DE3935698C2 - Legierungstarget für die Herstellung eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Legierungstarget, das zur Her­ stellung eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums durch ein Zerstäuberverfahren geeignet ist. Dieses Target besitzt verringerte Rißbildung, kann eine gleichförmige Filmvertei­ lung bewirken und den Unterschied in der Zusammensetzung zwischen einem Target und einem Film verringern, weist eine hohe Verwendungseffizienz auf und verursacht keine Verände­ rung in der Zusammensetzung des resultierenden Films bei längerer Zeit.

An einem magneto-optischen Speicher besteht seit einigen Jahren großes Interesse, da er das Löschen und Aufzeichnen von Informationen erleichtern kann. Es ist bekannt, daß für einen magneto-optischen Speicher einkristalline Materialien, wie z. B. Granatsteine, polykristalline Materialien, wie z. B. MnBi und PtCo, oder amorphe Materialien, wie z. B. Legierungen von Seltenen Erden Elementen und Übergangsmetallen, geeignet sind.

Unter diesen Materialien besitzt eine amorphe Legierung, die Seltene Erde Elemente und Übergangsmetalle enthält, z. B. Tb-Fe-Co oder Gd-Tb-Fe, eine Reihe von Vorteilen. Man benö­ tigt z. B. nur einen geringen Betrag an Energie zur Aufzeich­ nung, es treten keine Korngrenzengeräusche auf und man kann relativ einfach ein grobkörniges Material herstellen. Zur Herstellung eines dünnen Films einer derartigen amorphen Legierung wird oft ein Zerstäuberverfahren verwendet, bei dem man Ionen mit einer Target kollidieren läßt, um einen dünnen Film auf einem Substrat zu bilden, welches sich in der Nähe des Targets befindet.

Als Material für ein zur Zerstäubung verwendbares Target wurde z. B. in der DE-OS 35 37 191 ein Verbundmaterial vorgeschla­ gen, zusammengesetzt aus einem Seltenerdmetall und einem Übergangsmetall, sowie aus einer Phase einer intermetalli­ schen Verbindung der Seltenen Erde und des Übergangsmetalls. Die offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. JP 62-70550 beschreibt ein Targetmaterial, das eine feingemischte Struk­ tur aus einer Phase einer intermetallischen Verbindung aus einer Seltenen Erde und einem Übergangsmetall sowie einer Phase aus dem Übergangsmetall alleine umfaßt. Die Eigenschaf­ ten eines derartigen Materials sind (1) eine geringere Riß­ bildung und (2) eine zufriedenstellende gleichmäßige Zusam­ mensetzung.

In einem Vortrag bei der "Fourth Joint INTERMAG-MMM Conference" vom 12. bis 15. Juli 1988 in Vancouver (Kanada), der in der "IEEE Transactions on Magnetics", Vol. 24 (1988), S. 2443 ff. abgedruckt ist, wurden drei unterschiedliche Legierungstargets und ihre Eigenschaften beschrieben. Dabei ist Target A aus einem Legierungspulver gebildet und weist eine einheitliche Phase aus der Metallegierung auf, Target B ist aus einem Legierungspulver und einem Pulver eines Selten­ erdmetalls gebildet und weist zwei unterschiedliche Phasen auf, nämlich eine reine Legierungsphase und eine Phase aus dem Seltenerdmetall, und Target C ist aus einem Legierungs­ pulver sowie Pulvern eines Seltenerdmetalls und eines Über­ gangsmetalls gebildet und weist drei Phasen auf, nämlich eine reine Legierungsphase sowie 2 Phasen, die aus dem Selten­ erdmetall bzw. dem Übergangsmetall gebildet werden. Ein Targetmaterial, das - von Verunreinigungen abgesehen - andere Elemente als Seltenerdmetalle und Übergangsmetalle der Eisen­ gruppe enthält, wurde nicht offenbart.

