DE4244605A1 - Optisches Niederkohärenzreflektometer von verbesserter Empfindlichkeit mit optischer Dämpfung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft optische Messungen. Ins­ besondere befaßt sich die Erfindung mit optischer Reflekto­ metrie.

Die vermehrte Verwendung von optischen Komponenten in nach­ richtentechnischen Systemen und in Datenverarbeitungssyste­ men führte zu einer verstärkten Nachfrage nach einem Verfah­ ren zum Messen von optischen Inhomogenitäten in optischen Komponenten. Beispielsweise besteht bei Nachrichtensystemen auf der Grundlage einer Faseroptik ein Bedarf an der Messung von Verbindungsstellenverlusten und an der Messung des Ortes von nicht-reflektierenden Faserbrüchen. In ähnlicher Weise besteht ein Bedarf an einer Methodik zur Charakterisierung optischer Komponenten, wie beispielsweise von optischen pla­ naren Wellenleitern auf der Grundlage von Siliziumoxid und von LiNbO₃-Wellenleitern.

Ein Verfahren zum Analysieren von Inhomogenitäten in opti­ schen Fasern ist die optische Reflektometrie im Zeitbereich. Bei diesem Verfahren werden Lichtpulse über die optische Fa­ ser hinab übertragen, wobei die Rayleigh′sche Lichtrück­ streuung aufgrund der Wechselwirkung des Lichtpulses mit In­ homogenitäten in der Faser gemessen wird. Die zeitliche Ver­ zögerung zwischen dem einfallenden Lichtpuls und dem reflek­ tierten Licht liefert Informationen über den Ort der Inho­ mogenität. Die Amplitude des rückgestreuten Lichtsignales liefert Informationen über den Grad der Inhomogenität. Bei bekannten gepulsten Techniken wird die Messung des rückge­ streuten Lichtes umso schwieriger, je weiter die räumliche Auflösung verbessert wird. Eine höhere räumliche Auflösung führt gleichzeitig zu niedrigeren Pegeln der rückgestreuten Lichtleistung und zu einer erhöhten Rauschleistung aufgrund größerer Empfängerbandbreiten.

Die Interferometrie mit weißem Licht oder die optische Nie­ derkohärenzreflektometrie schaffen eine Technik, die eine Verbesserung von mehreren Größenordnungen bezüglich sowohl der Empfindlichkeit als auch der räumlichen Auflösung ver­ glichen mit bekannten Verfahren im Zeitbereich liefern. Räumliche Auflösungen von 20 bis 40 µm wurden bei dieser Technik berichtet. Diese Auflösung ist zu der Auflösung äquivalent, die man bei Verwenden von Pulsbreiten von we­ nigen hundert Femtosekunden bei konventionellen Pulstechni­ ken erhalten würde. Bei diesen Auflösungen liegen die durch­ schnittlichen Pegel des rückgestreuten Lichtes von standard­ mäßigen Nachrichtenfasern in der Größenordnung von minus 115 dB. Reflexionsempfindlichkeiten sind auf Werte nahe des rückgestreuten Lichtpegels aufgrund der Rauschintensität von niederkohärenten optischen Quellen begrenzt. Jedoch wurde eine Reflexionsempfindlichkeit von minus 136 dB bei einer Wellenlänge von 1,3 µm bei Verwendung einer Hochleistungs- Superlumineszenz-Diode und einem symmetrischen Erfassungs­ schema zur Minimierung der Rauscheffekte demonstriert. (Takada, et al., "Rayleigh Backscattering Measurements of Single-Mode Fibers by Low Coherence Optical Time-Domain Reflectometry With 14 mm Spatial Resolution", Appl. Phys. Lett., 59, Seite 143, 1991).

