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DE3409544A1 - Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung - Google Patents

Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung

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Publication number
DE3409544A1
DE3409544A1 DE19843409544 DE3409544A DE3409544A1 DE 3409544 A1 DE3409544 A1 DE 3409544A1 DE 19843409544 DE19843409544 DE 19843409544 DE 3409544 A DE3409544 A DE 3409544A DE 3409544 A1 DE3409544 A1 DE 3409544A1
Authority
DE
Germany
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scanning
incremental
graduation
counter
measuring device
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DE19843409544
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English (en)
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Holmer Dipl.-Ing. 8225 Traunreut Dangschat
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
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Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 8. März 1984
Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
Die Erfindung betrifft eine inkrementale Längenoder Winkelmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
im Hauptpatent...(Patentanmeldung P 33 11 2o4.5) ist eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte beschrieben, bei der eine Maßverkörperung in Form einer ersten Teilscheibe an einer Welle befestigt ist, die in einem Gehäuse drehbar gelagert ist; die Welle und das Gehäuse sind mit den zu messenden Objekten verbunden. Die erste Teilscheibe weist eine erste Inkrementalteilung mit absolut zugeordneten Referenzmarken auf, denen wiederum jeweils eine Codemarke zur Identifizierung zugeordnet ist. Auf der Welle ist eine zweite Teilscheibe mit einer zweiten Inkrementalteilung, mit einer Markierung zum Zählerstart, mit einer Markierung zum Zählerstopp und mit einem Abtastfeld zum Abtasten der Codemarken der ersten Teilscheibe relativ zur ersten Teilscheibe drehbar gelagert. Im Gehäuse ist ortsfest eine Abtasteinrich-
tung mit einer Abtastplatte befestigt, die jeweils ein Abtastfeld zur Abtastung der ersten Inkrementalteilung der ersten Teilscheibe und der zweiten Inkrementalteilung sowie der Markierung zum Zäh- -* lerstart der zweiten Teilscheibe aufweist. Zur Gewinnung einer Bezugsposition zu Beginn einer Messung bzw. zur Reproduktion dieser Bezugsposition bei einer Störung, bei der der momentane Positionsmeßwert verloren geht, werden beim Stillstand der zu messenden Objekte und damit auch der ersten Teilscheibe ein Zähler in der Auswerteeinrichtung der Meßeinrichtung beispielsweise auf Null gesetzt und die zweite Teilscheibe mittels eines Motors in Drehung versetzt. Wenn das Abtastfeld der Abtastplatte die Markierung zum Zählerstart auf der zweiten Teilscheibe abtastet, wird der Zähler gestartet. Von diesem Zeitpunkt an werden die zweite Inkrementalteilung der zweiten Teilscheibe vom zugehörigen Abtastfeld aut der Abtastplatte abgetastet und die Teilungsperioden dieser zweiten Inkremental teilung bei der Drehung der zweiten Teilscheibe gezählt. Wenn die Markierung zum Zählerstopp auf der zweiten Teilscheibe die nächste Referenzmarke auf der stillstehenden ersten Teilscheibe abtastet, wird der Zähler gestoppt. Der Zähler enthält jetzt als Positionsmeßwert den Winkelweg, den die zweite Teilscheibe vom Zählerstart bis zum Zählerstopp zurückgelegt hat. Das Abtastfeld auf der zweiten Teilscheibe zum Abtasten der Codemarken auf der ersten Teilscheibe hat gleichzeitig den absoluten Positionswert aus der zur abgetasteten Referenzmarke gehörigen Codemarke abgelesen. Dieser absolute Positionswert wird nun in die
Auswerteeinrichtung eingegeben und dem Positionsmeßwert des Zählers hinzugefügt. In der Auswerteeinrichtung steht somit der absolute Positionswert an, den die erste Teilscheibe zum Gehäuse momentan einnimmt. Nach dieser Gewinnung der Bezugsposition körinen die Messung begonnen bzw. nach dieser Reproduktion der Bezugsposition die infolge der Störung unterbrochene Messung fortgesetzt werden, indem die erste Inkrementalteilung der sich nun wieder drehenden ersten Teilscheibe vom zugehörigen Abtastfeld auf der Abtastplatte der Abtasteinrichtung abgetastet und die Teilungsperioden dieser ersten Inkrementalteilung gezählt werden; am Zählerausgang steht somit der Positionsmeßwert der momentanen Position der ersten Teilscheibe bezüglich des Gehäuses zur Verfügung.
