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DE3441426A1 - Koordinatenmessmaschine - Google Patents

Koordinatenmessmaschine

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Publication number
DE3441426A1
DE3441426A1 DE19843441426 DE3441426A DE3441426A1 DE 3441426 A1 DE3441426 A1 DE 3441426A1 DE 19843441426 DE19843441426 DE 19843441426 DE 3441426 A DE3441426 A DE 3441426A DE 3441426 A1 DE3441426 A1 DE 3441426A1
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DE
Germany
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bearing
base
compressed air
bearing body
aerostatic
Prior art date
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DE19843441426
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English (en)
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DE3441426C2 (de
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Vladas Algis Adolfovic Gapsis
Albinas Juozovic Kasparaitis
Juozas-Stasis Prano Kumetaitis
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VILN EXNI I METAL
Original Assignee
VILN EXNI I METAL
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Publication date
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings
    • F16C29/025Hydrostatic or aerostatic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0662Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
    • F16C32/0666Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

  • Koordinatenmeßmaschine
  • Die Erfindung bezieht sich auf Einrichtungen zur Längen- und Winkelmessung, insbesondere auf Koordinatenmeßmaschinen und kann zum Messen von Längen- und Winkelparametern kompliziert gestalteter Werkstücke wie Gehäuse, Gesenke, Turbinenschaufeln u.a. verwendet werden.
  • Eine z. B. aus der DE-OS 31 21 373 bekannte Koordinatenmeßmaschine enthält einen Sockel, auf dem in Koordinatenrichtungen bewegliche Baugruppen, auf Lagern angeordnet sind, die ein System von Tastspitzen zum Abtasten des zu messenden Werkstückes tragen. Mittels einer besonderen Einrichtung wird die Bewegungsgenauigkeit des Tastspitzensystems erhöht.
  • Diese Meßmaschineist jedoch kompliziert und kann die hohen Anforderungen an die Genauigkeit der Bewegung von Tastspitzen nicht erfüllen. Praktisch ist diese bekannte Ausführung für die Benutzung in Präzisions-Koordinatenmeßmaschinen ungeeignet.
  • Aus der GB-PS 2 099 151 ist eine Koordinatenmeßmaschine der angegebenen Art bekannt, die als Prototyp einen Sockel, ein Tastspitzensystem zum Abtasten des zu messenden Werkstückes und eine Einrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems enthält, welche ein relativ zum Sockel bewegliches Portal darstellt, auf dem ein Schlitten mit beweglicher Pinole montiert ist. Das Auflagerteil des Portals ist auf aerostatischen Lagern angeordnet, von denen jedes einen Lagerkörper enthält, der mit der ihm zugewandten Oberfläche des Sockels bei Druckluftzufuhr einen Arbeitsspalt bildet und ein System von Druckluft-Einblasbohrungen aufweist, welches mit dem Arbeitsspalt kommuniziert. Die Maschine hat eine kinematische Vorrichtung, die das Absacken der aerostatischen Lager infolge ihrer veränderlichen Belastung bei Verschiebung des Schlittens kompensiert. Das Absacken der Lager wird durch Änderung des Abstandes zwischen den aerostatischen Lagern an einem Portalende kompensiert, die an Ständern befestigt sind, welche gegeneinander und in Bezug auf Führungen des Sockels unter einem Winkel stehen.
  • Der Abstand zwischen den Lagern wird mittels einer mechanischen Regelvorrichtung geändert, die mit dem Schlitten kinematisch verbunden ist.
  • Nachteil auch dieser bekannten Maschine ist ihre durch mehrere Faktoren bedingte geringe Genauigkeit. So ändert sich die Lage des Schlittens in Bezug auf den oberen Portalbalken infolge der Einwirkung von Kräften, die zum Schlitten von der mit ihm kinematisch verbundenen Regelvorrichtung übertragen werden, wodurch die Meßergebnisse verfälscht werden. Außerdem wird ein Absacken der aerostatischen Lager des Portals in Abhängigkeit von der Änderung der Schlittenlage in Bezug auf das Portal nicht kompensiert.