Obwohl die Niederkohärenzreflektometrietechnik, wie sie durch Takada et al. gelehrt wird, eine Auflösung und Empfindlichkeit zur Durchführung der in Rede stehenden Mes­ sungen schafft, ist die Vorrichtung erheblich komplizierter als das übliche Michelson-Interferometer. Die Vorrichtung erreicht ihr verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis unter Verwendung eines symmetrischen Detektors zum Subtrahieren einer Rauschkomponente. Um diesen Symmetriedetektor aufzu­ bauen, müssen zusätzliche optische und elektrische Kompo­ nenten zu dem System hinzugefügt werden, wodurch die System­ kosten und die Systemkomplexität ansteigen. Ferner wird der Bereich der Entfernungen, über die die Messungen ausgeführt werden können, um einen Faktor 2 bezogen auf ein Michelson- Interferometer vermindert. Demgemäß hat die von Takada et al. gelehrte Technik eine geringere Erfassungsentfernung oder Abtastentfernung als ein konventionelles Michelson-In­ terferometer.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen­ den Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes optisches Interferometer zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch ein optisches Interferometer gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Interferometers liegt darin, daß dessen Signal-Rausch-Verhalten vergleichbar ist mit demjenigen, welches bei der Vorrichtung erzielt wird, welche von Takada et al. geschaffen wird, wobei dieses je­ doch die Komplexität eines Michelson-Interferometers hat.

Ein anderer Vorteil des Erfindungsgegenstandes liegt in dem verbesserten Signal-Rausch-Verhalten trotz Beibehaltung der Erfassungsdistanz bzw. Abtastdistanz eines konventionellen Michelson-Interferometers.

Der Erfindungsgegenstand betrifft ein optisches Interfero­ meter zum Messen der optischen Eigenschaften eines Gerätes. Eine Quelle von kohärentem Licht wird verwendet, um das Ge­ rät mit der Hilfe eines Strahlteilers zu beleuchten, welcher das Licht in ein erstes und ein zweites Lichtsignal unter­ teilt. Das erste Lichtsignal wird an das Gerät angelegt. Das zweite Lichtsignal wird einem optischem Referenzweg von ver­ änderlicher optischer Weglänge zugeführt. Die von dem Refe­ renzweg und dem Gerät zurückkommenden Lichtsignale werden durch den Strahlteiler kombiniert und dann an einen opti­ schen Detektor angelegt. Der optische Referenzweg umfaßt ein optisches Dämpfungsglied zum Vermindern der Lichtintensität, welche den optischen Referenzweg verläßt. Bei einem Ausfüh­ rungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird ein Teil des gedämpften Lichtes verwendet, um die relative Rauschinten­ sität zu messen, wobei das gemessene Rauschen von dem Signal subtrahiert wird, welches von dem optischen Detektor erzeugt wird, oder in einer Rückkopplungsschaltung verwendet wird, um die Quellenrauschintensität zu vermindern.

Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes werden nach­ folgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm eines Niederkohärenzreflektome­ ters;

Fig. 2 ein Blockdiagramm eines konventionellen Michelson- Interferometers;

Fig. 3 ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispieles eines Interferometers gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 das bevorzugte Ausführungsbeispiel eines Dämpfungs­ gliedes gemäß der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 5 ein Blockdiagramm eines zweiten Ausführungsbeispie­ les des Interferometers gemäß der vorliegenden Er­ findung.

Diejenige Art, in der ein Niederkohärenzreflektometer unter Verwendung eines symmetrischen Detektors arbeitet, kann noch leichter unter Bezugnahme auf Fig. 1 verstanden werden, wo­ bei die Fig. 1 ein schematisches Diagramm eines Niederkohä­ renzreflektometers 10 zum Messen der optischen Eigenschaften eines Gerätes 12 ist. Eine Niederkohärenzlichtquelle 14 wird als Beleuchtungsgerät 12 verwendet. Die optische Kohärenz­ länge des Lichtes von der Lichtquelle 14 bestimmt die räum­ liche Auflösung bei den Messungen. Eine geeignete Lichtquel­ le kann aufgebaut sein, indem von der verstärkten spontanen Emission von einer Erbium-dotierten Faser Gebrauch gemacht wird. Derartige Fasern sind im Bereich der optischen Tech­ niken bekannt und müssen daher nicht detaillierter erläutert werden. Das Licht von der Quelle 14 wird durch einen Koppler 16 aufgeteilt, der mit der Quelle 14 durch die Faser 13 ver­ bunden ist. Der Koppler 16 teilt das Licht zwischen den bei­ den Armen des Interferometers. Der erste Arm, der die Faser 15 umfaßt, liefert Licht an das Gerät 12. Die Polarisation des Lichtes wird durch zwei Polarisationssteuerschleifen 18 gesteuert. Ein optischer Phasenschieber kann in diesem Arm des Interferometers enthalten sein. Das von dem Gerät 12 rückgestreute Licht wird zu dem Koppler 16 über die Faser 15 zurückgeführt. Ein Teil des rückgestreuten Lichtes wird über eine Faser 20 an einen zweiten Koppler 22 geliefert.