Die Abtastplatte der Abtasteinrichtung dieser Meßeinrichtung weist zwei Teilungsebenen auf, die stufenförmig parallel zueinander versetzt sind. Auf der ersten Teilungsebene befinden sich das Abtastfeld für die erste Inkrementalteilung der ersten Teilscheibe und auf der zweiten Teilungsebene das Abtastfeld für die zweite Inkrementalteilung der zweiten Teilscheibe und das Abtastfeld für die Markierung zum Zählerstart auf der zweiten Teilscheibe. Eine solche Abtastplatte mit Abtastfeldern in zwei stufenförmig zueinander versetzten Teilungsebenen ist relativ aufwendig in der Herstellung.
Zudem liegen bei der ersten Teilscheibe die erste Inkrementalteilung auf der einen Oberfläche als Teilungsebene und die Referenzmarken mit den zugehörigen Codemarken auf der gegenüberliegenden Oberfläche als Teilungsebene. Die Einstellung der optimaJLen Abstände (Abtastspalte) zwischen den unter-
einander korrespondierenden Teilungsebenen der Abtastplatte, der ersten Teilscheibe und der zweiten Teilscheibe ist daher ebenfalls aufwendig.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer inkrementalen Meßeinrichtung der genannten Gattung die Herstellung der Abtastplatte und der ersten Teilscheibe zu vereinfachen und die Einstellung der optimalen Abstände zwischen den miteinander korrespondierenden Teilungsebenen zu erleichtern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das kennzeichnende Merkmal des Anspruches 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß die Abtastplatte anstelle von zwei stufenförmig zueinander versetzten Teilungsebenen für die Abtastfelder nur noch eine Teilungsebene aufweist und daß die erste Inkrementalteilung der ersten Teilscheibe sich zusammen mit den absolut zugeordneten Referenzmarken und zugehörigen Codemarken auf nur einer Oberfläche der ersten Teilscheibe als Teilungsebene befindet. Die Herstellung der Abtastplatte und der ersten Teilscheibe werden somit erheblich vereinfacht und verbilligt und die Einstellung der optimalen Abstände zwischen den miteinander korrespondierenden Teilungsebenen wesentlich erleichtert, so daß sich insgesamt eine einfacher aufgebaute und preiswertere Meßeinrichtung mit verringertem Justierungsaufwand ergibt.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprüchen.
Ein ,Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen
Figur 1 eine inkrementale Winkelmeßeinrichtung im Längsschnitt;
Figur 2 eine Ansicht eines Ausschnittes aus einer zweiten Teilscheibe,-
Figur 3 eine Ansicht eines Ausschnittes aus einer ersten Teilscheibe und
Figur 4 eine Ansicht einer Abtastplatte.
Die in Figur 1 im Längsschnitt dargestellte inkrementale Winkelmeßeinrichtung weist ein Gehäuse 1 auf, das in nicht gezeigter Weise an einem ersten zu messenden Objekt in Form des Betts einer Bearbeitungsmaschine befestigt ist. Aus dem Gehäuse 1 ragt eine Welle 2 heraus, die an einem zweiten zu messenden Objekt in Form einer Spindel der Bearbeitungsmaschine befestigt ist. Die Welle 2 ist im Gehäuse 1 drehbar gelagert und im Inneren des Gehäuses 1 mit einer Maßverkörperung in Form einer ersten Teilscheibe 3 verbunden. Diese erste Teilscheibe 3 ist im Ausschnitt in Figur 3 gezeigt und weist auf einer ersten Teilungsebene TE eine erste Inkrementalteilung 4 in Form eines Strichgitters sowie der ersten Inkrementalteilung 4 absolut zugeordnete Referenzmarken R ...R auf. Die Absolut-
o η position der einzelnen Referenzmarken R ...R bezüglich des Teilungsnullpunktes 0 der ersten Inkrementalteilung 4 wird durch Codemarken C ...C ge-
o η
kennzeichnet, die die Absolutpositionen der zugehörigen Referenzmarken R ...R als codierte Informa-
o η
tion,, beispielsweise als sogenannten Barcode enthalten. Die Referenzmarken R ...R bestehen in
ο η
- ff -"
nicht gezeigter Weise jeweils aus identischen Strichgruppen mit einer bestimmten unregelmäßigen Strichverteilung.
Auf der Welle 2 ist ein Trägerkörper in Form einer zweiten Teilscheibe 5 relativ zur ersten Teilscheibe 3 drehbar gelagert. Eine zweite Teilungsebene TE9 auf der zweiten Teilscheibe 5 ist der ersten Teilungsebene TE1 auf der ersten Teilscheibe 3 in einem bestimmten parallelen Abstand zugewandt und weist gemäß einem Ausschnitt nach Figur 2 eine zweite Inkrementalteilung T„ als Abtastfeld für die erste Inkrementalteilung 4 der ersten Teilscheibe 3 auf; die zweite Inkrementalteilung T2 ist mit der ersten Inkrementalteilung 4 identisch. Auf der zweiten Teilungsebene TE9 der zweiten Teilscheibe 5 sind noch Abtastfelder 17 für die Referenzmarken
R . . .R und Abtastfelder 18 für die zugehörigen Codeo η
marken C ...C auf der ersten Teilscheibe 3 vorgesehen; ο η
diese Abtastfelder 17 weisen eine mit der Strichverteilung der Referenzmarken R ...R identische Strichverteilung auf. Des weiteren befindet sich auf der zweiten Teilungsebene TE_ eine dritte Inkrementalteilung 6, die mit der ersten Inkrementalteilung 4 der ersten Teilscheibe 3 bezüglich der Winkelinkremente übereinstimmt, d.h., die Abtastung der dritten Inkrementalteilung 6 und die Abtastung der ersten Inkrementalteilung 4 ergeben jeweils den gleichen Positionswert für eine bestimmte identische Winkellage der zweiten Teilscheibe 5 und der ersten Teilscheibe 3. Auf der zweiten Teilungsebene TE9 der zweiten Teilscheibe 5 befinden sich noch Markierungen 15 für einen Zählerstart, die jeweils aus identischen Strichgruppen mit einer bestimmten unregelmäßigen Strichverteilung bestehen.
34095U
Im Gehäuse 1 ist ortsfest eine Abtasteinrichtung 7 mit einer Beleuchtung 11, einem Kondensor 12 und Photosensoren 13 auf einer Platte 14 angeordnet. Die Abtasteinrichtung 7 enthält noch eine Abtastplatte A, die auf einer dritten Teilungsebene TE 3 Abtastfelder Io für die dritte Inkrementalteilung und ein Abtastfeld 16 für die Markierungen 15 der zweiten Teilscheibe 5 gemäß Figur 4 aufweist; das Abtastfeld 16 weist die gleiche Strichverteilung wie die Markierungen 15 auf und die Teilungen der Abtastfelder Io stimmen mit der dritten Inkrementalteilung6 überein. Jeweils ein Photosensor 13 ist den folgenden Paarungen zugeordnet: Markierung 15 Abtastfeld 16, dritte Inkrementalteilung 6 - Abtastfelder Io, erste Inkrementalteilung 4 - zweite Inkrementalteilung T2, Referenzmarken R ...R - Abtastfelder 177 Codemarken C C - Abtastfelder
ο η
Beim eigentlichen Meßvorgang wird bei einer Drehung der Welle 2 und damit der ersten Teilscheibe 3 bei stillstehender zweiter Teilscheibe 5 die erste Inkrementalteilung 4 relativ zur zweiten Inkrementalteilung T9 als Abtastfeld gedreht. Der von der Beleuchtung 11 ausgehende Lichtstrom wird durch die relativ zueinander bewegten ersten und zweiten Inkrementalteilungen 4, T» moduliert und fällt auf den zugehörigen Photosensor 13, der ein periodisches Analogsignal liefert, das in einer nicht dargestellten Auswerteeinrichtung der Meßeinrichtung in Impulse umgeformt wird. Diese Impulse werden in einem Zähler der Auswerteeinrichtung gezählt und können in einer nachgeschalteten Anzeigeeinheit als Posi-' tionsmeßwerte in digitaler Form angezeigt oder direkt einer numerischen Steuereinrichtung der Bearbeitungsmaschine zugeführt werden.
Bei einer inkrementalen Meßeinrichtung ist es jedoch von großer Bedeutung, zu Beginn einer Messung eine Bezugsposition zu bestimmen, die als Ausgangsposition für die Messungen dient und die auch nach Störfallen wieder reproduziert werden kann.
Es wird davon ausgegangen, daß sich vor Beginn einer Messung oder auch im Störfall, bei dem - beispielsweise durch Stromausfall - bekanntlich bei inkrementalen Meßeinrichtungen der Positionsmeßwert verloren geht, die relativ zueinander beweglichen, zu messenden Objekte im Stillstand befinden. Die erste Teilscheibe 3 befindet sich also in einer Position, in der die Lage ihres Teilungsnullpunktes relativ zum Gehäuse 1 und damit auch zur Abtastplatte A nicht bekannt ist.
Zur Gewinnung dieser Bezugsposition muß nun die momentane Position der ersten Teilscheibe 3 bezüglieh des Gehäuses 1 bestimmt werden. Zu diesem Zweck wird in bekannter und daher nicht näher bezeichneter Weise ein Zähler in der Auswerteeinrichtung auf den Wert Null oder auf einen anderen Zahlenwert eingestellt und gleichzeitig die Eichbetriebsart eingeschaltet, indem die zweite Teilscheibe 5 von einem im Gehäuse 1 befestigten Motor M über ein Zahnriemengetriebe G in Drehung versetzt wird. Wenn eine der Markierungen 15 für den Zählerstart auf der zweiten Teilscheibe 5 vom Abtastfeld 16 auf der ortsfesten Abtastplatte A abgetastet wird, liefert der zugehörige Photosensor 13 ein Signal, das in der Eichbetriebsart den nicht dargestellten Zähler in der Auswerteeinrichtung ansteuert und ihn startet. Von diesem Zeitpunkt an werden das vom zugehörigen Photosensor 13 bei der Abtastung der dritten Inkremental-
teilung 6 der zweiten Teilscheibe 5 durch die Abtastfelder Io der Abtastplatte A erzeugte periodische Analogsignal ausgewertet und die Teilungsperioden der dritten Inkrementalteilung 6 vom Zähler gezählt.
Nach dem Zählerstart wird irgendwann die nächstgelegene Referenzmarke R. (i=o,1,...,n) vom Referenzmarken-Abtastfeld 17 abgetastet und der Zähler durch ein Signal des zugehörigen Photosensors 13 gestoppt. Gleichzeitig hat das Codemarken-Abtastfeld 18 und
der zugehörige Photosensor 13 aus der der Referenzmarke R. zugehörigen Codemarke C. den absoluten Positionswert der Referenzmarke R. abgelesen, der den Zähler gestoppt hat. Dieser absolute Positionswert
der Referenzmarke R. wird nun in die Auswerteeinrichtung eingespeist und dem aus der dritten Inkrementalteilung 6 genommenen Zählerwert im Zähler überlagert. In der Auswerteeinrichtung steht nun der
absolute Positionswert an, den die erste Teilscheibe 3 zum Gehäuse 1 momentan einnimmt. Die zweite
Teilscheibe 5 wird stillgesetzt und der Eichvorgang ist beendet. Der Zähler kann jetzt wieder beim eigentlichen Meßvorgang mit den Zählerimpulsen ge-
speist werden, die bei der Drehung der ersten Teilscheibe 3 bei der Abtastung der ersten Inkrementalteilung 4 mittels der zweiten Inkrementalteilung T„ der bezüglich des Gehäuses 1 stillstehenden zweiten Teilscheibe 5 und mittels des zugehörigen Photosensors 13 erzeugt werden.
Beim Auftreten von Störungen, beispielsweise bei
Stromausfall, kann die Bezugsposition für die erste Teilscheibe 3 sinngemäß mittels des vorbeschriebenen Eichvorgangs reproduziert werden, auch wenn die err
34095U
ste Teilscheibe 3 nicht aus ihrer Momentanposition heraus bewegt werden kann, weil beispielsweise gerade ein Werkzeug, das über die Spindel der Bearbeitungsmaschine mit der Welle 2 in Wirkverbindung steht, im Eingriff an einem zu bearbeitenden Werkstück steht, wenn die Störung auftritt.
Wie oben beschrieben, wird bei Koinzidenz der Markierung 15 auf der zweiten sich drehenden Teilscheibe 5 mit dem Abtastfeld 16 auf der Abtastplatte A der Zähler gestartet und die Teilungsperioden der dritten Inkrementa!teilung 6 auf der zweiten Teilscheibe 5 mittels der Abtastfelder Io auf der Abtastplatte A gezählt, bis bei Koinzidenz des Abtastfeldes 17 auf der zweiten Teilscheibe 5 mit der nächsten, auf den Zählerstart folgenden Referenzmarke R. auf der ersten Teilscheibe 3 der Zähler wieder gestoppt wird, wobei gleichzeitig das Abtastfeld 18 auf der zweiten Teilscheibe 5 die zugehörige Codemarke C. auf der ersten Teilscheibe 3 abtastet und dieser absolute Positionswert der Referenzmarke R. in der Auswerteeinrichtung dem aus der dritten Inkrementalteilung 6 ermittelten Zählwert überlagert wird. Damit liegt wieder der absolute Positionswert fest, der die momentane Lage des Teilungsnullpunktes O der ersten Teilscheibe 3 bezüglich des Gehäuses 1 darstellt. Bei der Beschreibung des Eichvorganges und des Reproduktionsvorganges wurde angenommen, daß die Welle 2 mit der ersten Teilscheibe bezüglich des Gehäuses 1 stillsteht; dies ist aber nicht Bedingung. Vorausgesetzt muß allerdings werden, daß sich die zweite Teilscheibe 5 beim Eichvorgang oder beim Reproduktionsvorgang schneller als die erste Teilscheibe 3 dreht. Die Bezugswertübernahme erfolgt in dem Augenblick, in dem das Abtastfeld 17
auf der zweiten Teilscheibe 5 die Referenzmarke R. auf der ersten Teilscheibe 3 abtastet.
Auch beim eigentlichen Meßvorgang ist ein Stillstand der zweiten Teilscheibe 5 bezüglich des Gehäuses 1 nicht Bedingung. Da aber die erste Inkrementalteilung 4 der ersten sich drehenden Teilscheibe 3 von der zweiten Inkrementalteilung T9 der zweiten Teilscheibe 5 abgetastet wird, die sich ebenfalls relativ zum Gehäuse 1 dreht, muß diese Relativdrehung der zweiten Teilscheibe 5 bezüglich des Gehäuses 1 durch Zählung der Teilungsperioden der dritten Inkrementalabteilung 6 bei der Abtastung durch die Abtastfelder Io auf der Abtastplatte A kompensiert werden; diese Zählwerte werden in der Auswerteeinrichtung den aus der ersten Inkrementalteilung 4 ermittelten Positaonsmeßwerten je nach Drehrichtung der zweiten Teilscheibe 5 durch Addition oder Subtraktion überlagert; zu diesem Zweck wird der Zähler als Differenzzähler ausgebildet. Die Diskriminierung der Drehrichtung der zweiten Teilscheibe 5 erfolgt durch zwei, um ein Viertel der Teilungsperiode der dritten Inkrementalteilung 6 zueinander versetzte Abtastfelder Io auf der Abtastplatte A.
Wie aus Figur 1 ersichtlich, ist die Abtastplatte A an der Peripherie der ersten Teilscheibe 3 angeordnet, so daß die erste Teilungsebene TE1 der ersten Teilscheibe 3 mit der dritten Teilungsebene TE., der Abtastplatte A fluchtend in einer zur Welle 2 radialen Ebene liegt. Der ersten Teilungsebene TE1 und der dritten Teilungsebene TE_ liegt die zweite Teilungsebene TE9 der zweiten Teilscheibe 5 in einem parallelen Abstand gegenüber. Die Einstellung eines
34095U
für die Abtastung optimalen Abstandes zwischen den drei Teilungsebenen TE-, TE , TE_ ist daher besonders einfach durchzuführen.
Zur Diskriminierung der Drehrichtung der ersten Teilscheibe 3 kann entweder die erste Inkrementalteilung 4 oder die zweite Inkrementalteilung T„ aus zwei zueinander konzentrischen, um ein Viertel der Teilungsperiode zueinander versetzten, sich über 36o erstreckenden Teilungen bestehen.
Die Erfindung ist weder auf die gezeigte Winkelmeßeinrichtung noch auf lichtelektrische Abtastprinzipien beschränkt-
- Leerseite -

Claims (6)

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 8. März 1984 Ansprüche
1. Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
mit einer MaßVerkörperung, die Markierungen in Form wenigstens einer Inkrementalteilung und wenigstens einer zum Teilungsnullpunkt absolut festliegenden ■* Referenzmarke aufweist, mit einer Abtasteinrichtung, die Abtastfelder zum Abtasten von Markierungen trägt und mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, sowie mit einem Trägerkörper mit abtastbaren Markierungen, der sowohl zur Maßverkörperung als auch zur Abtasteinrichtung relativ beweglich ist und dessen Markierungen mit den Markierungen der MaßVerkörperung und/oder den Abtastfeldern der Abtasteinrichtung in Koinzidenz bringbar sind, wobei bei Koinzidenz der verschiedenen Markierungen und Abtastfelder Steuer vorgänge - vorzugsweise Zählerstart, Inkrementalzählung und Zählerstopp - in der Auswerteeinrichtung auslösbar sind nach Patent...(Patentanmeldung P 33 11 2o4.5), dadurch gekennzeichnet, daß das Abtastfeld (T3) zum Abtasten der ersten Inkrementalteilung (4) der Maßverkörperung (3) auf dem Trägerkörper (5) angeordnet ist.
2. Inkrementale Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1/ dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper
(5) in Form einer zweiten Teilscheibe konzentrisch zur Maßverkörperung (3) in Form einer ersten Teilscheibe drehbar gelagert ist und daß der Trägerkörper (5) das Abtastfeld (T_) in Form einer zweiten Inkrementalteilung zum Abtasten der ersten Inkrementalteilung (4) der
Maßverkörperung (3) sowie eine dritte Inkrementalteilung (6), wenigstens eine Markierung (15) zum ■Zählerstart, wenigstens ein Referenzmarken-Abtast- , feld (17) zum Zählerstopp und wenigstens ein Codemarkenfeld (18) aufweist.
3. Inkrementale Wxnkelmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Maß Verkörperung (3) außer der ersten Inkrementalteilung (4) eine konzentrisch angeordnete Spur mit η Referenzmarken (Ro...Rn) sowie eine weitere konzentrisch angeordnete Spur mit n, den Referenzmarken (Ro... Rn) zugeordneten Codemarken (Co...Cn) aufweist, wobei die Codemarken (Co...Cn) die absoluten Positionswerte der zugehörigen Referenzmarken (Ro...Rn) in verschlüsselter Form enthalten.
4. Inkrementale Winkelmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierung (15) zum Zählerstart und das Referenzmarken-Abtastfeld (17) zum Zählerstopp auf dem Trägerkörper (5) und das Abtastfeld (16) zum Abtasten der Markierung (15) in der Abtasteinrichtung (7) sowie die wenigstens eine Referenzmarke (Ro...Rn) auf der Maßverkörperung (3) jeweils aus einer Strichgruppe mit einer bestimmten unregelmäßigen Strichverteilung bestehen.
5. Inkrementale Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Inkrementalteilung (4) oder die zweite Inkrementalteilung (T3) aus zwei zueinander konzentrischen, um ein Viertel der Teilungsperiode zueinander versetzten Teilungen besteht.
6. Inkrementale Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper (5) durch einen Motor (M) mit Getriebe (G) angetrieben ist.
DE19843409544 1983-03-26 1984-03-15 Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung Granted DE3409544A1 (de)

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DE19843409544 DE3409544A1 (de) 1983-03-26 1984-03-15 Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung

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DE3409544C2 DE3409544C2 (de) 1988-12-29

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