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DE3314002A1 - CLOCK AND DYNAMIC MEMORY WORKING WITH IT - Google Patents

CLOCK AND DYNAMIC MEMORY WORKING WITH IT

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Publication number
DE3314002A1
DE3314002A1 DE3314002A DE3314002A DE3314002A1 DE 3314002 A1 DE3314002 A1 DE 3314002A1 DE 3314002 A DE3314002 A DE 3314002A DE 3314002 A DE3314002 A DE 3314002A DE 3314002 A1 DE3314002 A1 DE 3314002A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
voltage
node
signal
output
igfet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3314002A
Other languages
German (de)
Inventor
Tetsuro Koganei Tokyo Matsumoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of DE3314002A1 publication Critical patent/DE3314002A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Description

OO IHUU^.OO IHUU ^.

BESCHREIBUNGDESCRIPTION

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Taktgeber oder Taktimpulsgenerator, der aus Feldeffekttransistoren vom Typ mit isolierter Gateelektrode (im folgenden kurz als "IGFET" oder "MOSFET" bezeichnet) aufgebaut ist und auf einen dynamischen Speicher, der den Taktimpulsgenerator verwendet.The present invention relates to a clock generator or clock pulse generator made up of field effect transistors of the insulated gate electrode type (hereinafter referred to as "IGFET" or "MOSFET" for short) is and on a dynamic memory, which the clock pulse generator used.

Vor der vorliegenden Erfindung wurde ein solcher Taktimpulsgenerator so dargestellt, wie in Figur 1 gezeigt. Dieser Taktimpulsgenerator ist wie folgt aufgebaut:Prior to the present invention, there was such a clock pulse generator represented as shown in FIG. This clock pulse generator is structured as follows:

Ein MOSFET Q1 ist ein Bauelement, das zusammen mit einem MOSFET Q2 und einem Bootstrap-Kondensator Cß einen Bootstrap-Schaltkreis aufbaut und ein Gate aufweist, das über einen MOSFET Q5 mit Übertragungsgate mit einem Eingangsimpuls <$IN · beaufschlagt werden soll. Der Bootstrap-Kondensator C_ ist zwischen den Gate- und Source-Anschluß des MOSFET Q1 geschaltet. Der MOSFET Q2 ist zwischen den Source-Anschluß des MOSFET Q1 und den Massepunkt des Taktgebers geschaltet. Die Ausgangs-MOSFETs Q3 und Q. sind Bauelemente, die eine Gegentaktausgangsschaltung aufbauen. Die Ausgangs-MOSFETs Q-, und Q, sind zwischen dem Anschluß V"cc ,einer Versorgungsquelle und dem Massepunkt in Serie geschaltet. Ihre jeweiligen Gate-Anschlüsse sind dabei gewöhnlich mit den Gates der MOSFETs Q1 und Q„ verbunden.A MOSFET Q 1 is a component which, together with a MOSFET Q 2 and a bootstrap capacitor C ß, builds a bootstrap circuit and has a gate to which an input pulse <$ IN is to be applied via a MOSFET Q 5 with a transmission gate . The bootstrap capacitor C_ is connected between the gate and source terminals of the MOSFET Q 1 . The MOSFET Q 2 is connected between the source terminal of the MOSFET Q 1 and the ground point of the clock generator. The output MOSFETs Q 3 and Q. are components that make up a push-pull output circuit. The output MOSFETs Q 1 and Q 1 are connected in series between the terminal V " cc , a supply source and the ground point. Their respective gate connections are usually connected to the gates of the MOSFETs Q 1 and Q".

Die jeweiligen Betriebszustände der MOSFETs Q-, Q, und Qc werden durch einen Verzögerungsschaltkreis geregelt, der. sich aus de:n MOSFETs Q11 bis Q15 zusammensetzt, um die Aufladezeit des Bootstrap-Kondensators C^ beizubehalten.. Der auf der Seite des Anschlusses der Versorgungsquelle liegende MOSFET Q-i ο' dessen Gate mit dem Eingangsimpuls <i> „ beaufschlagt wird, und der auf der Seite des Masseanschlusses liegende MOSFET Q13 r dessen Gate mit einem Vorlade-.(oder Rücksetz-)Impuls Φ beaufschlagt wird, sind zwischen dem Anschluß' der Versorguhgsquelle und zwischen dem MasseanschlußThe respective operating states of the MOSFETs Q-, Q, and Qc are controlled by a delay circuit which. is composed of de: n MOSFETs Q 11 to Q 15 in order to maintain the charging time of the bootstrap capacitor C ^. The MOSFET Qi ο 'on the side of the connection of the supply source, whose gate is acted upon by the input pulse <i>", and the MOSFET Q 1 3 r on the side of the ground connection, whose gate is subjected to a precharge (or reset) pulse Φ, are between the connection 'of the supply source and between the ground connection

ORIGINAL JNSPECTEDORIGINAL JNSPECTED

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in Serie geschaltet. Der MOSFET Q15 auf Seite des Masseanschlusses, dessen Gate mit einem Signal am Schaltungspunkt N2 dieser seriellen MOSFETs Q-2 un& Q13 beaufschlagt wird, und der MOSFET Q14 auf Seite des Anschlusses der Versorgungsquelle, dessen Gate mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt wird, sind miteinander in Serie geschaltet. Ein Verzögerungssignal, das am gemeinsamen Schaltungspunkt N_ der seriellen MOSFETs Q14 und Q1,- erzeugt werden soll, wird einerseits auf die Gates der MOSFETs Q2 und Q4 und andererseits auf das Gate des MOSFET Q5 über den Unterbrechungs-MOSFET Q-- übertragen, dessen Gate mit der Spannung der Versorgungsquelle Vnn beaufschlagt ist.connected in series. The MOSFET Q 15 on the side of the ground connection, the gate of which receives a signal at the node N 2 of these serial MOSFETs Q-2 and Q 1 3, and the MOSFET Q 14 on the side of the connection of the supply source, the gate of which with the precharge pulse Φ is applied, are connected in series with each other. A delay signal that is to be generated at the common node N_ of the serial MOSFETs Q 14 and Q 1 , - is sent to the gates of the MOSFETs Q 2 and Q 4 on the one hand and to the gate of the MOSFET Q 5 via the interrupting MOSFET Q- - Transmitted, the gate of which is acted upon by the voltage of the supply source V nn.

Die Verzögerungszeit (d.h. die Aufladezeit des Kondensators C0) des so aufgebauten Taktimpulsgenerators wird durch die MOSFETs Q-I2' °-i 5 usw· in einem 1 : 1-Verhältnis festgelegt. Der Taktgeber hat die folgenden Mangel: 1. Im Falle, daß die Anstiegsrate der Ladespannung am Bootstrap-Kondensator C , der durch den MOSFET Q5 aufgeladenThe delay time (ie the charging time of the capacitor C 0 ) of the clock pulse generator constructed in this way is determined by the MOSFETs QI 2 '° -i 5 etc. in a 1: 1 ratio. The clock has the following shortcomings: 1. In the event that the rate of increase of the charging voltage on the bootstrap capacitor C, charged by the MOSFET Q 5

• · werden soll, so hoch ist wie in Kurve A in Figur 2 darge-.stellt, wird der Stromverbrauch erhöht und der niedrige • Pegel eines. Ausgangsimpulses $onm wird auf ein höheres Niveau angehoben,·so daß die Toleranzgrenze für einen niedrigen Pegel nicht eingehalten werden kann. Ist im entgegengesetzten Fall der Anstieg der Ladespannung an einem Schaltungspunkt N- so niedrig wie in einer Kurve B in derselben Figur dargestellt, wird der Anstieg des Ausgangsimpulses <&0UT ebenfalls verzögert.Is as high as shown in curve A in FIG. 2, the power consumption is increased and the low level of a. The output pulse $ on m is raised to a higher level, so that the tolerance limit for a low level cannot be maintained. If, in the opposite case, the rise in the charging voltage at a node N- is as low as shown in a curve B in the same figure, the rise in the output pulse <& OUT is also delayed.

Insbesondere sind die Schaltungspunkte N2 und N_, die durch die MOSFETs Q13 und Q14, deren Gates mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt werden, im Voraus auf den niedrigen bzw: hohen Pegel aufgeladen wurden, so ausgelegt, daß sie als Antwort auf die Tatsache, daß der Eingangsimpuls Φ „ den hohen Pegel annimmt, den hohen bzw. niedrigen Pegel aufweisen. Die Verzögerungszeit von dem Zeitpunkt, zu dem der Eingangsimpuls ΦΤΝ auf den hohen Pegel gesetzt wird, bis zu dem Zeitpunkt, zu dem der Schaltungspunkt N3 auf denIn particular, the nodes N 2 and N_, which have been charged in advance to the low and high levels by the MOSFETs Q 13 and Q 14 , the gates of which are applied with the precharge pulse Φ, respectively, are designed to be in response to the fact that the input pulse Φ "assumes the high level, have the high or low level. The delay time from the point in time at which the input pulse Φ ΤΝ is set to the high level to the point in time at which the node N 3 on the

33U00233U002

niedrigen Pegel gesetzt wird, ist durch den Durchlaßwiderstand des MOSFET Q1?' eine Kapazität wie die nicht gezeigte parasitäre Kapazität, die an den Schaltungspunkt N2 gekoppelt ist, den Durchlaßwiderstand des MOSFET Q15/ eine Kapazität wie die nicht gezeigte parasitäre Kapazität, die an den Schaltungspunkt N3 gekoppelt ist usw. bestimmt.is set low, is through the on-resistance of the MOSFET Q 1 ? ' a capacitance such as the parasitic capacitance, not shown, which is coupled to node N 2 , the on-resistance of MOSFET Q15 / a capacitance such as the parasitic capacitance, not shown, which is coupled to node N 3 , and so on.

Im Falle einer hohen Anstiegsrate des Eingangsimpulses ΦχΝ wird die Ladespannung des Schaltungspunktes N- in einem hohen Maße angehoben. Im Gegensatz dazu soll der Schaltungspunkt N-, nach einer vorbestimmten Verzögerungszeit den niedrigen Pegel aufweisen. Als ein. Ergebnis wird die Zeitspanne von dem Zeitpunkt, zu dem der Schaltungspunkt N. einen ausreichend hohen Pegel annehmen soll, bis zu dem Zeitpunkt, zu dem der Schaltungspunkt N3 den niedrigen Pegel annehmen soll, verlängert. Als ein Ergebnis daraus, daß die Zeitspannen, die erforderlich sind, um die MOSFETs Q1 und Q2 gleichzeitig leitend zu machen und um die MOSFETs Q3 und Q- gleichzeitig leitend zu machen, jeweils -verlängert werden, werden die Ströme durch die MOSFETs Q- und Q2 und durch die MOSFETs Q3 und Q. erhöht. Andererseits wird der Pegel des Ausgangsimpulses Φηπφ geringfügig erhöht, bevor er.auf den hohen Pegel verändert wird, da der Ausgangs-MOSFET Q3 zu einem zu.frühen Zeitpunkt als Antwort auf das Potential des Schaltungspunktes N- hinreichend leitend gemacht wird.In the case of a high rate of rise of the input pulse Φ χΝ, the charging voltage of the node N- is increased to a large extent. In contrast to this, the node N- should have the low level after a predetermined delay time. As a. As a result, the time span from the point in time at which the node N. is to assume a sufficiently high level to the point in time at which the node N 3 is intended to assume the low level is extended. As a result of the times required to render MOSFETs Q 1 and Q 2 conductive at the same time and to render MOSFETs Q 3 and Q- simultaneously conductive, respectively, the currents through the MOSFETs are increased Q and Q 2 and by the MOSFETs Q 3 and Q. increased. On the other hand, the level of the output pulse Φ ηπφ is slightly increased before it is changed to the high level, since the output MOSFET Q 3 is made sufficiently conductive at a too early point in time in response to the potential of the node N-.

In anderen Worten, der niedrige Pegel des Ausgangsimpulses Φ_ wird auf einen unerwünschten Pegel gesetzt.In other words, the low level of the output pulse Φ_ is set to an undesirable level.

Falls im Gegensatz dazu die Anstiegsrate der Ladespannung am Schaltungspunkt N- niedrig ist als Antwort auf die Tatsache, daß die Anstiegsrate des Eingangsimpulses Φ™ niedrig ist, wird bewirkt, daß der Schaltungspunkt N3 den niedrigen Pegel annimmt, bevor die Ladespannung am Schaltungspunkt N- auf den hinreichend hohen Pegel gesetzt wird. Der MOSFET Qr, der die Ladespannung an den Bootstrap-Kondensator Cg anlegen soll, wird als Antwort darauf, daß der Schaltungspunkt N3 auf den niedrigen Pegel gesetzt wird, gesperrt. Als Ergebnis davon wird^ di^e Ladespannung des Boot-Conversely, if the rate of rise of the charge voltage at node N- is low in response to the fact that the rate of rise of the input pulse Φ ™ is low, node N 3 is caused to go low before the charge voltage at node N- is set to the sufficiently high level. The MOSFET Qr, which is to apply the charging voltage to the bootstrap capacitor Cg, is turned off in response to the node N 3 being set to the low level. As a result, ^ di ^ e charging voltage of the boot

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" " 33UQ02 - 11 -"" 33UQ02 - 11 -

strap-Kondensators C-. nicht auf den hinreichend hohen Pegel gesetzt. Da die Ladespannung des Bootstrap-Kondensators Cß einen nicht ausreichenden Pegel annimmt, wird der Ausgangs-MOSFET Q~ nicht hinreichend leitend gemacht. Als Ergebnis davon wird die Anstiegsrate des Ausgangsimpulses $onm erniedrigt.strap capacitor C-. not set to the sufficiently high level. Since the charging voltage of the bootstrap capacitor C ß assumes an insufficient level, the output MOSFET Q ~ is not made sufficiently conductive. As a result, the rising rate of the output pulse $ on m is decreased.

Eine ähnlich unerwünschte Wirkungsweise des Taktimpulsgenerators wird selbst dann verursacht, wenn die Anstiegsrate des Eingangsimpulses Φ konstant ist, weil bezüglich der Anstiegsrate und der Verzögerungszeit des Schaltungspunktes Ν., als Antwort auf die Streuung in den charakteristischen Merkmalen der MOSFETs Qr, Q ^ 2 un& Q-15 Abweichungen auftreten.A similar undesirable operation of the clock pulse generator is caused even if the rate of rise of the input pulse Φ is constant, because with respect to the rate of rise and the delay time of the node Ν., In response to the dispersion in the characteristic features of the MOSFETs Qr, Q ^ 2 and & Q-15 deviations occur.

2. Falls die Verzögerungszeit vom Eingangsimpuls Φ zum2. If the delay time from the input pulse Φ to

Ausgangsimpuls Φητττ auf einen hohen Wert gesetzt werden soll, ist ein Zusammenfallen der Ladezeit des Schaltungspunktes Ν,, und der Verzögerungszeit des Schaltungspunktes N^ nur unter ungewöhnlichen Schwierigkeiten zu erreichen, da sie im "hohen Maße durch die Streuung der charakteristischen Bauelementmerkmale beeinflußt werden.Output pulse Φ ητττ o f a high value to be set, collapse of the charging time of node Ν ,, and the delay time of node N ^ can be achieved only under unusual difficulties because they are affected in the "high degree by the scattering of the characteristic component features .

3. Falls die Anstiegsrate des Eingangsimpulses Φ~~ verändert wird, ergibt sich daraus ein Anwachsen des Stromverbrauchs, das in erster Linie durch die Verknappung des Toleranzgebietes für den niedrigen Pegel und durch die Verringerung der ansteuernden Kapazität der nicht gezeigten - Last während des Ausgangsimpulses bewirkt wird, so daß die angestrebten stabilen Betriebszustände nicht erwartet werden können.3. If the rate of rise of the input pulse Φ ~~ is changed, this results in an increase in power consumption, which is primarily caused by the narrowing of the tolerance range for the low level and by the reduction in the driving capacity of the not shown - load during the output pulse so that the desired stable operating conditions cannot be expected.

Es ist deswegen ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Taktimpulsgenerator zur Verfügung zu stellen, dessen Betriebszustand von den Einflüssen der Streuung und der Schwankung des Anstiegs eines Eingangsimpulses befreit ist.It is therefore an object of the present invention to provide a clock pulse generator, its Operating condition of the influences of the scatter and the Fluctuation in the rise of an input pulse is exempt.

Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Taktimpulsgenerator zur Verfügung zu stellen, der in der Lage ist, einen Ausgangsimpuls zu erzeugen, der so aus-Another object of the present invention is to provide a clock pulse generator which is shown in FIG is able to generate an output pulse that is so

'- 12*- " " " 33U002'- 12 * - "" "33U002

gelegt ist, daß er eine längere Verzögerungszeit hat als der Eingangsimpuls.is placed that it has a longer delay time than the input pulse.

Ein wiederum anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Taktimpulsgenerator mit einem niedrigen Leistungsverbrauch zu Verfügung zu stellen.Yet another object of the present invention is to provide a clock pulse generator with a low To provide power consumption.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Taktimpulsgenerator zur Verfügung zu stellen, der in der Lage ist, ein Signal auf einem passenden Pegel zu erzeugen. Another object of the present invention is to provide a clock pulse generator which is shown in FIG is able to generate a signal at an appropriate level.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Taktimpulsgenerator zur Verfügung zu stellen, der für einen dynamsichen Speicher mit direktem Zugriff (dynamic random access memory D-RAM) in MOS-Technologie geeignet ist.Another object of the present invention is to provide a clock pulse generator which can be used for a dynamic memory with direct access (dynamic random access memory D-RAM) in MOS technology is.

Weitere Ziele der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung ersichtlich, die unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen erfolgt.Further objects of the present invention will become apparent from The following description is apparent, which is made with reference to the accompanying drawings.

