DE3882905T2

DE3882905T2 - Fühler zur unterscheidung von fehlern in lichtdurchlassendem bahnförmigem material.

Info

Publication number: DE3882905T2
Application number: DE88904637T
Authority: DE
Inventors: J K K Yaskawa Denki Seisak Abe; Nagayoshi Nippon Shee Ichinose; M K K Yaskawa Denki Sei Miyano; Masaharu Nippon Sheet Okafuji; Tatsuo Nippon Sheet Gl Takeoka; K K K Yask Denki Seisak Tanaka
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd; Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Yaskawa Electric Corp; Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1987-05-27
Filing date: 1988-05-25
Publication date: 1994-03-10
Anticipated expiration: 2008-05-26
Also published as: EP0315697A4; EP0315697A1; US4914309A; KR960012330B1; EP0315697B1; WO1988009497A1; KR890702017A; DE3882905D1

Description

Technisches Einsatzgebiet

Diese Erfindung betrifft allgemein einen Fehlerstellendetektor mit Lichtpunktabtastung zum Abtasten einer Glasplatte, einer Kunststoff-Platte oder jedenfalls eines Flachmaterials, das lichtdurchlässig ist (im folgenden lichtdurchlässiges Flachmaterial genannt), mit einem Lichtpunkt zum Ermitteln von Fehlerstellen in einem lichtdurchlässigen Flachmaterial, insbesondere einen unterscheidenden Fehlerstellendetektor für lichtdurchlässiges Flachmaterial, der die Art, die Größe und die Lage ermittelter Fehlerstellen unterscheiden und erkennen kann; die Erfindung betrifft auch einen Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis, einen Lichtaufnehmer, eine Aussteuerungsautomatik und eine Dickenkorrekturvorrichtung. Die Erfindung betrifft ferner einen Störstellen-Sensor unter Verwendung dieser unterscheidenden Fehlerstellendetektor-Einrichtung.

Grundlagen-Technik

Ein Fehlerstellendetektor zur Ermittlung von Fehlerstellen in einem lichtdurchlässigen Material ist erforderlich, um Fehlerstellen in einer transparenten Glasplatte zu erkennen, die z. B. in einer Transparentglas-Fertigungsstraße hergestellt wird, und die Ermittlungsergebnisse als Rückmeldung in den Herstellungsprozeß für transparente Glasplatten einzuführen, um die Entstehung von Fehlerstellen an der Stelle ihrer Verursachung zu verhindern und so das Produktionsergebnis zu verbessern.
Einer der herkömmlichen Fehlerstellendetektoren für transparente Glasplatten ist in der japanischen Patentanmeldung beschrieben, die 1976 unter der Nr. 29988 offengelegt wurde, und bei dem das Vorhandensein einer Fehlerstelle in einer Glasplatte dadurch erkannt wird, daß lediglich das reflektierte Licht eines projizierten Lichtstrahles mittels eines Lichtempfängers ausgewertet wird; eine weitere Ausführung ist in der japanischen Patentanmeldung beschrieben, die 1976 unter der Nr. 1184 offengelegt wurde, und bei der das Vorhandensein einer Fehlerstelle in einer Glasplatte lediglich dadurch erkannt wird, daß das durchgelassene Lichtes eines projizierten Lichtstrahles mittels eines Lichtaufnehmers ausgewertet wird.
Der Fehlerstellendetektor nach der obengenannten, 1976 unter der Nr. 29988 offengelegten japanischen Patentanmeldung kann eine Fehlerstelle auf der Oberfläche einer Glasplatte erkennen, nicht aber eine Fehlerstelle innerhalb der Glasplatte.
Andererseits kann der Fehlerstellendetektor nach der 1976 unter der Nr. 1184 offengelegten japanischen Patentanmeldung eine Fehlerstelle innerhalb einer Glasplatte erkennen; es ist jedoch unmöglich oder äußerst schwierig, damit eine Fehlerstelle auf der Oberfläche der Glasplatte zu ermitteln.
Die genannten Fehlerstellendetektoren sind nicht in der Lage, die Art der Fehlerstellen zu erkennen und zu identifizieren, wie z. B. durch in der Glasplatte verbliebene Luftblasen gebildete Blasen, in der Glasplatte verbliebene Fremdstoffe, stromlinienförmig auslaufende Verdickungen, die durch in der Glasplatte verbliebene, fast geschmolzene Fremdstoffe gebildet werden, oder von dem Zinngehalt des auf die Oberfläche der Glasplatte aufgebrachten Zinnbades gebildete Tropfen. Darüber hinaus könnte das Erkennen einer Luftblase, von Fremdstoffen, usw. auf demselben Meßniveau mit einem einzigen Lichtempfänger zu Überlagerungsmessungen der Fremdstoffe und zu einer unzureichenden Erkennung der Luftblase führen.
Außerdem ist es bei Einsatz des herkömmlichen Fehlerstellendetektors, der die Größe einer Fehlerstelle nicht exakt ermitteln kann, nicht möglich, das sogenannte Zweiklassen- Sortiersystem für Glasplatten zu verwenden, bei dem die Qualität der bei der Herstellung zugeschnittenen transparenten Glasplatten in hohe und niedrige Güteklassen eingeordnet wird.
Die US-A 4 172 666 beschreibt eine Fehlerstellenerkennungs- Vorrichtung, bei der ein vorlaufendes lichtdurchlässiges Flachmaterial mit einem Lichtpunkt abgetastet wird. Diese Vorrichtung enthält: einen Lichtpunkt-Abtaster; einen Lichtempfänger mit mehreren Lichtaufnehmern; einen photoelektrischen Wandler mit mehreren photoelektrischen Wandlereinheiten, die mit einem zugehörigen Lichtaufnehmer verbunden sind; einen Fehlerdaten-Erzeuger zum Erzeugen von Fehlerdaten, die eine Information über die Art der Fehlerstellen enthalten; und eine Fehlerdaten-Erfassungseinrichtung zum Sammeln, Kombinieren und Verarbeiten der Fehlerdaten zur Erstellung eines Fehlerstellendiagramms, das die Art der Fehlerstellen anzeigt.

Offenbarung der Erfindung

Ziel dieser Erfindung ist es, einen unterscheidenden Fehlerstellendetektor vorzusehen, der mit großer Genauigkeit und hoher Geschwindigkeit Fehlerstellen in einem lichtdurchlässigen Flachmaterial erkennen kann.
Wie oben erwähnt, sind Fehlerstellen in einer Glasplatte durch Blasen, Fremdstoffe, Verdickungen, Tropfen, usw. gebildet. Ist eine solche Fehlerstelle in einer Glasplatte vorhanden, so erzeugt das Projizieren eines Lichtpunktes auf die Fehlerstelle ein unterschiedliches, von der Art der Fehlerstelle abhängiges Verhalten des Lichtes, wie z. B. Durchdringung, Durchdringung und Streuung, Reflexion sowie Reflexion und Streuung. Aufgrund dieses Umstandes hat die Anmelderin der vorliegenden Erfindung in verschiedenen Versuchen eine große Anzahl von Daten gesammelt, um festzustellen, wie sich das Lichtverhalten Durchdringung, Durchdringung und Streuung, Reflexion oder Reflexion und Streuung in Abhängigkeit von der Art der Fehlerstellen in einer Glasplatte ändert. Ein Teil der Untersuchungsergebnisse der Daten wird im folgenden beschrieben werden.
Wird, wie in Fig. 1 gezeigt ist, ein Lichtstrahl 3 in einem vorgegebenen Einfallswinkel α zur Normalen auf eine in einer transparenten Glasplatte 1 vorhandene Fehlerstelle 2 projiziert, so entsteht durch eine Verdickung, einen Fremdkörper oder eine Luftblase ein aus durchgelassenem und diffusem Licht bestehender Strahl. Insbesondere entsteht durch eine Verdickung das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht 5, das der optischen Achse des durchgelassenen Lichtes 4 am nächsten liegt; durch einen Fremdkörper entsteht achsnahes durchgelassenes und diffuses Licht 6, das nahe an der optischen Achse des durchgelassenen Lichtes 4 liegt, und durch eine Blase entsteht das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht 7, das von der optischen Achse des durchgelassenen Lichtes am weitesten entfernt ist. Blase, Fremdkörper, Verdickung und Tropfen insgesamt reduzieren die Menge des durchgelassenen Lichtes 4, während der Tropfen die Menge von reflektiertem Licht 8 erhöht.
Demzufolge läßt sich die Art der Fehlerstellen unterscheiden, wenn verschiedene Lichtaufnehmer vorgesehen sind, von denen jeder durchgelassenes Licht, achsnächstes durchgelassenes und diffuses Licht, achsnahes durchgelassenes und diffuses Licht, achsfernstes durchgelassenes und diffuses Licht und reflektiertes Licht erkennen kann, um Veränderungen in der Menge von durchgelassenem Licht und reflektiertem Licht und das Vorhandensein/Nichtvorhandensein von achsnächstem durchgelassenem und diffusem Licht, achsnahem durchgelassenem und diffusem Licht und achsfernstem durchgelassenem und diffusem Licht zu erkennen.
Die obigen Erläuterungen sind in Tabelle 1 zusammengefaßt. In der Tabelle bezeichnet die Markierung 0 die Fähigkeit zur Unterscheidung der Art einer Fehlerstelle. Tabelle 1 Fehlerstelle Licht Durchgelass. Licht Achsnächstes durchgelass./diffuses Licht Achsnahes Achsfernes Reflektiertes Licht Blase Fremdkörper Verdickung Tropfen
Die Anmelderin der vorliegenden Erfindung stellte fest, daß die von jedem Lichtaufnehmer ermittelte Lichtmenge proportional zu der Größe einer Fehlerstelle ist. Demzufolge kann die Größe einer Fehlerstelle durch Ermittlung der Lichtmenge bestimmt werden, die von jedem Lichtaufnehmer ermittelt wird.
Obwohl die obigen Ausführungen Teil der von der Anmelderin gewonnenen Erkenntnisse sind, ist auch bekannt, daß zwischen der Art einer Fehlerstelle und den Anteilen von reflektiertem und diffusem Licht ein bestimmter Zusammenhang besteht.
Auf der Basis der obigen Überlegungen ist der unterscheidende Fehlerstellendetektor der vorliegenden Erfindung mit mehreren Lichtaufnehmern ausgestattet, von denen jeder zumindest mehr als zwei Zustände von im durchgelassenen Licht enthaltenen Lichtstrahlen erkennt, das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht, das achsnahe durchgelassene und diffuse Licht, das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht, reflektiertes Licht und reflektiertes und diffuses Licht; die von den Lichtaufnehmern empfangenen Lichtstrahlen werden in elektrische Signale umgewandelt, durch Verarbeitung der empfangenen elektrischen Signale werden Fehlerdaten erzeugt, die Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen enthalten; durch weitere Verarbeitung der Fehlerdaten wird ein Fehlerstellendiagramm erstellt, das aus Bit-Diagrammen besteht, die den Fehlerstellen auf einem lichtdurchlässigen Flachmaterial entsprechen; und das so erzielte Fehlerstellendiagramm wird mit einem vorher gespeicherten Tabellendiagramm zur Unterscheidung von Fehlerstellen verglichen, um die Art und Größe von Fehlerstellen zu beurteilen.
Der unterscheidende Fehlerstellendetektor gemäß der Erfindung ist auch so ausgebildet, daß er die Lage einer Fehlerstelle in einer Glasplatte erkennt. Daher kann der erfindungsgemäße unterscheidende Fehlerstellendetektor gegebenenfalls die Art, die Größe und die Lage von Fehlerstellen unterscheiden und erkennen.
Es ist offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung nicht nur zur Ermittlung von Fehlerstellen in einer Glasplatte, sondern auch in einer Kunststoff-Platte und sonstigem lichtdurchlässigem Flachmaterial verwendet werden kann.
Der erfindungsgemäße unterscheidende Fehlerstellendetektor für lichtdurchlässiges Flachmaterial hat einen Lichtpunkt- Abtaster zum Abtasten der gesamten Oberfläche eines vorlaufenden lichtdurchlässigen Flachmaterials mit einem Lichtpunkt, mehrere Lichtaufnehmer, die mehr als zwei Arten von im durchgelassenen Licht enthaltenen Lichtstrahlen aufnehmen, nämlich durchgelassenes und diffuses Licht, von dem durch den Lichtpunkt abgetasteten lichtdurchlässigen Flachmaterial reflektiertes Licht sowie reflektiertes und diffuses Licht, mehrere photoelektrische Wandler, die die von den Lichtaufnehmern empfangenen Lichtstrahlen in elektrische Signale umwandeln, einen Fehlerdatenerzeugungs- Schaltkreis zur Erzeugung von Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen in dem lichtdurchlässigen Flachmaterial durch Verarbeiten der von dem photoelektrischen Wandler gelieferten elektrischen Signale, einen Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis, der die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis gelieferten Fehlerdaten erfaßt, die erfaßten Fehlerdaten kombiniert und verarbeitet und ein Fehlerstellendiagramm mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen und über die Fehlerlokalisierungsdaten erstellt, und eine Datenverarbeitungs- Einrichtung, die durch Vergleichen des von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis erstellten Fehlerstellendiagramms mit einem zuvor gespeicherten Tabellendiagramm zur Unterscheidung von Fehlerstellen zumindest die Art und die Größe von Fehlerstellen und auf der Basis der Fehlerlokalisierungsdaten die Lage von Fehlerstellen unterscheidet.
Ein zur Verwendung in einem solchen unterscheidenden Fehlerstellendetektor geeigneter Lichtaufnehmer ist derart ausgebildet, daß Mehrfach-Lichtleiter-Fasern benutzt werden, deren Enden zur Bildung einer Lichtempfangsfläche in einer Reihe angeordnet sind. Lichtaufnehmer dieser Art können jedoch Unterschiede in der Wellenform des empfangenen Lichtes verursachen, die auf Empfindlichkeitsschwankungen von Lichtwellenleitern, den Befestigungswinkel der Enden der Lichtwellenleiter an der Lichtempfangsfläche und den Glättungsgrad der lichtempfangenden Stirnfläche von Lichtwellenleitern zurückzuführen sind. Um dies zu vermeiden, ist vor der Lichtempfangsfläche ein Lichtdiffusor angeordnet. Mit dem unterscheidenden Fehlerstellendetektor unter Verwendung eines mit einem Lichtdiffusor ausgestatteten Lichtaufnehmers können Fehlerstellen mit großer Genauigkeit erkannt werden, da er frei von Empfindlichkeitsschwankungen ist.
Der Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis hat einen ersten Zähler, der eine erste Impulsfolge zählt, die der Lage eines lichtdurchlässigen Flachmaterials in zu dessen Transportrichtung senkrechter Richtung entspricht, und der zum Zeitpunkt der Fehlerdatenerfassung einen Zählwert ausgibt; der Schaltkreis hat einen zweiten Zähler, der eine zweite Impulsfolge zählt, die der Lage des lichtdurchlässigen Flachmaterials in der Transportrichtung entspricht, und der zum Zeitpunkt der Fehlerdatenerfassung den Zählwert ausgibt, eine ODER-Einheit, die Fehlerdaten für eine Anzahl von Abtastungen zwecks Ausführung einer ODER-Verknüpfung summiert und die bearbeiteten Fehlerdaten zum Zeitpunkt der Impulserzeugung der zweiten Impulsfolge ausgibt, und einen Pufferspeicher, der die von dem ersten und zweiten Zähler und der ODER-Einheit ausgegebenen Daten zwischenspeichert.
Bei diesem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis kann es vorkommen, daß von der ODER-Einheit mehrere Fehlerdaten für eine einzige Fehlerstelle ausgegeben werden, so daß die Datenverarbeitungs-Einrichtung für eine einzige Fehlerstelle mehrere Fehlerdaten zu verarbeiten hat. Dies kann zu einer erhöhten Belastung des Datenverarbeitungsprogramms führen. Außerdem werden die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis aufgrund der von jedem Lichtaufnehmer ermittelten Veränderungen der Lichtmenge ausgegebenen Fehlerdaten nicht notwendigerweise zum gleichen Zeitpunkt ausgegeben, zu dem eine einzelne Fehlerstelle von dem Lichtpunkt abgetastet wird. In einem solchen Fall müssen die zeitlich versetzt erzeugten Fehlerdaten als Fehlerdaten dieser einzelnen Fehlerstelle identifiziert werden.
Dieses Problem kann durch Anordnung eines Kontinuitätsbeurteilungs-Schaltkreises gelöst werden, der die von der ODER- Einheit ausgegebenen Fehlerdaten komprimiert und die Kontinuität der komprimierten Fehlerdaten in der Transportrichtung eines lichtdurchlässigen Flachmaterials und in der zur Transportrichtung senkrechten Richtung beurteilt.
Der unterscheidende Fehlerstellendetektor ist derart ausgebildet, daß ein Lichtstrahl schräg auf ein lichtdurchlässiges Flachmaterial auftrifft, um eine gegenseitige Überlagerung von Lichtstrahlen zu verhindern. Bei einer derartigen Konstruktion könnten im Falle einer Änderung der Dicke des lichtdurchlässigen Flachmaterials die optischen Achsen des durchgelassenen und des reflektierten Lichtes verschoben werden, was nicht nur im Falle des durchgelassenen und des reflektierten, sondern auch des diffusen Lichtes eine Verringerung der Lichtempfangs-Empfindlichkeit des einzelnen Lichtaufnehmers zur Folge hätte. Um eine Verringerung der Empfindlichkeit des unterscheidenden Fehlerstellendetektors zu vermeiden, ist eine Dickenkorrekturvorrichtung vorgesehen. Bei dem erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektor könnte der Lichtdurchlaß schwanken in Abhängigkeit von der Dicke und der Farbe eines lichtdurchlässigen Flachmaterials, oder es könnte die Ausgangsleistung der Lichtstrahlenquelle schwanken oder die Empfindlichkeit des photoelektrischen Wandlers abnehmen. Um in solchen Fällen die Empfindlichkeit der Fehlerstellenermittlung aufrechtzuerhalten, muß sie konstant gehalten werden. Zu diesem Zweck ist eine Aussteuerungsautomatik vorgesehen, mit der die Empfindlichkeit, d. h. die Verstärkung des photoelektrischen Wandlers, automatisch gesteuert wird.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des Verhaltens von reflektiertem Licht, durchgelassenem Licht sowie durchgelassenem und diffusem Licht eines Lichtstrahles, der auf eine transparente Glasplatte fällt, die Fehlerstellen enthält.
Fig. 2 ist ein Blockschaltbild des Grundaufbaus eines erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektors.
Fig. 3 ist eine perspektivische Darstellung desselben Fehlerstellendetektors.
Fig. 4 ist eine Seitenansicht desselben Fehlerstellendetektors.
Fig. 5 zeigt einen Lichtaufnehmer in perspektivischer Darstellung.
Fig. 6 zeigt eine Draufsicht der Lichtempfangsflächen mehrerer Lichtaufnehmer für durchgelassenes Licht sowie durchgelassenes und diffuses Licht.
Fig. 7 ist ein Blockschaltbild eines Fehlerdatenerzeugungs- Schaltkreises.
Fig. 8-10 sind Wellenform-Hilfsdiagramme zur Erläuterung der Funktionsweise des Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreises.
Fig. 11 ist ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispieles des Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreises.
Fig. 12 ist ein Schaltplan einer ODER-Einheit.
Fig. 13 und 14 sind Hilfsdiagramme zur Erläuterung der Funktionsweise der ODER-Einheit.
Fig. 15 ist ein Hilfsdiagramm zur Darstellung der kleinsten Verarbeitungseinheit eines unterscheidenden Fehlerstellendetektors.
Fig. 16 ist ein Blockschaltbild eines weiteren Ausführungsbeispieles des Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreises.
Fig. 17, 18A und 18B sind Hilfsdiagramme zur Erläuterung der Funktionsweise eines Kontinuitäts-Beurteilungsteiles.
Fig. 19 ist ein Diagramm, das das Datenausgabeformat des Fehlerstellenerfassungs-Schaltkreises zeigt.
Fig. 20 ist eine perspektivische Darstellung des Fehlerstellendetektors einer Tropfenermittlungsvorrichtung.
Fig. 21 ist ein Blockschaltbild eines Schaltkreises zur Erzeugung von Fehlerdaten für Tropfen.
Fig. 22 ist ein Diagramm, das die Wellenform am Ausgang eines Lichtaufnehmers zeigt.
Fig. 23A und 23B sind schematische Darstellungen eines mit einem Lichtdiffusor ausgestatteten Lichtaufnehmers.
Fig. 24 ist eine schematische Darstellung der Verschiebung der Strahlenwege von durchgelassenem Licht und reflektiertem Licht bei veränderter Dicke einer Glasplatte.
Fig. 25 ist eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 26A und 26B sind Hilfsdiagramme zur Erläuterung der Funktionsweise einer CCD-Kamera für die in Fig. 25 gezeigte Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 27 ist ein Hilfsdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise einer Parallelspiegel-Baugruppe für die in Fig. 25 gezeigte Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 28 ist ein Flußhilfsdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise einer Steuereinheit für die in Fig. 25 gezeigte Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 29 ist eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 30 ist eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 31 ist eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 32 ist eine schematische Darstellung eines fünften Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 33A und 33B sind schematische Darstellungen eines sechsten Ausführungsbeispieles der Dickenkorrekturvorrichtung.
Fig. 34A und 34B sind schematische Darstellungen eines ersten Ausführungsbeispieles der Aussteuerungsautomatik.
Fig. 35 ist ein Blockschaltbild eines elektrischen Schaltkreises des ersten Ausführungsbeispieles der Aussteuerungsautomatik.
Fig. 36 ist ein Wellenform-Hilfsdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise des ersten Ausführungsbeispieles der Aussteuerungsautomatik.
Fig. 37A und 37B sind schematische Darstellungen eines zweiten Ausführungsbeispieles der Aussteuerungsautomatik.
Fig. 38 ist eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispieles der Aussteuerungsautomatik.

Bestmögliche Ausführung der Erfindung

Fig. 2 ist ein Blockschaltbild, das den Grundaufbau eines unterscheidenden Fehlerstellendetektors für transparente Glasplatten zeigt. Der Fehlerstellendetektor hat einen Abtaster 11, der eine vorlaufende transparente Glasplatte mit einem Laserlichtpunkt abtastet, der durch Reflexion eines Laserstrahles mittels eines rotierenden multiplanaren Spiegels gebildet wird; mehrere Lichtaufnehmer 12 zur Aufnahme des durchgelassenen, des durchgelassenen und diffusen und des reflektierten Lichtes des Laserlichtpunktes, während der Laserlichtpunkt Fehlerstellen in der vorlaufenden transparenten Glasplatte abtastet; einen photoelektrischen Wandler 13, der das von jedem einzelnen Lichtaufnehmer aufgenommene Licht in ein elektrisches Signal umwandelt; einen Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis 14, der durch Verarbeiten der von dem photoelektrischen Wandler 13 gelieferten elektrischen Signale Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen erzeugt; einen Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis 15, der die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis erzeugten Fehlerdaten, einen Taktimpuls zur Signalverarbeitung und ein Zeilensynchronisationssignal zusammen erfaßt und aus den Fehlerdaten ein Fehlerstellendiagramm erstellt, welches aus Bitfolgen besteht, die die Art und Größe von Fehlerstellen in einer Glasplatte repräsentieren, und der dem Fehlerstellendiagramm Informationen über die Lage von Fehlerstellen hinzufügt; und eine Datenverarbeitungs-Einrichtung 17, die das Fehlerstellendiagramm von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis 15 und die Informationen über die Lage von Fehlerstellen empfängt, durch Vergleichen des Fehlerstellendiagramms mit einem zuvor gespeicherten Tabellendiagramm zur Unterscheidung von Fehlerstellen 16 die Art und Größe von Fehlerstellen unterscheidet und die Ergebnisse der Unterscheidung und die Informationen über die Lage von Fehlerstellen einem Host-Datenverarbeitungssystem zuführt.
Im folgenden wird ein Fehlerstellendetektor 20 mit einem Abtaster 11, einem Lichtaufnehmer 12 und einem photoelektrischen Wandler beschrieben.
Fig. 3 zeigt in perspektivischer Darstellung einen Fehlerstellendetektor 20, wobei der Lichtaufnehmer aus Gründen der Übersichtlichkeit vergrößert dargestellt ist.
Fig. 4 ist eine zeichnerische Gliederung des Fehlerstellendetektors in der zur Transportrichtung einer transparenten Glasplatte senkrechten Richtung. In den Fig. 3 und 4 sind gleiche Bauteile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.
Der Abtaster 11 hat eine Laserlicht aussendende Laserlichtquelle 21, einen rotierenden multiplanaren Spiegel 23, der mit hoher Geschwindigkeit um eine Achse 22 rotiert, die sich parallel zur Transportrichtung einer transparenten Glasplatte 1 (im folgenden Y-Achsen-Richtung genannt) erstreckt, und auf den ein Laserstrahl 26 von der Laserlichtquelle 21 fällt, und eine der Dickenkorrektur dienende Parallelspiegel-Baugruppe 25, die die Winkellage des Laserstrahles durch Drehen um eine Achse 24 ändern kann, welche sich parallel zur Transportquerrichtung der Glasplatte 1 (im folgenden X-Achsen-Richtung genannt), d. h. in der zur Y-Achsen-Richtung senkrechten Richtung erstreckt. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist in Fig. 4 die Laserlichtquelle 21 in einer anderen als der tatsächlichen Lage dargestellt.
Der Abtaster der oben beschriebenen Bauart ist über der vorlaufenden transparenten Glasplatte 1 installiert.
Der von der Laserlichtquelle 21 ausgesandte Laserstrahl 26 fällt auf den mit hoher Geschwindigkeit rotierenden multiplanaren Spiegel 23. Der Laserstrahl 26 wird von dem rotierenden multiplanaren Spiegel 23 in Richtung auf die X-Achse abgelenkt, von der Parallelspiegel-Baugruppe 25 reflektiert und fällt dann auf die vor laufende transparente Glasplatte 1, um die Glasplatte in der X-Achsen-Richtung abzutasten. Bei jedem Wechsel der Reflexionsfläche des rotierenden multiplanaren Spiegels 23 infolge der Rotation des Spiegels 23 tastet der Laserstrahl 26 die transparente Glasplatte 1 erneut ab. Da sich die transparente Glasplatte 1 in der Y-Achsen-Richtung bewegt, wird die gesamte Oberfläche der Glasplatte 1 von dem Laserstrahl abgetastet.
Wie in Fig. 4 gezeigt ist, fällt der Laserstrahl 26 relativ zu einer Senkrechten zur Oberfläche der Glasplatte in einem Einfallswinkel α auf die transparente Glasplatte 1. Dadurch soll eine Interferenz des Lichtes verhindert werden, das von der Rückseite der transparenten Glasplatte 1 reflektiert und von der Vorderseite erneut reflektiert wird und die Rückseite zusammen mit dem durchgelassenen Licht 27 verläßt. Der Wert von α sollte vorzugsweise mehr als 13º betragen.
Im folgenden wird die Anordnung und Bauweise des Lichtaufnehmers beschrieben. Auf der der Seite des Abtasters gegenüberliegenden Seite oder unterhalb der transparenten Glasplatte 1 sind ein Lichtaufnehmer D1 zur Ermittlung des durchgelassenen Lichtes 27, zwei Lichtaufnehmer D2A und D²B zur Ermittlung des achsnächsten durchgelassenen und diffusen Lichtes, zwei Lichtaufnehmer D3A und D3B zur Ermittlung des achsnahen durchgelassenen und diffusen Lichtes und zwei Lichtaufnehmer D4A und D4B zur Ermittlung des achsfernsten durchgelassenen und diffusen Lichtes angeordnet. Über der transparenten Glasplatte 1 ist ein Lichtaufnehmer D5 zur Ermittlung des reflektierten Lichtes 28 vorgesehen.
Diese Mehrfach-Lichtaufnehmer haben im wesentlichen dieselbe Bauweise und sind jeweils mit einer sich in X-Achsen- Richtung erstreckenden, schmalen geradlinigen Lichtempfangsfläche versehen. Im folgenden wird die Bauweise einer erfindungsgemäßen Ausführungsform eines Lichtaufnehmers D1 beschrieben.
Fig. 5 zeigt den Lichtaufnehmer D1 in perspektivischer Darstellung. Der Lichtaufnehmer D1 besteht aus Faserbündel- Lichtwellenleitern 31, die an seinem einen Ende in zwei Reihen angeordnet und durch einen Füllstoff aus Gießharz in ihrer Position gehalten sind und den eigentlichen Lichtaufnehmer 32 bilden. Die Stirnflächen 33 der so angeordneten Faserbündel-Lichtwellenleiter 31 bilden eine schmale geradlinige Lichtempfangsfläche 34. Die anderen Enden der Lichtwellenleiter 31 sind gebündelt und an später noch zu beschreibende Photovervielfacher-Röhren angeschlossen.
In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel sind die Lichtwellenleiter zwar in zwei Reihen angeordnet, doch beschränkt sich die Anordnungsweise der Lichtwellenleiter nicht auf diese Anordnung.
Beim Einbau der Lichtaufnehmer D1, D2A, D2B, D3A, D3B, D4A und D4B der oben beschriebenen Bauweise zur Ermittlung von durchgelassenem Licht und durchgelassenem und diffusem Licht wird jeder Lichtaufnehmer derart installiert, daß seine Lichtempfangsfläche in seinem effektiven Lichtempfangswinkel angeordnet ist. Ein Ausführungsbeispiel des Lichtaufnehmers im Verhältnis zu seinem effektiven Lichtempfangswinkel ist in Tabelle 2 aufgeführt. Tabelle 2 Lichtaufnehmer Effektiver Lichtempfangswinkel
In Fig. 6 sind die Lichtaufnehmer D1, D2A, D2B, D3A, D3B, D4A und D4B derart angeordnet, daß ihre Lichtempfangsflächen von diesen aus betrachtet innerhalb des in der obigen Tabelle aufgeführten effektiven Lichtempfangswinkels liegen. Die Längsrichtung der Lichtempfangsfläche jedes Lichtaufnehmers verläuft parallel zur X-Achsen-Richtung. Zur Ermittlung des achsnächsten durchgelassenen und diffusen Lichtes, des achsnahen durchgelassenen und diffusen Lichtes und des achsfernsten durchgelassenen und diffusen Lichtes werden je zwei Lichtaufnehmer verwendet, um zu vermeiden, daß diese durchgelassenen und diffusen Lichtstrahlen nicht erfaßt werden.
Wie in den Fig. 3 und 4 gezeigt ist, ist die Lage der Lichtempfangsfläche des Lichtaufnehmers D1 für das durchgelassene Licht in bezug auf die optische Achse im Vergleich zu der Lage der Lichtempfangsfläche der benachbarten Lichtaufnehmer D2A und D2B für das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht verschoben, um zu verhindern, daß das durchgelassene Licht durch die Lichtempfangsfläche des Lichtaufnehmers D1 weiter zerstreut und dadurch von den Lichtaufnehmern D2A und D2B aufgenommen wird.
Der Lichtaufnehmer D5 zur Ermittlung des reflektierten Lichtes kann, wie oben beschrieben, durch Lichtwellenleiter gebildet sein, doch kann auch eine Diffusorkammer zum Erfassen des Lichtes verwendet werden, das dann über Lichtwellenleiter an eine später noch zu beschreibende Photovervielfacher-Röhre geleitet wird. In diesem Fall empfiehlt es sich, auf der Lichtempfangsfläche der Diffusorkammer eine mit einem Schlitz versehene Maske anzubringen, um falsches Licht abzuhalten.
Der Fehlerstellendetektor 20 (Fig. 2) hat, wie in Fig. 3 gezeigt ist, fünf als photoelektrische Wandler dienende Photovervielfacher-Röhren PM1, PM2, PM3, PM4 und PM5, wobei die Photovervielfacher-Röhre PM1 an die anderen Enden der Lichtwellenleiter des Lichtaufnehmers D1, die Photovervielfacher-Röhre PM2 an die anderen Enden der Lichtwellenleiter der Lichtaufnehmer D2A und D2B, die Photovervielfacher- Röhre PM3 an die anderen Enden der Lichtwellenleiter der Lichtaufnehmer D3A und D3B, die Photovervielfacher-Röhre PM4 an die anderen Enden der Lichtwellenleiter der Lichtaufnehmer D4A und D4B und die Photovervielfacher-Röhre PM5 an die anderen Enden der Lichtwellenleiter des Lichtaufnehmers D5 angeschlossen sind. Jede Photovervielfacher-Röhre wandelt empfangenes Licht in elektrische Signale um.
Obwohl nicht dargestellt, sind zwischen dem rotierenden multiplanaren Spiegel 23 und dem Parallelspiegel 25 des Abtasters ein Lichtwellenleiter zur Erzeugung eines Startimpulses sowie ein photoelektrischer Wandler zum Umwandeln des von diesen Lichtwellenleitern empfangenen Lichtes in ein elektrisches Signal und ein Impulsformer zur Erzeugung eines Startimpulses ST angeordnet. Der Startimpuls ST wird in dem später noch zu beschreibenden Fehlerdatenerfassungs- Schaltkreis als Abtast-Startsignal benutzt.
Bei einer Dickenänderung der transparenten Glasplatte 1 könnte sich der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes, des durchgelassenen und diffusen Lichtes und des reflektierten Lichtes verändern, so daß die Lichtstrahlen nicht auf die Lichtempfangsflächen der Lichtaufnehmer fallen würden. In diesem Fall könnte der Strahlengang beispielsweise des durchgelassenen Lichtes sowie des durchgelassenen und diffusen Lichtes dadurch erhalten bleiben, daß der Strahlengang des auf die Glasplatte fallenden Lichtes durch Drehen der Parallelspiegel-Baugruppe 25 verändert wird. Wird die Parallelspiegel-Baugruppe 25 so eingestellt, daß der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes und des durchgelassenen und diffusen Lichtes unverändert bleibt, so könnte sich der Strahlengang des reflektierten Lichtes verändern. Dies kann durch Verschieben des Lichtaufnehmers D5 oder der Maske der Diffusorkammer korrigiert werden, falls der Lichtaufnehmer D5 mit einer solchen Diffusorkammer versehen ist.
Das Verfahren und die Vorrichtung für eine solche Dickenkorrektur werden später noch näher beschrieben werden.
Im folgenden wird die Funktionsweise des Fehlerstellendetektors der oben beschriebenen Bauart für den Fall beschrieben, daß ein Laserstrahl eine in der transparenten Glasplatte 1 befindliche Fehlerstelle ertastet.
Fällt der Laserstrahl auf eine Fehlerstelle in einer transparenten Glasplatte, so ändert sich die Menge des durchgelassenen und des reflektierten Lichtes in Abhängigkeit von der Art der Fehlerstelle (Fremdkörper, Blase, Verdickung, Tropfen); gleichzeitig wird das durchgelassene und diffuse Licht erzeugt.
Im Falle einer Verdickung z. B. ändert sich die Menge des durchgelassenen Lichtes, wenn der einfallende Laserstrahl auf die Verdickung fällt, und gleichzeitig wird das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht erzeugt. Die Änderung in der Menge des durchgelassenen Lichtes wird von dem Lichtaufnehmer D1 ermittelt, an die Photovervielfacher- Röhre PM1 weitergeleitet und in ein elektrisches Signal umgewandelt. Das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht hingegen fällt auf die Lichtempfangsflächen der Lichtaufnehmer D2A und D2B. Das empfangene achsnächste durchgelassene und diffuse Licht wird an die Photovervielfacher-Röhre PM2 weitergeleitet und in ein elektrisches Signal umgewandelt.
Handelt es sich bei der Fehlerstelle um eine Blase, so ändert sich in gleicher Weise die Menge des durchgelassenen Lichtes, wenn der einfallende Laserstrahl auf die Blase fällt, und gleichzeitig wird das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht erzeugt. Das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht wird von den Lichtaufnehmern D4A und D4B aufgenommen, an die Photovervielfacher-Röhre PM4 weitergeleitet und in ein elektrisches Signal umgewandelt.
Im Falle eines Tropfens ändert sich gleichfalls die Menge des durchgelassenen Lichtes, wenn der einfallende Laserstrahl auf den Tropfen fällt, und gleichzeitig ändert sich auch die Menge des reflektierten Lichtes. Die Änderung in der Menge des reflektierten Lichtes wird von dem Lichtaufnehmer D5 ermittelt, an die Photovervielfacher-Röhre PM5 weitergeleitet und in ein elektrisches Signal umgewandelt.
Auf diese Weise werden die durch die Fehlerstelle in der transparenten Glasplatte verursachten Änderungen in der Menge des durchgelassenen und des reflektierten Lichtes sowie das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht, das achsnahe durchgelassene und diffuse Licht und das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht von dem Fehlerstellendetektor 20 in Form von elektrischen Signalen an den Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis 14 (Fig. 2) weitergeleitet.
Im folgenden wird der Aufbau des Fehlerdatenerzeugungs- Schaltkreises 14 beschrieben, der durch Verarbeiten der von den Photovervielfacher-Röhren PM1, PM2, PM3, PM4 und PM5 des Fehlerstellendetektors gelieferten elektrischen Signale Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen erzeugt.
Fig. 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel des Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreises. Der Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis hat Fehlerdatenerzeugungs-Einheiten CT1, CT2, CT3, CT4 und CT5 zur Erzeugung von Fehlerdaten durch Verarbeiten der von den Photovervielfacher-Röhren PM1, PM2, PM3, PM4 und PM5 gelieferten elektrischen Signale.
Die Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT1 besteht aus einem Verstärker 411 zur Verstärkung des von der Photovervielfacher-Röhre PM1 gelieferten elektrischen Signals, einem Negativ-Differentiator 412 zur Differenzierung der abfallenden Flanke des von dem Verstärker 411 gelieferten Signals, einem Komparator 413 zum Vergleichen des Pegels des von dem Negativ-Differentiator 412 gelieferten Signals mit zwei Vergleichspegeln, aus Impulsformern 414 und 415 zur Impulsformung der beiden von dem Komparator 413 gelieferten Signale bzw. aus einem Komparator 416 zum Vergleichen des von dem Verstärker 411 gelieferten Signals mit einem Vergleichspegel, einem Impulsbreiten-Detektor 417 zum Vergleichen der Impulsbreite des von dem Komparator 416 gelieferten Signals mit zwei Impulsbreiten-Prüfpegeln, und aus Impulsformern 418 und 419 zur Impulsformung der beiden von dem Impulsbreiten-Detektor 417 gelieferten Signale.
Die Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT2 besteht aus einem Verstärker 420 zur Verstärkung des von der Photovervielfacher-Röhre PM2 gelieferten elektrischen Signals, einem Positiv-Differentiator 421 zur Differenzierung der ansteigenden Flanke des von dem Verstärker 420 gelieferten Signals, einem Komparator 422 zum Vergleichen des Pegels des von dem Positiv-Differentiator 421 gelieferten Signals mit zwei Vergleichspegeln, und aus Impulsformern 423 und 424 zur Impulsformung der beiden von dem Komparator 422 gelieferten Signale.
Da die Fehlerdatenerzeugungs-Einheiten CT3, CT4 und CT5 den gleichen Aufbau wie die Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT2 haben, wurde auf eine Beschreibung verzichtet, und ihre Bauteile wurden lediglich mit Bezugszeichen versehen.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Fig. 8, 9 und 10 die Funktionsweise des Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreises 14 beschrieben.
Zunächst soll die Funktionsweise der Fehlerdatenerzeugungs- Einheit CT1 beschrieben werden. Die Fehlerdatenerzeugungs- Einheit CT1 erzeugt aufgrund des elektrischen Signals, das von der Photovervielfacher-Röhre PM1 durch Umwandeln des von dem Lichtaufnehmer D1 ermittelten durchgelassenen Lichtes erzeugt wird, Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen.
Der Verstärker 411 verstärkt das von der Photovervielfacher-Röhre PM1 gelieferte elektrische Signal. Fig. 8(a) zeigt die Wellenform der Ausgangsspannung des Verstärkers 411, wenn der Laserstrahl des Fehlerstellendetektors eine Abtastung auf einer transparenten Glasplatte durchführt, die keine Fehlerstellen in der X-Achsen-Richtung aufweist. Die Wellenform zeigt an, daß das durchgelassene Licht während einer Abtastung vom Zeitpunkt t&sub1; bis zum Zeitpunkt t&sub2; von dem Lichtaufnehmer D1 aufgenommen wurde, und daß der Pegel der Ausgangsspannung E Volt beträgt. Auf diese Weise nimmt der Lichtaufnehmer D1 während einer Abtastung ständig durchgelassenes Licht auf.
Befindet sich in einer transparenten Glasplatte eine Fehlerstelle, so wird beim Auftreffen eines Laserstrahles auf die Fehlerstelle die Menge des durchgelassenen Lichtes reduziert und ein abfallender Impuls 51 in der Ausgangswellenform erzeugt, wie in Fig. 8(b) gezeigt ist. In der Zeichnung ist der abfallende Impuls aus Gründen der Anschaulichkeit übertrieben dargestellt, und es wird angenommen, daß die eine Flanke des Impulses zum Zeitpunkt t&sub3; abfällt und die andere Flanke zum Zeitpunkt t&sub4; ansteigt. Der Abfallspegel des abfallenden Impulses 51 ist proportional zu der Dicke der Fehlerstelle; je größer die Größe der Fehlerstelle ist, desto größer wird die Impulsbreite (vom Zeitpunkt t&sub3; bis zum Zeitpunkt t&sub4;) des abfallenden Impulses.
Der Negativ-Differentiator 412 führt eine Negativ-Differenzierung des Ausgangspegels des Verstärkers 411 durch und erzeugt einen differenzierten Impuls 52, dessen Flanke zum Abfallzeitpunkt t&sub3; des abfallenden Impulses 51 ansteigt. Die Höhe des differenzierten Impulses ist proportional zu dem Abfallspegel des abfallenden Impulses 51.
Der von dem Negativ-Differentiator 412 gelieferte differenzierte Impuls 52 wird in den Komparator 413 eingegeben. Der Komparator 413 hat zwei Vergleichspegel d&sub1;&sub1; und d&sub1;&sub2; (d&sub1;&sub1; < d&sub1;&sub2;), mit denen der Anstiegspegel des eingegebenen differenzierten Impulses 52 verglichen wird.
Ist der Anstiegspegel des eingegebenen differenzierten Impulses höher als der Vergleichspegel d&sub1;&sub1;, so gibt der Komparator 413 an seinem ersten Ausgang 440 einen Impuls ab, und ist der eingegebene differenzierte Impuls höher als der Vergleichspegel d&sub1;&sub2;, so gibt der Komparator 413 an seinem zweiten Ausgang 441 einen Impuls ab. Diese Impulse werden in den Impulsformern 414 und 415 geformt und als Fehlerdaten D&sub1;&sub1; und D&sub1;&sub2; ausgegeben. Ist im Falle des in Fig. 8(c) gezeigten differenzierten Impulses 52 dessen Anstiegspegel höher als der Vergleichspegel d&sub1;&sub1; und niedriger als der Vergleichspegel d&sub1;&sub2;, so wird das in Fig. 8(d) dargestellte Fehlersignal D&sub1;&sub1; ausgegeben. Der Unterschied zwischen den oben beschriebenen Fehlerdaten D&sub1;&sub1; und D&sub1;&sub2; repräsentiert die Größe einer Fehlerstelle.
Das von dem Verstärker 411 gelieferte elektrische Signal wird in den Komparator 416 und zur Impulsbreitenprüfung in den Impulsbreiten-Detektor 417 eingegeben. Diese Impulsbreitenprüfung wird bei dem sogenannten Zweiklassen-Sortiervorgang eingesetzt, bei dem Glasplatten nach dem Zuschneiden in hohe und niedrige Güteklassen eingeordnet werden.
Im folgenden wird diese Impulsbreitenprüfung unter Bezugnahme auf Fig. 9 beschrieben, in der Wellenformen gezeigt sind. Die in Fig. 9(a) gezeigte Wellenform ist der Anteil des abfallenden Impulses 51 in der in Fig. 8(b) gezeigten Wellenform und mit verlängerter Zeitachse dargestellt. Der Komparator 416 hat einen Vergleichspegel d; wenn daher der Abfallspegel des abfallenden Impulses 51 größer ist als der Vergleichspegel d, liefert der Komparator 416 einen Impuls 53, dessen Impulsbreite gleich der Breite w (vom Zeitpunkt t&sub3; bis zum Zeitpunkt t&sub4;) an der Stelle ist, an der der abfallende Impuls 51 von dem Vergleichspegel d geschnitten wird.
Der Impulsbreiten-Detektor 417 hat zwei Impulsbreiten-Prüfpegel w&sub1;&sub1; und w&sub1;&sub2; (w&sub1;&sub1; < w&sub1;&sub2;) und vergleicht die Breite w des Eingangsimpulses 53 mit diesen Prüfpegeln. Der Impulsbreiten-Detektor 417 liefert an seinem ersten Ausgang 442 einen Impuls, wenn die Breite w größer ist als der Prüfpegel w&sub1;&sub1;, und einen Impuls an seinem zweiten Ausgang 443, wenn die Breite w größer ist als der Prüfpegel w&sub1;&sub2;. Diese Impulse werden in den Impulsformern 418 und 419 geformt und als Fehlerdaten W&sub1;&sub1; und W&sub1;&sub2; ausgegeben. Im Falle des in Fig. 9(b) gezeigten Impulses 53 ist die Breite w größer als der Prüfpegel w&sub1;&sub1; und kleiner als der Prüfpegel w&sub1;&sub2;, so daß das in Fig. 9(c) gezeigte Fehlersignal W&sub1;&sub1; ausgegeben wird.
Der Unterschied zwischen den oben beschriebenen Fehlerdaten W&sub1;&sub1; und W&sub1;&sub2; repräsentiert die Größe einer Fehlerstelle. Diese Fehlerdaten W&sub1;&sub1; und W&sub1;&sub2; werden bei dem Zweiklassen- Sortiervorgang als Prüfdaten zum Aussortieren von Glasplatten insbesondere der niedrigeren Güteklassen verwendet.
Im folgenden wird die Funktionsweise der Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT2 unter Bezugnahme auf Fig. 10 beschrieben, in der Wellenformen gezeigt sind. Die Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT2 erzeugt Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen aufgrund der elektrischen Signale, die durch Umwandeln mittels der Photovervielfacher-Röhre PM2 des achsnächsten durchgelassenen und diffusen Lichtes erzeugt werden, das von den Lichtaufnehmern D2A und D2B ermittelt wurde. Elektrische Signale werden von der Photovervielfacher-Röhre PM2 nur geliefert, wenn eine Verdickung von dem Laserstrahl abgetastet wird. Fig. 10(a) zeigt die Wellenform eines von dem Verstärker 420 erzeugten elektrischen Signals zum Zeitpunkt der Abtastung der Verdickung. Vom Zeitpunkt t&sub5; bis zum Zeitpunkt t&sub6; wird ein ansteigender Impuls 61 erzeugt. In dem Positiv- Differentiator 421 wird der von dem Verstärker 420 gelieferte Impuls positiv differenziert und ein differenzierter Impuls 62 erzeugt, der zum Anstiegszeitpunkt t&sub5; des ansteigenden Impulses 61 ansteigt. Der Pegel dieses differenzierten Impulses ist proportional zu dem Anstiegspegel des ansteigenden Impulses 61.
Der von dem Positiv-Differentiator 421 gelieferte differenzierte Impuls 62 wird in den Komparator 422 eingegeben. Der Komparator 422 hat zwei Vergleichspegel d&sub2;&sub1; und d&sub2;&sub2; (d&sub2;&sub1; < d&sub2;&sub2;), wie in der in Fig. 10(b) dargestellten Wellenform gezeigt ist, und vergleicht den Anstiegspegel des eingegebenen differenzierten Impulses 62 mit diesen Vergleichspegeln.
Der Komparator 422 liefert an seinem ersten Ausgang 444 einen Impuls, wenn der Anstiegspegel des eingegebenen differenzierten Impulses 62 höher ist als der Vergleichspegel d&sub2;&sub1;, und einen Impuls an dem zweiten Ausgang 445, wenn der Anstiegspegel des eingegebenen differenzierten Impulses 62 höher ist als der Vergleichspegel d&sub2;&sub2;. Diese Impulse werden in den Impulsformern 423 und 424 geformt und als Fehlerdaten D&sub2;&sub1; und D&sub2;2 ausgegeben. Da bei dem in Fig. 10 (b) gezeigten differenzierten Impuls 62 dessen Anstiegspegel höher ist als der Vergleichspegel d&sub2;&sub1; und niedriger als d&sub2;&sub2;, wird das in Fig. 10(c) gezeigte Fehlersignal ausgegeben. Der Unterschied zwischen den zuvor beschriebenen Fehlerdaten D&sub2;&sub1; und D&sub2;&sub2; repräsentiert die Größe einer Fehlerstelle (Verdickung).
In gleicher Weise werden die Fehlerdaten D&sub3;&sub1;, D&sub3;&sub2;, D&sub4;&sub1;, D&sub4;&sub2;, D&sub5;&sub1; und D&sub5;&sub2; bezüglich eines Fremdkörpers, einer Blase und eines Tropfens von den Fehlerdatenerzeugungs-Einheiten CT3, CT4 und CT5 erzeugt.
Wie oben beschrieben, werden die Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen von dem Fehlerdatenerzeugungs- Schaltkreis 14 erzeugt und dem Fehlerdatenerfassungs- Schaltkreis 15 (Fig. 2) zugeführt. In der nachfolgenden Beschreibung wird von der Annahme ausgegangen, daß durch einen Impuls dargestellte Fehlerdaten einem Bit "1" entsprechen.
Im folgenden wird der Aufbau des Fehlerdatenerfassungs- Schaltkreises beschrieben.
Fig. 11 zeigt einen beispielhaften Aufbau des Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreises mit einem X-Achsen-Zähler 71, einer ODER-Einheit 72, einer Frequenzteilerschaltung 73, einem Y-Achsen-Zähler 74 und einem FIFO-(First-in-first-out-)Speicher 75.
einer ODER-Einheit 72, einer Frequenzteilerschaltung 73, einem Y-Achsen-Zähler 74 und einem FIFO-(First-in-first-out-)Speicher 75.
Der X-Achsen-Zähler 71 ist ein Zähler, der Taktsignale zur Teilung der X-Koordinate zählt und durch einen ein Abtast- Startsignal bildenden Startimpuls zurückgestellt wird. Der Startimpuls ST wird derart erzeugt, daß der in der oben beschriebenen Weise von dem rotierenden multiplanaren Spiegel 23 des Fehlerstellendetektors 20 reflektierte Laserstrahl an einer bestimmten Stelle über einen Lichtwellenleiter aufgefangen, photoelektrisch in ein elektrisches Signal umgewandelt und dieses Signal zu einem Impuls geformt wird. Zu dem Zeitpunkt, zu dem die Fehlerdaten als X-Koordinaten- Lagedaten erfaßt werden, gibt der X-Achsen-Zähler 71 einen Zählwert aus.
Die ODER-Einheit 72 ist eine Einheit, die die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis gelieferten Fehlerdaten mehrerer Abtastungen summiert und die Fehlerdaten zu einem vorgegebenen Zeitpunkt ausgibt. Eine solche ODER-Einheit ist in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 39415/1981 "Flaw Detection Equipment" beschrieben.
Die Frequenzteilerschaltung 73 teilt die Frequenz eines Zeilensynchronisationssignals PG, das der zurückgelegten Distanz entlang der Linie einer Glasplatte entspricht und von dem (nicht gezeigten) Impulsgeber geliefert wird, und führt das frequenzgeteilte Zeilensynchronisationssignal PG der ODER-Einheit 72 zu. Die ODER-Einheit 72 gibt die akkumulierten Fehlerdaten beim Takten des frequenzgeteilten Zeilensynchronisationssignals PG aus.
Der Y-Achsen-Zähler 74 zählt das von der Frequenzteilerschaltung 73 frequenzgeteilte Zeilensynchronisationssignal PG und gibt den Zählwert als Y-Koordinaten-Lagedaten aus. Wenn die von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis gelieferten Daten im Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 gespeichert sind, kann der Ort der Y-Koordinate ohne Einsatz von Hardware, wie z. B. einem Y-Achsen-Zähler, durch die Software identifiziert werden, indem jedem Datensatz eine "0" hinzugefügt und die Anzahl der "Nullen" gezählt wird. Dieses Verfahren ist jedoch nicht günstig, da der Ort der Y-Koordinate nach Abschluß eines Datenspeicherungszyklus bei begrenzter Speicherkapazität der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 falsch interpretiert werden könnte.
Der FIFO-Speicher 75 dient der Zwischenspeicherung der von dem X-Koordinaten-Zähler 71 gelieferten X-Koordinaten-Lagedaten, der von der ODER-Einheit 72 gelieferten Fehlerdaten und der von dem Y-Achsen-Zähler 74 gelieferten Y-Koordinaten-Lagedaten. Die Fehlerdaten und die Fehlerlokalisierungsdaten werden dann über direkten Speicherzugriff (DMA) von dem FIFO-Speicher 75 in den Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 übertragen. Der FIFO-Speicher 75 wird aus folgendem Grund verwendet: Würden die in der ODER-Einheit 72 gesammelten Fehlerdaten bei jeder Ermittlung einer Fehlerstelle über direkten Speicherzugriff direkt in den Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 übertragen, so könnten Fehlerdaten fehlen, weil während des direkten Speicherzugriffs keine Fehlerdaten erfaßt werden können, was zu Ausfällen bei der Fehlerstellenermittlung führen würde. Durch Zwischenspeichern der X-Koordinaten-Lagedaten, der Fehlerdaten und der Y-Koordinaten-Lagedaten im FIFO-Speicher 75 und Übertragen dieser Daten in den Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 über direkten Speicherzugriff zwischen dem FIFO-Speicher 75 und dem Speicher der Datenverarbeitungs- Einrichtung 17 entsprechend deren Datenverarbeitungsgeschwindigkeit können alle Fehlerdaten vollständig erfaßt werden.
Fig. 12 zeigt beispielhaft eine Ausführungsform der ODER- Einheit 72. Die ODER-Einheit hat logische ODER-Schaltungen OR&sub1;&sub1;, OR&sub1;&sub2;, - OR&sub5;&sub2;, die den Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; verschiedener Arten von Fehlerstellen entsprechen, Schreib-/Lese-Speicher RAM&sub1;&sub1;, RAM&sub1;&sub2;, - RAM&sub5;&sub2; und Gatterschaltungen G&sub1;&sub1;, G&sub1;&sub2;, - G&sub5;&sub2;.
Die Fig. 13 und 14 sind Hilfsdiagramme zur Erläuterung der Funktionsweise der ODER-Einheit, wobei Fig. 13 eine schematische Darstellung der Zusammenhänge zwischen der Abtastung durch einen Laserlichtpunkt, einer Taktimpuls-Reihe CLK und einem frequenzgeteilten Zeilensynchronisationssignal PG ist und Fig. 14 ein Diagramm zur Darstellung des Zustandes der akkumulierten Fehlerdaten D&sub1;&sub1; in dem RAM&sub1;&sub1; der ODER-Einheit. Im folgenden wird unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen die Akkumulation der Fehlerdaten D&sub1;&sub1; als Beispiel für die Funktionsweise der ODER-Einheit beschrieben. Es wird angenommen, daß eine Glasplatte von dem Laserstrahlenpunkt während des Zeilensynchronisationssignals PG nach Frequenzteilung n-mal in der X-Achsen-Richtung abgetastet wird. In Fig. 13 ist eine von dem Laserstrahlenpunkt abgetastete Zeile mit dem Bezugszeichen 81 bezeichnet. Es wird angenommen, daß jeder RAM der ODER-Einheit 72 bis zu 1000 Adressen hat. Jede Adresse in einem RAM entspricht der Einteilung einer Taktimpuls-Reihe CLK.
Enthält eine transparente Glasplatte 1 eine Fehlerstelle 80, wie in Fig. 13 gezeigt ist, so werden die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis bei der ersten Abtastung eingegebenen Fehlerdaten D&sub1;&sub1; in den RAM&sub1;&sub1; eingeschrieben und "1" -Bits in die Adressen 502 und 503 eingegeben. Die bei der zweiten Abtastung eingegebenen Fehlerdaten D&sub1;&sub1; werden mit den aus dem RAM&sub1;&sub1; ausgelesenen Fehlerdaten in der logischen ODER-Schaltung OR&sub1;&sub1; ODER-verknüpft und erneut in den RAM&sub1;&sub1; eingeschrieben, - und die bei der n-ten Abtastung eingegebenen Fehlerdaten D&sub1;&sub1; werden mit den aus dem RAM&sub1;&sub1; ausgelesenen Fehlerdaten in der logischen ODER-Schaltung OR&sub1;&sub1; ODER-verknüpft und erneut in den RAM&sub1;&sub1; eingeschrieben. Auf diese Weise wird schließlich "1"-Bits in die Adressen 501 bis 504 eingespeichert. Die in dem RAM&sub1;&sub1; akkumulierten Fehlerdaten D&sub1;&sub1; werden so über die Gatterschaltung G&sub1;&sub1; beim Takten des in der Frequenzteilerschaltung 73 frequenzgeteilten Zeilensynchronisationssignals PG an den FIFO-Speicher 75 ausgegeben.
Da derartige Fehlerstellen, die innerhalb eines sehr kleinen Bereiches in der Y-Achsen-Richtung liegen, durch die oben beschriebene Verarbeitung in der ODER-Einheit als ein und dieselbe Fehlerstelle beurteilt werden, kann die in der Datenverarbeitungs-Einrichtung verarbeitete Informationsmenge reduziert werden. Demzufolge kann die Transportgeschwindigkeit der Glasplatte erhöht werden, was zu einer erhöhten Prüfgeschwindigkeit führt, oder es kann bei gleichbleibender Transportgeschwindigkeit der Glasplatte die Detektorempfindlichkeit um ein Vielfaches verbessert werden.
Im folgenden wird die Funktionsweise des Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreises näher beschrieben, wobei nochmals auf Fig. 11 Bezug genommen wird. Ein Startimpuls ST und eine Taktimpuls-Reihe CLK werden in den X-Achsen-Zähler 71, von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis 14 gelieferte Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; in die ODER-Einheit 72 und ein Zeilensynchronisationssignal PG in die Frequenzteilerschaltung 73 eingegeben. Der X-Achsen-Zähler 71 zählt die Taktimpulse CLK und liefert an den FIFO-Speicher 75 den Zählwert der Taktimpulse CLK zu dem Zeitpunkt, zu dem Fehlerdaten als X-Koordinaten-Lagedaten erfaßt werden. Der X-Achsen-Zähler wird dann durch ein Startimpulssignal ST zurückgestellt.
Die ODER-Einheit 72 akkumuliert die einzelnen Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; aus mehreren Abtastungen und gibt sie beim Takten des von der Frequenzteilerschaltung 73 frequenzgeteilten Zeilensynchronisationssignals PG an den FIFO-Speicher 75 weiter, wie oben in bezug auf die Fig. 13 und 14 beschrieben wurde.
Der Y-Achsen-Zähler zählt das in der Frequenzteilerschaltung 73 frequenzgeteilte Zeilensynchronisationssignal PG und gibt den Zählwert zum Zeitpunkt der Fehlerdaten-Eingabe als Y-Koordinaten-Lagedaten an den FIFO-Speicher 75 weiter. Der Y-Achsen-Zähler 74 wird durch einen Programmbefehl zurückgestellt.
Wie oben beschrieben, werden die X-Koordinaten-Lagedaten, die Fehlerdaten und die Y-Koordinaten-Lagedaten in dem FIFO-Speicher 75 zwischengespeichert und dann über direkten Speicherzugriff zwischen dem FIFO-Speicher 75 und dem Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 in deren Speicher übertragen. Diese Datenübertragung erfolgt in Übereinstimmung mit der Datenverarbeitungsgeschwindigkeit der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17. Demzufolge können alle Fehlerdaten vollständig erfaßt werden.
Da die Ermittlung der Y-Koordinaten-Lagedaten durch Einsatz von Hardware, d. h. durch den Y-Achsen-Zähler, und nicht durch Software erfolgt, besteht keine Gefahr, daß die Y-Koordinaten-Lage einer Fehlerstelle falsch identifiziert wird.
In dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis des oben beschriebenen Aufbaus werden die durch die Verarbeitung mittels der ODER-Einheit 72 gewonnene Daten über den FIFO-Speicher 75 als kleinste Verarbeitungseinheit an die Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 weitergeleitet. In Fig. 15 ist ein dieser kleinsten Verarbeitungseinheit entsprechender Bereich auf der Glasplatte 1 mit dem Bezugszeichen 82 bezeichnet. Das bedeutet, daß der die kleinste Verarbeitungseinheit bildende Bereich einem Pulsabstand der Taktimpulse CLK in der X-Achsen-Richtung und einem Pulsabstand des frequenzgeteilten Zeilensynchronisationssignals PG in der Y-Achsen-Richtung entspricht.
Bei Anwendung eines solchen Verfahrens könnten jedoch für eine einzelne Fehlerstelle in einer Glasplatte von der ODER-Einheit mehrere Fehlerdaten ausgegeben werden, so daß die Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 für eine einzelne Fehlerstelle mehrere Fehlerdaten zu verarbeiten hätte. Dies könnte zu einer erhöhten Belastung des Programms der Datenverarbeitungs-Einrichtung führen.
Wird eine einzelne Fehlerstelle von dem Laserstrahlenpunkt abgetastet, so werden die Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2;, die von dem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis 14 aufgrund der von jedem Lichtaufnehmer ermittelten Änderungen der Lichtmenge geliefert werden, nicht immer zum gleichen Taktzeitpunkt ausgegeben. In diesem Fall könnten Fehlerdaten, die zeitlich versetzt erzeugt worden sind, als Fehlerdaten einer einzelnen Fehlerstelle identifiziert werden.
Ein Ausführungsbeispiel des Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreises zur Lösung dieses Problems ist in Fig. 16 gezeigt. Dieser Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis ist der gleiche wie der in Fig. 11 gezeigte Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis, jedoch wurde dem X-Achsen-Zähler 71, der ODER-Einheit 72 und dem Y-Achsen-Zähler 74 ein Kontinuitäts-Beurteilungsteil 76 nachgeschaltet.
Der Kontinuitäts-Beurteilungsteil 76 hat einen Fehlerdaten- Komprimierungsteil 77, der von der ODER-Einheit 72 gelieferte Fehlerdaten komprimiert, einen X-Achsen-Kontinuitäts- Beurteilungsteil 78, der die X-Achsen-Kontinuität der komprimierten Daten beurteilt und eine Startadresse sowie eine Endadresse in der X-Achsen-Richtung ausgibt, und einen y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79, der die Y-Achsen-Kontinuität der komprimierten Daten beurteilt und eine Startadresse sowie eine Endadresse in der Y-Achsen- Richtung ausgibt.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 17, 18A und 18B wird die Funktionsweise des Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 76 des oben beschriebenen Aufbaus erläutert. Fig. 17 ist ein schematisches Hilfsdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise des Fehlerdaten-Komprimierungsteiles 77, der Fehlerdaten komprimiert. Die Fig. 18A und 18B zeigen Bit-Diagramme der komprimierten Fehlerdaten zur Erläuterung der Funktionsweise des X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 78 und des y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 79.
Da von der ODER-Einheit 72 nach Datentyp sortierte Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; ausgegeben werden, haben die Fehlerdaten jedes Datentyps ein zweidimensionales Bitmuster in Richtung der X-Achsen-Adresse und der Y-Achsen-Adresse. Geht man von einem dreidimensionalen Raum aus, in dem die zweidimensional angeordneten Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; in der Z-Achsen-Richtung liegen, so könnte man sagen, daß von der ODER-Einheit 72 dreidimensionale Fehlerdatengruppen D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; ausgegeben werden. Der Fehlerdaten-Komprimierungsteil 77 erzeugt komprimierte zweidimensionale Fehlerdaten DB dadurch, daß er in der Z-Achsen-Richtung die gesamten dreidimensionalen, in der X-Achsen-Adresse und der Y-Achsen-Adresse angeordneten Fehlerdatengruppen D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, - D&sub5;&sub2; ODER-verknüpft. In Fig. 17 sind "1"-Bits nur bei den Fehlerdaten D&sub1;&sub1; und den Fehlerdaten D&sub5;&sub2; vorhanden.
Die Fig. 18A und 18B zeigen Beispiele der Bit-Diagramme von Fehlerdaten, die nach folgendem Konzept komprimiert wurden:
Der X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 78 und der y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 prüfen die Kontinuität von "1"-Bits in Richtung der X-Achse bzw. der Y-Achse und das Bestehen oder Nichtbestehen einer Diskontinuität von "1"-Bits. Anhand von Parametern entscheiden beide Teile 78 und 79, ob die ermittelte Diskontinuität in der X-Achsen-Richtung oder der Y-Achsen-Richtung kombiniert wird.
Fig. 18A zeigt einen durch einen Kontinuitäts-Beurteilungsvorgang erstellten Fehlerdatenblock, wenn alle Parameter des X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 78 und des Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 79 null sind. Der X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 78 gibt die Adresse 500 als X-Achsen-Startadresse für diesen Fehlerdatenblock und die Adresse 503 als X-Achsen-Endadresse aus, während der y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 die Adresse 100 als Y-Achsen-Startadresse für den Fehlerdatenblock und die Adresse 103 als Y-Achsen-Endadresse ausgibt.
Fig. 18B zeigt einen durch einen Kontinuitäts-Beurteilungsvorgang erstellten Fehlerdatenblock, wenn alle Parameter des X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 78 und des Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteiles 79 1 sind. Sind die Parameter 1, so wird selbst bei Bestehen einer Diskontinuität in einer Adresse die Diskontinuität zu einem Fehlerdatenblock kombiniert, wie er in der Zeichnung gezeigt ist. In diesem Fall gibt der X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 78 die Adresse 500 als X-Achsen-Startadresse für diesen Fehlerdatenblock und die Adresse 503 als X-Achsen- Endadresse aus. Der Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 gibt die Adresse 101 als Y-Achsen-Startadresse für den Fehlerdatenblock und die Adresse 103 als Y-Achsen-Endadresse aus. Aufgrund der Durchführung einer Kontinuitäts- Beurteilung, bei der Diskontinuitäten bei "1" -Bits durch Interpolation kombiniert werden, ist es möglich, diese Fehlerdaten als Fehlerdaten für eine einzelne Fehlerstelle zu identifizieren, selbst wenn diese Fehlerdaten von mehreren Lichtaufnehmern zeitlich versetzt erzeugt werden, wenn eine einzelne Fehlerstelle von dem Laserstrahlenpunkt abgetastet wird.
Der Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 liefert "1"-Bits, die den Datentyp der Fehlerdaten repräsentieren, als Fehlerstellendiagramm an den FIFO-Speicher 75, und der X-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 78 sowie der Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 liefern beide die X-Achsen-Start- und Endadressen und die Y-Achsen-Start- und Endadressen des Fehlerdatenblocks als Fehlerlokalisierungsdaten an den FIFO-Speicher 75. Der Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteil 79 hat auch die Funktion, die Y-Achsen-Kontinuität von "1"-Bits zwangsweise zu durchtrennen, wenn die Kontinuität über eine vorgegebene Länge hinausgeht, und ein Fehlerstellendiagramm sowie Lageinformationen an den FIFO-Speicher 75 auszugeben.
Der FIFO-Speicher 75 speichert diese von den X-Achsen- und Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilungsteilen 78 und 79 gelieferten Fehlerstellendiagramme und Lagedaten, um sie über direkten Speicherzugriff in den Speicher der Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 zu übertragen.
Mit dem oben beschriebenen Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis kann die Verarbeitungszeit in der Datenverarbeitungs- Einrichtung im Vergleich zu dem herkömmlichen Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis, der keinen Kontinuitätsbeurteilungs-Schaltkreis hat, wesentlich verkürzt werden, weil die von der Datenverarbeitungs-Einrichtung verarbeitete Anzahl von Fehlerstellen an die tatsächliche Anzahl von Fehlerstellen in einer Glasplatte dadurch angeglichen werden kann, daß die von der ODER-Einheit ausgegebenen Fehlerdaten komprimiert, einer X-Achsen- und Y-Achsen-Kontinuitäts-Beurteilung unterzogen und zu einem einzigen Fehlerdatenblock kombiniert und die Fehlerdaten sowie die Lagedaten für den Fehlerdatenblock an den FIFO-Speicher ausgegeben werden. Aufgrund der Durchführung einer Kontinuitäts-Beurteilung können die von Lichtaufnehmern zeitlich versetzt erzeugten Fehlerdaten als Fehlerdaten für eine einzelne Fehlerstelle identifiziert werden.
Fig. 19 zeigt ein Format der von dem Fehlerdatenerzeugungs- Schaltkreis 15 in die Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 übertragenen Daten. Diese Daten bestehen aus einem Fehlerstellendiagramm 91 mit einer Bitfolge, die die Art und die Größe einer einzelnen Fehlerstelle in einer Glasplatte darstellt, und aus Lagedaten 92, die die Lage der Fehlerstelle darstellen.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, hat die Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 eine Fehlerstellenkennungs-Tabelle 16 zur Beurteilung von Art, Größe, Klassierung, etc. einer Fehlerstelle, mit der das von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis 15 gelieferte Fehlerstellendiagramm verglichen wird, um Art, Größe, Klassierung, etc. der Fehlerstelle und anhand der von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis 15 gelieferten Lagedaten die Lage der Fehlerstelle zu definieren. Die Datenverarbeitungs-Einrichtung 17 leitet die Ergebnisse dieser Definition an ein Host-Datenverarbeitungssystem weiter, das seinerseits aufgrund der gelieferten Informationen den Produktionsprozeß und den Sortiervorgang steuert.
Bisher wurde ein unterscheidender Fehlerstellendetektor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung beschrieben, doch kann die Genauigkeit der Unterscheidung nach Art, Größe, etc. einer Fehlerstelle anhand detaillierterer Fehlerdaten noch weiter verbessert werden, die dadurch erzielt werden, daß der Detektionspegel und der Impulsbreiten-Prüfpegel des Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreises durch zusätzlichen Einbau mehrerer Lichtaufnehmer zur Messung von reflektiertem und diffusem Licht angehoben werden.
Wie erwähnt, befinden sich unter den Fehlerstellen in einer Glasplatte unter anderem ein Tropfen, der durch Aufbringen von Zinn auf die Oberfläche der Glasplatte im Zinnbad der Fertigungsstraße gebildet wurde, in der Glasplatte zurückgebliebene Fremdstoffe, eine stromlinienförmig auslaufende Verdickung, die durch in der Glasplatte verbliebene, fast geschmolzene Fremdstoffe gebildet wurde, und eine Blase, die durch eine in der Glasplatte verbliebene Luftblase gebildet wurde.
Im Gegensatz zu anderen Fehlerstellen kann sich beim sogenannten BTL-Verfahren zur Herstellung von Verbundglas für Kraftfahrzeuge (bei dem erhitzte Glasplatten unter Druck gebogen und laminiert werden) das Flächenmaß eines Tropfens vergrößern. Beispielsweise vergrößert sich ein 0,2 mm · 0,2 mm großer Tropfen beim BTL-Verfahren im Ergebnis auf 0,5 mm · 0,5 mm. Es ist also erforderlich, im Herstellungsprozeß von Glasplatten Tropfen von beispielsweise mehr als 0,2 mm · 0,2 mm Größe zu ermitteln.
Der herkömmliche Fehlerstellendetektor, bei dem zur Ermittlung von Fehlerstellen durchgelassenes Licht verwendet wird, kann jedoch Tropfen von mehr als 0,2 mm · 0,2 mm Größe nicht von mehr als 0,2 mm · 0,2 mm großen Fehlerstellen anderer Art unterscheiden, was Ertragseinbußen zur Folge hat.
Durch die Verwendung des erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektors können die beschriebenen Probleme gelöst werden, weil eine Fehlerstelle als Tropfen identifiziert und ermittelt werden kann.
Fig. 20 ist eine perspektivische Darstellung des Fehlerstellendetektors einer für die Tropfenermittlung geeigneten Tropfenermittlungsvorrichtung bei der zwei Lichtaufnehmer verwendet werden, nämlich ein Lichtaufnehmer D1 für durchgelassenes Licht und ein Lichtaufnehmer D5 für reflektiertes Licht, und der im übrigen denselben Aufbau hat wie der in Fig. 3 gezeigte Fehlerstellendetektor. Gleiche Bauteile sind daher mit denselben Bezugszeichen wie in Fig. 3 bezeichnet.
Ein Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis, der durch Verarbeitung der von Photovervielfacher-Röhren PM1 und PM2 gelieferten elektrischen Signale Fehlerdaten mit Informationen über die Art und die Größe von Fehlerstellen erzeugt, hat, wie in Fig. 21 gezeigt ist, eine Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT1 zur Verarbeitung der von einer Photovervielfacher- Röhre PM1 gelieferten elektrischen Signale und eine Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT5 zur Verarbeitung der von einer Photovervielfacher-Röhre PM5 gelieferten elektrischen Signale. In der Zeichnung sind gleiche Bauteile mit denselben Bezugszeichen wie in Fig. 7 bezeichnet. Die in Fig. 21 gezeigte Fehlerdatenerzeugungs-Einheit CT1 führt jedoch keine Impulsbreitenprüfung aus.
Die die Art und die Größe von Fehlerstellen darstellenden und von diesem Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis gelieferten Fehlerdaten D&sub1;&sub1;, D&sub1;&sub2;, D&sub5;&sub1; und D&sub5;&sub2; werden in dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis in derselben Weise wie oben beschrieben verarbeitet.
In der Datenverarbeitungs-Einrichtung ist zur Beurteilung der Art und der Größe von Fehlerstellen eine Fehlerstellenkennungs-Tabelle gespeichert, mit der das von dem Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreis gelieferte Fehlerstellendiagramm verglichen wird, um die Fehlerstellen nach Art und Größe zu unterscheiden.
Ist eine erkannte Fehlerstelle ein Tropfen, so enthält das Fehlerstellendiagramm zusätzlich zu den Fehlerdaten D&sub1;&sub1; und D&sub1;&sub2; die Fehlerdaten D&sub5;&sub1; und D&sub5;&sub2;, so daß die Datenverarbeitungs-Einrichtung die Fehlerstelle durch Vergleichen des Fehlerstellendiagramms mit der zuvor gespeicherten Fehlerstellenkennungs-Tabelle als Tropfen identifizieren kann.
Da diese Tropfenermittlungsvorrichtung, wie oben beschrieben, zusätzlich zu der Ermittlung der Menge von durchgelassenem Licht auch Änderungen in der Menge von reflektiertem Licht erkennen kann, können durch eine Kombination dieser Ermittlungsergebnisse Tropfen mit großer Genauigkeit ermittelt werden.
Obwohl bei den in den beschriebenen unterscheidenden Fehlerstellendetektoren eingesetzten Lichtaufnehmern Lichtwellenleiter verwendet werden, können Veränderungen in den Wellenformen von aufgenommenem Licht auftreten, die auf Empfindlichkeitsschwankungen von Lichtwellenleitern, den Befestigungswinkel der Lichtempfangsenden von Lichtwellenleitern und den Glättungsgrad der Lichtempfangs-Stirnfläche von Lichtwellenleitern zurückzuführen sind.
Fig. 22(a) zeigt die Wellenform des photoelektrisch umgewandelten durchgelassenen Lichtes, das von dem Lichtaufnehmer D1 empfangen wurde. Da durchgelassenes Licht stets auf den Lichtaufnehmer D1 fällt, hat das während einer Abtastung empfangene durchgelassene Licht die Form eines positiven Impulses zwischen den Zeitpunkten t&sub1; und t&sub2;, wie sie in Fig. 22(a) gezeigt ist. Die tatsächliche Impulsform des aufgenommenen Lichtes könnte jedoch bei Veränderungen des aufgenommenen Lichtes einen unregelmäßigen Verlauf haben, wie in der Zeichnung gezeigt ist. Auch die Lichtaufnehmer D2A, D2B, D3A, D3B, D4A und D4B haben, obwohl sie nur bei Empfang von durchgelassenem und diffusem Licht Impulse liefern, eine Tendenz zur Abgabe solcher verzerrten Impulse, wenn Veränderungen des empfangenen Lichtes auftreten. Sind daher die Impulsformen des von Lichtaufnehmern empfangenen Lichtes unregelmäßig, so verursachen die Lichtaufnehmer teilweise Empfindlichkeitsschwankungen.
Zur Vermeidung solcher Empfindlichkeitsschwankungen empfiehlt es sich, vor der Lichtempfangsfläche des Lichtaufnehmers einen Lichtdiffusor anzuordnen.
Die Fig. 23A und 23B zeigen den Lichtaufnehmer D1 sowie die Lichtaufnehmer D2A und D2B, die alle mit Lichtdiffusoren ausgestattet sind. Fig. 23A ist eine Vorderansicht und Fig. 23B eine Seitenansicht. Bei jedem dieser Lichtaufnehmer D1, D2A und D2B ist vor der Lichtempfangsfläche ein Lichtdiffusor 35 zum Zerstreuen von Licht angeordnet. Der Lichtdiffusor kann aus jedem beliebigen Material bestehen, das Licht zerstreuen kann, wie z. B. einer Mattglasscheibe. Der Lichtdiffusor 35 ist mittels geeigneter Befestigungsglieder fest mit den Lichtaufnehmern D1, D2A und D2B verbunden.
Bei Verwendung eines Lichtaufnehmers der beschriebenen Bauweise fällt das Licht auf den Lichtdiffusor 35, wird von diesem zerstreut und trifft dann auf die Lichtempfangsfläche des jeweiligen Lichtaufnehmers. Da das zerstreute Licht auf die Stirnflächen mehrerer Lichtwellenleiter fällt und das die Lichtwellenleiter verlassende Licht an der Photovervielfacher-Röhre überlagert wird, liefert die Photovervielfacher-Röhre Impulse mit einer Form, die keine Unregelmäßigkeiten aufweist, und daher eine gleichmäßige Impulsform des empfangenen Lichtes. Die von der Photovervielfacher-Röhre PM1 gelieferte gleichmäßige Impulsform ist in Fig. 22(b) gezeigt.
Zu den erläuterten Ausführungsformen wurde der Lichtaufnehmer beschrieben, der das durchgelassene und das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht empfängt. Ein ähnlicher Lichtdiffusor kann an jedem der beiden Lichtaufnehmer D3A und D3B zum Empfang des achsnahen durchgelassenen und diffusen Lichtes und an den beiden Lichtaufnehmern D4A und D4B angeordnet werden, die das achsfernste durchgelassene und diffuse Licht empfangen.
Wie beschrieben, kann der unterscheidende Fehlerstellendetektor, dessen Lichtaufnehmer mit Lichtdiffusoren versehen sind, mit geringeren Empfindlichkeitsschwankungen und großer Genauigkeit Fehlerstellen ermitteln.
Bei dem erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektor fällt ein Laserstrahl schräg auf eine Glasplatte, um, wie beschrieben, Interferenz von Laserstrahlen zu vermeiden. Ändert sich daher die Dicke einer Glasplatte 1 von h&sub1; in h&sub2;, so wird, wie Fig. 24 zeigt, die optische Achse des durchgelassenen Lichtes 27 seitwärts verlagert, wie es durch das Bezugszeichen 27' bezeichnet ist, was zur Folge hat, daß sich die optische Achse des reflektierten Lichtes 28 ebenfalls verlagert, wie es das Bezugszeichen 28' zeigt. Als Folge davon verschlechtert sich die Lichtempfangsempfindlichkeit der Lichtaufnehmer nicht nur für das durchgelassene und das reflektierte Licht, sondern auch für das durchgelassene und diffuse Licht. Um eine solche Verschlechterung der Lichtempfangsempfindlichkeit des unterscheidenden Fehlerstellendetektors zu vermeiden, wird bei dem in den Fig. 3 und 4 gezeigten unterscheidenden Fehlerstellendetektor eine drehbare Parallelspiegel-Baugruppe 25 zur Dickenkorrektur verwendet.
Im folgenden wird eine mit dieser Parallelspiegel-Baugruppe 25 versehene Dickenkorrekturvorrichtung beschrieben.
Fig. 25 zeigt eine Dickenkorrekturvorrichtung zur Verwendung bei dem Lichtaufnehmer für durchgelassenes Licht und bei dem Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht unter Verwendung einer Parallelspiegel-Baugruppe. In der Zeichnung ist der Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht weggelassen
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung ist an einem Ende der Lichtempfangsfläche des Lichtaufnehmers D1 für durchgelassenes Licht eine CCD (ladungsgekoppelter Speicher)-Kamera 36 angeordnet. Eine aus zwei parallel gegenüberliegenden Spiegeln 37 und 38 bestehende Parallelspiegel-Baugruppe 25 ist um eine zu der X-Achse parallele Achse 24 drehbar und in einer Halterung 39 gelagert. Die Drehung der Parallelspiegel-Baugruppe 25 erfolgt durch eine Antriebseinheit 40, wie z. B. einen Motor, der von einer Steuereinheit 41 gesteuert wird, in die ein von der CCD-Kamera 36 geliefertes Lageerkennungssignal eingegeben wird.
Fig. 26A ist eine schematische Darstellung, die die Lichtempfangsfläche der CCD-Kamera 36 zeigt, bei der in der Y-Achsen-Richtung ein eindimensionaler Zeilen-CCD-Sensor 42 von 1024 oder 2048 Bits angeordnet ist. Wenn daher ein Lichtpunkt 43 auf den eindimensionalen Zeilen-CCD-Sensor 42 fällt, erzeugt die CCD-Kamera 36 ein Lageerkennungssignal, das die Position des einfallenden Lichtes in der Y-Achsen- Richtung repräsentiert. Fig. 26B zeigt ein als Lageerkennungssignal von der CCD-Kamera 36 geliefertes Videosignal, das die aktuelle Lage des einfallenden Lichtes in der Y-Achsen-Richtung anzeigt. Geht man im Hinblick auf die Detektionsempfindlichkeit von der Annahme aus, daß die Position in der Y-Achsen-Richtung, in der das Licht auf die Lichtempfangsfläche fallen soll, eine Ausgangslage 44 ist, so ist die aktuelle Lage des einfallenden Lichtes in bezug auf die Ausgangslage 44 verschoben.
Fig. 27 ist ein Hilfsdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise der Parallelspiegel-Baugruppe, bei der zwei Spiegel 37 und 38 parallel gegenüberliegend angeordnet und von einer Halterung 39 derart um die Achse 24 drehbar gelagert sind, daß sie ihre relative Lage beibehalten. Geht man von der Annahme aus, daß die beiden Spiegel 37 und 38 in Lagen 37a und 38a angeordnet sind, wie es in Fig. 27 gezeigt ist, so wird ein von einem rotierenden multiplanaren Spiegel 23 ausgehender Laserstrahl 26 zuerst von dem Spiegel 37 und dann von dem Spiegel 38 reflektiert und fällt entlang einer optischen Achse 26a auf eine Glasplatte 1. Wird die Parallelspiegel-Baugruppe aus dieser Lage nach links gedreht, um die beiden Spiegel in Lagen 37b und 38b zu bringen, so tritt der auf die Parallelspiegel-Baugruppe 25 fallende Laserstrahl 26 entlang einer optischen Achse 26b aus. Durch Drehen der Parallelspiegel-Baugruppe 25 in dieser Weise kann der Strahlengang des auf die Glasplatte 1 fallenden Laserstrahles 26 verschoben werden. Wenn sich also die Dicke einer Glasplatte 1 während der Prüfung ändert, so kann die Stelle, an der das durchgelassene Licht 27 auf den Lichtaufnehmer D1 fällt, durch Drehen der Parallelspiegel- Baugruppe 25 korrigiert werden.
Wenn sich die Dicke der Glasplatte 1 während der Prüfung ändert, so verschiebt sich bei der in Fig. 25 gezeigten Dickenkorrekturvorrichtung der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes 27, wie oben beschrieben. Fällt das durchgelassene Licht, dessen Strahlengang verschoben ist, auf die CCD-Kamera 36, so erkennt die CCD-Kamera die aktuelle Lage des durchgelassenen Lichtes 27 und gibt das Ermittlungsergebnis in die Steuereinheit 41 ein. Die Steuereinheit 41 errechnet den Betrag und die Richtung der Verschiebung der aktuellen Lage des durchgelassenen Lichtes 27 in bezug auf die Ausgangslage und steuert die Antriebseinheit 40, um die Parallelspiegel-Baugruppe 25 zu drehen, so daß das durchgelassene Licht 27 auf die der Ausgangslage des Lichtaufnehmers D1 entsprechende Stelle fällt.
Unter Bezugnahme auf ein in Fig. 28 gezeigtes Flußdiagramm wird die Funktionsweise der Steuereinheit 41 näher beschrieben. Die Steuereinheit 41 liest die aktuelle Lage auf der Grundlage des von der CCD-Kamera 36 gelieferten Lageerkennungssignals (SCHRITT ). Dann errechnet die Steuereinheit 41 die Differenz zwischen der aktuellen Lage und der Ausgangslage (aktuelle Lage - Ausgangslage) (SCHRITT ) und ermittelt den Absolutwert der Differenz und gleichzeitig dessen positives/negatives Vorzeichen (SCHRITT ).
Die positive Differenz zeigt an, daß das durchgelassene Licht 27 von der Ausgangslage 44 aus nach rechts verschoben ist, während die negative Differenz anzeigt, daß das durchgelassene Licht 27 von der Ausgangslage 44 aus nach links verschoben ist.
Danach vergleicht die Steuereinheit 41 den Absolutwert der Differenz mit dem zuvor in der Steuereinheit 41 eingestellten Maximalwert (MAX) (SCHRITT ). Ist der Absolutwert der Differenz größer als der Maximalwert, so erzeugt die Steuereinheit 41 eine Fehleranzeige, die besagt, daß beispielsweise die CCD-Kamera defekt ist, und führt keine Dickenkorrektur aus (SCHRITT ). Ist der Absolutwert der Differenz kleiner als der Maximalwert, so vergleicht die Steuereinheit 41 den Absolutwert der Differenz weiterhin mit dem Minimalwert (MIN) (SCHRITT ). Ist der Absolutwert der Differenz kleiner als der Minimalwert, so entscheidet die Steuereinheit 41, daß die Verschiebung zu gering für eine Korrektur ist, gibt kein Steuersignal aus und kehrt zu SCHRITT zurück. Ist der Absolutwert der Differenz größer als der Minimalwert, so liefert die Steuereinheit 41 ein Steuersignal an die Antriebseinheit 40 (SCHRITT ). Dieses Steuersignal enthält Informationen über den Absolutwert der Differenz, d. h. den Betrag der Verschiebung der aktuellen Lage des durchgelassenen Lichtes 27 in bezug auf die Ausgangslage, und über das positive/negative Vorzeichen der Differenz, d. h. die Richtung, in der das durchgelassene Licht in bezug auf die Ausgangslage verschoben ist. Die Antriebseinheit 40 dreht die Parallelspiegel-Baugruppe 25 aufgrund des von der Steuereinheit 41 gelieferten Steuersignals, so daß das durchgelassene Licht 27 auf die der Ausgangslage 44 entsprechende Stelle fällt.
Mit Hilfe der Dickenkorrekturvorrichtung der beschriebenen Bauweise kann der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes selbst bei einer Dickenänderung der Glasplatte dadurch konstant gehalten werden, daß zwischen dem rotierenden multiplanaren Spiegel und der Glasplatte eine Parallelspiegel- Baugruppe angeordnet und die Parallelspiegel-Baugruppe gedreht wird, um den Strahlengang des auf die Glasplatte fallenden Laserstrahles zu verändern. Ändert sich der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes nicht, so bleibt auch der Strahlengang des durchgelassenen und diffusen Lichtes unverändert. Folglich vermindert sich die Lichtempfangsempfindlichkeit des Lichtaufnehmers für durchgelassenes Licht und des Lichtaufnehmers für durchgelassenes und diffuses Licht nicht. Auf diese Weise kann eine hohe Detektionsempfindlichkeit des unterscheidenden Fehlerstellendetektors aufrechterhalten werden.
Obwohl bisher eine Dickenkorrekturvorrichtung unter Verwendung einer Parallelspiegel-Baugruppe beschrieben wurde, läßt sich dieselbe Wirkung durch Bewegen eines aus einer Laserlichtquelle und einem rotierenden multiplanaren Spiegel bestehenden Lichtprojektors erzielen, der anstelle einer Parallelspiegel-Baugruppe verwendet wird. Fig. 29 zeigt eine auf diesem Prinzip beruhende Dickenkorrekturvorrichtung. Ein Lichtprojektor mit einer Laserlichtquelle 21 und einem rotierenden multiplanaren Spiegel 23 ist als Einheit in einer Lichtprojektor-Halterung 45 gelagert, die parallel zur Y-Achse bewegbar ist. Wie bei der in Fig. 25 gezeigten Dickenkorrekturvorrichtung hat diese Dickenkorrekturvorrichtung eine am Ende des Lichtaufnehmers D1 angeordnete CCD-Kamera 46, eine Steuereinheit 47 zur Ausgabe eines Steuersignals aufgrund des von der CCD-Kamera 46 gelieferten Lageerkennungssignals zur Erfassung von durchgelassenem Licht und eine Antriebseinheit 48 zum Antrieb der Halterung 45 aufgrund des von der Steuereinheit 47 gelieferten Steuersignals. Die Funktionsweise dieser Bauteile entspricht der der in Fig. 25 gezeigten Dickenkorrekturvorrichtung. Ändert sich die Dicke einer Glasplatte 1 von h&sub1; in h&sub2;, wie in der Zeichnung gezeigt ist, so wird der gesamte Lichtprojektor in der Y-Achsen-Richtung bewegt, so daß das einfallende Licht 26 entlang des durch eine strichlierte Linie 26' bezeichneten Strahlenganges auf die Glasplatte 1 fällt.
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung wird der Lichtprojektor bewegt, doch kann statt dessen auch der Lichtaufnehmer bewegt werden. Fig. 30 zeigt eine auf diesem Prinzip beruhende Dickenkorrekturvorrichtung. Zur Vermeidung von Unklarheiten ist der Lichtaufnehmer für das durchgelassene und diffuse Licht in der Zeichnung weggelassen.
Ein Lichtaufnehmer für durchgelassenes Licht und ein Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht sind als Einheit in einer Lichtaufnehmer-Halterung 55 gelagert, die parallel zur Y-Achse bewegbar ist. Diese Dickenkorrekturvorrichtung hat eine am Ende eines Lichtaufnehmers D1 angeordnete CCD-Kamera 56 sowie eine Steuereinheit 57, die aufgrund des von der CCD-Kamera gelieferten Lageerkennungssignals zur Detektion von durchgelassenem Licht ein Steuersignal ausgibt, und eine Antriebseinheit 58 zum Antrieb der Halterung 55. Die Funktionsweise dieser Bauteile ist die gleiche wie die der in den Fig. 25 und 29 gezeigten Dickenkorrekturvorrichtungen. Ändert sich die Dicke einer Glasplatte 1 von h&sub1; in h&sub2;, wie in der Zeichnung gezeigt ist, und verschiebt sich der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes 27, wie durch eine strichlierte Linie 27' dargestellt, so wird der gesamte Lichtaufnehmer von der Antriebseinheit 58 in der Y-Achsen-Richtung bewegt, so daß das durchgelassene Licht auf die der Ausgangslage des Lichtaufnehmers D1 entsprechende Stelle fällt.
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung wird der Lichtaufnehmer selbst bewegt, doch kann auch ein rotierender Lichtumlenkspiegel zwischen dem Lichtaufnehmer und der Glasplatte angeordnet werden und der Lichtaufnehmer stationär bleiben, so daß der Strahlengang durch Drehen des Spiegels zu verändern ist. Fig. 31 zeigt eine auf diesem Prinzip beruhende Dickenkorrekturvorrichtung. Der Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht ist in der Zeichnung weggelassen. In dem Strahlengang des von einer Glasplatte 1 kommenden durchgelassenen sowie des durchgelassenen und diffusen Lichtes ist ein um eine parallel zur X-Achse verlaufende Achse drehbarer Spiegel 65 angeordnet, um diese Lichtstrahlen zur Umlenkung ihres Strahlenganges zu reflektieren. In dem Strahlengang des von dem Spiegel 65 reflektierten Lichtes ist ein Lichtaufnehmer angeordnet. Ein Lichtumlenkspiegel 65 ist in der Halterung 63 drehbar gelagert.
Wie die beschriebenen Dickenkorrekturvorrichtungen hat diese Dickenkorrekturvorrichtung eine CCD-Kamera 66, die am Ende eines Lichtaufnehmers D1 angeordnet ist, eine Steuereinheit 67 zur Ausgabe eines Steuersignals aufgrund des von der CCD-Kamera gelieferten Lageerkennungssignals zur Detektion von durchgelassenem Licht und eine Antriebseinheit 68 zum Drehen eines Lichtumlenkspiegels 65 aufgrund des von der Steuereinheit 67 gelieferten Steuersignals. Die Funktionsweise dieser Bauteile ist dieselbe wie die der schon beschriebenen Dickenkorrekturvorrichtungen. Ändert sich die Dicke einer Glasplatte 1 von h&sub1; in h&sub2;, wie in der Zeichnung gezeigt ist, und verschiebt sich der Strahlengang des durchgelassenen Lichtes 27, wie durch eine strichlierte Linie 27' dargestellt, so wird der Lichtumlenkspiegel 65 von der Antriebseinheit 68 derart gedreht, daß das durchgelassene Licht auf die der Ausgangslage des Lichtaufnehmers D1 entsprechende Stelle fällt.
Die beschriebenen Dickenkorrekturvorrichtungen sind zur Dickenkorrektur von Glasplatten für die Lichtaufnehmer von durchgelassenem sowie durchgelassenem und diffusem Licht bestimmt, doch ist eine Dickenkorrektur auch für den Lichtaufnehmer von reflektiertem Licht erforderlich. Fig. 32 ist eine schematische Darstellung einer hierfür geeigneten Dickenkorrekturvorrichtung. Diese Dickenkorrekturvorrichtung hat einen Lichtaufnehmer D5 zur Aufnahme von reflektiertem Licht 28, der in einer parallel zur Y-Achse bewegbaren Halterung 83 gelagert ist, eine am Ende des Lichtaufnehmers D5 angeordnete CCD-Kamera 84, eine Steuereinheit 85 zur Ausgabe eines Steuersignals aufgrund des von der CCD-Kamera 84 gelieferten Lageerkennungssignals zur Detektion von reflektiertem Licht und eine Antriebseinheit 86 zum Antrieb einer Halterung 83 aufgrund des von der Steuereinheit 85 gelieferten Steuersignals. Die Funktionsweise dieser Bauteile ist dieselbe wie die der schon beschriebenen Dickenkorrekturvorrichtungen. Ändert sich die Dicke einer Glasplatte 1 von h&sub1; in h&sub2;, wie in der Zeichnung gezeigt ist, und verschiebt sich der Strahlengang des reflektierten Lichtes, wie durch eine strichlierte Linie 28' dargestellt, so wird der Lichtaufnehmer D5 von der Antriebseinheit 86 in der Y-Achsen-Richtung bewegt, so daß das reflektierte Licht auf die der Ausgangslage des Lichtaufnehmers D5 entsprechende Stelle fällt.
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung wird ein Lichtaufnehmer D5 mit Lichtwellenleitern verwendet, der eine äußerst schmale Lichtempfangsfläche hat, doch ist der Einsatz eines solchen Lichtaufnehmers mit Lichtwellenleitern für Lichtaufnehmer von durchgelassenem sowie von durchgelassenem und diffusem Licht unerläßlich, die mit Rücksicht auf den effektiven Lichtaufnahmewinkel nahe nebeneinander angeordnet werden müssen. Bei einem Lichtaufnehmer für reflektiertes Licht kann dagegen eine Diffusorkammer (Kondensorkammer) mit einer breiten Lichtempfangsfläche verwendet werden. In den Fig. 33A und 33B ist eine Dickenkorrekturvorrichtung unter Verwendung einer solchen Diffusorkammer gezeigt.
Diese Dickenkorrekturvorrichtung hat eine CCD-Kamera 93, die am Ende eines mit Diffusorkammer versehenen Lichtaufnehmers D5 für reflektiertes Licht angeordnet ist, und vor dem Lichtaufnehmer D5 befindet sich eine Maske 95 mit einem in X-Achsen-Richtung verlaufenden Schlitz 94. Diese Maske ist derart angeordnet, daß sie sich parallel zu der Vorderfläche des Lichtaufnehmers D5 in zur X-Achsen-Richtung senkrechter Richtung bewegen kann. Fig. 33A ist eine schematische Darstellung des Lichtaufnehmers D5 in X-Achsen- Richtung gesehen, und Fig. 33B ist eine schematische Darstellung des Lichtaufnehmers D5 von der Maske aus gesehen.
Wie die beschriebenen Dickenkorrekturvorrichtungen hat auch diese Dickenkorrekturvorrichtung eine Steuereinheit 96 zur Ausgabe eines Steuersignals aufgrund des von einer CCD-Kamera 93 gelieferten Lageerkennungssignals zur Detektion von reflektiertem Licht und eine Antriebseinheit 97 zum Antrieb einer Maske 95 aufgrund des von der Steuereinheit 96 gelieferten Steuersignals.
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung ermittelt eine CCD-Kamera 93 die Lage, in der reflektiertes Licht 28 auf einen Lichtaufnehmer D5 fällt, und sendet ein Erkennungssignal bezüglich der aktuellen Lage an eine Steuereinheit 96. Die Steuereinheit 96 steuert eine Antriebseinheit 97, die eine Maske 95 derart bewegt, daß das reflektierte Licht 28 durch einen Schlitz 94 der Maske 95 auf den Lichtaufnehmer D5 fällt. Demzufolge kann selbst im Falle einer Verschiebung des Strahlenganges des reflektierten Lichtes 28 bei einer Dickenänderung einer Glasplatte 1 das reflektierte Licht zu dem Lichtaufnehmer gelangen, weil die Maske entsprechend der Verschiebung des Strahlenganges bewegt wird.
Bei dieser Dickenkorrekturvorrichtung wird das reflektierte Licht durch den Schlitz der Maske aufgenommen, doch kann auch eine andere Anordnung gewählt werden, um nur reflektiertes und diffuses Licht zu erfassen.
Bisher wurden die einzelnen Ausführungsbeispiele der Dickenkorrekturvorrichtung beschrieben. Die Vorrichtung zur Ermittlung der Stelle, an der durchgelassenes Licht oder reflektiertes Licht auf einen Lichtaufnehmer fällt, beschränkt sich nicht auf eine CCD-Kamera, sondern es können auch andere Lageerkennungsdetektoren verwendet werden.
Wenn sich bei dem erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektor die Lichtübertragung in Abhängigkeit von der Dicke, Farbe, etc. eines lichtdurchlässigen Flachmaterials, z. B. einer Glasplatte, während der Prüfung ändert, die Ausgangsleistung einer Laserlichtquelle schwankt oder die Empfindlichkeit einer Photovervielfacher-Röhre nachläßt, ist es erforderlich, die Detektionsempfindlichkeit konstant zu halten, um die Genauigkeit der Fehlerstellenermittlung zu gewährleisten. Ein hierfür geeignetes Verfahren ist die automatische Empfindlichkeits- oder Verstärkungsregelung der Photovervielfacher-Röhre. Dabei fällt während einer Abtastung ständig durchgelassenes Licht und reflektiertes Licht auf Lichtaufnehmer D1 und D5, unabhängig davon, ob sich in einer Glasplatte eine Fehlerstelle befindet oder nicht, und von den Photovervielfacher-Röhren PM1 und PM5 wird ständig ein elektrisches Signal geliefert. Es ist daher einfach, den Pegel des Teiles eines elektrischen Signals zu ermitteln, der nicht einer Fehlerstelle entspricht, um eine automatische Verstärkungsregelung (AGC) zur Konstanthaltung des Signalpegels durchzuführen. Zur Durchführung der automatischen Regelung der Empfindlichkeit dieser Photovervielfacher-Röhren ist jedoch eine speziell ausgebildeter automatischer Verstärkungsregler erforderlich, weil die Lichtaufnehmer D2A und D2B zur Ermittlung des achsnächsten durchgelassenen und diffusen Lichtes, die Lichtaufnehmer D3A und D3B zur Ermittlung des achsnahen durchgelassenen und diffusen Lichtes und die Lichtaufnehmer D4A und D4B zur Ermittlung des achsfernsten durchgelassenen und diffusen Lichtes durchgelassenes und diffuses Licht nur empfangen, wenn sich eine Fehlerstelle in einer Glasplatte befindet, und die Photovervielfacher- Röhren PM2, PM3 und PM4 folglich nur in diesem Fall elektrische Signale liefern.
Die Fig. 34A, 34B, 35 und 36 sind schematische Darstellungen eines Ausführungsbeispieles eines solchen automatischen Verstärkungsreglers. Die Fig. 34A und 34B zeigen den Lichtaufnahmeteil der Lichtaufnehmer D1, D2A, D2B, D3A, D3B, D4A und D4B des automatischen Verstärkungsreglers zur Aufnahme von durchgelassenem Licht sowie durchgelassenem und diffusem Licht; Fig. 34A ist eine schematische Darstellung des Lichtaufnahmeteiles aus der Y-Achsen-Richtung gesehen, und Fig. 34B ist eine schematische Darstellung des Lichtaufnahmeteiles von der Seite der Lichtempfangsfläche aus gesehen. In Fig. 34A ist ein Lichtaufnehmer des Ausführungsbeispieles mit dem Bezugszeichen D bezeichnet. Das Bezugszeichen 23 betrifft in der Zeichnung einen rotierenden multiplanaren Spiegel; 26 einen Laserstrahl; und 100 sowie 101 einen Lichtaufnehmer bzw. einen Lichtwellenleiter für einen Startimpuls ST. Die Laserlichtquelle und die Parallelspiegel-Baugruppe sind in der Zeichnung nicht gezeigt.
Dieser automatische Verstärkungsregler hat eine Lichtstreuscheibe 102 aus Mattglas, die oberhalb des Bereiches nahe einem Ende eines Lichtaufnehmers D1 in dessen Längsrichtung, unterhalb einer zu prüfenden Glasplatte und außerhalb eines effektiven Abtastbereiches L angeordnet ist.
Wenn durchgelassenes Licht, das während einer Abtastung ständig auf den Lichtaufnehmer D1 fällt, auf die Lichtstreuscheibe 102 trifft, fällt das diffuse Licht auf die Lichtaufnehmer D2A, D2B, D3A, D3B, D4A und D4B. Das zum Zwecke der automatischen Verstärkungsregelung erfaßte Licht wird im folgenden Referenzlicht genannt.
Fig. 35 ist ein Blockschaltbild, das den elektrischen Schaltkreis dieses automatischen Verstärkungsreglers zeigt. Im folgenden wird ein erfindungsgemäßer elektrischer Schaltkreis für eine Photovervielfacher-Röhre PM2 zur Umwandlung des von den Lichtaufnehmern D2A und D2B auf genommenen, achsnächsten durchgelassenen und diffusen Lichtes beschrieben. Dieser elektrische Schaltkreis hat eine Abtastschaltung 103 zum Abtasten eines elektrischen Signals, das dem von der Photovervielfacher-Röhre PM2 gelieferten Referenzlicht entspricht, einen Haltestromkreis 104 zum Halten eines abgetasteten Wertes, und einen Steuerkreis 105 zur Steuerung eines Hochspannungsgenerators 106, der aufgrund des von dem Haltestromkreis gelieferten abgetasteten Wertes eine an die Photovervielfacher-Röhre PM2 anzulegende Spannung erzeugt.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf ein in Fig. 36 gezeigtes Signal-Impulsform-Diagramm die Funktionsweise dieses automatischen Verstärkungsreglers beschrieben.
In Fig. 34A wird von der Annahme ausgegangen, daß ein Lichtpunkt eine Glasplatte 1 von links nach rechts in der X-Achsen-Richtung abtastet. Wenn das Licht auf die Lichtstreuscheibe 102 auftrifft, fällt Referenzlicht auf die Lichtaufnehmer D2A und D2B für achsnächstes durchgelassenes und diffuses Licht. Das Referenzlicht wird an die Photovervielfacher-Röhre PM2 weitergeleitet und in ein Referenzlichtsignal RS umgewandelt. Fig. 36(a) zeigt das in einem Ausgangssignal der Photovervielfacher-Röhre PM2 enthaltene Referenzlichtsignal RS. Der Pegel des Referenzlichtsignals RS ist von der Lichtdurchlässigkeit der Glasplatte 1, der Änderung der Ausgangsleistung der Laserlichtquelle und der Empfindlichkeit der Photovervielfacher-Röhre abhängig. Das von der Photovervielfacher-Röhre PM2 gelieferte elektrische Signal wird sowohl an den Fehlerdatenerzeugungs-Schaltkreis als auch an die Abtastschaltung 103 weitergeleitet.
In die Abtastschaltung 103 werden der oben beschriebene Startimpuls ST, der den Beginn der Abtastung anzeigt, und dieselbe Taktimpuls-Reihe CLK eingegeben, die auch in den X-Achsen-Zähler eines Fehlerdatenerfassungs-Schaltkreises eingegeben wird. Der Startimpuls ST ist in Fig. 36(b) und die Taktimpuls-Reihe CLK in Fig. 36(c) gezeigt. Das Referenzlichtsignal RS wird während einer anderen Periode als der effektiven Abtastperiode erzeugt, die mit dem Zeitpunkt der Erzeugung des Startimpulses ST beginnt. In der Abtastschaltung 103 werden aufgrund des Startimpulses ST die Taktimpulse CLK gezählt, und das Referenzlichtsignal RS wird unter Verwendung eines als Abtastimpuls dienenden vorgegebenen Taktimpulses CLK abgetastet. Der abgetastete Wert wird in dem Haltestromkreis 104 gehalten. Der in dem Haltestromkreis 104 gehaltene abgetastete Wert wird in den Steuerschaltkreis 105 eingegeben. In dem Steuerschaltkreis 105 wird durch Vergleichen des abgetasteten Wertes mit dem Bezugspegel und durch Steuern der in dem Hochspannungsgenerator 106 erzeugten und an die Photovervielfacher-Röhre PM2 angelegten Spannung die Empfindlichkeit der Photovervielfacher-Röhre PM2 eingestellt, so daß der Pegel des Referenzlichtsignals RS stets einen vorgegebenen Wert beibehält.
Bei dem beschriebenen automatischen Verstärkungsregler wird die Detektionsempfindlichkeit des unterscheidenden Fehlerstellendetektors durch einen Lichtdiffusor konstant gehalten, der am Ende des Lichtaufnehmers angeordnet ist und bewirkt, daß das Referenzlicht auf den Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht fällt, sowie durch Steuern der Empfindlichkeit der Photovervielfacher-Röhre, so daß der Pegel des Referenzlichtes einen vorgegebenen Wert beibehält.
Bei dem beschriebenen automatischen Verstärkungsregler ist ein Lichtdiffusor unter einer zu prüfenden Glasplatte angeordnet; der Lichtdiffusor kann jedoch auch über der Glasplatte oder an der Seite angeordnet sein, an der ein Lichtpunkt mit dem Abtasten beginnt.
Im folgenden wird ein weiteres Ausführungsbeispiel des automatischen Verstärkungsreglers beschrieben. Bei diesem automatischen Verstärkungsregler werden zum Erfassen von Referenzlicht anstelle des Lichtdiffusors ein Lichtaufnehmer und ein Lichtwellenleiter verwendet. Die Fig. 37A und 37B zeigen solche Ausführungsbeispiels, bei denen das Referenzlicht beispielsweise in der Photovervielfacher-Röhre PM2 erfaßt wird; Fig. 37A ist eine schematische Darstellung in der y-Achsen-Richtung und Fig. 37B eine schematische Darstellung in der X-Achsen-Richtung.
Bei diesem automatischen Verstärkungsregler ist ein Lichtaufnehmer 110 über einer Glasplatte 1 und außerhalb des effektiven Abtastbereiches L eines Abtast-Lichtpunktes angeordnet; ein Ende eines Lichtwellenleiters 111 ist mit dem Lichtaufnehmer verbunden, und sein anderes Ende ist nahe der Oberfläche der Glasplatte 1 angeordnet. Unter der Glasplatte 1 befindet sich ein weiterer Lichtwellenleiter 112, dessen eines Ende nahe der Unterfläche der Glasplatte 1 derart angeordnet ist, das es dem anderen Ende des Lichtwellenleiters 111 gegenüberliegt, und dessen anderes Ende an die Photovervielfacher-Röhre PM2 für das achsnächste durchgelassene und diffuse Licht angeschlossen ist.
Bei diesem automatischen Verstärkungsregler wird Referenzlicht von dem Abtastlicht 26 über die Lichtwellenleiter 111 und 112 in die Photovervielfacher-Röhre PM2 geleitet. Eine elektrische Schaltung zur Konstanthaltung des Referenzlichtpegels in einer vorgegebenen Höhe ist nicht dargestellt, weil sie der des schon beschriebenen automatischen Verstärkungsreglers entspricht und gleiche Funktionen hat.
Fig. 38 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des automatischen Verstärkungsreglers, bei dem als Vorrichtung zum Erfassen von Referenzlicht außerhalb des effektiven Abtastbereiches L des Abtastlichtes und oberhalb einer Glasplatte 1 ein Spiegel 113 angeordnet ist. Das von dem Spiegel 113 reflektierte Abtastlicht fällt als Referenzlicht auf einen Lichtaufnehmer für durchgelassenes und diffuses Licht, und aufgrund dieses Referenzlichtes wird die automatische Verstärkungsregelung einer Photovervielfacher-Röhre in derselben Weise durchgeführt, wie sie im Zusammenhang mit Fig. 35 beschrieben ist.

Industrielle Anwendungsmöglichkeiten

Mit dem erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektor können Fehlerstellen auf der Oberfläche und innerhalb eines lichtdurchlässigen Flachmaterials ermittelt und Art und Größe der Fehlerstellen mit großer Genauigkeit und hoher Geschwindigkeit erkannt werden. Auf diese Weise kann das Entstehen von Fehlerstellen am Ort der Verursachung vermieden und der Produktionsertrag durch Rückführen der Ermittlungsergebnisse in den Glasplatten-Herstellungsprozeß verbessert werden.
Durch Verwendung des erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektors können große oder kleine Fehlerstellen mit großer Genauigkeit ermittelt und abgelängte Glasplatten nach hohen und niedrigen Güteklassen sortiert werden. Dadurch wird eine Ertragsverbesserung beim Aussortieren von Glasplatten erzielt.
Durch Verwendung des erfindungsgemäßen unterscheidenden Fehlerstellendetektors läßt sich außerdem eine Ertragsverbesserung beim Auswählen von abgelängten Glasplatten für Kraftfahrzeug-Windschutzscheiben erzielen, die im Sichtbereich aus hochwertigem und an der Peripherie aus minderwertigem Material bestehen.

Claims

1. Einrichtung zur Ermittlung und Unterscheidung von Fehlerstellen an lichtdurchlässigem Flachmaterial, mit einem Lichtpunkt-Abtaster (11) zum Abtasten eines bewegten lichtdurchlässigen Flachmaterials (1) mit einem Lichtpunkt; einem Lichtempfänger (12) mit mehreren Lichtaufnehmern, von denen jeder eine der folgenden, im übertragenen Licht enthaltenen Lichtarten aufnimmt, nämlich übertragenes und diffuses Licht, reflektiertes Licht sowie reflektiertes und diffuses Licht von dem mit dem Lichtpunkt abgetasteten lichtdurchlässigen Flachmaterial; einem photoelektrischen Wandler (13), der aus mehreren einzelnen photoelektrischen Wandlern besteht, von denen jeder an einen zugehörigen Lichtaufnehmer angeschlossen ist, um von dem zugehörigen Lichtaufnehmer empfangenes Licht in ein elektrisches Signal umzuwandeln; einem Fehlerdaten-Erzeuger (14) zum Verarbeiten der elektrischen Signale von dem photoelektrischen Wandler und zur Erzeugung von Fehlerdaten, die Informationen über die Art und den Umfang von Fehlerstellen in dem lichtdurchlässigen Flachmaterial enthalten;

einem Fehlerdaten-Erfasser (15) zum Erfassen der von dem Fehlerdaten-Erzeuger gelieferten Fehlerdaten, Kombinieren und Verarbeiten der erfaßten Fehlerdaten zur Erstellung eines Fehlerstellenmusters mit Angaben über die Art und den Umfang von Fehlerstellen und von Fehlerlokalisierungsdaten;

einer Datenverarbeitung (17) zum Vergleichen des Fehlerstellenmusters mit einer zuvor gespeicherten Tabelle zur Unterscheidung von Fehlerstellenmustern (16), um Unterscheidungen von Fehlerstellen mindestens nach Art und Umfang und von Fehlerlokalisierungen aufgrund der Fehlerlokalisierungsdaten vorzunehmen; wobei mindestens diejenigen Lichtaufnehmer (D1, D2, D3, D4), die entweder übertragenes Licht oder übertragenes und diffuses Licht aufnehmen, mehrere Lichtleiter-Fasern aufweisen, deren eine Enden zur Bildung einer Lichtempfangsfläche in einer Reihe angeordnet sind, und deren andere Enden an den photoelektrischen Wandler (13) angeschlossen sind.

2. Einrichtung zur Ermittlung und Unterscheidung von Fehlerstellen an lichtdurchlässigem Flachmaterial nach Anspruch 1, bei der der Fehlerdaten-Erfasser (15) folgende Merkmale aufweist:

einen ersten Zähler (71), der eine erste Impulsfolge bezüglich der Lokalisierung des lichtdurchlässigen Flachmaterials in zur Transportrichtung senkrechter Richtung in der Ebene des Flachmaterials zählt, und der zum Zeitpunkt der Fehlerdatenerfassung einen Zählwert ausgibt;

einen zweiten Zähler (74), der eine zweite Impulsfolge bezüglich der Lokalisierung des lichtdurchlässigen Flachmaterials in dessen Transportrichtung zählt und zum Zeitpunkt der Fehlerdatenerfassung einen Zählwert ausgibt;

eine ODER-Einheit (72), die die erfaßten Fehlerdaten durch Ausführung einer ODER-Verknüpfung für eine Anzahl von Abtastungen summiert und zum Zeitpunkt der Impulserzeugung der zweiten Impulsfolge nach Datentyp sortierte Fehlerdaten ausgibt;

einen Kontinuitäts-Beurteilungsschaltkreis (76), um die nach Datentyp sortierten Fehlerdaten durch Ausführung einer ODER-Verknüpfung zu summieren und die Kontinuität der summierten, nach Datentyp sortierten Fehlerdaten in der Transportrichtung und in der zur Transportrichtung senkrechten Richtung zu beurteilen und einen Fehlerdatenblock zu erstellen; und

einen Pufferspeicher (75) zur vorübergehenden Speicherung der von dem Kontinuitäts-Beurteilungsschaltkreis erstellten Daten.

3. Einrichtung zur Ermittlung und Unterscheidung von Fehlerstellen an lichtdurchlässigem Flachmaterial nach Anspruch 1 mit

einer Dickenkorrekturvorrichtung zum Korrigieren einer Lage, in der in Abhängigkeit von dem Grad der Dickenänderung Licht auf den Lichtaufnehmer fällt, wenn sich die Dicke des lichtdurchlässigen Flachmaterials ändert;

die Dickenkorrekturvorrichtung hat

einen Ortungsdetektor (36, 46, 56, 66, 84, 93) zum Ermitteln einer Lage, in der Licht auf den Lichtaufnehmer fällt;

einen Antrieb (40, 48, 58, 68, 86, 97) zum Antrieb eines angetriebenen Objektes zur Korrektur der Lage, in der einfallendes Licht auf den Lichtaufnehmer fällt; und

eine Steuereinrichtung (41, 47, 57, 67, 85, 96) zum Steuern des Antriebs in Abhängigkeit von der von dem Ortungsdetektor gelieferten Lageinformation.