einspannprinzip ist aus der DE 36 29 628 A1 bekannt, die einen Drucksensor in Hochdruckausführung vor schlägt. Hierbei wird die Membran axial an ihrem Randbereich gegen ein flanschartiges Einsatzteil gedrückt und zur Ab dichtung am Umfang verschweißt. Das Einsatzteil mit der daran befestigten Membran ist seinerseits mit dem zylindri schen Gehäuse dicht verschweißt.A similar clamping principle is from DE 36 29 628 A1 known that a pressure sensor in high pressure version before beats. Here, the membrane is axially at its edge area pressed against a flange-like insert part and down Gasket welded around the circumference. The insert with the attached membrane is in turn with the cylinder tightly welded housing.
Beiden Drucksensoren ist gemeinsam, daß die Membran im Randbereich axial gegen ein Halterungsteil gedrückt wird, wobei eine bestimmte Vorspannung realisiert werden muß, um eine ausreichende Abdichtung sicherzustellen. Aufgrund nicht zu vermeidender Unregelmäßigkeiten der Oberflächengeometrie ist ein einspannabhängiges Fehlersignal nicht zu vermeiden.Both pressure sensors have in common that the membrane in Edge area is pressed axially against a holding part, a certain bias must be realized in order to ensure adequate sealing. Because of not irregularities in the surface geometry to be avoided a clamp-dependent error signal cannot be avoided.
Weiterhin besteht eine starke Abhängigkeit vom zu messenden Prozeßdruck und der herrschenden Umgebungstemperatur. Um einen möglichst großen Betriebstemperaturbereich überstrei chen zu können, sieht man ein relativ großvolumiges Dich tungssystem vor, um temperaturbedingte Längenänderungen ausgleichen zu können. Bei den bisher bekannten Dichtungs konzepten führt dies zwangsweise zu großen Spalten, Deh nungsfugen, Nischen oder Hinterschneidungen. Dies zieht insbesondere bei der Verwendung im Bereich der Lebensmittel industrie aus hygienischen Gründen große Probleme nach sich. So sind derartige Spalte, Dehnungsfugen etc. im industriel len Prozeß nicht ausreichend sicher und vollständig zu reinigen und damit bakterienfrei zu halten. Insbesondere hinterschnittene Hohlräume lassen sich kaum mit vertretbarem Aufwand im geforderten Ausmaß sauberhalten.There is also a strong dependency on what is to be measured Process pressure and the prevailing ambient temperature. Around Cover as wide an operating temperature range as possible You can see a relatively large volume of you system for temperature-related changes in length to be able to compensate. In the previously known seal concepts, this inevitably leads to large gaps, Deh expansion joints, niches or undercuts. This pulls especially when used in the food sector industry poses major problems for hygienic reasons. Such gaps, expansion joints, etc. are in industry process is not sufficiently safe and complete clean and keep bacteria free. Especially undercut cavities can hardly be justified Keep effort to the extent required.
Bei dem im Hauptpatent DE 42 34 290 beschriebenen, den Oberbegriff des Anspruchs 1 bildenden Drucksensor ist deshalb das Sensorelement nicht mehr axial im Randbereich der Membran, sondern rein radial im Gehäuse durch Deformation eines Dichtungselements abge stützt. Gleichzeitig wird die Membran bündig zur Stirnseite des Gehäuses angeordnet, wobei der zwischen dem Gehäuse und der Membran verbleibende Ringspalt relativ eng gehalten und durch das Dichtungselement vollständig ausgefüllt ist. Damit ist er einfach und sicher zu reinigen und auch für Messungen in der Lebensmittel- oder Pharmaindustrie geeig net.In the main patent DE 42 34 290 described, the preamble of claim 1 is therefore not the pressure element forming the sensor element more axially in the edge area of the membrane, but purely radial abge in the housing by deformation of a sealing element supports. At the same time, the membrane becomes flush with the face arranged of the housing, the between the housing and the annular gap remaining relatively narrow and is completely filled by the sealing element. It is easy and safe to clean and also for Suitable for measurements in the food or pharmaceutical industry net.
Es wurde jedoch gefunden, daß sich eine Reihe von gängigen Werkstoffen nicht als Werkstoffe für das Dichtungselement eignen, sofern der Drucksensor häufigen Temperatur- und/oder Lastwechseln ausgesetzt ist. Dies betrifft insbesondere Elastomerwerkstoffe, wie NBR oder Silikon, die im Laufe der Zeit zu Ermüdungserscheinungen neigen und rissig werden. Zudem nimmt die Elastizität und damit die Dichtfähigkeit mit sinkender Temperatur ab, so daß eine Reihe potentieller Einsatzgebiete nicht in Frage kommt.However, it has been found that there are a number of common Materials not as materials for the sealing element are suitable, provided the pressure sensor frequently temperature and / or Is exposed to load changes. This applies in particular Elastomer materials, such as NBR or silicone, which are used in the course of Tend to show signs of fatigue and crack. In addition, the elasticity and thus the sealability take away decreasing temperature, leaving a number of potential Areas of application is out of the question.
