DE3909293A1 - Laengs- und quer-tischfuehrungsmechanismus - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Längs- und Quer-Tischführungs­ mechanismus bei einem X-Y-Verschiebetisch, wie er für Präzisionsmeßinstrumente, Präzisionsmaschinen, für Arbei­ ten unter einem Mikroskop bei der Herstellung von inte­ grierten Schaltkreisen bzw. ICs oder in der Biotechnologie und dgl. verwendet wird.

Bei einem herkömmlichen X-Y-Verschiebe- oder -Achsentisch sind zwei jeweils längs einer Achse verschiebbare Mecha­ nismen vorgesehen, die jeweils aus zwei Gerad- oder Linear­ (bewegungs)-Leitlagern und einem Vorschub(schraub)spindel­ mechanismus zur Ermöglichung einer Verschiebung in jeweils einer Richtung bestehen. Diese Mechanismen überlappen sich dabei mit zueinander senkrechten Verschiebungsrichtungen, so daß der Tisch sowohl in Längs- als auch in Querrich­ tung verschiebbar ist.

Nachteilig an dieser Konstruktion ist, daß die Höhe vom tragenden Sockel zum Tisch so groß ist, daß die Anordnung vergleichsweise instabil wird und einen großen Raum ein­ nimmt, die Zahl der Einzelteile groß ist, die Montage bzw. der Zusammenbau einen großen Zeitaufwand bedingt, eine hohe Montagegenauigkeit schwierig sicherzustellen ist usw.

Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines Längs­ und Quer-Tischführungsmechanismus, der eine vergleichs­ weise kleine Bauhöhe aufweisen, einen kleinen Einbauraum einnehmen, eine kleinere Zahl von Einzelteilen verwenden, mit geringem Zeitaufwand montierbar sein und eine hohe Montagegenauigkeit gewährleisten soll.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 gekenn­ zeichneten Merkmale gelöst.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Er­ findung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1(a) eine Aufsicht auf einen Längs- und Quer-Tisch­ führungsmechanismus gemäß einer Ausführungs­ form der Erfindung,

Fig. 1(b) einen Schnitt längs der Linie X-X in Fig. 1(a) ,

Fig. 2(a) und 2(b) schematische Aufsichten zur Verdeut­ lichung der Arbeitsweise,

Fig. 3(a) eine Aufsicht auf eine andere Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3(b) einen teilweise weggebrochenen Schnitt längs der Linie Y-Y in Fig. 3(a),

Fig. 4(a) eine Aufsicht auf noch eine andere Ausführungs­ form der Erfindung,

Fig. 4(b) einen Schnitt längs der Linie Z-Z in Fig. 4(a) und

Fig. 5 eine Teilschnittansicht eines Hauptteils einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

Die Ausführungsform gemäß den Fig. 1(a) und 1(b) umfaßt zwei an zweckmäßigen Stellen an einem Tisch 1 vorgesehene, zueinander orthogonale bzw. senkrechte Paare von parallelen Leitflächen 2 (2 a, 2 a′; 2 b, 2 b′) und zwei auf einem (tra­ genden) Sockel 3 vorgesehene Paare von Tragelementen 5 (5 a, 5 a′; 5 b, 5b′) mit je zwei zueinander senkrechten, parallelen Leitflächen (4 a, 4 a′; 4 b, 4 b′), die den be­ treffenden Leitflächen 2 zugewandt sind. Der Tisch 1 ist auf dem Sockel 3 durch die Tragelemente 5 über paarweise angeordnete parallele Linear(bewegungs) -Leitlagermecha­ nismen 6 (6 a, 6 a′; 6 b, 6 b′), die an den Leitflächen 2 und 4 vorgesehen sind, in Längs- und Querrichtung verschieb­ bar geführt. Antriebsmechanismen 7 a und 7 b dienen zum Verschieben des Tisches 1 längs des einen Paars von La­ germechanismen 6 b und 6 a über das andere Paar von Lager­ mechanismen 6 a und 6 b entsprechend den jeweiligen Paaren von Tragelementen 5 a und 5 b.

Am Sockel 3 sind ferner (z.B. gemäß den Fig. 2(a) und 2(b)) zweite Tragelemente 9 (9 a, 9 a′; 9 b, 9 b′) mit zu den gegenüberstehenden Leitflächen 2 des Tisches 1 schrägge­ stellten (slanting) Leitflächen 8 (8 a, 8 a′; 8 b, 8 b′) vor­ gesehen. Keilförmige Tragelemente 5 mit beidseitigen, parallel zu den betreffenden Leitflächen 1 und 8 verlau­ fenden Leitflächen 4 und 10 (10 a, 10 a′; 10 b, 10 b′) sind längs der Leitflächen 8 der zweiten Trag- oder Leitele­ mente 9 verschiebbar zwischen den Leitflächen 2 und 8 des Tisches 1 und den zweiten Tragelementen 9 angeordnet. An den jeweiligen Leitflächen 2 und 4 sind Linear-Leit­ lagermechanismen 6 und 11 (11 a, 11 a′; 11 b, 11 b′) vorge­ sehen. Auf dem Sockel (3) befinden sich die Antriebsme­ chanismen 7 a und 7 b darstellende Verschiebeeinrichtungen 12 (12 a, 12 a′; 12 b, 12 b′) für die keilförmigen Tragele­ mente 5.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 3(a) und 3(b) sind die Tragelemente 5 auf dem Sockel 3 mittels exzentrischer oder Exzenter-Nockenmechanismen, welche die Antriebsme­ chanismen 7 bilden, verschiebbar.

In anderer Ausgestaltung der Erfindung sind Antriebsme­ chanismen für jeweils beide Tragelemente 5 (5 a, 5 a′; 5 b, 5 b′) der betreffenden Paare vorgesehen.

In weiterer Ausgestaltung sind die jeweiligen Tragelemente 5 a und 5 b der betreffenden Paare mit den Antriebsmecha­ nismen 7 a und 7 b versehen, während die anderen Tragele­ mente 5 a′ und 5 b′ durch Federn 13 a bzw. 13 b gegen die Leitflächen 2 a′ und 2 b′ des Tisches 1 angedrückt werden.

In weiterer Ausführungsform weist die Anordnung einen Tisch 1, der über Lager 14 in Längs- und Querrichtung auf einem Sockel 3 verschiebbar geführt ist, zwei zuein­ ander senkrechte Paare paralleler Leitflächen 2 am Tisch 1, an den jeweiligen Leitflächen 2 anliegende und diese für Verschiebung führende Leitelemente (15 a, 15 a′; 15 b, 15 b′) am Sockel 3 sowie Antriebsmechanismen 16 (16 a, 16 b) zum Verschieben der Leitelemente 15 in einer Richtung senkrecht (oder orthogonal) zu den betreffenden Leit­ flächen 2 auf (vgl. z.B. Fig. 4(a) und 4(b)).

Zweite Leitelemente 18 (18 a, 18 b) mit gegenüber den zu­ gewandten Leitflächen 2 des Tisches 1 schräggestellten Leitflächen 17 (17 a, 17 b) sind am Sockel 3 vorgesehen. Keilförmige Leitelemente 15 mit jeweiligen Leitflächen 19 (19 a, 19 b) und 20 (20 a, 20 b), die parallel zu den be­ treffenden Leitflächen 2 bzw. 17 liegen, sind längs der Leitflächen 17 der zweiten Leitelemente 18 zwischen den Leitflächen 2 und 17 verschiebbar geführt. Auf dem Sockel 3 sind die Antriebsmechanismen bildende Verschiebe­ einrichtungen 12 für die keilförmigen Leitelemente 15 vorgesehen.

Die Leitelemente 15 am Sockel 3 können durch exzentrische Nockenmechanismen, welche die Antriebsmechanismen 16 für den Tisch 1 bilden, antreibbar sein.

Die Antriebsmechanismen 16 a und 16 b sind jeweils für beide Leitelemente 15 (15 a, 15 a′; 15 b, 15 b′) der betreffenden Paare vorgesehen.

Weiterhin sind die Antriebsmechanismen 16 a, 16 b jeweils für eines (for respectively either) der Leitelemente 15 a, 15 b der betreffenden Paare vorgesehen, während die an­ deren Leitelemente 15 a′ und 15 b′ durch Federn 13 a′ und 13 b′ an die Leitflächen 2 a′ und 2 b′ des Tisches 1 ange­ drückt werden.

Die Arbeits- oder Wirkungsweise der erfindungsgemäßen An­ ordnung ist nachstehend anhand der Fig. 1 und 2 erläutert.

Bei der Anordnung nach Fig. 1 wird ein Motor 21 a ange­ steuert, um eine Schraubspindel 22 a in Drehung zu ver­ setzen, wobei das keilförmige Tragelement 5 a über einen mit der Schraubspindel 22 a in Eingriff stehenden, nicht dargestellten Innengewindeteil längs der Leitflächen 8 a des zweiten Tragelements 9 abwärts verschoben wird (Fig. 1(a)). Dabei werden die Leitflächen 4 a und 4 a′ zu­ sammen mit den keilförmigen Tragelementen 5 a, 5 a′ über ein Verbindungselement 23 a auf die in Fig. 2(a) in strichpunktierten Linien angedeutete Weise nach rechts verschoben, während die Leitfläche 4 a den Tisch 1 beauf­ schlagt und über die Leitfläche 2 a verschiebt. Dabei wird der Tisch 1 gemäß Fig. 2(a) nach rechts verschoben, und zwar längs der Leitflächen 4 b, 4 b′ der Linear-Leit­ lagermechanismen 6 b, 6 b′, die mit den keilförmigen Trag­ elementen 5 b, 5 b′ an Ober- bzw. Unterseite von Fig. 2(a) in Eingriff stehen. Da die Leitfläche 4 a′ - wie erwähnt - mit der Leitfläche 4 a gekoppelt oder verblockt ist, wird die Verschiebung des Tisches 1 hierdurch nicht behindert.

Wenn die Schraubspindel 22 a in entgegengesetzter Richtung gedreht wird, um das keilförmige Tragelement 5 a gemäß z.B. Fig. 2(a) aufwärts zu verschieben, laufen den be­ schriebenen Vorgängen entgegengesetzte Vorgänge ab. Dies bedeutet, daß die Leitfläche 4 a′ den Tisch 1 beaufschlagt und nach links verschiebt.

Wenn der andere Motor 21 b zum Drehen der betreffenden Schraubspindel 22 b angesteuert wird, wird das obere keil­ förmige Tragelement 5 b gemäß Fig. l(a) oder 2(a) nach rechts längs der Leitfläche 8 b des zweiten Tragelements 9 b verschoben, wobei die Leitflächen 4 b und 4 b′ des Tisches durch das betreffende Verbindungselement 23 b zu­ sammen mit den ober- und unterseitigen keilförmigen Trag­ elementen 5 b, 5 b′ aufwärts bewegt werden (vgl. strich­ punktierte Linien in Fig. 2(b)). Infolgedessen wird der Tisch 1 längs der Leitflächen 4 a, 4 a′ der Linear-Leit­ lagermechanismen 6 a, 6 a′, die mit den keilförmigen Trag­ elementen 5 a, 5 a′ auf beiden Seiten in Eingriff stehen, aufwärts verschoben (Fig. 1(a) und 2(a)).

Bei der Drehung der Schraubspindel 22 b in Gegenrichtung, um das keilförmige Tragelement 5 nach links zu verschie­ ben, wird der Tisch 1 in der entgegengesetzten Richtung, d.h. nach unten verschoben.

Auf die beschriebene Weise kann jedes Paar der keilför­ migen Tragelemente 5 an Ober- und Unterseite (Fig. 1(a) und 2(a)) durch die Verschiebeeinrichtung 12 längs der Leitflächen 8 der zweiten Tragelemente 9 verschoben wer­ den, um den Tisch 1 über die Leitlagermechanismen 6, die mit dem (jeweiligen) anderen Paar der keilförmigen Trag­ elemente 5 in Eingriff bzw. Lagerführungsverbindung stehen, in der Führungsrichtung dieser Leitlagermechanis­ men 6 zu verschieben, wobei die jeweiligen Paare der letzteren einander nicht behindern. Der Tisch 1 kann so­ mit durch Verschieben eines Paars der keilförmigen Trag­ elemente in Längs- oder Querrichtung verschoben werden; zudem können beide Tragelementpaare auch gleichzeitig betätigt oder angesteuert (driven), d.h. verschoben wer­ den, um den Tisch 1 in jeder gewünschten Richtung in eine gewünschte Stellung zu verschieben.

Die Wirkungsweise der anderen Ausführungsform der Erfindung ist nachstehend anhand der Fig. 3(a) und 3(b) beschrieben.

Wenn bei der Anordnung nach Fig. 3 die Wellen 25 a der lin­ ken (Fig. 3(a)) (exzentrischen) Nocken 24 a durch mit einem nicht dargestellten Motor verbundene Riemen 26 a usw. ent­ gegen dem Uhrzeigersinn (ausgezogene Pfeile) verdreht wer­ den, verschiebt sich die Leitfläche 4 a des linken Tragele­ ments 5 a nach rechts. Der Tisch 1 wird dabei längs der Leitflächen der (im folgenden einfach als Lagermechanismen bezeichneten) Linear-Leitlagermechanismen 6 b, 6 b′, die mit ober- bzw. unterseitigen Tragelementen 5 b, 5 b′ ver­ bunden sind, nach rechts verschoben (strichpunktierte Linien in Fig. 3(a)). Dabei wird das rechte Tragelement 5 a′ gegen die Kraft von Federn 13 längs eines mit dem Sockel 3 verbundenen (engaged) Lagermechanismus 27 ver­ schoben.

Wenn dagegen die Wellen 25 a der Nocken 24 a an der linken Seite im Uhrzeigersinn verdreht werden, wird die Leit­ fläche 4 a des linken Tragelements 5 a nach links ver­ schoben; dabei drückt das rechte Tragelement 5 a′ unter der Kraft der Federn 13 a gegen den Tisch 1 an, so daß dieser längs der Leitflächen 4 b, 4 b′ der Lagermechanismen 6 b, 6 b′, die mit ober- bzw. unterseitigen Tragelementen 5 b, 5 b′ verbunden sind, nach links verschoben wird.

Wenn die Wellen 25 b von oberseitigen Nocken 24 b entgegen dem Uhrzeigersinn verdreht werden, wird die Leitfläche 4 b des oberen Tragelements 5 b nach unten verschoben (Fig. 3(a)), so daß der Tisch 1 längs der Leitflächen 4 a, 4 a′ der Lagermechanismen 6 a, 6 a′, die mit den beider­ seitigen Tragelementen 5 a, 5 a′ verbunden sind oder in Eingriff stehen, nach unten verschoben wird. Dabei wird das untere Tragelement 5 b′ gegen die Kraft der Federn 13 b längs eines nicht dargestellten, mit dem Sockel 3 verbun­ denen Lagermechanismus verschoben. Wenn die Wellen 25 b der oberen Nocken 24 b im Uhrzeigersinn verdreht werden (strichpunktierte Linien in Fig. 3(a)), verschiebt sich die Leitfläche 4 b des oberen Tragelements 5 b aufwärts, wobei der Tisch 1 über das untere Tragelement 5 b′ mit der Kraft der Federn 13 b beaufschlagt und längs der Leitflächen 4 a, 4 a′ der Lagermechanismen 6 a, 6 a′, die mit den beiderseitigen Tragelementen 5 a, 5 a′ verbunden sind, aufwärts verschoben wird.

Wenn bei der beschriebenen Ausführungsform eines der bei­ derseitigen Tragelemente 5 und eines der oberen und un­ teren Tragelemente 5 mittels der betreffenden Nockenme­ chanismen betätigt wird, während die beiden jeweils an­ deren Tragelemente 5 durch die zugeordneten Federn an die Leitflächen 2 des Tisches 1 angedrückt werden, kann der Tisch 1 über die mit den jeweils anderen beiden Trag­ elementen 5 verbundenen Lagermechanismen 6 ohne gegensei­ tige Behinderung in Richtung der betreffenden Leitflächen verschoben werden. Durch Betätigung oder Verschiebung eines der Paare von Tragelementen 5 kann damit der Tisch 1 in der gewünschten Längs- oder Querrichtung verschoben werden; wenn beide Paare von Tragelementen 5 betätigt werden, kann der Tisch 1 in einer beliebigen gewünschten Richtung in eine vorgesehene Stellung bewegt werden.

Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 sind somit die Antriebsmechanismen 7 als Verschiebeeinrichtungen 12 zum Bewegen der jeweiligen keilförmigen Tragelemente 5 entsprechend zweien der Tragelemente 5 jedes betreffenden Paars vorgesehen. Die Antriebsmechanismen 7 können je­ doch z.B. auch durch die (exzentrischen) Nocken 24 (vgl. Fig. 3) gebildet sein. Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 sind weiterhin die beiden Tragelemente 5 a, 5 a′ und 5 b, 5 b′ der jeweiligen Paare durch die Verbin­ dungselemente 23 a bzw. 23 b für gekoppelte bzw. gemeinsame Bewegung verbunden, während die jeweiligen anderen Trag­ elemente 5 a und 5 b mit den Schraubspindeln 22 a bzw. 22 b verwendenden Verschiebeeinrichtungen 12 bzw. 12 b ver­ sehen oder verbunden sind, so daß die beiden Tragelemente 5 a, 5 a′ und 5 b, 5 b′ der betreffenden Paare über die Ver­ bindungselemente 23 a bzw. 23 b durch die (zugeordneten) Verschiebeeinrichtungen 12 a bzw. 12 b verschiebbar sind. Die Verschiebeeinrichtungen 12 a, 12 b können jedoch (auch) für jeweils beide Tragelemente 5 a, 5 a′ bzw. 5 b, 5 b′ der jeweiligen Paare zur Hervorbringung einer gekoppelten Bewegung vorgesehen sein. Weiterhin können die Verschiebe­ einrichtungen 12 a, 12 b auch durch hydraulische oder pneu­ matische Zylinder o.dgl. gebildet sein.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 ist je ein Tragelement 5 a, 5 b des betreffenden Paars mit einem Antriebsmechanis­ mus 7 a bzw. 7 b versehen, während die anderen Tragelemente 5 a′, 5 b′ durch Federn 13 a bzw. 13 b an die Leitflächen 2 a′ bzw. 2 b′ des Tisches 1 angedrückt werden. Hierbei sind die Antriebsmechanismen 7 a, 7 b als Exzenter-Nocken­ mechanismen ausgeführt; sie können jedoch auch aus den beschriebenen keilförmigen Tragelementen mit deren Ver­ schiebeeinrichtungen oder aus geeigneten anderen Einrich­ tungen bestehen. Die genannten Lagermechanismen 6 können Kugel-, Rollen- oder Gleitlager oder auch geeignete an­ dere Einrichtungen sein, sofern diese die Verschiebung des Tisches 2 längs der Leitflächen gestatten und die Last oder Belastung des Tisches 1 aufzunehmen vermögen. Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 3 sind z.B. durch Halteelemente oder Käfige 36 gehaltene Rollen 35 mit abwechselnd rechtwinkelig zueinander angeordneten Achsen als Linear-Leitlagermechanismen (sog. Kreuzrollen­ führungsmechanismen) vorgesehen.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung wird der Tisch 1 durch die Tragelemente 5 über die Lagermechanismen 6 für Längs- und Querverschiebung auf dem Sockel 3 geführt. Bei der im folgenden zu be­ schreibenden Ausführungsform ist der Tisch 1 auf dem (tra­ genden) Sockel 3 über längs- und querverschiebbare Lager 14 geführt. Bei dieser Anordnung sind am Sockel 3 Leitele­ mente 15 a und 15 a′ sowie 15 b und 15 b′ vorgesehen, die an den beiden zueinander senkrechten Paaren paralleler Leit­ flächen 2 a, 2 a′ bzw. 2 b, 2 b′ angreifen und diese Leit­ flächen 2 in Führungsrichtung verschiebbar abstützen oder führen. Die Leitelemente 15 werden auf ähnliche Weise wie die Tragelemente 5 bei den vorher beschriebenen Ausfüh­ rungsformen durch Antriebsmechanismen 16 verschoben, be­ tätigt oder angetrieben, um den Tisch 1 längs oder quer in einer gewünschten Richtung zu verschieben. Beim Aus­ führungsbeispiel nach den Fig. 4(a) und 4(b) ist jeweils das eine Leitelement 15 a, 15 b jedes Paars keilförmig aus­ gebildet und durch die Schraubspindeln 22 aufweisenden Verschiebeeinrichtungen 12 zwischen den Leitflächen 2 a, 2 b des Tisches 1 und den zu den Leitflächen 2 a, 2 b schräg­ gestellten Leitflächen 17 a, 17 b von zweiten Leitelementen 18 a, 18 b verschiebbar. Dabei kann der Tisch 1 durch Ver­ schiebung der keilförmigen Tragelemente auf die gleiche Weise wie bei den vorher beschriebenen Ausführungsformen verschoben werden. Die anderen Leitelemente 15 a′, 15 b′ werden durch Federn 13 a′ bzw. 13 b′ verschoben.

Bei der Anordnung nach Fig. 5 verschiebt das Leitelement 15 a den Tisch 1 über einen Exzenter-Nockenmechanismus; die Wirkungsweise dieses Mechanismus entspricht dabei derjenigen der Tragelemente 5 bei den vorher beschrie­ benen Ausführungsformen. Da jedoch bei dieser Ausführungs­ form die Last des Tisches 1 von Lagern 14 aufgenommen wird, brauchen die Leitelemente 15 lediglich so ausge­ bildet zu sein, daß sie die Längs- und Querverschiebung des Tisches 1 ermöglichen. Bei der Anordnung nach Fig. 4 sind durch passende Einrichtungen gehaltene Rollen 28 je­ weils zwischen den Leitflächen 19 a, 19 a′ und 19 b, 19 b′ der Leitelemente 15 und der Leitflächen 2 a, 2 a′ und 2 b, 2 b′ des Tisches 1 angeordnet. Bei den beschriebenen Aus­ führungsformen können zudem die Leitelemente 15 und die Antriebsmechanismen 16 eine zweckmäßige andere Ausge­ staltung besitzen.

Die Lager 14 gemäß Fig. 5 können Kugellager, Fluidum­ lager oder andere geeignete Lager sein, sofern sie den Tisch 1 zweckmäßig für Längs- und Querverschiebung zu führen vermögen. Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 und 5 ist unterhalb des Tisches 1 ein Tragelement 30 mit einer abwärts weisenden Tragfläche 29 und einer aufwärts weisenden Tragfläche 29′ vorgesehen, wobei ein Tragele­ ment 32 mit einer oberen und einer unteren Tragfläche 31 bzw. 31′, welche den Tragflächen 29 bzw. 29′ zuge­ ordnet sind, vom Sockel 3 absteht. Dabei sind Kugellager 14 mit von Käfigen 34 gehaltenen Kugeln 33 zwischen die betreffenden Tragflächen 29 und 31 bzw. 29′ und 31′ ein­ gefügt. Dabei wird unter Gewährleistung einer sicheren Halterung oder Lagerung eine lotrechte Bewegung des Tisches 1 verhindert.

Bei allen beschriebenen Ausführungsformen sind jeweils zwei zueinander senkrechte oder orthogonale Paare von parallelen Leitflächen 2 an zweckmäßigen Stellen des Tisches 1 vorgesehen. Beispielsweise kann das Tragele­ ment 30 zur Bildung der Leitflächen 2 nach unten vom Tisch 1 abstehen, oder die Stirnflächen des Tisches selbst können als Leitflächen 2 dienen.

Mit der Erfindung werden die folgenden Wirkungen er­ zielt: Da ein Tisch auf einem tragenden Sockel (oder auch einer Basis) über zwei Linear-Lagermechanismen mit zuein­ ander senkrechten Führungsrichtungen geführt ist und An­ triebsmechanismen zum Verschieben des Tisches über ein Paar der Lagermechanismen längs des anderen Paars dersel­ ben vorgesehen sind, behindern die beiden Paare der Linear- Leitlagermechanismen einander auch dann nicht, wenn sie in derselben Ebene angeordnet sind; es ist dabei nicht nötig, die beiden Lagermechanismen einander überlappen zu lassen bzw. zueinander zu versetzen. Mit der Erfindung wird daher die genannte Aufgabe voll und ganz gelöst. In anderer Ausführungsform ist der Tisch auf dem Sockel für Längs- und Querbewegung durch Lager geführt, wobei mit den beiden zueinander senkrechten Paaren von parallelen Leitflächen des Tisches korrespondierende Leitelemente vorgesehen sind, um die Verschiebe- oder Antriebskraft über die Leitelemente auf den Tisch zu übertragen. Mit dieser Ausgestaltung wird die der Erfindung zugrundelie­ gende Aufgabe ebenfalls voll und ganz gelöst.

Claims (10)

1. Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus, gekennzeich­ net durch zwei zueinander senkrechte oder orthogonale Paare von parallelen Leitflächen, die an zweckmäßigen Stellen eines Tisches vorgesehen sind, zwei an einem tragenden Sockel angeordnete Paare von Tragelementen, die zwei zueinander senkrechte Paare von den betreffen­ den Leitflächen des Tisches zugewandten parallelen Leitflächen bilden, zwei Paare von an den Leitflächen vorgesehenen parallelen Gerad- bzw. Linear-Leitlager­ mechanismen, durch welche der Tisch auf dem Sockel über die Tragelemente längs- und querverschiebbar ge­ führt bzw. gelagert ist, und Antriebsmechanismen zum Verschieben des Tisches längs des einen Paars der La­ germechanismen über das andere Paar der Lagermechanis­ men entsprechend den jeweiligen Paaren von Tragelementen.

2. Mechanismus nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am Sockel zweite Tragelemente mit gegenüber den zugewandten Leitflächen des Tisches schräggestellten Leitflächen angeordnet sind, keilförmige Tragelemente mit jeweiligen, parallel zu den betreffenden, auf bei­ den Seiten ausgebildeten Leitflächen verlaufenden Leit­ flächen längs der Leitflächen der zweiten Leit- oder Tragelemente zwischen den Leitflächen des Tisches und den (der) zweiten Tragelemente(n) verschiebbar ange­ ordnet sind, an den jeweiligen Leitflächen Linear- Leitlagermechanismen vorgesehen sind und am Sockel Verschiebeeinrichtungen für die keilförmigen Tragele­ mente zur Bildung der Antriebsmechanismen angeordnet sind.

3. Mechanismus nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragelemente zur Bildung der Antriebsmechanismen am Sockel angeordnet und durch Exzenter-Nockenmechanis­ men oder -einrichtungen betätigbar sind.

4. Mechanismus nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Antriebsmechanismen für jeweils beide Tragelemente der betreffenden Paare vorgesehen sind.

5. Mechanismus nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmechanismen für je­ weils eines (for respectively either) der Tragele­ mente in den betreffenden Paaren vorgesehen sind, wäh­ rend die jeweiligen anderen Tragelemente mittels Federn an die Leitflächen angedrückt sind.

6. Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus, gekennzeich­ net durch einen Tisch, der über Lager für Längs- und Querverschiebung auf einem tragenden Sockel geführt oder gelagert ist, zwei an zweckmäßigen Stellen des Tisches angeordnete, zueinander senkrechte oder ortho­ gonale Paare von Leitflächen, am Sockel angeordnete Leitelemente, die an den jeweiligen Leitflächen an­ liegen und diese in Führungsrichtung verschiebbar füh­ ren bzw. abstützen, und Antriebsmechanismen zum Be­ wegen der Leitelemente in der Richtung senkrecht zu den betreffenden Leitflächen.

7. Mechanismus nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zweite Leitelemente mit gegenüber den zugewandten Leitflächen des Tisches schräggestellten Leitflächen am Sockel vorgesehen sind, keilförmige Leitelemente mit jeweiligen Leitflächen, die parallel zu den be­ treffenden, auf beiden Seiten ausgebildeten Leit­ flächen liegen, längs der Leitflächen der zweiten Leitelemente zwischen den Leitflächen des Tisches und den zweiten Leitelementen verschiebbar sind, und am Sockel Verschiebeeinrichtungen für die keilförmigen Leitelemente zur Bildung der Antriebsmechanismen vorge­ sehen sind.

8. Mechanismus nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitelemente am Sockel angeordnet und durch Exzenter-Nockeneinrichtungen betätigbar sind.

9. Mechanismus nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmechanismen jeweils für beide Leitelemente der betreffenden Paare vorge­ sehen sind.

10. Mechanismus nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Tisch-Antriebsmechanismen für jeweils eines der Leitelemente des betreffenden Paars vorgesehen sind, während die anderen Leitelemente mit­ tels Federn an die Leitflächen des Tisches angedrückt sind.