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DE4015666A1 - Kraftaufnehmer - Google Patents

Kraftaufnehmer

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Publication number
DE4015666A1
DE4015666A1 DE19904015666 DE4015666A DE4015666A1 DE 4015666 A1 DE4015666 A1 DE 4015666A1 DE 19904015666 DE19904015666 DE 19904015666 DE 4015666 A DE4015666 A DE 4015666A DE 4015666 A1 DE4015666 A1 DE 4015666A1
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DE
Germany
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strips
coating
force
layer
corroding
Prior art date
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Application number
DE19904015666
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English (en)
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DE4015666C2 (de
Inventor
Guenter Dr Ing Viehweger
Ruediger Dipl Ing Rebstock
Jochen Dipl Ing Ritter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
Original Assignee
Leybold AG
Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
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Publication date
Application filed by Leybold AG, Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV filed Critical Leybold AG
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Publication of DE4015666A1 publication Critical patent/DE4015666A1/de
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Publication of DE4015666C2 publication Critical patent/DE4015666C2/de
Granted legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/401Oxides containing silicon
    • C23C16/402Silicon dioxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C16/32Carbides
    • C23C16/325Silicon carbide
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2287Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges

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Description

Die Erfindung betrifft einen Kraftaufnehmer der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art.
Es sind Kraftaufnehmer bekannt, bei denen ein sich unter der Einwirkung einer Kraft verformender Träger mit Dehnmeßstreifen versehen ist, deren elektrischer Widerstand sich verformungsabhängig ändert. Durch Messung der an dem Widerstand abfallenden Spannung kann die auf den Träger einwirkende Kraft gemessen werden.
Kraftaufnehmer werden auch in Windkanälen eingesetzt, um Kräfte und Momente an Windkanalmodellen zu messen. Hierzu wird eine Windkanalwaage verwendet. Der Einsatz von Dehnmeßstreifen in kyrogenisierten Windkanälen, die in einem Temperaturbereich von 300 K bis 100 K betrie­ ben werden, verursacht jedoch erhebliche Schwierig­ keiten. Dehnmeßstreifen reagieren nicht nur auf Ver­ formungen sondern auch auf Temperaturänderungen. Tempe­ raturbedingte Signaländerungen werden als Nullpunkt­ drift oder scheinbare Dehnung bezeichnet. Um eine Wind­ kanalwaage mit der erforderlichen Genauigkeit eichen zu können, ist eine Reproduzierbarkeit der scheinbaren Dehnung mit mindestens gleicher Genauigkeit unerläß­ liche Voraussetzung. Die Reproduzierbarkeit eines Dehn­ meßstreifens verschlechtert sich jedoch stark unter dem Einfluß von Feuchtigkeit. Die drastische Verschlechte­ rung der Reproduzierbarkeit ist auf eine Änderung der Charakteristik des Dehnmeßstreifens zurückzuführen, da bei einem mit Feuchtigkeit kontaminierten Dehnmeß­ streifen bei Temperaturen unter 0°C die Feuchtigkeit ausfriert und eine zusätzliche scheinbare Dehnung er­ zeugt. Da die Temperatur des Windkanalgases bei Erwär­ mung der Temperatur des Kraftaufnehmers vorauseilt und somit höher ist, setzt sich an dem Kraftaufnehmer nach dem Überschreiten der Taupunkttemperatur Feuchtigkeit ab, die das Meßergebnis verfälscht.
Ein weiteres ungelöstes Problem stellt der Korrosions­ schutz der Kraftaufnehmer dar. Da Meßwaagen, die im Tieftemperaturbereich betrieben werden, sehr hohen Be­ lastungen ausgesetzt sind, werden an die Materialien der Meßwaagen hohe Anforderungen gestellt. Für den Waagenkörper können nur hochlegierte Nickelstähle ver­ wendet werden, die den Nachteil haben, daß sie nicht korrosionsbeständig sind. Die Strukturen im Waagen­ innern mit genau definierten Spalten können durch die Korrosion ihre Freigängigkeit verlieren, wodurch es zu Blockierungen kommt und die Waage wertlos wird.
Konventionelle Beschichtungen der Waagen können als Korrosionsschutz nicht eingesetzt werden, da die Waage noch einer Wärmebehandlung bei einer Tempera­ tur von 815°C unterzogen werden muß und die kritischen Bereiche im Inneren der Waage nach dem Schweißen nicht mehr zugänglich sind.