Speziell in der Lebensmitteltechnik sind zur Einhaltung hygienischer Bedingungen in relativ kurzen Zyklen Hochtempe raturprozesse zur Sterilisation oder Entkeimung erforder lich, die insbesondere den Dichtungswerkstoff sehr stark beanspruchen. Die sich unweigerlich einstellenden Risse und Poren können in automatischen Reinigungsverfahren nicht mehr hygienisch gereinigt werden. Deshalb müssen derartige Dich tungen nach relativ kurzer Einsatzzeit ausgetauscht werden.In food technology in particular, compliance is required hygienic conditions in relatively short high-temperature cycles raturation processes required for sterilization or disinfection Lich, especially the sealing material very strong claim. The inevitable cracks and Pores can no longer in automatic cleaning processes can be cleaned hygienically. Therefore, you have to after a relatively short period of use.
Aus der DE 42 34 289 C1 ist es bekannt, ein radiales Dich tungselement zwischen dem Sensorelement und dem ihn umgeben den Gehäuse vorzusehen und die für die angestrebte Dichtwir kung erforderliche radiale Vorspannung durch einen im Gehäu se angebrachten Druckring zu erzeugen. Das Dichtungselement ist gegenüber der Stirnseite des Sensorelements axial zu rückversetzt, nämlich im Bereich eines Grundkörpers, der die Membran trägt. Es entsteht somit zwischen dem Sensorelement, insbesondere im Bereich der Membran, ebenfalls ein Ring spalt, wie er bei den vorstehend beschriebenen Drucksensoren auftritt.From DE 42 34 289 C1 it is known a radial you tion element between the sensor element and the surrounding him to provide the housing and that for the desired sealing radial preload required by a in the housing se attached pressure ring to produce. The sealing element is axially opposite to the end face of the sensor element set back, namely in the area of a base body that the Membrane carries. This creates between the sensor element especially in the area of the membrane, also a ring gap, as in the pressure sensors described above occurs.
Auch bei dem in der US 4,986,129 beschriebenen Drucksensor ist stirnseitig zwischen dem Sensorelement und dem Gehäuse ein Ringspalt vorhanden, der nicht abgedichtet ist. Vielmehr ist axial zurückversetzt eine Dichtebene in Form einer am Gehäuseteil angebrachten Absatzstufe vorgesehen, an die unter Zwischenlage eines Dichtungsrings eine am Sensor vorhandene Schulter zur Anlage gebracht ist.Also in the pressure sensor described in US 4,986,129 is on the face between the sensor element and the housing there is an annular gap that is not sealed. Much more is axially set back a sealing plane in the form of a Provided part of the paragraph attached to the with the interposition of a sealing ring on the sensor existing shoulder is brought into contact.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, einen Druck sensor der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, der die geschilderten Nachteile nicht mehr aufweist. Insbe sondere soll ein Drucksensor geschaffen werden, dessen Sensorelement ein von den Einspannungsverhältnissen unabhän giges Meßsignal liefert und in einem großen Temperaturbe reich sicher betrieben werden kann. Insbesondere soll er so gestaltet sein, daß er einfach und sicher, insbesondere mittels eines Hochtemperaturprozesses, zu reinigen ist und damit auch in Langzeiteinsätzen in der Lebensmittel- oder Pharmaindustrie verwendet werden kann.The invention was therefore based on the object of printing to provide sensors of the type mentioned at the outset, who no longer has the disadvantages described. In particular in particular, a pressure sensor is to be created, the Sensor element independent of the clamping conditions Giges measurement signal delivers and in a large Temperaturbe can be operated safely. In particular, he should designed to be simple and safe, especially is to be cleaned by means of a high temperature process and thus also in long-term use in the food or Pharmaceutical industry can be used.
Gelöst wird dieses Problem durch einen Drucksensor, wie er durch die Merkmale des Anspruchs 1 beschrieben ist.This problem is solved by a pressure sensor like this is described by the features of claim 1.
Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung sind durch die Merkmale der Unteransprüche angegeben.Advantageous embodiments of the invention are characterized by specified the features of the subclaims.
Die Erfindung basiert auf der Idee, das Sensorelement nicht mehr axial im Randbereich der Membran, sondern rein radial im Gehäuse durch Deformation eines Dichtungselementes abzu stützen. Gleichzeitig wird die Membran bündig zur Stirnseite des Gehäuses angeordnet, wobei der zwischen dem Gehäuse und der Membran verbleibende Ringspalt relativ eng gehalten und durch das Dichtungselement vollständig, d. h. ohne Fuge oder Hinterschneidung, abgedeckt ist.The invention is based on the idea that the sensor element is not more axially in the edge area of the membrane, but purely radial in the housing by deformation of a sealing element support. At the same time, the membrane becomes flush with the face arranged of the housing, the between the housing and the annular gap remaining relatively narrow and through the sealing element completely, d. H. without joint or Undercut, is covered.
Die zur Fixierung des Sensorelements erforderliche radiale Vorspannung wird durch die Deformation des Dichtungselements erreicht.The radial required to fix the sensor element Preload is caused by the deformation of the sealing element reached.
