DE4235676C2 - Vakuumkammer zum Transport scheibenförmiger Werkstücke in einer Vakuumanlage - Google Patents

Description

Bei der Behandlung von scheibenförmigen Werkstücken, z. B. Speicherplatten, CD's, Magnetspeicherplatten oder magnetooptischen Speicherplatten, in einer Vakuumbehandlungsanlage durch nicht-reaktive oder reaktive Prozesse, z. B. Ätzen, PVD- oder CVD-Beschichten mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung, besteht die Notwendigkeit, die scheibenförmigen Werkstücke durch eine oder mehrere Öffnungen in der Wand einer Vakuumkammer in eine angrenzende Kammer durchzureichen. Hierzu wird in der Vakuumkammer eine Transporteinrichtung benötigt, mit der ein Werkstück auf eine gewünschte Öffnung ausgerichtet und dann durch deren Öffnungsquerschnitt hindurchbewegt werden kann. Eine solche Transporteinrichtung muß hinsichtlich Kontruktion und Betrieb den speziell an eine Vakuumbehandlungsanlage zu stellenden Anforderungen genügen, insbesondere hinsichtlich Platzbedarf und Flexibilität sowie hinsichtlich der Vermeidung eines den Reinheitsbedingungen zuwiderlaufenden Partikelabriebs.

Aus DE 39 12 295 A1 ist eine Vakuumkammer einer Kathodenzerstäubungsanlage bekannt, in der eine drehbare Transportvorrichtung mit einer Anzahl von radialen Armen oder Transportkellen angeordnet ist. Jede mit scheibenförmigen Werkstücken beschickte Transportkelle kann durch Drehen der Transporteinrichtung durch die verschiedenen Bearbeitungsstationen der Vakuumkammer bewegt werden und in jeder Station begrenzt axial verschoben werden, um sie gegen die Wand der Vakuumkammer anzupressen, so daß die scheibenförmigen Werkstücke durch eine Öffnung in der Wand der Kammer zugeführt oder entnommen oder einer Behandlung ausgesetzt werden können. Ein Durch- oder Weiterreichen der Werkstücke durch die Öffnung in der Kammerwand mittels der Transportvorrichtung findet dabei nicht statt.

Die Erfindung geht aus von einer DE 37 14 045 A1 bekannten Vakuumkammer mit Transporteinrichtung zum Transport scheibenförmiger Werkstücke, mit der die scheibenförmigen Werkstücke in der Vakuumkammer durch Drehen der Transporteinrichtung auf eine von mehreren Öffnungen ausgerichtet und dann in einer zur Drehachse radialen Ausfahrbewegung durch die Öffnung hindurchbewegt werden können. Dabei liegt die Scheibenebene parallel zur Ausfahrrichtung und senkrecht zur Querschnittsebene der Öffnung. Da sich das scheibenförmige Werkstück somit mit seiner Schmalseite durch die Öffnung bewegt, kann die Öffnung schlitzförmig ausgebildet sein, so daß eine verhältnismäßig platzsparende Anordnung realisiert werden kann. Zur Steuerung der Radialbewegung der scheibenförmigen Werkstücke durch die Öffnung hindurch ist bei der bekannten Vorrichtung eine komplizierte und platzaufwendige Einrichtung vorgesehen, die entweder aus einem Lenkerparallelogramm oder aus zwei gelenkig miteinander verbundenen und durch einen Seilzug gekoppelten Schwenkarmen besteht. In beiden Fällen benötigt die Einrichtung eine größere Anzahl von Gelenkstellen bzw. Drehlagern, an denen Abrieb entstehen kann. Auch benötigt die Vorrichtung zum radialen Ausfahren der Werkstücke soviel Platz bzw. Bewegungsfreiheit, daß es nicht möglich sein dürfte, zwei oder mehr solcher ausfahrbaren Halterungen an der drehbaren Transportvorrichtung vorzusehen. Auch dürfte die Anordnung nicht ohne weiteres mit einer Einrichtung zum Abdichten der Öffnung der Kammerwand in der ausgefahrenen Stellung des Werkstücks kombinierbar sein.