Der zweite Arm des Interferometers hat eine veränderliche Zeitverzögerung. Der Anteil des Lichtes von dem Koppler 16, der nicht über die Faser 15 herabgeführt wird, wird zu der Faser 23 geführt und liefert ein Bezugslichtsignal. Dieses Licht wird durch Linsen 30 auf einen Spiegel 24 abgebildet, welcher auf einer beweglichen Bühne befestigt ist. Die Be­ wegung in der Z-Richtung verändert die optische Weglänge des zweiten Armes des Interferometers. Das Licht, das den Spie­ gel 24 verläßt, wird in die Faser 26 durch Linsen 31 abge­ bildet und an den Koppler 22 geliefert. Der Koppler 22 ar­ beitet als Addierer zum Kombinieren des von dem Gerät 12 rückgestreuten Lichtes und des Bezugssignallichtes von der Quelle 14. Wenn die Zeitverzögerung in dem zweiten Arm des Interferometers mit der Zeitverzögerung der Reflexion von dem Gerät 12 übereinstimmt, tritt eine kohärente Interferenz auf, welche ein Schwebungssignal von vorbestimmter Frequenz erzeugt. Die Leistung in dem Lichtsignal bei der Schwebungs­ frequenz wird durch einen symmetrischen Detektor 32 mit zwei Photodioden 27, 28 und einem Addierer 33 erfaßt. Das Sub­ traktionsausgangssignal wird dann elektronisch verarbeitet, um die Stärke des Interferenzsignales zu erfassen. Bei­ spielsweise wird das Leistungsspektrum des subtrahierten Ausgangssignales durch einen Spektrumanalysator 29 gemessen.

Die Schwebungsfrequenz ist vorzugsweise derart gewählt, daß sie mit einem Minimum in dem Rauschuntergrund des Empfängers übereinstimmt. Die Frequenz kann mit einem von zwei Verfah­ ren gesteuert werden. Das bevorzugte Verfahren verwendet einen Phasenschieber 11, der sägezahnförmig über einen Be­ reich von 180 Grad rampenförmig angesteuert wird, um eine Serrodyne-Frequenzverschiebung an dem zurückkehrenden Signal zu erzeugen. In diesem Fall liegt das Schwebungssignal bei einer Serrodyne-Frequenz mit einer Stärke, die von der Größe der Reflexion abhängt. Bei dieser Art des Systemes wird der Spiegel 24 schrittweise durch jede Position hindurchbewegt und das Signal über eine ausreichende Zeit gemittelt, um das gewünschte Signal-Rausch-Verhältnis zu erzeugen. In Abwei­ chung hiervon kann der Phasenschieber 11 fortgelassen werden und der Spiegel 24 während der Messung kontinuierlich bewegt werden. Die kontinuierliche Bewegung führt zu einer Doppler­ verschiebung in der Frequenz des Lichtes in dem zweiten Arm des Interferometers. Die Schwebungsfrequenz liegt bei der Dopplerverschiebungsfrequenz. Unglücklicherweise begrenzt ein Zittern der mechanischen Stufe das Ausmaß, zu dem eine schmalbandige Dopplerfrequenzverschiebung erzeugt werden kann. Jedoch ist die erstgenannte Technik bevorzugt, um die Reflexionsempfindlichkeit zu maximieren.

Die Koppler 16 und 22 sind konventionell verbundene Koppler, die durch Verbinden von zwei optischen Fasern miteinander erzeugt werden. Derartige Koppler sind im Stand der Technik bekannt und müssen daher in der vorliegenden Beschreibung nicht detailliert erläutert werden.