Das Gehäuse besitzt zu diesem Zweck eine Ausnehmung in Form einer axialen Durchgangsöffnung, deren Durchmesser größer ist als der Durchmesser des Sensorelements und im vorderen, stirnseitigen Bereich des Gehäuses abnimmt, so daß sich der Ringraum zwischen dem Gehäuse und dem Sensorelement in Richtung auf die Stirnseite und damit auf den Ringspalt hin verjüngt. Darin wird das Dichtelement von hinten eingesetzt. Es handelt sich um ein steifes und widerstandsfähiges Form element, das auf die Form des Ringspalts abgestimmt ist. Es besteht aus einem Material, das unter bestimmten Druck- und Temperaturbedingungen ein definiertes Kaltfließverhalten besitzt. Dieses Kaltfließverhalten wird genutzt, um durch Aufbringen eines hohen Einpreßdrucks bei der Montage her stellbedingte Fugen, Spalte oder dergl. zwischen dem Dich tungselement und dem Ringspalt vollständig auszufüllen. Die eigentliche Vorspannkraft, die das Sensorelement im Gehäuse fixiert, wird durch eine Deformation erreicht, die im ela stischen Bereich, d. h. uriterhalb der Kaltfließgrenze liegt. Für die Auslegung der Dichtung ist es deshalb erforderlich, die spezifische Bauteilbelastung unterhalb der Bedingungen für das Kaltfließen zu halten. Deshalb müssen spezifische Maßnahmen vorgesehen werden, um die Haltekräfte, d. h. die Vorspannung unter allen Betriebsbedingungen aufrecht zu erhalten.For this purpose, the housing has a recess in the form an axial through opening, the diameter of which is larger is as the diameter of the sensor element and in the front, frontal area of the housing decreases, so that the Annulus between the housing and the sensor element in Direction towards the front and thus towards the annular gap rejuvenated. The sealing element is inserted from behind. It is a stiff and tough shape element that matches the shape of the ring gap. It consists of a material that under certain pressure and Temperature conditions a defined cold flow behavior owns. This cold flow behavior is used to by Applying a high injection pressure during assembly related joints, gaps or the like between the you fill element and the annular gap completely. The actual preload, which is the sensor element in the housing fixed, is achieved by a deformation that occurs in ela area, d. H. is beyond the cold yield point. For the design of the seal it is therefore necessary the specific component load below the conditions hold for the cold flow. Therefore specific Measures are provided to increase the holding forces, d. H. the Preload upright under all operating conditions receive.
Es ist deshalb ein Federelement vorgesehen, daß axial wir kend im Gehäuse eingesetzt ist. Längenänderungen des Dich tungselements, beispielsweise thermisch bedingte Aus dehnungen bei einem Hochtemperaturprozeß zur Sterilisation, werden durch das Federelement aufgefangen, so daß die Druck verhältnisse im Ringspalt in allen Betriebszuständen sicher unterhalb der Kaltfließgrenze des Materials des Dichtungs elements gehalten werden können.A spring element is therefore provided that we axially kend is used in the housing. Changes in length of you tion element, for example thermally caused Aus strains in a high temperature process for sterilization, are caught by the spring element, so that the pressure conditions in the annular gap in all operating conditions below the cold flow limit of the material of the seal elements can be held.
Aufbauend auf diesem Grundprinzip ergeben sich eine Reihe von Gestaltungsmöglichkeiten für die Anbringung des Sensor elements im Gehäuse.Building on this basic principle, there are a number of design options for attaching the sensor elements in the housing.
Die Erfindung wird näher anhand der in den Figuren darge stellten bevorzugten Ausführungsformen erläutert. Dort sind auch weitere, spezifische Vorteile angeführt, die sich aus der jeweiligen Ausführungsform ergeben. Es zeigen in schema tisierter Schnittdarstellung:The invention is illustrated by the Darge in the figures presented preferred embodiments explained. There are also listed other specific advantages that result from of the respective embodiment. It show in scheme tized sectional view:
Fig. 1 bis 4 Drucksensor mit verschieden gestalteten Dichtungselementen. Fig. 1 to 4 pressure sensor with differently designed sealing elements.
Der Drucksensor gemäß Fig. 1 weist ein Sensorelement 1 auf, welches - hier nicht dargestellt - aus einer Membran besteht, die in einem definierten Abstand an einem Grundkörper ange bracht ist. Die Membran kann aus Keramik, Oxydkeramik, Glas, Quarz oder einem kristallinen Werkstoff bestehen. Der Grund körper besteht aus einem ähnlichen Material, vorzugsweise aus Keramik. Die Membran und der Grundkörper sind im Um fangsbereich durch ein Verbindungsmaterial in einem defi nierten Abstand parallel zueinander unter Bildung einer dicht abgeschlossenen Kammer zusammengefügt. Die Membran durchbiegung bei Beaufschlagung mit dem zu bestimmenden Druck wird in an sich bekannter Weise, z. B. durch einen Dünnschicht- oder Dickschicht-Dehnungsmeßstreifen oder durch verschiedenartige kapazitive Anordnungen, erfaßt und elek trisch ausgewertet. Hierzu ist rückseitig am Grundkörper eine Elektronikschaltung angeordnet. Elektrische Anschluß leitungen sind nach außen geführt. . The pressure sensor of Figure 1 has a sensor element 1 which - not shown here - consists of a membrane which is at a defined distance to a base body is introduced. The membrane can consist of ceramic, oxide ceramic, glass, quartz or a crystalline material. The basic body is made of a similar material, preferably ceramic. The membrane and the base body are joined together in the circumferential area by a connecting material at a defined distance parallel to one another to form a tightly sealed chamber. The membrane deflection when the pressure to be determined is applied in a manner known per se, e.g. B. detected by a thin-film or thick-film strain gauge or by various types of capacitive arrangements and evaluated elec trically. For this purpose, an electronic circuit is arranged on the back of the base body. Electrical connection lines are led to the outside.