  • Die Maschine hat viele gleitende Teile, die ihre Zuverlässigkeit und Stabilität verringern.
  • Infolge von relativ großen Arbeitsspalten der aerostatischen Lager verbraucht die Maschine eine beträchtliche Druckluftmenge, wobei sich die Druckluft an den Stellen ihres Austritts in die Atmosphäre abkühlt, die Betriebstemperaturen der Maschinenteile und -baugruppen ändert und folglich die Meßgenauigkeit der Maschine herabsetzt.
  • Diese größeren Spalte ergeben eine kleinere Vibrationsdämpfung und verringern somit die Schnellwirkung und Leistungsfähigkeit der Maschine. Schließlich kann Staub in die relativ großen Arbeitsspalte gelangen, der sich auf den Führungen des Maschinensockels absetzt, in die Spalte eindringt und zum Festklemmen der letzteren und folglich zum Verlust der Meßgenauigkeit führt. Die vorgegebene Meßgenauigkeit erreicht die bekannte Koordinatenmeßmaschine deswegen nur in Räumen mit zusätzlich gereinigter Luft.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Koordinatenmeßmaschine zu schaffen, bei welcher durch wirksame Kompensation des Absackens der aerostatischen Lager bei Lageänderungen der beweglichen Maschinenteile eine höhere Meßgenauigkeit bei gleichzeitig vereinfachtem Aufbau erreicht wird.
  • Diese Aufgabe wird bei einer Koordinatenmeßmaschine mit einem Sockel zum Aufstellen des zu messenden Werkstückes, mit einem relativ zum Sockel beweglichen Tastspitzensystem zum Abtasten des Werkstückes beim Messen seiner geometrischen Parameter und mit einer Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems, welche mit dem Sockel mittels aerostatischer Lager zusammenwirkt, von denen jedes Lager einen Lagerkörper besitzt, der mit der ihm zugewandten Oberfläche des Sockels einen Arbeitsspalt bildet und ein mit dem Arbeitsspalt kommunizierendes System von Druckluft-Einblasbohrungen aufweist, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Lagerkörper jedes aerostatischen Lagers auf seiner der Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems zugewandten Seite einen als elastisches Element ausgebildeten Vorsprung aufweist, der das Auflagerteil der Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems umfaßt und zwischen der Oberfläche des Lagerkörpers des aerostatischen Lagers und der dem Lagerkörper gegenüberliegenden Oberfläche des Auflagerteils einen geschlossenen Hohlraum bildet, der mittels mindestens eines Drossellochs mit einer Druckluftquelle und unmittelbar mit dem System von Druckluft-Einblasbohrungen des aerostatischen Lagers in Verbindung steht.
  • Die Aufgabe der Erfindung wird auch dadurch gelöst, daß in einer Koordinatenmeßmaschine mit einem Sockel zum Aufstellen des zu messenden Werkstückes sowie mit einem relativ zum Sockel beweglichen Tastspitzensystem zum Abtasten des Werkstückes beim Messen seiner geometrischen Parameter und mit einer Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems, welche mit dem Auflagerteil in der Art eines sphärischen Gelenkes versehen ist und mit dem Sockel mittels aerostatischer Lager zusammenwirkt, von denen jedes einen Lagerkörper besitzt, der mit der ihm zugewandten Oberfläche des Sockels einen Arbeitsspalt bildet und ein mit dem Arbeitsspalt kommunizierendes System von Druckluft-Einblasbohrungen aufweist, erfindungsgemäß zwischen dem Auflagerteil der Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems und dem Lagerkörper jedes aerostatischen Lagers ein zweiter Lagerkörper eingebaut wird, der mit der Vorrichtung zur Bewegung des Tastspitzensystems mittels eines sphärischen Gelenkes dieser Vorrichtung zusammenwirkt, während der erste Lagerkörper jedes aerostatischen Lagers mit einem als elastisches Element ausgebildeten Vorsprung versehen wird, der den zweiten Lagerkörper umfaßt und zwischen den benachbarten Flächen dieser Lagerkörper einen geschlossenen Hohlraum bildet, welcher mittels mindestens eines Drosselloches mit der Druckluftquelle und unmittelbar mit dem System von Druckluft-Einblasbohrungen des aerostatischen Lagers in Verbindung steht.