Die bekannten Targetmaterialien haben jedoch Nachteile, z. B. (1) die Zusammensetzung des resultierenden Films unterscheidet sich stark von der des Targets, (2) die Permeabilität ist so groß, daß nur ein kleiner magnetischer Fluß von der Oberfläche des Targets fortströmt, was eine geringe Zerstäubungseffizienz und somit auch eine verringerte Effizienz bei der Verwendung des Targets bewirkt, insbeson­ dere wenn eine Magnetron-Zerstäubungsanordnung verwendet wird, und (3) die Oberfläche des Targets zeigt erhebliche Formveränderungen in bezug auf oben genannten Punkt (2), die wiederum Veränderungen in der Zusammensetzung des Films bei längerer Zerstäubungsdauer bewirken.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es demgemäß, diese Probleme zu beseitigen und ein Target zu entwickeln, das bei dem Zerstäubungsverfahren verwendet werden kann und (1) eine verringerte Rißbildung aufweist, (2) in der Lage ist, eine ausreichend gleichförmige Zusammensetzung des Films zu bewir­ ken, (3) einen verringerten Unterschied in der Zusammenset­ zung zwischen Film und Target aufweist, (4) eine hohe Effi­ zienz bei Verwendung des Targets ergibt und (5) geringere Veränderungen in der Zusammensetzung des resultierenden Films mit längerer Zeit verursacht.

Die obengenannten Probleme werden mit einem erfindungsgemäßen Target gelöst, dessen Struktur im wesentlichen keine Phase des Übergangsmetalls alleine, dafür aber ein spezifisches Zusatzelement aufweist. Die Erfindung betrifft somit ein Legierungstarget für die Herstellung eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums, das im wesentlichen aus mindestens einem der Übergangsmetalle Co, Fe und Ni besteht und 10 bis 50 Atom-% von mindestens einem der Seltenen Erden-Metalle, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Tm enthält und eine gemischte Struktur aufweist, die eine Phase einer intermetallischen Verbindung und eine Phase der Seltenen Erde alleine enthält und worin im wesentlichen keine alleinige Phase des Über­ gangsmetalls vorhanden ist, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß es zusätzlich 0,1 bis 10 Atom-% von mindestens einem der Zusatzelemente B, Al, Si, P, Ti, V, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Pt, Pb und Bi enthält, und daß die gemischte Struktur eine Phase einer intermetallischen Verbindung aus einem Seltene Erden-Metall, einem Zusatzelement und einem Übergangsmetall enthält.

Gemäß vorliegender Erfindung wird mindestens ein Element aus der Gruppe bestehend aus Neodym (Nd), Samarium (Sm), Gadoli­ nium (Gd), Terbium (Tb), Dysprosium (Dy), Holmium (Ho), Erbium (Er) und Thulium (Tm) als Seltene Erde verwendet. Weiterhin wird mindestens ein Element aus der Gruppe, beste­ hend aus Bor (B), Aluminium (Al), Silizium (Si), Phosphor (P), Titan (Ti), Vanadium (V), Chrom (Cr), Mangan (Mn), Zirkonium (Zr), Niob (Nb), Molybdän (Mo), Hafnium (Hf), Tantal (Ta), Wolfram (W), Platin (Pt), Blei (Pb) und Wismut (Bi) als Zusatzelement verwendet. Weiterhin wird mindestens ein Element aus der Gruppe, bestehend aus Kobalt (Co), Eisen (Fe) und Nickel (Ni) als Übergangsmetall verwendet.

Es ist notwendig, daß das Legierungstarget gemäß vorliegender Erfindung 10 bis 50 Atom-% von mindestens einer der oben­ genannten Seltenen Erden, 0,1 bis 10 Atom-% von einem der Zusatzelemente enthält, und ansonsten im wesentlichen aus mindestens einem der Übergangselemente besteht. Wenn der Anteil der Seltenen Erde weniger als 10 Atom-% oder mehr als 50 Atom-% beträgt, sind die magneto-optischen Eigenschaften des dünnen Films, der bei der Zerstäubung erhalten wird, unzureichend. Weiterhin ist die Korrosionsresistenz des resultierenden dünnen Films unzureichend, wenn der Anteil des Zusatzelements unterhalb 0,1 Atom-% ist und andererseits ist die magneto-optische Eigenschaft des dünnen Films unzurei­ chend, wenn er 10 Atom-% übersteigt.