Das Sensorelement 1 ist frontbündig in ein Gehäuse 2 einge setzt. Hierzu weist das Gehäuse 2 eine Ausnehmung 5 in Form einer axialen Durchgangsöffnung auf. Sie besitzt im hinteren Teil des Gehäuses 2 einen weitgehend konstanten Durchmesser, der größer ist als der Durchmesser des Sensorelements 1. Im vorderen Bereich des Gehäuses 2 nimmt der Durchmesser konti nuierlich ab, so daß bei eingesetztem Sensorelement 1 stirn seitig zwischen dem Gehäuse 2 und dem Sensorelement 1 ein relativ kleiner Ringspalt 6 als Abschluß eines zwischen dem Gehäuse 2 und dem Sensorelement 1 gebildeten Ringraums 17 entsteht. The sensor element 1 is inserted flush in a housing 2 . For this purpose, the housing 2 has a recess 5 in the form of an axial through opening. It has a largely constant diameter in the rear part of the housing 2 , which is larger than the diameter of the sensor element 1 . In the front region of the housing 2, the diameter takes accounts from ously so that when inserted sensor element 1 the end face between the housing 2 and the sensor element 1, a relatively small annular gap 6 as a termination of an annular space 17 formed between the housing 2 and the sensor element 1 is formed.
Ein Dichtungselement 4a ist im Ringraum 17 gedrückt gehal ten. Hierzu dient ein Druckring 7a, der innerhalb der Ausnehmung 5 zwischen dem Sensorelement 1 und dem Gehäuse 2 im Ringraum 17 angeordnet ist. Der Druckring 7a stützt sich an seinem der Stirnseite abgewandten Ende über Federelemente in Form zweier Tellerfedern 30 und einer Widerlagerplatte 31 an einem Verschlußdeckel 29 ab, welcher rückseitig mit dem Gehäuse 2 verschraubt ist und dieses abschließt. Die Teller federn 30 sind gegeneinanderliegend derart angeordnet, daß sie am Umfang in Eindrehungen nach Art von Absätzen 9 und 10 des Druckrings 7a und der Widerlagerplatte 30 geführt sind. Der Durchmesser der Absätze 9, 10, ist derart gewählt, daß eine ungehinderte Bewegung der Tellerfedern 30 bei Last wechseln, wie sie nachstehend näher beschrieben sind, ermög licht wird.A sealing element 4 a is held pressed in the annular space 17. For this purpose, a pressure ring 7 a is used, which is arranged within the recess 5 between the sensor element 1 and the housing 2 in the annular space 17 . The pressure ring 7 a is supported on its end facing away from the end by spring elements in the form of two disc springs 30 and an abutment plate 31 on a closure cover 29 which is screwed to the rear of the housing 2 and closes it. The disc springs 30 are disposed opposite one another such that they are guided in grooves on the circumference 30 in the manner of paragraphs 9 and 10 of the pressure ring 7 a and the abutment plate. The diameter of the paragraphs 9 , 10 is chosen such that an unimpeded movement of the plate springs 30 change under load, as described in more detail below, light is possible.
Beim Zusammenbau des Drucksensors wird das Dichtungselement 4 unter hohem Einpreßdruck von hinten in den Ringspalt 6 gezwungen. Das Dichtungselement 4a wird dabei so stark beaufschlagt, daß die Kaltfließgrenze überschritten wird, so daß der Ringspalt 6 vollständig vom Material des Dichtungs elements 4a durchsetzt ist und keinerlei Restspalte zwischen dem Dichtungselement 4a und dem Gehäuse 2 einerseits und dem Dichtungselement 4a und dem Sensorelement 1 andererseits verbleiben. Ein exakt bündiges Ausfüllen des Ringspalts 6 ist deshalb in der Regel nicht erreichbar, vielmehr tritt das Dichtungselement 4a stirnseitig aus dem Ringspalt 6 hervor. Dies ist erforderlich, um eine restspaltfreie Ab dichtung des Ringspalts 6 in jedem Fall sicherzustellen.When assembling the pressure sensor, the sealing element 4 is forced into the annular gap 6 from behind under high injection pressure. The sealing member 4 a is in this case strongly applied that the cold flow limit is exceeded, so that the annular gap 6 is completely penetrated by the material of the sealing element 4 a and a no residual gaps between the sealing member 4 and the housing 2 on the one hand and the sealing member 4 a and the sensor element 1 on the other hand remain. Exactly flush filling of the annular gap 6 is therefore generally not achievable; rather, the sealing element 4 a emerges from the annular gap 6 on the end face. This is necessary to ensure a gap-free seal from the annular gap 6 in any case.
Der stirnseitig herausragende Abschnitt des Dichtungsele ments 4a besitzt im Querschnitt angenähert die Form eines Kreissegments, im Extremfall die Form eines Halbkreises. Es handelt sich demnach um ein Kreissegment mit dem Zentriwin kel von maximal 180°. Ein weiteres Hervortreten des Dich tungselements 4a aus dem Ringspalt 6 muß auf alle Fälle vermieden werden, da ansonsten zwischen dem Dichtungselement 4a und den Stirnflächen des Gehäuses 2 und des Sensorele ments 1 keilförmige Spalten entstehen, die unter allen Umständen vermieden werden müssen, um ein unerwünschtes Anlagern von Rückständen und Verschmutzungen zu vermeiden.The protruding portion of the sealing element 4 a has in cross section approximately the shape of a segment of a circle, in extreme cases the shape of a semicircle. It is therefore a segment of a circle with the center angle of maximum 180 °. A further emergence of the processing element 4 a from the annular gap 6 must be avoided in any case, since otherwise wedge-shaped columns arise between the sealing element 4 a and the end faces of the housing 2 and the sensor element 1 , which must be avoided under all circumstances to avoid undesired accumulation of residues and dirt.