  • Bei der Messung der geometrischen Parameter von Werkstücken weist eine derart aufgebaute Maschine gegenüber den bekannten Ausführungen eine bedeutend höhere Meßgenauigkeit auf.
  • Im folgenden wird die Erfindung durch Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 : eine Gesamtansicht einer Koordinatenmeßmaschine; Fig. 2: die Maschine nach Fig. 1 im Schnitt II-II; Fig. 3: ein aerostatisches Lager im Schnitt III-III in Fig. 2; Fig. 4: einen Teilschnitt IV-IV in Fig. 3; Fig. 5: eine Ansicht der unteren Lagerfläche eines aerostatischen Lagers in Richtung des Pfeiles A in Fig. 2; Fig. 6: eine Ansicht der unteren Portalstützfläche der Koordinatenmeßmaschine in Richtung des Pfeils A in Fig. 2: Fig. 7: eine andere Ausführung einer Koordinatenmeßmaschine im Schnitt, in der das Portal durch ein sphärisches Lager abgestützt ist; Fig. 8: eine graphische Darstellung der Abhängigkeit der Arbeitsspalthöhe eines aerostatischen Lagers von der Belastung dieses Lagers.
  • Nach Fig. 1 enthält die Koordinatenmeßmaschine einen Sockel 1, auf dem das zu messende Werkstück 2 aufgestellt wird, ein Tastspitzensystem 3 mit drei Tastspitzen zum Abtasten des Werkstücks 2 während des Meßvorgangs und eine Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems 3 relativ zum Werkstück 2.
  • Auf dem Sockel 1 ist ein verschiebbares Portal 4 mittels aerostatischer Lager 5 gelagert. Am Portal 4 befindet sich ein Schlitten 6, in dem eine Pinole 7 mit dem Tastspitzensystem 3 eingebaut ist. Die Maschine besitzt eine Druckluftquelle 8, die mit allen aerostatischen Lagern 5 verbunden ist.
  • Die aerostatischen Lager enthalten je einen Lagerkörper 9 (Fig. 2), der mit der ihm zugewandten Oberfläche 10 des Sockels 1 einen Arbeitsspalt 11 bildet. Der Lagerkörper 9 weist ein System von Druckluft-Einblasbohrungen 12 auf. In Fig. 3 ist eine Ansicht dieser Bohrungen 12 dargestellt, deren Einlaßenden durch eine Nut 13 in der Oberfläche 14 (Fig. 3 und 4) verbunden und in einem Kreis gleichmäßig verteilt auf der Oberfläche 14 (Fig. 2) des Lagerkörpers 9 angeordnet sind. Über Drossellöcher 15 kommuniziert das System von Bohrungen 12 mit dem Arbeitsspalt 11. Fig. 5 zeigt eine Ansicht der Fläche 16 des Lagerkörpers 9 und der Drossellöcher 15.
  • Außerdem sind mehrere Bohrungen 12 (Fig. 2) über einen Zentralkanal 17 miteinander verbunden, der im Lagerkörper 9 unter einem Winkel (vorzugsweise senkrecht) zu den Bohrungen 12 verläuft und durch einen Stopfen 18 verschlossen ist.