Ein Legierungstarget gemäß vorliegender Erfindung kann auch Verunreinigungen, wie z. B. Calcium (Ca), Kohlenstoff (C) oder Schwefel (S) enthalten, die zwangsläufig während der Her­ stellung eingebracht werden.

Die Struktur des Legierungstargets gemäß vorliegender Erfin­ dung ist eine gemischte Struktur, die eine intermetallische Verbindung aus Seltener Erde - Zusatzelement - Übergangs­ metall, eine Phase der Seltenen Erde alleine und im wesentli­ chen keine alleinige Phase des Übergangsmetalls enthält. Sie ist beispielsweise eine gemischte Struktur, die eine Phase einer intermetallischen Verbindung aus Seltener Erde - Zu­ satzelement - Übergangsmetall, eine Phase der Seltenen Erde alleine und eine feinvermischte Phase aus Seltener Erde und intermetallischer Verbindung aus Seltener Erde - Übergangs­ metall enthält.

Unter diesen Strukturen enthält die feinvermischte Phase die Seltene Erde und die intermetallische Verbindung aus Seltener Erde und Übergangsmetall, die durch eine Reaktion, z. B. eine eutektische, peritektische oder peritektisch-eutektische Reaktion etc. hergestellt wird, wenn geschmolzenes Material auf Normaltemperatur abgekühlt wird. Sie kann außerdem eine kristalline Struktur besitzen, die sich durch Erhitzen einer durch schnelles Abschrecken entstandenen amorphen Struktur bildet. In der Struktur gemäß vorliegender Erfindung ist das Zusatzelement in der Phase der intermetallischen Verbindung enthalten und kann in der feinvermischten Phase vorliegen. Die Lokalisierung des Zusatzelements in der Struktur ermög­ licht (1) eine Bindephase für die spröde Phase der inter­ metallischen Verbindung zu bilden, (2) eine gleichförmige Zusammensetzung des Films zu verursachen und (3) den Unter­ schied in der Zusammensetzung zwischen Target und Film zu verringern. Vorzugsweise besitzt die feinvermischte Phase in der Struktur des Legierungstargets eine Größe von nicht mehr als 500 µm und liegt in einem Anteil von mindestens 3 Vol.-% vor, um die oben beschriebenen Effekte in ausreichendem Maße bewirken zu können. Ihre Form kann ohne besondere Einschrän­ kungen granulär, eckig oder säulenförmig sein. Weiterhin ist erforderlich, daß im wesentlichen keine Phase des Übergangs­ metalls alleine vorhanden ist, da dies unerwünschte Effekte auf die Verwendungseffizienz des Targets und auf die Ver­ änderung der Filmzusammensetzung bei verlängerter Zerstäu­ bungsdauer bewirken würde. Die Phase der intermetallischen Verbindung aus Seltener Erde und Übergangsmetall kann als eine oder mehrere Phasen vorliegen. Es gibt auch keine beson­ deren Einschränkungen für ihre Gestalt und Größe. Für die einheitliche Phase der Seltenen Erde gilt, daß kein wesentli­ cher Funktionsunterschied festzustellen ist, wenn sie als zusätzliche Phase anwesend ist oder fehlt.

Ein Legierungstarget gemäß vorliegender Erfindung wird als Sinterprodukt durch Vermischung von Pulver, das mindestens eines der oben beschriebenen Zusatzelemente enthält, und Pulver, das im wesentlichen kein solches Zusatzelement ent­ hält, und anschließend auf pulvermetallurgische Weise herge­ stellt.

