DE4130217A1 - Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechenInfo
- Publication number
- DE4130217A1 DE4130217A1 DE19914130217 DE4130217A DE4130217A1 DE 4130217 A1 DE4130217 A1 DE 4130217A1 DE 19914130217 DE19914130217 DE 19914130217 DE 4130217 A DE4130217 A DE 4130217A DE 4130217 A1 DE4130217 A1 DE 4130217A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- radiation
- light
- irradiated
- round
- radiation source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
- G01N2021/4752—Geometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/102—Video camera
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Medicines That Contain Protein Lipid Enzymes And Other Medicines (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrich
tung zur Prüfung von Oberflächen, insbesondere hin
sichtlich der geschliffenen Oberfläche von Stahlröhren,
Stahlstangen o. ä., die auf der äußeren, runden Oberflä
che in Umfangsrichtung Schleifspuren aufweisen.
Es sind Verfahren zur automatischen optischen Ermitt
lung von Fehlern auf der äußeren Oberfläche von Stahl
bekannt. Es wird hierzu beispielsweise mit hoher Präzi
sion bei der Prüfung von Oberflächen mit einem Laser
strahl die Oberfläche des Stahls abgetastet. Wenngleich
viele Vorschläge zur automatischen optischen Prüfung
der äußeren, runden Oberfläche von Stahlröhren, Stahl
stangen u.ä. mit kreisförmigem Querschnitt bekannt
sind, so findet doch kaum ein Verfahren in der Praxis
Verwendung. Der Grund liegt darin, daß bei der Prüfung
von derartigen Oberflächen durch optische Einrichtungen
die automatische Prüfung durch Schleifspuren in der
Stahlröhre, Stahlstange o. ä. bzw. durch deren Vibration
während des Transports gestört ist.
Die äußere, runde Oberfläche von Stahlröhren, Stahl
stangen o. ä., die eine präzise Oberflächenprüfung er
fordern, sind üblicherweise bei der Fertigung abschlie
ßend in Umfangsrichtung geschliffen worden. Bei Versu
chen, kleine Fehler auf der äußeren, runden Oberfläche
durch optische Verfahren zu ermitteln, werden daher die
sehr feinen Schleifspuren in Umfangsrichtung auf der
äußeren runden Oberfläche der Stahlröhre o. ä. gemeinsam
mit den Oberflächenfehlern ermittelt. Derartige
Schleifspuren sind umso größere erkennbare Störungs
quellen, je genauer das Prüfsystem arbeitet. Aus diesem
Grund war es bislang mit optischen Verfahren nicht mög
lich, eine äußerst präzise Oberflächenprüfung von äuße
ren, runden Oberflächen von Stahlröhren, -stangen o. ä.
durchzuführen.
Bei der Prüfung der gesamten äußeren, runden Oberfläche
von Stahlröhren, -stangen o. ä. werden diese üblicher
weise spiralförmig transportiert. Durch exzentrischen
Bau oder Verformungen schwingen jedoch die zu prüfenden
Materialien während der spiralförmigen Beförderung, so
daß fehlerhafte Ermittlungen oder das Übersehen von
fehlerhaften Stellen die automatische optische Oberflä
chenprüfung von Stahlröhren o. ä. erheblich stören.
Zur Prüfung der Oberfläche von metallischen, äußeren,
runden Oberflächen durch Verwendung von Streulicht ist
die Japanische Patentveröffentlichung 58-53 861 bekannt,
nach der das von einem bestrahlten Teil reflektierte
Licht einem optischen Sensor über ein Mattglas als Pro
jektionsplatte und einen Schlitz zugeführt wird. Da
nach diesem Verfahren das vom bestrahlten Teil reflek
tierte Licht einmal auf eine aus Mattglas gefertigte
Projektionsplatte geführt und dann vom optischen Sensor
aufgenommen wird, sind die extrem kleinen Fehler nicht
mit hoher Präzision erfassbar.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren sowie
eine Vorrichtung zur Prüfung von Oberflächen zu schaf
fen, die es gestattet, mit großer Genauigkeit eine op
tische Oberflächenprüfung von Stahlröhren, -stangen
o. ä. durchzuführen, deren äußere, runde Oberflächen in
Umfangsrichtung geschliffen wurden, ohne von Schleif
spuren oder durch Unregelmäßigkeiten der Stahlröhre
o. ä. bedingte Vibrationen beeinflußt oder gestört zu
werden.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren, enthaltend die
in Anspruch 1 genannten Verfahrensschritte, sowie eine
Vorrichtung, enthaltend die in Anspruch 4 genannten
Merkmale, gelöst.
