DE2816580A1 - Pyroelektrische detektorschaltungsanordnung und -vorrichtung - Google Patents
Pyroelektrische detektorschaltungsanordnung und -vorrichtungInfo
- Publication number
- DE2816580A1 DE2816580A1 DE19782816580 DE2816580A DE2816580A1 DE 2816580 A1 DE2816580 A1 DE 2816580A1 DE 19782816580 DE19782816580 DE 19782816580 DE 2816580 A DE2816580 A DE 2816580A DE 2816580 A1 DE2816580 A1 DE 2816580A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- circuit arrangement
- field effect
- diode elements
- electrode
- effect transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 26
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000012744 reinforcing agent Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N15/00—Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
- H10N15/10—Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1203—Rectifying Diode
- H01L2924/12032—Schottky diode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19107—Disposition of discrete passive components off-chip wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
-V- PHB.32.576
VA/GROE/GK 3.4.1978
"Pyroelektrische Detektorschaltungsanordnung
und -vorrichtung"
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung mit einem Strahlungsdetektorelement aus pyroelektrischem
Material und weiter auf eine pyroelektrische Strahlungsdetektorvorrichtung.
Die Anwendung pyroelektrischen Materials für Strahlungsdetektion, insbesondere Infrarotstrahlungsdetektion,
ist allgemein bekannt. Der pyroelektrische Effekt ist die Aenderung einer elektrischen Polarisation
in einem Kristall infolge einer Temperaturänderung. Der Polarisationszustand ist im allgemeinen nicht wahrnehmbar,
weil er unter Gleichgewichtsbedingungen durch das Vorhandensein freier Ladungsträger ausgeglichen wird,
die die Oberfläche des Kristalls durch Leitung durch den
809844/0787
PHB.32.576
3·^·1978
Kristall und von aussen her erreicht haben. Die Grosse
der Polarisation und somit der ausgleichenden Ladung hängt von der Temperatur ab und wenn die Temperatur der-.
art geändert wird, dass die Zufuhr ausgleichender Ladungsträger geringer als die Aenderung in der polarisierenden
Ladung ist, erfahren die Kristalloberflächen eine wahrnehmbare Aenderung. Dieser Effekt wird in Detektorvorrichtungen
dadurch benutzt, dass der Kristall als ein Kondensator mit Elektroden auf einander gegenüber liegenden
ebenen Oberflächen ausgebildet wird, die zu der polaren Achse des Kristalls senkrecht sind, wobei die
Wiederverteilung der ausgleichenden Ladungsträger bewirkt, dass ein Strom durch eine Schaltung fliesst, die den Kondensator
enthält und die Aussenschaltung für den Kristall bildet.
Pyroelektrische Elemente der genannten Konfiguration sind selber empfindlich für Aenderungen in der
Temperatur und nicht für absolute Temperaturwerte. Für eine geringe Temperaturänderung dT ist die Aenderung in
der Polarisation eines Kristalls der Temperaturänderung proportional, und zwar dP = AdT, wobei Λ den pyroelektrischen
Koeffizienten des Kristalls darstellt. Der Strom in der Aussenschaltung ist dem Flächeninhalt der strahlungsempfangenden
Elektrode A und auch der Geschwindigkeit proportional, mit der sich die Polarisationsladung, ändert,
und zwar
. dP _ ν dT
1 = A dt - A /w df
1 = A dt - A /w df
809844/0787
PHB.32.576
3.4.1978
Als Infrarotstrahlungsdetektoren werden pyroelektrische Elemente der beschriebenen Art mit zugehörigen
Verstärkermitteln verwendet. Diese Detektoren können
derart betrieben werden, dass das von den Verstärkermitteln erhaltene Signal direkt auf Aenderungen in auf
das Element einfallender Strahlung bezogen ist. In einem anderen Modus wird die einfallende Strahlung mit einer
festen Frequenz unterbrochen und ist das abgeleitete Signal eine konstante Wechselspannung bei dieser Frequenz.
Ein wichtiger Parameter in einer Detektoranordnung mit einem Detektorelement und zugehörigen Verstärkermitteln
ist das Rauschen, das von mehreren Quellen stammen kann, einschliesslich des Temperatur- oder Strahlungsrauschens,
des Johnson-Rauschens-im Kristall, des
Stromrauschens in den Verstärkermitteln und des Spannungsrauschens
in den Verstärkermitteln.
Ein inhärentes sich bei der Anwendung pyroelektrischer
Elemente für die Detektion geringer Signalstrahlung ergebendes Problem war der Effekt grosser unerwünschter
Strahlungseingangssignaländerungen, z.B. der Aenderung der Stärke von Sonnenstrahlung unter sich ändernden
¥olkenbedingungen an der Ausgangsschaltung, und auch der Einfluss einer gleichmässigen Temperaturänderung
der Umgebung von etwa 1°C/min oder sogar weniger. Da das Element eine Vorrichtung mit verhältnismässig hoher Impedanz
ist, ist es üblich, eine Feldeffekttransistorvorverstärkerstufe,
die einen Teil der Aussenschaltung bildet,
in der Nähe des Detektorelements anzuordnen, wobei
809844/0767
CFVQMM. INSPECTED
PHB.32.576
bei einer derartigen plötzlichen Aenderung der Eingangsstrahlung
oder bei einer gleichmässigen Temperaturänderung in der genannten Grössenordnung der Feldeffekttransistorvorverstärker
gesättigt wird. Das Problem der Begrenzung des Spannungsanstiegs, der unter den genannten
ungünstigen Bedingungen stattfindet, ist, dass etwaige in die Aussenschaltung eingeführte Mittel.nicht derart
sein sollen, dass sie einen Rauschfaktor herbeiführen, der den inhärenten Rauschfaktor des Detektorelements
selber überschreitet.