Figur 1 zeigt den Schaltplan eines Taktgebers,· wie er vor der vorliegenden Erfindung dargestellt wurde; Figur 2 verdeutlicht anhand eines Impulsdiagramms den in Figur 1 dargestellten Taktimpulsgenerator;Figure 1 shows the circuit diagram of a clock, · like him was shown prior to the present invention; FIG. 2 illustrates using a pulse diagram clock pulse generator shown in Figure 1;

Figur 3 zeigt den' Schaltplan eines Taktgebers gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; Figur 4 ist ein Impulsdiagrämm zur Erklärung der Wirkungsweise des Taktimpulsgenerators nach Figur 3;Figure 3 shows the 'circuit diagram of a clock according to an embodiment of the present invention; Figure 4 is a timing diagram for explaining the operation of the clock pulse generator of Figure 3;

Figur 5 zeigt in einem Blockschaltbild ein D-RAM, das mit dem Taktgeber, der die vorliegende Erfindung darstellt, versehen ist;FIG. 5 shows in a block diagram a D-RAM which provided with the clock embodying the present invention;

die Figuren 6 und 7 sind Impulsdiagra.mme, die die Wirkungsweise des D-RAM nach Figur 5 darstellen;Figures 6 and 7 are Impulsdiagra.mme showing the mode of operation of the D-RAM of Figure 5;

Figur 8 zeigt in einem Schaltplan einen wesentlichen Teilbereich des D-RAM, auf das die vorliegende Erfindung Anwendung findet; undFIG. 8 shows a circuit diagram of an essential part of the D-RAM to which the present invention is based Applies; and

Figur 9 ist ein Impulsdiagramm zur Erklärung der Wirkungsweise desselben.Figure 9 is a timing chart for explaining the operation of the same.

Die vorliegende Erfindung wird im einzelnen im folgenden in Verbindung mit ihrer technischen Realisierung beschrieben.The present invention is described in detail below in connection with its technical realization.

33H00233H002

- 13 -- 13 -

In Figur 3 ist der Schaltplan der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gezeigt.
In Figure 3 is the circuit diagram of the embodiment
of the present invention.

Gemäß dieser Ausführungsform ist ein Spannungsdetektor, der, wie im folgenden ausgeführt, aus den MOSFETs Q6 bis Q10 aufgebaut ist, mit dem Bootstrap-Ausgangsschaltkreis verbunden, der, wie in Figur 1 gezeigt, aus den MOSFETs Q1 bis Q5 und dem Bootstrap-Kondensator CD zusammengesetzt sein soll.According to this embodiment is a voltage detector which, as set forth below, composed of the MOSFETs Q 6 and Q 10 connected to the bootstrap output circuit, as shown in Figure 1, of the MOSFETs Q 1 to Q 5 and the Bootstrap capacitor C D should be composed.

JDJD

Der Spannungsdetektor in der Ausführungsform nach Figur 3
ist aus den MOSFETs Qg bis Q1 aufgebaut und nimmt den Platz des Verzögerungsschaltkreises, wie er in Figur 1 gezeigt
The voltage detector in the embodiment according to FIG. 3
is made up of MOSFETs Qg to Q 1 and takes the place of the delay circuit as shown in FIG

ist, ein. Im Bootstrap-Ausgangsschaltkreis bilden im wesentlichen die MOSFETs Q1 und Q2 den den Bootstrap-Kondensator
ansteuernden Schaltkreis. In dem Taktgeber nach Figur 3 können der Spannungsdetektor und der Bootstrap-Kondensator-Ansteuerschaltkreis so ausgelegt werden, daß sie im wesentlichen
einen Treiber aufbauen.
is a. In the bootstrap output circuit, the MOSFETs Q 1 and Q 2 essentially form the bootstrap capacitor
driving circuit. In the clock generator of Figure 3, the voltage detector and the bootstrap capacitor drive circuit can be designed so that they are essentially
build a driver.

In dem Spannungsdetektor ist der auf Seite des Massepotentials liegende MOSFET Q7 mit dem auf der Seite des
Anschlusses der Versorgungsquelle liegenden MOSFET Qg in
In the voltage detector, the MOSFET Q 7 on the side of the ground potential is connected to that on the side of the
Connection of the supply source lying MOSFET Qg in

Serie geschaltet, dessen;Gate mit der Gatespannung, die an
den MOSFET Q1 angelegt ist, beaufschlagt wird. In anderen
Worten, der MOSFET Q7 ist· zwis'chen den Source-Anschluß des
MOSFET Qg und den Massepunkt des Spannungdetektors geschaltet. Der auf Seite des Massepotentials liegende MOSFET Qg hat seinen Gate- und Drain-Anschluß mit den entsprechenden Anschlüssen des MOSFET Q7 über Kreuz geschaltet. Der MOSFET Qg auf Seite des Anschlusses der Versörgungsquelle ist mit dem MOSFET
Qg in Serie geschaltet und sein Gate ist mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt. Parallel zum MOSFET Q7 ist der MOSFET Q10
Connected in series, whose; gate with the gate voltage that is connected to
the MOSFET Q 1 is applied, is applied. In other
In other words, the MOSFET Q 7 is between the source terminal of the
MOSFET Qg and the ground point of the voltage detector switched. The MOSFET Q g on the ground potential side has its gate and drain connections crossed with the corresponding connections of the MOSFET Q 7 . The MOSFET Qg on the side of the connection of the supply source is with the MOSFET
Qg is connected in series and its gate receives the precharge pulse Φ. The MOSFET Q 10 is parallel to the MOSFET Q 7

geschältet, dessen Gate mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt wird. Das Drain-Ausgangssignal des MOSFET Qg wird einerseits auf die Gates der MOSFETs Q2 und Q4 und andererseits auf das Gate des MOSFET Q5 über den Ünterbrechungs-MOSFET Q11, dessen Gate mit der Spannung V^p der Versorgungsquelle beaufschlagt ist, gegeben. .peeled, the gate of which is applied with the precharge pulse Φ. The drain output signal of the MOSFET Q g is on the one hand to the gates of the MOSFETs Q 2 and Q 4 and on the other hand to the gate of the MOSFET Q 5 via the interruption MOSFET Q 11 , the gate of which is supplied with the voltage V ^ p of the supply source, given. .

33H00233H002

Die bisher beschriebenen MOSF1ETs. clad als N-Kanal-Typen ausgelegt, obwohl keine ausgesprochene Beschränkung darauf besteht. Die MOSFETs und der Boctstrap-Kondensator Cn/ wie dargestellt, sind in Übereinstimmung mit der wohlbekannten MOS-Technologie für integrierte Schaltkreise" auf einem solchen Halbleitersubstrat ausgebildet, wie es aus N-dotiertem einkristallinem Silizium hergestellt wird. Der Bootstrap-Kondensator Cß ist aus dem MOS-Kondensator aufgebaut, der so ausgelegt ist, daß er einen' Aufbau ähnlich dem des MOSFET aufweist, obwohl keine ausgesprochene Beschränkung darauf besteht. Die Gate-Elektrode des Kondensators CR ist auf den Punkt N1 geschaltet und seine Source- und Drain-Elektrode ist mit dem gemeinsamen Schaltungspunkt der Source-Elektrode des MOSFET Q1 und der Drain-Elektrode des MOSFET Q2 verbunden. The MOSF 1 ETs described so far. clad is designed as an N-channel type, although there is no particular restriction on it. The MOSFETs and the boctstrap capacitor C n / as shown are formed in accordance with well-known MOS technology for integrated circuits "on such a semiconductor substrate as is made of N-doped single crystal silicon. The bootstrap capacitor C β is composed of the MOS capacitor which is designed to have a structure similar to that of the MOSFET, although there is no particular limitation thereto, the gate electrode of the capacitor C R is connected to the point N 1 and its source and The drain electrode is connected to the common node of the source electrode of the MOSFET Q 1 and the drain electrode of the MOSFET Q 2 .

Die Wirkungsweise des Generators entsprechend dieser Ausführungsform wird unter Bezugnahme auf das Impulsdiagramm nach Figur 4 beschrieben. · ■ ·The operation of the generator according to this embodiment will be explained with reference to the timing diagram described according to Figure 4. · ■ ·

Der Vorladeimpuls Φ und der Eingangs impuls Φ™/ die an den in Figur 3 gezeigten Generator angelegt werden sollen, werden von einem nicht.gezeigten geeigneten Schaltkreis zugeführt. " -■ Der Vorladeimpuls Φ wird im Voraus auf einen hohen Pegel gesetzt, der, wie in Figur 4 dargestellt, annähernd auf der Höhe der Spannung der Versorgungsquelle V_ liegt und er wird auf einen niedrigen Pegel von angenähert Null Volt herabgesetzt, bevor der Eingangsimpuls ΦΤΝ» der verzögert werden soll, empfangen wird, d.h., bevor der Eingangsimpuls Φ auf den hohen Pegel angehoben wird. Darüber hinaus wird der Vorladeimpuls Φ in zeitlicher Übereinstimmung mit der Tatsache, daß der Eingangsimpuls Φ^Ν auf den niedrigen Pegel zurückgesetzt wird, auf den hohen Pegel angehoben, obwohl keine ausgesprochene Beschränkung darauf besteht. Wenn sich der Vorladeimpuls Φ auf dem hohen. Pegel befindet, sind die MOSFETs Q8 und Q1 dementsprechend leitend. Wenn die MOSFETs Qg und Q1_ leitend werden, wirdThe precharge pulse Φ and the input pulse Φ ™ / which are to be applied to the generator shown in Figure 3, are supplied by a suitable circuit not shown. "- ■ The precharge pulse Φ is set in advance to a high level which, as shown in FIG. 4, is approximately at the level of the voltage of the supply source V_ and it is reduced to a low level of approximately zero volts before the input pulse Φ ΤΝ "is to be the delay, is received, that is, before the input pulse Φ is raised to the high level. Moreover, the precharge pulse Φ in synchronization with the fact that the input pulse Φ ^ Ν is reset to the low level, on is raised to the high level, although there is no particular limitation. When the precharge pulse Φ is at the high level, the MOSFETs Q 8 and Q 1 are accordingly conductive, and when the MOSFETs Qg and Q 1 become conductive, becomes

• ι• ι

* Λ * Λ

der MOSFET Q7 leitend gemacht, wo hingegen der MOSFET Qg nicht—leitend gemacht wird. Zu diesem Zeitpunkt sind, da der MOSFET Qg nicht-leitend ist, wo hingegen der MOSFET Qo leitend ist, die Gates der MOSFETs Q„, Q. und Q5 über 5. den MOSFET Qg auf den hohen Pegel vorgeladen, der angenähert gleich der Spannung der Versorgungsquelle V_,_, - VmtJ (Schwellen-the MOSFET Q 7 is made conductive, whereas the MOSFET Q g is made non-conductive. At this time, since the MOSFET Q g is non-conductive while the MOSFET Qo is conductive, the gates of the MOSFETs Q 1, Q and Q 5 are precharged to the high level via 5. the MOSFET Q g, which is approximately the same the voltage of the supply source V _, _, - V mtJ (threshold

CL- JL HCL- JL H

spannung des.MOSFET) ist. Als Ergebnis daraus werden diese MOSFETs Q2/ Q4 und Q5 leitend gemacht. Der Pegel am Schaltungspunkt N wird auf denselben Pegel wie den des Eingangsimpulses Φ-j-·»·,/ d.h. , auf den niedrigen Pegel erniedrigt, da der MOSFET Q5 leitend ist. Die MOSFETs Q6, Q1 und Q3, deren jeweilige Gates an den Schaltungspunkt N1 geschaltet sind, werden nicht—leitend gemacht, da der Schaltungspunkt N1 sich auf dem niedrigen Pegel befindet. Der Ausgangsimpuls Φ^· , der vom gemeinsamen Schaltungspunkt des Source-Anschlusses des Ausgangs-MOSFET Q_ und des Drain-Anschlusses des Ausgangs-MOSFET Q4 gespeist wird, befindet sich auf dem' niedrigen Pegel, weil der Ausgangs-MOSFET Q4 leitend ist. • Unter diesen Gegebenheiten wird der nicht—leitende Zustand zumindest an einem der paarweise angeordneten MOSFETs, die zwischen dem Anschluß der Versorgungsquelle und dem Masseanschluß in Serie geschaltet sind, wie z.B. die MOSFETs Q3 und Q4, aufbrecht erhalten. Als Ergebnis'daraus wird der Stromverbrauch des Taktimpulsgenerators in diesem Zustand im wesentlichen auf Null verringert.voltage of the MOSFET). As a result, these MOSFETs Q 2 / Q 4 and Q 5 are made conductive. The level at the node N is lowered to the same level as that of the input pulse Φ-j- · »·, / ie, to the low level, since the MOSFET Q 5 is conductive. The MOSFETs Q 6 , Q 1 and Q 3 , the respective gates of which are connected to the node N 1 , are rendered non-conductive because the node N 1 is at the low level. The output pulse Φ ^ ·, which is fed from the common node of the source connection of the output MOSFET Q_ and the drain connection of the output MOSFET Q 4 , is at the 'low level because the output MOSFET Q 4 is conductive . • Under these circumstances, the non-conductive state is maintained at least on one of the paired MOSFETs which are connected in series between the connection of the supply source and the ground connection, such as MOSFETs Q 3 and Q 4 . As a result, the power consumption of the clock pulse generator is reduced to essentially zero in this state.

Die Vorladebetriebsweise ist danach als Ergebnis daraus, daß der Vorladeimpuls Φ auf den niedrigen Pegel verändert wird, beendet. Falls der Eingangsimpuls Φ auf den hohen Pegel angehoben wird, wird der Bootstrap-Kondensator C„ daraufhin durch den MOSFET Q1- aufgeladen. Das Potential am Schaltungspunkt N1 wird in Übereinstimmung mit der Ladung des Bootstrap-Kondensators C-, erhöht. Hier bildet derThe precharge mode is then terminated as a result of the precharge pulse Φ being changed to the low level. If the input pulse Φ is raised to the high level, the bootstrap capacitor C ″ is then charged by the MOSFET Q 1 -. The potential at the node N 1 is increased in accordance with the charge on the bootstrap capacitor C-. Here the

JdJd

MOSFET Qc/ der durch die Vorladung leitend gemacht wurde, einen MOS-Kondensator, der im wesentlichen wie der Bootstrap-Kondensator wirkt. Die Gate-Elektrode des MOSFET Q5 ist als eine Elektrode des MOS-Kondensators ausgebildet, wo-MOSFET Qc / which has been made conductive by the precharge, a MOS capacitor which essentially acts like the bootstrap capacitor. The gate electrode of the MOSFET Q 5 is designed as an electrode of the MOS capacitor, where-

*_ 16"_ ■ " " 33U002* _ 16 "_ ■""33U002

hingegen der unter der Gate-Elektrode aes MOSFET Q5 induzierte Kanal als die andere Elektrode des MOS-Kondensators ausgebildet ist. Dieser MOS-Kondensator, der im wesentlichen aus dem MOSFET Q5 aufgebaut ist, lädt sich während des Vorladens auf, d.h., wenn der Vorladeimpuls Φ auf den hohen Pegel gesetzt wird. Die Spannung am Kanal des leitenden MOSFET Qr wird in Übereinstimmung mit dem vorher erwähnten Anstieg des Eingangsimpulses Φ Ν auf den hohen Pegel angehoben. Der MOS-Kondensator zwischen der Gate-Elektrode und dem Kanal des MOSFET Q5 wurde während der Vorladeperiode aufgeladen, so daß die Gatespannung des MOSFET Q5 als Antwort auf den Spannungsanstieg des Eingangsimpulses Φ angehoben wird. In anderen Worten, das Gate-Potential des MOSFET Q5, das durch das Vorladen auf den hohen Pegel angehoben wurde, wird durch die sogenannte "self-bootstrap"-Wirkung darüber hinaus auf einen so hohen Pegel angehoben, daß es den Spannungspegel der Versorgungsguelle überschreitet. Der MOSFET Qc beginnt dann die zufriedenstellenden ON-Eigenschaften zu zeigen, wenn sein Gatepotential hinreichend angehoben ist.on the other hand, the channel induced under the gate electrode aes MOSFET Q 5 is formed as the other electrode of the MOS capacitor. This MOS capacitor, which is composed essentially of the MOSFET Q 5 , charges during the precharge, that is, when the precharge pulse Φ is set to the high level. The channel voltage of the conductive MOSFET Qr is raised to the high level in accordance with the aforementioned rise of the input pulse Φ Ν. The MOS capacitor between the gate electrode and the channel of the MOSFET Q 5 has been charged during the precharge period, so that the gate voltage of the MOSFET Q 5 is raised in response to the rise in voltage of the input pulse Φ. In other words, the gate potential of the MOSFET Q 5 , which has been raised to the high level by the precharging, is raised to such a high level by the so-called "self-bootstrap" effect that it is the voltage level of the supply source exceeds. The MOSFET Qc then starts to show the satisfactory ON characteristics when its gate potential is raised sufficiently.