Die bekannten Kraftaufnehmer erfüllen die Anforderungen an die Reproduzierbarkeit der scheinbaren Dehnung mit der geforderten Genauigkeit nicht. Bisher ist kein Kraftaufnehmer bekannt, der eine wirksame Abdeckung im Bereich der Dehnmeßstreifen gewährleistet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Kraft­ aufnehmer der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 an­ gegebenen Art zu schaffen, der insbesondere für den Einsatz in kyrogenisierten Windkanälen geeignet ist und einen wirksamen Korrosionsschutz aufweist.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 ange­ gebenen Merkmalen.
Bei dem erfindungsgemäßen Kraftaufnehmer ist der Dehn­ meßstreifen mit einer aufgedampften diffusionsdichten isolierenden Beschichtung versehen, die den Dehnmeß­ streifen und den darunter befindlichen Teil des Trägers schützt, so daß im Bereich des Dehnmeßstreifens keine Feuchtigkeit an den Träger gelangen kann. Die Beschich­ tung erstreckt sich nicht nur über den Dehnmeßstreifen sondern auch über mindestens den daran angrenzenden Teil des Trägers. Die Beschichtung ist sehr dünn und hat eine Stärke von nur wenigen Micrometern. Sie bildet eine diffusionsdichte Umhüllung der Dehnmeßstreifen und erforderlichenfalls des gesamten Trägers. Durch die geringe Dicke der Schutzschicht kann diese keine Kräfte übertragen, die die Hysterese der aufgebrachten Dehn­ meßstreifen beeinflussen könnten.
Als Beschichtung eignen sich insbesondere Siliziumoxid und Siliziumkarbid. Diese Materialien sind bis zu der bei der Wärmebehandlung angewandten Temperatur von 815°C temperaturbeständig und zeigen keine Rißbil­ dungen oder Ablösungen.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die einzige Figur der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung näher erläutert.
In der Figur ist eine Seitenansicht eines Kraftauf­ nehmers dargestellt.
Der Kraftaufnehmer weist einen Biegebalken 10 aus hoch­ legiertem Nickelstahl auf, der an einem Ende in einer Einspannung 11 eingespannt ist. Auf das andere freie Ende des Biegebalkens 10 kann eine Kraft einwirken, um den Balken zu verformen.
Auf dem Biegebalken sind Dehnmeßstreifen 12, 13 an der Oberseite und an der Unterseite angebracht.
Die Dehnmeßstreifen 12, 13 und die daran angrenzenden Teile des Biegebalkens sind mit einer Beschichtung 14 aus Siliziumoxid oder Siliziumkarbid in einer Schicht­ dicke von 2 µm bis 4 µm versehen. Diese Beschichtung ist in einem Dampfbeschichtungsverfahren (Chemical Vapor Deposition - CVD) durchgeführt. Die Beschich­ tungen 14 umschließen den jeweiligen Dehnmeßstreifen und die daran angrenzenden Bereiche des Biegebalkens 10 hermetisch. Sie bilden eine diffusionsdichte Schutz­ schicht, durch die hindurch keine Feuchtigkeit an die Teile des Kraftaufnehmers gelangen kann. Diese Schutz­ schicht kann sich auch über die gesamte Oberfläche des Biegebalkens erstrecken. Durch ihre geringe Stärke von maximal etwa 20 µm, vorzugsweise aber 2 bis 6 µm, wird verhindert, daß die Beschichtung Kräfte aufnimmt und die Hysterese des Kraftaufnehmers beeinflußt.
Die Beschichtung 14 kann auch aus zwei Schichten be­ stehen, nämlich einer unteren Siliziumoxidschicht als Isolator und einer darüber befindlichen Metallschicht, vorzugsweise Nickelschicht, als diffusionsdichte Schicht.
Die Erfindung ist nicht nur bei Kraftaufnehmers anwend­ bar, die als Biegebalken ausgebildet sind sondern auch bei Torsionsstäben, Membranen oder anderen Strukturen, die sich unter Krafteinwirkung elastisch verformen.
Der erfindungsgemäße Kraftaufnehmer eignet sich beson­ ders für die Anwendung im Niedrigtemperaturbereich von 300 K bis 100 K. Er kann aber auch hohen Temperaturen ausgesetzt werden, ohne dabei verstellt zu werden.

Claims (4)

1. Kraftaufnehmer mit einem einer Verformungskraft ausgesetzten Träger (10) und mindestens einem auf dem Träger (10) befestigten Dehnmeßstreifen (12, 13), dadurch gekennzeichnet, daß der Dehnmeßstreifen (12, 13) mit einer aufge­ dampften diffusionsdichten isolierenden Beschich­ tung (14) versehen ist.
2. Kraftaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Beschichtung (14) eine Stärke von weniger als 20 µm, vorzugsweise von 2 bis 6 µm, hat.
3. Kraftaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (14) eine Schicht aus Siliziumoxid oder Siliziumkarbid auf­ weist.
4. Kraftaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (14) eine metallische Deckschicht aufweist.
DE19904015666 1990-05-16 1990-05-16 Kraftaufnehmer Granted DE4015666A1 (de)

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