DE2846500C2 - Steuerungsverfahren für eine bewegliche Energiequelle beim Erhitzen der Oberfläche eines Objekts und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Steuerungsverfahren für eine bewegliche Energiequelle beim Erhitzen der Oberfläche eines Objekts und Einrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Steuerungsverfahren für eine bewegliche Energiequelle beim Erhitzen der
Oberfläche eines Objekts durch Temperaturmessung entlang einer Abtastbahn auf der Oberfläche des Objekts
und durch Änderung der Bewegungsgeschwindigkeit und der Leistung der beweglichen Energiequelle auf einer
vorgegebenen Bewegungsbahn entsprechend der Differenz einer vorgegebenen und gemessenen Temperatur
der Oberfläche des Objekts und auf eine Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens, die zwei Steuerein-
heiten für die Bewegung der Energiequelle in den Koordinaten des Orthogonalsystems, eine Steuereinheit für ,
die Leistung der Energiequelle, einen Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts, dessen Ausgang mit
einem Eingang einer Vergleichseinheit für die vorgegebene und gemessene Temperatur verbunden ist, deren
anderer Eingang an den Ausgang des Temperaturgebers für die Heizfläche des Objekts gekoppelt ist, eine
Schalteinheit für Abweichungssignale und eine mit dem Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts
verbundene Abtasteinheit enthält.
Aus der US-PS 33 70 151 sind ein Verfahren und eine Einrichtung dieser Art bekannt, bei denen die Bewegung
des die Temperaturmessung vornehmenden Abtastpyrometers synchron mit der Bewegung der Energiequelle
erfolgt Auch bei der Regelung der Elektronenstrahlerhitzung eines Ofens nach dem SU-Erfinderschein 41 88 36
vollziehen sich die Bewegungen des Elektronenstrahls und die Temperaturmessung auf der Objektoberfläche ,
entlang ein und derselben Bahn, wobei das Signal, das der Differenz einer vorgegebenen und gemessenen
Temperatur entspricht, die Bewegung der Energiequelle steuert.
Bei schneller Bewegung der Energiequelle, beispielsweise eines Elektronenstrahls ist dann eine ebenso schnelle
Bewegung des Temperaturgebers entlang der gleichen Bahn erforderlich und die als Temperaturgeber
verwendeten Pyrometer müßten entsprechend trägheitsarm reagieren, was bei den industriell verwendeten
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Steuerungsverfahren für eine bewegliche Energiequelle beim
Erhitzen der Oberfläche eines Objekts und eine Einrichtung zu dessen Durchführung anzugeben, die eine
Bewegung der Energiequelle entlang einer anderen gewünschten Bahn auf der Oberfläche des Objekts vorzunehmen
ermöglicht, als der, auf der die Abtastung der Temperaturverteilung zur Korrektur der Bewegungsgeschwindigkeit
der Energiequelle erfolgt.
Dies wird bei einem Verfahren der eingangs erwähnten Gattung erreicht durch die im Kennzeichen des
Anspruchs 1 aufgeführten Merkmale.
Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Ansprüchen 2 bis 4 gekennzeichnet
[
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Steuerungsverfahrens dient vorteilhaft eine Einrichtung, die zwei
Steuereinheiten für die Bewegung der Energiequelle in den Koordinaten des Orthogonalsystems, eine Steuereinheit
für die Leistung der Energiequelle, einen Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts, dessen
Ausgang mit einem Eingang einer Vergleichseinheit für die vorgegebene und gemessene Temperatur verbunden
ist, deren anderer Eingang an den Ausgang des Temperaturgebers für die Heizfläche des Objekts gekoppelt ist,
eine Schalteinheit für Abweichungssignale und eine mit dem Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts
verbundene Abtasteinrichtung enthält und sich dadurch auszeichnet, daß sie eine Speichereinheit für Abweichungssignale,
deren Eingänge an die Ausgänge der Schalteinheit für Abweichungssignale angeschlossen sind, j
deren Informationseingang an den Ausgang der Vergleichseinheit für die vorgegebene und gemessene Temperatur
und deren Steuereingang an die Abtasteinheit angekoppelt sind, eine an den Ausgang der Speichereinheit
für Abweichungssignale und an den Eingang der Steuereinheit für die Leistung der Energiequelle angeschlossene
Fprmungseinheit für ein dem Korrektionswert der Bewegungsgeschwindigkeit und der Leistung der Energie- ,
quelle entsprechendes Signal, eine mit der Formungseinheit für ein dem Korrektionswert der Bewegungsgeschwindigkeit
der Energiequelle entsprechendes Signal verbundene Speichereinheit für dem Korrektionswert
der Bewegungsgeschwindigkeit der Energiequelle entsprechendes Signal und einen Wandler zur Wandlung von S-
. 65 dem Korrektionswert der Bewegungsgeschwindigkeit der Energiequelle entsprechenden Signalen in den Korn- «t
ponenten der Bewegung der Energiequelle im Orthogonalsystem entsprechende Signale aufweist, wobei die $
Eingänge des Wandlers mit den Ausgängen der Speichereinheit für ein dem Korrektionswert der Bewegungsge- ϊ
schwindigkeit der Energiequelle entsprechendes Signal und seine Ausgänge an die zwei Steuereinheiten für die
Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher
erläutert. In den Zeichnungen zeigt
F i g. 2 das Prinzip der Funktionstransformation eines Signals bei einer Approximation der Bewegungsbahn
der Energiequelle durch gerade Strecken,
F i g. 3 das Prinzip der Funktionstransformation eines Signals bei einer Approximation der Bewegungsbahn
der Energiequelle durch Kreisbögen,
F i g. 4 elektrische Signale, mit deren Hilfe die Bewegungsgeschwindigkeit und die Leistung der Energiequelle to
geändert werden,
F i g. 6 die Blockschaltung des Funktionalwandlers bei einer Approximation der Bewegungsbahn der Energiequelle
durch gerade Strecken,
F i g. 7 die Blockschaltung des Funktionalwandlers bei einer Approximation der Bewegungsbahn der Energiequelle
durch Kreisbogen,
F i g. 8 die Blockschaltung der Steuereinrichtung für die bewegliche Energiequelle mit deren Leistungssteuerung
mit Hilfe des Mittelwertes eines einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur entsprechenden
Signals,
F i g. 10 die Prinzipschaltung des Funktionalwandlers bei einer Approximation der Bewegungsbahn der Energiequelle
durch gerade Strecken.
Zur Steuerung der Geschwindigkeit v,,.., r„..., v„ auf jedem Abschnitt 2i,.., 2».., 2„ wird die Bahn 3 (F i g. 2)
beim Erwärmen der Oberfläche 1 stückweise durch eine lineare gebrochene Kurve approximiert. Zu diesem
Zweck ist die vorgegebene Kurve 3 durch Punkte Ao, A\,..., An, in gerade Strecken 6 eingeteilt. Die Kurven 7,8
stellen Komponenten des Bewegungsgesetzes der Energiequelle 4 (F i g. I) in Richtung der Orthogonalachsen X
und Y in Funktion der Zeit f dar. Der Vektor v, bezeichnet die Bewegungsgeschwindigkeit der Energiequelle 4
(F i g. 1) auf der Strecke 6, der Bahn 3, während v,x und Vjy (F i g. 2) Komponenten der Bewegungsgeschwindigkeit
Vi auf dieser Strecke 6, (F i g. 1) in Achsrichtung X, Ysind, Av, bedeutet einen Korrektionswert der Geschwindig- \
keit Vi währ end Avn und A,y Korrektionswerte der Komponenten v„ und v,y der Geschwindigkeit v, in Achsrichtungen
X, Kauf der Strecke 6,(F i g. t) bedeuten.
Die vorgegebene Bahn 3 (F i g. 3) kann aber auch in Abschnitte durch Punkte B0, Bu.., Bn, eingeteilt werden,
wobei w — die Anzahl der Abschnitte, deren jeder durch einen Kreisbogen mit dem jeweiligen Radius A0,..., Ä»
... Rm-i approximiert wird, Xo und VO Koordinate des Anfangspunktes Bo der Bahn 3 und Vo ein Vektor einer
Tangenten an die Bahn 3 in deren Anfangspunkt B0 und Bn, Endpunkt der Bahn 3 ist Der Krümmungswert λ·, der
Bahn 3 ist ein Reziprokwert des Radius /7, der Bögen der approximierenden gekrümmten Linie.
In F i g. 4 sind elektrische Signale, mit deren Hilfe die Leistung und die Bewegungsgeschwindigkeit v, (F i g. 1)
der Energiequelle 4 geändert werden, wie folgt bezeichnet:
AU ein einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur der Heizfläche 1 (F i g. I) des Objekts
entsprechendes kontinuierliches Signal;
Qi einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur auf jedem der η Elementarabschnitte
entsprechende Abweichungssignale;
LZ2 ein einem Korrektionswert Avt (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, auf jedem Abschnitt 2(,... 2».., 2„ entsprechendes
Signal:
£Λ ein einer Summe der Signale Lh und LZ3 entsprechendes Steuersignal;
/ die Länge der Abtastbahn 5 (F ig. 1);
5 ein durch die Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der Heizfläche 1 des Objekts zurückgelegter Weg, d. h. die Länge
der BaIm 3;
Us ein dem durch die Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der vorgegebenen Bahn 3 zurückgelegten Weg 5 entsprechendes
Signal;
Ui ein dem Drehwinkel φ des Vektors der Geschwindigkeit v, (Fig.3) in Bezug auf den Vektor 90 einer
Tangenten an die Bahn 3 in deren Anfangspunkt Ba entsprechendes Signal;
Ux, Uydm Komponenten 7, 8 (Fig.2) des Bewegungsgesetzes der Energiequelle 1 (Fig. 1) entsprechende
Signale;
wiedergegeben.
Die Steuereinrichtung für die bewegliche Energiequelle 4 (F i g. 5) enthält einen Temperaturgeber 9 für die
Heizfläche 1 des Objekts, der an einen Eingang 10 einer Vergleichseinheit 11 für die vorgegebene und gemessene
Temperatur angeschlossen ist, an deren Eingang 12 ein Temperatureinsteller 13 für die Heizfläche 1 des
Objekts angekoppelt ist Der Ausgang der Vergleichseinheit 11 ist mit dem Informationseingang 14 einer
Schalteinheit 15 für Abweichungssignale Q1 (F i g. 4) verbunden. Der Steuereingang 16 (F i g. 5) der Schalteinheit
15 ist mit einer Abtasteinheit 17 gekoppelt, die optisch mit dem Temperaturgeber 9 verbunden ist Die Ausgänge
der Schalteinheit 15 sind mit den Eingängen einer Speichereinheit 18 für Abweichungssignale Q, (Fig.4)
verbunden, deren Ausgänge mit den Eingängen einer Formungscinheit 19 für dem Korrektionswert z/v, (F i g. 2)
der Bewegungsgeschwindigkeit v, und der Leistung der Energiequelle 4 entsprechende Signale Ui (Fig.4)
ίο gekoppelt. Ein Ausgang 20 der Formungseinheit 19 ist mit dem Eingang einer Steuereinheit 21 für die Leistung
der Energiequelle 4 verbunden, während die Ausgänge 22 mit einer Speichereinheit 23 für dem Korrektionswert
Avj (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, der Energiequelle 4 entsprechende Signale Ui (F i g. 4) gekoppelt
sind. Die Ausgänge 24 (F i g. 5) der Speichereinheit 23 sind mit den Eingängen eines Wandlers 25 zur Wandlung
von dem Korrektionswert Av1- (Fig. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v,der Energiequelle 4 (Fig. 1) entsprechende
Signalen Ui (Fig.4) in Komponenten 7, 8 (Fig.2) des Bewegungsgesetzes der Energiequelle 4 im
Orthogonalsystem X, Yentsprechende Signale Uy. Ux (F i g. 4) verbunden. Die Ausgänge 26 und 27 (F i g. 5) des
Wandlers 25 sind mit Steuereinheiten 28 bzw. 29 für die Bewegung der Energiequelle 4 im Orthogonalsystem X.
Y(F i g. 2) gekoppelt.
Falls die vorgegebene Bahn 3 (F i g. 2) durch gerade Strecken 6 approximiert ist, ist der Wandler 25 (F i g. 6)
nach folgender Schaltung ausgeführt. Ein Geber 30 für den Komponenten v,;», viy (Fig. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit
v, der Energiequelle 4(Fig. 1) im Orthogonalsystem X, Yentsprechende Signale ist mit seinem
Ausgang 31 (F i g. 6) an eine Mehrkanalschaltvorrichtung 32 für ein der Komponente n, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der Orthogonalachse X entsprechendes Signal angeschlossen.