Während das Interferometer 10 ein Signal-Rausch-Verhältnis liefert, welches durch das Schuß-Rauschen beschränkt ist, ist es erheblich komplizierter als ein Michelson-Interfero­ meter. Ein typisches Michelson-Interferometer ist mit dem Bezugszeichen 100 in Fig. 2 bezeichnet. Das Licht von einer Quelle 114 wird auf einen Strahlteilungskoppler 116 über eine Faser 113 gerichtet. Der Koppler 116 teilt das Licht in zwei Teile auf. Der erste Teil wird dem Gerät 12 über eine Faser 115 geliefert. Ein Teil des rückgestreuten Lichtes kehrt zu dem Koppler 116 über die Faser 115 zurück. Der Rest des von der Quelle 114 auf den Koppler 116 einfallenden Lichtes wird in die Faser 123 gerichtet und liefert das Bezugssignal für die Interferenz. Die Weglänge in dem Be­ zugsarm wird durch die Lage des beweglichen Spiegels 124 be­ stimmt. Das Licht, das den Spiegel 124 von der Faser 123 durchläuft, wird von einem stationären Spiegel 131 mit der Hilfe von Linsen 130 zurück in die Faser 123 reflektiert. Das zurückkehrende Licht wird mit dem rückgestreuten Licht von dem Gerät 12 durch den Koppler 116 kombiniert. Das kom­ binierte Licht wird zu dem Detektor 127 über eine Faser 120 gerichtet. Der Ausgang des Detektors 127 wird dann zu dem Analysator 129 zugeführt. Das Interferometer 100 geht von der Annahme aus, daß die Schwebungsfrequenz durch die Dopp­ lerverschiebung, welche durch die Bewegung des Spiegels 124 geschaffen wird, festgelegt ist. Jedoch ist es für Fachleute offenkundig, daß ein Phasenschieber ähnlich zu dem Phasen­ schieber 11 gemäß Fig. 1 verwendet werden kann, um die Schwebungsfrequenz zu erzeugen.

Es ist durch Vergleich der Interferometer 10 und 100 offen­ kundig, daß das Interferometer 100 bezüglich seiner Kon­ struktion erheblich einfacher ist und erheblich weniger Komponenten erfordert. Darüberhinaus kann das Interferometer 100 Streuzentren in dem Gerät 12 über den doppelten Entfer­ nungsbereich für eine gegebene Bewegung des Spiegels 124 er­ fassen. Die Interferenz des rückgestreuten Lichtes und des Referenzsignales tritt auf, wenn die optische Weglänge zwi­ schen dem Koppler 116 und dem Interferenzzentrum in dem Ge­ rät 12 gleich der optischen Weglänge von dem Koppler 116 zu dem Spiegel 131 ist. Es seien zwei Streuzentren betrachtet, die auf eine Entfernung D in dem Gerät 12 voneinander ge­ trennt sind. Um beide Zentren zu erfassen, müssen die Dif­ ferenzspiegelpositionen an dem Bezugsarm zwischen dem mini­ malen und dem maximalen Z-Wert wenigstens D in dem Falle des Interferometers 10 betragen. Da der Spiegel 131 tatsächlich die Bezugsarmweglänge in dem Interferometer 100 verdoppelt, muß die Differenz in den Spiegelpositionen lediglich D/2 sein. Daher hat das Interferometer 100 den doppelten Entfer­ nungsbereich des Interferometers 10 für eine gegebene Spie­ gelverschiebung.

Die Erfindung geht von der Beobachtung aus, daß in vielen Fällen die Reflexionsempfindlichkeit durch das relative Empfindlichkeitsrauschen (RIN) der Quelle beschränkt ist. Eine Erhöhung der Quellenleistung verbessert nicht die Empfindlichkeit, da das Rauschen sich aufgrund des relativen Empfindlichkeitsrauschens mit der gleichen Rate wie die Sig­ nalstärke erhöht. Die Rauschprobleme bei einem üblichen Michelson-Interferometer ergeben sich aus der Tatsachen daß die Leistung in dem Bezugssignal, welches von der Faser 123 zurückgeliefert wird, bezogen auf das Signal von dem Gerät 12 in vielen interessierenden Fällen zu groß ist. Es sei die Leistung der Quelle mit P₀ und die Reflektivität des Gerätes 12 mit R bezeichnet. Eine Hälfte der Ausgangsleistung wird zu dem Gerät 12 über den Koppler 116 zugeführt. Der Koppler 116 liefert eine Hälfte der Signalleistung, die von dem Ge­ rät 12 reflektiert wird, zu dem Detektor 127. Daher hat das von dem Gerät 12 stammende Signal eine Leistung, die durch folgenden Zusammenhang gegeben ist:

Die Leistung P_REF, die dem Detektor 127 von dem Referenzarm geliefert wird, ist durch folgenden Zusammenhang gegeben:

In dem am meisten interessierenden Fall ist R ein kleiner Wert. Dieses ist der Fall, bei dem das Rauschen am wichtig­ sten ist. In diesem Fall ist P_DUT viel kleiner als P_REF. Da­ her ist die Leistung P_D, die zu dem Detektor geliefert wird, ungefähr gleich der Leistung P_REF. In diesem Fall kann nach­ gewiesen werden, daß das Signal-Rausch-Verhältnis SNR durch folgenden Zusammenhang gegeben ist:

In dieser Formel ist K₀ eine Konstante. Der Schußrauschstrom beziehungsweise Schrotrauschstrom ist proportional zu P_REF, während der Strom des relativen Intensitätsrauschens propor­ tional zu K₀P² _REF ist. Das in Fig. 1 gezeigte Interferometer entfernt den Beitrag aufgrund des relativen Intensitätsrau­ schens (RIN) durch eine Subtraktionstechnik, die äquivalent zu einem auf Null-Einstellen des relativen Intensitäts­ rauschtermes in der Gleichung (3) ist. In diesem Fall wird das Signal-Rausch-Verhältnis auf P_DUT vermindert, wobei dies das beste erzielbare Verhalten ist.

Die Erfindung liefert das gleiche Verhalten durch Dämpfung der Referenzleistung oder Bezugsleistung. In einem Inter­ ferometer gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Refe­ renzleistung vermindert, indem ein Dämpfungsglied in dem Re­ ferenzarm des Interferometers verwendet wird. Ein Interfero­ meter gemäß der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 3 mit dem Bezugszeichen 200 bezeichnet. Diejenigen Komponenten des In­ terferometers 200, die analoge Funktionen zu den Komponenten des Interferometers 100 ausüben, sind mit den gleichen Be­ zugszeichen bezeichnet. Wie aus einem Vergleich der Inter­ ferometer 100 und 200 erkennt, liegt der wesentliche Unter­ schied zwischen diesen beiden Interferometern in dem Däm­ pfungsglied 240 in der optischen Faser 223. Die Dämpfung wird derart eingestellt, daß folgender Zusammenhalt gilt:

P_REF << K₀P² _REF (4).

Wenn diese Bedingung erfüllt ist, wird das Signal-Rausch- Verhältnis im wesentlichen das gleiche sein, wie das Sig­ nal-Rausch-Verhältnis, das mit dem symmetrischen Detektor­ schema gemäß Fig. 1 erzielt wird. Jedoch werden erhebliche Verbesserungen in der Gerätekomplexität und der Abtastent­ fernung erhalten. Es sei angemerkt, daß der Wert P_REF nicht zu klein gemacht werden kann. Bei der obigen Diskussion wird angenommen, daß das Rauschen in dem Empfänger klein bezogen auf das Schrotrauschen ist. Falls der Wert P_REF zu klein ist, wird das Rauschen des Empfängers die dominante Rausch­ quelle.

Bei dem Aufbau des Dämpfungsgliedes 240 muß Sorgfalt aufge­ wandt werden, um zu gewährleisten, daß das Dämpfungsglied selbst keine Reflexionen induziert. Das bevorzugte Aus­ führungsbeispiel des Dämpfungsgliedes 240 ist in Fig. 4 ge­ zeigt. Das Dämpfungsglied 240 wird vorzugsweise durch Ein­ führen eines Luftspaltes 260 in der Faser 223 gemäß Fig. 3 implementiert. Die Enden 261, 262 der optischen Faser 223 sind abgeschnitten und rechtwinkelig poliert, um zu gewähr­ leisten, daß keine Reflexionen in das Lichtsignal einge­ führt werden. Die Entfernung zwischen den Enden 261 und 262 bestimmt die Größe der Dämpfung. Beispielsweise hängt die Menge des Lichtes, welches das Ende 261 verläßt und in das Ende 262 eintritt, von dem Raumwinkel ab, der sich von dem Ende 262 aus erstreckt. Wenn sich die Entfernung zwischen den beiden Enden erhöht, nimmt der in Rede stehende Raum­ winkel ab. Eine zweite Dämpfung tritt auf, wenn das Licht nach der Reflexion durch den Spiegel 231 gemäß Fig. 3 zu­ rückkehrt.