Als Material für das Dichtungselement 4a eignen sich prinzi piell solche Polymere, die unter hohem Druck zum Kaltfließen neigen. Neben der geforderten Korrosionsbeständigkeit kommt es insbesondere darauf an, daß sie einfach zu reinigen sind und je nach Anwendungsfall auch dauerhaft für Mikroorganis men undurchlässig sind. Für die Einhaltung einschlägiger Vorschriften, wie beispielsweise der deutschen Bestandteil liste des Bundesgesundheitsamts oder des US-Codes der Fede ral Drug Association, eignen sich insbesondere Polypropylen (PP), unplastifiziertes Polyvinylchlorid (PVC), Acetal-Copo lymerisat, Polycarbonat (PC) und Polyethylen (PE) mit hoher Dichte.As a material for the sealing element 4 a are principally such polymers that tend to flow under high pressure to cold. In addition to the required corrosion resistance, it is particularly important that they are easy to clean and, depending on the application, are also impervious to microorganisms. Polypropylene (PP), unplasticized polyvinyl chloride (PVC), acetal copolymer, polycarbonate (PC) and polyethylene are particularly suitable for compliance with relevant regulations, such as the German component list of the Federal Health Office or the US code of the Federal Drug Association (PE) with high density.
Nach der Montage ist somit das Dichtungselement 4a durch Kaltfließen ideal in den Ringspalt 6 eingepaßt. Um die vollkommene Dichtheit unter allen Betriebszuständen zu erhalten, muß das Dichtungselement 4a unter Vorspannung gehalten werden, die einerseits dafür sorgt, daß das Sensor element 1 durch elastische Deformation des Dichtungselements 4a fixiert ist. Sie sorgt für die erforderlichen Einspann kräfte, die rein radial das Sensorelement 1 im Bereich der Mantelfläche erfassen. Die Federelemente 30 sorgen dafür, daß temperaturbedingte Volumenänderungen des Dichtungsele ments 4a soweit kompensiert werden, daß einerseits beim Absinken der Temperatur ein ausreichender Druck auf das Dichtungselement 4a ausgeübt wird, um neu entstehende Rest spalte durch Schrumpfung zu vermeiden und andererseits beim Ansteigen der Temperatur die dadurch bedingte Volumenausdeh nung soweit zugelassen wird, um ein erneutes, unbeabsichtig tes Kaltfließen zu vermeiden. Ein derartiges Kaltfließen würde einen unkontrollierten Materialaustritt aus dem Ring spalt 6 bewirken. Die Tellerfedern 30 lassen somit eine kontrollierte und begrenzte Axialverschiebung des Druckrings 7 zu und sorgen dadurch auch bei extremen Temperaturschwan kungen für die Einhaltung der gewünschten Vorspannung des Dichtungselements 4a.After assembly, the sealing element 4 a is thus ideally fitted into the annular gap 6 by cold flow. In order to maintain perfect tightness under all operating conditions, the sealing element 4 a must be kept under tension, which on the one hand ensures that the sensor element 1 is fixed by elastic deformation of the sealing element 4 a. It provides the necessary clamping forces, which capture the sensor element 1 purely radially in the area of the lateral surface. The spring elements 30 ensure that temperature-induced volume changes of the Dichtungsele be ments 4a extent compensated for, on the one hand a sufficient pressure to the sealing member 4 a is applied when the temperature decreases to column emerging rest to avoid shrinkage and on the other hand, when the temperature rises the resulting expansion in volume is permitted to avoid renewed, unintentional cold flow. Such a cold flow would cause an uncontrolled material leakage from the annular gap 6 . The plate springs 30 thus allow a controlled and limited axial displacement of the pressure ring 7 and thereby ensure that the desired preload of the sealing element 4 a is maintained even in the case of extreme temperature fluctuations.
In diesem Zusammenhang ist der konische Verlauf des Ring spalts 17 von besonderer Bedeutung. Er sorgt dafür, daß das Dichtungselement 4a bei axialer Belastung die gewünschte Vorspannung in radialer Richtung erzeugt, welche für die gewünschten Einspannkräfte für das Sensorelement 1 verant wortlich ist.In this context, the conical shape of the annular gap 17 is of particular importance. It ensures that the sealing element 4 a generates the desired preload in the radial direction under axial loading, which is responsible for the desired clamping forces for the sensor element 1 .
Beim Zusammenbau des Drucksensors wird die für das Kalt fließen erforderliche Kraft durch das Einschrauben des Verschlußdeckels 29 aufgebracht, wobei zumindest kurzfristig durch geeignete Maßnahmen, wie beispielsweise Erhitzen, die Bedingungen für ein Kaltfließen des Dichtungselements 4 überschritten werden müssen. Dieser Zustand darf, wie ein gangs beschrieben, während des späteren Betriebs nicht mehr erreicht werden.When assembling the pressure sensor, the force required for the cold flow is applied by screwing in the closure cap 29 , the conditions for a cold flow of the sealing element 4 having to be exceeded at least for a short time by suitable measures, such as heating. As described at the beginning, this state may no longer be reached during later operation.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 sind im Dichtungselement 4a zwei Dichtungsringe in Form von O-Ringen 40, 41 integriert, die zwischen dem Gehäuse 2 und dem Dichtungselement 4a einerseits und zwischen dem Sensor element 1 und dem Dichtungselement 4a andererseits angeord net sind und für eine zusätzliche Abdichtung zur Erhöhung der Lekagesicherheit dienen.In the illustrated embodiment of FIG. 1 in the sealing member 4 a two seal rings in the form of O-rings 40, integrated 41 between the housing 2 and the sealing member 4 a one hand, and between the sensor element 1 and the sealing member 4a on the other hand angeord are net and serve for an additional seal to increase leakage security.
