DE3607379C1 - Microscope having a focusing drive mechanism which can be motor driven - Google Patents
Microscope having a focusing drive mechanism which can be motor drivenInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Mikroskop gemäß dem Oberbegriff des An spruches 1.The invention relates to a microscope according to the preamble of the saying 1.
Mikroskope besitzen in der Regel einen manuell mit Hilfe zweier koaxial angeordneter Drehknöpfe bewegten Fokussiertrieb, über den entweder der Tisch des Mikroskops oder der die Objektive tragende Revolver in der Höhe verstellt werden können. Diese Betätigungsknöpfe, von denen einer für die Grobverstellung und der andere, auf ein stärker untersetzendes Getriebe wirkende Knopf für die Feinverstellung dient, sind seitlich oft in doppelter Ausführung links und rechts am Mikroskopstativ angebracht.Microscopes usually have one manually with the help of two coaxial Arranged rotary knobs moved focusing drive, via which either the Table of the microscope or the revolver in the Height can be adjusted. These push buttons, one of which for the coarse adjustment and the other, to a more reducing Gear-acting buttons for fine adjustment are often on the side mounted in duplicate on the left and right of the microscope stand.
Es sind auch Mikroskope bekannt, die einen motorisch bewegbaren Fokus siertrieb besitzen. Insbesondere für Mikroskope für Routine-Untersuchun gen z.B. von Produkten der Halbleiterindustrie sind oft mit einem sogenannten "Autofokus" ausgerüstet, der die Schärfenebene der Mikro skopoptik über einen Motor automatisch der Oberfläche des zu unter suchenden Objekts nachführt. Es ist üblich den Motor anstelle der Betätigungsknöpfe an einer Seite des Mikroskops an die Welle des Fokus siertriebs anzusetzen. Zur manuellen Fokuseinstellung dienen dann die verbleibenden Betätigungsknöpfe an der anderen Seite des Mikroskops.Microscopes are also known which have a motor-driven focus own drive. Especially for microscopes for routine examinations against e.g. of products of the semiconductor industry are often with one so-called "autofocus" equipped, the focus of the micro scope optics automatically via a motor to the surface of the under searching object. It is common to use the engine instead of the Control buttons on one side of the microscope to the shaft of focus to set the drive. Then use the for manual focus adjustment remaining control buttons on the other side of the microscope.
Diese Lösung ist jedoch oft ungünstig. So wird z.B. bei der Wafer- oder Maskeninspektion in der Halbleiterindustrie Wert darauf gelegt, daß die Bedienperson den Objekten auf dem Tisch des Mikroskops nicht zu nahe kommt, um die Kontaminationsgefahr mit Staubpartikeln möglichst gering zu halten. Bei derartigen Inspektionsarbeitsplätzen ist das Mikroskop außerdem meist ohnehin in ein Handhabungssystem zur automatischen Probenzuführung eingebaut, so daß die gewohnten Betätigungshandhaben am Mikroskopstativ nur noch schwer oder gar nicht mehr zugänglich sind. However, this solution is often inconvenient. For example, at the wafer or Mask inspection in the semiconductor industry attaches importance to the fact that Operator not too close to the objects on the microscope table comes to minimize the risk of contamination with dust particles to keep. The microscope is at such inspection workplaces also mostly in a handling system for automatic anyway Sample feeder installed, so that the usual handling on Microscope stand are difficult or no longer accessible.
Aus der DE-OS 34 10 201 ist ein Mikroskop mit motorisch bewegtem Fokus siertrieb bekannt, bei dem der Motor über eine magnetisch schaltbare Kupplung und ein Stirnradgetriebe an die Welle angekoppelt ist, die die Betätigungsknöpfe für den Feintrieb an beiden Seiten des Mikroskops verbindet. Am Fuß des Mikroskops ist eine zusätzliche Betätigungshand habe in Form eines Schalters vorgesehen, mit dem der Antriebmotor für den Fokussiertrieb gestartet werden kann und der als Grobtrieb dient. Die Geschwindigkeit der Fokusverstellung richtet sich hier nach der Vergrößerung des verwendeten Objektivs. Dieses bekannte Mikroskop besitzt ebenfalls die vorgenannten Nachteile, da alle Betätigungshand haben, sowohl die Triebknöpfe als auch der Schalter am Mikroskopstativ selbst angeordnet sind.DE-OS 34 10 201 is a microscope with a motor-driven focus Siertrieb known, in which the motor has a magnetically switchable Coupling and a spur gear is coupled to the shaft that the Control buttons for fine adjustment on both sides of the microscope connects. At the foot of the microscope is an additional operating hand have provided in the form of a switch with which the drive motor for the focusing drive can be started and serves as a coarse drive. The speed of the focus adjustment depends on the Magnification of the lens used. This well-known microscope also has the aforementioned disadvantages, since all actuating hand have both the drive buttons and the switch on the microscope stand are arranged themselves.
Aus der DE-OS 33 30 476 ist ein Mikroskop bekannt, dessen Fokussiertrieb durch die digitalen Ausgangssignale einer externen Betätigungshandhabe wie z.B. einer sog. Rollkugel angesteuert wird, die mit einer progres siven Charakteristik in Bezug auf die Geschwindigkeit der Betätigung versehen ist. Durch diese Maßnahme soll der Grobtrieb des Gerätes eingespart werden.From DE-OS 33 30 476 a microscope is known, the focusing drive through the digital output signals of an external operating handle such as. a so-called trackball is controlled, which with a progres sive characteristic in relation to the speed of actuation is provided. With this measure, the coarse drive of the device be saved.
Auch bei diesem Mikroskop sind jedoch alle weiteren Betätigungshandhaben z.B. zur Weiterschaltung des Objektivrevolvers, am Gerät selbst an geordnet.With this microscope, too, however, all other operating procedures are necessary e.g. to advance the nosepiece, on the device itself orderly.
In der EP-OS-01 24 241 ist ein Mikroskop beschrieben, das neben einem motorisch bewegbarem Fokussiertrieb und einer Autofokuseinrichtung auch einen motorisch durchschaltbaren Revolver besitzt. Für die Grob- und Feineinstellung des Fokussiertriebs sind allerdings Schalter vorgesehen, die mit den Schaltern für die Revolververstellung und weiteren Bedien elementen zu einer am Gerät befestigten Eingabeeinheit zusammengefaßt sind. Mit Schaltern läßt sich jedoch keine ausreichend feinfühlige Verstellung des Fokus erzielen. Zwar ist bei dem bekannten Gerät auch die Anschlußmöglichkeit für ein externes Steuergerät vorgesehen; über dessen Aufbau und Bedienelemente ist jedoch nichts gesagt.In EP-OS-01 24 241 a microscope is described, which in addition to a motor-driven focusing drive and an auto focus device too has a revolver that can be switched by motor. For the rough and However, switches are provided for fine adjustment of the focusing drive, the one with the switches for the turret adjustment and other controls elements combined into an input unit attached to the device are. However, switches cannot be sufficiently sensitive Achieve focus adjustment. Although in the known device the connection option for an external control device is provided; about its structure and controls are not said.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bei einem Mikroskop mit motorisch bewegtem Fokussiertrieb und Objektivrevolver die Betätigungs elemente so einzurichten, daß möglichst wenige Handgriffe nötig sind und die Gefahr einer Kontamination oder Beschädigungen der Proben möglichst gering ist. Gleichzeitig soll die gewohnte feinfühlige manuelle Fokus verstellmöglichkeit beibehalten werden.It is the object of the present invention to use a microscope motor-driven focusing drive and nosepiece the actuation to set up elements so that as few steps as possible are necessary and the risk of contamination or damage to the samples if possible is low. At the same time, the usual sensitive manual focus adjustability can be retained.
Diese Aufgabe wird mit den im Kennzeichen des Anspruches 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.This object is achieved with the specified in the characterizing part of claim 1 Measures solved.
Die digitalen Ausgangssignale des Encoders sind der Steuerschaltung für den Motor des Fokussiertriebs zugeführt, die sich z.B. ebenfalls im Bedienpult befindet oder mit weiterer Steuerelektronik für zusätzliche Funktionen in einem dafür vorgesehenen, separaten Steuerteil unterge bracht ist.The digital output signals of the encoder are the control circuit for the motor of the focusing drive, which e.g. also in Control panel is located or with additional control electronics for additional Functions in a dedicated, separate control section is brought.
Mit Hilfe des von einem Handrad oder Drehknopf angetriebenen Encoders ist eine zwar indirekt über den Motor des Fokussiertriebs wirkende, aber dennoch sehr feinfühlige manuelle Einstellung der Fokuslage des Mikro skops möglich, wobei sich aufgrund der digitalen Ausgangssignale des Encoders weitere Vereinfachungen bei der Bedienung des Mikroskops anbieten. So dient das Handrad dazu, die Autofokuseinrichtung des Mikroskops außer Funktion zu setzen, ohne daß vorher ein "Aus"-Taster betätigt werden muß (Anspruch 3). Weiterhin läßt sich zwischen dem Encoder und dem Motor des Fokussiertriebs eine elektronische Übersetzung einbauen, die die Geschwindigkeit der Fokusverstellung abhängig von der Vergrößerung des geraden benutzten Objektivs gestaltet.With the help of the encoder driven by a handwheel or rotary knob is one that acts indirectly via the motor of the focusing drive, but nevertheless very sensitive manual adjustment of the focus position of the microphone skops possible, due to the digital output signals of the Encoders further simplify the operation of the microscope to offer. So the handwheel is used to auto-focus the To put the microscope out of operation without first pressing an "off" button must be operated (claim 3). Furthermore, it can be between the Encoder and the motor of the focusing drive an electronic translation install that the speed of the focus adjustment depending on the Magnification of the straight lens used designed.
Außerdem ist die Gefahr einer Beschädigung der Proben sicher dadurch vermieden, daß der vorgesehene Sensor am Kreuztisch des Mikroskops den Objektivrevolver bei jedem Probenwechsel automatisch in eine vorgegebene Grundposition mit großem Arbeitsabstand dreht, in der sich zweckmäßig ein Übersichtsobjektiv in Arbeitsstellung befindet. In addition, the risk of damaging the samples is thereby certain avoided that the sensor provided on the microscope's cross table Nosepiece automatically changes to a specified one with each sample change Basic position with a large working distance rotates in the appropriate an overview lens is in the working position.
Das Bedienpult kann weitere für die Steuerung der Funktionen des Mikroskops nötige Bedienelemente enthalten, beispielsweise den Ein- bzw. Ausschalter für die Autofokuseinrichtung des Mikroskops, den Schalter zur Betätigung eines motorisch angetriebenen Objektivrevolvers und/oder einen Schalter für die Hellfeld-Dunkelfeldumschaltung der Mikroskopbe leuchtung.The control panel can be used to control the functions of the Microscope contain necessary controls, for example the input or Switch for the autofocus device of the microscope, the switch for actuating a motor-driven nosepiece and / or a switch for the brightfield-darkfield switching of the microscope lighting.
Da das Bedienpult vom eigentlichen Mikroskop entfernt aufgestellt werden kann und viele der oft benötigten Bedienelemente enthält, ist die Gefahr einer Kontamination der zu untersuchenden Proben durch den Beobachter beträchtlich reduziert.Since the control panel is placed away from the actual microscope can and contains many of the often required controls is the danger contamination of the samples to be examined by the observer considerably reduced.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung der Fig. 1-3 der Zeichnungen, in denen ein Ausführungs beispiel dargestellt ist.Further advantages of the invention will become apparent from the following description of FIGS. 1-3 of the drawings, in which an execution example is shown.
Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Mikroskops mit separaten Bedienpult für Steuerung verschiedener Funktionen; Fig. 1 is a perspective view of a microscope with separate control panel for control of various functions;
Fig. 2 stellt das Bedienpult aus Fig. 1 in Aufsicht dar; Fig. 2 shows the control panel of Fig. 1 in supervision;
Fig. 3 ist ein Blockschaltbild der im Steuerteil (30) nach Fig. 1 ent haltenen Steuerelektronik. Fig. 3 is a block diagram of ent in the control part ( 30 ) of FIG. 1 control electronics.
In Fig. 1 ist mit (1) das Stativ eines aufrechten Mikroskops bezeichnet. Dieses Stativ (1) trägt einen Objektivrevolver (2), einen Binokulartubus (3), einen Kreuztisch (5) und weitere, hier nicht nähere zu beschreiben de Teile, die üblicherweise zu einem Mikroskop gehören.In Fig. 1, the stand of an upright microscope is designated by ( 1 ). This tripod ( 1 ) carries a nosepiece ( 2 ), a binocular tube ( 3 ), a cross table ( 5 ) and other parts (not to be described in more detail here) that usually belong to a microscope.
Der Revolver (2) ist mit mehreren Objektiven (4 a-d) unterschiedlichen Abbildungsmaßstabes bestückt, die nacheinander mit Hilfe eines im Innern des Stativs (1) angebrachten Motors eingeschaltet werden können. Mit (4 c) ist ein Übersichtsobjektiv bezeichnet, das einen kleinen Abbil dungsmaßstab, dafür aber einen relativ großen Arbeitsabstand besitzt. The revolver ( 2 ) is equipped with several objectives ( 4 a-d) of different imaging scales, which can be switched on one after the other with the help of a motor mounted inside the stand ( 1 ). With ( 4 c) an overview lens is designated, which has a small image scale, but has a relatively large working distance.
Der Tisch (5) läßt sich außerdem zum Zwecke der Fokussierung in der Höhe verstellen. Als Antrieb für diese Fokussierbewegung dient ein zweiter Motor (6), der anstelle der sonst dort angebrachten Einstellknöpfe an der vom Betrachter aus gesehen rechten Seite des Mikroskops auf die Welle des Fokussiertriebs aufgesetzt ist. Das in Fig. 1 dargestellte Mikroskop ist außerdem mit einer Autofokuseinrichtung versehen (hier nicht dargestellt) wie sie beispielsweise in der DE-OS 33 28 821 be schrieben ist.The table ( 5 ) can also be adjusted in height for the purpose of focusing. A second motor ( 6 ) serves as the drive for this focusing movement, which is placed on the shaft of the focusing drive instead of the adjustment knobs otherwise located there on the right side of the microscope as seen by the viewer. The microscope shown in Fig. 1 is also provided with an autofocus device (not shown here) as described for example in DE-OS 33 28 821 be.
Einige der wichtigsten für das Arbeiten mit dem Mikroskop nötigen Bedienelemente befinden sich in einem neben dem Mikroskop aufgestellten und mit diesem über ein flexibles Kabel verbundenen Bedienpult (7). Das Bedienpult (7) enthält ein Handrad (8) für die Feineinstellung der Fokussierbewegung, einen Wippschalter (10) für die Drehung des Revolvers (2), einen Einschalttaster (11) mit integrierter Kontrollampe für die Autofokuseinrichtung des Mikroskops, eine Kontrollampe (9), deren Funktion noch beschrieben werden wird und, wie aus der Aufsicht nach Fig. 2 hervorgeht, einen weiteren Wippschalter (12) und einen weiteren Taster (13) auf der Rückseite des Bedienpults. Der Wippschalter (12) dient zum schnellen Verfahren des Fokussiertriebs (Grobfokussierung) während der Taster (13) bei Betätigung die von der Steuerschaltung für den Motor (6) des Fokussiertriebs festgelegten Grenzen des Fahrbereichs auf die gerade eingestellte Fokusposition nachführt. Zusätzlich kann am Bedienpult (7) noch ein Schalter für die Hell-Dunkelfeldumschaltung der Mikroskopbeleuchtung vorhanden sein. Wird der Schalter (12) für die Grobfokussierung nicht benötigt, so kann er für die Hell-Dunkelfeldum schaltung herangezogen werden.Some of the most important control elements required for working with the microscope are located in a control panel set up next to the microscope and connected to it via a flexible cable ( 7 ). The control panel ( 7 ) contains a handwheel ( 8 ) for fine adjustment of the focusing movement, a rocker switch ( 10 ) for rotating the turret ( 2 ), a switch ( 11 ) with an integrated control lamp for the autofocus device of the microscope, a control lamp ( 9 ) , whose function will be described and, as can be seen from the supervision according to FIG. 2, a further rocker switch ( 12 ) and a further button ( 13 ) on the back of the control panel. The rocker switch ( 12 ) is used for rapid movement of the focusing drive (coarse focusing) while the pushbuttons ( 13 ), when actuated, track the limits of the travel range determined by the control circuit for the motor ( 6 ) of the focusing drive to the currently set focus position. In addition, a switch for the light-dark field switching of the microscope illumination can be present on the control panel ( 7 ). If the switch ( 12 ) is not required for the rough focusing, it can be used for the light-dark field switching.
Die Steuerschaltungen für die Motoren der Revolverumschaltung und des Fokussiertriebs sind ebenso wie die Steuerschaltung der Autofokusein richtung des Mikroskops in einem separaten Steuerteil (30) unterge bracht, an das das Bedienpult (7) angeschlossen ist.The control circuits for the motors of the turret switch and the focusing drive, like the control circuit of the autofocus device of the microscope, are housed in a separate control part ( 30 ) to which the control panel ( 7 ) is connected.
Das Zusammenwirken der vorstehend aufgezählten Betätigungselemente zur Steuerung des Mikroskops läßt sich am besten anhand des Blockschaltbilds in Fig. 3 erklären. The interaction of the above-mentioned actuating elements for controlling the microscope can best be explained on the basis of the block diagram in FIG. 3.
Der Wippschalter (10) ist mit einer Steuerschaltung (22) für den Motor (19) verbunden, der den Revolver (2) dreht. Mit dem Wippschalter lassen sich die Objektive am Revolver (2) in beiden Richtungen weiterschalten, wobei eine Rückmeldeeinrichtung (29) die Stellung des Revolvers (2) an die Steuerschaltung (22) weitergibt. Die Steuerschaltung (22) ist außerdem mit einem Sensor in Form eines Mikroschalters (20) verbunden, der am Tischträger des Stativs (1) des Mikroskops befestigt ist und vom Kreuztisch (5) immer nur dann betätigt wird, wenn der Tisch (5) sich in Übergabeposition, d.h. in der Stellung befindet, in der ein Proben wechsel stattfindet. Ein Kreuztisch mit einem derartigen Schalter ist beispielsweise in der Patentanmeldung P 35 08 094.9 beschrieben.The rocker switch ( 10 ) is connected to a control circuit ( 22 ) for the motor ( 19 ) which rotates the turret ( 2 ). The lenses on the turret ( 2 ) can be switched in both directions with the rocker switch, a feedback device ( 29 ) passing the position of the turret ( 2 ) on to the control circuit ( 22 ). The control circuit ( 22 ) is also connected to a sensor in the form of a microswitch ( 20 ) which is attached to the table support of the stand ( 1 ) of the microscope and is only actuated by the cross table ( 5 ) only when the table ( 5 ) is itself in the transfer position, ie in the position in which a sample change takes place. A cross table with such a switch is described for example in patent application P 35 08 094.9.
Sobald der Tisch (5) den Schalter (20) betätigt, wird der Motor (19) von der Steuerschaltung (22) in Bewegung gesetzt und der Revolver (2) in die Position gedreht, bei der das Übersichtsobjektiv (4 c) in den Strahlen gang des Mikroskops eingeschaltet ist. Das hat zwei Vorteile: Zum einen ist es üblich, nach einem Probenwechsel die Untersuchung bei geringer Vergrößerung zu beginnen. Außerdem besitzt das Objektiv (4) einen großen Arbeitsabstand, so daß Beschädigungen von Objektiv oder Probe im Zuge des Probenwechsels sicher vermieden werden können. Sobald sich das Objektiv (4 c) in Position befindet, wird dies von dem Steuer teil (22) über die Lampe (9) dem Beobachter angezeigt.As soon as the table ( 5 ) actuates the switch ( 20 ), the motor ( 19 ) is set in motion by the control circuit ( 22 ) and the turret ( 2 ) is rotated into the position in which the overview objective ( 4 c) is in the beams microscope is switched on. This has two advantages: On the one hand, it is common to start the examination at a low magnification after changing the sample. In addition, the lens ( 4 ) has a large working distance, so that damage to the lens or sample in the course of changing the sample can be safely avoided. As soon as the lens ( 4 c) is in position, this is indicated to the observer by the control part ( 22 ) via the lamp ( 9 ).
Das Handrad (8) für die manuelle Feinverstellung des Fokussiertriebs ist mit einem Encoder (18) verbunden, der bei Betätigung zwei digitale Impulsfolgen mit drehrichtungsabhängiger Phasenlage abgibt. Die Signale des Encoders (18) werden einer Steuerschaltung (14) zugeführt, an die auch der Wippschalter (12) für die Schnellverstellung des Fokussier triebs angeschlossen ist. In der Steuerschaltung (14) wird das Über setzungsverhältnis des Handrads (8) auf den Fokussiertrieb bzw. die Geschwindigkeit der vom Schalter (12) eingeleiteten Fokusverstellung abhängig vom Abbildungsmaßstab des gerade verwendeten Objektivs einge stellt. Dazu ist die Schaltung (14) mit der Steuerschaltung (22) für den Antrieb des Objektivrevolvers (2) über die Leitung (a) verbunden und enthält von dort die Information über die momentane Stellung des Re volvers (2). The handwheel ( 8 ) for the manual fine adjustment of the focusing drive is connected to an encoder ( 18 ) which, when actuated, emits two digital pulse sequences with a phase position dependent on the direction of rotation. The signals of the encoder ( 18 ) are fed to a control circuit ( 14 ) to which the rocker switch ( 12 ) for the quick adjustment of the focusing drive is connected. In the control circuit ( 14 ) the transmission ratio of the handwheel ( 8 ) to the focusing drive or the speed of the focus adjustment initiated by the switch ( 12 ) is set depending on the imaging scale of the lens currently being used. For this purpose, the circuit ( 14 ) is connected to the control circuit ( 22 ) for driving the nosepiece ( 2 ) via line (a) and from there contains the information about the current position of the revolver ( 2 ).
Der Encoder (18) und der Wippschalter (12) wirken außerdem auf die Steuerschaltung (15) der Autofokuseinrichtung des Mikroskops und schal ten die Autofokusfunktion ab, sobald die Handhaben zur manuellen Fokus einstellung (8 oder 12) betätigt werden. Damit wird verhindert, daß die automatische Fokusnachstellung der manuellen Verstellung entgegenarbei tet, denn der Sensor (21) der Autofokuseinrichtung würde andernfalls jede manuelle Fokusverstellung als gegenzuregelnde Defokussierung an die Steuerschaltung (15) melden.The encoder ( 18 ) and the rocker switch ( 12 ) also act on the control circuit ( 15 ) of the autofocus device of the microscope and switch off the autofocus function as soon as the manual focus adjustment ( 8 or 12 ) is actuated. This prevents the automatic focus adjustment from counteracting the manual adjustment, because the sensor ( 21 ) of the autofocus device would otherwise report any manual focus adjustment as a counter-defocus to the control circuit ( 15 ).
Die Ausgänge der Steuerschaltung (15) der Autofokuseinrichtung und der Steuerschaltung (14) der manuellen Fokusverstellung sind gemeinsam einer Schaltung (16) zugeführt, die den Fahrbereich des Fokussiertriebs elektronisch begrenzt. Es lassen sich relative Grenzwerte einstellen, die auf den Fangbereich der Autofokuseinrichtung abgestimmt sind und dann dafür sorgen, daß der Fangbereich bei manueller Fokusverstellung nicht verlassen wird. Außerdem werden Beschädigungen von Objektiv und Objekt vermieden, wenn der obere Grenzwert kleiner als der kleinste Arbeitsabstand der verwendeten Objektive gewählt wird. Bei Erreichen der Begrenzung ertönt ein akustisches Signal und der Motor (6) schaltet ab. Eine Neufestlegung der Fahrbereichsgrenzen, wie sie z.B. bei einer Änderung der Objekthöhe im Zuge des Absuchvorganges der Probe auf dem Tisch (5) notwendig wird, ist mit Hilfe einer Resettaste (13) möglich.The outputs of the control circuit ( 15 ) of the autofocus device and the control circuit ( 14 ) of the manual focus adjustment are jointly fed to a circuit ( 16 ) which electronically limits the travel range of the focusing drive. Relative limit values can be set, which are matched to the capture range of the autofocus device and then ensure that the capture range is not left when the focus is adjusted manually. In addition, damage to the lens and object is avoided if the upper limit value is chosen to be smaller than the smallest working distance of the lenses used. When the limit is reached, an acoustic signal sounds and the motor ( 6 ) switches off. A reset button ( 13 ) makes it possible to redefine the travel range limits, as is necessary, for example, if the object height changes during the search process of the sample on the table ( 5 ).
Das von der Schaltung (16) begrenzte Ausgangssignal der Steuerschal tungen (14 bzw. 15) gelangt zu einer Treiberschaltung (17), über die der Motor (6) des Fokussiertriebs direkt beaufschlagt wird.The output signal of the control circuits ( 14 and 15 ) limited by the circuit ( 16 ) reaches a driver circuit ( 17 ) via which the motor ( 6 ) of the focusing drive is acted upon directly.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863607379 DE3607379C1 (en) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Microscope having a focusing drive mechanism which can be motor driven |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863607379 DE3607379C1 (en) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Microscope having a focusing drive mechanism which can be motor driven |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3607379C1 true DE3607379C1 (en) | 1987-07-16 |
Family
ID=6295666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19863607379 Expired DE3607379C1 (en) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Microscope having a focusing drive mechanism which can be motor driven |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3607379C1 (en) |
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| Leitz-Druckschrift: "LEITZ LIS/LTS", Best.-Nr. 913391, XI/85/GX/B, November 1985 * |
| Leitz-Druckschrift: "Leitz MpV CD 2" (III/85/LX/B), März 1985 * |
| Leitz-Druckschrift: "Leitz Scanningtisch Scan 2000-Anleitung" (SCAN V 2.1, PULT V 8.2) vom 18.10.1985, S. 1, 2, 27 u. 28 * |
| Leitz-Druckschrift: "Leitz-LAF - SERVICE INFORMATION" vom 13.02.1984, S. C 9.1 u. C 10.1 * |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| 8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
| D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
| 8363 | Opposition against the patent | ||
| 8331 | Complete revocation |