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DE3770629D1 - Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des wachstums von oberflaechenschichten. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des wachstums von oberflaechenschichten.

Info

Publication number
DE3770629D1
DE3770629D1 DE8787901596T DE3770629T DE3770629D1 DE 3770629 D1 DE3770629 D1 DE 3770629D1 DE 8787901596 T DE8787901596 T DE 8787901596T DE 3770629 T DE3770629 T DE 3770629T DE 3770629 D1 DE3770629 D1 DE 3770629D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
growth
monitoring
surface layers
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE8787901596T
Other languages
English (en)
Inventor
John Robbins
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qinetiq Ltd
Original Assignee
UK Secretary of State for Defence
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB868606748A external-priority patent/GB8606748D0/en
Application filed by UK Secretary of State for Defence filed Critical UK Secretary of State for Defence
Application granted granted Critical
Publication of DE3770629D1 publication Critical patent/DE3770629D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

DE8787901596T 1986-03-19 1987-03-17 Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des wachstums von oberflaechenschichten. Expired - Lifetime DE3770629D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB868606748A GB8606748D0 (en) 1986-03-19 1986-03-19 Monitoring surface layer growth
PCT/GB1987/000187 WO1987005700A1 (en) 1986-03-19 1987-03-17 Method and apparatus for monitoring surface layer growth

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3770629D1 true DE3770629D1 (de) 1991-07-11

Family

ID=26290509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8787901596T Expired - Lifetime DE3770629D1 (de) 1986-03-19 1987-03-17 Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des wachstums von oberflaechenschichten.

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3770629D1 (de)

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