Gegenüber dem genannten Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Einrichtung für das Ausfahren der Werkstücke durch die Öffnung hindurch baulich zu vereinfachen, insbesondere die Zahl der abriebanfälligen Drehlager zu verringern und sie außerdem platzsparender auszubilden.

Erfindungsgemäße Lösungen der Aufgabe sind in den Ansprüchen 1 und 2 angegeben. Bei der im Anspruch 1 angegebenen Lösung wird für das Ausfahren des Werkstücks durch die Öffnung nur ein in Umfangsnähe der Transporteinrichtung angelenkter Schwenkarm benötigt. Bei der Lösung gemäß Anspruch 2 kann ein sehr einfacher Linearantrieb, insbesondere ein radial beweglicher Stößel, die Durchreichbewegung des Werkstückhalters durch die Öffnung bewirken. In beiden Fällen ist die Konstruktion sehr einfach und außerdem derart platzsparend, daß ohne weiteres mehrere, z. B. sechs ausfahrbare Werkzeughalter an der drehbaren Transportvorrichtung vorgesehen sein können.

Die Unteransprüche beziehen sich auf vorteilhafte weitere Ausgestaltungen der Erfindung.

In einer bevorzugten Ausführungsform gemäß Anspruch 3 wird die erwähnte Halterung zangenförmig ausgebildet und ist vorzugsweise zum Ergreifen und Freigeben eines jeweiligen Werkstückes ansteuerbar.

Hierdurch wird der für die Werkstückschwenkung notwendige Raum, über den ohnehin für das Werkstück notwendigen hinaus, höchstens unmaßgeblich vergrößert, was ermöglicht, die erwähnte Öffnung im wesentlichen der Dimension des durchzutransportierenden Werkstückes optimal anzugleichen.

Oft sind in Transportkammern von Vakuumbearbeitungsanlagen Transportanordnungen vorgesehen, womit das Werkstück mindestens aus linear gegen bzw. von zu bedienenden Öffnungen verschoben wird. Durch die Merkmale von Anspruch 4 und insbesondere 5 ergibt sich dann die Möglichkeit, für die Schwenkbewegung der Transportvorrichtung mit der Halterung einen bereits vorhandenen Linearantrieb auszunützen. Zudem ist die Wandlung eines auch nur geringen linearen Vorschubes in eine großwinklige Schwenkbewegung, und damit in einen durch diese Schwenkbewegung bewirkten großen Hub, einfach realisierbar.

Durch die Ausbildung der Kammer nach Anspruch 6 bzw. 7 wird es, wie erwähnt, einfach möglich, den Schwenkantrieb für die Transportvorrichtung durch den Linerantrieb der Transportanordnung zu realisieren, und ferner wird der Vorteil eines wenn auch relativ geringen linearen Hubes beibehalten, nämlich die jeweils bediente Öffnung in erwünschtem Maße verschließen zu können.

Die Kammer kann modular mit einer oder mehreren bekannten Transportkammern mit mindestens zwei Öffnungen oder einer oder mehreren Bearbeitungsstationen, wie Ätz- oder Beschichtungsstationen, gekoppelt werden, oder mit einer Ein- und einer Ausgabeschleusenkammer bzw. einer Ein-/Ausgabeschleusenkammer gemäß Anspruch 8.

Dadurch, daß gemäß Anspruch 10 die Schwenkachse der Transportvorrichtung parallel zur Drehachse der weiteren Transportanordnung in der weiteren Kammer ausgelegt ist, wird es möglich, bezüglich der Drehachse in der weiteren Kammer die Werkstückdurchführung durch die Verbindungsöffung im we­ sentlichen radial vorzunehmen.

Dadurch, daß weiter gemäß Anspruch 11 die weitere Transportanordnung in der weiteren Kammer eine Mehrzahl von Halterungen für die Werkstücke aufweist, die gemeinsam um die Drehachse drehbar sind, im wesentlichen in der Schwenkebene der Transportvorrichtung, wird es möglich, damit von der ersten Kammer ein Werkstück nach dem anderen der weiteren Transportanordnung zuzuführen bzw. ein Werkstück nach dem anderen durch die erwähnte Öffnung rückzuholen.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Kombination sind in den Ansprüchen 12 bis 17 spezifiziert.