Die Ausführungsform gemäß Fig. 2 ähnelt derjenigen der Fig. 1. Sie unterscheidet sich durch die abweichende Ge staltung des Druckrings 7b. Er besitzt eine zusätzliche axiale Anlagefläche 8 für das Sensorelement 1, so daß dieses zusätzlich auch in axialer Richtung abgestützt ist. Weiter hin ist der Druckring 7b stirnseitig, dem Dichtungselement 4b zugewandt, konusförmig ausgestaltet, wobei ein radial einwärts zurückweichender Konturverlauf gewählt wurde. Hierauf abgestimmt ist auch das Dichtungselement 4b gestal tet. Es besitzt im Querschnitt eine trapezförmige Gestalt. Hierdurch verbessert sich die axiale Verteilung der radial wirkenden Einspannkraft.The embodiment according to FIG. 2 is similar to that of FIG. 1. It differs in that the design of the pressure ring 7 b differs. It has an additional axial contact surface 8 for the sensor element 1 , so that it is additionally supported in the axial direction. Next towards the pressure ring 7 is b end face, the sealing member 4b facing cone-shaped configuration, with a radially inwardly receding contour shape is selected. This is also the sealing element 4 b gestal tet. It has a trapezoidal shape in cross section. This improves the axial distribution of the radially acting clamping force.
In Fig. 3 ist eine weitere Variante dargestellt. Sie bietet weitere Vorteile, insbesondere bei der Montage. Hierzu ist der Druckring 7c über in ein in diesem Bereich zusätzlich angeordnetes Innengewinde 27 mit dem Gehäuse 2 verschraubt. Der Druckring 7c ist in der Lage, den für die Montage erfor derlichen Einpreßdruck zu erzeugen, so daß durch Kaltfließen des Materials des Dichtungselements 4c ein Versiegeln des Ringspalts 6 erreicht wird. Zum Druckausgleich infolge thermisch bedingter Volumenänderungen eignet sich der Druck ring 7c nicht, da er seine Position in Bezug auf das Dich tungselement 4c nicht ändert. Es ist deshalb ein Keilring 36 vorgesehen, der den Druckring 7c durchsetzt und in das Dichtungselement 4c hineingeführt ist. Rückseitig geht der Keilring 36 in eine Keilplatte 35 über, die ihrerseits über Tellerfedern 30 federnd abgestützt ist und somit für den gewünschten Druckausgleich sorgt. Der Keilring 36 muß des halb axial verschieblich in Bezug auf den Druckring 7c gelagert sein. Die Abstützung der Keilplatte 35 erfolgt wiederum über zwei Tellerfedern 30, die in Absätzen 9, 10 gehalten sind. Rückseitig erfolgt die Abstützung über die Widerlagerplatte 31 und den Verschlußdeckel 29.In Fig. 3, a further variant is represented. It offers further advantages, especially when it comes to assembly. For this purpose, the pressure ring 7 c is screwed to the housing 2 via an internal thread 27 additionally arranged in this area. The pressure ring 7 c is able to generate the necessary press-in pressure for assembly, so that sealing of the annular gap 6 is achieved by cold flow of the material of the sealing element 4 c. To compensate for pressure due to thermal changes in volume, the pressure ring 7 c is not suitable because it does not change its position in relation to the processing element 4 c. A wedge ring 36 is therefore provided which passes through the pressure ring 7 c and is guided into the sealing element 4 c. On the back, the wedge ring 36 merges into a wedge plate 35 , which in turn is resiliently supported by plate springs 30 and thus ensures the desired pressure equalization. The wedge ring 36 must be half axially displaceable with respect to the pressure ring 7 c. The wedge plate 35 is in turn supported by two plate springs 30 which are held in paragraphs 9 , 10 . On the back, support is provided via the abutment plate 31 and the sealing cover 29 .
In Fig. 4 ist eine weitere Variante dargestellt, die sich auf die Gestaltung der Kontur des Dichtungselements 4d bzw. der Innenwandung 20 des Gehäuses 2 im Bereich des Dichtungs elements 4d bezieht. Der Ringraum 17 ist auch bei diesem Ausführungsbeispiel zur Stirnseite hin verjüngend gestaltet, jedoch erfolgt die Verjüngung nicht durch eine im Quer schnitt geradlinig verlaufende Kontur, sondern durch eine S-förmige Gestaltung. Die radiale Anpreßkraft verändert sich somit längs der Mantelfläche des Sensorelements 1. Aus den in Fig. 4 dargestellten Kräftedreiecken ist zu erkennen, daß die radiale Kraftkomponente im Bereich des Ringspalts größer ist als in weiter innen liegenden Positionen. Damit ist die Dichtkraft stirnseitig, d. h. im kritischen Ab schnitt, am größten. Unter Kaltfließbedingungen ist zudem gewährleistet, daß wenig Material aus weiter innen liegenden Abschnitten in Richtung auf den Ringspalt 6 gezwungen wird, so daß der Materialaustritt aus dem Ringspalt 6 gering bleibt. Dies ist erwünscht, um unkontrolliertes Hervorquel len von Dichtungsmaterial zu vermeiden.In FIG. 4, a further variant is shown, the of the sealing member 4d and the inner wall 20 of the housing 2 in the region of the sealing element 4 refers d on the design of the contour. The annular space 17 is also tapered towards the end face in this embodiment, however, the tapering is not carried out by a straight cross-sectional contour, but by an S-shaped design. The radial contact force thus changes along the lateral surface of the sensor element 1 . It can be seen from the triangles of forces shown in FIG. 4 that the radial force component is greater in the region of the annular gap than in positions located further inward. This means that the sealing force is greatest at the end, ie in the critical section. Under cold flow conditions, it is also ensured that little material is forced from sections located further in the direction of the annular gap 6 , so that the material exit from the annular gap 6 remains low. This is desirable in order to avoid uncontrolled protrusion of sealing material.