Der Ausgang 33 (F i g. 6) des Gebers 30 ist an eine Mehrkanalschaltvorrichtung 34 für ein der Komponente v„
(F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit k, der Energiequelle 4 auf der Orthogonalachse Y entsprechendes
Signal angeschlossen. Der Eingang einer Trennvorrichtung 35 (F i g. 6) zur Trennung eines dem Korrektionswert
Av-,(Fig.2)der Bewegungsgeschwindigkeit v,der Energiequelle4(Fig. 1)entsprechenden Signal Ui(Fig.4)in
zwei Signale, deren jedes dem Korrektionswert Jv1, bzw. Av,y (F i g. 2) der Komponente v„ bzw. viy der Bewegungsgeschwindigkeit
v, in Richtung einer der Orthogonalachse X oder Y entspricht, stellt den Eingang des
Wandlers 25 (F i g. 6) dar und ist an den Ausgang 24 der Speichereinheit 23 angeschlossen. Der Ausgang 36 der
Trennvorrichtung 35 ist an einen Mehrkanalschalter 37 für ein dem Korrektionswert Av1x (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeitskomponente
v,x der Energiequelle 4 (F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachse Xentsprechendes
Signal angeschlossen. Der Ausgang 38 der Trennvorrichtung 35 ist an eine Mehrkanalschaltvorrichtung
39 für ein dem Korrektionswert v,y (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeitskomponenle v,y der Energiequelle 4
(F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachse Yentsprechendes Signal angekoppelt. Die Ausgänge der Mehrkanalschaltvorrichtungen
32 und 37 (Fig.6) sind jeweils an die Eingänge 40 und 41 eines Addierers 42 und die
Ausgänge der Mehrkanalschaltvorrichtung 34 und 39 an die Eingänge 43 und 44 eines Addierers 45 angeschlossen.
Die Ausgänge der Addierer 42 und 45 sind mit den Eingängen von Integratoren 46 bzw. 47 gekoppelt Die
Ausgänge der Integratoren 46,47 stellen die Ausgänge des Wandlers 25 dar und sind an die Steuereinheiten 27,
28 und zugleich an Schwellcneinrichtungcn 48,49 angeschaltet. Die Ausgänge der Schwelleneinrichtungen 48,49
sind an die Eingänge 50, 51 einer Synchronisiervorrichtung 52 für den Komponenten v„ und v,y (F i g. 2) der
Geschwindigkeit v, und den Korrektionswerten Av,, und Aiy der Geschwindigkeit v. in Richtung der Orthogonalachsen
X und Ventsprechende Signale angeschlossen. Der Ausgang der Synchronisiervorrichtung 52 (F i g. 6) ist
gleichzeitig mit den Steuereingängen der Mehrkanalschaltvorrichtungen 32,34,37,39 gekoppelt.
Falls die vorgegebene Bahn 3 (F i g. 3) durch Kreisbögen approximiert wird, ist der Wandler 25 (F i g. 7) nach
folgender Schaltung ausgeführt Ein Geber 53 für die Bewegungsgeschwindigkeil v,(F i g. 2) der Energiequelle 4
(F i g. 1) ist mit einer Gruppe von Eingängen 54 (F i g. 7) einer Einheit 55 von Addierern verbunden, deren andere
Gruppe von Eingängen 56 als Eingänge des Wandlers 25 auftritt Die Ausgänge der Einheit 55 der Addierer sind
mit den Informationseingängen 57 einer Schalteinheit 58 für Steuersignale ίΛ (F i g. 4) verbunden. Der Ausgang
der Schalteinheit 58 (Fig.7) ist mit dem Informationseingang 59 eines Integrators 60 verbunden, an dessen
Steuereingang 61 eine Schwelleneinrichtung 62 gekoppelt ist, deren Eingang mit dem Ausgang 63 des Integrators
60 verbunden ist Ein Wandler 64 von einem einem auf der Bahn 3 (Fig. i) zurückgelegten Weg
entsprechenden Signal Us (F i g. 4) in ein dem Verlauf der Bahn 3 (F i g. 1) entsprechendes Signal U6 (F i g. 4) ist
mit dem Ausgang 63 (F i g. 7) des Integrators 60 verbunden. Der Ausgang des Wandlers 64 ist an einen Eingang
65 einer Multiplikationseinheit 66 angeschlossen, deren Eingang 67 an den Ausgang der Schalteinheit 58 für
Steuersignale U* (F i g. 4) und deren Ausgang mit dem Eingang eines Integrators 68 (F i g. 7) gekoppelt ist
Der Wandler 25 enthält einen Formerkanal 69 für ein der Komponente 8 (F i g. 2) der Bewegung der Energiequelle
4 (F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachse X entsprechendes Signal Ux (F i g. 4), der eine Reihenschaltung
von einem Kosinusumformer 70, einer Multiplikationseinheit 71 und einem Integrator 72 aufweist Der
Kosinusumformer 70 ist an einen Eingang 73 der Multiplikationseinheit 71 angeschlossen, deren Eingang 74 mit
dem Ausgang der Schalteinheit 58 verbunden ist Der Ausgang des Integrators 72 tritt als Ausgang 26 des
Wandlers 25 auf und ist an die Steuereinheit 28 für die Bewegung der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der Orthogonalachse
X angeschlossen.
einen Eingang 79 der Multiplikationseinheit 77 angeschlossen, deren Eingang 80 an die Schalteinheit 58 für
Steuersignale (Λ (F i g. 4) gekoppelt ist. Die Eingänge des Sinus- und des Kosinusumformers 76 bzw. 70 (Fi g. 7)
sind zusammen- und an dort Ausgang des Integrators 68 ungeschälte!. Der Ausgang des Integrators 78 stellt den
Ausgang 27 des Wandlers 25 dar und ist un die Steuereinheit 29 für die Bewegung der Energiequelle 4(Fig. I)
entlang der Orthogonalachse Y angeschlossen. Außerdem sind die Ausgänge der Integratoren 72, 78 an die
Steuereingänge 81 und 82 der Schalteinheit 58 angekoppelt.
Bei einer periodischen Bewegung der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der Oberfläche 1 des Objekts enthält die
Einrichtung eine Formungseinheit 83 für ein gemitteltes Signal <?(F i g. 4), deren Eingang an die Speichereinheit
18 (F i g. 8) für Abweichungssignale Q, (F i g. 4) angeschlossen ist. Der Ausgang der Formungseinheit 83 (F i g. 8)
für ein gemitteltes Signal Q (F i g. 4) ist an die Steuereinheit 21 (F i g. 8) für die Leistung der Energiequelle 4 und
an einen Eingang 84 (F i g. 8) einer Formungseinheit 85 für ein einer Differenz des Abweichungssignals Qi und
des gemittelten Signals Q entsprechendes Signal AQ (F i g. 4) angeschlossen, deren Eingang 86 (F i g. 8) mit der
Speichereinheit 18 für Abweichungssignale Q1 (Fig.4) verbunden ist. Der Ausgang der Formungseinheit 85
(F i g. 8) ist an die Formungseinheit 19 für dem Korrektionswert Jv, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v,
und der Leistung der Energiequelle 4 (F i g. t) entsprechende Signale Ui (F i g. 4) angeschlossen.
Die Prinzipschaltung der Steuereinrichtung für die bewegliche Energiequelle 4 ist in F i g. 9 dargestellt.
Der Temperaturgeber 9 stellt ein optisch-elektronisches Helligkeits- oder Farbpyrometer dar. Mit dem
Temperaturgeber 9 ist optisch ein in Form einer Weiler-Drehtrommel ausgeführtes optisch-mechanisches
Abtastzusatzgerät 87 der Abtasteinheit 17 gekoppelt. Am Umfang eines jeden Trommelspiegels sind magnetische
Ansätze 88 montiert, die bei der Rotation der Trommel den Schlitz des Magnetleiters eines Synchronisierimpulsgebers
89 passieren. Die Wicklung 90 des Synchronisierimpulsgebers 89 ist mit einem der Beläge eines
Kondensators 91 verbunden, dessen zweiter Belag mit einem Anschluß eines Widerstandes 92 und mit einer
Diode 93 gekoppelt ist. Das zweite Ende der Wicklung 90 und der andere Anschluß des Widerstandes 92 sind mit
einer Nullschiene verbunden. Die Kathode der Diode 93 ist an den R-Eingang eines Flip-Flops 94 gekoppelt,
dessen Ausgang mit einem der Eingänge eines logischen UND-Gliedes95 verbunden ist,dessen anderer Eingang
mit dem Ausgang eines Taktimpulsgenerators 96 gekoppelt ist. Der Ausgang des logischen UND-Gliedes 95 ist
mit dem Eingang eines Impulszählers 97 verbunden, dessen Ausgänge an die Eingänge eines Dechiffrators 98
und eines logischen UND-Gliedes 99 angeschlossen sind, dessen Ausgang mit dem S-Eingang des Flip-Flops 94
gekoppelt ist. Die Ausgänge 100t, .., 100,, ..., 100„ des Dechiffrators 98 sind an den Steuereingang 16 der
Schalteinheit 15 angeschlossen.
Der Temperatureinsteller 13 ist aus einem Potentiometer 101 aufgebaut, dessen einer Anschluß an eine
Spannungsquelle und dessen anderer an die Nullschiene gekoppelt ist. Der Schleifer 102 des Potentiometers 101
ist an den Eingang 12 der Vergleichseinheit 11 angeschlossen, als welcher der nicht invertierende Eingang eines
Operationsverstärkers 103 fungiert. Im Rückkopplungskreis über den als Eingang 10 der Vergleichseinheit 11
wirkenden invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 103 liegt ein Widerstand 104. Der invertierende
Eingang des Operationsverstärkers 103 ist an den Ausgang des Temperaturgebers 9 und der Ausgang des
Operationsverstärkers 103 ist an den Informationseingang 14 der Schalteinhcit 15 angeschlossen. Der Informationseingang
14 der Schalteinheit 15 ist zugleich an Kontakte 105i,..., 105,,..., 105„ von Zweistellungsschaltern
angeschlossen, deren Steuerelemente IO61,.., 106» ... 106„ an die entsprechenden Ausgänge 10Oi 100/,...,
10On des Dechiffrators 98 angekoppelt sind. Die Kontakte 107i 107„..., 107„ stellen einen mehrkanaligen
Informationsausgang der Schalteinheit 15 dar und sind jeweils an die einen Anschlüsse von Speicherzellen der
Speichereinheit 18 bildenden Speicherkondensatoren IO81,.., 108»..., 108„ gekoppelt. Die anderen Anschlüsse
der Speicherkondensatoren IO81, 108i ..., 108„ sind an unbewegliche Kontakte 109i, ..., 109» ..., 109„ von
der Speichereinheit 18 dienen und an den Eingang der Formungseinheit 83 für ein gemitteltes Signal Q(F i g. 4)
gekoppelt sind. Diese Einheit 83 (F i g. 9) ist in Form eines Operationsverstärkers 110 mit einem Übertragungsmaß
I/n (n-Anzahl der Elementarabschnitte 2 (Fig. 1) ausgeführt. Der nicht invertierende Eingang eines Verstärkers
111 (Fig.9) ist an die Nullschiene und dessen invertierender Eingang über Widerstände 112i,..„ 112»
.., 112„ und die Kontakte 109i,.., 109,,.., 109„ und 110i,..., 110*..., 110„ an die entsprechenden Zellen der
Speichereinheit 18, d. h. an die Kondensatoren IO81,.., 108».., 1Oen, gelegt. Der invertierende Eingang des
Operationsverstärkers 111 ist mit dessen Ausgang über einen Parallelkreis aus einem Widerstand 113 und einem
Kondensator 114 gekoppelt.
Der Ausgang der Formungseinheit 83 ist über einen Widerstand 115 mit dem Eingang der Steuereinheit 21 für
die Leistung der Energiequelle 4, beispielsweise eines auf die Heizfläche 1 des Objekts gerichteter! Elektronenstrahls,
verbunden. Die Steuereinheit 21 besteht aus einem Operationsverstärker 116 mit einer mit Hilfe eines
Widerstandes 117 bewirkten Rückkopplung des invertierenden Einganges. Der invertierende Eingang des
Operationsverstärkers 116 ist mit dem Schleifer 118 eines mit einem Anschluß an die Nullschiene und mit dem
anderen an den Minuspol der Spannungsquelle gelegten Potentiometers 119 verbunden. Der Ausgang des
Operationsverstärkers 116 ist über einen Leistungsverstärker 120 an einen Heizstromkreis 121 der Kathode
einer Elektronenkanone angeschlossen.