  • Der Lagerkörper 9 des Lagers 5 weist auf der dem Portal 4 zugewandten Seite einen ringförmigen profilierten Ansatz 19 auf, der als elastisches Element ausgebildet ist, das Auflagerteil 20 des Portals 4 umfaßt und zwischen der Oberfläche 14 des Lagerkörpers 9 und der ihm gegenüberliegenden Portalstützfläche 21 einen geschlossenen Hohlraum 22 begrenzt. Der elastische Ansatz 19 und das Auflagerteil 20 sind durch Schrauben 23 dicht miteinander verbunden, die in einen Ringflansch am Auflagerteil 20 eingeschraubt sind.
  • Ober ein Rohr 24 und eine Drosselbohrung 25 (Fig. 2 und 6) steht der Hohlraum 22 mit der Druckluftquelle 8 (Fig. 1) in Verbindung.
  • In Fig. 6 sind auch Nuten 26 dargestellt, die zwecks der Druckluftverteilung zum Hohlraum 22 (Fig. 2) von der Drosselbohrung 25 radial ausgehen.
  • Bei der Ausführung eines aerostatischen Lagers einer Koordinatenmeßmaschine nach Fig.7 ist das Auflagerteil des Portals 27 als sphärisches Gelenk 28 ausgebildet und mit einer Schraube 29 am Portal 27 befestigt. Zwischen dem Auflagerteil des Portals 4 und dem Lagerkörper 9 ist eine Lagerplatte 30 mit einer sphärischen Pfanne für das Gelenk 28 vorgesehen.
  • Der Ansatz 19 des Lagerkörpers 9 umfaßt die Lagerplatte 30 und begrenzt den geschlossenen Hohlraum 22 zwischen den benachbarten Flächen 4 und 31 dieser Lagerelemente. Wenn die blinde Drosselbohrung 25 im Zentrum der Lagerplatte 30 angeordnet ist, kommuniziert sie mit dem Rohr 24 über einen Querkanal 32, der außen durch einen Stopfen 33 verschlossen ist.
  • Die Koordinatenmeßmaschine funktioniert folgenderweise.
  • Das zu messende Werkstück 2 wird auf den Maschinensockel 1 aufgestellt, dann wird die Druckluft von der Druckluftquelle 8 in die aerostatischen Lager 5 über das Rohr 24 und die Drosselbohrung 25 eingeblasen. Dabei strömt die Druckluft zwischen den Flächen 21 und 14 des Portals 4 bzw des Lagerkörpers 9 (oder gemäß Fig. 7 zwischen den Flächen 31 und 14 der Lagerelemente 30 und 9) und bildet infolge ihrer Druckwirkung zwischen diesen Flächen 21 und 14 (31 und 14) einen Hohlraum 22 in Form eines Spalts mit einer Höhe H1 von 0,005 bis 0,01 mm. Eine weitere Vergrößerung der Höhe dieses Luftspaltes wird durch den elastisch verformbaren Ansatz 19 verhindert.
  • Aus dem Hohlraum 22 gelangt die Druckluft durch die Bohrungen 12 und 15 in den Raum zwischen den Flächen 16 und 10 des Lagerkörpers 9 bzw des Sockels 1 und bildet dazwischen den Arbeitsspalt 11, der das Portal 4 (27) vom Sockel 1 faktisch trennt. Die Höhe H2 des Arbeitsspalts 11 erreicht 0,003 ... 0,006 mm. Also wird das Portal 4 (27) um eine Höhe gleich H1 + H2 gehoben, dabei soll die Zahl der aerostatischen Lager größer als drei sein.
  • Um die erforderlichen Vorgänge zur Messung der geometrischen Parameter des Werkstücks 2 durchzuführen, kann das Portal 4 auf dem Maschinensockel 1 in Richtung der Koordinatenachse "X" bewegt werden, wobei in Richtung der Koordinatenachse "Y" der Schlitten 6 längs des Portals 4 verschoben wird. In Richtung der Koordinatenachse "Z" bewegt sich die Pinole 7 im Schlitten 6 mitsamt dem Tastspitzensystem 3.