Falls das relative Intensitätsrauschen sehr hoch ist, ist es nicht immer möglich, in einem ausreichenden Maße das Bezugs­ signal abzudämpfen, damit das relative Intensitätsrauschen geringer als das Schrotrauschen wird, ohne daß hierdurch das Signal von dem Rauschen von dem Detektor dominiert wird. Beispielsweise kann diese Situation auftreten, wenn man ver­ sucht, das System bei einer zu niedrigen Schwebungsfrequenz zu betreiben. Ein Verfahren zum Heilen dieses Defektes liegt in der Verwendung von einem gewissen Anteil des Lichtes, welches in dem Referenzarm des Interferometers gedämpft wird, um das relative Intensitätsrauschen zu erfassen und um dieses von dem Meßsignal abzuziehen. Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, welches diese Technik verwendet, ist in der Fig. 5 mit dem Bezugszeichen 300 bezeichnet. Die Komponenten des Interferometers 300, die analoge Funktionen zu denjeni­ gen des Interferometers 200 ausführen, sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und werden nicht näher beschrieben. Das Interferometer 300 umfaßt einen zusätzlichen optischen Koppler 342, welcher einen Teil des von dem Spiegel 331 zu­ rückkehrenden Lichtes einfängt. Die Lichtintensität des ein­ gefangenen Lichtes wird durch den Photodetektor 344 gemes­ sen. Die gemessene Intensität wird dann von dem Ausgangs des Detektors 327 mittels einer Subtraktionsschaltung 346 abge­ zogen. Während diese Ausführungsform der Erfindung kompli­ zierter als das Interferometer 200 ist, ist sie immer noch gegenüber dem Interferometer 10 dahingehend überlegen, daß sie eine erhöhte Abtastentfernung oder Erfassungsentfernung hat.

Während das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 einen Lichtab­ tastwert verwendet, der von dem Bezugsarm abgeleitet wird, ist es für Fachleute offenkundig, daß der Lichtabtastwert oder der in Frage stehende Lichtwert direkt von der Licht­ quelle abgeleitet werden kann, indem nach der Lichtquelle ein Strahlteiler eingesetzt wird. Beispielsweise könnte der in Fig. 5 gezeigte optische Koppler 342 zu der Faser 313 be­ wegt werden.

In der obigen Beschreibung wurde ein Niederkohärenzinterfe­ rometer beschrieben, welches eine verminderte Komplexität und eine erhöhte Meßentfernung hat. Verschiedene Modifika­ tionen des Erfindungsgegenstandes sind für Fachleute auf­ grund der vorliegenden Beschreibung und der beiliegenden Zeichnungen offenkundig.

Claims (3)

1. Optisches Interferometer (200, 300) zum Messen der optischen Eigenschaften eines Gerätes (12), gekenn­ zeichnet durch folgende Merkmale:
eine Quelleneinrichtung (214, 314) zum Schaffen eines niederkohärenten Lichtsignales;
eine erste Teilereinrichtung (216, 316) zum Aufteilen des niederkohärenten Lichtsignales in ein erstes und ein zweites Lichtsignal, wobei das erste Lichtsignal an das Gerät (12) angelegt wird und das zweite Lichtsignal in einen optischen Referenzweg (223, 323) gerichtet wird, wobei die erste Teilereinrichtung (216, 316) fer­ ner eine Einrichtung zum Kombinieren des von dem Gerät (12) zurückkehrenden Lichtes und des von dem optischen Referenzweg (223, 323) zurückkehrenden Lichtes und zum Anlegen des kombinierten Lichtes an einen ersten opti­ schen Detektor (227, 327) aufweist;
eine Einrichtung (240, 340), die in dem optischen Re­ ferenzweg (223, 323) angeordnet ist, um das diesen durchlaufende Lichtsignal zu dämpfen, wobei die Dämp­ fung derart gewählt ist, daß das relative Intensitäts­ rauschen, welches von dem ersten optischen Detektor (227, 327) erzeugt wird, vermindert wird; und
eine Einrichtung (224, 324) zum Verändern der optischen Weglänge in dem optischen Referenzweg (223, 323) rela­ tiv zu dem optischen Weg zwischen der Teilereinrichtung (216, 316) und dem Gerät (12).

2. Optisches Interferometer (200, 300), gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungseinrichtung (240, 340) einen Spalt (260) in einer optischen Faser (223) des optischen Re­ ferenzweges (223) hat.

3. Optisches Interferometer (200, 300), nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch:
eine zweite Strahlteilereinrichtung (342) zum Anlegen eines Teiles des von der Quelleneinrichtung (214, 314) zurückkehrenden Lichtes an einen zweiten optischen De­ tektor (344); und
eine Einrichtung (346) zum Subtrahieren des Ausgangs­ signales des zweiten optischen Detektors (344) von dem Ausgangssignal des ersten optischen Detektors (227, 327).