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DE3770965D1 - Verfahren und vorrichtung zur thermoionischen behandlung eines materials in hinsicht auf die veraenderung seiner physicochemischen werte. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur thermoionischen behandlung eines materials in hinsicht auf die veraenderung seiner physicochemischen werte.

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Publication number
DE3770965D1
DE3770965D1 DE8787400351T DE3770965T DE3770965D1 DE 3770965 D1 DE3770965 D1 DE 3770965D1 DE 8787400351 T DE8787400351 T DE 8787400351T DE 3770965 T DE3770965 T DE 3770965T DE 3770965 D1 DE3770965 D1 DE 3770965D1
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DE
Germany
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thermoionic
regard
treating
changing
physicochemical values
Prior art date
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Application number
DE8787400351T
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English (en)
Inventor
Jean Francois Eloy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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DE8787400351T 1986-02-25 1987-02-18 Verfahren und vorrichtung zur thermoionischen behandlung eines materials in hinsicht auf die veraenderung seiner physicochemischen werte. Expired - Lifetime DE3770965D1 (de)

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FR8602568A FR2594853A1 (fr) 1986-02-25 1986-02-25 Procede et dispositif de traitement d'un materiau par effet thermo-ionique en vue d'en modifier ses proprietes physico-chimiques

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EP (1) EP0239432B1 (de)
JP (1) JPS62204843A (de)
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