Als ein Ergebnis daraus wird der Eingangsimpuls. Φ auf den Schaltungspunkt N1 übertragen, ohne seinen. Pegel wesentlich verloren zu haben. Unmittelbar nachdem der Eingangsr impuls ΦΙΝ auf den hohen Pegel angehoben ist, wird der Schaltungspunkt N3 noch auf dem hohen Pegel belassen; Die Elektrode des Unterbrechungs-MOSFET Q11, die auf das Gate des MOSFET Q5 geschaltet ist, wirkt als die Drain-Elektrode, wenn sie über den MOSFET Q5 mit der Bootstrap-Spannung beaufschlagt wird. Zu diesem Zeitpunkt ist die Spannung, die zwischen der Gate-Elektrode des Unterbrechungs-MOSFET Q- - und der Elektrode, die im wesentlichen als Source-Elektrode dient (d.h., die Elektrode, die auf den Schaltungspunkt N3 geschaltet ist) angelegt werden soll, hinreichend klein, weil der Schaltungspunkt N3 auf dem hohen Pegel gehalten wird. Folglich wird der Unterbrechungs-MOSFET Q11 in Übereinstimmung mit der Tatsache, daß die Bootstrap-Spannung/ die durch denAs a result, it becomes the input pulse. Φ transferred to node N 1 without his. To have lost level significantly. Immediately after the input pulse Φ ΙΝ is raised to the high level, the node N 3 is still left at the high level; The electrode of the interruption MOSFET Q 11 , which is connected to the gate of the MOSFET Q 5 , acts as the drain electrode when the bootstrap voltage is applied to it via the MOSFET Q 5. At this point in time, the voltage to be applied between the gate electrode of the interrupting MOSFET Q- and the electrode which essentially serves as the source electrode (ie, the electrode connected to node N 3 ) , sufficiently small because node N 3 is held high. As a result, the interruption MOSFET Q 11 is activated in accordance with the fact that the bootstrap voltage / voltage caused by the

MOSFET Qc erzeugt wird-, auf einen Pegel ansteigt, der höher als die Spannung der Versorgungsguelle ist, automatisch nicht-leitend gemacht. Auf diese Weise wird verhindert, daß Kriechverluste, der Bootstrap-Spannung auftreten. ' Der MOSFET Qß, der während der Vorladeperiode nichtleitend gemacht wurde, wird leitend gemacht, um in Übereinstimmung mit dem Anstieg des Potentials des Schaltungspunktes N- eine erhöhte· Leitfähigkeit zu haben. Das Potential am Schaltungspunkt N2 steigt, wie in Figur 4 dargestellt, in Übereinstimmung mit dem Verhältnis der Leitfähigkeiten der MOSFETs Q6 und Q7, die jetzt leitend sind, an.MOSFET Qc generated-, rises to a level higher than the voltage of the supply source, is automatically rendered non-conductive. In this way it is prevented that creep losses, the bootstrap voltage, occur. 'The MOSFET Q ß, which has been made non-conductive during the precharge is rendered conductive to have an increased · conductivity in accordance with the increase of the potential of node N-. The potential at the node N2 rises, as shown in FIG. 4, in accordance with the ratio of the conductivities of the MOSFETs Q 6 and Q 7 , which are now conductive.

Wenn, die Spannung am Schaltungspunkt N2 die Schwellenspannung V des MOSFET Qq in Übereinstimmung mit dem Potentialanstieg des Schaltungspunktes N1 überschreitet, wird der MOSFET Qg dementsprechend von seinem nicht-leitenden auf seinen leitenden Zustand umgeschaltet. In diesem Augenblick wird der leitende Zustand der MOSFETs Q7 und Qg durch die Wirkung der positiven Rückkopplung oder Mitkopplung, die durch die über Kreuz verbundenen MOSFETs Q7 und Qg aufgebaut ist, .sprunghaft umgekehrt. Im einzelnen wird der MOSFET Q9 von "Aus" auf "Ein" geschaltet-, wohingegen der MOSFET Q7 von "Ein" auf "Aus" geschaltet wird.If the voltage at the node N 2 exceeds the threshold voltage V of the MOSFET Qq in accordance with the rise in potential of the node N 1 , the MOSFET Q g is accordingly switched from its non-conductive to its conductive state. At this moment the conductive state of the MOSFETs Q 7 and Q g is suddenly reversed by the effect of the positive feedback or positive feedback, which is established by the cross-connected MOSFETs Q 7 and Q g. In detail, the MOSFET Q 9 is switched from "off" to "on", whereas the MOSFET Q 7 is switched from "on" to "off".

Der Schaltungspunkt N3 wird vom Vorladepegel, d.h., vom hohen Pegel auf den niedrigen Pegel verändert, als Folge davon, daß der MOSFET Q„ leitend gemacht wird. Als eine Folge daraus, daß der Schaltungspunkt N^ veranlaßt wird, den niedrigen Pegel anzunehmen, werden die MOSFET Q2 und Q^ nicht"leitend gemacht. Der Unterbrechungs-MOSFET Q1- wird dann leitend gemacht, wenn der Schaltungspunkt N3 veranlaßt wird, den niedrigen Pegel anzunehmen, weil die Spannung, die zwischen seiner Gate-Elektrode und der Elektrode, die im wesentlichen als die Source-Elektrode CLent, angelegt werden soll, in Übereinstimmung damit angehoben wird. Der MOSFET Qc wird nicht-leitend gemacht, weil sein Gate-Potential durch den Unterbrechungs-MOSFET Q- im leitenden Zustand auf den niedrigen Pegel aufgeladen wird.The node N 3 is changed from the precharge level, that is, from the high level to the low level, as a result of the fact that the MOSFET Q "is made conductive. As a result of causing node N ^ to go low, MOSFETs Q 2 and Q ^ are rendered non-conductive. Break MOSFET Q 1 - is rendered conductive when node N 3 is caused to take the low level because the voltage to be applied between its gate electrode and the electrode which is substantially the source electrode CLent is raised in accordance therewith. The MOSFET Qc is made non-conductive because its gate potential is charged to the low level by the interruption MOSFET Q- in the conductive state.

33U00233U002

Der gemeinsame Schaltungspunkt der MOSFETs Q1 und Q2 wird als Folge daraus, daß der MOSFET Q3 nicht leitend gemacht wird, auf den hohen Pegel angehoben. Weil der Bootstrap-Kondensator C„ vorgeladen ist, wird das Potential der miteinander verbundenen Gates der MOSFETs Q1 und Q.,, d.h., das Potential am Schaltungspunkt N1, in Übereinstimmung mit dem Potentalanstieg am gemeinsamen Schaltungspunkt auf den hohen Pegel, auf einen Pegel angehoben, der höher ist als die Spannung der Versorgungsquelle Vcc. Der MOSFET Q5 wird nicht-leitend gemacht, wenn die Spannung des Sdhaltungspunktes N1 angehoben wird. Als Folge daraus werden Verluste der Ladung zur Aufrechterhaltung der Bootstrap-Spannung des Schaltungspunktes N1 in Richtung des Eingangsimpulses Φ durch den MOSFET Q5 vermieden. The common node of the MOSFETs Q 1 and Q 2 is raised to the high level as a result of the MOSFET Q 3 being rendered non-conductive. Because the bootstrap capacitor C "is precharged, the potential of the interconnected gates of the MOSFETs Q 1 and Q", that is, the potential at the node N 1 becomes high in accordance with the increase in the potential at the common node to the high level Raised level, which is higher than the voltage of the supply source V cc . The MOSFET Q 5 is made non-conductive when the voltage of the hold point N 1 is raised. As a result, losses of the charge to maintain the bootstrap voltage of the node N 1 in the direction of the input pulse Φ through the MOSFET Q 5 are avoided.

Wenn das Potential des Schaltungspunktes N1 durch die Bootstrap-Wirkungsweise hinreichend angehoben wird, wird bewirkt, daß 'der Ausgangs-MOSFET Q3 einen hinreichend niedrigen Ein-Widerstand annimmt. Als Folge daraus steigt · der Aus gangs impuls $nnT steil auf den. hohen Pegel an, selbst dann, wenn der nicht gezeigte Lastkondensator mit dem gemeinsamen Scfyaltungspunkt der Ausgangs-MOSFETs Q3 und Q4, d.h., mit dem Ausgangsanschluß, verbunden ist.If the potential of the node N 1 is raised sufficiently by the bootstrap mode of action, the result is that the output MOSFET Q 3 assumes a sufficiently low on-resistance. As a result · the output pulse $ nnT rises steeply to the. high level even if the load capacitor, not shown, is connected to the common connection point of the output MOSFETs Q 3 and Q 4 , that is, to the output terminal.

In der vorliegenden Ausführungsform wird die.Pegelanhebespannung, deren Pegel auf einen Wert entsprechend dem Leitfähigkeitsverhältnis der MOSFETs Q6 und Q7 unter Beachtung der an den Bootstrap-Kondensator Cn angelegten Aufladespannung angehoben wurde, am gemeinsamen Schaltungspunkt dieser MOSFETs erzeugt. Die Höhe dieser Pegelanhebespannung wird durch den MOSFET Qg verglichen. In diesem Fall ist die Schwellenspannung des MOSFET Q als die Referenzspannung für den Spannungsvergleich ausgelegt. Falls das Potential am Schaltungspunkt N1 auf einen vorbestimmten Wert angehoben ist, wie es oben beschrieben wurde, werden die "Ein" und "Aus"-Zustände der MOSFETs Q7 und Q9 dementsprechend sprunghaft umgekehrt. Die Bootstrap-Spannung am Bootstrap-In the present embodiment, the level raising voltage, the level of which has been raised to a value corresponding to the conductivity ratio of the MOSFETs Q 6 and Q 7 in consideration of the charging voltage applied to the bootstrap capacitor C n , is generated at the common node of these MOSFETs. The magnitude of this level boosting voltage is compared by the MOSFET Q g. In this case, the threshold voltage of the MOSFET Q is designed as the reference voltage for the voltage comparison. If the potential at the node N 1 is raised to a predetermined value, as described above, the "on" and "off" states of the MOSFETs Q 7 and Q 9 are accordingly abruptly reversed. The bootstrap voltage on the bootstrap

9 Ψ* β♦ ρ 9 Ψ * β ♦ ρ

- 19 - - 19 -

. Kondensator Cn wird entsprechend an den Schaltungspunkt N- angelegt.. Capacitor C n is correspondingly applied to node N-.

Dieser Wert der Aufladespannung des Bootstrap-Kondensators C1,, der ermittelt werden soll, kann durch eine entsprechende Festlegung der Schaltkreiskonstanten, die durch diese MOSFETs bestimmt werden, auf einer geeigneten Höhe festgesetzt werden. Als.Folge daraus wird, in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform, der Bootstrap-. Kondensator Cß/ auf die geeignete Aufladespannung aufgeladen wurde, in die Lage versetzt, die Bootstrap-Wirkungsweise zum geeignetsten Zeitpunkt zu beginnen. Selbst wenn sich die Laderate des Bootstrap-Kondensators C_ aufgrund der Schwankungen, wie z.B. der Änderungen in ider Laderate des Eingangsimpulses $IN/ ändert, werden die MOSFETs Q2 und Q4 neben-diesen Schwankungen zum geeigneten Zeitpunkt von ihrem leitenden auf ihren nicht-leitenden Zustand geschaltet. Als Folge daraus tritt kein Stromverlust auf, der größer ist als notwendig. Darüber hinaus ist es möglich, die Toleranzgrenze für den- niedrigen Pegel zu erhöhen und eine hinreichende Ansteuerkapazität sicher zu stellen.This value of the charging voltage of the bootstrap capacitor C 1 , which is to be determined, can be set at a suitable level by a corresponding definition of the circuit constants which are determined by these MOSFETs. As a result, in accordance with the present embodiment, the bootstrap. Capacitor C ß / has been charged to the appropriate charging voltage, enabled to start the bootstrap mode of action at the most suitable time. Even if the charge rate of the bootstrap capacitor C_ changes due to fluctuations, such as changes in the charge rate of the input pulse $ IN /, the MOSFETs Q 2 and Q 4, in addition to these fluctuations, are switched from their conductive to their non- switched to conductive state. As a result, there is no power loss that is greater than necessary. In addition, it is possible to increase the tolerance limit for the low level and to ensure sufficient control capacity.

Die Erzeugung des Ausgangsimpulses Φουτ nach einer im Vergleich zum Eingangsimpuls Φ langen Verz.ögerungszeit kann bemerkenswert leicht verwirklicht werden, indem die Leitfähigkeit des MOSFET Q5 herabgesetzt wird oder indem der Eingangsimpuls ΦΤΝ selbst verzögert wird.The generation of the output pulse Φ ουτ after a long delay time compared to the input pulse Φ can be realized remarkably easily by reducing the conductivity of the MOSFET Q 5 or by delaying the input pulse Φ ΤΝ itself.

Weil gemäß der vorliegenden Ausfuhrungsform der Arbeitszeitpunkt des Bootstrap-Schaltkreises durch den Kontrollwert der Auflädespannung des Bootstrap-Kondensators CL· geregelt wird, werden die Einflüsse der Streuungen der Bauelemente so beträchtlich reduziert, daß ein erfreulich großer Freiheitsgrad im Design zur Verfugung steht.Because, according to the present embodiment, the operating time of the bootstrap circuit is determined by the control value the charging voltage of the bootstrap capacitor CL · regulated is, the influences of the scattering of the components are so considerably reduced that a pleasantly large one Degree of freedom in design is available.

Der Taktimpulsgenerator gemäß dieser Ausführungsform kann als Taktgeber eines solchen dynamschen RAM (im folgenden kurz als D-RAM bezeichnet) verwendet werden, wie er im folgenden beschrieben wird, obwohl keine ausgesprochene Beschränkung darauf besteht.The clock pulse generator according to this embodiment can be used as a clock generator of such a dynamic RAM (hereinafter referred to as D-RAM for short), such as it is described below, although it is not specifically limited to it.

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Der Schaltkreisblock des D-RAM ist in Figur 5 gezeigt. In dieser Figur ist jeder der von gestrichelten Linien abgegrenzten Schaltkreisblöcke als ein integrierter Schaltkreis (im folgenden kurz als "IC" bezeichnet) auf einem (nicht gezeigten) Halbleitersubstrat ausgebildet.The circuit block of the D-RAM is shown in FIG. In this figure, each of the circuit blocks delimited by dashed lines is as an integrated one Circuit (hereinafter referred to as "IC" for short) is formed on a semiconductor substrate (not shown).

Jeder Schaltkreis des.IC ist aus einem dynamischen Schaltkreis aufgebaut. Der IC übernimmt ein Adressmultiplexsystem, um die Anzahl seiner externen Anschlüsse zu verringern. Der IC wird dadurch betriebsbereit gemacht, daß sein Versorgungsguellenanschluß und sein Masseanschluß mit der Spannung der Versorgungsquelle Vcc, die von der nicht gezeigten Versorgungsquelleneinheit erzeugt wird, und einer Erdspannung V beaufschlagt werden. Die externen Anschlüsse des IC werden mit dem Zeilenadressabtastsignal (row address strobe signal) RAS, dem Spaltenadressabtastsignal (column address strobe signal) CAS, dem Signal, das das Schreiben ermöglicht (write enable signal) WE, dem Zeilenadresssignalen AQ bis A., den Spaltenadressignalen A.+1 bis A. und dem Eingangsdatensignal D. , die von.einer elektronischen.Each circuit of the.IC is made up of a dynamic circuit. The IC adopts an address multiplex system to reduce the number of its external connections. The IC is made ready for operation in that its supply source connection and its ground connection with the voltage of the supply source V cc , which is generated by the supply source unit, not shown, and a ground voltage V are applied. The external connections of the IC are connected to the row address strobe signal RAS, the column address strobe signal CAS, the write enable signal WE, the row address signals A Q to A. Column address signals A. +1 to A. and the input data signal D., which from an electronic.

Einheit wie der nicht gezeigten CPU erzeugt werden, beaufschlagt. Der externe Anschluß des IC erzeugt ein Datensignal D ., mit dem eine elektronische Einheit wie die CPU beaufschlagt werden.soll.Unit such as the CPU, not shown, is applied. The external connection of the IC generates a data signal D. With which an electronic unit such as the CPU is to be charged.

In dem IC ist der von doppelt punktierten Linien abgegrenzte Block der Taktimpulsgenerator, der aus einem Schaltkreis zur Erzeugung eines Signals aufgebaut ist, das zur Regelung der Betriebsweisen der entsprechenden Schaltkreise des D-RAM dient.In the IC, the block delimited by double-dotted lines is the clock pulse generator, which consists of a Circuitry is constructed for generating a signal which is used to regulate the modes of operation of the corresponding circuits of the D-RAM is used.

Die Figuren 6 und 7 sind Impulsdiagramme zur Darstellung der Betriebsweisen des Lese- und Schreib-Zyklus des in Figur 5 gezeigten D-RAM.Figs. 6 and 7 are timing diagrams illustrating the operations of the read and write cycle of the in Fig D-RAM shown in Figure 5.

An dieser Stelle wird die Ausgabe des D-RAM in dieser Ausführungsform unter Bezugnahme auf das Blockdiagramm von Figur 5 und die Impulsdiagramme von Figur 6 und 7 beschrieben. At this point, the output of the D-RAM in this embodiment will be explained with reference to the block diagram of FIG Figure 5 and the timing diagrams of Figures 6 and 7 are described.