Die Zellen der Speichereinheit 18 — Speicherkondensatoren IO81,.., 108».., 108„ — sind über die Kontakte
109i,.., 109».., 109« und 1 lOi,.., 110».., HOn der Schalter von Widerständen 123i...., 123»..., 123„ und eine ω
Verzögerungseinheit 124 an den invertierenden Eingang eines über diesen Eingang mit Hilfe eines Widerstandes
126 rückgekoppelten Operationsverstärkers 125 angeschlossen. Der als Eingang 84 der Formungseinheit
wirkende nicht invertierende Eingang des Operationsverstärkers 125 ist an den Widerstand 115 angekoppelt
Die Formungseinheit 19 stellt einen Proportionalwandler dar, der aus zwei Widerständen 127,128 und einem
Operationsverstärker 129 ausgeführt ist, dessen invertierender Eingang mit einen Anschlüssen der Widerstände
127,128 und dessen nicht invertierender Eingang mit der Nullschiene verbunden sind Der andere Anschluß des
Widerstandes 127 ist an den Ausgang der Formungseinheit 85 und der andere Anschluß des Widerstandes 128 an
den als Ausgang der Formungseinheit 19 fungierenden und an den Eingang der Speichereinheit 23 eeleeten
Die Speichereinheit 23 ist aus Speicherkondensatoren 130t..., 13Oj... 13On, aufgebaut, deren eine Anschlüsse
über die Kontakte von Schaltern 1311,.., 131»..., 131ro an den Ausgang des Operationsverstärkers 129 gekop- 'f.
pelt sind. Die zweiten Anschlüsse der Kondensatoren 130i,... 130»... 130ro sind über die Kontakte von Schaltern ί
132],.. „ 132».., 132m und Widerstände 133,,..., 133»... 133«, an den invertierenden Eingang eines über diesen ίί
invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 134 sind über Widerstände 135i..., 136» .., 136m und |i
deren Anschlüsse mit der Nullschiene und der Speiscquelle verbunden sind. Die Steuerelemente der Schalter |
137i,.., 137».., 137m sind an die Ausgänge 139i,..., 139» .., 139ra eines Dechiffrators 140 angeschlossen. Die f
die an die Steuereinheiten 28 bzw. 29 für die Bewegung der Energiequelle 4 angeschlossen sind. |
(F i g. 7). Der Ausgang des Operationsverstärkers 134 (F i g. 9) stellt den Ausgang der Schalteinheit 58 (F i g. 7) ^
dar und ist über einen Widerstand 143 an den Eingang 59 des aus einem über den invertierenden Eingang mit J-
Integrators 60 angeschlossen. Der invertierende Eingang des Operationsverstärkers 144 tritt als Eingang 59 des
Integrators 60 auf. Der nicht invertierende Eingang des Verstärkers 144 ist mit der Nullschiene verbunden. Der
Ausgang 63 des Integrators 60 ist an die Schwelleneinrichtung 62 angeschlossen.
Die Schwelleneinrichtung 62 ist aus einem Operationsverstärker 147 aufgebaut, dessen invertierender Eingang
an den Ausgang 63 des Integrators 60 und dessen nicht invertierender Eingang an ein Potentiometer 148
angeschlossen sind. Das Potentiometer 148 ist mit seinen Anschlüssen an die Nullschiene und an die Speisequelle
gelegt. Über den nicht invertierenden Eingang ist der Operationsverstärker 147 durch einen Widerstand 149
rückgekoppelt Der als Ausgang der Schwelleneinrichtung 62 dienende Au. gang des Operationsverstärkers 147
ist an das Steuerelement eines als Eingang 61 des Integrators 60 wirkenden Schalters 146 angeschlossen.
Der Ausgang 63 des Integrators 60 ist auch an den Eingang Wandlers 64 gekoppelt.
Der Ausgang des Wandlers 64 ist mit einem Eingang 65 der Multiplikationseinheit 66 verbunden, deren
anderer Eingang 67 mit dem Ausgang der Schalteinheit 58 (F i g. 7) gekoppelt ist Als Multiplikationseinheit 66
(F i g. 9) kann eine integrierte Mikroschaltung eines Multipliziergeräts ausgenutzt werden.
Der Ausgang der Multiplikationseinheit 66 ist über einen Widerstand 150 an den Eingang des auf der Basis
eines mit dem nicht invertierenden Eingang an die Nullschiene und mit dem invertierenden Eingang über den
Kondensator 152 an den eigenen Ausgang gekoppelten Operationsverstärkers 151 ausgeführten Integrators 68
angeschlossen. Der invertierende Eingang des Verstärkers 151 tritt als Eingang des Integrators 68 auf.
Der Ausgang des Integrators 68 ist gleichzeitig an die zwei Kanäle 69 und 75 angeschlossen. Jeder der Kanäle
69 und 75 enthält je einen Integrator 72 bzw. 78 und eine Multiplikationseinheit 71 bzw. 77, die in ähnlicher
Schaltung ausgeführt sind.
Der Kanal 69 weist zusätzlich den Kosinusumformer 70 und der Kanal 75 den Sinusumformer 76 auf. Die
Ausgänge des Sinus- und des Kosinusumformer 76 bzw. 70 sind zusammen- und an den Ausgang des Operationsverstärkers
151 angeschaltet, während ihre Ausgänge an die Eingänge 79 und 73 der Multiplikationseinheiten 77
bzw. 71 angeschlossen sind. Die Ausgänge der Multiplikationscinheiten 71 und 77 sind über Widerstände 153 und
154, Integratoren 72 und 78 sowie Leistungsverstärker 155,156 für Abweichungssignale an die Steuereinheiten
28 bzw. 29 für die Bewegung der Energiequelle 4 angeschlossen.
Der Sinus- und der Kosinusumformer 76 bzw. 70 können aus einem Sinus- bzw. Kosinuspotentiometer oder
aus Diodenmatrizen aufgebaut sein.
Die Ausführung der Multiplikationseinheiten 71 und 77 ist analog der Realisierung der Multiplikationseinheit
66.
Die Integratoren 72 und 78 sind auf der Basis von über den invertierenden Eingang durch Kondensatoren 159
bzw. 160 rückgekoppelten Operationsverstärkern 157 und 158 ausgeführt. Die nicht invertierenden Eingänge
der Operationsverstärker 157,158 sind an die Nullschiene und die invertierenden Eingänge an Widerstände 153
bzw. 154 angeschlossen.
In F i g. 10 ist eine Prinzipschaltung des Wandlers 25 aufgeführt, dessen Blockschaltung in F i g. 6 dargestellt
ist. Der Wandler 25 enthält einen Geber 30 (F i g. 10) für den Komponenten vix, viy(F i g. 2) der Geschwindigkeit
Vj entsprechende Signale, der aus an die Spannungsquellen parallel geschalteten ohmschen Spannungsteilern
161,,..., 161».., 161m(Fi g. 10) und 162 162»..., 162,,, aufgebaut ist.
Die Trennvorrichtung 35 enthält paarweise parallel gekoppelte und durch Verbindungspunkte 165|,..., 165»
..., 165m an die Ausgänge 24 der Speichereinheit 23 und durch einen Punkt 166 an die Nullschiene geschaltete
ohmsche Spannungsteiler 163, 163»... 163m und 164, 164».... 164m.
Die Mehrkanalschaltvorrichtungen 32 und 37 sind aus Feldeffekttransistoren 167,,..., 167».., 167m und 168,,
..., 168».., 168m aufgebaut, wobei deren Gates zusammen- und an eine Spannungsquelle angeschaltet sind. Die
Widerstände 169 bzw. 170 angeschlossen. Ihre als Informationseingänge der Schalter 32 und 37 auftretende
Drains sind an die Schleifer der Spannungsteiler 1611 161»..., 161m des Gebers 30 bzw. an die der Spannungsteiler
163i,..., 163/,..., 163,,, der Trennvorrichtung 35 angeschlossen. Die Mehrkanalschaltvorrichtungen 34 und
39 sind in ähnlichen Schaltungen ausgeführt, wobei die Informationseingänge der Schaltvorrichtung 34 an die
39 an die Schleifer der Spannungsteiler 164 164»..., 164m der Trennvorrichtung 35 angeschlossen sind.
Die Widerstände 169 und 170 sind über einen Verbindungspunkt 171 an den invertierenden Eingang eines
Operationsverstärkers 172 angeschlossen, in dessen Rückkopplungskreis ein Kondensator 173 liegt. Der Aus-
gang des Operationsverstärkers 172 ist an den Eingang der Steuereinheit 28 für die Bewegung der Energiequelle
4 (Fig. 1) und an die nicht invertierenden Einginge von Operationsverstärkern 174|,... 174» ..„ 174m angeschlossen,
aus denen die Schwelleneinrichtung 48 aufgebaut ist Die invertierenden Eingange der Operationsverstärker
174i..., 174».., 174m sind an die Schleifer ohmscher, zur Speisequelle parallel geschalteter Spannungsteiler
175i,.. μ 175».., 175TO angeschlossen.
Die Synchronisiervorrichtung 52 enthalt ein aus D-Flip-Flops 176),.., 176».., 176m aufgebauten Verschiebungsregister,
Schaltungen zur Formung eines Impulssignals durch die Flanke des Ausgangssignals der Schwelleneinrichtung
48, die mit Invertoren 177t..., 177».., 177„» Widerständen 178|,.., 178».., 178,,» Kondensatoren
179],..., 179» .., 179m und logischen Gliedern 180|,..., 180» ..., 180m ausgeführt sind, deren Ausgänge an ein
logisches UND-Glied 181 angeschlossen sind.
Darüber hinaus weist die Synchronisiervorrichtung 52 eine aus einem Inverter 182, einem Widerstand 183,
einem Kondensator 184, einem logischen UND-Glied 185 und einem Umschalter 186 aufgebaute Schaltung zur
Einstellung des Anfangszustandes des Verschiebungsregisters.
Die invertierenden Ausgänge der Flip-Flops 176,, ..„ 176».., 176OT sind an die Tore der entsprechenden
Transistoren 167),.., 167».., 167m und 168(,..., 168»..., 168m der Mehrkanalschaltvorrichtungen 32 und 34 sowie
an die Transistoren der Schaltvorrichtungen 34,39 angeschlossen. Ein Anschluß eines jeden der Widerstände
178i,.., 178»..„ 178m ist an den Ausgang des jeweiligen Inverters 177!, -., 177» ..„ 177m und deren anderer
Anschluß an einen der Eingänge des entsprechenden logischen Gliedes 180,,.., 180».., 18On, und an einen
Anschluß des entsprechenden Kondensators 179,,.., 179».., 179„, gekoppelt, deren anderer Anschluß an die
Nullschiene geschaltet ist Der zweite Eingang eines jeden logischen Gliedes I8O1,.., 180».., 18On, ist mit dem
Eingang des entsprechenden Inverters 177),..., 177»..„ 177m vereinigt und mit dem Ausgang des entsprechenden
Operationsverstärkers 174|,.., 174»..., 174m der Schwelleneinrichtung 48 gekoppelt. Der Ausgang des logischen
UND-Gliedes 181 ist an die C-Eingange sämtlicher D-Flip-Flops 176,, ..„ 176» .., 176m angeschlossen. Die
R-Eingänge der D-Flip-Flops 176},.... 176».., 176m sind zusammen- und an den Ausgang eines logischen
UND-Gliedes 185 und an den S-Eingang des D-Flip-Flops 176, angeschaltet. Die direkten Ausgänge eines jeden
der Flip-Flops 176t,..., 176».., 176m sind an die Steuereingänge des nachgeschalteten Flip-Flops 176s,.., 176m_,
angeschlossen, während der direkte Ausgang des Flip-Flops 176m mit dem Steuereingang des Flip-Flops 176,
gekoppelt ist
Der Widerstand 183 ist mit einem Anschluß an den Ausgang des Inverters 182, mit dem anderen Anschluß an
einen Eingang des logischen Gliedes 185 und an einen Anschluß des Kondensators 184 gekoppelt, dessen
anderer Anschluß an die Nullschiene geschaltet ist Der zweite Eingang des logischen Gliedes 185 ist mit dem
Eingang des Inverters 182 zusammen- und an den unbeweglichen Kontakt des Umschalters 186 gekoppelt, an
dessen einen beweglichen Kontakt die Spannungsquelle gelegt ist, während dessen anderer beweglicher Kontakt
an die Nuilschiene angeschaltet ist.