  • Bei Verschiebung des Schlittens 6 mit der Pinole 7 und den Tastspitzen 3 ändert sich bekanntlich die Belastung AP der Lager 5, was eine Änderung des Arbeitsspaltes 11 zur Folge hat. Dies wird von einer Verformung des Seitenständers des Portals 4 und von einer Schiefstellung seines Querjochs begleitet, was zu ungenauen Messungen führt.
  • In der beschriebenen Koordinatenmeßmaschine wird diese Schiefstellung des Querjochs des Portals 4 kompensiert. Diese Lagekompensation wird anhand von Fig. 8 erläutert, in der die Abhängigkeit der Höhe H des Arbeitsspaltes 11 (Fig. 2) von der Belastung P des aerostatischen Lagers 5 in Form der Kurve 34 und die Abhängigkeit des Spaltes zwischen dem Auflagerteil 20 des Portals 4 und dem Sockel 1 von der Belastung P - Kurve 35 - dargestellt sind.
  • Mit steigender Belastung P des aerostatischen Lagers 5 verringert sich der Lagerspalt 11 bis auf die Größe von H2. Gleichzeitig steigt der Luftdruck im Lagerspalt 11 und im Hohlraum 22, weil das Luftdruckgefälle im Drosselloch 25 kleiner wird. Infolge des höheren Luftdrucks im Hohlraum 22 vergrößert sich der Abstand zwischen den Flächen 21 und 14 bis zur Größe von H1, was erstens durch eine gleichmäßigere Druckluftverteilung im geschlossenen Hohlraum 22 im Vergleich mit der Druckverteilung im Spalt 11 und zweitens durch eine geeignete Wahl von Flächen 14 (unter dem Auflagerteil 20) und 10 (unter dem Lagerkörper 9) bedingt ist.
  • Gleichzeitig mit der Vergrößerung des Abstands zwischen den Flächen 21 und 14 wird das Luftdruckgefälle im Hohlraum 22 zwischen dem Drosselloch 25 und den Bohrungen 12 kleiner, was zum Luftdruckanstieg im Arbeitsspalt 11 und folglich zur größeren Steifheit des aerostatischen Lagers 5 führt. Mit größerwerdendem Abstand der Flächen 21 und 14 wird dabei der Druck im Hohlraum 22 gleichmäßiger verteilt, zugleich nimmt auch die Kraft zu, die das elastische Element des Lagerkörpers 9 verformt.
  • Umgekehrt führt das Kleinerwerden des Arbeitsspaltes 11 zur Vergrößerung des Abstands zwischen den Flächen 21 und 14. Ist dabei die Verringerung des Arbeitsspalts 11 von Änderungen der Belastung des aerostatischen Lagers 5 abhängig, so hängt die Änderung des Abstandes zwischen den Flächen 21 und 14 von der Steifheit des Ansatzes 19 am Lagerkörper 9 ab, die nach dem Zusammenbau der ganzen Maschine eingestellt wird.
  • Es werden nun zwei Varianten bei der Wahl der Steifigkeit des Ansatzes 19 betrachtet.
  • 1. Wenn die Ständer des Portals 4 und die Verbindungen seiner einzelnen Baugruppen sowie andere Bauelemente genügend steif sind, soll durch die Wahl der Steifheit des elastischen Ansatzes 19 die Bedingung H1' - H1 = H2 - H2' (Fig. 8) eingehalten werden.
  • Bei dieser Variante der Steifheitswahl verschiebt sich infolge der veränderlichen Belastung des aerostatischen Lagers 5 nur sein Lagerkörper 9 vertikal um die Höhe H2 - H2', während sich die Lage des Auflagerteils 20 des Portals 4 nicht ändert und folglich auch die Lage des Horizontalbalkens des Portals 4 unverändert bleibt.