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Zuerst werden die Pegel der entsprechenden Zeilenadressignale A bis A. auf solche Pegel gesetzt, daß sie die Zeilenadresse einer gewünschten Speicherzelle in einer Speicheranordnung (memory array, im folgenden kurz als M-ARY bezeichnet) auswählen. Danach wird das RAS-Signal auf den niedrigen Pegel gesetzt. Der Taktimpulsgenerator (im folgenden kurz als "TGB" bezeichnet) liefert ein Kontrollsignal Φ als Antwort auf den. Abfall des RAS-Signals. Wenn das Signal Φ zur Verfügung steht, wird ein Zeilenadresspuffer (row address buffer, im folgenden kurz als "ADB" bezeichnet), der im Voraus im vorgeladenen Zustand gehalten wurde, in den Betriebszustand versetzt. Als Folge daraus werden die Zeilenadressignale A bis A. an den ADB angelegt und darin aufgefangen. Als Antwort auf die Zeilenadressignale AQ bis A. erzeugt der ADB interne Adressignale .a-, ao bis a., a. mit Pegeln entsprechend der dualen Eins (true levels) und Pegeln entsprechend der dualen Null (false levels). Der Grund dafür, daß das RAS-Signal später als die Zeilenadressignale A_ bis A^ erzeugt wird, liegt hierbei darin/ den ADB betriebssicher mit den ZeilenadresssignalenA bis A. als der Zeilenadresseein der Speicheranordnung zu versorgen. " . 'First, the levels of the respective row address signals A to A. are set to such levels that they select the row address of a desired memory cell in a memory array (hereinafter referred to as M-ARY for short). Thereafter, the RAS signal is set to the low level. The clock pulse generator (hereinafter referred to as "TGB" for short) provides a control signal Φ in response to the. Fall of the RAS signal. When the signal Φ is available, a row address buffer (hereinafter referred to as "ADB" for short), which has been held in the precharged state in advance, is put into the operating state. As a result, the row address signals A to A. are applied to the ADB and captured therein. In response to the row address signals A Q to A. The ADB generates internal address signals .a-, a o to a., A. with levels corresponding to the dual one (true levels) and levels corresponding to the dual zero (false levels). The reason why the RAS signal is generated later than the row address signals A_ to A ^ is that / the ADB is reliably supplied with the row address signals A to A. as the row address in the memory arrangement. ". '

Nach der Erzeugung des Signals Φ,.-, werden die vomAfter the generation of the signal Φ, .-, the

ADB hergestellten internen Adressignale a , äT bis a., a..ADB produced internal address signals a, äT to a., A ..

auf einen. Zeilen- und Spaltendecoder und auf einen Treiberschaltkreis (im folgenden kurz als "RC-DCR" bezeichnet) übertragen. Der RC-DCR decodiert die internen Adressignale . aQ, aQ bis a., a.. Unter den decodierten Signalen des RC-DCR wird nur eines, das ausgewählt werden soll, auf dem hohen Pegel belassen, wohingegen die anderen, die nicht ausgewählt werden sollen, auf den niedrigen Pegel versetzt werden.on one. Row and column decoder and transferred to a driver circuit (hereinafter referred to as "RC-DCR" for short). The RC-DCR decodes the internal address signals. a Q , a Q to a., a .. Among the decoded signals of the RC-DCR, only one to be selected is left at the high level, while the others not to be selected are left at the low level will.

Daraufhin wird ein Signal Φ , das unter Berücksichtigung des Signals ΦΑΤ, für eine vorbestimmte Zeitspanne verzögert wird, vom TGB geliefert. Nach der Erzeugung des Signals Φ werden die decodierten Signale, die vom RC-DCR gebildet werden, auf die Zeilenadressleitungen der Speicher-Thereupon a signal Φ, which is delayed for a predetermined period of time, taking into account the signal Φ ΑΤ, is supplied by the TGB. After the generation of the signal Φ, the decoded signals, which are generated by the RC-DCR, are transferred to the row address lines of the memory

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anordnung M-ARY übertragen. Der Grund dafür, daß das Signal Φν unter Berücksichtigung des Signals <i> D verzögert wird, liegt hierbei darin, den RC-DCR nach Beendigung des Betriebs des ADB zu betreiben. Auf diese Weise wird die Zeilenadresse in der -ARY gesetzt. Das heißt, eine Zeilenadressleitung in der M-ARY wird von einem Signal auf. hohen Pegel unterorder M-ARY transferred. The reason that the signal Φ ν is delayed taking into account the signal <i> D is here to operate the RC-DCR after the operation of the ADB has ended. In this way the line address is set in the -ARY. That is, a row address line in the M-ARY is raised by a signal. high level below

i+1
den' 2 Ausgangssignälen des RC-JDCR ausgewählt.
i + 1
selected the '2 output signals of the RC-JDCR.

Daraufhin werden die der Information "1" oder "O" entsprechenden Datensignale, die aus den jeweiligen Speicherzellen, welche mit der ausgewählten Signalzeilenadressleitung in der M-ARY verbunden sind, ausgelesen wurden, durch den Leseverstärker (sense amplifier, im folgenden kurz als "SÄ1 bezeichnet) verstärkt. Der Verstärkerbetrieb des SA wird nach der Erzeugung des Signals ΦρΑ in Gang gesetzt.The data signals corresponding to the information “1” or “O”, which have been read out from the respective memory cells which are connected to the selected signal row address line in the M-ARY, are then transmitted by the sense amplifier, hereinafter referred to as “SÄ 1 denotes reinforced). the operation of the amplifier SA is set after the generation of the signal Φ ρΑ in motion.

Zu einem geeigneten Zeitpunkt, in Figur 6 mit E bezeichnet^ werden die jeweiligen Pegel der Spaltenadressignale A. 1 bis A. auf solche Pegel gesetzt, daß sie eine Spaltenadresse der gewünschten Speicherzelle auswählen. Nachdem das CAS-Signal auf den niedrigen Pegel versetzt wurde, um.ein Signal · Φ,ρ vom TGB zu liefern, werden daraufhin die Spaltenadress- · signale A. , bis A. an den ADB angelegt und darin aufgefangen. 'Der Grund dafür, daß das CAS-Signal später als die Spaltenadressignale A. .. bis A-. erzeugt wird, liegt hierbei darin, den ADB betriebssicher mit den Spaltenadressignalen als der Spaltenadresse in der Speicheranordnung zu versorgen.At a suitable point in time, denoted by E in FIG. 6, the respective levels of the column address signals A. 1 to A. are set to such levels that they select a column address of the desired memory cell. After the CAS signal has been set to the low level in order to supply a signal, ρ from the TGB, the column address signals A., to A. are then applied to the ADB and captured therein. The reason that the CAS signal is later than the column address signals A. .. to A-. is generated, is to reliably supply the ADB with the column address signals as the column address in the memory arrangement.

- Nach der Erzeugung des Signals ΦΔ_ überträgt der ADB die internen Adressignale a-+1/ a-+-i bis a.t ΈΤ, die den Spaltenadressignalen entsprechen, an den· RC-DCR. Der RC-DCR erzeugt "2? ^ decodierte Signale bei einer Operation. Unter den decodierten Signalen wird eines, das der Kombination der internen Adressignale entspricht, auf den hohen Pegel gebracht. Danach wird ein Signal Φγ, das unter Berücksichtigung des Signals Φ__ verzögert wurde, an den RC-DCR angelegt. Nach der Erzeugung des Signals Φγ werden die decodierten Signale von dem RC-DCR -geliefert und an einen Spaltenumschalter (column switch, im folgenden kurz als 11C-SW" bezeichnet) übertragen. Auf diese Weise wird die Spalten-- After generating the signal Φ Δ _, the ADB transmits the internal address signals a - +1 / a - + -i to a. t ΈΤ corresponding to the column address signals to the · RC-DCR. The RC-DCR generates "2? ^ Decoded signals in one operation. Among the decoded signals, one corresponding to the combination of the internal address signals is brought to the high level. Thereafter, a signal Φ γ delayed in consideration of the signal Φ__ After the generation of the signal Φ γ , the decoded signals are supplied by the RC-DCR and transmitted to a column switch (hereinafter referred to as " 11 C-SW" for short). In this way the column

33U00233U002

adresse in der M-ARY gesetzt. Das heißt, eine der Bitleitungen in der M-ARY wird vom C-SW ausgewählt.address set in M-ARY. That is, one of the bit lines in the M-ARY is selected by the C-SW.

Eine Speicheradresse in der M-ARY wird durch ein solches Setzen der Zeilenadresse und der Spaltenadresse gesetzt.A memory address in the M-ARY is created by setting the row address and the column address in this way set.

Im folgenden werden nun die Lese- und Schreibbetriebsarten für die gesetzte Adresse erklärt.The read and write modes for the set address are now explained below.

Ein Lesemodus wird durch den hohen Pegel des WE-Signals spezifiziert. Dieses WE-Signal wird auf den hohen Pegel gesetzt, bevor das CAS-Signal auf den niedrigen Pegel gesetzt wird. Der Lese-Betriebszustand wird dadurch vorbereitet, daß das WE-Signal auf den hohen Pegel gebracht wird. Nachdem das WE-Signal im Voraus auf den hohen Pegel gebracht wurde, wird dementsprechend der Lese-Betriebszustand verfügbar geirtacht, bevor eine Adresse der M-ARY dadurch gesetzt wird, daß·das CAS-Signal auf den niedrigen Pegel gebracht wird. Als Ergebnis daraus kann die Zeitspanne, um den Lesebetrieb zu '.starten, verkürzt werden.A read mode is made by the high level of the WE signal specified. This WE signal is set high before the CAS signal is set low will. The read mode is prepared in that the WE signal is brought to the high level. After this the WE signal was brought to the high level in advance, the read operating state is made available accordingly, before an address of the M-ARY is set by bringing the CAS signal to the low level. As a result, the time to start the reading operation can be shortened.

Nachdem ein Signal $opr das ein CAS-Gruppensignal ist,After a signal $ op r that is a CAS group signal,

vom TGB geliefert wurde, wird als Antwort darauf ein (nicht gezeigter) Ausgangsverstärker, der in den Datenausgangspuff er'(data output buffer, im folgenden kurz als "DOB" bezeichnet) eingeschlossen ist, wirksam gemacht. Information, 'die von der gesetzten Adresse ausgelesen wurde, nämlich Information, die über den C-SW geliefert wurde, wird durch den aktivierten Ausgangsverstärker verstärkt. Die verstärkte Information wird über den DOB.an den Datenausgangsanschluß geliefert. Auf diese Weise wird der Lesebetrieb bewirkt. Der Lesebetrieb endet, wenn das CAS-Signal den hohen Pegel annimmt. Ein Schreib-Modus ist durch den niedrigen Pegel des WE-Signals spezifiziert. Ein Signal Φ wird durch das WE-Signal auf niedrigem Pegel und das CAS-Signal auf niedrigem Pegel auf den hohen Pegel gebracht. Das Signal Φ „ wird an den Dateneingangspuffer (data input buffer, im folgenden kurz als "DIB" bezeichnet, angelegt. Dieser DIB wird durch das Signal Φ mit hohem Pegel wirksam gemachtwas delivered by the TGB, a (not shown) output amplifier, which is in the data output buffer er '(data output buffer, hereinafter referred to as "DOB") is included, made effective. Information 'read out from the set address, namely Information supplied via the C-SW is amplified by the activated output amplifier. The reinforced Information is supplied to the data output connection via the DOB. In this way, the reading operation is effected. The reading operation ends when the CAS signal becomes high. A write mode is by the low level of the WE signal specified. A signal Φ is low by the WE signal and the CAS signal is low Level brought to the high level. The signal Φ "is sent to the data input buffer (hereinafter referred to as "DIB" for short. This DIB is made effective by the high level signal Φ

33HG0233HG02

und überträgt dann Schreib-Daten von cem Eingangsdaten (D1 .-Anschluß auf den C-SW. Die Schreib-Daten werden über den C-SW auf die gesetzte Adresse des M-ARY übertragen. Als Folge daraus wird der Schreibbetrieb ausgeführt.and then transfers write data from the input data (D 1. terminal to the C-SW. The write data is transferred to the set address of the M-ARY via the C-SW. As a result, the write operation is carried out.

Im Schreibbetrieb wird der DOB dadurch unwirksam gemacht, daß er mit dem invertierten Signal des Signals nämlich dem Signal Φ „ mit niedrigem Pegel, versorgt wird. So werden die Daten im Schreibbetrieb davor geschützt, ausgelesen zu werden.In write mode, the DOB is made ineffective, that it is supplied with the inverted signal of the signal namely the signal Φ "with a low level. In this way, the data is protected from being read out during write operation.

Die jeweiligen Takte (clocks), Φ , Φγ usw. werden auf der Grundlage der Adressabtastsignale (d.h., dem RAS-Signal und dem CAS-Signal) im TGB ausgebildet, der diese Adresssignale, wie oben festgestellt wurde, empfängt. Der Takt wird auf der Grundlage des WE-Signals und des Ausgangssignals des TGB in dem Lese/Schreib-Taktgenerator R/W-SG ausgebildet. Figur 8 zeigt in einem Schaltbild ein wesentliches Teilgebiet des D-RAM, auf den die vorliegende Erfindung angewandt wird.The respective clocks, Φ, Φ, γ , etc. are established on the basis of the address strobe signals (ie, the RAS signal and the CAS signal) in the TGB which receives these address signals as stated above. The clock is formed on the basis of the WE signal and the output signal of the TGB in the read / write clock generator R / W-SG. Fig. 8 is a circuit diagram showing an essential portion of the D-RAM to which the present invention is applied.

Der in Figur 8 gezeigte Schaltkreis ist aus einem N-Kanal IGFET (der Abkürzung für "Feldeffekttransistor mit isolierter Gateelektrode") aufgebaut, der aus einem N-Kanal-MOSFET gefertigt ist.. ■ 'The circuit shown in Figure 8 is made up of an N-channel IGFET (the abbreviation for "field effect transistor with insulated gate electrode") made up of an N-channel MOSFET is .. ■ '

Die Ein-Bit-Speieherzelle (memory cell, im folgenden kurz als M-CEL bezeichnet) baut sich aus einem Information speichernden Kondensator Cg und einem Adressen auswählenden MOSFET Q_M auf und speichert die Information "1" oder 11O", je nachdem, ob der Kondensator C„ eine Ladung trägt oder nicht.The one-bit Speieherzelle (memory cell, hereinafter referred to as M-CEL) is built up from an information storage capacitor C g and an address selecting MOSFET Q_ M and stores the information "1" or 11 O, "depending on whether the capacitor C "carries a charge or not.

Der Lesebetrieb der Information wird dadurch vorgenom-=■.The reading operation of the information is carried out as a result- = ■.

men,daß der MOSFET Qm angeschaltet wird, um den Kondensator . Cc mit einer gemeinsamen Spaltendatenleitung DL zu verbinden, und dadurch, daß daraufhin abgetastet wird, wie sich das Potential der Datenleitung DL gemäß der Größe der im Kondensator C„ gespeicherten Ladung verändert hat. Wird vorausgesetzt, das im Voraus in einem Streukondensator CQ gespeicherte Potential sei die Spannung der Versorgungsquelle Vcc, wird das Potential (VDL) der Datenleitung DL, men that he d MOSFET Q m is turned on to charge the capacitor. C c to connect to a common column data line DL, and in that it is then scanned how the potential of the data line DL has changed according to the size of the charge stored in the capacitor C ". If it is assumed that the potential stored in advance in a leakage capacitor C Q is the voltage of the supply source V cc , the potential (V DL ) of the data line DL,

■ . 33H002■. 33H002

das während des adresszuweisenden Betriebs bestimmt wird, auf dem Potential V_c belassen, falls die im Kondensator Cg gespeicherte Information auf "1" (d.h., dem Potential der Spannung V_,p) liegt. Falls das Potential am Kondensator Cg auf "0" (d.h., 0 Volt) liegt, läßt sich das Potential (V )„ „ an der Datenleitung DL durch folgende Gleichungwhich is determined during the operation to be assigned the address, leave it at the potential V_ c if the information stored in the capacitor Cg is at "1" (ie the potential of the voltage V_, p). If the potential at the capacitor Cg is "0" (ie, 0 volts), the potential (V) "" at the data line DL can be given by the following equation

ausdrücken: {CA-V.„ - C„ (Vr7 - V., )}/C_. Hierbei bezeichnet υ i_c ο w tn υexpress: {C A -V. "- C" (V r7 - V.,)} / C_. Here υ i_c ο w tn υ denotes

V„ die Gatespannung des MOSFET Q und V,, die Schwellenspannung des MOFET Q . Darüber hinaus wird die Potential änderung, die an die Datenleitung DL so übermittelt wird, daß sie der logischen "1" oder "0" entspricht, d.h. , die Signalgröße AV„, die detektiert werden soll, in der folgenden Form ausgedrückt:V "the gate voltage of the MOSFET Q and V" the threshold voltage of the MOFET Q. In addition, the change in potential that is transmitted to the data line DL is that it corresponds to the logic "1" or "0", i.e., the signal quantity AV "to be detected in the following Expressed form:

AVS = iVDL)n1" ~ (VDL)nO"' (1) AV S = iV DL ) n 1 "~ (V DL ) n O"'(1)

=(VW- Vth)-C5ZC0; (2)= (V W - V th ) -C 5 ZC 0 ; (2)

Wenn gilt: V„ = Vrr,, wird die Signalgröße Δνς durch die folgende Gleichung ausgedrückt: " "If: V "= V rr ,, the signal quantity Δν ς is expressed by the following equation:""

Avs.= (vcc- vth)-cs/co· " ■ (3) Av s. = (V cc- v th) - c s / c o · "■ (3)

Im Falle einer Speichermatrix von hoher Integration ' und Kapazität, in der die Speicherzellen klein und mit einer gemeinsamen Datenleitung verbunden sind, gilt eine Ungleichung: Cg «CQ. Das heißt, das Verhältnis Cg/C0 nimmt einen außergewöhnlich kleinen Wert an. Infolgedessen wird die Signalgröße AVg ein Signal auf auffallend feinem Pegel.In the case of a memory matrix of high integration and capacity, in which the memory cells are small and connected to a common data line, an inequality applies: C g «C Q. That is, the ratio C g / C 0 takes an extremely small value. As a result, the signal quantity AV g becomes a signal of a conspicuously fine level.