Aus dem Vorstehenden ergibt sich, das der erfindungsgemäße Drucksensor besonders vorteilhaft in denjenigen Bereichen einzusetzen ist, bei denen aus hygienischen oder septischen Gründen eine chemische und/oder biologische Reinigung durch Hochtemperaturprozesse sicher und zuverlässig durchgeführt werden muß.From the above it follows that the invention Pressure sensor particularly advantageous in those areas is to be used where hygienic or septic Establish a chemical and / or biological cleaning High temperature processes carried out safely and reliably must become.
BezugszeichenlisteReference list
1 Sensorelement
2 Gehäuse
4 Dichtungselement
5 Ausnehmung
6 Ringspalt
7 Druckring
8 Anlagefläche
9 Absatz
10 Absatz
17 Ringraum
20 Innenwandung
27 Innengewinde
29 Verschlußdeckel
30 Tellerfeder
31 Widerlagerplatte
35 Keilplatte
36 Keilring
40 O-Ring
41 O-Ring. 1 sensor element
2 housings
4 sealing element
5 recess
6 annular gap
7 pressure ring
8 contact surface
9 paragraph
10 paragraph
17 annulus
20 inner wall
27 internal thread
29 sealing cover
30 disc spring
31 abutment plate
35 wedge plate
36 wedge ring
40 O-ring
41 O-ring.
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|---|---|
| DE (1) | DE4407212C1 (en) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19628551A1 (en) * | 1995-08-04 | 1997-02-20 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure measuring unit for static and dynamic pressure |
| DE10004614A1 (en) * | 2000-02-03 | 2001-08-16 | Siemens Ag | Liquid pressure sensor esp. for detecting reducing agent solution pressure for exhaust-gas treatment in combustion engine - includes spring element for holding pressure sensor element in defined position in receptacle part for pressure sensor element |
| DE10049996A1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-04-11 | Endress Hauser Gmbh Co | pressure transducers |
| DE10243079A1 (en) * | 2002-09-16 | 2004-03-25 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Capacitive pressure sensor has its dimensions optimized using an iterative numerical method so that errors caused by tensioning forces and temperature hysteresis are minimized |
| DE10253736A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Bodedynamic Gmbh | Device for sealing components forming a part of drinking water piping systems comprises a sealing compound which together with its low-friction coating has neutral microbiological properties |
| DE10324818A1 (en) * | 2003-06-02 | 2005-01-05 | Vega Grieshaber Kg | Sealing a sensor element |
| DE10334854A1 (en) * | 2003-07-29 | 2005-03-10 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | pressure sensor |
| EP1531323A2 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-18 | VEGA Grieshaber KG | Mounting of pressure sensor |
| DE102004019389A1 (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure transducer with exchangeable process connection |
| DE102004031582A1 (en) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
| EP2136192A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | Hamilton Bonaduz AG | Sensor fixing assembly |
| CN1749720B (en) * | 2004-09-15 | 2010-12-08 | Vega格里沙贝两合公司 | Sensor with a seal relative to measuring zone |
| EP2395336A1 (en) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | Sensata Technologies, Inc. | Hermetically sealed pressure sensing device |
| DE102010029955A1 (en) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure sensor with a cylindrical pressure measuring cell |
| EP2511685A1 (en) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | VEGA Grieshaber KG | Measuring cell with a housing for holding a sensor, in particular a pressure transducer |
| DE102014104479A1 (en) * | 2014-03-31 | 2015-10-15 | Steinel Normalien Ag | Gas spring |
| WO2018099666A1 (en) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Pressure sensor comprising a process connector |
| US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
| US10488289B2 (en) | 2016-04-11 | 2019-11-26 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensors with plugs for cold weather protection and methods for manufacturing the plugs |
| US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
| US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
| US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
| US10871413B2 (en) | 2016-04-20 | 2020-12-22 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4986129A (en) * | 1989-03-30 | 1991-01-22 | AVL Gesellschaft fur Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik m.b.H. Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List | Pressure sensor |
| DE4234289C1 (en) * | 1992-10-12 | 1993-11-25 | Fibronix Sensoren Gmbh | Pressure sensor e.g. for use in corrosive media - has non-metallic sensor element fitted in chemically resistant polymeric housing contg. expansion preventing tube |
-
1994
- 1994-03-04 DE DE19944407212 patent/DE4407212C1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4986129A (en) * | 1989-03-30 | 1991-01-22 | AVL Gesellschaft fur Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik m.b.H. Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List | Pressure sensor |
| DE4234289C1 (en) * | 1992-10-12 | 1993-11-25 | Fibronix Sensoren Gmbh | Pressure sensor e.g. for use in corrosive media - has non-metallic sensor element fitted in chemically resistant polymeric housing contg. expansion preventing tube |
Cited By (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19628551B4 (en) * | 1995-08-04 | 2004-04-15 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure measuring device and pressure measuring arrangement |