Zum besseren Verständnis der Merkmale, Kennzeichen und
Vorteile der Erfindung wird nachfolgend ein bevorzugtes
Ausführungsbeispiel anhand der Zeichnung erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Schemadarstellung eines Ausführungs
beispiels der Erfindung.
Zur näheren Darstellung von Ausführungsbeispielen der
Erfindung wird nachfolgend ein Hauptgesichtspunkt der
Erfindung erläutert.
Zur Prüfung der Oberfläche eines zu prüfenden Gegen
standes wird üblicherweise die Oberfläche des Materials
mit Licht bestrahlt, das reflektierte Licht durch den
Einsatz eines optischen Photosensors, wie beispiels
weise einer Fernsehkamera, photoelektrisch umgewandelt
und das damit gewonnene Signal zur Ermittlung von Feh
lern weiterentwickelt. Sofern ein durch Fremdkörper auf
der zu prüfenden Materialoberfläche bedingter Fehler
oder geringer Mangel vorliegt, wird das darauf auftref
fende Licht gestreut. Da dadurch die Erzeugung starker,
direktreflektierender Strahlung im den Fehler umgeben
den Teil verhindert und nur gestreutes Licht erkannt
wird, können durch Fremdkörper bedingte geringe Fehler
und Mängel in einem hohen Nutz-/Störsignalverhältnis
ermittelt werden. Sofern jedoch das zu prüfende Mate
rial metallisch ist, wird grundsätzlich starke, direk
treflektierendes Strahlung erzeugt, sobald Licht auf
die zu prüfende Materialoberfläche auftrifft. Durch
Verwendung von Licht mit hoher Streuqualität und indi
rekter Bestrahlung des Metalls kann direktreflektie
rende Strahlung unterbunden werden, so daß der Anteil
an Streulicht leicht ermittelt werden kann.
Im vorliegenden Fall wird die von einer Strahlungs
quelle ausgehende Strahlung auf eine Strahlungsstreu
platte, beispielsweise eine milchigweiße Strahlungs
streuplatte, gelenkt, um die Strahlung zu streuen und
die durch die Strahlungsstreuplatte gelangende Strah
lung auf die zu prüfende Gegenstandsoberfläche zu lei
ten. Die milchigweiße Strahlungsstreuplatte streut auch
innerhalb der Platte die Strahlung, so daß die gesamte
Oberfläche der wilchigweißen Strahlungsstreuplatte
leuchtend hell wird, um als flache Plattenstrahlungs
quelle zu dienen. Auf diese Weise wird eine starke ge
streute Lichtstrahlung erzeugt. Durch Bestrahlung des
zu prüfenden Gegenstandes mit dieser Strahlung ist es
möglich, sowohl das an der Oberfläche des zu prüfenden
Gegenstandes sich brechende Licht als auch die von
Schleifspuren herstammende direktreflektierende Strah
lung zu unterdrücken.
Was Schleifspuren in der Oberfläche des zu prüfenden
Gegenstandes anbelangt, so besteht keinerlei Gefahr,
daß der optische Sensor die Schleifspuren als Schatten
auffaßt, da das Licht auf die Oberfläche des zu prüfen
den Gegenstandes in der Richtung der Schleifspuren
fällt.
Die vorliegende Erfindung findet ferner bei der Unter
suchung von Gegenständen runder, säulenartiger Form An
wendung. Auch wenn der zu prüfende Gegenstand während
der Prüfung ein wenig vibrieren sollte, so können durch
die Vibration der Mittelachse des Gegenstandes bedingte
Schwankungen unterdrückt werden, da der Gegenstand
durch Streulicht großer Breite von der gesamten mil
chigweißen Strahlungsstreuplatte bestrahlt wird.