Bei den meisten Versuchen zur Herabsetzung des Sättigungseffekts wurde bisher von der Herabsetzung des
Wertes eines Gatterableitwiderstandes mit hohem Wert, der über dem Detektorelement angeordnet ist, und somit
von der Herabsetzung der Niederfrequenzempfindlichkeit
ausgegangen. Dieses Verfahren weist den wesentlichen Nachteil auf, dass das Rauschen des Detektors zunimmt.
Siehe dazu US-Patent 3·539-803·
Nach der Erfindung ist eine Schaltungsanordnung dadurch gekennzeichnet, dass die ein Strahlungsdetektionselement
aus pyroelektrisehern Material, einen mit dem Detektorelement verbundenen Feldeffekttransistorverstärker
und mindestens eine besonders niedrige Leckströme aufweisende nichtlineare Vorrichtung enthält, die in die
Schaltung aufgenommen ist, die die Gate-Elektrode des Feldeffekttransistorverstärkers und das Detektorelement
enthält, wobei die genannte Verrichtung dazu dient, die Abweichung in einer Richtung des Eingangssignals des Feld-
809844/0767
PHB.32.576
3.h.1978
effekttransistorverstärkers zu begrenzen und dadurch die
Sättigung bei grossen Einschaltspitzen in der Eingangsstrahlung oder bei gleichinässig zunehmenden geringen Aenderungen
in der Eingangsstrahlung zu verhindern. Bei einer derartigen Schaltungsanordnung, in
der das pyroelektrische Element, die nichtlineare Vorrichtung und der Feldeffekttransistorverstärker als diskrete
Schaltungselemente angebracht sein können, die je für sich oder wenigstens teilweise als eine Hybridmikroschaltung
ausgebildet sind, wie nachstehend beschrieben werden wird, bewirkt das Vorhandensein der genannten
nichtlinearen Vorrichtung, dass das von dem Feldeffekttransistorvers
tärker empfangene Signal unter den meisten der genannten Bedingungen, unter denen bisher Sättigung
der Verstärkermittel auftrat, begrenzt wird.
Unter einer "niedrige Leckströme aufweisenden nichtlinearen Vorrichtung" ist hier zu verstehen, dass
der Sperrstrom bei einer Sperivorspannuigvon 0,5 V weniger
als 20 Pikoamperes sein muss und dass der dynamische Widerstand der Vorrichtung bei einer. Vorspannung gleich
Null grosser als 10 Sl ist. Der Erfindung liegt die Erkenntnis
zugrunde, dass bisher die Anordnung von Span— nuiigsbegrenzungsvorrichtungen über dem pyroelektrischen
Element nicht möglich war infolge der Tatsache, dass die Leckströme der genannten Vorrichtungen derart sind, dass
unzulässiges Rauschen erzeugt wird, oder anders gesagt, dass die begrenzende Impedanz der Vorrichtungen ungenügend
hoch ist, um Beschädigungen infolge des mit einer der-
8098U/07S7
- -& - PHB.32.576
3·^.1978
artigen Impedanz einhergehenden Rauschens zu vermeiden, aber beim Vorhandensein gewisser sehr niedrige Leckströme
aufweisender nichtlinearer Vorrichtungen, die nachstehend im Detail beschrieben werden und einen Innenwiderstand
von mehr als 10 Λ bei niedrigen Vorspannungspegeln aufweisen, ist das Problem des mit einem derartigen Widerstand
einhergehenden Rauschens nicht mehr vorherrschend und kann mit Rücksicht auf die Vorteile, die durch die
Verhinderung des Auftretens von Sättigung des Feldeffekttransistorverstarkers
erhalten werden, akzeptabel sein. Ausserdem erfordert die Anbringung einer sehr niedrige
Leckströme aufweisenden nichtlinearen Vorrichtung nicht mehr die Anbringung eines Gatterableitwiderstandes über
dem Element,wodurch bei der Herstellung gewisser Detektionsvorriclitungen
Kosten erspart werden können, wie nachstehend noch beschrieben werden wird.
In jetzt bevorzugten Ausführungsformen der Anordnung
sind zwei besonders niedrige Leckströme aufweisende Diodenelemente in der genannten Schaltung, die die
Gate-Elektrode des Feldeffekttransistorverstärkers und
das Detektorelement enthält, vorhanden, wobei diese Diodenelemente gegensinnig angeordnet sind und dabei zur
Begrenzung der Abweichung in der genannten einen Richtung sowie in der entgegengesetzten Richtung dienen. Ausserdem
werden vorzugsweise die genannten zwei Diodenelemente durch parallelgeschaltete pn-Dioden gebildet. Bei einer
Abwandlung werden jedoch die genannten zwei Diodenelemente durch in Reihe geschaltete Schottky-Diodenelemente
809844/0767
- ψ - PUB.32.576
3.4.1978
gebildet.
Auch ist es möglich, zwei Schottky-Dioden zu verwenden, die gegensinnig parallel geschaltet sind.