| DE19628551A1 (en) * | 1995-08-04 | 1997-02-20 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure measuring unit for static and dynamic pressure |
| DE10004614A1 (en) * | 2000-02-03 | 2001-08-16 | Siemens Ag | Liquid pressure sensor esp. for detecting reducing agent solution pressure for exhaust-gas treatment in combustion engine - includes spring element for holding pressure sensor element in defined position in receptacle part for pressure sensor element |
| DE10049996A1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-04-11 | Endress Hauser Gmbh Co | pressure transducers |
| DE10243079A1 (en) * | 2002-09-16 | 2004-03-25 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Capacitive pressure sensor has its dimensions optimized using an iterative numerical method so that errors caused by tensioning forces and temperature hysteresis are minimized |
| EP1540293B1 (en) * | 2002-09-16 | 2009-06-10 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG. | Capacitive pressure sensor |
| DE10253736A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Bodedynamic Gmbh | Device for sealing components forming a part of drinking water piping systems comprises a sealing compound which together with its low-friction coating has neutral microbiological properties |
| EP1484590A3 (en) * | 2003-06-02 | 2006-04-05 | VEGA Grieshaber KG | Sealing of a sensing element |
| DE10324818A1 (en) * | 2003-06-02 | 2005-01-05 | Vega Grieshaber Kg | Sealing a sensor element |
| EP1649257B1 (en) * | 2003-07-29 | 2008-11-05 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG | Pressure sensor |
| US7448274B2 (en) | 2003-07-29 | 2008-11-11 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft Fur Mess- U. Regeltechnik Mbh + Co. Kg | Pressure sensor having a pressure measuring cell with a platform and a measuring membrane |
| DE10334854A1 (en) * | 2003-07-29 | 2005-03-10 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | pressure sensor |
| US6955088B2 (en) | 2003-11-14 | 2005-10-18 | Thomas Kopp | Sensor, particularly a pressure sensor with a sensor fastening device |
| DE10353323A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Vega Grieshaber Kg | Sensor, in particular pressure sensor with a sensor device fastening device |
| EP1531323A3 (en) * | 2003-11-14 | 2006-05-03 | VEGA Grieshaber KG | Mounting of pressure sensor |
| CN100470220C (en) * | 2003-11-14 | 2009-03-18 | Vega格里沙贝两合公司 | Sensor, particularly a pressure sensor with a sensor fastening device |
| EP1531323A2 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-18 | VEGA Grieshaber KG | Mounting of pressure sensor |
| DE102004019389A1 (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure transducer with exchangeable process connection |
| US7516666B2 (en) | 2004-04-19 | 2009-04-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure pickup with exchangeable process connection |
| DE102004031582A1 (en) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
| US7861598B2 (en) | 2004-06-29 | 2011-01-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure transducer |
| CN1749720B (en) * | 2004-09-15 | 2010-12-08 | Vega格里沙贝两合公司 | Sensor with a seal relative to measuring zone |
| EP2136192A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | Hamilton Bonaduz AG | Sensor fixing assembly |
| CN102331323A (en) * | 2010-06-08 | 2012-01-25 | 森萨塔科技公司 | Hermetically sealed pressure sensing device |
| US8499642B2 (en) | 2010-06-08 | 2013-08-06 | Sensata Technologies, Inc. | Hermetically sealed pressure sensing device |
| CN102331323B (en) * | 2010-06-08 | 2015-09-09 | 森萨塔科技公司 | Hydrodynamic pressure sensing apparatus and pressure sensing element |
| EP2395336A1 (en) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | Sensata Technologies, Inc. | Hermetically sealed pressure sensing device |
| DE102010029955A1 (en) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure sensor with a cylindrical pressure measuring cell |
| CN102735393B (en) * | 2011-04-13 | 2016-07-06 | Vega格里沙贝两合公司 | There is the measuring unit of housing for holding sensor |
| EP2511685A1 (en) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | VEGA Grieshaber KG | Measuring cell with a housing for holding a sensor, in particular a pressure transducer |
| CN102735393A (en) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | Vega格里沙贝两合公司 | Measuring cell with casing for housing sensor |
| US8714019B2 (en) | 2011-04-13 | 2014-05-06 | Vega Greishaber Kg | Measuring cell with a casing for housing a sensor, in particular a pressure transducer |
| DE102014104479A1 (en) * | 2014-03-31 | 2015-10-15 | Steinel Normalien Ag | Gas spring |
| US10488289B2 (en) | 2016-04-11 | 2019-11-26 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensors with plugs for cold weather protection and methods for manufacturing the plugs |
| US10871413B2 (en) | 2016-04-20 | 2020-12-22 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
| WO2018099666A1 (en) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Pressure sensor comprising a process connector |
| US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
| US11105698B2 (en) | 2017-05-04 | 2021-08-31 | Sensata Technologies, Inc. | Method of assembling a sensing device having a double clinch seal |
| US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
| US10969288B2 (en) | 2017-06-30 | 2021-04-06 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
| US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
| US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
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