Eine Blindzelle (dummy cell, im folgenden kurz als D-CEL bezeichnet) wird als Hilfsmittel dafür verwendet, eine Referenz zu liefern, wenn ein solch feines Signal detektiert werden soll. Die D-CEL wird unter den gleichen Herstellungsbedingungen und mit den gleichen Entwurf skon^· stanten wie die M-CEL gefertigt, mit der Ausnahme, daß ein Kondensator C, eine Kapazität aufweist, die ungefähr halbA dummy cell (hereinafter referred to as D-CEL) is used as an aid to to provide a reference when such a fine signal is to be detected. The D-CEL is under the same Manufacturing conditions and with the same design skon ^ · like the M-CEL, with the exception that a capacitor, C, has a capacitance that is roughly half

so groß ist wie die des Kondensators Cc. Der Kondensator C, wird durch die Wirkung eines MOSFFT Q2 vor dem Zugriff des D-RAM auf Erdpotential aufgeladen (während die andere Elektrode auf Vcc festgelegt ist). Deshalb wird die Signaländerung AVn, die durch die Wirkung der D-CEL, wenn der D-RAM aufgerufen wird, an die Spaltendatenleitung übermittelt wird, ebenso wie das (AVC) der Speicherzelle durch die folgende Gleichung ausgedrückt, wobei V w die Gate- · spannung eines MOSFET 0_.. und V,, ' die Schwellenspannung des MOSFET Q0-, bezeichnet:is as large as that of the capacitor C c . The capacitor C i is charged to ground potential by the action of a MOSFFT Q 2 prior to the access of the D-RAM (while the other electrode is fixed at V cc). Therefore, the signal change AV n transmitted to the column data line by the action of the D-CEL when the D-RAM is called up, as well as the (AV C ) of the memory cell, is expressed by the following equation, where V w is the gate - · voltage of a MOSFET 0_ .. and V ,, 'the threshold voltage of the MOSFET Q 0 -, denotes:

Wenn gilt: V w = Vcc, wird die Signaländerung AVR durch die folgende Gleichung ausgedrückt:If: V w = V cc , the signal change AV R is expressed by the following equation:

AVR = (VCC " Vth')-Cds/C0. ■ (5) AV R = (V CC " V th ') - C ds / C 0. ■ (5)

Weil der Kondensator C, so festgesetzt ist, daß er ungefähr die Hälfte der Kapazität des Kondensators Cg hat, wird die Signaländerung AV-, ungefähr gleich der Hälfte der Signalgröße AVg. Infolgedessen kann die Information "1" oder "0" in Abhängigkeit davon unterschieden werden, ob die Potentialänderung, die von der Speicherzelle an die Datenleitung DL übertragen werden soll, größer oder kleiner als das (AVD) der Blindzelle ist.Because the capacitor C i is set to have about half the capacitance of the capacitor C g , the signal change AV- becomes about half the signal size AV g . As a result, the information "1" or "0" can be distinguished depending on whether the potential change to be transmitted from the memory cell to the data line DL is greater or less than the (AV D ) of the dummy cell.

IiIi

Ein Leseverstärker SA1 dehnt eine solche Differenz in den Potentialänderungen, wie sie während des Adressierbetriebs auftritt, auf die Lesqpei^iode aus, die durch ein Taktsignal bestimmt wird (d.h., das Leseverstärkersteuersignal) . (Dieser Betriebszustand wird weiter unten beschrieben.) Der Leseverstärker SA1 hat Eingangs- und Ausgangs-Schaltungspunkte, die mit einem Paar komplementärer Datenleitungen DL1-1 und DL1-1, die parall.el angeordnet sind, verbunden sind. Die Zahl der Speicherzellen, die an die Datenleitungen DL1-1 urid DL1-1 geschaltet sind, ist identisch ausgeführt, um die Genauigkeit der Datenerfassung zu stei-A sense amplifier SA 1 extends such a difference in the potential changes, as occurs during the addressing operation, to the reading pulse which is determined by a clock signal (ie, the sense amplifier control signal). (This operating state is described further below.) The sense amplifier SA 1 has input and output nodes which are connected to a pair of complementary data lines DL 1-1 and DL 1-1 which are arranged in parallel. The number of memory cells connected to the data lines DL 1-1 and DL 1-1 is identical in order to increase the accuracy of the data acquisition.

33H00233H002

gern; an jede der Datenleitungen DL1-1 und DL1-1 ist .eine Blindzelle geschaltet. Jede Speicherzelle ist zwischen eine Wortleitung WL und eine der komplementären Datenleitungen geschaltet. Wenn die Speicherzelle, die an eine der komplementären Datenleitungen DL1 Λ und DL1 . geschal-gladly; A dummy cell is connected to each of the data lines DL 1-1 and DL 1-1. Each memory cell is connected between a word line WL and one of the complementary data lines. If the memory cell connected to one of the complementary data lines DL 1 Λ and DL 1 . shelled

I — I I — II - I I - I

tet ist, ausgewählt wird, wird von einem Paar von Blindwortleitungen DWL1 _.. und DWL12 eine so ausgewählt', daß die Blindzelle, die an die andere Datenleitung geschaltet ist, ausgewählt werden kann.tet is selected, one of a pair of dummy word lines DWL 1 _ .. and DWL 12 is selected so that the dummy cell connected to the other data line can be selected.

Ein unerwünschter Koppelkondensator, wie der nicht gezeigte parasitäre Kondensator, tritt an der Kreuzungsstelle zwischen jeder Wortleitung und jeder Datenleitung auf. Als Folge daraus wird, wenn das Potential einer Wortleitung geändert wird, die Potentialänderung, die wie Störgeräusch gedeutet wird, über den unerwünschten Koppelkondensator an jede Datenleitung üb.ermittelt. Im Falle einer Speicheranordnung vom Typ mit gedoppelter Bitleitung, wie in Figur gezeigt, kreuzt jede Wortleitung WL irgend Paar der Datenleitungen..Als Folge daraus werden die Störungen, die einen im wesentlichen gleichen Pegel wie die. Störungen haben, die durch die Potentialänderung der Wortleitung WL an eine der Datenleitungen übertragen werden, ebenfalls auf die Datenleitung übertragen,, die mit der vorherigen Datenleitung verbunden ist. Da der differenzielle Leseverstärker im wesentlichen unempfindlich gegen allgemeine Knotenpunktsstörungen ist, wird das feine Signal, das an die gekoppelten Datenleitungen gegeben wird, ohne Berücksichtigung des Vorhandenseins von Störungen in geeigneter Weise verstärkt. Dieser Leseverstärker SA1 ist mit einem Paar über Kreuz gekoppelter MOSFETs Qs8 und Qsg ausgestattet, so daß er durch den positiven Rückkoppel-(Mitkoppel-)Betrieb dieser MOSFETs das feine Signal differentiell verstärkt. Diese positiven Rückkoppel-Wirkungen werden gleichzeitig mit dem Beginn der Leitung eines MOSFET Qslo durch ein Taktsignal (d.h., das Leseverstärkersteuersignal) Φ in Gang gesetzt.An undesirable coupling capacitor, such as the parasitic capacitor not shown, occurs at the intersection between each word line and each data line. As a result, if the potential of a word line is changed, the potential change, which is interpreted as noise, is transmitted to each data line via the undesired coupling capacitor. In the case of a memory device of the double bit line type as shown in FIG. 1, each word line WL crosses any pair of the data lines. As a result, the noises become substantially the same level as the. Disturbances that are transmitted to one of the data lines due to the change in potential of the word line WL are also transmitted to the data line which is connected to the previous data line. Since the differential sense amplifier is essentially insensitive to general node disturbances, the fine signal which is given to the coupled data lines is amplified in a suitable manner regardless of the presence of disturbances. This sense amplifier SA 1 is equipped with a pair of cross-coupled MOSFETs Q s8 and Q sg , so that it differentially amplifies the fine signal through the positive feedback (positive feedback) operation of these MOSFETs. These positive feedback effects are set in motion simultaneously with the start of conduction of a MOSFET Q slo by a clock signal (ie, the sense amplifier control signal) Φ.

Als Folge der Wirkungen des Leseverst^rxers SA. wird das Datenleitungspotential (VVJ , das auf der Grundlage der Potentialdifferenz, die im Voraus während des Adressierbetriebs an die gepaarten Datenleitungen übermittelt wurde, ■ 5 auf den hohen Pegel gesetzt wurde, mit einer niedrigen Änderungsrate abgesenkt, wo hingegen das niedrige Datenleitungspotential (VT) mit einer hohen Änderungsrate ab-As a result of the effects of the reading amplifier SA. the data line potential (VVJ, which was set to the high level on the basis of the potential difference which was transmitted in advance to the paired data lines during the addressing operation, ■ 5 is lowered at a low rate of change, whereas the low data line potential (V T ) with a high rate of change

JjYy

gesenkt wird. Als Ergebnis daraus werden die Potentiale der gepaarten Datenleitungen abgesenkt, während sich die Differenz zwischen ihnen vergrößert. Wenn das niedrige Datenleitungspotential V_ die Schwellenspannung V4, deris lowered. As a result, the potentials of the paired data lines are lowered while the difference between them increases. When the low data line potential V_ exceeds the threshold voltage V 4 , the

Jj tnJj tn

über Kreuz gekoppelten MOSFETs erreicht, endet im wesentlichen der positive Rückkoppelbetrieb. Das hohe Datenleitungspotential V„ wird auf einem solchen Potential belassen, das geringer als Vrr, und höher als V., ist. Das niedrige Datenleitungspotential Vx erreicht schließlichReached via cross-coupled MOSFETs, the positive feedback operation essentially ends. The high data line potential V n is left at a potential that is lower than V rr and higher than V. The low data line potential eventually reaches V x

JjYy

0 Volt. ·0 volts. ·

Nach dem Adressierbetrieb wird die -abgespeicherte Information der Speicherzelle, die einmal zerstört wurde, als Folge davon wieder hergestellt (oder wieder eingeschrieben), daß sie so geschrieben wird, wie sie sich in der Speicherzelle befindet, in der das Potential V„ oder Vx , das beiAfter the addressing operation, the stored information of the memory cell, which has once been destroyed, is restored (or rewritten) as a result of the fact that it is written as it is in the memory cell in which the potential V n or V x that at

• η Jj• η yy

diesem Abtastbetrieb geliefert wird, ausgewählt wird.supplied to this scanning operation is selected.

Wenn das hohe Potential· V„ um mehr als einen vorbestimmten Pegel was den Pegel V-,„ anlangt abfällt, entsteht ein Fehlbetrieb, bei welchem nach den Wiederholungen der Lese- und Wiedereinschreib-Betriebszustände das Potential Vjj als die logische "0" ausgelesen wird. Es gibt einen aktiven Regenerationsschaltkreis (active restore circuit) AR1, der dazu zur Verfügung gestellt wird, 'diesen Fehlbetrieb zu verhindern. Dieser Schaltkreis AR1 hat die Aufgabe, nurIf the high potential · V "falls by more than a predetermined level which reaches the level V-,", a malfunction occurs in which the potential Vjj is read out as the logic "0" after the repetitions of the read and rewrite operating states . There is an active regeneration circuit (active restore circuit) AR 1 , which is made available to 'prevent this malfunction. This circuit AR 1 has the task of only

das hohe Potential V„ auf das Potential V_,„ anzuheben, ohneto raise the high potential V "to the potential V_," without

ti Cv- ti Cv-

irgendeinen Einfluß auf das niedrige Potential Vx zuany influence on the low potential V x

JjYy

übertragen. Cß11 und Cßl2 bezeichnen variable Kapazitätselemente vom MIS-Typ, deren elektrostatische Kapazitäten gemäß der Spannung, die an einen solchen Anschluß ange-transfer. C ß11 and C ßl2 denote variable capacitance elements of the MIS type, whose electrostatic capacities according to the voltage applied to such a connection.

33H-00233H-002

legt wird, wie et sich auf der linken Seite der Zeichnung befindet, geändert werden. Diese variablen Kapazitätselemente sollten so aufgefaßt werden, daß sie theoretisch für eine hohe Spannung bezüglich der Schwellenspannung V.,, a^er nicht für eine niedrige Spannung Kondensatoren zur Verfügung stellen.will be changed as it is on the left side of the drawing. This variable capacitance elements should be interpreted such that they do not provide theoretically for a high voltage relative to the threshold voltage V. ,, a ^ it for a low voltage capacitors.

Wenn die MOSFET Q34 und Q35 durch ein Taktsignal (d.h., ein aktives Regenerationssteuersignal) Φ leitend gemacht werden, wird das variable Kondensatorbauelement Cß, das zur Datenleitung auf dem hohen Potential V„ gehört, aufgeladen. Wenn ein Taktsignal (d.h., ein aktives Regenerationssteuersignal) Φ den hohen Pegel annimmt, wird das Gatepotential eines MOSFET Q_g oder Qq7/ der zu dieser Datenleitung gehört, hinreichend höher als V_. Als Folge davon, daß der MOSFET Q56 oder Q37 die hinreichend hohe Leitfähigkeit hat, stellt das Potential V 'den Pegel V.__ wieder her. Um den Leistungsverlust an den MOSFETs Qg und Qs7 in diesem Fall zu reduzieren, werden die jeweiligen Schwellenspannungen V·, so ausgelegt, daß sie geringer als die der nicht mit einem Sternchen versehenen MOSFETs sind, obwohl keine ausgesprochene Beschränkung darauf besteht. When the MOSFETs Q 34 and Q 35 are made conductive by a clock signal (ie, an active regeneration control signal) Φ, the variable capacitor component C β belonging to the data line at the high potential V n is charged. When a clock signal (ie, an active regeneration control signal) Φ becomes high level, the gate potential of a MOSFET Q_ g or Q q7 / belonging to this data line becomes sufficiently higher than V_. As a result of the fact that the MOSFET Q 56 or Q 37 has the sufficiently high conductivity, the potential V 'restores the level V .__. In order to reduce the power dissipation across the MOSFETs Qg and Q s7 in this case, the respective threshold voltages V · i are designed to be lower than those of the un-asterisked MOSFETs, although there is no particular limitation thereto.

Die folgenden Betriebsweisen des D-RAM-Transistorschaltkreises wie er bisher beschrieben wurde, werden unter Bezugnahme auf das Impulsdiagramm von Figur 9 erklärt.The following operations of the D-RAM transistor circuit as described so far will be explained with reference to the timing diagram of FIG.

Wenn das Signal Φ auf einem so hohen Pegel erzeugtWhen the signal Φ is generated at such a high level

.tr v—.tr v—

wird, daß es den Pegel Vcc übersteigt, werden die MOSFETs Q52 und Qj,^ demgemäß leitend gemacht, so daß der Streukondensator Cn der gekoppelten komplementären Datenleitungen DL,,.. und DL-, auf den Pegel Vrc vorgeladen wird. Da ein MOSFET Qq1 zum gleichen Zeitpunkt leitend gemacht wird, werden .die gekoppelten komplementären Datenleitungen DL1-1 is that it exceeds the level V cc , the MOSFETs Q 52 and Qj, ^ are made conductive accordingly, so that the stray capacitor C n of the coupled complementary data lines DL ,, .. and DL-, is precharged to the level V rc . Since a MOSFET Qq 1 is made conductive at the same time, the coupled complementary data lines DL 1-1

und DL1 Λ kurzgeschlossen, selbst wenn beim Vorladen durch 1—1and DL 1 Λ short-circuited, even if during precharging by 1—1

die MOSFETs Q53 und Q53" ein Ungleichgewicht auftritt, so daß sie unter der Bedingung eines gleichen Potentials ge-the MOSFETs Q 53 and Q 53 "an imbalance occurs, so that they are under the condition of an equal potential

setzt werden. Die MOSFETs Qg1 bis Q53 sind so aufgebaut, daß sie niedrigere Schwellenspannungen als der MOSFET haben, der nicht mit einem Stern gekennzeichnet ist, so daß zwischen ihren jeweiligen Sources und Drains kein Spannungsverlust verursacht werden kann.are set. The MOSFETs Q g1 to Q 53 are constructed to have lower threshold voltages than the MOSFET which is not marked with an asterisk, so that no voltage loss can be caused between their respective sources and drains.

Der MOSFET Q _ in jeder Blindzelle wird zu diesem Zeitpunkt durch ein Taktsignal (d.h., ein Entladesteuersignal) Φ, leitend gemacht. Als Folge daraus wird die Blindzelle D-CEL in ähnlicher Weise in einen vorbestimmten Zustand zurückversetzt.The MOSFET Q _ in each dummy cell becomes this one Point in time made conductive by a clock signal (i.e., a discharge control signal) Φ. As a result, the Dummy cell D-CEL is similarly reset to a predetermined state.

Die Zeilenadressignale An bis A., die nach dem Takt des Taktsignals (d.h., dem Adresspuffersteuersignal) Φ. vom Adresspuffer ADB ausgegeben werden, werden durch den Decoder RC-DCR decodiert und an die Speicherzelle M-CEL T5 und die Blindzelle D-CEL gleichzeitig mit dem Anstieg des Steuersignals der Wortleitung Φ ausgegeben.The row address signals A n to A., which after the clock of the clock signal (ie, the address buffer control signal) Φ. from the address buffer ADB are decoded by the decoder RC-DCR and output to the memory cell M-CEL T5 and the dummy cell D-CEL simultaneously with the rise of the control signal of the word line Φ.

Als Folge daraus wird, zwischen den gekoppelten komplementären Datenleitungen DL1-1 und DL1-1, wie oben beschrieben, auf der Grundlage des gespeicherten Inhalts der Speicherzelle eine Spannungsdifferenz von AVg/2 aufgebaut. As a result, a voltage difference of AV g / 2 is built up between the coupled complementary data lines DL 1-1 and DL 1-1 , as described above, on the basis of the stored content of the memory cell.

Wenn der MOSFET Q510 durch das Taktsignal (d.h., das Leseverstärkersteuersignal) Φ · beginnt leitend zu werden, beginnt der Leseverstärker SA1 den positiven Rückkoppelbetrieb in Gang zu setzen und das detektierte Signal von AV /2, das während des Adressierbetriebs den komplementären Datenleitungen DL1-1 und DL1-1, zugeführt wurde, zu verstärken. Nachdem der Verstärkungsbetrieb im wesentlichen beendet ist, >wird das Taktsignal (d.h., das aktive Regenerationssteuersignal) Φ erzeugt. Wenn dieses Taktsignal Φ erzeugt ist, wird der aktive Regenerations-When the MOSFET Q 510 begins to conduct due to the clock signal (ie, the sense amplifier control signal) Φ ·, the sense amplifier SA 1 begins to set the positive feedback operation in motion and the detected signal from AV / 2, which during the addressing operation the complementary data lines DL 1-1 and DL 1-1 , was added to reinforce. After the boost operation has essentially ended,> the clock signal (ie, the active regeneration control signal) Φ is generated. When this clock signal Φ is generated, the active regeneration

XT SXT S

schaltkreis AR1 synchron betrieben, so daß der logische Pegel "1" von einer der komplementären Datenleitungen DL und DL. 7 den Pegel V„n wieder herstellt.circuit AR 1 operated synchronously, so that the logic level "1" of one of the complementary data lines DL and DL. 7 restores the level V n .

Die Spaltenadressignale A. .. bis A-, die vom Adresspuffer ADB im Gleichtakt mit dem Taktsignal (d.h., demThe column address signals A. .. to A- from the address buffer ADB in common mode with the clock signal (i.e., the

4 f. Ψ, 4 f. Ψ,

33H00233H002

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Adresspuffersteuersignal) Φ--, zugeführt wurden, werden durch den Decoder RC-DCR decodiert. Danach werden die decodierten Signale des RC-DCR dem Spaltenumschalter C-1 zugeführt, wenn das Taktsignal (d.h., das Spaltenumschal- . tersteuersignal) Φγ erzeugt ist. Als Folge davon wird die zur ausgewählten Spaltenadresse gehörende gespeicherte Information der Speicherzelle M-CEL durch den Spaltenumschalter C-SW1 auf die gemeinsamen Datenleitungen CDL^ und CDL- übertragen.Address buffer control signal) Φ--, are decoded by the decoder RC-DCR. Thereafter, the decoded signals of the RC-DCR are supplied to the column switch C-1 when the clock signal (ie, the column switch control signal) Φ γ is generated. As a result, the stored information belonging to the selected column address in the memory cell M-CEL is transferred to the common data lines CDL ^ and CDL- by the column switch C-SW 1.

Danach wird ein Hauptverstärker/Datenausgangspuffer OA&DOB als Folge davon betrieben, daß das Taktsignal (d.h., das Datenausgangspuffer- und Hauptverstärkersteuersignal) Φορ erzeugt wurde. Als Folge daraus wird die gespeicherte Information, die aus der ausgewählten Speicherzelle ausgelesen wurde, an den Äusgangsanschluß D des Chip ausgegeben. Der OA&DOB wird während des Schreibebetriebs durch -das Taktsignal (d.h., das Datenausgangspuffersteuersignal) Φ w außer Betrieb gesetzt.
Schreibbetri eb · ,
Thereafter, a main amplifier / data output buffer OA & DOB operates in response to the generation of the clock signal (ie, the data output buffer and main amplifier control signal) Φ ορ. As a result, the stored information read out from the selected memory cell is output to the output terminal D of the chip. The OA & DOB is put out of operation during the write operation by the clock signal (ie, the data output buffer control signal) Φ w.
Typing ,

Die Vorlade-, Adressier- und Abtast-Betriebszustände ■ sind mit denen des oben erwähnten Lesebetriebs vollständig identisch. Zu allererst wird die gespeicherte Information der Speicherzelle, die von sich aus eingeschrieben sein sollte, an den gekoppelten komplementären Datenleitungen DLi_-i un<^ DLi_i ausgelesen und zwar ohne Berücksichtigung des logischen Wertes der Eingangsschreibinformation D. . Die Leseinformation wird zu diesem Zeitpunkt vom Schreibbetrieb, der unten beschrieben wird, nicht beachtet. Es kann deshalb dadurch auftreten, daß die Auswahl der Zeilenadresse im wesentlichen durch die Betriebsweisen, die bisher beschrieben wurden, durchgeführt wird.The precharge, addressing and scanning operating states are completely identical to those of the reading operation mentioned above. First of all, the stored information of the memory cell, which should be written in by itself, is read out on the coupled complementary data lines DL i_-i un < ^ DL i_i without taking into account the logical value of the input write information D.. The read information is ignored at this time by the write operation, which will be described below. It may therefore occur that the selection of the row address is made essentially by the operations described so far.

Wenn das Taktsignal (d.h., das SpaltenUmschaltersteuersignal) Φ ebenso wie im Lesebetrieb erzeugt ist, werden die gekoppelten Datenleitungen DL1_, und DL1-1, die zu der Spalte gehören, die synchron mit dieser Erzeugung .When the clock signal (ie, the column switch control signal) Φ is generated as well as in the read operation, the coupled data lines DL 1 _, and DL 1-1 belonging to the column become synchronous with this generation.

ausgewählt wurde, durch den Spal tonum;;eh.il tor C-SW1 anwas selected by the Spal tonum ;; eh.il tor C-SW 1 an

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die gemeinsamen Datenleitungen CDL ui.d CDL1 geschaltet.the common data lines CDL ui.d CDL 1 switched.

Nach der Erzeugung des Taktsignals (d.h., des Dateneingangspuf f ersteuersignals) Φ„w werden die komplementären Schreibeingangssignale d. und d. , die vom Dateneingangspuffer DIB synchron mit dieser Erzeugung zugeführt werden, durch den Spaltenumschalter C-SW.. in die Speicherzelle M-CEL geschrieben. Zu diesem Zeitpunkt arbeitet auch der Leseverstärker SA1, aber die Ausgangsimpedanz des Dateneingangspuffers DIB ist niedrig. Als Folge daraus wird die Information, die an den gekoppelten Spaltendatenleitungen DL1-1 und DL.,.. erscheinen soll, durch die Information des Eingai
Auffrischbetrieb
After the generation of the clock signal (ie the data input buffer f first control signal) Φ „ w , the complementary write input signals d. and d. , which are supplied from the data input buffer DIB synchronously with this generation, are written into the memory cell M-CEL by the column switch C-SW ... At this point in time, the sense amplifier SA 1 also operates, but the output impedance of the data input buffer DIB is low. As a result, the information to appear on the coupled column data lines DL 1-1 and DL., .. becomes through the information of the input
Refresh operation

mation des Eingangs d. bestjjmmt.mation of the input d. bestjjmmt.

inin

Dieser Auffrischbetrieb wird dadurch durchgeführt, daß die Information, die in der Speicherzelle M-CEL gespeichert ist, aber dabei ist, verloren zu gehen, einmal an die gemeinsame Spaltendatenleitung DL ausgelesen wird und dadurch, daß die ausgelesene Information wieder ■ in die Speicherzelle M-CEL eingeschrieben wird,.nachdem sie auf einen solchen Pegel gesetzt wurde, wie er vom Leseverstärker SA1 und dem aktiven Regenerationsschaltkreis AR1 wieder hergestellt wurde. Deshalb ist der Auffrischbetrieb dem Betriebszustand während der Spaltenadressier- und Abtastperiode ähnlich, der in Verbindung mit dem Lesebetrieb beschrieben wurde. In diesem Fall ist jedoch der Betrieb des Spaltenumschalters C-SW- nicht erforderlich. Als Folge davon wird der Auffrischbetrieb gleichzeitig für alle Spalten" und in der Reihenfolge der jeweiligen Zeilen durchgeführt/ während der Spaltenum-Schalter C-SW1 in seinem nicht betriebsfähigen Zustand gehalten wird.This refresh operation is carried out in that the information which is stored in the memory cell M-CEL, but is about to be lost, is once read out to the common column data line DL and in that the read-out information is returned to the memory cell M- CEL is written after it has been set to such a level as was restored by the sense amplifier SA 1 and the active regeneration circuit AR 1 . Therefore, the refresh operation is similar to the operating condition during the column addressing and scanning period described in connection with the reading operation. In this case, however, the operation of the column switch C-SW- is not required. As a result, the refresh operation is performed simultaneously for all columns "and in the order of the respective rows / while the column changeover switch C-SW 1 is kept in its inoperative state.

In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung werden die Taktgeber, die einen Aufbau haben, wie in Figur 3 gezeigt, in dem TGB, wie in Figur 5 gezeigt, verwandt, so daß die Taktsignale Φ,^, Φν, ΦΟ7ν, Φν usw.. des D-RAM erzeugt werden können.In accordance with the present invention, the clocks having a structure as shown in Fig. 3 are used in the TGB as shown in Fig. 5 so that the clock signals Φ, ^, Φ ν , Φ Ο7ν , Φ ν, etc. .. of the D-RAM can be generated.

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Zum Beispiel wird ein nicht gezeigter Taktgenerator (im folgenden kurz als "Φ^^-ΘΕΝ" bezeichnet), der in Betrieb genommen wird, um das Taktsignal 4> R zur Steuerung des Adresspuffer ADB zu erzeugen, so ausgeführt, daß er einen Aufbau ähnlich dem des in Figur 3 gezeigten Schaltkreises hat. Der Vorladeimpuls und der Eingangsimpuls, der vom Φ -,-GEN benötigt wird, werden von einem nicht gezeigten geeigneten Eingangspuffer "erzeugt, der in dem TGB angeordnet ist und der über einen externen Anschluß mit dem RAS-Signal beaufschlagt werden soll. Der vom Φ -GEN benötigte Vorladeimpuls befindet sich mit dem RAS-Signal in Phase, wohingegen der Eingangsimpuls eine Phasenlage entgegengesetzt dem RAS-Signal aufweist. Als Folge davon wird der ΦΑ_-6ΕΝ in seinem Vorladezustand gehalten, wenn das RAS-Signal nicht erzeugt wird oder auf dem hohen Pegel hergestellt wird, er ,wird jedoch außer' Betrieb gesetzt, wenn das RAS-Signal auf dem niedrigen Pegel hergestellt wird. In diesem Fall wird die erforderliche Verzögerungszeitspanne von dem Augenblick, zu dem'das RAS-Signal erzeugt wird, bis zu dem Augenblick, zu dem das Taktsignal Φ^κ erzeugt wird, auf einen geeigneten Wert gesetzt, indem' die Leitfahigkextscharakteristika des MOSFET im Φ^-GEN, der dem in Figur 3 gezeigten MOSFET Q5 entspricht, ent- , sprechend festgesetzt werden. In anderen Worten, die erforderliche Verzögerungszeit wird dadurch auf den geeigneten Wert gesetzt, daß die Dimensionierung (d.h., die Kanalbreite W/ die Kanallänge L) des dem MOSFET Q5 entsprechenden MOSFET geeignet festgesetzt wird.For example, a clock generator not shown (hereinafter referred to as "Φ ^^ - ΘΕΝ" for short) which is put into operation to generate the clock signal 4> R for controlling the address buffer ADB is designed to have a structure similar to that that of the circuit shown in FIG. The precharge pulse and the input pulse required by the Φ -, - GEN are generated by a suitable input buffer (not shown) which is located in the TGB and to which the RAS signal is to be applied via an external connection -GEN required precharge pulse is in phase with the RAS signal, whereas the input pulse has a phase position opposite to the RAS signal. As a result, the Φ Α _-6ΕΝ is held in its precharge state if the RAS signal is not generated or is established at the high level, but is disabled when the RAS signal is established low, in which case the required delay time from the instant the RAS signal is generated until at the moment at which the clock signal Φ ^ κ is generated, set to a suitable value by 'the Leitfahigkextscharistika of the MOSFET in Φ ^ -GEN, which is the MOSFET Q 5 shown in Figure 3 ent speaks, accordingly, be established accordingly. In other words, the required delay time is set to the appropriate value by appropriately setting the dimension (ie, the channel width W / the channel length L) of the MOSFET corresponding to the MOSFET Q 5.

Ebenso ist der nicht gezeigte Taktgeber (im folgenden . kurz als 1^x-GEN" bezeichnet) , der betrieben wird, um das Taktsignal Φχ zur Steuerung des Decoders RC-DCR zu erzeugen, so ausgeführt, daß er einen Aufbau ähnlich dem des in Figur 3 gezeigten Schaltkreises hat. Der Generator Φ^-GEN soll mit dem Vorladeimpuls und dem Eingangsimpuls, die mit denen identisch sind, mit denen der Φ „-GEN versorgt wird, . beaufschlagt werden, obwohl keine ausgesprochene Beschrän-Likewise, the clock generator, not shown ( hereinafter referred to as 1 ^ x -GEN "for short), which is operated to generate the clock signal Φ χ for controlling the decoder RC-DCR, is designed so that it has a structure similar to that of the 3. The generator Φ ^ -GEN is to be supplied with the precharge pulse and the input pulse, which are identical to those with which the Φ "-GEN is supplied, although there is no pronounced restriction.

kung darauf besteht. Die Verzögerungszeit, die vom Φ -GEN festgelegt werden soll, wird durch geeignetes Festsetzen der Leitfähigkeitscharakteristika des MOSFET, der dem MOSFET Q5 des Schaltkreises von Figur 3 entspricht, ähnlich wie beim Φ „-GEN festgelegt.kung insists. The delay time to be determined by the Φ -GEN is determined by appropriately setting the conductivity characteristics of the MOSFET corresponding to the MOSFET Q 5 of the circuit of FIG. 3, similar to the Φ "-GEN.

Übrigens kann das Taktsignal Φ,ο als das EingangssignalIncidentally, the clock signal Φ, ο can be used as the input signal

AKAK

an den Φ„-GEN angelegt werden, falls eine relativ lange Verzögerungszeit von dem Augenblick, zu dem das Taktsignal ΦΑΚ erzeugt wird, bis zu dem Augenblick, zu dem das Taktsignal Φν erzeugt wird, festgelegt werden kann, falls nämlich die Verzögerungszeit, die gesetzt werden soll, langer als die minimale Verzögerungszeit ist, die tatsächlich vom Φ -GEN festgesetzt werden kann.can be applied to the Φ "-GEN if a relatively long delay time can be set from the instant at which the clock signal Φ ΑΚ is generated to the instant at which the clock signal Φν is generated, namely if the delay time which should be set is longer than the minimum delay time that can actually be set by the Φ -GEN.

Daher können die mehrfachen Taktsignale, die eine unterschiedliche zeitliche Abstimmung haben, erzeugt werden, indem parallel angeordnet mehrere Schaltkreise zur Verfügung gestellt werden, die einen Aufbau ähnlich dem des Schaltkreises, der in Figur 3 gezeigt ist, haben und/oder indem diese Schaltkreise in serieller Anordnung zur Verfügung gestellt werden.Therefore, the multiple clock signals having different timing can be generated, by arranging several circuits in parallel to provide a structure similar to that of the The circuit shown in Figure 3 have and / or by having these circuits available in a serial arrangement be asked.

Der Wert der Verzögerungszeit des in Figur 3 gezeigten Taktgebers kann in Übereinstimmung, mit 'den Leitf ähigkeitscharakteristika des MOSFT Q5 und durch den Aufbau zur Detektierung der Spannung, der aus den MOSFETs Q6 bis Qq zusammengesetzt ist, leicht festgelegt werden. Man ist in der Lage, den Wert der Verzögerungszeit. Reicht zu verändern, indem man, z.B., nur die L,eitffähigkeitscharakteristika des MOSFET Qc- ändert. Als Folge davon wird der Entwurf des' D-RAM erleichtert, wenn die in Figur 3 gezeigten Taktimpulsgeneratoren verwendet werden. Im Gegensatz dazu wird die Verzögerungszeit des in Figur 1 gezeigten Schaltkreises, wie aus der vorhergehenden Beschreibung deutlich wird, nicht nur durch den MOSFET Q5, sondern auch durch die MOSFETs Q12' Qi5 usw· beeinflußt. Das macht den Entwurf der MOSFETs zur Änderung der Verzögerungszeit realtiv schwierig. Als Folge daraus wird bei Verwendung des Takt-The value of the delay time of the clock shown in Fig. 3 can be easily set in accordance with 'the conductivity characteristics of the MOSFT Q 5 and the voltage detection structure composed of the MOSFETs Q 6 to Qq. One is able to get the value of the delay time. Suffice it to change by, for example, only changing the conductivity characteristics of the MOSFET Qc-. As a result, when the clock pulse generators shown in Fig. 3 are used, the design of the 'D-RAM is facilitated. In contrast to this, the delay time of the circuit shown in FIG. 1 is, as is clear from the preceding description, influenced not only by the MOSFET Q 5 , but also by the MOSFETs Q 12 'Qi5 etc. This makes designing the MOSFETs for changing the delay time relatively difficult. As a result, when using the clock

_ 35 _ 33U002_ 35 _ 33U002

impulsgenerators,wie er in Figur 1·gezeigt ist, der Entwurf des D-RAM kompliziert.pulse generator, as shown in Figure 1 · the D-RAM design complex.

In dem D-RAM müssen einige Taktsignale eine besonders präzise zeitliche Abstimmung aufweisen. Unter diesen muß das Taktsignal Φ in präziser zeitlicher Übereinstimmung mit dem die Auswahl beendenden Takt der Speicherzelle ansteigen. Wenn das Taktsignal Φ zu einem zu frühen Zeitpunkt erzeugt wird, beginnt insbesondere der Leseverstärker SA- dementsprechend seinen Verstärkungsbetrieb, ungeachtet dessen, daß die gekoppelten Datenleitungen noch nicht mit dem Signal Δν_ auf hinreichend hohem Pegel beaufschlagt sind. Als Folge daraus wird der Leseverstärker SA- in die Lage versetzt, den Fehlbetrieb auszuführen. Wenn der Ausgabezeitpunkt des Taktsignals Φ_,Λ auf einen hinreichendIn the D-RAM, some clock signals must have particularly precise timing. Among these, the clock signal Φ must rise in precise temporal correspondence with the clock of the memory cell that terminates the selection. If the clock signal Φ is generated too early, in particular the sense amplifier SA- accordingly begins its amplification operation, regardless of the fact that the coupled data lines have not yet received the signal Δν_ at a sufficiently high level. As a result, the sense amplifier SA- is enabled to perform the malfunction. If the output time of the clock signal Φ_, Λ to a sufficient

ir A.ir A.

späten Wert festgesetzt wird, kann andererseits der Fehlbetrieb des Leseverstärkers SA- verhindert werden. In diesem Fall wird jedoch die Zugriffszeit des D-RAM durch das. späte Anlaufen des Leseverstärkers SA^ eingeschränkt'. Um den Fehlbetrieb des Schaltkreises zu.verhindern und uiri die Zugriffszeit zu verkürzen, ist es deswegen notwendig, das Taktsignal Φ-- präzise festzusetzen, wie es obenOn the other hand, the malfunction of the sense amplifier SA- can be prevented. In In this case, however, the access time of the D-RAM is restricted by the late start-up of the sense amplifier SA ^. In order to prevent the circuit from malfunctioning and to shorten the access time, it is therefore necessary to set the clock signal Φ-- precisely, as above

IrA.IrA.

beschrieben wurde.has been described.

Darüber hinaus wird der geeignete Ausgabezeitpunkt des Taktsignals Φ-, auch durch die Schwankungen der Schaltkreischarakteristika beeinflußt, die durch die Streuung der Fabrikationsbedingungen und durch die Schwankungen der Betriebstemperatur des MOSIC verursacht werden.In addition, the appropriate output timing of the clock signal Φ- is also made by the fluctuations in the circuit characteristics influenced by the dispersion of the manufacturing conditions and by the fluctuations the operating temperature of the MOSIC.

Zum Beispiel sind die in dem Schaltbild von Figur 8 dargestellten Wortleitungen WL- - und WL1 „ aus einer Materialschicht mit hohem Schmelzpunkt hergestellt, wie z.B. einer leitenden Polysiliziumschicht oder einer Molybdänsilizidschicht, die gleichzeitig mit dem Gate des Schalter-MOSFET QM ausgebildet wird. Jede dieser Wortleitungen hat für sich einen nicht zu vernachlässigenden Widerstand. For example, the word lines WL- and WL 1 "shown in the circuit diagram of FIG. 8 are made of a material layer with a high melting point, such as a conductive polysilicon layer or a molybdenum silicide layer, which is formed simultaneously with the gate of the switch MOSFET Q M. Each of these word lines has a resistance that cannot be neglected.

Darüber hinaus ist jede der Wortleitungen an einen para-In addition, each of the word lines is connected to a para-

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sitären Kondensator gekoppelt, · der aus dem Gatekondensator des Schalter-MOSFET ζλ. aufgebaut ist. Als Folge daraus stellt jede der Wortleitungen im wesentlichen einen Schaltkreis mit konstanter Verteilung (distribution constant circuit) dar. In anderen Worten, jede Wortleitung hat eine nicht zu vernachlässigende Verzögerungscharakteristik, Von den beiden Anschlüssen jeder Wortleitung, die sich auf das Halbleitersubstrat erstrecken, wird übrigens der Anschluß, der mit der Ausgabe des Decoders RC-DCR beaufschlagt werden soll, als der "nahe liegenden Anschluß der Wortleitung" bezeichnet, wohingegen der Anschluß fern vom Decoder RC-DCR als der "entfernt liegende Anschluß der Wortleitung" bezeichnet wird.Sited capacitor coupled, · the one from the gate capacitor of the switch MOSFET ζλ. is constructed. As a result from this, each of the word lines essentially constitutes a circuit with constant distribution (distribution constant circuit). In other words, each word line has a delay characteristic that cannot be neglected, Incidentally, of the two connections of each word line, which extend onto the semiconductor substrate, the connection to which the output of the decoder RC-DCR is to be applied, as the "nearby connection of the word line" whereas the connection remote from the decoder RC-DCR is referred to as the "remote connection of the word line" will.

Die Zeitspanne von dem Augenblick, zu dem das decodierte Signal an den naheliegenden Anschluß der Wortleitung, die ausgewählt werden soll, angelegt wird, bis zu dem Augenblick, zu dem das Potential am entfernt liegenden Anschluß dieser Wortleitung auf einen Pegel ansteigt, der höher ist als der . erwünschte Wert, wird von den Verzögerungscharakteristika derselben Wortleitung beeinflußt. Wenn das Taktsignal ΦΌΆ zu einem verhältnismä_ßig frühen Zeitpunkt erzeugt wird, wird es unmöglich, die Information der Speicherzelle,, die in der Nachbarschaft des entfernt liegenden. Anschlusses der Wortleitung angeordnet ist, auf normale Weise auszulesen. The time from the moment the decoded signal is applied to the nearest terminal of the word line to be selected to the moment the potential at the distant terminal of that word line rises to a level higher than the . desired value is influenced by the delay characteristics of the same word line. If the clock signal Φ ΌΆ is generated at a relatively early point in time, it becomes impossible to read the information of the memory cell, which is in the vicinity of the remote. Connection of the word line is arranged to be read in the normal way.

Um unbeachtet der Verzögerungscharakteristika -jeder Wortleitung, die durch die Streuung bei der.IC-Herstellung und durch die Schwankungen der Betriebstemperatur verursacht werden, das normale Datenlesen zu ermöglichen, werden die Verzögerungscharakteristika einer entsprechenden Leitung detektiert. Der Zeitpunkt der Erzeugung des Taktssignals Φ zur Steuerung des Leseverstärkers SA1 wird in Übereinstimmung mit dem detektierten Wert verändert.In order to enable normal data reading regardless of the delay characteristics of each word line caused by the scatter in IC manufacturing and fluctuations in the operating temperature, the delay characteristics of a corresponding line are detected. The timing of the generation of the clock signal Φ for controlling the sense amplifier SA 1 is changed in accordance with the detected value.

Eine Ausführungsform, die diese Betriebsweisen ermöglicht, ist in der folgenden Art und Weise aufgebaut.An embodiment that enables these operations is constructed in the following manner.

Im einzelnen ist das Signal am entfernt liegenden Anschluß der gepaarten Blindwortleitungen, an die, wie in Figur 8 gezeigt, die Blindzelle gekoppelt ist, als der Eingangsimpuls ausgebildet, der auf den nicht gezeigten Impulsgenerator <i> -GEN gegeben werden soll, der so ausgeführt ist, daß er einen Aufbau ähnlich dem des Schaltkreises in Figur 3 hat. In diesem Falle wird, um zu verhindern, daß die entfernt liegenden Anschlüsse der gepaarten Blindwortleitungen kurzgeschlossen werden, und um den Impulsgenerator Φ -GEN zu erlauben, auf dieSpecifically, the signal is at the remote terminal of the paired dummy word lines to which how shown in Figure 8, the dummy cell is coupled, formed as the input pulse, which is not shown Pulse generator <i> -GEN is to be given that is designed to have a structure similar to that of the circuit in FIG. In this case, to to prevent the remote connections of the paired dummy word lines from being short-circuited, and to allow the pulse generator Φ -GEN on the

ir A.ir A.

Potentialänderung am entfernt liegenden Anschluß jeder Blindwortleitung zu antworten, ein geeigneter Spannungszusammensetzer (voltage composer) zur Verfügung gestellt. Dieser Spannungszusammensetzer (nicht dargestellt) kann aufgebaut sein aus: Einem Paar von Eingangs-MOSFETs, deren Sources gemeinsam mit einem Ausgangsschaltungspunkt verbunden sind, deren Gates auf die entfernt liegenden Anschlüsse, der jeweils entsprechenden Blindwortleitungen geschaltet sind und deren Drains gemeinsam mit dem An-Schluß einer Versorgungsquelle verbunden sind; und einem ' .Vorlade-MOSFET, dessen Drain-Source-Pfad zwischen den Ausgangsschaltungspunkt und einem geerdeten Punkt geschaltet ist und dessen Gate mit einem Vorladesignal beaufschlagt wird, das in Phase mit dem RAS-Signal ist. Die Ausgabe des so aufgebauten Spannungszusammensetzers wird als ein Eingangs-,impuls auf den Impulsgenerator Φ -GEN gegeben. Die Ausgabe dieses Impulsgenerators Φρ -GEN wird als das Taktsignal Φ_- verwendet.To respond to a change in potential at the remote connection of each dummy word line, a suitable voltage composer is provided. This voltage composer (not shown) can be constructed from: A pair of input MOSFETs whose sources are connected in common to an output node, whose gates are connected to the remote connections of the respective dummy word lines and whose drains are connected to the connection connected to a source of supply; and a precharge MOSFET whose drain-source path is connected between the output node and a grounded point and whose gate is supplied with a precharge signal which is in phase with the RAS signal. The output of the voltage synthesizer thus constructed is given as an input pulse to the pulse generator Φ -GEN. The output of this pulse generator Φ ρ -GEN is used as the clock signal Φ_-.

Dieser Aufbau macht von dem Merkmal Gebrauch, daß die gepaarten Blindwortleitungen so ausgeführt sind, daß sie denselben Aufbau wie jede Wortleitung der in Figur 8 gezeigten Speicheranordnung M-ARY haben, so daß im wesentlichen ihre Verzögerungscharakteristika mit denen .jeder Wortleitung übereinstimmen. Als Folge davon, daß der Arbeitspegel des Eingangsimpulses vom Impulsgenerator Φ -GENThis structure makes use of the feature that the paired dummy word lines are made to have have the same structure as each word line of the memory arrangement M-ARY shown in FIG. 8, so that essentially their delay characteristics match those of each word line. As a result of that the work level of the input pulse from the pulse generator Φ -GEN

- 38 - 33H002- 38 - 33H002

geeignet gesetzt wird, kann das Taktsignal ΦρΑ gleichzeitig damit erzeugt werden, daß die Potentiale an den entfernt liegenden Anschlüssen der Blindwortleitung auf einen geeigneten Wert angehoben werden.is suitably set, the clock signal Φ ρΑ can be generated at the same time that the potentials at the remote terminals of the dummy word line are raised to a suitable value.

Die Simulation der Verzögerungscharakteristika jeder Wortleitung kann durch die Zurverfügungstellung und Anwendung einer zusätzlichen Blindwortleitung durchgeführt werden, die unabhängig von den gepaarten Blindwortleivtungen ausgeführt wird. In diesem Fall wird die zusätzliche Wortleitung auf dem ausgewählten Potential gehalten, selbst wenn z.B. eine der gepaarten Blindwortleitungen als Antwort auf das dem Taktsignal Φν entsprechende Signal aUSgewählt wird. Falls die zusätzliche Blindwortleitung zur Verfugung gestellt wird, kann ihr entfernt liegender An-Schluß direkt auf den Eingang des Impulsgenerators Φ -GEN geschaltet werden.The simulation of the delay characteristics of each word line can be carried out by providing and using an additional dummy word line which is carried out independently of the paired dummy word lines. In this case, the additional word line is held at the selected potential even if, for example, one of the paired dummy word lines is selected in response to the signal aUS corresponding to the clock signal Φ ν. If the additional dummy word line is made available, its remote connection can be switched directly to the input of the pulse generator Φ -GEN.

In Übereinstimmung mit dem soweit beschriebenen Aufbau kann der Fehlbetrieb verhindert werden, weil das Taktsignal Φρ zuverlässig synchron mit dem dip Auswahl beendenden Takt der Speicherzelle erzeugt werden kann, die auf der Seite des entfernt liegenden Anschlußes der Wortleitung, angeordnet ist. Darüber hinaus kann, der D-RAM mit hoher Arbeitsgeschwindigkeit zur Verfügung gestellt werden, weil·· man keinen über das notwendige Maß hinausgehenden Zeitrahmen zum Anstieg des Taktsighals Φρ zur Verfügung stellen muß. Weiterhin kann dieses Taktsignal Φρ 'in Übereinstimmung mit den Schwankungen und der Streuung der die Wortleitung auswählenden Betriebsweisen erzeugt werden. Die vorliegende Erfindung soll nicht.auf die. bislang beschriebenen Aus führun'gs formen beschränkt werden.According to the structure described so far, the malfunction can be prevented because the clock signal Φ ρ can be reliably generated in synchronism with the dip selection terminating clock of the memory cell located on the remote terminal side of the word line. In addition, the D-RAM can be made available at a high operating speed because · · there is no need to provide a time frame exceeding the necessary amount for the increase in the clock pulse Φ ρ . Furthermore, this clock signal Φ ρ 'can be generated in accordance with the fluctuations and dispersion of the modes selecting the word line. The present invention is not intended to. Embodiments described so far are limited.

Die folgenden MOSFETs können.zu dem in Figur 3 gezeigten Schaltkreis hinzugefügt werden,The following MOSFETs can be added to the one shown in FIG Circuit to be added,

Om die Zugriffszeit des D-RAM zu verkürzen, wird z.B. angestrebt, daß die Taktimpulsgeneratoren innerhalb einer relativ kurzen Zeitspanne auf ihre Vorladezustände zurückgekehrt sind, wenn das RAS und das CAS-Signal nicht auf denTo shorten the access time of the D-RAM is e.g. sought that the clock pulse generators returned to their precharge states within a relatively short period of time are when the RAS and the CAS signal are not on the

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D-RAM gegeben werden. In dem in Figur 3 gezeigten Schaltkreis wird die Zeitspanne von dem Augenblick, zu dem die Vorladung in Gang gesetzt wird, bis zu dem Augenblick, zu dem der Schaltungspunkt N-. den hinreichenden Vorladepegel (d.h., den niedrigen Pegel) annimmt, verhältnismäßig in die Länge gezogen. Im einzelnen wird die Vorladung des Schaltungspunktes N., , weil sie über den MOSFET Q5 durchgeführt wird, solange nicht in Gang gesetzt?.wie der MOSFET Qt- in seinem nicht—leitenden Zustand gehalten wird, selbst wenn der Eingangsimpuls Φ gleichzeitig mit der Erzeugung des Vorladeimpulses Φ auf den niedrigen Pegel abgesenkt wird. Der Zeitpunkt des Einschaltens des MOSFET Q5 wird unter Berücksichtigung des Vorladeimpulses Φ um eine solche Verzögerungszeit verschoben, wie sie durch den Vorlade-MOSFET Qg und den Unterbrechungs-MOSFET Q1 bestimmt wird. Die Vorladerate des Schaltungspunktes N1 wird, wenn der MOSFET Q5 angeschaltet ist, durch die Leitfähigkeitscharakteristika desselben MOSFET Q1- beschränkt.D-RAM can be given. In the circuit shown in Figure 3, the period from the moment the precharge is started to the moment the node N-. assumes the sufficient precharge level (ie, the low level) is relatively elongated. In detail, the precharge of the node N., because it is carried out via the MOSFET Q 5 , is not started for as long ? How the MOSFET Qt- is kept in its non-conductive state even if the input pulse Φ is lowered to the low level simultaneously with the generation of the precharge pulse Φ. The time at which the MOSFET Q 5 is switched on is shifted, taking into account the precharge pulse Φ, by such a delay time as is determined by the precharge MOSFET Qg and the interruption MOSFET Q 1 . The precharge rate of node N 1 when MOSFET Q 5 is on is limited by the conductivity characteristics of the same MOSFET Q 1 -.

Damit der MOSFET Q5 innerhalb einer möglichst kurzen Zeitspanne nach Erzeugung des Vorladeimpulses Φ von seinem nicht—leitenden in seinen leitenden Zustand gebracht 'werden kann, kann deswegen ein erster MOSFET zur Verfügung gestellt werden, dessen Drain-Source-Pfad zwischen den Anschluß der Versorgungscjuelle V und das Gate des MOSFET Q5 geschaltet wird und dessen Gate mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt wird.So that the MOSFET Q 5 can be brought from its non-conductive to its conductive state within as short a period of time as possible after the precharge pulse has been generated, a first MOSFET can be made available whose drain-source path is between the connection of the supply source V and the gate of the MOSFET Q 5 is switched and the gate of the precharge pulse Φ is applied.

Um dem Schaltungspunkt N1 zu. ermöglichen, seinen Vorladezustand auf direktem Wege wieder herzustellen, kann darüber hinaus ein zweiter MOSFET zur Verfügung gestellt werden, dessen Drain-Source-Pfad zwischen den Schaltungspunkt N1 und den Massepunkt des Schaltkreises geschaltet wird und dessen Gate mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt wird. Falls notwendig kann weiterhin ein dritter MOSFET zur Verfügung gestellt werden, dessen Drain-Source-Pfad zwischen den Schaltungspunkt N1 und den Drain-Anschluß desTo the node N 1 to. enable to restore its precharge state directly, a second MOSFET can also be made available, the drain-source path of which is connected between the node N 1 and the ground point of the circuit and whose gate is applied with the precharge pulse Φ. If necessary, a third MOSFET can also be made available, the drain-source path of which between the node N 1 and the drain terminal of the

_ 4O._ 33H002_ 4O ._ 33H002

zweiten MOSFET geschältet wird und dessen Gate mit der Spannung der Versorgungsquelle beaufschlagt wird.second MOSFET is switched and its gate with the Voltage of the supply source is applied.

Es können sowohl der erste und der zweite MOSFET als auch nur einer von beiden zur Verfügung gestellt werden.Both the first and the second MOSFET or just one of the two can be provided will.

Um dem Ausgangsimpuls Φ , zu ermöglichen, auf direkterem Wege seinen Vorladepegel wieder herzustellen, kann darüber hinaus noch ein vierter MOSFET zur Verfügung gestellt werden,dessen Drain-Source-Pfad mit dem Drain-Source-Pfad des Ausgangs-MOSFET Q4 parallel geschaltet ist und dessen Gate mit dem Vorladeimpuls Φ beaufschlagt wird.In order to enable the output pulse Φ to restore its precharge level in a more direct way, a fourth MOSFET can also be made available, the drain-source path of which is connected in parallel with the drain-source path of the output MOSFET Q 4 and the precharge pulse Φ is applied to its gate.

Falls der erste, zweite und vierte MOSFET gleichzeitig zur Verfugung gestellt wird, wird die Vorladerate des Taktimpulsgenerators weiter erhöht.If the first, second and fourth MOSFETs are made available at the same time, the precharge rate will be of the clock pulse generator increased further.

Andererseits können die Mittel zur Detektierung der Spannung zur Ingangsetzung der Bootstrap-Wirkungsweise in verschiedenen Formen abgewandelt werden, einschließlich der Mittel, die von einem Spannungsvergleicher Gebrauch machen, der different!eile MOSFETs usw. anwendet.On the other hand, the means for detecting the voltage can initiate the bootstrap mode of action can be modified in various forms, including means that use a voltage comparator make applying different! speed MOSFETs etc.

Claims (1)

iLiL *.; 33H002* .; 33H002 WIDENMAYERSiTKÄSSE 17, D-8000 MÜNCHEN 22WIDENMAYERSiTKÄSSE 17, D-8000 MUNICH 22 HITACHI, LTD.HITACHI, LTD. 18. April 1983April 18, 1983 DEA-25 963DEA-25 963 Taktgeber und damit arbeitender dynamischer Speicher Clock generator and dynamic memory that works with it PATENTANSPRÜCHEPATENT CLAIMS 1. Taktxmpulsgenerator, gekennzeichnet durch1. Clock pulse generator, characterized by (a) einen ersten IGFET (Q1.) zur Beaufschlagung eines ersten Schaltungspunktes (N-) mit einem Eingangsimpuls,(a) a first IGFET (Q 1. ) for applying an input pulse to a first circuit point (N-), (b) einen Bootstrap-Kondensator (^B) t der zwischen den(b) a bootstrap capacitor (^ B ) t between the genannten ersten Schaltungspunkt (N.) und einen zweiten Schaltungspunkt geschaltet ist, undsaid first node (N.) and a second node is switched, and (c) einen Treiber (Q1, Q0, Q^-Q1n), der so ausgelegt ist, daß er für eine Spannung, die am genannten ersten Schaltungspunkt (N..) als eine Eingangs spannung auftritt, aufnahmebereit ist und der daher zur Erzeugung einer Ausgangsspannung am genannten zweiten Schaltungspunkt dient, die so ausgelegt ist, daß sie dann einen niedrigen Pegel aufweist, wenn die genannte Eingangsspannung niedriger als ein zu detektierender Wert ist, und die dann einen hohen Pegel aufweist, wenn die genannte Eingangsspannung höher als der genannte Wert ist,(C) a driver (Q 1 , Q 0 , Q ^ -Q 1n ), which is designed so that it is ready to receive a voltage that occurs at said first node (N ..) as an input voltage and the therefore serves to generate an output voltage at said second node which is designed so that it then has a low level when said input voltage is lower than a value to be detected, and which then has a high level when said input voltage is higher than the stated value is j NAOHeEREtOHTj NAOHeEREtOHT wobei am genannten ersten Schaltungsp^i.kt (N. ) ein Signal auf einem erhöhten Pegel erzeugt wird.where at said first circuit p ^ i.kt (N.) a signal is generated at an increased level. 2. Taktxmpulsgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte Treiber umfaßt:2. clock pulse generator according to claim 1, characterized in that said driver includes: (a) einen Spannungsdetektor (CL-Q1n) zur Erzeugung des Ausgangsspannung, die am genannten ersten Schaltungspunkt (N^) auftritt; und(a) a voltage detector (CL-Q 1n ) for generating the output voltage which occurs at said first node (N ^); and (b) einen Bootstrap-Kondensator-Ansteuerkreis (Q-i / Q^) / der so ausgelegt ist, daß er für ein $ignal aufnahmebereit ist, das vom genannten Spannungsdetektor (Qfi-Q1o) erzeugt wird, zur Erzeugung einer Ausgangsspannung, die an. dem genannten zweiten Schaltungspunkt angelegt werden soll. , (b) a bootstrap capacitor control circuit (Qi / Q ^) / which is designed in such a way that it is ready to receive a signal that is generated by said voltage detector (Q fi -Q 1o) for generating an output voltage which at. to be applied to said second node. , 3. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 2, dadurch g ekennzeichnet , daß der genannte Spannungsdetektor Q10) ein Signal erzeugt, das einen hohen Pegel aufweist,3. clock pulse generator according to claim 2, characterized in that said voltage detector Q 10 ) generates a signal which has a high level, *"** wenn seine Eingangsspannung geringer' als der zu detektierende Wert ist, und einen niedrigen Pegel aufweist, wenn die genannte Eingangsspannung höher als der genannte Wert ist; und daß der Bootstrap-Kondensator-Ansteuerkreis (Q , Q) ein Signal erzeugt, dessen Phasenlage entgegengesetzt zu der des Signals ist, das vom genannten Spannungsdetektor (19) erfaßt und von diesem her gespeist wird.* "** if its input voltage is lower than the one to be detected Is value and has a low level when said input voltage is higher than said value; and that the bootstrap capacitor drive circuit (Q, Q) is on Generates a signal whose phase position is opposite to that of the signal from the said voltage detector (19) is detected and fed by this. ORIGINAL INSPECTEDORIGINAL INSPECTED .:!, ί * *.Γ '%1~' ".·.*'.*' j NACHQEREIOHTJ.:!, ί * * .Γ '% 1 ~' ". ·. * '. *' j NACHQEREIOHTJ 4. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte IGFET (Q,-) 4. clock pulse generator according to claim 3, characterized in that said IGFET (Q, -) (a) einen Drain-Source-Pfad aufweist, der zwischen einen Schaltungspunkt, der mit dem genannten Eingangsimpuls beaufschlagt wird, und den genannten ersten Schaltungspunkt (N^) geschaltet ist; und(a) has a drain-source path extending between a node connected to said input pulse is acted upon, and said first node (N ^) is switched; and (b) ein Gate aufweist, das mit der Ausgabe des genannten Spannungsdetektors (Q^-Q1 ) beaufschlagt wird.(b) has a gate to which the output of said voltage detector (Q ^ -Q 1 ) is applied. 5. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 4, weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter IGFET (Q ) einen Drain-Source-Pfad aufweist, der zwischen den Ausgangsanschiuß des genannten Spannungsdetektors (Q^-Q1„) und das Gate des5. clock pulse generator according to claim 4, further characterized in that a second IGFET (Q) has a drain-source path between the output terminal of said voltage detector (Q ^ -Q 1 ") and the gate of the D IU genannten ersten IGFET (Q^) geschaltet ist, und der ein Gate ■aufweist, das mit einer Referenzspannung beaufschlagt wird.D IU called first IGFET (Q ^) is connected, and a gate ■ has, which is applied with a reference voltage. 6. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der genannte Spannungsdetektor 6. clock pulse generator according to claim 3, characterized in that said voltage detector (a) einen dritten (Q„) und einen vierten (Q ) IGFET, deren Drains und Gates miteinander über Kreuz geschaltet sind;·(a) a third (Q ") and a fourth (Q) IGFET, whose Drains and gates are cross-connected with each other; · (b) einen fünften IGFET (Q^) dessen Drain-Source-Pfad(b) a fifth IGFET (Q ^) whose drain-source path zwischen den Anschluß einer Versorgungsquelle (V^) und den Drain-Anschluß des genannten dritten IGFET (Q_) geschaltet ist, und dessen Gate auf den genannten ersten Schaltungspunkt (N1 ) geschaltet ist; undis connected between the connection of a supply source (V ^) and the drain connection of said third IGFET (Q_), and the gate of which is connected to said first node (N 1 ); and (c) ein Lastelement (Q0), das zwischen den Anschluß der(c) a load element (Q 0 ) between the terminal of the \J \J I T \ Y \ J IT NAOHGEREICHT]PAIRED] Versorgungsquclle ^qq} und den Drain-1 Anschluß des genannten vierten IGFET (Q9) geschaltet ist.Supply source ^ qq} and the drain 1 connection of said fourth IGFET (Q 9 ) is connected. 7. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das genannte Lastelement einen sechsten IGFET (Q0) beinhaltet, dessen Drain-7. clock pulse generator according to claim 6, characterized in that said load element includes a sixth IGFET (Q 0 ) whose drain Source-Pfad zwischen den genannten Anschluß der Versorgungs-5. quelle (v rr) und den Drain-Anschluß des genannten vierten IGFET (Qg) geschaltet ist, und des'sen Gate mit einem Impulssignal beaufschlagt werden soll, wobei der genannte Spannungs detektor (Q,,-Q1 _) dynamisch betrieben wird.Source path between the mentioned connection of the supply 5. source ( v rr ) and the drain of said fourth IGFET (Qg) is connected, and des'sen gate with a pulse signal is to be applied, said voltage detector (Q ,, - Q 1 _) is operated dynamically. ■ 0 IU■ 0 IU 8. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 7, weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß er einen siebten IGFET '(Q1n) aufweist, dessen Drain-Source-Pfad mit .dem' Drain-Source-Pfad des genannten dritten IGFET (Q7) parallel geschaltet ist und dessen Gate mit dem' genannten Impulssignal .beauf ■ schlagt werden soll.8. clock pulse generator according to claim 7, further characterized in that it has a seventh IGFET '(Q 1n ) whose drain-source path is connected in parallel with .dem' drain-source path of said third IGFET (Q 7 ) and whose gate is to be "hit" with the said pulse signal. 9. Taktimpulsgenerator nach Anspruch'3, dadurch g e . kennzeichnet, daß der genannte ßootstrap-Kondensator-Ansteuerkreis (Q1, Q3) umfaßt:9. clock pulse generator according to claim 3, characterized ge. indicates that said footstrap capacitor control circuit (Q 1 , Q 3 ) comprises: (a) einen zweiten IGFET (Q2) , dessen Drain-Source-Pfad zwischen den genannten zweiten Schaltungspunkt und den Massepunkt des genannten Ansteuerkreises^ geschaltet ist und dessen Gate mit der Ausgabe des genannten Spannungsdetektors (Qg-Q-I(O beaufschlagt werden soll; und(a) a second IGFET (Q 2 ) whose drain-source path is connected between said second circuit point and the ground point of said drive circuit ^ and whose gate is to be supplied with the output of said voltage detector (Qg - QI (O; and ORIQINAL INSPECTEDORIQINAL INSPECTED 33H00233H002 NACHQEREIOHTjNACHQEREIOHTj (b) ein Lastelement (Q1), das zwischen den Anschluß der Versorgungsquelle (vcc^ und den genannten zweiten Schaltungspunkt geschaltet ist.(b) a load element (Q 1 ) which is connected between the connection of the supply source ( v cc ^ and said second circuit point. 10. Taktimpulsgenerator nach Anspruch.9, dadurch gekennzeichnet, daß das genannte Lastelement einen dritten IGFET (Q1) beinhaltet, dessen Drain-Source-Pfad zwischen den Anschluß der Versorgungsquelle (V00) und den genannten zweiten Schaltungspunkt geschaltet ist, und dessen Gate auf den genannten ersten Schaltungspunkt (N1) geschaltet ist.10. clock pulse generator according to claim 9, characterized in that said load element includes a third IGFET (Q 1 ) whose drain-source path is connected between the connection of the supply source (V 00 ) and said second node, and its gate is switched to said first switching point (N 1 ). •11. Taktimpulsgenerator nach Anspruch 3, weiterhin dadurch gekennzeichnet , daß ein Ausgangsschaltkreis ' (Qo/ Q4) umfaßt: ·• 11. The clock pulse generator of claim 3 further characterized characterized in that an output circuit '(Qo / Q4) includes: .. (a) einen ersten Ausgangs-IGFET (Q4), der einen Gate-Anschluß, der mit der Ausgabe des genannten Spannungsdetektors (Qg-Q1n) beaufschlagt werden soll, einen Drain-Anschluß und einen Source-Anschluß aufweist; und.. (a) a first output IGFET (Q 4 ) having a gate terminal to which the output of said voltage detector (Q g -Q 1n ) is to be applied, a drain terminal and a source terminal; and . (b) einen zweiten Ausgangs-IGFET (Q3), der· einen Gate-Anschluß, der auf den genannten ersten Schaltungspunkt (N1) geschaltet ist, einen Drain-Anschluß und einen Source-Anschluß aufweist.. (b) a second output IGFET (Q 3 ) which has a gate connection connected to said first node (N 1 ), a drain connection and a source connection. 12. Dynamischer Speicher, gekennzeichnet12. Dynamic memory, labeled durchby (a) eine Speicheranordnung (M-ARY), die eine Vielzahl von(a) a memory array (M-ARY) containing a plurality of : : "ί? ' : :. : Inaohoereioht:: "ί? ' ::.: Inaohoereioht -·,— or — i. ·- I - ·, - or - i. · - I in einer Matrixform angeordneten Speicherzellen (M-CEL), eine Vielzahl von Datenleitungen (DL), auf die die Dateneingangs- und ausgangsanschlusse der entsprechenuen Speicherzellen geschaltet sind, und eine Vielzahl von Wortleitungen (WL), auf die die Auswahlanschlüsse der entsprechenden Speicherzellen geschaltet sind, umfaßt;memory cells (M-CEL) arranged in a matrix form, a multitude of data lines (DL) to which the data input and output terminals of the corresponding memory cells are connected, and a plurality of word lines (WL) to which the selection terminals of the corresponding Memory cells are connected; (b) eine Vielzahl von Blindzellen (D-CEL), die jeweils auf die genannten Datenleitungen (DL) geschaltet sind;(b) a plurality of dummy cells (D-CEL) which are each connected to said data lines (DL); (c) eine Blindwortleitung zur Auswahl der genannten Blindzellen (D-CEL);(c) a dummy word line for selecting said dummy cells (D-CEL); (d) eine Vielzahl von Leseverstärkern (SA), die jeweils auf die genannten Datenleitungen (DL) geschaltet sind; und(d) a plurality of sense amplifiers (SA), each are connected to said data lines (DL); and (e) eine Vielzahl von Taktimpulsgeneratoren, zur Erzeugung von Taktimpulsen, wobei jeder der genannten Taktimpulsgeneratoren beinhaltet: · ' ■(e) a plurality of clock pulse generators for generating clock pulses, each of said clock pulse generators includes: · '■ (a) einen ersten IGFET, der über seinen Drain-Source-. Pfad einen Eingangsimpuls an einen ersten Schaltungspunkt(a) a first IGFET that has its drain-source. Path an input pulse to a first node anlegt; ,creates; , (b) einen Bootstrap-Kondensator, der zwischen den genannten ^ersten Schaltungspunkt und einen zweiten Schaltungspunkt geschaltet ist;(b) a bootstrap capacitor connected between the said ^ first node and a second node is switched; (c) einen Spannungsdetektor, der so.ausgelegt ist, . ' daß er für eine Spannung, die am genannten ersten Schaltungspunkt als eine Eingangsspannung auftritt, aufnahmebereit ist und deshalb eine Ausgangsspannung erzeugt, die so ausgelegt ist, daß sie dann einen hohen Pegel aufweist, wenn die genannte Eingangsspannung geringer als ein zu detektierender(c) a voltage detector designed to. ' that it is ready to receive a voltage appearing at said first node as an input voltage is and therefore produces an output voltage which is designed to be high when the said input voltage is lower than a voltage to be detected • * -B ST _» - . ■ 4 • * -B ST _ »-. ■ 4 * * tr · ν «·#' *t * * tr · ν «· # ' * t ft · * fvft * fv , NACHGEREICHT, SUBMITTED Wert ist, und die dann einen niedrigen Pegel aufweist, wenn die genannte Eingangsspannung höher als der genannte Wert ist;Value, and which then has a low level when the input voltage is higher than the value is; (d)·. einen Bootstrap-Kondensator -Ansteuerschaltkreis zur Erzeugung eines Signals am genannten zweiten Schaltungspunkt, das so ausgelegt ist, daß es eine Phasenlage entgegengesetzt zu der der Ausgangsspannung, die' vom genannten Spannungsdetektor gespeist wird, aufweist; und(d) ·. a bootstrap capacitor drive circuit for generating a signal at said second node which is designed so that there is a phase position opposite to that of the output voltage fed by said voltage detector; and (e) einen Gegentaktausgangsschaltkreis mit ersten und zweiten Ausgangs^-IGFETs, die so angepaßt sind, daß sie sowohl von einer Ausgangsspannung, die vom genannton Spannungsdetektor erzeugt wird, als auch von einer . Spannung, die am genannten ersten Schaltungspunkt tritt, angesteuert, werden.(e) a push-pull output circuit with first and second output ^ IGFETs, which are adapted so that they are both from an output voltage from the calledon Voltage detector is generated as well as by a. Voltage at said first node step, be controlled. 13. . Dynamischer Speicher nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Betrieb eines jeden der genannten Leseverstärker von einem der genannten Taktimpulsgeneratoren gesteuert wird, und dadurch, daß die Eingangsimpulse, die an den Taktimpulsgenerator zur Steuerung der Betriebsweise der genannten Leseverstärker angelegt werden sollen, vom anderen Anschluß der Blindwortleitung her erzeugt werden, deren einer Anschluß mit einem Ansteuersignal beaufschlagt wird.13.. Dynamic memory according to claim 12, characterized in that the operation of each of the said sense amplifier is controlled by one of said clock pulse generators, and in that the input pulses that are sent to the clock pulse generator for controlling the operation of said sense amplifiers are to be applied, are generated from the other terminal of the dummy word line, one terminal of which is acted upon by a control signal.
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