Auf der Heizfläche 1 (Fig. 1) des Objekts bewegt sich auf einer frei gewählten vorgegebenen Bahn 3 die
Energiequelle 4 mit der Geschwindigkeit vi,.., v..., v„ auf jedem Abschnitt 2·χ,.., 2».., 2η. Die Heizfläche 1 des
Objekts wird in Elementarabschnitte 2,,.., 2„..., 2„ eingeteilt. Für jeden Abschnitt 2, werden einer Differenz der
für jeden Abschnitt 2, vorgegebenen und gemessenen Temperatur entsprechende Abweichungssignale
<?, (F i g. 4) geformt und gespeichert. Die Temperatur kann auf den Abschnitten 2i...., 2».., 2„ (F i g. 1) entweder
gleichzeitig oder durch eine sukzessive Informationsaufnahme längs der Abtastbahn 5 gemessen werden. Ferner
werden auf die Abweichungssignale Qi (F i g. 4) ein dem Korrektionswert der Leistung der Energiequelle 4
(F i g. 1) entsprechendes Signal und den Korrektionswerten /Zv1(F i g. 2) der Geschwindigkeit v,der Energiequelle
4 auf den Abschnitten 2,(F i g. 1) entsprechende Signale Ui (F i g. 4) geformt. Dadurch werden die erhaltenen
Signale funktional in zwei den Komponenten 7, 8 (Fig.2) der Bewegung der Energiequelle 4 (Fig. 1) in
Richtung der Achsen X und Y entsprechende und die Bewegung der Energiequelle 4 entlang dieser Achsen
sichernde Signale Uy, Ux (F i g. 4) umgewandelt. Das Bewegungsgesetz in der Zeit ist derart, daß zum einen die
Bewegung der Energiequelle 4 entlang der vorgegebenen Bahn 3 und zum anderen eine Änderung der Bewegungsgeschwindigkeit
Vi der Energiequelle 4 auf jedem Abschnitt 2, in Übereinstimmung mit den den Korrektionswerten
Jvj (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, auf den gleichen Abschnitten 2, (Fig. 1) entsprechenden Signalen
Uj (F i g. 4) in der Weise gewährleistet sind, daß die Differenz der vorgegebenen und gemessenen Tempera- so
tür auf den Abschnitten 2, verringert wird.
Bewegt sich die Energiequelle 4 auf der Bahn 3 nicht stetig, sondern diskret, wobei sie sich für eine vorgegebene
Zeit in einem oder mehreren Punkten eines der Abschnitte 2, aufhält, oder auf jedem Abschnitt 2/ mit einer
variablen Geschwindigkeit verschiebt so wird unter der Geschwindigkeit v, auf dem Abschnitt 2/ die mittlere
Geschwindigkeit auf diesem Abschnitt 2» d. h. das Verhältnis
verstanden, wobei
at die gesamte Aufenthaltzeit der Energiequelle 4 auf dem Abschnitt 2, bezeichnet.
Die Funktionstransformation der den Korrektionswerten Jv,(F i g. 2) der Geschwindigkeit v, der Energiequel-Ie
4 auf dem Abschnitt 2, entsprechenden Signale LZ2 (F i g. 4) in die den Komponenten 7,8 (F i g. 2) der Bewegung
der Energiequelle 4 (F i g. 1) in Richtung der Achsen X und ^entsprechenden Signale Uy, U, (F i g. 4) erfolgt nach
zwei Verfahren.
Nach einem dieser Verfahren wird die vorgegebene Bahn 3 durch gerade Strecken 6 approximiert. Dann
werden Projektionen einer jeden Strecke 6 der approximierenden gebrochenen Linie auf die Orthogonalachsen
X und y ermittelt. Proportional zu den gefundenen Projektionen werden die Komponenten vh, v,>der Bewegungsgeschwindigkeit
Vi der Energiequelle 4 (F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachsen X.. Y (F i g. 2) für jede
Strecke 6, vorgegeben, wobei
v, die Bewegungsgeschwindigkeit der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der betreffenden Strecke 6, ist
Im Vorgang der Steuerung der Energiequelle 4 in Obereinstimmung mit einer Differenz der vorgegebenen
und gemessenen Temperatur wird die Bewegungsgeschwindigkeit v; der Energiequelle 4 auf die dem Korrektionswert
Δν, (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, entsprechenden Signale U2 (F i g. 4) geändert. Zu diesem Zweck
wird das dem Korrektionswert 4v, (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, entsprechende Signal U2 (F i g. 4) in zwei
Signale getrennt, deren jedes dem Korrektionswert Avit und Δν,, (Fig.2) der Komponente v* und v,y in der
Weise entspricht, daß die Summe der Quadrate der Korrektionswerte Δvix und Δνίγ jeder Komponente vix und viy
einem Quadrat des Korrektionswertes Jv,der Geschwindigkeit K,gleich ist, d. h.
Ανϊχ+Α viy Άν}, (3)
Darüber hinaus muß das Verhältnis der Korrektionswerte Δνίχ und Δνί} jeder Komponente vix und viy gleich
dem Verhältnis dieser Komponente -^ sein, was aus der Forderung folgt, den Verlauf der Bahn 3 bei der
"
'ty
Steuerung der Bewegungsgeschwindigkeit v, beizubehalten. Die den Komponenten vn, viy der Bewegungsgeschwindigkeit
v, entsprechenden Summensignale werden gefunden, indem die den Komponenten vix und v,j,der
Geschwindigkeit v, entsprechenden Signale und die den Korrektionswerten Δνίχ und Δνίγ dieser Komponenten
v/„ viy entsprechenden Signale addiert werden. Dann werden die v„ und v,y entsprechenden Summensignale
Μ integriert und Steuersignale für die Bewegung in Richtung der Onhogonalachsen X, Verhalten.
Das beschriebene Verfahren der Funktionstransformation gestattet es, eine geringfügig gekrümmte oder eine
stückweise lineare Bahn 3 mit ausreichender Genauigkeit zu reproduzieren. Falls die vorgegebene Bahn 3 eine
größere Krümmung aufweist, wird eine genauere Approximation folgendermaßen erhalten. Die Bewegungsbahn 3 (F ig. 3) der Energiequelle 4 wird durch Punkte B0, B, Bi...., Bn, in Abschnitte geteilt Jeder der
der Bahn 3 niii / - 0 ... m— i auf jedem der Abschnitte ist ein Reziprokwert des Radius /?, des Bogens der
approximierten gekrümmten Linie, i - 0 ... m. Auf solche Weise ergibt sich eine stückweise stetige Funktion
x(s), Oi s < Sder Krümmung der Bahn 3. Hierbei sind s die Bogenlänge der Bahn 3, die von deren Anfangspunkt
Sd gemessen wird, und 5 die Länge der gesamten Bahn 3 vom Anfangspunkt 5b bis zum Endpunkt B1n, d. h. ein
«o durch die Energiequelle 4 auf der Bahn 3 zurückgelegter Weg. Die Steuersignale ίΛ (Fig.4) werden durch
Summation der der Geschwindigkeit v, (F i g. 2) entsprechenden Signale U} und der dem Korrektionswert Δν,
(Fig. 2) auf dem Abschnitt 2/(F ig. I) entsprechenden Signale U2(F ig. 4) erhalten.
Die Steuersignale ίΛ (F i g. 4) werden in bestimmter Reihenfolge zeitlich derart geschaltet, daß das nach der
Kommutierung erhaltene Signal der erforderlichen Bewegungsgeschwindigkeit v, (F i g. 1) der Energiequelle 4
auf den Elementarabschnitten 2, entspricht. Im folgenden wird das der Bewegungsgeschwindigkeit v,(F i g. 1) der
Energiequelle 4 entsprechende Signal ίΛ (F i g. 4) integriert und ein dem durch die Energiequelle 4 (F i g. 1) auf
der vorgegebenen Bahn 3 zurückgelegten Weg 5 entsprechendes Signal U5 - JtS (F i g. 4) erhaltsn, wo k ein
konstanter Koeffizient ist. Dieses Signal LZ5 (Fig.4) entspricht dem Bewegungsgesetz der Energiequelle 4
(F i g. 1) entlang der Bahn.
so Muß die Energiequelle 4 die vorgegebene Bahn 3 mehrmals durchlaufen, so sind, nachdem sie den Endpunkt
Bm erreicht hat, zwei Fälle möglich: Entweder bewegt sie sich weiter in der umgekehrten Richtung vom Punkt Bn,
m.s ßo. ode·" s'e kehrt in den Anfangspunkt B0 zurück und beginnt mit ihrer Bewegung in der ursprünglichen
Richtung von B0 bis Bn+ Dann wird es im ersten Fall mit der Kommutierung der Steuersignale ίΛ (F i g. 4) in einer
Reihenfolge umgekehrt zur ursprünglichen begonnen, und das der Bewegungsgeschwindigkeit v,(Fig. 1) ent-
sprechende Signal U3 wird vor der Integration invertiert. Im zweiten Fall wird das dem auf der Bahn 3 (Fi g. 1)
zurückgelegten Weg 5 entsprechende Signal ίΛ (Fig.4) gleich Null eingestellt, und die Kommutierung der
Steuersignale ίΛ (F i g. 4) wird danach in der ursprünglichen Reihenfolge vorgenommen.
Die weiteren Umformungen des dem auf der vorgegebenen Bahn 3 (F i g. 1) zurückgelegten Weg S entsprechenden
Signals ίΛ erfolgen gemäß den aus den Beziehungen der Differentialgeometrie resultierenden Abhän-
gigkeiten. Es wird ein dem Verlauf der Bahn 3 (F i g. 1) entsprechendes Signal ίΛ (F i g. 4) geformt:
t/6-K^-KS. (4)
Ferner wird ein Signal Ui (F i g. 4) durch Integration des dem Verlauf der Bahn 3 entsprechenden, vorher mit
dem der Bewegungsgeschwindigkeit ^ (Fig. 1) der Energiequelle 4 entsprechenden Signal Uj multiplizierten
Signals U6 erhalten. Sodann werden gleichzeitig der Kosinus und der Sinus des erhaltenen Signals Ui (F i g. 4)
integriert, die vorher mit dem der Bewegungsgeschwindigkeit v, auf der Bahn 3 entsprechenden Signal Uj
multipliziert werden, wodurch die den Komponenten 7, 8 (Fig.4) der Bewegung der Quelle 4 (Fig. 1) im
Orthogonalsystem Λ; ^entsprechenden Signale t/.und U,:
Ux{t) - J cos ßfy · U1 ■ dt +
>iX0 - k Γ J cos f(t) Sdi + Jf0I,
Uy{t) - J »in {y^j Ui-dt + kYo-k rjsin,(OSdf + K0I,
ο no
erzeugt werden.
Ist die Bewegung der Energiequelle 4 (Fi g. 1) auf der Bahn 3 periodisch oder nahezu periodisch, wird die
Leistung der Energiequelle 4 proportional zum gemitteltcn, dem Mittelwert der Abweichungssignale Q1 entsprechenden
Signal Q (F i g. 4) geändert. Hierbei wird das dem Korrektionswert Avj der Bewegungsgeschwindigkeit
ν, der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf dem Elementarabschnitt 2, entsprechende Signal U2 auf einer Differenz AQi
des gemittelten Signals (?und des Abweichungssignals O/entsprechende Signale AQumgeformt.
Die Arbeit der Einrichtung zur Durchführung des Steuerungsverfahrens der beweglichen Energiequelle 4
(Fig. 5) beim Erhitzen vollzieht sich wie fo'gt.
Zu Beginn der Arbeit der Einrichtung sind die vom Ausgang der Speichereinheit 23 für dem Korrektionswert
Avj (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, entsprechende Signale kommenden Signale gleich Null. Der Wandler 25
(F i g. 5) erzeugt die den Komponenten 7,8 (F i g. 2) der Bewegung im Orthogonalsystem X, Yentsprechenden I
der Arbeit vom Ausgang 20 der Formungseinheit 19 am Eingang der Steuerungseinheit 21 für die Leistung an. 25 I
Die Signale Ux und U, (F i g. 4) gelangen auf die Eingänge der Steuerungseinheiten 28 und 29 (F i g. 5) für die
Bewegung der Energiequelle 4. Infolgedessen bewegt sich die eine vorgegebene Leistung besitzende Energiequelle
4 auf der vorgegebenen Bahn 3 auf der Heizfläche 1 des Objekts in Übereinstimmung mit dem vorgegebenen
Bewegungsgesetz. Auf den Elementarabschnitten 2, der Heizfläche 1 des Objekis wird die Temperatur durch
den Temperaturgeber 9 entweder gleichzeitig auf sämtlichen Abschnitten 2, oder durch eine sukzessive Temperaturmessung
entlang der Abtastbahn 5 gemessen. Das Ausgangssignal des Temperaturgebers 9 kommt am
Eingang 10 der Vergleichseinheit 11 an, an deren Eingang 12 ein Signal vom Ausgang des Einstellers 13 eintrifft.
Das Ausgangssignal — ein einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur entsprechendes
Abweichungssignal Qi(Fi g.4) der Vergleichseinheit 11 - gelangt auf den Eingang 14 der Schalteinheit 15. Am
Eingang 16 der Schalteinheit 15 trifft vom Ausgang der Abtasteinheit 17 ein eine Abtastung des Temperaturgebers
9 und eine Steuerung der Schalteinheit 15 sicherndes Signal ein. Jede Zelle der Speichereinheit 18 entspricht
einem bestimmten Abschnitt 2, der Heizfläche 1 des Objekts. Die Schalteinheit 15 nimmt die Umschaltung in der
Weise vor, daß in der Speichereinheit 18 einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur
entsprechende Signale in den Abschnitten 2, entsprechenden Zellen gespeichert werden. Die Signale gelangen
vom Ausgang der Speichereinheit 18 auf die Formungseinheit 19. Vom Ausgang 20 der Formungseinheit 19 trifft
am Eingang der Steuereinheit 21 für die Leistung ein dem Korrektionswert der Leistung der Energiequelle 4
entsprechendes Signal ein. Die Formungseinheit 19 erzeugt auch die den Korrektionswerten Jv, (Fig.2) der
Bewegungsgeschwindigkeit v, der Energiequelle 4 (F i g. 5) auf der Bahn 3 entsprechenden Signale U2 (F i g. 4).
Diese Signale gelangen vom Ausgang 22 in die Speichereinheit 23. Von der Speichereinheit 23 gelangen die den
Korrektionswerten Av, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, entsprechenden Signale U2 (F i g. 4) in den «
Wandler 25 (F i g. 5), an dessen Ausgang die den Komponenten 8,7(Fi g. 2) der Bewegung der Energiequelle 4
(Fi g. 1)in Richtung der Orthogonalachsen X, Yentsprechenden und für eine Korrektur des Bewegungsgesetzes
der Energiequelle 4 auf der Bahn 3 sorgenden Signale Ux, Uy(V i g. 4) erzeugt werden.
Falls die vorgegebene Bahn 3 (F i g. 2) durch gerade Strecken 6 approximiert wird, arbeitet der Wandler 25
(F i g. 6) wie folgt Das dem Korrektionswert Av1(F i g. 2)der Bewegungsgeschwindigkeit v, entsprechende Signal
U2 (F ig. 4) kommt vom Ausgang 24 (F i g. 6) der Speichereinheit 23 am Ringang der Trennvorrichtung 35 an, in
der es in zwei Signale getrennt wird. Das eine davon entspricht dem Korrektionswert Avix (F i g. 2) der Komponente
v„ der Geschwindigkeit v, in Richtung der Orthogonalachse X und gelangt vom Ausgang 36 (F i g. 6) der
Trennvorrichtung 35 auf die Informationseingänge der Mehrkanalschaltvorrichtung 37. Das andere entspricht
dem Korrektionswert Aviy (F ig. 2) der Komponente viy der Geschwindigkeit v, in Richtung der Orthogonalachse
V und gelangt vom Ausgang 38 (F i g. 6) der Trennvorrichtung 35 auf die Informationseingänge der Mehrkanalschaltvorrichtung
34. Gleichzeitig werden die den Komponenten vix, vt>
(F i g. 2) der Geschwindigkeit v, entsprechenden Signale von den Ausgängen 31 und 33 (F i g. 6) des Einstellers 30 auf die Informationseingänge der
entsprechenden Mehrkanalschaltvorrichtungen 32 und 34 gegeben. Die Synchronisation der Arbeit der Mehrkanalschaltvorrichtungen
32, 34, 37, 39 erfolgt entsprechend der sukzessiven Bewegung der Energiequelle 4
(F 1 g. 4) auf den Strecken 6 (F i g. 2) der Bahn 3 auf ein gleichzeitig auf die Steuereingänge sämtlicher MehrkanalschaltvorrichtUhgen
32, 34, 37,39 vom Ausgang der Synchronisiervorrichtungen 52 (F i g. 6) gegebenes Signal.
Die SchaltsigniUe werden von den Ausgängen der Mehrkanalschaltvorrichtungen 32 und 37 und demzufolge von
den Ausgängen der Mehrkanalschaltvorrichtungen 34 und 39 paarweise auf die Eingänge 40, 41 und 43,44 der
Addierer 42,45 gegeben, während die Summensignale auf die Eingänge der Integratoren 46,47 geliefert werden. b5
An den Ausgängen der Integratoren 46, 47 werden nach einem linearen Gesetz mit einer dem Signalwert an
deren Eingängen proportionalen Geschwindigkeit ansteigende Signale geformt. Die Ausgangssignale der Integratoren
46, 47 gelangen auf die Eingänge der Steuereinheiten 28, 29 für die Bewegung der Energiequelle 4
(F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachsen X, Y und zugleich auf die Eingänge der Schwelleneinrichtungen 48,
49, wo das Signal nach den Pegeln entsprechend der Aufteilung der Bahn 3 (F i g. 2) in die Strecken 6 quantisiert
wird. Die Ausgangssignale der Schwelleneinrichtungen 48,49 (F i g. 6) werden auf den Eingang der Synchronisiervorrichtung
52 gegeben, der die Arbeit der Mehrkanalschaltvorrichtungen 32,34,37 und 39 steuert.
Falls die vorgegebene Bewegungsbahn 3 (F i g. 3) der Energiequelle 4 (F i g. 1) durch Kreisbögen approximiert wird, geht die Arbeit des Wandlers 25 (F i g. 7) folgendermaßen vor sich. Das dem Korrektionswert Av, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, auf dem Elementarabschnitt 2, (Fig. I) entsprechende Signal U2 (Fig.4) gelangt auf die Gruppe der Eingänge 56 (F i g. 7) der einheit 55 von Addierern, an deren Gruppe der Eingänge 54 das der Geschwindigkeit v, (F i g. 2) entsprechende Ausgangssignal U3 (F i g. 4) des Gebers 53 (F i g. 7) eintrifft.
Falls die vorgegebene Bewegungsbahn 3 (F i g. 3) der Energiequelle 4 (F i g. 1) durch Kreisbögen approximiert wird, geht die Arbeit des Wandlers 25 (F i g. 7) folgendermaßen vor sich. Das dem Korrektionswert Av, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, auf dem Elementarabschnitt 2, (Fig. I) entsprechende Signal U2 (Fig.4) gelangt auf die Gruppe der Eingänge 56 (F i g. 7) der einheit 55 von Addierern, an deren Gruppe der Eingänge 54 das der Geschwindigkeit v, (F i g. 2) entsprechende Ausgangssignal U3 (F i g. 4) des Gebers 53 (F i g. 7) eintrifft.
Die Steuersignale kommen vom Ausgang der Einheit 55 (F i g. 7) von Addierern an den Informationseingängen
57 der Schalteinheit 58 an, an deren Steuereingängen 81,82 die den Komponenten 8,7(Fi g. 2) des Bewegungsgesetzes der Energiequelle 4 (Fig. 1) in Richtung der Orthogonalachsen X, Yentsprechenden Signale Ux, Uy
(Fig.4) von den Ausgängen der Integratoren 72, 78 (Fig. 7) eintreffen. Diese Signale steuern die Arbeit der
Schalteinheit 58 derart, daß an deren Ausgang die der erforderlichen Bewegungsgeschwindigkeit (v, + Av,)
(Fig. 2) der Energiequelle 4 (F ig. 1) auf den Strecken der Bahn 3 entsprechenden Signale ίΛ (F i g. 4) hintereinander
geformt werden.
Das Ausgangssignal (Λ (Fig.4) der Schalteinheit 58 (Fig.7) wird im Integrator 60 integriert, worauf an
dessen Ausgang 63 das dem durch die Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der Bahn 3 zurückgelegten Weg S entsprechende
Signal LZ6 (F i g. 4) geformt wird. Am Ende des Weges S wird das Signal am Ausgang des Integrators 60
(F i g. 7) bei einer Mehrzyklusbewegung der Energiequelle 4 ohne Rückkehr mit Hilfe der Schwelleneinrichtung
62 zu Null gebracht. Dies sichert die Rückkehr der Energiequelle 4 (F i g. 1) in den Anfangspunkt A0 der Bahn 3.
Im Wandler 64 (F i g. 7) wird das dem durch die Energiequelle 4(F i g. 1) auf der Bahn 3 vom Anfangspunkt Ao
zurückgelegten Weg S entsprechende Signal LZ5 (F i g. 4) in das der Krümmung #, der Bahn 3 (F i g. 1) entsprechende
Signal Ut, (F i g. 4) in dem Punkt umgesetzt, wo sich die Energiequelle 4 in jedem Augenblick befindet.
Das Signal LZ6 (F i g. 4) wird mit dem Signal LZ2 multipliziert, was einen Übergang von der Variablen des Weges S
zur Variablen der Zeit t gewährleistet. Das Produkt [x ■ S · dS/dr] wird im Integrator 68 (Fig. 7) integriert,
wodurch ein dem Drehwinkel φ des Geschwindigkeitsvektors der sich längs der Bahn 3 (Fig. 1) bewegenden
Energiequelle 4 entsprechendes Signa! Ui (F i g. 4) geformt wird. Dieser Winkel φ wird bezüglich der Anfangslage
des Geschwindigkeitsvektors v0 (Fig.3) gemessen, die mit der Achsrichtung X zusammenfallend gewählt
Das Signal LZ7 (Fig.4) wird in den Kanälen 69 und 75 (Fig. 7) in die den Komponenten 8, 7 (Fig.2) der
Bewegung der Energiequelle 4 (F i g. 1) in Richtung der Orthogonalachsen X, Y entsprechenden Signale Ux, Uy
(F i g. 4) umgewandelt. Diese Umwandlung erfolgt mit Hilfe des Kosinusumformers 70 (F i g. 7) in Achsrichtung
X(F i g. 1) oder des Sinusumformers 76 (F i g. 7) in Richtung der Achse Y(F i g. 1) der Multiplikationseinheiten 71
und 77 (F i g. 7) und der Integratoren 72,78.
Falls die Energiequelle 4 (F i g. 1) eine periodische oder eine nahezu periodische Bewegung beim Erhitzen des
Objekts vollführt, wird die Regelung der Bewegungsgeschwindigkeit v, der Energiequelle 4 auf dem Elementarabschnitt
2, in der Weise verwirklicht, daß die Bewegungsperiode der Energiequelle 4 konstant gehalten wird. Zu
diesem Zweck kommen die Abweichungssignale Q1(F i g. 4) von der Speichereinheit 18 (F i g. 8) am Eingang der
Formungseinheit 83 (F i g. 8) für ein gemitteltes Signal Q(F i g. 4) an, in der ein gemitteltes Signal Q erzeugt wird.
Auf dieses Signal wird die Leistung der Energiequelle 4 (F i g. 1) mit Hilfe der Steuereinheit 21 (F i g. 8) für die
Leistung geregelt. Wird das Signal am Eingang der Steuereinheit 21 für die Leistung gleich Null, ist die Leistung
der Energiequelle 4 gleich dem Nennwert. Ein positives Signal am Ausgang der Formungseinheit 83 für ein
gemitteltes Signal Q (F i g. 4) steigert die Gesamtleistung der Energiequelle 4 (F i g. 8) gegenüber der Nennleistung,
während ein negatives Signal sie verringert. Infolgedessen hängt die gesamte Energiezufuhr am Objekt
von der mittleren Temperatur des Objekts ab. Die Umverteilung der Energiezufuhr auf die Elementarabschnitte
2, erfolgt durch Umverteilung der Geschwindigkeiten gegenüber der mittleren Bewegungsgeschwindigkeit der
Energiequelle 4. Zu diesem Zweck werden auf den Eingang der Formungseinheit 19 für den Korrektionswert Av1
(F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, entsprechende Signale LZ2 (F i g. 4) die einer Differenz. JQi des gemittelten
Signals Q und des Abweichungssignals Q1 entsprechenden, in der Einheit 85 (F i g. 8) geformten Signale AQ
(F ig. 4) geliefert.
Die Steuereinrichtung für die bewegliche Energiequelle 4 (F i g. 1), deren Prinzipschaltung in F i g. 9 dargestellt
ist arbeitet wie folgt. Die Heizfläche 1 des Objekts, beispielsweise die Oberfläche eines Gußstücks, wird
durch die bewegliche Energiequelle 4, beispielsweise durch einen durch die Kathode 122 einer Elektronenkano- |
ne in einer thermischen Elektronenstrahlanlage erzeugten Elektronenstrahl, erwärmt Die Steuerung der Bewe- f
gung der Energiequelle 4 auf der Heizfläche 1 des Objekts erfolgt mit Hilfe der Steuereinheiten 28 und 29 für die f ·
sind. %
Achse X orthogonalen) Achse Y in Übereinstimmung mit den deren Eingängen zugeführten elektrischen ||
Signalen LZx und U, (F i g. 4). Die Formung dieser Signale erfolgt in den zwei Formungseinheiten 69 und 75 auf |
der Bewegungsbahn und -geschwindigkeit auf dieser Bahn entsprechende Signale. Der Verlauf der Bahn 3 wird ?|
durch einen Operator mit Hilfe eines in Form des Wandlers 64 von dem dem durch die Energiequelle 4 (F i g. 9) %
zurückgelegten Weg 5 entsprechenden Signal LZ5 (F i g. 4) in das der Krümmung χ der Bahn 3 (F i g. 9) entspre- j|
chende Signal LZ6 (F ig. 4) ausgeführten Einstellers für die Bahn 3 (Krümmung*) vorgegeben. |5
durch den Operator vorher mit Hilfe der Schleifer der Potentiometer 138t..., 138».., 138m des Geschwindig- f|
keitsgebers 3 (F i g. 7) vorgegeben und auf Signale des Temperaturgebers 9 (F i g. 9) automatisch korrigiert Auf M
12
Signale des Gebers 9 wird auch die Leistung der Energiequelle 4 automatisch korrigiert.
Der Temperaturgeber 9 mißt mit Hilfe des optischen Abtastzusatzgeräts 87, beispielsweise mit Hilfe der
Weiler-Spiegeltrommel, die Temperatur aufeinanderfolgend in sämtlichen Punkten der Heizfläche 1 des Objekts.
Das Temperaturmeßergebnis wird mit Hilfe des Operationsverstärkers 103 mit einem vom vorgegebenen
Temperaturwert entsprechenden, mit Hilfe des Potentiometers 101 erzeugten Signal verglichen. Das erhaltene
Signal AU(Fig.4) wird in π elementare Abweichungssignale Q,(i ■= 1,2 n)mit Hilfe der Schalteinheit 15
(F i g. 9) getrennt. Jedes elementare Abweichungssignal Qi(Fi g. 4) wird in den aus den Speicherkondensatoren
108i,.., 108/,..., 108„ (F i g. 9) aufgebauten Speicherzellen im Schreibverfahren (bei der Einspeisung einer Serie
von Synchronisierimpulsen aus der Abtasteinheit 17) aufgespeichert.
Die Information gelangt aus den Speicherzellen der Speichereinheit 18 aufeinanderfolgend auf die Eingänge
der Formungseinheit 83 für ein gemitteltes Signal Q(F i g. 4) und der Formungseinheit 85. Der Zugriff zu dieser
Information erfolgt durch ein aufeinanderfolgendes Schließen der Kontakte 109i 109»..., 109ft und 110i
HOa ..., HOn der Schalter der Speicherzellen. Nach der eingeschriebenen Information werden die dem Korrektionswert
Av,(Fig.2) der Geschwindigkeit v, und der Leistung der Energiequelle 4 (Fig.9) entsprechenden
Signale ίΛ(Fig.4)geformt.
Im Falle einer periodischen Bewegung der Energiequelle 4 auf der Heizfläche 1 des Objekts wird das dem
Korrektionswert der Leistung entsprechende Signal mit Hilfe des Operationsverstärkers i ii (F i g. 9) mit einem
Übertragungsmaß von l/n erzeugt.
Auf den Eingang des Operationsverstärkers Ul werden von der Speichereinheit 18 aufeinanderfolgend die
Abweichungssignale Qi(F i g. 4) gegeben, worauf an dessen Ausgang nach der Ankunft (von der η-ten Speicherzelle)
des letzten (η-ten) Abweichungssignals Q, ein gemitteltes Signal
--L Σ Q,
geformt wird.
Das gemittelte Signal Q wird mit Hilfe des Operationsverstärkers 111 (Fig.9) zu einem der Leistung der
Energiequelle 4 entsprechenden, vom Ausgang des Potentiometers 119 eintreffenden Signal addiert und steuert
mit Hilfe des Leistungsverstärkers 120 den Strom des Heizstromkreises 121 der Kathode 122 der Elektronenkanone.
Die die Schaltvorrichtungen steuernden Synchronisierimpulssignale werden in der Abtasteinheit 17 geformt
Zu diesem Zweck wird die Spiegeltrommel des Abtastzusatzgeräts 87 mit magnetischen Ansätzen versehen, die
in der Wicklung 90 des Gebers 89 Impulssignale am Anfang der Abtastung einer neuen Zeile formen. Dieses
Signal wird mit Hilfe eines RC-Kreises — Widerstand 92 und Kondensator 91 — differenziert und steuert die
Arbeit des Flip-Flops 94. Bei Auftreten eines Impulses am Eingang des Flip-Flops 94 kommen die Impulse vom
Generator 96 über das logische UND-Glied 95 zum Zähler 97 durch, der samt dem logischen UND-Glied 99 die
Arbeit des Dechiffrators 98 steuert. Daraus folgt bei der Abtastung einer jeden Zeile vom Dechiffrator 98 eine
Serie aus n/p-Impulsen (wo ρ die Zahl der Trommelspiegel ist), während im Laufe der Abtastperiode der
Gesamtfläche 1 des Objekts (Drehperiode der Trommel) vom Dechiffrator 98 eine Serie aus η Impulsen
abgegeben wird.
Die dem Korrektionswert Av, (F i g. 2) der Geschwindigkeit v, entsprechenden und von der Speichereinheit 18
(F i g. 9) in die Formungseinheit 85 kommenden Signale ίΛ (F i g. 4) werden in der Verzögerunjjseinheit 124 für
eine der iniegrationszeit von π Abweichungssignalen <?,(F i g. 4) in der Formungseinheit 83 (F i g. 9) für die einer
Differenz des gemiueiten Signals Q (F i g. 4) und des Abweichungssignals Q, entsprechenden Zeit verzögert. Im
Ergebnis der Verzögerung wird am Ausgang des Operationsverstärkers 125 (F i g. 9) eine Folge von Signalen AQ
(Fig.4) geformt Dann werden die Signale AQ mit Hilfe des Operationsverstärkers 129 (Fig.9) und der
Widerstände 127,129 in die Signale ίΛ (F i g. 4) proportional umgesetzt. Bei dieser Einrichtung ist das einfachste
— proportionale — Gesetz für eine Transformation der Signale AQ (F i g. 4) in die Signale ΙΛ gewählt. Im
allgemeinen Fall kann diese Transformation nach einem komplizierteren Gesetz erfolgen. Die Signale Ut, so
werden dann hintereinander in der Speichereinheit 23 (F i g. 9) mit Hilfe der Speicherkondensatoren 130i,...,
130..., 13On und der Schalter 131i,..., 131».., 131„ eingespeichert
Die Formung der Signale ίΛ (F i g. 4), die der Bewegungsgeschwindigkeit v, (F i g. 2) der Energiequelle 4 auf
einer jeden der m Strecken 6 entsprechen, in die die Bahn 3 aufgeteilt wird, erfolgt mit Hilfe des Geschwindigkeitsgebers
53 (Fig.9), der Einheit 55 von Addierern und der Schalteinheit 58. Hierbei werden die Signale ίΛ
(F i g. 4) von der Speichereinheit 23 (F i g. 9) bereits in einer durch die Augenblicke eines Oberganges der
Energiequelle 4 von einer Bahnstrecke 6 (F i g. 2) auf die andere bestimmten Reihenfolge geholt Die Signale ίΛ
(F i g. 4) werden zu den im Geschwindigkeitsgeber 53 (F i g. 9) geformten Signalen U3 mit Hilfe der Potentiometer
138 in der aus dem Operationsverstärker 134 (F i g. 9) und den Widerstanden 133],..., 133«, und 136),.., 136m
aufgebauten Einheit 55 (Fig.7) von Addierern addiert Die Additionsfolge dieser Signale wird durch die
Reihenfolge der Erscheinung der Synchronisierimpulse an den Ausgängen 139),..., 139».., 139m des Dechiffrators
140 bestimmt
Die Formung der Synchronisierimpulse erfolgt auf die den Komponenten 8, 7 (Fig.2) der Bewegung der
Energiequelle 4 (Fi g. 1) in Richtung der Orthogonalachsen X. Y entsprechenden Signale Ux, Uy (F i g. 4). Diese
Signale werden mit Hilfe der Analog-Digital-Wandler 141,142 (F i g. 9) und des Dechiffrators 140 in einen Satz
von Kodeimpulsen umgesetzt, deren jeder an den Ausgängen 139i,..., 139».., 139m des Dechiffrators 140 im
Augenblick des Oberganges der Energiequelle 4 von einer Strecke 6 (F i g. 2) der Bahn 3 auf die andere erscheint
Die Synchronisierinipulse werden auf die Steuerelemente der Schalter 132 und 137 (F i g. 9) gleichzeitig geliefert
Entsprechend wird am Ausgang des Operationsverstärkers 134 aufeinanderfolgend das Signal U* (Fig.4)
erzeugt. Die Reihenschaltung aus den Potentiometern 138i,..., 138, 138m (F i g. 9) und den Speicherkondensatoren
13Oi 13Oi ..., 13On am Eingang des Operationsverstärkers 134 gewährleistet die Formung des der
erforderlichen Geschwindigkeit v, + Jv1(F i g. 2)die Bahn 3 entlang entsprechenden Signals £A (F i g. 4).
Die Signale Ua (F i g. 4) werden der Reihe nach auf den Eingang des zusammen mit dem Kondensator 145 im
Integratorbetrieb arbeitenden Operationsverstärkers 144 (F i g. 9) gegeben. Bei Erreichen des maximal vorgegebenen
Pegels durch das Ausgangssignal des Operationsverstärkers 144 schließt der Schalter 146, und der
Integrator 60 geht in den Nullzustand über. Dieser Übergang wird durch die Impulsgabe vom Ausgang der
Schwelleneinrichtung 62 auf das Steuerelement des Schalters 146 gesichert. Der Wert des maximal vorgegebenen
Pegels wird durch die Lage des Schleifers des an den nicht invertierenden Eingang des Operationsverstärkers
147 angeschlossenen Potentiometers 148 vorgegeben.
Das Ausgangssignal U$ (Fig.4) des Integrators 60 (Fig.9) entspricht dem zum betreffenden Zeitpunkt /
(F i g. 4) durch die Energiequelle 4 (F i g. 1) auf der vorgegebenen Bahn 3 zurückgelegten Weg S (F i g. 4). Dieses
Signal Us (F i g. 4) wird durch den Wandler 64 (F i g. 9) in das der Krümmung χ eines jeden durch die Energiequel-Ie
4 zurückgelegten Abschnitts der Bahn 3 (Fig. 1) entsprechende Signal Ub (Fig.4) verwandelt. Das am
Ausgang des Wandlers 64 (F i g. 9) erhaltene Signa! Ut (F i g. 4) gelangt nach einer vorherigen Multiplikation mit
dem der Geschwindigkeit v, + Av1 (F ig. 2) entsprechenden Signal Ua auf den Eingang des Integrators 68 (F ig. 9),
wo es in das dem Drehwinkel φ des Vektors der Geschwindigkeit v, (F i g. 1) der Energiequelle 4 entsprechende
Signal Ui (F i g. 4) umgesetzt wird.
Ferner wird das Signal Ui (F i g. 4) in den Kanälen 69 und 75 (F i g. 9) in die den Komponenten 8,7(Fi g. 2) des
Bewegungsgesetzes für die Energiequelle (Fig. 1) auf der Bahn 3 entsprechenden Signale Ux, U, (Fig.4)
umgesetzt In den Kanälen 69(Fig.9) und 75 erfolgt diese Umsetzung durch Erzeugung der den Werten des
Kosinus bzw. des Sinus eines am Eingang des entsprechenden Umformers 70 und 76 ankommenden Signals
entsprechenden Signale U9 und Us (F i g. 4) an den Ausgängen der Umformer 70 und 76 (F i g. 9). Dann werden
die Signale Uq und Ce(Fig.4) mit dem der Bewegungsgeschwindigkeit V1-(Fig. 2)der Energiequelle 4(Fig. 1)
entsprechenden Signal Ui multipliziert und das Produkt dieser Signale integriert. In die Integratoren 72 und 78
(F i g. 9) werden die Koordinatenwerte -V0, V0 (F i g. 2) für die Lage der Energiequelle 4 im Anfangszeitpunkt
eingegeben.
Die Prinzipschaltung der Steuereinrichtung für eine sich mit einer geringen Geschwindigkeit bewegende
Energiequelle kann auch auf einem Mikroprozessor mit sehr schnellen Analog-Digital- und Digital-Analog-Wandlern
realisiert werden.
Die Arbeit der Schaltung des in F i g. 10 aufgeführten Wandlers 25 vollzieht sich so: Mit Hilfe der ohmschen
Spannungsteiler 161 ..., 161».., 161m werden den Komponenten v„ (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v,
der Energiequelle 4 (F i g. 1) auf jeder der Strecken 6 (F i g. 2) der Bahn 3 in Richtung der Orthogonalachse X und
mit Hilfe der ohmschen Spannungsteiler 162i, ..., 162*.., 162m (Fig. 10) den Komponenten v;y (Fi g. 2) der
Bewegungsgeschwindigkeit v,r in Richtung der Orthogonalachse Y entsprechende Spannungen eingestellt. Die
dem Korrektionswert <4v, (F i g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, entsprechenden Signale Ui(F i g. 4) werden
vom Ausgang der Speichereinheit 23 (F i g. 10) auf den Eingang der Spannungsteiler 163i 1162».., 163m und
164|..., 164».., 164m der Trennvorrichtung 35 gegeben. Die Teilungskoeffizienten der Spannungsteiler 1611...
m.162] ...1*1631... m und 164| ...m werden proportional zu den den Komponenten v,„ v,r(Fig. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v, in Richtung jeder Achse X und Y entsprechenden Signalen eingestellt. Die elektrischen
Signale werden von den Spannungsteilern !61,,..., 16i„ ..„ I6im(F i g. to) durch die Schaitvorrichtungen mit den
eingespeist. Die elektrischen Signale werden von den Spannungsteilers 163|,.., 163»..., 163m in den Stromkreis
des Widerstandes 170 durch die Schaltvorrichtungen mit den Transistoren 168, , 168a ■ · - 168m eingespeist Die
auf die Informationseingänge der Mehrkanalschaltvorrichtungen 39 und 34 gegeben. Die Steuerung der Mehrkanalschaltvorrichtungen
32, 34, 37, 39 wird durch die Synchronisiervorrichtung 52 übernommen. Bei der Umlegung des Schalters 186 in die Arbeitsstellung wird am Ausgang des logischen Elements 185 ein Signal zur
Einstellung der D-Flip-FIops 176|,.., 176».., 176m des Verschiebungsregisters in den Anfangszustand erzeugt
Hierbei werden das Flip-Flop 176] in den 1-Zustand und die übrigen Flip-Flops 1762, ..„ 176a ·■-. 176m in den
O-Zustand gebracht. Das Signa! vom invertierenden Ausgang des Füp-Flcps 176i schließt die sus den Transistoren
167i und 163i aufgebauten Schaltvorrichtung, wodurch ein der Komponente vix (Fig. 1)der Bewegungsgeschwindigkeit
Vj entsprechendes Signal und das dem Korrektionswert Δν, (F i g. 3) der Komponente v„ auf der
ersten Strecke 6 (F i g. 2) der Bahn 3 entsprechende Signa! U1 (F i g. 4) an die Eingangsstromkreise des Operationsverstärkers
172 (F i g. 10) angelegt werden. Die Geschwindigkeit der Spannungsänderung am Ausgang des
Operationsverstärkers 172 ist proportional zur Summe von dem Stromkreis der Widerstände 169 und
zugeführten Signalen und entspricht der erforderlichen Bewegungsgeschwindigkeit auf diesem Abschnitt Das
Ausgangssignal des Operationsverstärkers 172 wird auf den Eingang der Steuereinheit 28 für die Bewegung der
eo Energiequelle 4 (F i g. 1) in Achsrichtung X sowie auf die nicht invertierenden Eingänge der Operationsverstärker
174i, ..„ 174» .., 174m (Fig. 10) der Schwelleneinrichtung 48 gegeben. Bei Erreichen eines der durch die
ohmschen Spannungsteiler 175,,..., 175»..„ 175m in Obereinstimmung mit der Einteilung der vorgegebenen
Bahn 3 (F i g. 2) in gerade Strecken 6 vorgegebenen Spannungspegels durch das Ausgangssignal des Operationsverstärkers
172 ändert sich die Polarität des Signals am Ausgang der Schwelleneinrichtung 48 bzw. 49 (F i g. 6).
Hierbei wird am Ausgang des entsprechenden logischen UND-Gliedes 180 (F i g. 10) ein Impulssignal negativer
Polarität erzeugt Das logische UND-Glied 181 für die dem Nullpegel entsprechenden Signale erfüllt eine
ODER-Funktion, d. h. es wird am Ausgang des UND-Gliedes 181 gleichfalls ein Impulssignal erzeugt Dieses
Signal wird auf die C-Eingänge sämtlicher Flip-Flops 176|,.., 176».. „ 176m gegeben und ändert den Zustand des
Registers, indem es das I-Signal um eine Stelle nach rechts verschiebt. Es geschieht eine Umschaltung der
Steuersignale der Mehrkanalschaltvorrichtungen 32,34,37,39, d. h. in den Stromkreis der Widerstände 169,170
werden ein der Komponente V211(Fi g. 2) der Bewegungsgeschwindigkeit v2, auf der nachfolgenden Strecke 6 der
Bahn 3 entsprechendes Signal und das dem Korrektionswert Jv2, (F i g. 2) dieser Komponente v2, entsprechende
Signal LZ2 (F i g. 4) eingespeist. Auf solche Weise wird ein den Komponenten 7,8 der Bewegung der Energiequel-Ie
4 (Fig. 1) in Richtung der Orthogonalachsen Y, X entsprechendes, stückweise lineares Signal geformt. Das
erfindungsgemäße Verfahren und die Einrichtung zu deren Durchführung gestatten es, eine nach der Geschwindigkeit
und Leistung regelbare Bewegung einer lokalen Energiequelle 4 entlang einer frei wählbaren Bahn 3 auf
der Heizfläche 1 des Objekts zu sichern. Hierbei wird die Steuerung der Bewegungsgeschwindigkeit v, und der
Leistung der Energiequelle 4 auf Signale eines beliebig ausgeführten Temperaturgebers 9 (F i g. 5) vorgenomnen,
und bei der Steuerung der Bewegungsgeschwindigkeit v, (Fig.2) der Energiequelle 4 (Fig. 1) können
weitverbreitete orthogonal arbeitende Steuereinheiten 28,29(Fi g. 5) für die Bewegung benutzt werden.
Mitteln die einer Differenz der vorgegebenen und gemessenen Temperatur entsprechenden Abweichungssignale
<?,(F i g. 4) und Steuersignale für die Bewegungsgeschwindigkeit und die Leistung der Quelle geformt werden,
und die Funktionstransformation der Steuersignale für die Bewegungsgeschwindigkeit in den Komponenten 7,8
(F i g. 2) der Bewegung der Energiequelle 4 (F i g. 1) im Orthogonalsystem Y, X entsprechende gewährleistet eine
Änderung der Bewegungsgeschwindigkeit v, der Energiequelle 4 (Fig. 1) entlang der vorgegebenen Bahn 3
ermöglichende Signale Uy, Ux.
Das Verfahren und die Einrichtung besitzen eine vielfache Verwendbarkeit und eine Invarianz, d. h. eine
Fähigkeit, eine frei wählbare Geschwindigkeit v, entlang einer beliebigen Bewegungsbahn 3 der Quelle 4 ohne
deren gegenseitige Beeinflussung sicherzustellen.
Claims (8)
1. Steuerungsverfahren für eine bewegliche Energiequelle beim Erhitzen der Oberfläche eines Objekts
durch Temperaturmessung entlang einer Abtastbahn auf der Oberfläche des Objekts und durch Änderung
der Bewegungsgeschwindigkeit und der Leistung der beweglichen Energiequelle auf einer vorgegebenen
Bewegungsbahn entsprechend der Differenz einer vorgegebenen und gemessenen Temperatur der Oberfläche
des Objekts, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizfläche (1) in Elementarabschnitte (22,... 2^
...2„) eingeteilt, die Temperatur auf jedem dieser Abschnitte gleichzeitig mit Hilfe von Endtemperaturgebern
oder mit Hilfe eines Temperaturgebers gemessen wird,der entlang der Abtastbahn (5) verschoben wird,
ίο für jeden der Elementarabschnitte (2i,... 2»... 2J Abweichungssignale (Qi) geformt und gespeichert werden,
nach denen dem Korrektionswert (Av1) der Bewegungsgeschwindigkeit (vj und der Leistung der Energiequelle
(4) auf Strecken (6) der vorgegebenen Bewegungsbahn (3) enthaltenen Elementarabschnitten (2,)
entsprechende Signale (U2) geformt werden und daß dann eine Funktionstransformation der dem Korrektionswert
(Jvi)der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) entsprechenden Signale in Kompo-
nenten (7,8) der Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechende und eine Änderung
der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) auf der vorgegebenen Bewegungsbahn (3) sichernde
Signale (Uy, Ux) erfolgt
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Funktionstransformation der dem Korrektionswert
(Av) der Bewegungsgeschwindigkeit (v,) der Energiequelle (4) entsprechenden Signale (U2) in
die den Komponenten (7, 8) der Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechenden
Signale (Uy1 Ux) die vorgegebene Bahn (3) durch gerade Strecken (6) approximiert wird, für deren jede ihre
Projektion auf die Orthogonalachsen (X, Y) ermittelt wird, daß den Komponenten (vu, v,^der Bewegungsgeschwindigkeit
(vj) der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechende und den Projektionswerten der
Strecken (6) der vorgegebenen Bahn (3) proportionale Signale geformt werden und das dem Korrektionswert
(Avjder Bewegungsgeschwindigkeit (vjder Energiequelle (4) entsprechende Signal (U2) in zwei Signale
getrennt wird, deren jedes dem Korrektionswert (Av1x, Aviy) der Komponente (vix, viy) der Geschwindigkeit
(ν,) im Orthogonalsystem entspricht und dem Projektionswert der Bahnstrecke (6) auf diese Achse (X, Y) im
Orthogonaisystem proportional ist, und jedes dem Korrektionswert (Av1,. Av,y) der Komponente (v„, v/^der
Geschwindigkeit (v,) auf jeder Achse (X, Y) entsprechende Signal zu dem der Komponente (Vix, v,y) der
Geschwindigkeit (vi) auf der entsprechenden Achse (X, Y) entsprechenden Signal addiert und die erhaltenen
Summensignale integriert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Funktionstransformation der dem Korrektionswert
(Av1) der Bevvegungsgeschwindigkeit (v,) der Energiequelle (4) entsprechenden Signale (U2) in
die den Komponenten (7, 8) der Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechenden
Signale (Uy, Ux)Uk vorgegebene Bahn (3) durch Kreisbogen approximiert, für jeden Bogen der Krümmungs
wert (κ) ermittelt wird, Steuersignale (LU) durch Summation der der Bewegungsgeschwindigkeit (v.) der
Energiequelle (4) und deren Korrektionswert (Av1) auf den Elementarabschnitten (2,) entsprechenden Signale
(Ui, Ui) geformt, die Steuersignale (Ut) kommutiert werden, indem ein der Bewegungsgeschwindigkeit (vt)
der Energiequelle (4) entsprechendes Signal (Ui) geformt wird, das der Bewegungsgeschwindigkeit (V,) der
Energiequelle (4) entsprechende Signal (Us) zur Erhaltung eines einem durch die Energiequelle (4) auf der
vorgegebenen Bahn (3) zurückgelegten Weg (^entsprechenden Signals (IA) integriert wird, proportional zu
den gefundenen Krümmungswerten (xj der Kreisbögen der Bahn (3) ein dem Verlauf der Bewegungsbahn
(3) der Energiequelle (4) entsprechendes Signal (Ub) geformt wird, das mit dem der Bewegungsgeschwindigkeit
(vj) der Energiequelle (4) entsprechenden Signal (U$ multipliziert wird, worauf es zur Erhaltung eines
Summensignals integriert wird, gleichzeitig der Sinus und der Kosinus des Summensignals integriert und die
den Komponenten (7,8) des Bewegungsgesetzes der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechenden
Signale (Uy, Ux) geformt werden.
' I
' I
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer periodischen Bewegung der Energie-
f quelle (4) auf Abweichungssignale (Q1) ein dem Mittelwert der Abweichungssignale (Qi) entsprechendes
so gemitteltes Signal (Q) geformt wird, zu dem proportional die Leisiung der Energiequelle (4) geändert wird,
und die dem Korrektionswert (Av) der Bewegungsgeschwindigkeit fv,^der Energiequelle (4) auf den Elementarabschnitten
(2i) der vorgegebenen Bahn (3) entsprechenden Signale (U2) nach einer Differenz der Abweichungssignale
(Qi)und des gemiuelten Signals (Q)geformt werden.
5. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, die zwei Steuereinheiten für die
Bewegung der Energiequelle in den Koordinaten des Orthogonalsystems, eine Steuereinheit für die Leistung
der Energiequelle, einen Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts, dessen Ausgang mit einem
Eingang einer Vergleichseinheit für die vorgegebene und gemessene Temperatur verbunden ist, deren
anderer Eingang an den Ausgang des Temperaturgebers für die Heizfläche des Objekts gekoppelt ist, eine
Schalteinheit für Abweichungssignale und eine mit dem Temperaturgeber für die Heizfläche des Objekts
verbundene Abtasteinheit enthält, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Speichereinheit (18) für Abweichungssignale
(Qi), deren Eingänge an die Ausgänge der Schalteinheit (15) für Abweichungssignale (Q1)
angeschlossen sind, deren Informationseingang (14) an den Ausgang der Vergleichseinheit (11) für die
vorgegebene und gemessene Temperatur und deren Steucreingang (16) an die Abtasteinheit (17) angekoppelt
sind, eine an den Ausgang der Speichereinheit (18) für Abweichungssignale (Qi) und an den Eingang der
Steuereinheit (21) für die Leistung der Energiequelle (4) angeschlossene Formungseinheit (19) für ein dem
Korrektionswert (Avjdcr Bewegungsgeschwindigkeit (v,) und der Leistung der Energiequelle (4) entsprechendes
Signal (U2), eine mit der h'ormungseinhcit (19) für ein dem Korrektionswert (^!'^der Bewegungsgeschwindigkeit
(v,)acr Energiequelle (4) entsprechendes Signal (U2) verbundene Speichereinheit (23) für dem
Korrektionswert (Avi) der Bewegungsgeschwindigkeit (vj der Energiequelle (4) entsprechendes Signal (U2)
und einen Wandler (25) zur Wandlung von dem Korrektionswert (Av) der Bewegungsgeschwindigkeit (yi)
der Energiequelle (4) entsprechenden Signalen (U2) in den Komponenten (7,8) der Bewegung der Energiequelle
(4) im Orthogonalsystem entsprechende Signale (Uy, Ux) aufweist, wobei die Eingänge des Wandlers
(25) mit den Ausgängen der Speichereinheit (23) für ein dem Korrektionswert (Av) der Bewegungsgeschwindigkeit
(v) der Energiequelle ("») entsprechendes Signal (U2) und seine Ausgange (26, 27) an die zwei
Steuereinheiten (28 bzw. 29) für die Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem angeschlossen
sind.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (25) zur Wandlung von dem
Korrektionswert (Av) der Geschwindigkeit (v) entsprechenden Signalen (U2) in den Komponenten (7,8) der
Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem entsprechende Signale (Uy, Ux) einen Geber (30) für
zwei Komponenten (Vix, v,>Jder Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem
entsprechende Signale, eine Trennvorrichtung (35) zur Trennung von einem dem Korrektionswert (Av) der
Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) entsprechenden Signal (U2) in zwei Signale, deren jedes
dem Korrektionswert (Avn, Avv) der Komponente (vu, Viy) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle
(4) in Richtung einer der Orthogonalachsen (X, Y) entspricht, wobei der Eingang der Trennvorrichtung
(35) als Eingang des Wandlers (25) wirkt und an den Ausgang (24) der Speichereinheit (23) für dem Korrektionswert
[Jv1) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) entsprechende Signale (U2) angeschlossen
ist, zwei Mehrkanalschaltvorrichtungen (32, 34), deren eine (32) ein der Komponente (v„) der
Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) in Richtung einer Orthogonalachse (X) entsprechendes
Signal und deren andere (34) ein der Komponente (v,y) der Bewegungsgeschwindigkeit (y) der Energiequelle
(4) in Richtung der anderen Orthogonalachse (Y) entsprechendes Signal schaltet, wobei die beiden Mehrkanalschaltvorrichtungen
(32,34) mit ihren Informationseingängen an die Ausgänge (31,33) des Gebers (30) für
zwei Komponenten (V,,, v,y) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem
entsprechende Signale angeschlossen sind, zwei Mehrkanaischaltvorrichtungen (37,39), deren eine (37) ein 2s
dem Korrektionswert (Avu) der Komponente (v„) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) in Richtung einer
Orthogonalachse (X) entsprechendes Signal und deren andere (39) ein dem Korrektionswert (Av,y) der
Komponente (viy) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) in Richtung der anderen Orthogonalachse (Y) entsprechendes
Signal schaltet, wobei die Eingänge der beiden Schalter (37, 39) an die Ausgänge (36, 38) der
Trennvorrichtung (35) angeschlossen sind, zwei Addierer (42, 45), von denen einer (42) mit seinem einen
Eingang (40) an den Ausgang der Mehrkanalschaltvorrichtung (32) für ein der Komponente (vlx) der Bewegasgeschwindigkeit
(v,) der Energiequelle (4) in Richtung einer Orthogonalachse (X) entsprechendes
Signal und mit seinem anderen Eingang (41) an die Mehrkanalschaltvorrichtung (37) für ein dem Kerrektionswert
[Av1x) der Komponente (v„) der Bewegungsgeschwindigkeit (v,) in Richtung einer Orthogonalachse
(X) entsprechendes Signal, während der andere Addierer (45) mit seinem Eingang (43) an den Ausgang der
Mehrkanalschaltvorrichtung (34) für ein der Komponente (V,v)der Bewegungsgeschwindigkeit M der Energiequelle
(4) in Richtung der anderen Orthogonalachse (Y) entsprechendes Signal und mit seinem anderen
Eingang (44) an den Ausgang der Mehrkanalschaltvorrichtung (39) für ein dem Korrektionswert [4v,y) der
Komponente (vty) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) in Richtung der anderen Orthogonalachse (yjentsprechendes
Signal angeschaltet ist, zwei Integratoren (46,47), deren Eingänge an die betreffenden Addierer (42,
45) und deren Ausgänge an die betreffenden Steuereinheiten (28,29) für die Bewegung der Energiequelle (4)
im Orthogonalsystem angeschlossen sind, zwei Schwelleneinrichtungen (48, 49), deren Eingänge an die
Ausgänge der betreffenden Integratoren (46,47) angeschlossen sind, eine Synchronisiervorrichtung (52) für
die den Geschwindigkeitskomponenten (vjx, v,y) und dem Korrektionswert (AWix, Aviy) der Komponenten (vi„
Viy) der Geschwindigkeit (v) im Orthogonalsystem entsprechende Signale, deren Eingänge (50,51) mit den
Ausgängen der Schwelleneinrichtungen (48,49) verbunden sind, während der Ausgang der Synchronisiervorrichtung
(52) gleichzeitig mit den Steuereingängen sämtlicher Mehrkanalschaltvorrichtungen (32,34,37,39)
gekoppelt ist, aufweist.
7. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (25) einen Bewegungsgeschwindigkeitsgeber
(53) für die Energiequelle (4), eine Einheit (55) von Addierern, deren eine Gruppe von
Eingängen (54) an den Geschwindigkeitsgeber (53) für die Energiequelle (4) angeschlossen ist und deren
andere Gruppe von Eingängen (56) als Eingang des Wandlers (25) fungiert und an die Speichereinheit (23) für
dem Korrektionswert (Avi) der Bewegungsgeschwindigkeit (v) der Energiequelle (4) entsprechende Signale
(Ui) geschaltet ist, eine Schalteinheit (58) für Steuersignale (Uj, deren Steuereingänge (57) an die Einheit (55)
von Addierern angeschlossen sind, einen Integrator (60), dessen Informationseingang (59) mit dem Ausgang
der Schalteinheit (58) für Steuersignale (Ua) gekoppelt ist, eine Schwelleneinrichtung (62), deren Eingang an
einen Integrator (60) gekoppelt und deren Ausgang mit dem Steuereingang (61) des Integrators (60) verbunden
ist, einen an den Ausgang des Integrators (60) angeschlossenen Wandler (64) von einem durch die
Energiequelle (4) auf der Bahn (3) zurückgelegten Weg (S,)entsprechenden Signal (Us) in ein dem Verlauf der
Bahn (3) entsprechendes Signal (Ub), eine Multiplikationseinheit (66), deren einer Eingang (67) mit dem
Ausgang dei· Schalteinheit (58) für Steuersignale (Ut) und deren anderer Eingang (65) an dem Wandler (64)
gekoppelt i$t, einen anderen an die Multiplikationseinheit (66) angeschlossenen Integrator (68), Formungseinheiten [§§, 75) für den Komponenten (7, 8) der Bewegung der Energiequelle (4) im Orthogonalsystem
entsprechende Signale (Uy, Ux) aufweist, deren einer (69) einen Kosinusumformer (70) und deren anderer (75)
einen SinuSumformer (76) enthält, deren Eingänge zusammen- und an den anderen Integrator (68) angeschaltet
sind, und darüber hinaus jeder Kanal (69,75) eine Multiplikationseinheit (71,77), deren einer Eingang (73,
79) an den Umformer (70,76) und deren anderer Eingang (74,80) mit dem Ausgang der Schalteinheit (58) für
Steuersignale (Ui) gekoppelt ist, einen in einer Formungseinheit (69) ein der Komponente (8) der Bewegung
der Energiequelle (4) in Richtung der Achse (X) entsprechendes Signal (Ux) bzw. in der anderen Formungseinheit (75) ein der Komponente (7) der Bewegung der Energiequelle (4) in Richtung der Achse f ty entsprechendes
Signal (Uy) formenden Integrator (72,78) enthält, wobei der Integrator (72,78), dessen Ausgang an
den Steuereingang (81,82) der Schalteinhcit (58) für Steuersignale (U4) angeschlossen ist, an die Multiplika-
tionseinheit (71,77) der Formungseinheit (69,75) gekoppelt ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine an die Speichereinheit (18) für
Abweichungssignale fQ^ angeschlossene Formungseinheit (83) für ein aus den Abweichungssignalen gemitteltes
Signal (Q) und eine Formungseinheit (85) für ein einer Differenz des Abweichungssignals (Qi) und des
gemittelten Signals (Q) entsprechendes Signal (AQ) besitzt, deren einer Eingang (84) an den Ausgang der
Forniungseinheit (83) für ein gemitteltes Signal (Q) und an den Eingang der Steuereinheit (21) für die
Leistung der Energiequelle (4) und deren anderer Eingang (86) an den Ausgang der Speichereinheit (18) für
Abweichungssignale (Qi) angeschlossen ist, während der Ausgang der Formungseinheit (85) für ein einer
Differenz des Abweichungssignals (Qi) und des gemittelten Signals (Q) entsprechendes Signal (AQ) an die
Formungseinheit (19) für dem Korrektionswert (Δνί) der Bewegungsgeschwindigkeit (v,) der Energiequelle
(4) entsprechende Signale (U2) angeschaltet ist.
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Cited By (2)
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DE3618250A1 (de) * | 1986-05-30 | 1987-12-03 | Gutehoffnungshuette Man | Vorrichtung zur messung der schweissvorschubgeschwindigkeit |
DE3923899A1 (de) * | 1989-07-19 | 1991-01-31 | Leybold Ag | Verfahren fuer die regelung der auftreffpositionen von mehreren elektronenstrahlen auf ein schmelzbad |
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