DE29505777U1 - Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums - Google Patents
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Description
R. 27750
28.03.95 Sc/Ge
28.03.95 Sc/Ge
ROBERT BOSCH GMBH, 70442 Stuttgart 10
Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
15
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Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einer Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums nach der Gattung des
Anspruchs 1. Es ist schon eine Meßvorrichtung bekannt (DE-OS 38 44 354), die ein Substrat aus Keramik besitzt, das
mit seinem festen Ende in einer Trennebene zwischen einer ersten Gehäusehälfte und einer zweiten Gehäusehälfte
untergebracht ist. Das Substrat wird dabei von einem an der ersten Gehäusehälfte vorgesehenen, zungenförmigen
Stützelement teilweise an seiner ünterfläche gehalten, wodurch sich eine höhere Bruchsicherheit des Substrats
ergibt.
Zur Messung der Masse des strömenden Mediums besitzt das Substrat einen temperaturabhängigen Sensorbereich, der sich
aus einzelnen, auf dem Substrat aufgebrachten Widerstandsschichten zusammensetzt, die wenigstens einen
Heizwiderstand und wenigstens einen temperaturabhängigen Meßwiderstand umfassen. Zur Messung wird der Meßwiderstand
in bekannter Weise mittels des Heizwiderstandes auf eine weit oberhalb der Temperatur des strömenden Mediums liegende
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Übertemperatur aufgeheizt und vom Heizwiderstand auf dieser gehalten, so daß der Meßwiderstand im wesentlichen aufgrund
von Konvektion, abhängig von der vorbeiströmenden Masse des Mediums, eine bestimmte Wärmemenge an das strömende Medium
abgibt. Der Heizwiderstand ist auf dem Substrat in gutem Wärmekontakt zum Meßwiderstand angeordnet, um dessen
Übertemperatur möglichst konstant zu halten. Der Meßwiderstand hat einen von der Temperatur abhängigen
Widerstandswert, so daß eine Änderung der Übertemperatur eine Änderung seines Widerstandswertes bewirkt, wobei eine
mit dem Meßwiderstand und dem Heizwiderstand verbundene Regelschaltung verstimmt wird. Bei einer Verstimmung der
Regelschaltung durch den Meßwiderstand ändert diese den Heizstrom oder die Heizspannung des Heizwiderstandes, um so
die Übertemperatur des Meßwiderstandes konstant zu halten, wobei der zur Aufrechterhaltung der Übertemperatur des
Meßwiderstandes erforderliche Heizstrom oder die Heizspannung des Heizwiderstandes ein Maß für die Masse des
strömenden Mediums ist.
Im eingangs erwähnten Stand der Technik ist das Substrat mittels einer Klebschicht direkt an die erste Gehäusehälfte
beziehungsweise an das Stützelement angeklebt. Die erste Gehäusehälfte und das Stützelement sind einteilig aus Metall
ausgebildet und verfugen daher über eine im Vergleich zu den Widerständen des Substrats große Wärmekapazität, so daß sich
im beheizten Zustand des Substrats neben dem an das strömende Medium konvektiv abgegebenen Wärmestrom auch ein
vom Substrat über das metallene Stützelement abfließender 0 Wärmestrom einstellt. Dieser hängt jedoch nicht von der
Masse des strömenden Mediums ab und verfälscht daher das Meßergebnis. Weithin bewirkt der vom Substrat über das
Stützelement abfließende Wärmestrom, daß eine längere Zeit notwendig ist, um durch Aufheizen mittels des
Heizwiderstandes die erforderliche Übertemperatur am
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Meßwiderstand einzustellen, wodurch sich beim Betrieb auch die Ansprechzeit auf Änderungen der Masse des strömenden
Mediums verlängert.
Vorteile der Erfindung
Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung mit den kennzeichnenden
Merkmalen des Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß ein vom Substrat zum Stützelement fließender Wärmestrom
nahezu vollständig reduziert wird, so daß sich ein präzises Meßergebnis einstellt. Die Reduzierung des Wärmestroms
bewirkt zusätzlich eine kürzere Aufheizzeit zum Erreichen der erforderlichen Übertemperatur am Meßwiderstand, wofür
gegenüber dem Stand der Technik eine geringere Heizleistung notwendig ist. Vorteilhafterweise ergibt sich dadurch auch
eine kürzere Ansprechzeit der Meßvorrichtung, um auf Änderungen der Masse des strömenden Mediums entsprechend zu
reagieren. Besonders vorteilhaft ist, daß sich bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung
erforderliche Klebprozesse erheblich vereinfachen, so daß eine kostengünstige Herstellungsweise insbesondere in
Massenherstellung möglich ist.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im
Anspruch 1 angegebenen Meßvorrichtung möglich.
Zeichnung
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung vereinfacht dargestellt und in der nachfolgenden
Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Figur 1 eine erfindungsgemäße Meßvorrichtung, Figur 2 eine erste
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Gehäusehälfte der in Figur 1 dargestellten erfindungsgemäßen
Meßvorrichtung, Figur 3 eine Draufsicht auf ein Bauteil der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung, Figur 4 eine Rückansicht
des in Figur 3 dargestellten Bauteils.
Beschreibung des Ausführungsbeispiels
Die in Figur 1 gezeigte Meßvorrichtung 1 dient zur Messung der Masse eines strömenden Mediums, insbesondere zur Messung
der Ansaugluftmasse von Brennkraftmaschinen. Die Meßvorrichtung 1 besitzt einen Meßkörper, der außer anderen,
hier nicht näher bezeichneten Teilen eine erste Gehäusehälfte 3 und eine zweite Gehäusehälfte 4 hat. Die
erste Gehäusehälfte 3 und die zweite Gehäusehälfte 4 sind bogenförmig ausgebildet und umschließen einen
Strömungsdurchbruch 6, der etwa rechteckförmigen Querschnitt
hat. Die Wandungen des Strömungsdurchbruches 6 verlaufen im
wesentlichen parallel, jedoch in Richtung des strömenden Mediums konisch aufeinander zulaufend. Das Medium strömt in
Figur 1 senkrecht zur Zeichenebene der Figur 1 in Zeichenebene der Figur 1 hinein. In den Figuren 2 und 3 ist
die Strömungsrichtung durch entsprechende Pfeile 7 gekennzeichnet. Weiterer Bestandteil der Meßvorrichtung 1
ist ein plattenförmiges Substrat 8, das beispielsweise aus Keramik hergestellt ist und das mit seinem festen Ende 9 an
einem in Figur 1 links dargestellten Stützelement 15 beispielsweise durch Klebung befestigt ist. Das zwischen den
beiden Gehäusehälften 3, 4 an einer Trennebene 12 vorgesehene Stützelement 15 ragt dabei mit seinem freien
Ende 10 in den Strömungsdurchbruch 6 der Gehäusehälften 3, 4 hinein und ist mit seiner größten Oberfläche 11 in etwa
parallel zum strömenden Medium ausgerichtet.
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Das Substrat 8 hat einen nicht näher dargestellten temperaturabhängigen Sensorbereich, der beispielsweise aus
mehreren Widerstandsschichten aufgebaut ist, die wenigstens einen temperaturabhängigen Meßwiderstand und beispielsweise
wenigstens einen Heizwiderstand aufweisen. Ein derartiger Aufbau ist zum Beispiel der DE-OS 36 38 138 entnehmbar. Es
ist aber auch möglich, die Widerstandsschichten durch Ausätzen eines Halbleiterkörpers, beispielsweise eines
Siliziumwafers, in mikromechanischer Bauweise herzustellen.
Ein derartiger Aufbau ist in der DE-OS 42 19 454 gezeigt.
Mit dem Sensorbereich des Substrats 8 ist eine elektronische Regelschaltung verbunden, die in der ersten Gehäusehälfte 3
untergebracht ist. Die Regelschaltung dient bekanntermaßen zur Versorgung der Widerstandsschichten des Substrats 8 und
zur Auswertung der von den Widerstandsschichten gelieferten elektrischen Signale. Um eine verbesserte Wärmeabfuhr der
wärmeerzeugenden Elemente der elektronischen Regelschaltung zu erhalten, ist die erste Gehäusehälfte 3 aus Metall
insbesondere Aluminium in Druckgußtechnik hergestellt. Die Wärme der Regelschaltung wird an das strömende Medium
abgegeben, insbesondere an der ersten Gehäusehälfte 3 und im Bereich des Strömungsdurchbruchs 6. Außerdem können noch
Kühlrippen 17 an der ersten Gehäusehälfte 3 vorgesehen sein, welche die Wärmeabfuhr an das strömende Medium weiter
erhöhen.
Wie in der Figur 1 dargestellt ist, setzt sich das Stützelement 15 einteilig aus einem Rastteil 24 und einem
zungenförmigen Stützteil 25 zusammen. Das Stützteil 2 5 des 0 Stützelements 15 ist plattenförmig ausgebildet und steht dem
strömenden Medium nur mit einer relativ schmalen Seitenfläche entgegen, um eine das Meßergebnis störende
Beeinflussung der Strömung weitestgehend zu vermeiden. Die quer zur Strömungsrichtung 7 und quer zur Oberfläche 11 des
Substrats 8 gemessene Dicke des Stützteils 25 entspricht
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beispielsweise in etwa der doppelten Dicke des Substrats 8.
Erfindungsgemäß ist das Stützelement 15 als separates Teil ausgebildet und aus Kunststoff beispielsweise in
Spritzgußtechnik hergestellt. Zur Halterung des Stützelements 15 wird dieses mit dem Rastteil 24 in eine in
der ersten Gehäusehälfte 3 vorgesehenen Ausnehmung 20 eingebracht, die über einen Durchbruch 22 in der ersten
Gehäusehälfte 3 mit dem Strömungsdurchbruch 6 in Verbindung steht. Das Rastteil 24 entspricht in seiner umlaufenden
Kontur etwa der Ausnehmung 20, und das Stützteil 25 ragt im montierten Zustand durch den Durchbruch 22 in den
Strömungsdurchbruch 6.
Wie in der Figur 2, einer Darstellung der ersten Gehäusehälfte 3 ohne Stützelement 15 und ohne Substrat 8,
gezeigt ist, besitzt die Ausnehmung 20 beispielsweise die Form einer rechteckförmig umlaufenden Nut, die eine
entsprechend rechteckförmige Erhebung 21 ausspart. Wie in der Figur 3, einer Draufsicht auf das erfindungsgemäße
Stützelement 15, dargestellt ist, hat das Stützelement 15 beispielsweise eine von Rastteil 24 und Stützteil 25
gebildete T-Form, so daß im eingebauten Zustand des Stützelements 15 das Rastteil 24 breiter ist, also sich
weiter in Strömungsrichtung 7 erstreckt, als das Stützteil
25. Das in Figur 3 gestrichelt dargestellte Substrat 8 ist an einer von Rastteil 24 und Stützteil 25 gebildeten T-förmigen
Oberfläche 26 mit seinem festen Ende 9 angeklebt, wobei die in Strömungsrichtung 7 gemessene Breite des
Stützteils 25 nur etwas über die Breite des Substrats 8 hinausgeht. Die Oberfläche 26 des Rastteils 24 und des
Stützteils 25 ist im montierten Zustand des Stützelements der zweiten Gehäusehälfte 4 zugewandt.
Zur Verbindung des Stützelements 15 mit der ersten 5 Gehäusehälfte 3 besitzt dieses eine Klebausnehmung 3 0 und
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zum Beispiel vier Noppen 28, 34. Die Klebausnehmung 30 ist an einer Unterfläche 27 des Stützteils 25 vorgesehen. Die
Unterfläche 27 des Stützteils 25 ist im montierten Zustand des Stützelements 15 der ersten Gehäusehälfte 3 zugewandt.
Das Stützelement 15 wird zur Montage mit der Klebausnehmung 30 in die Ausnehmung 20 der ersten Gehäusehälfte 3
eingeführt. Wie in der Figur 4, einer Rückansicht des in Figur 3 gezeigten Stützelements 15, dargestellt ist, hat die
Klebausnehmung 30 einen entsprechend der Ausnehmung 20 ausgebildeten rechteckförmigen Querschnitt, wobei in der
Klebausnehmung 3 0 ein erhabener Steg 32 vorgesehen ist, der beispielsweise nahe einer dem Stützteil 25 abgewandten
Seitenfläche 33 des Rastteils 24 liegt. Beim Einsetzen des Stützelements 15 in die Ausnehmung 20 liegt der Steg 32 an
der Erhebung 21 an und bildet einen Anschlag für das Stützelement 15. Zur Zentrierung und Verklemmung des
Stützelements 15 in der Ausnehmung 20 sind am Rastteil 24 des Stützelements 15 mehrere Noppen 28, 34 vorgesehen.
Beispielsweise sind an der Seitenfläche 33 des Rastteils zwei Noppen 28 und an einer gegenüberliegenden Seitenfläche
3 5 des Rastteils 24, von der das Stützteil 25 ausgeht, ebenfalls zwei Noppen 34 vorgesehen, die von der
Seitenfläche 33 beziehungsweise der Seitenfläche 35 etwas abstehen. Der Querschnitt der Ausnehmung 20 ist nur etwas
größer als der Querschnitt des Rastteils 24 ohne die Noppen 28, 34, so daß beim Einführen des Rastteils 24 in die
Ausnehmung 20 die Noppen 28, 34 zusammengedrückt werden. Dabei verformen sich die Noppen 28, 34 elastisch und
teilweise plastisch, wodurch sich eine einer Verrastung 0 nahekommende Verklemmung und Zentrierung des Stützelements
15 in der Ausnehmung 20 ergibt.
Zur Verbindung des Stützelements 15 mit der ersten Gehäusehälfte 3 kann noch ein Klebmittel in die Ausnehmung
20 eingebracht werden, wonach das Stützelement 15 eingesetzt
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und mittels den Noppen 28, 34 in der Ausnehmung 20 verklemmt wird. Dabei verteilt sich das Klebmittel in der Ausnehmung
20 der ersten Gehäusehälfte 3 und der Klebausnehmung 30 des
Rastteils 24. Auf die Oberfläche 26 des Stützteils 25 kann ebenfalls Klebmittel aufgebracht werden, um das Substrat 8
an die Oberfläche 26 des Stützelements 15 zukleben, das beispielsweise in angepreßtem Zustand zwischen den
Gehäusehälften 3, 4 aushärtet. Die Verklemmung des Stützelements 15 in der Ausnehmung 20 mittels den Noppen 28,
34 stellt dabei sicher, daß beim Aushärten des Klebmittels in der Ausnehmung 20 und an der Oberfläche 26 des Stützteils
25 eine präzise Ausrichtung des Stützelements 15 und des Substrats 8 vorhanden bleibt. Insbesondere wird beim
Einsetzen des Stützelements 15 in die von Klebmittel ausgefüllte Ausnehmung 20 ein Abheben des Stützelements 15
und des Substrats 8 in Richtung der ersten Gehäusehälfte 4
zuverlässig verhindert. Weiterhin sind im Rastteil 25 in der Klebausnehmung 3 0 Öffnungen 31 vorgesehen, die zur
Oberfläche 26 des Rastteils 24 führen, so daß im Klebmittel der Klebausnehmung 3 0 eingeschlossene Luftblasen nach außen
entweichen können. Die Öffnungen 31 durchstoßen beispielsweise Führungsstege 36, welche an der Oberfläche 26
des Rastteils 24 vorgesehen sind, die mit parallelen Führungsflächen 3 7 das Substrats 8 seitlich führen, um eine
präzise Positionierung des an die Oberfläche 26 des Rastteils 24 und Stützteils 25 angeklebten Substrats 8 zu
erhalten.
Die erfindungsgemäße Ausbildung des Stützelements 15 als
0 separates Kunststoffteil bewirkt außerdem eine gute Wärmeisolation zwischen dem Substrat 8 und der ersten
Gehäusehälfte 3, wodurch ein ansonsten im beheizten Zustand vom Substrat 8 zur ersten Gehäusehälfte 3 abfließender
Wärmestrom zuverlässig verhindert oder zumindest stark reduziert wird. Dies erlaubt eine nahezu vollständige
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Übertragung der Wärme des Substrats 8 an das strömende Medium, wodurch sich ein präzises Meßergebnis einstellt.
Claims (7)
1. Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums, insbesondere zur Messung der Ansaugluftmasse von
Brennkraftmaschinen, mit einem sich quer zur Strömung erstreckenden Meßkörper, aus dem ein Substrat mit seinem
wenigstens eine temperaturabhängige Widerstandsschicht aufweisenden freien Ende ragt, dessen festes Ende in einer
Trennebene zwischen einer ersten Gehäusehälfte und einer zweiten Gehäusehälfte des Meßkörpers verläuft, wobei das
feste Ende des Substrats an ein sich teilweise unter das Substrat erstreckendes Stützelement mittels eines
Klebemittels angeklebt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (15, 24, 25) als separates Kunststoffteil
ausgebildet und in eine in der ersten Gehäusehälfte (3) vorgesehene Ausnehmung (20) eingesetzt ist.
2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (15) wenigstens einen von einer
Seitenfläche (33; 35) abstehenden Noppen (28; 34) zur Befestigung in der Ausnehmung (20) hat.
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3. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (15) in die Ausnehmung (20) der ersten
Gehäusehälfte (3) einklebbar ist.
4. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (20) des ersten Gehäuseteils (3) die Form
einer umlaufenden Nut hat, die eine rechteckformige Erhebung (21) ausspart.
5. Meßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (15) eine ein Klebmittel aufnehmende
Klebausnehmung (30) hat.
6. Meßvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in der Klebausnehmung (30) ein Steg (32) ausgebildet
ist.
7. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (15) einen in die Ausnehmung (20)
eingesetzten Rastteil (24) und einen in die Strömung ragenden Stützteil (25) hat.
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DE (1) | DE29505777U1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018123326B3 (de) * | 2018-09-21 | 2020-02-06 | Dr. Neumann Peltier-Technik Gmbh | Sensoranordnung |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3844354A1 (de) * | 1988-12-30 | 1990-07-05 | Bosch Gmbh Robert | Messvorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
DE4107876A1 (de) * | 1990-03-12 | 1991-09-19 | Hitachi Ltd | Luftstroemungsmesser fuer verbrennungsmotor und herstellungverfahren fuer einen solchen luftstroemungsmesser |
-
1995
- 1995-04-04 DE DE29505777U patent/DE29505777U1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3844354A1 (de) * | 1988-12-30 | 1990-07-05 | Bosch Gmbh Robert | Messvorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
DE4107876A1 (de) * | 1990-03-12 | 1991-09-19 | Hitachi Ltd | Luftstroemungsmesser fuer verbrennungsmotor und herstellungverfahren fuer einen solchen luftstroemungsmesser |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Sensoren '90, Sonderheft der Zeitschrift Technisches Messen tm, S.85-88 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018123326B3 (de) * | 2018-09-21 | 2020-02-06 | Dr. Neumann Peltier-Technik Gmbh | Sensoranordnung |
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