Andere Möglichkeiten für die besonders niedrige Leckströme aufweisende nichtlineare Vorrichtung umfassen
die Anwendung einer oder mehrerer in der Sperrichtung geschalteter Dioden oder einer oder mehrerer Dioden, die
durch Grenzschichtfeldeffekttransistorstrukturen gebildet
werden, deren Source- und Drainelektroden miteinander verbunden sind.
Selbstverständlich ist es möglich, bei Anwendung
besonders niedrige Leckströme aufweisender pn-Dioden die Dioden gegensinnig in Reihe anzuordnen. Es sei aber
bemerkt, dass bei in Reihe angeordneten Dioden der Signalbegrenzungseffekt
gegebenenfalls nicht vorherrschend ist, wenn die Sperrdurchsc-hlagspannung hoch ist.
Bei Anwendung zweier Diodenelemente ist es nicht für alle Zwecke wesentlich, dass die einzelnen
Diodenelemente identische Eigenschaften aufweisen. So ist es in gewissen Fällen möglich, verschiedene Typen
von Diodenelementen in dem Elementepaar zu verwenden.
Die Ausgestaltungen der erfindungsgemässen
Anordnung können eine Strahlungsdetektorvorrichtung bilden die eine Umhüllung, ein Element aus pyroelektrischein
Material, das derart in der Umhüllung angeordnet ist, dass es die zu detektierende Strahlung empfangen kann,
wobei dieses Element eine erste und eine zweite Elektrode aufweist, ein Grenzschichtfeldeffekttransistorelement,
809844/0787
PHB. 32. 576 3.h.1978
das sich in der Umhüllung befindet und dessen Gate-Elektrode mit der ersten Elektrode des Elements aus pyroelektrischem
Material verbunden ist, und mindestens eine besonders niedrige Leckströme aufweisende nichtlineare
Vorrichtung enthält, die innerhalb der Umhüllung liegt und elektrisch zwischen der genannten ersten Elektrode
und einer sich von der Umhüllung her erstreckenden Anschlussklemme
eingeschaltet ist, wobei die Source- und die Drainelektrode des Feldeffekttransistors mit Anschlussklemmen
verbunden sind, die sich von der Umhüllung her erstrecken, während die zweite Elektrode des Elements
aus pyroelektrischem Material mit einer Anschlussklemme
verbunden ist, die sich von der Umhüllung her erstreckt. Eine derartige Detektorvorrichtung, die in
einigen nachstehend zu beschreibenden Ausführungsformen drei Anschlussklemmen und in einigen anderen auch nachstehend
zu beschreibenden Ausführungsformen vier Anschlussklemmen
enthält und als eine Hybridmikroschaltung ausgebildet sein kann, ist besonders vorteilhaft, nicht nur
in bezug auf die Schaltungskonfiguration, sondern auch
in bezug auf die Struktur. Insbesondere dadurch, dass das Feldeffekttransistorelement und die besonders niedrige
Leckströme aufweisende nichtlineare Vorrichtung in derselben Umhüllung wie das pyroelektrisch^ Element
untergebracht werden, können sich gegebenenfalls für den Gebraucher ergebende Probleme in bezug auf Impedanzanpassung
und Anpassung der Eigenschaften des Feldeffekttransistors
an die Eigenschaften des pyroelektrischen
809844/0767
PHB.32.576
3-4.1978
Elements vermieden werden. Ausserdem werden, wenn die
Elemente in einer gemeinsamen Umhüllung untergebracht werden, Probleme in bezug auf elektrische Störung herabgesetzt
.
Einige Ausführungsformen der Erfindung sind
in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 ein Schaltbild einer Schaltungsanordnung nach der Erfindung,
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer Detektorvorrichtung der in der Schaltungsanordnung nach
Fig. 1 dargestellten Form,
Fig. 3 ein Schaltbild einer anderen Schaltungsanordnung
nach der Erfindung,
Fig. k ein Schaltbild einer weiteren Ausgestaltung
der Schaltungsanordnung nach der Erfindung,
Fig. 5 ein Schaltbild einer weiteren Schaltungsanordnung
nach der Erfindung, und Fig. 6 ein Schaltbild einer anderen Schaltungsanordnung nach der Erfindung.
Das Schaltbild nach Fig. 1 ist ein Schaltbild einer Vorrichtung, die ein Detektorelement 1 aus pyroelektrischem
Material, im vorliegenden Falle aus PLMZT (Bleizirkonat-titanat, das mit Lanthan und Mangan dotiert
ist) enthält, das als ein Kondensator dargestellt ist. Für Einzelheiten in bezug auf die Zusammensetzung des
pyroele.k trischen Materials sei auf die
DE-OS 25 12 401 der Anmelderin verwiesen.
rinne- %- η
PHB.32.576 3.4.1978
über den Elektrodenanschlüssen
des Elements 1 sind zwei besonders niedrige Leckströme aufweisende Diodenelemente 2 und 3 angeordnet. Diese
Dioden sind gegensinnig angeordnet und werden in der vorliegenden Ausführungsform durch nichteingekapselte
pn-Diodenscheiben gebildet; sie sind die normalerweise verwendeten Piko-amperedioden vom Typ Mullard BAV 45>
wobei die genannten Scheiben in derselben Umhüllung wie das Element 1 untergebracht sind. Im Rahmen der Erfindung
liegt jedoch auch eine derartige Schaltungsanordnung, in der die Diodenelemente durch käuflich erhältliche eingekapselte
Dioden, z.B. vom Typ Mullard BAV 45 oder von den Typen Siliconix DPAD 1, DPAD 2 oder DPAD 5, gebildet werden,
die entweder innerhalb oder ausserhalb der Umhüllung
liegen, in der sich das pyroelektrisch^ Element befindet.