Ferner ist es notwendig, daß entweder das Pulver, welches das Zusatzelement enthält, oder das Pulver, das im wesentlichen kein Zusatzelement enthält, ein Legierungspulver ist, das durch ein Schmelzverfahren hergestellt wurde. Demnach soll dieses Legierungspulver solche Hystereseeigenschaften besit­ zen, als ob es einmal geschmolzen worden wäre oder eine flüssige Phase bei einem pulvermetallurgischen Sinterprozeß nach Vermischung der Ausgangspulver gebildet hätte. Als Legierungspulver sind z. B. solche geeignet, die (1) durch Mahlen eines Gußlegierungsbarrens hergestellt wurden, welcher durch Schmelzen erhalten wurde, (2) durch ein Plasma-REP-Ver­ fahren (Rotations-Elektroden-Prozeß) unter Verwendung einer Legierung als Elektrode erhalten wurden, (3) durch Mahlen einer Flocke, welche durch schnelles Abschrecken zur Ver­ festigung einer geschmolzenen Legierung mit Hilfe einer Kühlvorrichtung, wie z. B. einer Walze bei Normaltemperatur, erhalten wurden etc.

Beispiele für weitere geeignete Pulver sind solche, die durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren hergestellt werden, bei dem man pulverförmiges Seltene Erde Oxid, pulverförmiges Übergangsmetall und pulverförmiges Zusatzelement und ein Reduktionsmittel, wie z. B. metallisches Calcium, vermischt, erhitzt und dadurch zur Reaktion bringt, wobei Reduktion des Seltene Erde Oxids und Diffusion in das Übergangsmetallpulver oder in das Übergangsmetall und das Zusatzelement etc. statt­ findet. Jedoch ist bei Verwendung eines Übergangsmetallpul­ vers in reiner oder legierter Form zu beachten, daß sich in der Struktur des Legierungstargets keine einheitliche Phase des Übergangsmetalls ausbildet. Vorzugsweise werden daher möglichst feine Teilchen verwendet.

Aus einem geeigneten Legierungspulver kann pulvermetallur­ gisch ein Legierungstarget als Sinterprodukt hergestellt werden. Der Sintervorgang geschieht beispielsweise durch Sintern bei Umgebungsdruck und Normaltemperatur unter ein­ fachem Zusammenpressen des gemischten Pulvers mit einem Preßdruck von 0,5 bis 5 t/cm² oder durch Formen in einer hydrostatischen Presse mit einem Preßdruck von 0,5 bis 2 t/cm² und anschließendem 0,5 bis 5stündigem Sintern im Vakuum oder in einer Ar-Atmosphäre bei einer Temperatur von 700 bis 1300°C oder durch ein Heißpreßverfahren, wobei das Sintern im Vakuum mit einem Preßdruck von 0,1 bis 0,5 t/cm² bei einer Temperatur von 600 bis 1200°C 1 bis 5 Stunden lang statt­ findet oder auch durch ein hydrostatisches Heißpreßverfahren durch Einschluß in einen elastischen Körper und anschließen­ dem 0,5 bis 5stündigem Sintern bei einer Temperatur von 600 bis 1200°C mit einem Preßdruck von 0,1 bis 2 t/cm².

Ein Legierungstarget, das nach einem oben beschriebenen Verfahren hergestellt wurde, weist eine erfindungsgemäße Struktur auf. Man nimmt an, daß die feinvermischte Phase in der Struktur entweder bereits im Legierungspulver vorhanden war, das durch den Schmelzvorgang hergestellt wurde oder neu entstand, aufgrund der Bildung einer flüssigen Phase während des oben beschriebenen pulvermetallurgischen Sinterprozesses.

Das Legierungstarget gemäß vorliegender Erfindung besitzt spezifische Bestandteile, Zusammensetzung und Struktur, und da im wesentlichen keine Phase des Übergangsmetalls alleine vorhanden ist und ein spezifisches Zusatzelement in der Struktur lokalisiert ist, enthält man überraschenderweise ein Legierungstarget mit hervorragenden Eigenschaften, wie etwa eine gleichförmige Zusammensetzung, hohe Festigkeit ohne Risse oder Absplitterungen, Verursachung eines geringeren Unterschieds in der Zusammensetzung zwischen Target und Film, geringere Veränderung in der Zusammensetzung des Films bei längerer Zeit und eine hohe Effizienz bei Verwendung des Targets.

Beispiele

Die vorliegende Erfindung soll durch nachfolgende Beispiele weiter verdeutlicht werden.

Beispiel 1 (1) Herstellung des Legierungstargets

Zur Herstellung eines Legierungstargets mit der Zusammenset­ zung Tb₂₅Fe₆₀Co₁₀Cr₅ wurden ein Pulver mit der Zusammensetzung Tb_13,2Fe₆₈Co_12,5Cr_6,3, das nach einem Reduktions-Diffusions-Ver­ fahren hergestellt wurde (durchschnittliche Korngröße: 50 µm), und Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Tb₇₂Fe₂₈ (durchschnittliche Korngröße 100 µm), das nach einem Plas­ ma-REP-Verfahren hergestellt wurde, unter einer Argongas- Atmosphäre in einer Kugelmühle eine Stunde lang vermischt. Dabei war die Reinheit der zur Mischung verwendeten Ausgangs­ materialien hier und in den folgenden Beispielen 99,9 Gew.-% oder höher.

Eine Formungsvorrichtung aus Graphit mit einem inneren Durch­ messer von 152 mm wurde mit dem vermischten Pulver beladen. Ein Legierungstarget wurde durch einen Heißpreßvorgang hergestellt. Dabei wurde das Vakuum auf 1×10^-4 Torr (1,3×10^-4 mbar) eingestellt, der Druck zum Pressen des Pulvers betrug 100 kg/cm², bis die Temperatur auf 860°C erhöht wurde. Nach der Temperaturerhöhung wurde der Preßdruck auf 250 kg/cm² erhöht und die Temperatur 30 Minuten lang bei 860°C belassen und dann auf Raumtemperatur abgekühlt.

(2) Untersuchung des Legierungstargets

Das Legierungstarget als Sinterprodukt wurde aus der For­ mungsvorrichtung entnommen und auf Risse und Absplitterungen untersucht. Weder bei visueller Untersuchung noch bei Trans­ missions-Röntgenstrahlung wurden Materialfehler gefunden.

Die Zusammensetzung und das Ergebnis der mikroskopischen Untersuchung der Struktur des Sinterprodukts sind aus Tabelle 1 ersichtlich. Die auf diese Weise erhaltenen Werte für die Größe der einzelnen Phasen und ihre Volumenanteile wurden durch ein Linienschnitt-Verfahren bestimmt. Eine Phase der Seltenen Erde oder des Übergangsmetalls alleine wurde nicht gefunden.

(3) Herstellung des dünnen Films

Unter Verwendung des Legierungstargets aus (1) (151 mm Durch­ messer, 3 mm Dicke) wurde ein dünner Film [300 nm (3000 Å) Dicke] mit einem Zerstäuberverfahren (Ar-Gasdruck: 6×10^-5 Torr (8×10^-5 mbar), Zerstäubungsleistung: 4 W/cm², Substrat: Sodaglas) hergestellt. Der Zerstäubungsprozeß bei der Film­ herstellung war in allen Tests völlig stabil. Nach Herstel­ lung des dünnen Films wurde das Legierungstarget durch visu­ elle Inspektion auf Risse und Absplitterungen wie oben be­ schrieben untersucht. Es wurde nichts gefunden.

(4) Test des dünnen Films (1) Streuung in der Filmzusammensetzung

Zur Bestimmung des Streuungsbereichs wurde der Anteil an Seltener Erde und der Anteil an Zusatzelement quantitativ durch das EPMA-Verfahren (Elektronen-Sondierungs-Mikroanaly­ se) an 6 Punkten bestimmt, von denen jeder in 30 mm radialen Intervallen bezüglich der Position gerade oberhalb des Tar­ getmittelpunkts auf dem Substrat als Ausgangspunkt angeordnet war.

(2) Unterschied in der Zusammensetzung zwischen Target und Film

Der Anteil an Seltener Erde und Zusatzelement in dem Legie­ rungstarget und im Film wurden quantitativ durch das EPMA-Verfahren bestimmt, um Unterschiede in der Zusammensetzung zu messen.

(3) Effizienz bei der Verwendung des Targets

Die Verringerung der Targetmasse wurde nach einer Langzeit­ verwendung gemessen, als sich der Targetdurchmesser an der dünnsten Stelle auf 0,5 mm verringert hatte.

(4) Veränderung der Filmzusammensetzung bei verlängerter Zerstäubung

Der Streuungsbereich des Anteils an Seltener Erde im dünnen Film wurde nach einer Zerstäubungsdauer von 1, 5, 10 bzw. 30 Stunden gemessen.

Die Ergebnisse aus den obengenannten Messungen sind aus Tabelle 2 ersichtlich.

Beispiel 2

Zur Herstellung eines Legierungspulvers mit einer Zusammen­ setzung Tb_12,5Gd_12,5Fe₇₀P₅ wurde ein Legierungstarget auf gleiche Weise wie im Beispiel 1-(1) beschrieben hergestellt, abgese­ hen davon, daß ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Tb_13,9Gd_5,9Fe_74,7P_5,5 (durchschnittliche Korngröße 50 µm), herge­ stellt durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren, und ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Gd₇₂Fe₂₈ (durch­ schnittliche Korngröße 100 µm), hergestellt durch ein Plas­ ma-REP-Verfahren, verwendet wurden.

Unter Verwendung des resultierenden Legierungstargets wurde ein dünner Film nach dem im Beispiel 1-(3) beschriebenen Verfahren hergestellt.

Es wurden verschiedene Tests nach den im Beispiel 1-(2) und (4) beschriebenen Verfahren an dem resultierenden Legierungs­ target und dem dünnen Film durchgeführt. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 1 bzw. Tabelle 2 ersichtlich.

Beispiel 3

Zur Herstellung eines Legierungstargets mit einer Zusammen­ setzung Dy₁₂Nd₁₃Fe₆₀Co₁₀Pt₅ wurde ein Legierungstarget auf glei­ che Weise wie im Beispiel 1-(1) beschrieben hergestellt, abgesehen davon, daß ein Legierungspulver mit einer Zusammen­ setzung Dy_14,4Nd_5,3Fe_77,7Co_8,0Pt_5,6 (durchschnittliche Korngröße 50 µm), hergestellt durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren, und ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Nd₇₂Co₂₈ (durchschnittliche Korngröße 100 µm), hergestellt durch ein Gußbarren-Mahlverfahren, bei dem ein geschmolzener und gegos­ sener Barren mechanisch pulverisiert wurde, verwendet wurden. Ein dünner Film wurde nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1-(3) beschrieben hergestellt. Es wurden verschie­ dene Tests nach denselben Verfahren wie im Beispiel 1-(2) und (4) an dem resultierenden Legierungstarget und dem dünnen Film durchgeführt. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 1 bzw. Tabelle 2 ersichtlich.

Die Legierungstargets aus den Beispielen 2 und 3 wurden vor und nach der Herstellung der dünnen Filme auf Rißbildungen und Absplitterungen untersucht. Es wurden in keinem Falle Abnormitäten festgestellt.

Vergleichsbeispiel 1

Zur Herstellung eines Legierungstargets mit einer Zusammen­ setzung Tb₂₅Fe₆₀Co₁₀Cr₅ wurde ein Legierungstarget auf gleiche Weise wie im Beispiel 1-(1) hergestellt, abgesehen davon, daß ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Tb₂₅Fe₆₀Co₁₀Cr₅ (durchschnittliche Korngröße 50 µm), hergestellt durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren, hergestellt wurde. Es wurde ein dünner Film nach demselben Verfahren wie im Beispiel 1-(3) hergestellt. Es wurden verschiedene Tests nach densel­ ben Verfahren wie in Beispiel 1-(2) und (4) an dem resultie­ renden Legierungstarget und dem dünnen Film durchgeführt. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 1 bzw. Tabelle 2 ersichtlich.

Vergleichsbeispiel 2

Zur Herstellung eines Legierungstargets mit einer Zusammen­ setzung Tb_12,5Gd_12,5Fe₇₀P₅ wurde ein Legierungstarget auf gleiche Weise wie im Beispiel 1-(1) hergestellt, abgesehen davon, daß ein Legierungspulver mit der Zusammensetzung Tb_13,9Gd_6,1Fe_77,8P_2,2 (durchschnittliche Korngröße 50 µm), hergestellt durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren, und ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Gd₇₀P₃₀ (durchschnittliche Korngröße 100 µm), hergestellt durch ein Gußbarren-Mahlverfahren, verwendet wurden. Es wurde ein dünner Film nach den gleichen Verfahren wie im Beispiel 1-(3) hergestellt. Es wurden verschiedene Tests nach den gleichen Verfahren wie im Beispiel 1-(2) und (4) an dem resultierenden Legierungstarget und dem dünnen Film durchgeführt. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 1 bzw. Tabelle 2 ersichtlich.

Vergleichsbeispiel 3

Zur Herstellung eines Legierungstargets mit einer Zusammen­ setzung Dy₁₂Nd₁₃Fe₆₀Co₁₀Pt₅ wurde ein Legierungstarget auf glei­ che Weise wie im Beispiel 1-(1) hergestellt, abgesehen davon, daß ein Legierungspulver mit einer Zusammensetzung Dy_16,3Nd₁₅Fe₅₀Co_12,5Pt_6,3 (durchschnittliche Korngröße 50 µm), herge­ stellt durch ein Reduktions-Diffusions-Verfahren, und ein Metallpulver, das Fe enthielt (durchschnittliche Korngröße 50 µm), hergestellt durch ein elektrolytisches Verfahren, ver­ wendet wurden. Es wurde ein dünner Film nach dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 1-(3) verwendet. Es wurden ver­ schiedene Tests nach den gleichen Verfahren wie im Beispiel 1-(2) und (4) an dem resultierenden Legierungstarget und dem dünnen Film durchgeführt. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 1 bzw. Tabelle 2 ersichtlich.

Die Legierungstargets aus den Vergleichsbeispielen 1 bis 3 wurden vor und nach der Herstellung der dünnen Filme auf Rißbildungen und Absplitterungen untersucht. Es wurde nichts festgestellt.

Aus den Ergebnissen wird klar, daß Legierungstargets mit einer Struktur, in der das Zusatzelement nicht lokalisiert ist (Vergleichsbeispiel 2) und in der eine Phase des Über­ gangsmetalls alleine anwesend ist (Vergleichsbeispiel 3) schlechte Testergebnisse im Vergleich mit den Beispielen 1 bis 3 zeigen.

Claims (2)

1. Legierungstarget für die Herstellung eines magneto-opti­ schen Aufzeichnungsmediums, das im wesentlichen aus mindestens einem der Übergangsmetalle Co, Fe und Ni besteht und 10 bis 50 Atom-% von mindestens einem der Seltenen Erden-Metalle Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Tm enthält und eine gemischte Struktur aufweist, die eine Phase einer intermetallischen Verbindung und eine Phase der Seltenen Erde alleine enthält und worin im wesentlichen keine alleinige Phase des Übergangsmetalls vorhanden ist, dadurch gekennzeichnet, daß es zusätzlich 0,1 bis 10 Atom-% von mindestens einem der Zusatzelemente B, Al, Si, P, Ti, V, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Pt, Pb und Bi enthält, und daß die ge­ mischte Struktur eine Phase einer intermetallischen Verbindung aus einem Seltene Erden-Metall, einem Zusatz­ element und einem Übergangsmetall enthält.

2. Legierungstarget für die Herstellung eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums nach An­ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gemischte Struktur weiterhin eine feinvermischte Phase aus Seltener Erde und intermetallischer Verbindung aus Seltener Erde - Übergangsmetall enthält.