Die Erfindung wird anschließend beispielsweise anhand von Figuren erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 schematisch eine teilweise geschnittene Ansicht einer Vakuumbehandlungsanlage mit einer erfindungsgemäßen Vakuumkammer.

Fig. 2 vergrößert einen Ausschnitt einer Übergabevorrichtung an der Anlage gemäß Fig. 1,

Fig. 3 schematisch und teilweise geschnitten, einen Teil der Anlage gemäß Fig. 1 in Aufsicht,

Fig. 3a schematisch einen Schnitt gemäß Fig. 3 durch eine an der Anlage gemäß Fig. 1 bis 3 angeordnete Ätzkammer zum doppelseitigen Sputtern von scheibenförmigen Werkstücken,

Fig. 4 eine Ausführungsvariante einer Karussellkammer mit radial bedienten Kammeröffnungen,

In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Anlage, worin die Erfindung integriert ist, schematisch dargestellt. Die Anlage umfaßt eine Vakuumkammer 1 und eine Vakuumkammer 3 sowie eine diese verbindende Zwischenkammer 3a.

In Vakuumkammer 1, im folgenden als Kammer bezeichnet ist eine Transporteinrichtung in Form eines zentrisch drehgelagerten und mit einem Motor 5 gesteuert angetriebenen Transportsterns 7 mit, wie beispielsweise gezeigt, sechs Armen 9 vorgesehen. Der Transportstern ist um die Achse A₇ drehbar. Die zur Achse A₇ parallele Außenwand 11 der Kammer 1 weist mindestens zwei Öffnungen 13a und 13b auf, auf welche, durch Drehen des Transportsterns 7, jeweils die Achse A₉ eines der Arme 9 ausgerichtet wird. Die Arme 9 sind mit (nicht dargestellten) am Transportstern 7 integrierten Antrieben, radial in Richtung ihrer Achsen A₉ linear ausfahrbar bzw. rückholbar. Der Linearantrieb ist vakuumdicht mit Bälgen 15 gekapselt. Endständig an den Armen 9, d. h. den bezüglich der Achse A₇ radial beweglichen Armteilen, ist je eine Transportbüchse 17 montiert, welche detaillierter in Fig. 2 schematisch dargestellt ist und wie aus dem Vergleich von den Fig. 1 und Fig. 3 erkenntlich, in Richtung parallel zur Achse A₇ wesentlich breiter ist als in Richtung quer dazu, d. h. in Azimutalrichtung.

Entsprechend sind die Öffnungen 13a bzw. 13b schlitzförmig ausgebildet.

In Richtung der Achse A₇ betrachtet, reitet in jeder Büchse 17, um eine Achse A₁₉ schwenkbar gelagert, eine Ausfahreinrichtung 18 mit einem Werkstückhalter in Form einer Transportzange 19 (Fig. 2). Sie umfaßt zwei Zangenarme 19a, 19b, die je an einem Trägerteil 21 um Schwenkachsen 23a, 23b drehgelagert sind und, über Rollen 24 miteinander in Eingriff stehen und (nicht dargestellt) federnd in die in Fig. 2 dargestellte Schließlage vorgespannt sind. Am Zangenarm 19b ist weiter eine Betätigungsrolle 25 vorgesehen zum Öffnen bzw. Freigeben der Zange.

Wie erwähnt, ist die durch Zange 19 und Trägerteil 21 gebildete Ausfahreinrichtung 18 schwenkbar an der Büchse 17 gelagert. An einem an der Ausfahreinrichtung 18 drehfesten Mitnehmerstummel 26 ist ein erster Hebel 28 drehfest angeordnet, der an einem zweiten Hebel 30 in einem Lager 32 drehgelagert ist. Das dem Lager 32 abgewandete Ende des Hebels 30 seinerseits ist über eine Montageplatte 34 am radial fixen Armteil des Armes 9, an einem Lager 36, drehgelagert.