Eine Elektrode des Elements 1 ist mit der Gate-Elektrode eines Grenzscliichtf eldeff ekttraiisistors
(JFET) 4 verbunden. In dieser Ausführungsform weist das
JFET-Element 4 die Form einer nichteingekapselten Scheibe
von einem normalen Typ aus der Serie von Technical Instruments BF 8OO-8O5 auf und liegt auch in derselben
,Umhüllung wie das Element 1. Im Rahmen der Erfindung
liegt jedoch auch eine derartige Schaltungsanordnung, in der das JFET-Element durch einen käuflich erhältlichen
eingekapselten Grenzschichtfeldeffekttransistor gebildet
wird, der entweder innerhalb oder ausserhalb der das pyroelektrisch^ Element enthaltenden Umhüllung an-
8098U/0787
- Vt - . PHB.32.576
3.4.1978
geordnet ist.
In der vorliegenden Ausfuhrungsform sind das
pyroelektrische Element 1, die Diodenelemente 2 und 3 und das JFET-Element 4 als eine Hybridmikroschaltung in
einer gemeinsamen Umhüllung mit drei in Fig. 1 mit 6, 7 und 8 bezeichneten Anschlussklemmen angeordnet, wobei
die Anschlussklemmen 6 und 7 an der Drain bzw. der Source
des JFET-Elements liegen und die Anschlussklemme 8 an
der zweiten Elektrode des pyroelektrischen Elements 1 liegt.
Beim Betrieb bildet in einer vollständigen
Schaltungsanordnung der Grenzschichtfeldeffekttransistor
den.Eingang von Verstärkermitteln, in denen die hohe Impedanz auf der Eingangsseite in eine üblicherweise
niedrige Ausgangsimpedanz umgewandelt wird.
Durch das Vorhandensein der Dioden 2 und 3 wird das Eingangssignal an der Gate-Elektrode des JFET-Elements
beschränkt, wenn die Eingangs strahlung, für die das Detektorelement empfindlich ist, derart ist,
dass eine sehr schnelle Temperaturänderung des Elements oder eine gleichmässige- langsame Temperatüranderung auftritt
und dadurch die Sättigung der Verstärkermittel verhindert wird. Mit den besonderen beschriebenen Diodenelementen
werden die Spannungsabweichungen des Elements auf nahezu _+ 0,3 V um den konstanten ¥ert beschränkt. Im
Falle verhältnismässig langsamer gleichmässiger Temperaturänderungen. zeB. Äenderungen in der Nähe von 1°C/min
oder grosser, wirkt, trotz der Tatsache, dass diese
809844/0767
PHB.32-576 3.4.1978
Aenderungen in erheblichem Masse zu dem Rauschen infolge der Dioden beitragen, der Detektor noch derart, dass die
Verstärkermittel nicht gesättigt sind, wie beim Fehlen der Dioden der Fall wäre.
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht einer durch das Schaltbild nach Fig. 1 dargestellten Detektorvorrichtungt
Die Vorrichtung enthält eine Umhüllung mit einem mit drei Leitungen versehenen Träger 21 mit einer
allgemein in der Halbleitertechnik angewandten T0-5~Konfiguration,
wobei eine Leitung 22 mit dem metallenen Hauptteil des Trägers verbunden ist und sich die Leitungen
23 und 2k als Stifte durch den genannten Metallteil erstrecken und gegen diesen Teil dux'ch Metall-Glas-Abdichtungen
isoliert sind. Der Metallteil des Trägers ist vergoldet und an der oberen Fläche 25 befindet sich
ein U-förmiges Untersatzelement 26 mit einer Dicke von nahezu 1 mm aus einem keramischen Material und mit einer
vergoldeten Oberfläche. Das Untersatzelement 26 bildet eine Abstützung für einen pyrοelektrischen Kristall aus
PLMZT mit einer Dicke von nahezu 35 /um und mit Hauptflächen
von nahezu 3>5 mm χ 3»5 mm. Auf der unteren
Fläche des Elements 27 liegt eine Elektrode aus Nichrom, die einen elektrischen Kontakt mit dem Goldüberzug auf
dem Untersatzelement 26 und dadurch schliesslich mit der Leitung 22 bildet. Auf der oberen Fläche des Elements 27
liegt eine Elektrode 28 aus Nichrom mit einem im allgemeinen rechteckigen Teil von 2,0 mm χ 2,0 mm und einem
kleinen rechteckigen Teil 29 von 0,4 mm χ 0,6 mm, der
80984A/07B7
- T3 - - PHB.32.576
3·4.1978
sich an einer Ecke erstreckt. Auf der Oberfläche des
Teiles 29 der Elektrode 28 ist mittels eines leitenden
Epoxydharzes eine JFET-Scheibe 30 befestigt. In der
Scheibe 30 bildet das Substrat einen Teil der Gate-Elektrode und an der oberen Fläche befinden sich Source-, Drain und Gate-Elektrodenanschlussfahnen. Die Source- und Drain-Anschlüsse sind über Verbunddrahtkörper 32 und 33 aus Gold mit einem Durchmesser· von 25 /um mit den oberen Flächen der Stifte verbunden, die an den Enden der Leitungen 23 und 24 gebildet sind. Der Gate-Anschluss ist
mit einem ähnlichen Verbunddrahtkörper 34 an eine Seite eines Diodenelements angeschlossen, wie nachstehend beschrieben werden wird.
Teiles 29 der Elektrode 28 ist mittels eines leitenden
Epoxydharzes eine JFET-Scheibe 30 befestigt. In der
Scheibe 30 bildet das Substrat einen Teil der Gate-Elektrode und an der oberen Fläche befinden sich Source-, Drain und Gate-Elektrodenanschlussfahnen. Die Source- und Drain-Anschlüsse sind über Verbunddrahtkörper 32 und 33 aus Gold mit einem Durchmesser· von 25 /um mit den oberen Flächen der Stifte verbunden, die an den Enden der Leitungen 23 und 24 gebildet sind. Der Gate-Anschluss ist
mit einem ähnlichen Verbunddrahtkörper 34 an eine Seite eines Diodenelements angeschlossen, wie nachstehend beschrieben werden wird.
Neben dem Untersatzelement 26 liegen zwei keramische Abstützungen 37 und 38 von 1 mm χ 1 mm mit einer
Dicke von 0,3 mm, die mittels eines Epoxydharzes an der Oberfläche 25 des Trägers 21 befestigt sind. Die oberen
Flächen der Abstützungen 37 und 38 sind mit Gold metallisiert.
Diodenscheiben 39 und 4θ sind mit Hilfe von SiI-berepoxydschichten
an den metallisierten Oberflächen der Abstützungen 36 bzw. 37 befestigt. Von diesen Diodenscheiben,
die vom normalen Typ Mullard BAV 45 sind, befinden sich die Hauptelektroden auf gegenüberliegenden
Oberflächen. Weitere Verbunddrahtkörper 43 und 44 verbinden die Dioden miteinander in einer umgekehrten parallelen Konfiguration. Ein weiterer Draht 45 liegt zwischen der metallisierten Oberfläche auf der Abstützung 38 und der Oberflache 25 des Metallträgers. In der Praxis wird die
Oberflächen. Weitere Verbunddrahtkörper 43 und 44 verbinden die Dioden miteinander in einer umgekehrten parallelen Konfiguration. Ein weiterer Draht 45 liegt zwischen der metallisierten Oberfläche auf der Abstützung 38 und der Oberflache 25 des Metallträgers. In der Praxis wird die
909844/0787
PHB.32.576 3.^.1978
Vorrichtung mit einer Metallbuchse vervollständigt, die mit dem Rand des Trägers verschweisst ist und einen Fensterteil
aufweist, durch den Strahlung durchgelassen werden kann, die in einem gewünschten Wellenlängenbereich
detektiert werden und auf die obere Fläche des PLMZT-Elements 27 einfallen soll.
Bekannte Detektoren mit einem pyroelektrischen Element, einem JFET und einem 3 x 10 Jl Gatterableitwiderstand
erfahren eine Sättigung des Verstärkers bei Temperaturänderungsgeschwindigkeiten von nur 0,1°C/min,
während es sich mit einem Detektor der an Hand der Fig. beschriebenen Form nicht als möglich erwiesen hat, Sättigung
des Verstärkers mit Temperaturänderungsgesciiwindigkeiten
von 3°C/min und höher zu induzieren.
Fig. 3 zeigt eine Schaltungsanordnung nach der Erfindung mit einem pyroelektrischen Element 31>
Diodenelementen 32 und 33 j einem Feldeffekttransistorverstärker
3k und Widerständen R1 und R . In dieser
Schaltung können die Elemente 31» 32 und 33 zusammen
mit einem einen Teil der schematisch dargestellten Verstärkermittel 3k bildenden JFET-Element durch eine Vorrichtung
der oben an Hand der Figuren 1 und 2 beschriebenen Form gebildet werden. Auch können gesonderte Teile
verwendet werden, wobei z.B. die Elemente 31> 32 und 33
den Elementen 1, 2 und 3 der Fig. 1 in bezug auf ihre Eigenschaften nahezu entsprechen.
In der Schaltungsanordnung nach Fig. k entsprechen ein pyroelektrisches Element 51>
Diodenelemente
8098U/07B7
- >9 - - PHB.32.576
3-4.1978
52 und 53 und ein JFET-Element genau den in der Detektorvorrichtung
nach Fig. 2 vorhandenen Elementen. Der Anschluss der Schaltung ist jedoch sofern verschieden,
dass die eingekapselte Vorrichtung mit den genannten Elementen nun vier Klemmen 56-59 aufweist. Die Klemmen
56, 57 und 58 entsprechen den Klemmen 6, 7 bzw. 8 in
Fig. 1 und den Leitungen 2k, 23 bzw. 22 in Fig. 2. Die vierte Klemme ^ ist an eine Seite der Dioden 52 und 53
angeschlossen und die Verbindungen innerhalb der Detektorvorrichtung mit den Elementen 51-54 sind in geeigneter
Weise in bezug auf diejenigen nach Fig. 2 abgeändert.
Ausserdem ist ein Kondensator 55 zu den Dioden
parallelgeschaltet. Bei dieser Anordnung können die Dioden ■ und der Kondensator, der in einigen Ausführungsformen
weggelassen werden kann, in eine Rückkopplungsleitung zwischen der Ausgangsseite' einer Verstärkungsstufe und
dem pyroelektrischen Element aufgenommen werden. Eine Schaltungsanordnung, die eine derartige Detektorvorrichtung
der in Fig. 4 dargestellten Art enthalten kann, ist in Fig. 5 dargestellt. In dieser· Schaltungsanordnung
bildet das JFET-Element einen Teil der schematisch dargestellten
Verstärkermittel 64.
Der Kondensator 55 wird, wenn er in einer Vorrichtung nach Fig. 4 und/oder in einer Schaltungsanordnung
nach Fig. 5 vorhanden ist, zur Einstellung der Verstärkung des Gebildes von JFET-Vorverstärker und Detektor
in Vereinigung mit R. und R (Fig. 5) verwendet. In dieser Anordnung wild die Spannung über dem Element 51
809844/0787
PHB.32.576 3*^.1978
auf O V gehalten. Dies kann den Vorteil aufweisen, dass
das Rauschen des Elements herabgesetzt wird.
Der Gleichspannungspegel am Ausgang ist dem ■ Logarithmus des Modulus der Temperatüränderungsgeschwindigkeit,
die detektiert werden soll, proportional. Bei einer Abwandlung ist, wenn der Kondensator ^^>
durch einen Widerstand hohen Wertes ersetzt ist, die Ausgangswechselspannung
unabhängig von der Frequenz bis zu der Abfallfrequenz, die durch die Rückkopplungsteile bestimmt wird.
Bei der Ausführungsforra nach Fig. 6 enthält die
Strahlungsdetektorvorrichtung ein pyroelektrisch.es Element 71» zwei in Reihe geschaltete Schottky-Diodenelemente
7-2 und 73 und ein JFET-Element 7'l . Die Vorrichtung
weist nur drei Klemmen J6, 77 und 78 auf und ist in Form
einer Hybridmikrοschaltung ähnlich der Vorrichtung nach
Fig. 2 ausgeführt. Die Schottky-Diodenelemente 72 und
73 sind mit den Rückseiten gegeneinander über dem Element 71 in Reihe geschaltet.
Durch die Anwendung in Reihe geschalteter Schottky-Dioden statt parallelgeschalteter pn-Dioden
* wird ein grösserer Wirkungsbereich von Spannungen erhalten,
die von dem pyroelektrischen Element abgeleitet werden, bevor der Strom begrenzt- wird, wobei die Schottky-Dioden
derartige Eigenschaften aufweisen, dass s.ie einem Widerstand konstanten Wertes ähnlich sind, im Gegensatz
zu einem Widerstand, der sich logarithmisch ändert. Auf - diese Weise wird ein hoher Linear!tatsgrad bis zu dem
Punkt erhalten, an dem die Dioden auf einem hohen Pegel
8096U/07B7
ORIGINAL INSPECTED
- 1N? - PHB.32.576
3.4.1978
leitend werden. Ausserdem tritt keine wesentliche Zunahme des Rauschens infolge der niedrigen Leitfähigkeit der
Schottky-Dioden auf, bis die Dioden auf dem genannten hohen Pegel anfangen, leitend zu werden.
8098U/07B7
L e e r s e i t e
Claims (6)
1. Schaltungsanordnung mit einem Strahlungsdetektorelement
aus pyroelektrischem Material, und mit Feldeffekttransistorverstärkermittel,
die mit dem Detektorelement verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungsanordnung mindestens eine besonders niedrige
Leckströme aufweisende nichtlineare Vorrichtung (2, 3) enthält, die in der Schaltung angeordnet ist, die die
Gate-Elektrode (g) der Feldeffekttransistorverstärkermittel
(Οι S, Ό) und das Detektorelement (i) enthält,
wobei die genannte nichtlineare Vorrichtung dazu dient, die Abweichung in einer Richtung des Eingangssignals der
Feldeffekttransistorverstärkerraittel zu begrenzen und dadurch
die Sättigung bei grossen Einschaltspitzen in der Eingangsstrahlung oder bei gleichmässig zunehmenden geringen
Aenderungen in der Eingangsstrahlung zu verhindern.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass zwei dieser nichtlinearen Vorrichtungen in Form besonders niedrige Leckströme aufweisender
Dioden (2, 3) in der genannten Schaltung vorhanden sind,
die die Gate-Elektrode der Feldeffekttransistorverstär-·
kermittel und das Detektorelement enthält, wobei die genannten
Diodenelemente gegensinnig angeordnet sind und dadurch zur Begrenzung der Abweichung in der einen Richtung
sowie in der entgegengesetzten Richtung dienen.
3· Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, dass die genajnnten zwei Diodenelemente
durch parallelgeschaltete pn-Diodenelemente (2, 3) ge-
8098U/0767
PHB.32.576
3.
4.1978
bildet werden.
k. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten zwei Diodenelemente
durch in Reihe geschaltete Schottky—Diodenelemente (72,
73) gebildet werden.
5· Schaltungsanordnung nach Anspruch 3>
dadurch gekennzeichnet, dass die Diodenelemente parallel über den Elektrodenarischlüssen des Detektorelements (i) angeordnet
sind, wobei eine der genannten Elektroden unmittelbar mit der Gate-Elektrode (g) der Feldeffekttransistorverstärkermittel
(G, S, D) verbunden ist.
6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 5j dadurch
gekennzeichnet, dass die parallelgeschalteten Diodenelemente (52, 53) in einer Rückkopplungsleitung (R1, R„ )
zwischen der Ausgangsseite (59) einer Verstärkuiigsstufe
(6k) und dem Detektorelement (i) angeordnet sind, wobei
die genannte Verstärkungsstufe die Feldef fekttrarisistorverstärkermittel
(G, S, D) an ihrer Eingangsseite enthält.
7· Strahlungsdetektorvorrichtung enthaltend eine Schaltungsvorrichtung nach Anspruch 5>
wobei in einer Umhüllung, ein Element aus pyroelektrischem Material, das derart in der Umhüllung angeordnet ist, dass es die zu
detektierende Strahlung empfängt, wobei dieses Element
eine erste und eine zweite Elektrode aufweist und ein Grenzschichtf elclef f ekttransis torelement, dessen Gate-Elektrode
mit der ersten Elektrode des Elements aus pyroelektrischem Material- verbunden ist, angeordnet sind,
809844/0767
PHB.32.576
3.4.1978
wobei die Source- und die Drainelektrode des Feldeffekttransistors
mit sich von der Umhüllung her erstreckenden Anschlussklemmen verbunden sind und die zweite Elektrode
des Elements aus pyroelektrischem Material mit einer sich von der_Umhüllung her erstreckenden Anschlussklemme
verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass sich die erste Elektrode (28) auf einer Oberfläche des Elements
(27) aus pyroelektrischem Material erstreckt und das Transistorelement die Form einer Scheibe (30) aufweist,
die auf einem Teil (29) der genannten ersten Elektrode
(28) montiert ist, wobei das Substrat der Scheibe eine Gate-Elektrode des Transistors bildet und die Diodenelemente
(39 > ^O) als gesonderte Scheiben auf mindestens
einem Trägerkörper (37» 38) innerhalb dei- Umhüllung (21,
25) vorhanden sind.
809844/076?
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB16110/77A GB1580403A (en) | 1977-04-19 | 1977-04-19 | Pyroelectric detector circuits and devices |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2816580A1 true DE2816580A1 (de) | 1978-11-02 |
DE2816580C2 DE2816580C2 (de) | 1986-07-17 |
Family
ID=10071376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2816580A Expired DE2816580C2 (de) | 1977-04-19 | 1978-04-17 | Schaltungsanordnung mit einem kapazitiven Strahlungsdetektorelement |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4198564A (de) |
JP (1) | JPS53130083A (de) |
AU (1) | AU517776B2 (de) |
CA (1) | CA1114066A (de) |
DE (1) | DE2816580C2 (de) |
FR (1) | FR2388262A1 (de) |
GB (1) | GB1580403A (de) |
IT (1) | IT1094148B (de) |
SE (1) | SE432155B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0218011A1 (de) * | 1985-08-09 | 1987-04-15 | RICHARD HIRSCHMANN GMBH & CO. | Schaltungsanordnung für einen Infrarot-Raumüberwachungs-Detektor |
DE3637222A1 (de) * | 1985-11-11 | 1987-05-14 | Minolta Camera Kk | Pyroelektrischer waermesensor |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2046431B (en) * | 1979-04-12 | 1983-06-15 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric detector protection circuit |
US4379970A (en) * | 1980-09-29 | 1983-04-12 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Pyroelectric detector arrays |
GB2102200B (en) * | 1981-07-17 | 1985-05-30 | Philips Electronic Associated | Infra-red radiation detector |
JPS58156232U (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-19 | 株式会社村田製作所 | 焦電形電磁波検出器 |
GB2125214B (en) * | 1982-07-23 | 1985-10-02 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric infra-red radiation detector |
GB2150747B (en) * | 1983-12-02 | 1987-04-23 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric infra-red radiation detector |
DE3478496D1 (en) * | 1983-12-09 | 1989-07-06 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | An infrared sensor |
GB2170952B (en) * | 1985-02-08 | 1988-11-16 | Philips Electronic Associated | Infra-red radiation detector devices |
GB2174224B (en) * | 1985-04-15 | 1988-07-13 | Philips Electronic Associated | Infra-red intruder detection system |
GB2197753B (en) * | 1986-11-12 | 1990-01-24 | Philips Electronic Associated | Infrared radiation detection device |
DE8714248U1 (de) * | 1987-10-26 | 1989-02-23 | Heimann Optoelectronics Gmbh, 65199 Wiesbaden | Infrarotdetektor |
US4868390A (en) * | 1988-02-16 | 1989-09-19 | Eltec Instruments, Inc. | Pyroelectric sensor with high sensitivity |
GB2217442B (en) * | 1988-04-22 | 1992-04-15 | Philips Electronic Associated | Temperature compensated thermal radiation detectors |
GB2219655B (en) * | 1988-06-07 | 1992-09-09 | Philips Electronic Associated | Thermal radiation detection apparatus |
DE8808815U1 (de) * | 1988-06-23 | 1988-09-15 | Heimann Optoelectronics Gmbh, 65199 Wiesbaden | Infrarotdetektor |
US6340816B1 (en) * | 1998-02-27 | 2002-01-22 | Honeywell International, Inc. | Pyroelectric detector with feedback amplifier for enhanced low frequency response |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1906201A1 (de) * | 1968-02-10 | 1969-08-21 | Ricoh Kk | Belichtungsanzeigevorrichtung |
US3539803A (en) * | 1967-12-21 | 1970-11-10 | Barnes Eng Co | Pyroelectric detector assembly |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3839640A (en) * | 1973-06-20 | 1974-10-01 | J Rossin | Differential pyroelectric sensor |
GB1504283A (en) * | 1974-03-25 | 1978-03-15 | Mullard Ltd | Pyroelectric detector devices |
JPS556177B2 (de) * | 1974-12-19 | 1980-02-14 | ||
US4024560A (en) * | 1975-09-04 | 1977-05-17 | Westinghouse Electric Corporation | Pyroelectric-field effect electromagnetic radiation detector |
US4078179A (en) * | 1976-07-30 | 1978-03-07 | Telatemp Corporation | Movable instrument with light emitting position indicator |
US4068811A (en) * | 1977-04-28 | 1978-01-17 | General Electric Company | Hotbox detector |
JPS5620490A (en) * | 1979-07-28 | 1981-02-26 | Brother Ind Ltd | Sewing machine |
-
1977
- 1977-04-19 GB GB16110/77A patent/GB1580403A/en not_active Expired
-
1978
- 1978-04-12 US US05/895,704 patent/US4198564A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-04-14 CA CA301,144A patent/CA1114066A/en not_active Expired
- 1978-04-14 IT IT2233278A patent/IT1094148B/it active
- 1978-04-17 SE SE7804285A patent/SE432155B/sv not_active IP Right Cessation
- 1978-04-17 DE DE2816580A patent/DE2816580C2/de not_active Expired
- 1978-04-17 AU AU35162/78A patent/AU517776B2/en not_active Expired
- 1978-04-17 JP JP4432878A patent/JPS53130083A/ja active Granted
- 1978-04-18 FR FR7811323A patent/FR2388262A1/fr active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3539803A (en) * | 1967-12-21 | 1970-11-10 | Barnes Eng Co | Pyroelectric detector assembly |
DE1906201A1 (de) * | 1968-02-10 | 1969-08-21 | Ricoh Kk | Belichtungsanzeigevorrichtung |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0218011A1 (de) * | 1985-08-09 | 1987-04-15 | RICHARD HIRSCHMANN GMBH & CO. | Schaltungsanordnung für einen Infrarot-Raumüberwachungs-Detektor |
US4795905A (en) * | 1985-08-09 | 1989-01-03 | Richard Hirschmann Radiotechnisches Werk | Circuit layout for an infrared room surveillance detector |
DE3637222A1 (de) * | 1985-11-11 | 1987-05-14 | Minolta Camera Kk | Pyroelektrischer waermesensor |
US4741626A (en) * | 1985-11-11 | 1988-05-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Pyroelectric thermal sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1094148B (it) | 1985-07-26 |
IT7822332A0 (it) | 1978-04-14 |
FR2388262B1 (de) | 1980-06-13 |
GB1580403A (en) | 1980-12-03 |
CA1114066A (en) | 1981-12-08 |
US4198564A (en) | 1980-04-15 |
JPS6215816B2 (de) | 1987-04-09 |
SE7804285L (sv) | 1978-10-20 |
SE432155B (sv) | 1984-03-19 |
FR2388262A1 (fr) | 1978-11-17 |
AU3516278A (en) | 1979-10-25 |
DE2816580C2 (de) | 1986-07-17 |
AU517776B2 (en) | 1981-08-27 |
JPS53130083A (en) | 1978-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2816580A1 (de) | Pyroelektrische detektorschaltungsanordnung und -vorrichtung | |
EP0129736B1 (de) | Sensor mit polykristallinen Silicium-Widerständen | |
DE69738435T2 (de) | Magnetischer stromsensor | |
DE10154498B4 (de) | Hallsondensystem und Verfahren zum Herstellen eines Hallsondensystems sowie Verfahren zum Steuern einer Hallspannung | |
DE3517590C2 (de) | ||
DE102011007271B4 (de) | Feldeffekttransistor mit variablem Gate | |
DE1814376A1 (de) | Pyroelektrischer Detektor | |
EP0096190A1 (de) | Magnetfeldsensor | |
DE2905002C2 (de) | Differenzverstärker mit zwei über eine gemeinsame Stromquelle miteinander gekoppelten Isolierschicht-Feldeffekttransistoren | |
DE19649176A1 (de) | Gerät zum Schutz vor elektrischer Überbeanspruchung | |
DE2027909A1 (de) | Halbleiterverformungsmeßvorrichtung mit steuerbarer Empfindlichkei | |
DE10066032A1 (de) | Schaltungsanordnung zur Steuerung der Verstärkung einer Verstärkerschaltung | |
DE60032232T2 (de) | FET-Transistor mit Leistungsdetektor | |
DE2729150A1 (de) | Wandler | |
DE19652046C2 (de) | Verfahren zur Ermittlung der Temperatur eines Halbleiter-Chips | |
DE19754462B4 (de) | Halbleitervorrichtungen | |
DE2837728C2 (de) | ||
DE1905025A1 (de) | Temperaturkompensierte Vergleichsschaltung | |
EP3752809A1 (de) | Anordnung für einen halbleiterbasierten drucksensorchip und drucksensorchip | |
CH660267A5 (de) | Ladungsverstaerkerschaltung. | |
DE68909621T2 (de) | Ladungsverstärkerschaltung mit Junction-Feldeffekttransistor. | |
EP0313931A1 (de) | Schaltungsanordnung für einen Infrarotdektor | |
DE3432561A1 (de) | Transistor-praezisionsstromquelle mit differenzeingang | |
DE69214621T2 (de) | Vorrichtung zur Umwandlung eines sehr kleinen Gleichspannungssignals in ein Wechselspannungssignal | |
DE3485910T2 (de) | Halbleiteranordnung mit variabler impedanz. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: PODDIG, D., DIPL.-ING., PAT.-ASS., 2000 HAMBURG |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |