DE3634742A1

DE3634742A1 - PRESSURE SOCKET

Info

Publication number: DE3634742A1
Application number: DE19863634742
Authority: DE
Inventors: Dieter Dipl Phys Dr Seipler; Botho Dipl Phys Dr Ziegenbein
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1986-10-11
Filing date: 1986-10-11
Publication date: 1988-04-21
Also published as: US4973152A

Description

State of the art

Die Erfindung geht aus von einer Druckmeßdose nach der Gattung des Hauptanspruchs. Derartige bekannte Druckmeßdosen eignen sich beson ders zum Messen von Drücken in schwer zugänglichen Räumen, da sie klein bauen und praktisch überall installiert werden können. Ihre Einsatzmöglichkeiten wurden bisher allerdings noch nicht optimal ge nutzt bzw. erkannt.The invention relates to a load cell according to the genus of Main claim. Such known pressure cells are particularly suitable to measure pressures in rooms that are difficult to access because build small and can be installed practically anywhere. Your Applications have not yet been optimally ge uses or recognized.

Advantages of the invention

Die erfindungsgemäße Druckmeßdose mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, sie unter Aus nutzung des physikalischen Prinzips der hydraulischen Presse in einem weiten Kraft-/Druckmeßbereich einsetzen zu können.The load cell according to the invention with the characteristic features The main claim has the advantage over it use of the physical principle of the hydraulic press in to be able to use a wide force / pressure measuring range.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Un teransprüchen.Advantageous embodiments of the invention result from the Un claims.

drawing

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der nachfolgenden Zeichnung und Beschreibung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Druckmeßdose, in Fig. 2 eine Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 1.Two embodiments of the invention are explained in more detail in the following drawing and description. The drawing shows in Fig. 1 a longitudinal section through a pressure cell, in Fig. 2 a modification of the embodiment of FIG. 1st

Description of the embodiments

Bei den in den Fig. 1 und 2 wiedergegebenen Ausführungsbeispielen einer Druckmeßdose ist auf einem Substratplättchen 10, das aus Kera mik, Glas oder einem an seiner Oberseite emaillierten Metallplätt chen besteht, eine Membran 11 angebracht. Die Membran besteht vor zugsweise aus einem keramischen Material, z. B. aus Glaskeramik, das als Paste im Siebdruckverfahren aufgebracht ist. Innerhalb der Mem bran befindet sich eine vorzugsweise im Druck- und Brennverfahren der Dickschichttechnik hergestellte oder aufgedampfte Metallschicht 12. Auf die Herstellung der Membran 11 ist im einzelnen nicht einge gangen, da sie in diesem Fall nicht erfindungswesentlich und im üb rigen aus einer größeren Zahl von Veröffentlichungen bekannt ist, z. B. aus der DE-PS 31 08 300. Die deformierbare Membran 11 bildet einen Teil eines variablen Luftkondensators. Hierzu ist auf der Mem bran eine Leiterbahnfläche 13 aufgebracht, die zusammen mit der Metallschicht 4 einen Kondensator bildet.In the embodiments of a pressure transducer shown in FIGS . 1 and 2, a membrane 11 is attached to a substrate plate 10 , which consists of ceramic, glass or an enameled metal plate on its upper surface. The membrane is preferably made of a ceramic material, eg. B. made of glass ceramic, which is applied as a paste in the screen printing process. Within the membrane is a metal layer 12 which is preferably produced or vapor-deposited in the printing and firing process of thick-film technology. On the manufacture of the membrane 11 is not entered in detail, since in this case it is not essential to the invention and is known from a larger number of publications, for. B. from DE-PS 31 08 300. The deformable membrane 11 forms part of a variable air condenser. For this purpose, a conductor track surface 13 is applied to the membrane, which together with the metal layer 4 forms a capacitor.

Über der Membran 11 ist ein flüssigkeitsdichtes Gehäuse 14 angeord net, insbesondere von zylindrischer Form, das mit einer inkom pressiblen und inerten Flüssigkeit gefüllt ist und von einer Membran 15 verschlossen ist. An der Membran ist eine ringförmige Nut 18 aus gebildet, deren Durchmesser die wirksame Druckfläche F bestimmt. Wirkt von oben eine zu messende Kraft auf die Membran 15, so erhöht sich in der inkompressiblen Flüssigkeit der Druck, wobei die Größe der Druckänderung in weiten Grenzen durch die kreisförmige, nachge bende Membranfläche innerhalb der konzentrischen Nut 16 einstellbar ist. Durch Verkleinern der inneren Membranfläche läßt sich bei gleicher Membran 11 der Kraftmeßbereich zu höheren Werten hin ver schieben. Eine Temperaturkompensation ist mit Hilfe einer Dick schichtschaltung 17 möglich, die ebenfalls auf dem Substratplättchen 10 angeordnet ist. Auf diese Weise ist es möglich, die Einsatzmög lichkeit einer üblichen Druckmeßdose so zu erweitern, daß sie auch zur Kraftmessung verwendet werden kann.About the membrane 11 , a liquid-tight housing 14 is angeord net, in particular of cylindrical shape, which is filled with an incom pressible and inert liquid and is closed by a membrane 15 . An annular groove 18 is formed on the membrane, the diameter of which determines the effective pressure area F. A force to be measured acts on the membrane 15 from above, so the pressure in the incompressible liquid increases, the size of the pressure change being adjustable within wide limits by the circular, resilient membrane surface within the concentric groove 16 . By reducing the inner membrane area, the force measuring range can be shifted to higher values with the same membrane 11 . Temperature compensation is possible with the aid of a thick layer circuit 17 , which is also arranged on the substrate plate 10 . In this way, it is possible to expand the possible use of a conventional pressure cell so that it can also be used to measure force.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 sind im Gehäuse 14 A im Abstand zueinander zwei Membranen 15 und 18 angeordnet, welche beide wieder Ringnuten 16 bzw. 19 von frei wählbarem Durchmesser aufweisen. Auch zwischen den Membranen befindet sich eine Flüssigkeit. Auf diese Weise läßt sich der Drucksensor ebenfalls als Kraftsensor betreiben. Durch das Flächenverhältnis der kreisförmigen Membraninnenflächen, d. h. also der Flächeninhalte der Ringnuten, läßt sich der Druckmeß bereich in weiten Grenzen einstellen, ohne an der Empfindlichkeit der Membran 11 eine Änderung vornehmen zu müssen.In the embodiment of FIG. 2 14 A at a distance to each other two membranes 15 and 18 are arranged in the housing, both having re annular grooves 16 and 19 of freely selectable diameter. There is also a liquid between the membranes. In this way, the pressure sensor can also be operated as a force sensor. Due to the area ratio of the circular membrane inner surfaces, that is, the area of the annular grooves, the pressure measuring range can be set within wide limits without having to make a change to the sensitivity of the membrane 11 .

Claims

1. Load cell with a pressure-dependent deformable membrane ( 11 ) made of ceramic material and in particular in thick-film technology, which is firmly connected to a platelet-shaped substrate made of ceramic, glass or enameled metal ( 10 ) at its edge zone, characterized in that over the membrane a liquid-tight housing ( 14 ) is arranged, which is filled with a compressible and inert liquid and is closed by a flexible body on which the force to be measured acts.

2. Pressure cell according to claim 1, characterized in that the resilient body ( 15 ) is a membrane.

3. Load cell according to claim 1 and / or 2, that the body consists of two membranes ( 15 , 18 ), between which there is also a liquid.

4. Pressure cell according to one of claims 1 to 3, characterized in that concentrically extending expansion grooves ( 16 , 19 ) are formed on the membranes.

5. Pressure cell according to one of claims 1 to 4, characterized in that on the substrate outside the housing ( 14 ) is arranged in a thick-film technology circuit ( 17 ) is arranged, with the aid of which temperature compensation is possible.