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DE3867452D1 - Vorrichtung zum erfassen des profilfehlers der oberflaeche eines artikels. - Google Patents

Vorrichtung zum erfassen des profilfehlers der oberflaeche eines artikels.

Info

Publication number
DE3867452D1
DE3867452D1 DE8888108827T DE3867452T DE3867452D1 DE 3867452 D1 DE3867452 D1 DE 3867452D1 DE 8888108827 T DE8888108827 T DE 8888108827T DE 3867452 T DE3867452 T DE 3867452T DE 3867452 D1 DE3867452 D1 DE 3867452D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
article
detecting
profile error
profile
error
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE8888108827T
Other languages
English (en)
Inventor
Junpei Tsujiuchi
Toshio Honda
Zenji Wakimoto
Mitsuo Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TPR Osaka Seimitsu Kikai Co Ltd
Original Assignee
Osaka Seimitsu Kikai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka Seimitsu Kikai Co Ltd filed Critical Osaka Seimitsu Kikai Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE3867452D1 publication Critical patent/DE3867452D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/021Interferometers using holographic techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2416Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures of gears

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE8888108827T 1987-10-30 1988-06-01 Vorrichtung zum erfassen des profilfehlers der oberflaeche eines artikels. Expired - Lifetime DE3867452D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62273492A JP2557911B2 (ja) 1987-10-30 1987-10-30 被検面の形状誤差の光学的検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3867452D1 true DE3867452D1 (de) 1992-02-13

Family

ID=17528657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8888108827T Expired - Lifetime DE3867452D1 (de) 1987-10-30 1988-06-01 Vorrichtung zum erfassen des profilfehlers der oberflaeche eines artikels.

Country Status (4)

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US (1) US4910561A (de)
EP (1) EP0321639B1 (de)
JP (1) JP2557911B2 (de)
DE (1) DE3867452D1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002350128A (ja) * 2001-05-30 2002-12-04 Canon Inc 立体形状計測装置並びに立体形状計測方法および位置合わせ方法
DE10303364A1 (de) * 2003-01-29 2004-08-05 Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co.Kg Vorrichtung zur Bestimmung des Höhenprofils eines Objekts
US20090071278A1 (en) * 2007-09-18 2009-03-19 Hiwin Technologies Corp. Ball screw device having image sensor
DE102011086267A1 (de) * 2011-11-14 2013-05-16 Siemens Aktiengesellschaft System und Verfahren zur Steuerung eines thermografischen Messvorganges
JP6474310B2 (ja) * 2015-05-08 2019-02-27 株式会社ミツトヨ 非接触距離測定方法
FR3043193B1 (fr) * 2015-11-02 2019-04-19 Mesure-Systems3D Dispositif de controle tridimensionnel sans contact d’une piece mecanique a denture
CA3078453A1 (en) * 2017-10-23 2019-05-02 Gleason Metrology Systems Corporation Measurement of toothed articles on a composite machine tester platform utilizing a non-contact sensor
CN112304240A (zh) * 2020-10-19 2021-02-02 西安工程大学 一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路及方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3735036A (en) * 1970-10-26 1973-05-22 Express I M Co Real time interferometry contour mapping system
JPS566550B2 (de) * 1973-01-20 1981-02-12
FR2377608A1 (fr) * 1977-01-17 1978-08-11 Anvar Procede et appareil pour la mesure de standards de longueur
JPS60200112A (ja) * 1984-03-23 1985-10-09 Osaka Seimitsu Kikai Kk 光学的形状誤差検出法
US4624568A (en) * 1985-04-11 1986-11-25 Eaton Corporation Holographic test method for rotational effects on gears

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EP0321639A1 (de) 1989-06-28
EP0321639B1 (de) 1992-01-02
JP2557911B2 (ja) 1996-11-27
JPH01116403A (ja) 1989-05-09
US4910561A (en) 1990-03-20

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