Da die zu prüfende Materialoberfläche mit weißem Licht
bestrahlt wird, erfaßt der optische Sensor diese Mate
rialoberfläche als eine weiße, helle Fläche. Im allge
meinen besteht weißes Licht aus einem kontinuierlichen
Spektrum ohne jede Verstärkung oder Abschwächung von
Lichtbestandteilen bestimmter Wellenlänge, so daß
weißes Licht die geeignete Strahlungsquelle zum Einsatz
bei Prüfungen zur Ermittlung von Fehlern auf metalli
schen Oberflächen darstellt. Wenn ein fehlerhafter Teil
auf der Oberfläche des metallischen Materials vorliegt,
wird das Licht an diesem fehlerhaften Teil derart ge
streut, daß der Anteil an weißem Licht bis zu einem
Schatten reduziert wird, so daß der optische Sensor
diesen Teil eindeutig als einen schwarzen, fehlerhaften
Teil erfaßt.
Was die milchigweiße Strahlungsstreuplatte anbelangt,
die in der erfindungsgemäßen Vorrichtung und im Verfah
ren zur Prüfung von Oberflächen Verwendung findet, so
genügt eine milchigweiße Kunststoffplatte, die Opalglas
oder ähnlichem als Konstruktionsmaterial nahekommt.
Während die Lichtstreuung von milchigweißem Glas der
von Kunststoffplatten gleichkommt, erscheint im vorlie
genden Fall eine Kunststoffplatte gegenüber Glas bruch
sicherer und günstiger in der Handhabung. Diese Art von
milchigweißer Platte enthält extrem kleine weiße Kör
ner, um die Strahlungsrichtung des durchstrahlenden
Lichts räumlich aufzuspalten und einen hohen Streuungs
grad zu erzielen. Weißes Licht von kontinuierlichem
Spektrum als Lichtstrahlung stellt eine geeignete
Strahlung gegenüber metallischen Oberflächen dar.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend
erläutert. Fig. 1 zeigt eine Schemadarstellung eines
Ausführungsbeispiels der Erfindung.
In diesem Ausführungsbeispiel wird eine zu prüfende
Stahlröhre 1 spiralförmig in horizontaler Richtung oder
in Richtung seiner Mittelachse O transportiert.
Eine als Stroboskop ausgebildete Strahlungsquelle 2
verwendet beispielsweise eine Xenonlampe, die eine
obere, äußere, runde Oberfläche der Stahlröhre 1 von
oberhalb der Stahlröhre 1 in geneigter Richtung be
strahlt. Eine optische Achse 2A der Strahlungsquelle 2
steht in rechtem Winkel zur Mittelachse O der Stahl
röhre 1, während ein Winkel (Schnittwinkel α) zwischen
der optischen Achse 2A und einer Lotrechten N an einem
Schnittpunkt I, an dem die von der Strahlungsquelle 2
ausgehende Strahlung auf die äußere runde Oberfläche 1A
der Stahlröhre 1 auftrifft, in der Größenordnung von
etwa 45° gewählt wird. Vor der Strahlungsquelle 2 ist
eine Strahlungsstreuplatte, beispielsweise eine mil
chigweiße Strahlungsstreuplatte in rechtem Winkel zur
optischen Achse 2A der Strahlungsquelle 2 angeordnet.
Eine Stromquelle 3 der Strahlungsquelle 2 wird durch
ein Schaltsignal aus- und eingeschaltet, wobei das
Schaltsignal von einem Signalprozessor 4 geliefert
wird, um die Strahlungsquelle 2 blitzartig zu betäti
gen.