Diese Anordnung arbeitet wie folgt:

Ausgehend von der Schwenklage der Ausfahreinrichtung 18 gemäß Fig. 2, in geschlossener Zangenposition, beispielsweise mit einer Werkstückscheibe 40 in der Zange, kann der Transportstern 7 in beliebige Positionen um seine Achse A₇ geschwenkt werden. Dabei sind, mit den jeweiligen armspezifischen Radialantrieben, die Büchsen 13 gegen die Achse A₇ zurückgezogen.

Soll nun, wie in Fig. 2 dargestellt, eine der Öffnungen, beispielsweise 13x, bedient werden, so wird die Achse A₉ eines Armes 9 und damit die Schwenkebene der Zange 19 auf die schlitzförmige Öffnung 13x ausgerichtet. Nun wird mit dem dem betrachteten Arm 9 zugeordneten Antrieb die Büchse 17 gegen die Öffnung 13x vorgetrieben. Aufgrund der dadurch bewirkten Linearbewegung von Achse A₁₉ mit dem Mitnehmerstummel 26 wird der erste Hebel 28 um Lager 32 geschwenkt, und da der Hebel 28 drehfest am Stummel 26 sitzt und letzterer drehfest an der Ausfahreinrichtung 18, wird, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, die Zange 19 durch die Öffnung 13x durchgeschwenkt, unter gleichzeitiger Linearverschiebung mit der Büchse 17. Die Büchse 17 ruht dabei an der Außenwand 11 der Kammer 1 und verschließt die Öffnung 13x, und zwar je nach Anforderung an die Trennung der beiden Kammern 1 und 3, vorzugsweise dicht, gegebenenfalls vakuumdicht.

Wie in Fig. 2 ersichtlich, verbleibt die Büchse 17 in der Kammer 1, während der durch die Zange 19 gebildete Werkstückhalter durch die Öffnung 13x hindurch vollständig in die Kammer 3 bzw. 3a geschwenkt wird.

In Fig. 2 ist für die benötigte Schwenkbewegung der Zange 19 ein unnötig langer Linearhub der Büchse 17 dargestellt. Wie der Fachmann aber ohne weiteres erkennt, zusätzlich unter Betrachtung der Darstellung gemäß Fig. 2a, kann durch Verringerung der Länge des Hebels 28 zwischen Achse A₁₉ und Anlenklager 32 dieselbe Schwenkbewegung des Trägerteils 21 und damit der Zange 19 mit einem wesentlich geringeren linearen Hub H realisiert werden.

Damit kann mit praktisch beliebig kleinem linearen Hub H und entsprechender Minimalisierung der hierzu vorzusehenden Antriebs- und Abdichtungsorgane die erwünschte Schwenkbewegung realisiert werden und mit ihr, aufgrund des Schwenkradius des Werkstückes 40 um Achse A₁₉, der erwünschte Hub durch Öffnung 13x.

In Kammer 3 bzw. 3a ist, wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, ein Stößel 42 angeordnet, dessen endständige Rolle 43 durch Eingriffnahme auf die Rolle 25 an der Zange 19 die Zange 19 öffnet zur Freigabe des Werkstückes 40.

In der bevorzugten, in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform ist zwischen Kammer 1 und Kammer 3 die Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen. Ihre Funktion wird aus der folgenden Beschreibung ersichtlich.

Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich, umfaßt die Kammer 3 einen um die Achse A₄₃ mittels eines Motors 47 drehgetriebenen Transportstern 43 mit beispielsweise vier Radialarmen 45, an welchen parallel zur Achse A₄₃ axiale Arme 49 sitzen. Endständig tragen die Arme 49 die Transportteller 51 mit (nicht dargestellt), z. B. mechanischen, pneumatischen oder magnetischen Halterungen für Werkstücke, sofern die Achse A₄₃ nicht vertikal steht. Die Teller 51 sind mit den Armen 49 mittels in zugeordneten Bälgen 53 gekapselten Antrieben linear und parallel zur Achse A₄₃ ausfahrbar bzw. rückholbar.

Die Kammer 3 weist, ausgerichtet auf den durch die Teller 51 bei Drehen um die Achse A₄₃ durchlaufenen Kreisring beispielsweise zwei Öffnungen 55a und 55 auf. Die Teller 51 sind so ausgebildet, daß sie gegen eine jeweilige Öffnung 55 ausgefahren werden können und diese dann mit (nicht dargestellten) Dichtungsorganen verschließen, und zwar dicht bzw. vakuumdicht. Wie bereits an den Büchsen 17 zur Wand 11 von Kammer 1 können hierzu Spaltdichtungen ausreichen, falls ein vakuumdichter Verschluß nicht notwendig ist. Ein mittlerer Bereich jedes Tellers 51 ragt über den Randbereich 56 der Öffnung 55 gegen den sich in ausgefahrenem Zustand der Teller 51 verschließend angelegt hat, axial hinaus und liegt dann außerhalb der Kammer 3.

Es seien nun vorerst die Verhältnisse an der Öffnung 55a betrachtet, welche mit der Öffnung 13a über die Zwischenschleusenkammer 3a kommuniziert. Wenn gemäß Fig. 3 mittels der Ausfahreinrichtung 18 ein scheibenförmiges Werkstück 40 in die in Fig. 2 gestrichelt dargestellte Position geschwenkt worden ist, legt sich die Büchse 17 in gefordertem Ausmaße dichtend an die Umrandung der Öffnung 13a in der Kammer 1 an. Durch gesteuertes axiales Ausfahren des der Öffnung 55a dann zugeordneten Armes 49 in der Kammer 3 wird der Teller 51 in gefordertem Maße dicht an die Öffnungsberandung 56 gelegt und übernimmt, beispielsweise magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetrieben das Werkstück 40, welches durch Betätigung des Stößels 42 gemäß Fig. 2 von der Zange 19 freigegeben wird. Nun kann der Arm 49 rückgeholt werden.

Die Kammer 3a kann, wie bei 57 schematisch dargestellt, separat gepumpt werden, ebenso wie die Kammern 1 und/oder 3.

Der Werkstücktransport durch die Zwischenschleusenkammer 3a erfolgt mithin wie folgt:

• - Soweit erforderlich, dichtes Verschließen der Öffnung 13a durch die Büchse 17, Zange 19 leer; Einschwenken eines Armes 49 mit Werkstück am Teller 51 in den Öffnungsbereich der Öffnung 55a; axiales Vorschieben des Tellers 5 mit dem Werkstück 40 und, soweit erforderlich, dichtes Verschließen der Öffnung 55a durch Teller 51; gegebenenfalls Abpumpen der Zwischenschleusenkammer 3a; Übernahme des Werkstückes durch Zange 19; Rückschwenken der Transportvorrichtung 18 mit gleichzeitigem Lösen der Büchse 17 vom Rand der Öffnung 13x; oder
• - Leerer Teller 51 verschließt in gefordertem Ausmaß dicht die Öffnung 55a; Einschwenken eines Armes 9 mit Büchse 17 und Werkstück 40 in Zange 19 über die Öffnung 13a; Ausschwenken der Zange 19 mit dem Werkstück, unter gleichzeitigem, soweit erforderlich, dichtem Verschließen der Öffnung 13a durch Büchse 17; Übernahme des Werkstückes magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetriebenen, durch Teller 51 in Öffnung 55a; Abpumpen der Zwischenschleusenkammer 3a durch Pumpe 57; Rückholen des Tellers 51 und Weiterdrehen des Transportsternes 43.

Aus dieser Beschreibung ist ohne weiteres ersichtlich, daß die Kammer 3a als Zwischenschleusenkammer wirken kann, die separat pumpbar ist oder welche allein aufgrund ihres nur sehr geringen Volumens eine genügende Atmosphärentrennung zwischen den Kammern 1 und 3 gewährleistet. Muß keine Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen werden, so kann die Werkstückübernahme in dargestellter Art und Weise in der Kammer 3 direkt erfolgen, ohne daß die Teller 51 an der Übergabeöffnung eine Dichtfunktion ausüben. Im dargestellten Ausführungsbeispiel wirkt an der Übergabeverbindung 13a, 55a der Teller 51 als das eine Schleusenventil, die Büchse 17 als das andere.

Beim dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist weiter die Öffnung 55b als Eingabe/Ausgabe-Schleuse ausgebildet. Hierzu ist ein vakuumdicht schließbarer Deckel 58, z. B. gegen Normal-Atmosphäre vorgesehen, als ein Schleusenventil, und es wirkt der momentan auf die Öffnung 55b ausgerichteter Teller 51 als zweites Schleusenventil.

Trotz des sehr geringen Volumens auch dieser Schleusenkammer kann gegebenenfalls, wie schon bei 57 dargestellt, auch hier eine Pumpe 57a angeschlossen sein zum separaten Pumpen dieser Schleusenkammer.

Wie bereits erwähnt, wird die Öffnung 13b der Kammer 1 durch die Büchse 17 und Ausfahreinrichtung 18, wie aus Fig. 1 ersichtlich, in gleicher Weise bedient, wie die bereits beschriebene Öffnung 13a der Kammer 1.

Außerhalb der Kammer 1 ist an dieser Öffnung 13b beispielsweise eine Behandlungskammer, wie eine Ätz- oder Beschichtungskammer 52 angeordnet. Aufgrund der Tatsache, daß das Werkstück 40 mit der Zange 19 so gehaltert und in die Behandlungskammer 52 eingeschwenkt wird, daß es praktisch allseitig durch die Halterung an der Zange unabgedeckt bleibt, ist es möglich, an einer solchen Behandlungsstation 52 das Werkstück rundum, insbesondere gleichzeitig auf seinen beiden Scheibenflächen gleichzeitig zu bearbeiten, wie beispielsweise durch beidseitiges Anordnen von Elektroden zum Plasmaätzen beider genannter Flächen und/oder von Magnetronzerstäubungsquellen zu deren Beschichtung.

In Fig. 3a ist schematisch eine Ausbildungsvariante der Kammer 52 dargestellt, mit zwei unabhängigen Sputterquellen 53a und 53b sowie Abschirmblechen 55. Das scheibenförmige Werkstück 40 ist zwischen die Quellen 53a und b eingeschwenkt und wird beidseitig durch die Quellen 53a, 53b behandelt.

An einer derartigen Klammer kann z. B. auch eine gleichzeitige, beidseitige Beschichtung von Werkstücken vorgenommen werden, wie sie aus der DE-PS-39 31 713 bekannt ist.

Eine weitere Ausführungsform ist schematisch in Fig. 4 dargestellt. In einer Kammer 120 ist, um eine Achse A₁₂₄ drehbeweglich ein Karussell 124 gelagert, woran scheibenförmige Werkstücke 126 gelagert sind. Bezüglich der Kammer 120 drehfest ist mindestens ein auf eine Öffnung 122a in der Kammer 120 ausgerichteter, radial bezüglich der Achse A₁₂₄ verschieblicher Stößel 128 vorgesehen, mit dessen Hilfe ein mit dem Karussell jeweils in Ausrichtung mit einer der zu bedienenden Öffnungen 122a gebrachtes Werkstück 126 aus der Öffnung 122a herausgeschoben oder durch die Öffnung 122a auf das Karussell 124 rückgeholt wird. Gegebenenfalls kann der radial verschiebliche Stößel 128 mit einem separaten Drehantrieb 124 unabhängig vom Karussell 124 drehgetrieben werden. Das Karussell 124 trägt die scheibenförmigen Werkstücke 126, so daß ihre Scheibenflächen in Ebenen senkrecht zur Drehachse A₁₂₄ liegen. Entsprechend sind die Stößel 128 ausgebildet. Sie bedienen radial schlitzförmige Öffnungen 122a der Kammer 120. Der Antrieb des Karussells 124 kann beispielsweise, wie bei P schematisch dargestellt ist, auch peripher am Rande des Karussells 124 erfolgen.

Aus einer Vakuumkammer mit Transporteinrichtung gemäß der Erfindung und einer oder mehreren Behandlungskammern können extrem kompakte Gesamtanlagen modular zusammengestellt werden, mit optimal kurzem Transportweg und kurzen Transportzyklen.

Unter Verwendung der Erfindung realisierte Anlagen eignen sich insbesondere für die Behandlung von Magnetspeicherplatten, wie beispielsweise CD's oder Hard-Discs.

Claims (17)

1. Vakuumkammer zum Transport scheibenförmiger Werkstücke in einer Vakuumanlage,
mit einer in der Kammer (1) um eine Drehachse (A7) drehbeweglich gelagerten Transporteinrichtung (7), die mindestens einen Werkstückhalter (19) zum Aufnehmen eines scheibenförmigen Werkstücks (40) aufweist,
mindestens einer in der Kammerwand vorgesehenen Öffnung (13a, 13b), durch die ein Werkstück (40) hindurchbewegbar ist, einem Drehantrieb für die Transporteinrichtung (7) derart, daß durch Drehen der Transporteinrichtung (7) der Werkstückhalter (19) mit dem Werkstück (40) in eine Stellung gegenüber der Öffnung (13a, 13b) einstellbar ist,
und einer der Transporteinrichtung (7) zugeordneten Ausfahreinrichtung (18), mit der der Werkstückhalter (19) mit dem Werkstück (40) durch die Öffnung hindurchbewegbar ist,
wobei das Werkstück (40) am Werkstückhalter (19) so gehalten ist, daß seine Scheibenebene senkrecht zur Querschnittsebene der Öffnung (13a, 13b) liegt und es sich bei der Ausfahrbewegung mit seiner Schmalseite durch die Öffnung (13a, 13b) hindurchbewegt,
wobei die Öffnung (13a, 13b) eine an den Durchtritt der Schmalseite des scheibenförmigen Werkstücks (40) angepaßte Schlitzform hat,
und wobei die Ausfahreinrichtung (18) so ausgebildet ist, daß die Ausfahrbewegung des Werkstückhalters (19) eine parallel zur Scheibenebene des Werkstücks (40) verlaufende Schwenkbewegung um eine Schwenkachse (26) ist.

2. Vakuumkammer zum Transport scheibenförmiger Werkstücke in einer Vakuumanlage,
mit einer in der Kammer (120) um eine Drehachse (A₁₂₄) drehbeweglich gelagerten Transporteinrichtung (124), die mindstens einen Werkstückhalter zum Aufnehmen eines scheibenförmigen Werkstücks (126) aufweist,
mindestens einer in der Kammerwand vorgesehenen Öffnung (122a), durch die ein Werkstück (40) hindurchbewegbar ist,
einem Drehantrieb für die Transporteinrichtung (124) derart, daß durch Drehen der Transporteinrichtung (124) der Werkstückhalter mit dem Werkstück (126) in eine Stellung gegenüber der Öffnung (122a) einstellbar ist,
und einen der Transporteinrichtung (124) zugeordneten Ausfahreinrichtung (128), mit der das Werkstück (126) durch die Öffnung hindurchbewegbar ist,
wobei das Werkstück (126) am Werkstückhalter so gehalten ist, daß seine Scheibenebene senkrecht zur Querschnittsebene der Öffnung (122a) liegt und es sich bei der Ausfahrbewegung mit seiner Schmalseite durch die Öffnung (122a) hindurchbewegt,
wobei die Öffnung (122a) eine an den Durchtritt der Schmalseite des scheibenförmigen Werkstücks (126) angepaßte Schlitzform hat, und wobei die Ausfahreinrichtung (128) so ausgebildet ist, daß die Ausfahrbewegung des Werkstücks eine lineare Verschiebebewegung ist.

3. Vakuumkammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstückhalter (19) zangenförmig ausgebildet und vorzugsweise für Eingreifen und Freigeben eines Werkstückes ansteuerbar (42, 43) ist.

4. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schwenklager (26) für die Ausfahreinrichtung (18) linear, senkrecht zur Fläche der Öffnung (13x), verschiebbar ist.

5. Vakuumkammer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Linearantrieb des Schwenklagers das Schwenken des Werkstückhalters bewirkt.

6. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Transporteinrichtung (7) mindestens einen, in mit jeweils einer der Öffnungen (13a, 13b) ausgerichtete Positionen schwenkbaren, linear gegen die Öffnung ausfahrbaren bzw. von der Öffnung rückholbaren Arm (9) aufweist und der Werkstückhalter (19) am öffnungsseitigen Ende des Armes gelagert ist.

7. Vakuumkammer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das öffnungsseitige Ende des Armes (9) in der ausgefahrenen Stellung die Öffnung (13a, 13b) vorzugsweise vakuumdicht verschließt.

8. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einer Kammeröffnung eine Schleusenkammer, eine Transportkammer oder eine Bearbeitungsstation für Werkstücke angeordnet ist.

9. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß an der Öffnung (13b) eine Bearbeitungsstation vorgesehen ist, in der ein mit der Ausfahreinrichtung (18) eingeschwenktes Werkstück (40) von zwei Seiten oder rundum bearbeitet, z. B. geätzt oder beschichtet, wird.

10. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an deren Öffnung eine weitere Kammer (3) angeschlossen ist, in der eine drehgelagerte weitere Transportanordnung (43) für mindestens ein Werkstück (40) vorgesehen ist, welche eine zur Schwenkachse (A₁₉) des Werkstückhalters (19) parallele Drehachse (A₄₃) aufweist.

11. Vakuumkammer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Transportanordnung (43) eine Mehrzahl von Halterungen (51) für Werkstücke (40) aufweist.

12. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Transportanordnung (43) mindestens einen, vorzugsweise zwei oder mehr auf einer Zylinderfläche um die Drehachse (A₄₃) angeordnete, parallel zu dieser ausfahrbare bzw. rückholbare Arme (49) umfaßt, woran je eine Halterung (51) für mindestens ein Werkstück (40) angeordnet ist.

13. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Öffnung (55) an der weiteren Kammer (3) eine zur Drehachse (A₄₃) der Transportanordnung (43) parallele Flächennormale aufweist.

14. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Transportanordnung (43) mindestens einen axial ausfahrbaren und rückholbaren Teller (51) mit einer Halterung für mindestens ein Werkstück (40) aufweist, daß mindestens eine der Öffnungen (55) an der weiteren Kammer (3) eine im wesentlichen zur Drehachse (A₄₃) der weiteren Transportanordnung (43) parallele Flächennormale definiert, und daß der Teller (51) durch Drehen der weiteren Transportanordnung (43) auf diese Öffnung (55) ausrichtbar ist und durch Ausfahren diese Öffnung vorzugsweise vakuumdicht verschließt.

15. Vakuumkammer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Öffnung (55b) mittels eines äußeren Verschlusses (57) vakuumdicht verschließbar ist und mit einem darauf positionierten Teller (51), der als Schleusenventil wirkt, eine Schleusenkammer bildet, wobei vorzugsweise an der Kammer (3) und/oder an der Öffnung (55b) zwischen Verschluß (57) und ausgefahrenem Teller (51) ein Pumpanschluß vorgesehen ist.

16. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einer der Öffnungen der weiteren Kammer eine Schleusenkammer, eine Transportkammer mit mindestens zwei Öffnungen oder eine Bearbeitungskammer für die Werkstücke angeschlossen sind, wie eine Ätz- oder Beschichtungskammer.

17. Vakuumkammer nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung mit zur Drehachse paralleler Flächennormalen die Verbindung zur einen Kammer (1) bildet und dazwischen eine als Zwischenschleusenkammer (3e) wirkende, gegebenenfalls mit einem Pumpanschluß versehene Kammer (3a) vorgesehen ist.