  • 2. Wenn die Ständer des Portals 4 eine Verformung von der Größe 8 erleiden, soll die Steifheit der Vorsprünge 19 herabgesetzt werden, um die Bedingung H2' + H3 - (H2 + H3) = E zu erfüllen, wobei H3 anhand der Kurve 36 (Fig. 8) ermittelt wird, welche die Änderung des Abstandes zwischen dem Auflagerteil 20 des Portals 4 und dem Sockel 1 zur vollständigen Kompensation der Verformung E der Baugruppen des Portals 4 infolge der Belastungsänderung um die Größe # P angibt.
  • In ähnlicher Weise können die übrigen beweglichen Baugruppen der Maschine eingestellt werden, deren Stützen veränderliche Belastungen erfahren und bei denen das Absacken ihrer aerostatischen Lager die Meßgenauigkeit beeinträchtigt.
  • Bei der erfindungsgemäßen Ausführung begrenzt außerdem die dreifache Drosselung der Druckluft vor ihrem Eintritt in die Arbeitsspalte der aerostatischen Lager den Luftverbrauch, und die Vergrößerung der Arbeitsspalte bei der Abnahme der Lagerbelastung gewährleistet eine gleichmäßige Luftdruckverteilung im Arbeitsspalt, wobei die Betriebsfähigkeit der aerostatischen Lager bei kleinen Arbeitsspalten, ihre hohe Steifheit und Tragfähigkeit erreicht werden. Solche Lager sind gegen Druckänderungen in der von der Druckluftquelle zugeführten Druckluft wenig empfindlich und verbrauchen wenig Luft. Bei der Bewegung auf der Oberfläche der Führungen des Maschinensockels reinigen die aerostatischen Lager mit kleinen Spalten außerdem diese Flächen von Staubansammlungen und Verunreinigungen.
  • Der Einsatz der erfindungsgemäßen Koordinatenmeßmaschine ergibt also durch eine höhere Genauigkeit von Bewegungen in Koordinatenrichtungen eine höhere Meßgenauigkeit und bietet auch die Möglichkeit, die Kompensationseinrichtungen durch Ausschluß von gleitenden Teilen bedeutend zu vereinfachen, den Luftverbrauch herabzusetzen und die schädliche Beeinflussung der Temperaturverhältnisse beim Betrieb der Maschine durch die Druckluft zu verringern.
  • Die erfindungsgemäß ausgebildeten aerostatischen Lager mit zusätzlichem geschlossenem Luftraum von last- und druckabhängig elastisch veränderbarem Volumen können auch bei anderen Vorrichtungen eingesetzt werden, bei denen es u.a. auf hohe Lagegenauigkeiten ankommt.
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Claims (5)

  1. Patentansprüche 1. Koordinaten-Meßmaschine mit einem Sockel (1) für das zu messende Werkstück (2), mit einem relativ zum Sockel (1) beweglichen Tastspitzensystem (3) zum Abtasten des Werkstückes und mit einer Tragvorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems (3), welche mit dem Sockel (1) mittels aerostatischer Lager (5) zusammenwirkt, von denen jedes einen Lagerkörper (9) besitzt, der mit der ihm zugewandten Oberfläche (10) des Sockels (1) einen Arbeitsspalt (11) bildet und ein mit dem Arbeitsspalt (11) kommunizierendes System von Druckluft-Einblasbohrungen (12, 15, 17) aufweist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Lagerkörper (9) jedes aerostatischen Lagers (5) auf seiner der Vorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems (3) zugekehrten Seite ein elastisches Element (19) aufweist, welches zwischen der Oberfläche (14) des Lagerkörpers (9) und der benachbarten Oberfläche (21) des Auflagerteils (20) der Tragvorrichtung einen geschlossenen Hohlraum (22) bildet, der über mindestens eine Drosselbohrung (25) mit einer Druckluftquelle (8) und mit dem System von Druckluft-Einblasbohrungen (12, 15, 17) in Verbindung steht.
  2. 2. Koordinatenmeßmaschine mit einem Sockel (1) für das zu messende Werkstück (2), mit einem relativ zum Sockel (1) beweglichen Tastspitzensystem (3) zum Abtasten des Werkstücks (2) und mit einer Tragvorrichtung zum Bewegen des Tastspitzensystems (3), welche mit dem Sockel (1) mittels aerostatischer Lager (5) zusammenwirkt, von denen jedes einen Lagerkörper (9) besitzt, der mit der ihm zugewandten Oberfläche (10) des Sockels (1) einen Arbeitsspalt (11) bildet und ein mit dem Arbeitsspalt (11) kommunizierendes System von Druckluft-Einblasbohrungen (12, 15, 17) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Auflagerteil der Tragvorrichtung und dem Lagerkörper (9) jedes aerostatischen Lagers (5) eine Lagerplatte (30) eingebaut ist, die mit der Tragvorrichtung über ein sphärisches Gelenk (28) zusammenwirkt, daß der Lagerkörper (9) jedes aerostatischen Lagers (5) ein elastisches Element (19) aufweist, das zwischen den benachbarten Flächen (14, 31) der Lagerelemente (9, 30) einen geschlossenen Hohlraum (22) bildet, welcher über mindestens ein Drosselloch (25) mit der Druckluftquelle (8) und unmittelbar mit dem System von Druckluft-Einblasbohrungen (12, 15, 17) in Verbindung steht.
  3. 3. Meßmaschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (22), spaltförmig ist und sich über nahezu die gesamte Fläche des Auflagerkörpers (9) erstreckt.
  4. 4. Meßmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Element (19) als hinterschnittener Ansatz am Lagerkörper (9) ausgebildet ist, der das Auflager (20) der Tragvorrichtung (4) bzw die Lagerplatte (30) abgedichtet umfaßt.
  5. 5. Meßmaschine nach einem der Ansprüche l bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der den Hohlraum (22) begrenzenden Fläche des Auflagerteils (20) bzw der Lagerplatte (30) Verteilerkanäle (26) ausgebildet sind.
DE19843441426 1984-02-13 1984-11-13 Koordinatenmessmaschine Granted DE3441426A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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SU843696951A SU1151060A1 (ru) 1984-02-13 1984-02-13 Координатна измерительна машина

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DE3441426A1 true DE3441426A1 (de) 1985-08-14
DE3441426C2 DE3441426C2 (de) 1992-12-03

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DE (1) DE3441426A1 (de)
SU (1) SU1151060A1 (de)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3815198A1 (de) * 1987-07-31 1989-02-09 Mitutoyo Corp Koordinatenmessgeraet
FR2620223A1 (fr) * 1987-09-09 1989-03-10 Inst Superieur Etat Surface Procede pour faire glisser un support mobile sur une surface de reference et dispositif associe
EP0526830A1 (de) * 1991-08-03 1993-02-10 Firma Carl Zeiss Gasdrucklager
WO2001057545A1 (en) * 2000-02-07 2001-08-09 Microinspection, Inc. Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe
US6960855B2 (en) 2001-04-26 2005-11-01 Werth Messtechnik Gmbh Bearing for a measuring instrument, particularly a coordinate measuring instrument
CN102128206A (zh) * 2011-03-15 2011-07-20 中国科学院光电技术研究所 一种空气静压止推轴承
DE102010006297A1 (de) 2010-01-21 2011-07-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 Maschine und Verfahren zum Betreiben einer Maschine
WO2013110337A1 (de) 2012-01-26 2013-08-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Maschine mit verbessertem vorgespannten fluidlager
DE102013200595A1 (de) 2013-01-16 2014-07-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Steuerung eines Betriebs einer Koordinatenmess-Maschine oder Werkzeug-Maschine mit einem beweglichen Teil
DE102014212748A1 (de) * 2014-07-01 2016-01-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Lagerbaugruppe für eine lineare Fluidlagerführung eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH604033A5 (de) * 1974-10-08 1978-08-31 Agfa Gevaert Nv
GB2099151A (en) * 1981-02-14 1982-12-01 Lk Tool Co Ltd Measuring machine
DE3121373A1 (de) * 1981-05-29 1982-12-23 C. Stiefelmayer Kg, 7300 Esslingen Geraet zum insbesondere dreidimensionalen messen und/oder anreissen und/oder antasten von werkstuecken

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH604033A5 (de) * 1974-10-08 1978-08-31 Agfa Gevaert Nv
GB2099151A (en) * 1981-02-14 1982-12-01 Lk Tool Co Ltd Measuring machine
DE3121373A1 (de) * 1981-05-29 1982-12-23 C. Stiefelmayer Kg, 7300 Esslingen Geraet zum insbesondere dreidimensionalen messen und/oder anreissen und/oder antasten von werkstuecken

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3815198A1 (de) * 1987-07-31 1989-02-09 Mitutoyo Corp Koordinatenmessgeraet
FR2620223A1 (fr) * 1987-09-09 1989-03-10 Inst Superieur Etat Surface Procede pour faire glisser un support mobile sur une surface de reference et dispositif associe
WO1989002571A1 (fr) * 1987-09-09 1989-03-23 Institut Superieur D'etat De Surface (Ises) Procede et support glissant pour un profilometre
US5105552A (en) * 1987-09-09 1992-04-21 Institut Superieur D'etat De Surface (I S E S) Procedure and sliding support for a profilometer
EP0526830A1 (de) * 1991-08-03 1993-02-10 Firma Carl Zeiss Gasdrucklager
US5199796A (en) * 1991-08-03 1993-04-06 Carl-Zeiss-Stiftung Gas pressure bearing
WO2001057545A1 (en) * 2000-02-07 2001-08-09 Microinspection, Inc. Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe
US6753684B2 (en) 2000-02-07 2004-06-22 Microinspection, Inc. Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe
US6960855B2 (en) 2001-04-26 2005-11-01 Werth Messtechnik Gmbh Bearing for a measuring instrument, particularly a coordinate measuring instrument
DE102010006297A1 (de) 2010-01-21 2011-07-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 Maschine und Verfahren zum Betreiben einer Maschine
WO2011089222A1 (de) 2010-01-21 2011-07-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Maschine mit einem luftlager und verfahren zum betreiben einer maschine
US8590875B2 (en) 2010-01-21 2013-11-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Machine having an air bearing and method for operating such a machine
CN102128206A (zh) * 2011-03-15 2011-07-20 中国科学院光电技术研究所 一种空气静压止推轴承
CN102128206B (zh) * 2011-03-15 2013-02-06 中国科学院光电技术研究所 一种空气静压止推轴承
WO2013110337A1 (de) 2012-01-26 2013-08-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Maschine mit verbessertem vorgespannten fluidlager
DE102013200595A1 (de) 2013-01-16 2014-07-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Steuerung eines Betriebs einer Koordinatenmess-Maschine oder Werkzeug-Maschine mit einem beweglichen Teil
DE102013200595B4 (de) 2013-01-16 2019-09-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Steuerung eines Betriebs einer Koordinatenmess-Maschine oder Werkzeug-Maschine mit einem beweglichen Teil
DE102014212748A1 (de) * 2014-07-01 2016-01-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Lagerbaugruppe für eine lineare Fluidlagerführung eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät
EP3164666B1 (de) * 2014-07-01 2018-08-15 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Koordinatenmessgerät

Also Published As

Publication number Publication date
DD258544A3 (de) 1988-07-27
SU1151060A1 (ru) 1985-11-23
DE3441426C2 (de) 1992-12-03

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