Eine nachfolgend kurz als optischer Sensor bezeichnete
optische Sensoreinrichtung 6, beispielsweise eine Fern
sehkamera (CCD-Kamera) wird auf einem Reflektionsstrah
lengang OP angeordnet, um einen oberen Teil der be
strahlten, äußeren, runden Oberfläche 1A der Stahlröhre
1 zu erfassen. Ein Videosignal der Optischer Sensor 6
wird dem Signalprozessor 4 gesandt, wo es in Abstimmung
mit der Blitzfolge der Strahlungsquelle 2 abgespeichert
wird. Das abgespeicherte Videosignal wird einem Monitor
7 zur Abbildung zugeführt. Das Signal wird im Signal
prozessor 4 unmittelbar binär digitalisiert oder es
wird nach binär digitalisiert, nachdem es durch Diffe
rentiation analysiert wurde, um die Helligkeitsunter
schiede zu verstärken. Basierend auf einem solchen Hel
ligkeitsunterschied wird demgegenüber das Oberflächen
fehlersignal einem Ausgangsterminal 8 zugeführt.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Prüfung von Oberflä
chen erfolgt unter Verwendung der vorstehend beschrie
benen Vorrichtung wie folgt:
Während die Stahlröhre 1 spiralförmig transportiert wird, wird der obere Teil ihrer äußeren runden Ober fläche 1A durch die Strahlungsquelle 2 bestrahlt. Das den oberen Teil der äußeren runden Oberfläche 1A der Stahlröhre 1 bestrahlende Licht hat bereits die mil chigweiße Strahlungsstreuplatte 5 durchstrahlt, während es in rechtem Winkel zu der Mittelachse O der Stahl röhre 1 strahlt, so daß im bestrahlten Teil der Stahl röhre 1 die in der äußeren Oberfläche 1A der Stahlröhre in Umfangsrichtung, also rechtwinkelig zur Mittelachse O der Stahlröhre 1 eingeformten Schleifspuren ver schwinden um den fehlerfreien Teil in weißer Farbe, Fehler hingegen als schwarze Schatten anzuzeigen. Durch die Abtastung des bestrahlten Teils in vergrößerter Darstellung durch den optischen Sensor 6, durch Abbil dung des gewonnenen Bildes durch den Monitor 7 und durch Verarbeitung des erlangten Videosignales im Si gnalprozessor 4 können Fehler zuverlässig ermittelt werden, ohne die Schleifspuren als äußere Störquellen zu erfassen. Gleichzeitig wird auch der Einfluß ausge schaltet, der auf Vibrationen aufgrund von Unregelmäßi gkeiten usw. der Stahlröhre 1 zurückzuführen ist. Durch wiederholte Abtastung der spiralförmig transpor tierten Stahlröhre 1 wird die gesamte äußere runde Oberfläche der Stahlröhre 1 mit hoher Präzision unter sucht.
Während die Stahlröhre 1 spiralförmig transportiert wird, wird der obere Teil ihrer äußeren runden Ober fläche 1A durch die Strahlungsquelle 2 bestrahlt. Das den oberen Teil der äußeren runden Oberfläche 1A der Stahlröhre 1 bestrahlende Licht hat bereits die mil chigweiße Strahlungsstreuplatte 5 durchstrahlt, während es in rechtem Winkel zu der Mittelachse O der Stahl röhre 1 strahlt, so daß im bestrahlten Teil der Stahl röhre 1 die in der äußeren Oberfläche 1A der Stahlröhre in Umfangsrichtung, also rechtwinkelig zur Mittelachse O der Stahlröhre 1 eingeformten Schleifspuren ver schwinden um den fehlerfreien Teil in weißer Farbe, Fehler hingegen als schwarze Schatten anzuzeigen. Durch die Abtastung des bestrahlten Teils in vergrößerter Darstellung durch den optischen Sensor 6, durch Abbil dung des gewonnenen Bildes durch den Monitor 7 und durch Verarbeitung des erlangten Videosignales im Si gnalprozessor 4 können Fehler zuverlässig ermittelt werden, ohne die Schleifspuren als äußere Störquellen zu erfassen. Gleichzeitig wird auch der Einfluß ausge schaltet, der auf Vibrationen aufgrund von Unregelmäßi gkeiten usw. der Stahlröhre 1 zurückzuführen ist. Durch wiederholte Abtastung der spiralförmig transpor tierten Stahlröhre 1 wird die gesamte äußere runde Oberfläche der Stahlröhre 1 mit hoher Präzision unter sucht.
Bei Stahlröhren mit einem äußeren Durchmesser von 6,5 mm
und einer Wandstärke von 0,5 mm, dessen äußere runde
Oberfläche mithilfe der PVA-Schleifmethode fertigge
stellt wurde, konnten mittels des oben beschriebenen
Verfahrens Oberflächenfehler in der Größenordnung von
50 Mikron und 20 Mikron Tiefe ermittelt werden. Sofern
die milchigweiße Strahlungsstreuplatte 5 entfernt und
die Lichtstrahlung auf die Schleifspuren gestreut
wurde, wurden viele Signale ermittelt, die den obigen
Oberflächenfehlern entsprachen.
Obgleich die milchigweiße Strahlungsstreuplatte 5 ver
wendet wurde, wurde in dem Fall, daß die äußere runde
Oberfläche der Stahlröhre 1 in der gegenüber der Mitte
lachse O der Stahlröhre 1 geneigten Richtung bestrahlt
wurde, viele Schatten von Schleifspuren ermittelt.
Der bei dieser Gelegenheit eingesetzte optische Sensor
6 war eine CCD-Kamera mit festgewählter, 50facher Ver
größerung. Als Lichtquelle 2 fand ein Xenonstroboskop
Verwendung und als milchigweiße Strahlungsstreuplatte 5
wurde eine Opalglas als Kunstruktionsmaterial ähnliche
Kunststoffplatte eingesetzt.
Es ergibt sich aus der vorstehenden Beschreibung der
erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen
Verfahrens, daß die durch Schleifspuren und sonstige bei
der Prüfung außer Acht zu lassende Unregelmäßigkeiten
usw. bedingten Störungen des zu prüfenden Materials
eliminiert werden, so daß es möglich ist, die Prüfung
der geschliffenen äußeren runden Oberfläche mit hoher
Präzision durchzuführen. Im Gegensatz zu Prüfungsmetho
den nach dem Stand der Technik wird somit erreicht, au
tomatisch bei gleichzeitiger erheblicher Vereinfachung
der Signalverarbeitung Fehler zu ermitteln.
Claims (8)
1. Verfahren zur Prüfung von Oberflächen, enthaltend
folgende Verfahrensschritte:
- a) ein Teil einer äußeren, runden, in Umfangsrich tung geschliffenen Oberfläche eines zu prüfenden Gegenstandes wird mit Streulicht senkrecht zur Mittelachse des Gegenstandes bestrahlt;
- b) der bestrahlte Teil der Oberfläche des Gegen standes wird durch einen optischen Sensor abge tastet, der im Strahlengang des von dem be strahlten Oberflächenteil reflektierten Lichtes angeordnet ist; und
- c) ein Videosignal des optischen Sensors wird zwecks Ermittlung einer an der äußeren Oberflä che vorhandenen fehlerhaften Stelle verarbeitet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei als Streulicht
weißes Licht gewählt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Einfallwinkel
des Streulichtes auf die äußere, runde Oberfläche
etwa 45° beträgt.
4. Vorrichtung zur Prüfung von Oberflächen, enthaltend:
- a) eine Strahlungsquelle zur Abstrahlung von Licht, so daß ein Teil einer äußeren, runden, in Um fangsrichtung geschliffenen Oberfläche eines zu prüfenden Gegenstandes schräg in senkrechter Richtung zur Mittelachse des Gegenstandes be strahlt wird;
- b) eine Strahlungsstreueinrichtung, die vor der Strahlungsquelle angeordnet ist und das von der Strahlungsquelle abgestrahlte Licht streut sowie den Teil der äußeren, runden Oberfläche des Ge genstandes gleichmäßig bestrahlt;
- c) einen optischen Sensor, der im Strahlengang des von dem bestrahlten Oberflächenteil reflektier ten Lichtes angeordnet ist und zur Erzeugung ei nes Videosignales den bestrahlten Teil der Ober fläche des Gegenstandes abtastet.
- d) eine das Videosignal verarbeitende Signalprozes soreinrichtung zur Ermittlung einer fehlerhaften Stelle auf der äußeren, runden Oberfläche des Gegenstandes.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, weiterhin enthaltend
eine die Strahlungsquelle speisende Stromquelle, die
durch die Signalprozessoreinrichtung gesteuert wird.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, weiterhin enthaltend
einen Monitor, der das Videosignal der Signal
prozessoreinrichtung zur Wiedergabe eines Bildes des
Gegenstandes erhält.
7. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei als Strahlungs
streueinrichtung eine milchigweiße Strahlungsstreu
platte dient.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die milchigweiße
Strahlungsstreuplatte aus Opalglas ähnlichem Kunst
stoff gefertigt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24466290A JPH04122839A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 表面検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4130217A1 true DE4130217A1 (de) | 1992-03-19 |
Family
ID=17122088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914130217 Withdrawn DE4130217A1 (de) | 1990-09-14 | 1991-09-11 | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechen |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04122839A (de) |
AU (1) | AU8380591A (de) |
CA (1) | CA2051032A1 (de) |
DE (1) | DE4130217A1 (de) |
FR (1) | FR2666884A1 (de) |
GB (1) | GB2249169A (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4415004A1 (de) * | 1993-04-30 | 1994-11-03 | Univ Schiller Jena | Anordnung und Verfahren zur Charakterisierung von Oberflächen und zur Charakterisierung und Klassifizierung von Oberflächendefekten und oberflächennahen Defekten sowie von Inhomogenitäten im Volumen transparenter Medien |
DE4325921A1 (de) * | 1993-08-02 | 1995-02-09 | Schlafhorst & Co W | Kreuzspulenqualitätsprüfung |
DE19809790A1 (de) * | 1998-03-09 | 1999-09-30 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Drallstruktur in der Oberfläche eines feinbearbeiteten zylindrischen Werkstücks |
WO2003008951A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Centre De Recherches Metallurgiques, A.S.B.L. | Procede pour l'inspection de la surface d'un cylindre de laminoir et dispositif pour sa mise en oeuvre. |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129995A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-13 | Nippon Steel Corp | 光学式表面欠陥検査装置 |
US5991017A (en) * | 1995-06-15 | 1999-11-23 | British Nuclear Fuels Plc | Inspecting the surface of an object |
BE1014222A3 (fr) * | 2001-06-13 | 2003-06-03 | Ct Rech Metallurgiques Asbl | Procede de caracterisation en ligne d'une surface en mouvement et dispositif pour sa mise en oeuvre. |
FR2829572B1 (fr) * | 2001-09-10 | 2005-03-25 | Giat Ind Sa | Dispositif et procede de determination de l'usure d'un tube, tel un tube d'une arme |
WO2007056090A1 (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-18 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Illuminator-especially for cylindrical curved surfaces |
US7792419B2 (en) | 2005-11-02 | 2010-09-07 | Microscan Systems, Inc. | Illuminator-especially for cylindrical curved surfaces |
KR100891842B1 (ko) | 2007-08-28 | 2009-04-07 | 주식회사 포스코 | 원형 선재 광학결함 검출장치 및 방법 |
FR2965616B1 (fr) * | 2010-10-01 | 2012-10-05 | Total Sa | Procede d'imagerie d'une conduite longitudinale |
CN106353340B (zh) * | 2016-10-18 | 2019-07-16 | 厦门威芯泰科技有限公司 | 一种棒状高反射率零件表面缺陷检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3320939C2 (de) * | 1982-06-15 | 1985-04-18 | Hajime Industries, Ltd., Tokio/Tokyo | Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers |
DE3641816A1 (de) * | 1986-12-06 | 1988-06-16 | Robert Prof Dr Ing Massen | Verfahren und anordnung zur messung und/oder ueberwachung von eigenschaften von garnen und seilen |
DE3402855C2 (de) * | 1983-01-31 | 1989-08-10 | Nippon Kokan K.K., Tokio/Tokyo, Jp |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS597937A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Minolta Camera Co Ltd | 複数の閃光放電管を有する電子閃光発光装置 |
JPS6113142A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-21 | Nuclear Fuel Co Ltd | 微小開孔検査装置用照明装置 |
JPH01165940A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-29 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH0682104B2 (ja) * | 1988-09-19 | 1994-10-19 | 松下電工株式会社 | 印刷回路板の外観検査方法 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP24466290A patent/JPH04122839A/ja active Pending
-
1991
- 1991-09-10 CA CA 2051032 patent/CA2051032A1/en not_active Abandoned
- 1991-09-11 GB GB9119372A patent/GB2249169A/en not_active Withdrawn
- 1991-09-11 AU AU83805/91A patent/AU8380591A/en not_active Abandoned
- 1991-09-11 DE DE19914130217 patent/DE4130217A1/de not_active Withdrawn
- 1991-09-13 FR FR9111330A patent/FR2666884A1/fr not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3320939C2 (de) * | 1982-06-15 | 1985-04-18 | Hajime Industries, Ltd., Tokio/Tokyo | Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers |
DE3402855C2 (de) * | 1983-01-31 | 1989-08-10 | Nippon Kokan K.K., Tokio/Tokyo, Jp | |
DE3641816A1 (de) * | 1986-12-06 | 1988-06-16 | Robert Prof Dr Ing Massen | Verfahren und anordnung zur messung und/oder ueberwachung von eigenschaften von garnen und seilen |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
The Engineering, August 1966, S. 203 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4415004A1 (de) * | 1993-04-30 | 1994-11-03 | Univ Schiller Jena | Anordnung und Verfahren zur Charakterisierung von Oberflächen und zur Charakterisierung und Klassifizierung von Oberflächendefekten und oberflächennahen Defekten sowie von Inhomogenitäten im Volumen transparenter Medien |
DE4325921A1 (de) * | 1993-08-02 | 1995-02-09 | Schlafhorst & Co W | Kreuzspulenqualitätsprüfung |
DE19809790A1 (de) * | 1998-03-09 | 1999-09-30 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Drallstruktur in der Oberfläche eines feinbearbeiteten zylindrischen Werkstücks |
DE19809790B4 (de) * | 1998-03-09 | 2005-12-22 | Daimlerchrysler Ag | Verfahren zur Ermittlung einer Drallstruktur in der Oberfläche eines feinbearbeiteten zylindrischen Werkstücks |
WO2003008951A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Centre De Recherches Metallurgiques, A.S.B.L. | Procede pour l'inspection de la surface d'un cylindre de laminoir et dispositif pour sa mise en oeuvre. |
BE1014299A3 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-08-05 | Centre Rech Metallurgique | Procede pour l'inspection de la surface d'un cylindre de laminoir et dispositif pour sa mise en oeuvre. |
US7006213B2 (en) | 2001-07-17 | 2006-02-28 | Centre De Recherches Metallurgiques, A.S.B.L. | Method for inspecting the surface of a roll cylinder and device therefor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2249169A (en) | 1992-04-29 |
CA2051032A1 (en) | 1992-03-15 |
GB9119372D0 (en) | 1991-10-23 |
FR2666884A1 (fr) | 1992-03-20 |
JPH04122839A (ja) | 1992-04-23 |
AU8380591A (en) | 1992-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3626724C2 (de) | Anordnung zur Oberflächenprüfung | |
DE2938235C2 (de) | ||
DE69627328T2 (de) | Verfahren und vorrichtungen zur prüfung von beschichtungen | |
DE3608284C2 (de) | ||
DE3320939C2 (de) | Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers | |
DE102014217771B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Qualitätskontrolle transparenter Objekte | |
DE4130217A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechen | |
DE112009001650B4 (de) | Lochinspektionsverfahren und -vorrichtung | |
DE2617457B2 (de) | Vorrichtung zum Prüfen von durchsichtigen, axial symmetrischen Gegenständen auf Fehler | |
DE3516752A1 (de) | System zur erfassung von selektiven lichtbrechenden defekten in transparenten gegenstaenden | |
DE19809505A1 (de) | Einrichtung zum Prüfen optischer Elemente | |
DE3821422C2 (de) | ||
EP1956366A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von Defekten | |
DE4007401C2 (de) | Vorrichtung zum Feststellen einer Eigenschaft eines Objekts | |
DE2705635A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur zerstoerungsfreien pruefung von schweissstellen | |
DE4139094A1 (de) | Messverfahren und messgeraet zur erkennung von stoerstellen bei flachglaesern | |
DE102006019468B3 (de) | Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Inspektion von Oberflächen | |
DE19511197C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche, insbesondere einer Compact-Disc | |
EP0249798B1 (de) | Verfahren zum Prüfen von Bauteilen aus transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse | |
DE4434475C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle eines Gegenstandes, insbesondere einer Compact-Disc | |
DE19713973C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen der Mantelfläche zylindrischer Körper | |
EP0631129A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von transparenten Gegenständen | |
EP0987541A1 (de) | Einrichtung und Verfahren zur optischen Qualitätsprüfung einer Rohrinnenoberfläche | |
DE3536374A1 (de) | Durchlichtverfahren zur gehaeuse- und bauteilevermessung | |
DE9104596U1 (de) | Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von transparenten Kunststoffen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |