DE2842474A1 - DIFFERENTIAL PRESSURE / CURRENT CONVERTER - Google Patents
DIFFERENTIAL PRESSURE / CURRENT CONVERTERInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Differenzdruck/Strom-Umformer nach dem Gattungsbegriff des Anspruches 1.The present invention relates to a differential pressure / flow converter according to the generic term of claim 1.
Ein Umformer der gattungsgemäßen Art ist beispielsweise in der US-PS 3 559 488 dargestellt und beschrieben. Dort wird ein Halblei terbaIken bzw. eine Membran als Fühlelement verwendet. Bei diesem bekannten Umformer verändert sich der Wert der Widerstände, die auf der 2\ußenfläcne des Halbleiterbalkens bzw. der Membran gebildet sind, wenn der Balken bzw. die Membran aufgrund von Druckänderungen ausgelenkt v/erden. Diese Widerstandsänderung ruft eine Stromflußänderung hervor, und dem Signalstrom können bestimmte Druckwerte zugeordnet werden.A converter of the generic type is shown and described, for example, in US Pat. No. 3,559,488. There will be a half-length terbaIken or a membrane used as a sensing element. at This known converter changes the value of the resistances which are formed on the outer surface of the semiconductor bar or the membrane are when the beam or the membrane due to pressure changes deflected v / earth. This change in resistance causes a change in current flow, and the signal current can be determined Pressure values are assigned.
In jüngster Zeit sind Differenzdruckumformer vorgeschlagen worden, die eine dehnungsempfindliche Membran verwenden, welche aus einem Saphirsubstrat besteht, auf dessen Oberfläche ein Silizium-Widerstandsmuster gebildet ist. Eine solche Anordnung v/eist bestimmte Vorzüge als Dehnungsmeßelement ... insbesondere bei hohen Temperaturen und in einer Umgebung.auf, in der es einer Kernstrahlung ausgesetzt ist. Dem Fachmann ist jedoch klar, daß Saphir einen sehr hohen Elastizitätsmodul aufweist. Frühere Vorschläge für Umformer, die dehnungsempfindliche Siliziumswiderstände auf Saphirmembranen verwenden, haben sich daher bei niedrigen Drücken als wenig befriedigend erwiesen.Recently, differential pressure transducers have been proposed who use a stretch-sensitive membrane, which consists of a The sapphire substrate has a silicon resistor pattern on its surface is formed. Such an arrangement has certain advantages as a strain gauge ... especially at high temperatures and in an environment where there is nuclear radiation is exposed. However, it is clear to the person skilled in the art that sapphire has a very high modulus of elasticity. Previous suggestions for converters, the strain-sensitive silicon resistors on sapphire diaphragms have therefore proven to be used at low pressures proved unsatisfactory.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Umformer der eingangs genannten Art so auszubilden, daß er auch bei niedrigen Differenzdrücken eine hohe Empfindlichkeit aufweist. Dies bedeutet, daß das druckempfindliche Element auch bei geringen Differenzdrücken eine relativ große Bewegung ausführt. Darüberhinaus soll der Umformer in einfacher Weise gegen Überlastung geschützt sein und realistische Herstellungstoleranzen aufweisen. Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß der im Anspruch 1 gekennzeichneten Erfindung. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen entnehmbar.It is therefore the object of the present invention to provide a converter of the type mentioned in such a way that it has a high sensitivity even at low differential pressures. This means that the pressure-sensitive element even at low Differential pressure performs a relatively large movement. Furthermore the converter should be protected against overload in a simple manner and should have realistic manufacturing tolerances. This object is achieved according to the invention characterized in claim 1. Further advantageous refinements the invention can be inferred from the subclaims.
Durch die Erfindung wird ein Umformer angegeben, bei welchem eine kurze Saphirplatte ein dehnungsempfindliches Silizium-Widerstands-The invention provides a converter in which a short sapphire plate is a stretch-sensitive silicon resistance
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muster trägt..Die Saphirplatte bildet ein Element eines größeren Balkens, und ein Ende der Saphirplatte ist in ein Kopfstück eingebettet. Eine mit Fluid gefüllte Kapsel f die mit dem anderen Ende des Balkens verbunden ist, bewegt sich, wenn der relative Di-uck der Füllflüssigkeit und der externe Druck eine Änderung erfährt. Bei der Bewegung des Balkens wird die Beanspruchung der Außenflächen der Saphirplatte und somit der Widerstand des SiIi-ziunis-WiderStandes verändert, wodurch ein entsprechendes elektrisches Signal erzeugt wird.The sapphire plate forms one element of a larger beam, and one end of the sapphire plate is embedded in a headpiece. A fluid-filled capsule f connected to the other end of the beam moves when the relative pressure of the filling liquid and the external pressure experience a change. When the bar is moved, the stress on the outer surfaces of the sapphire plate and thus the resistance of the SiIi-ziunis resistor is changed, whereby a corresponding electrical signal is generated.
Anhand eines in Figuren der beiliegenden Zeichnung dargestellten Ausfühjrungsbeispie] es sei die Erfindung im folgenden- näher erläutert. Es zeigen: Based on one shown in the figures of the accompanying drawing Ausfühjrungsbeispie] the invention is explained in more detail below. Show it:
Figur 1 eine Seitenansicht eines Umformers gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel;der Erfindung, wobei bestimmte Teile weggebrochen und andere Teile im Schnitt dargestellt sind.Figure 1 is a side view of a converter according to a preferred embodiment; the invention, with certain parts broken away and other parts shown in section.
Figur 2 eine vergrößerte Einzeldarstellung des dehnungsempfindlichen Elementes gemäß Figur 1, wobei dessen Befestigung mit dem Kopfstück und dem Balken dargestellt ist.Figure 2 is an enlarged individual representation of the stretch-sensitive Element according to Figure 1, its attachment to the head piece and the beam is shown.
Gemäß Figur 1 trägt ein zylindrischer Block 10 die verschiedenen Komponenten des Umformers. Auf der linken Seite des Blockes 10 ist ein Kopfstück 12 eingesetzt, das ein dehnungsempfindliches Element 14 in einer Weise trägt, die weiter unten im Zusammenhang mit Figur 2 noch näher beschrieben wird. Ein starres mit dem Element 14 verbundenes Rohr 16 erstreckt nach der Mitte des Blockes 10 entlang einer Durchführung 18.According to Figure 1, a cylindrical block 10 carries the various components of the converter. On the left side of block 10 A head piece 12 is inserted which carries a strain sensitive element 14 in a manner which will be discussed further below will be described in more detail with FIG. A rigid tube 16 connected to element 14 extends towards the center of the Block 10 along a passage 18.
Eine Stange 22 ist beispielsweise durch eine Silberlötung mit einem Ende des Rohres 16 verbunden. Das andere Ende der Stange 22 ist mit der oberen Wand 24 einer Kapsel verbunden. Die Stange 22 ragt hierbei frei durch eine öffnung 27 in einer unteren Wand 25 der Kapsel. Die untere Wand 25 der Kapsel ist mit demA rod 22 is connected to one end of the tube 16 by, for example, silver soldering. The other end of the pole 22 is connected to the top wall 24 of a capsule. The rod 22 protrudes freely through an opening 27 in a lower one Wall 25 of the capsule. The lower wall 25 of the capsule is with the
Λ/erbunden
Gehäuse ICT, wobei sich die öffnung 27 konzentrisch zu einerΛ / bound
Housing ICT, the opening 27 concentric to a
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Durchführung 26 im Gehäuse 10 erstreckt.-Durch diese Durchführung 26 erstreckt sich die Stange 22.Implementation 26 extends in the housing 10. Through this implementation 26 extends the rod 22.
Eine ringförmig gewellte Membran 32 deckt eine Ausnehmung in der anderen Seite des Blockes 10 ab. Eine Durchführung 34 in einem Stopfen 36 bildet eine Fluidverbindung zwischen dem von der Membran 32 eingeschlossenen Raum und dein Inneren der Kapsel 24, 25.An annularly corrugated membrane 32 covers a recess in the other side of the block 10. One implementation 34 in one Plug 36 forms a fluid connection between the space enclosed by membrane 32 and the interior of capsule 24, 25.
Im Betriebszustand ist das innere der Kapsel 24, 25, die Durchführungen 26 und 34 und die Durchführung 18 mit einem geeigneten inkompressiblen Fluid gefüllt. Eine Füllbohrung 38 kann für diesen Zweck verwendet werden. Der Differenzdruck zwischen der Außenfläche der Membran 32 und der Außenfläche der Kapsel 24, 25 bestimmt die Lage des Endes des Rohres 1b.In the operating state, the interior of the capsule 24, 25, the bushings 26 and 34 and the passage 18 filled with a suitable incompressible fluid. A filling hole 38 can be used for this Purpose to be used. The differential pressure between the outer surface the membrane 32 and the outer surface of the capsule 24, 25 determine the position of the end of the tube 1b.
Wenn beispielsweise der Außendruck auf der Oberfläche der Membran 32 inbezug auf den Außendruck auf der Kapsel 24, 25 anwächst, so bewegt sich das Rohr 16 in Figur 1 nach oben. Dadurch wird die Beanspruchung in dem dehungsempfindlichen Element 14 geändert und ein elektrischer Signalstrom erzeugt, der die Druckdifferenz anzeigt. For example, if the external pressure on the surface of the membrane 32 increases in relation to the external pressure on the capsule 24, 25, the tube 16 moves upwards in FIG. This will reduce the stress is changed in the strain sensitive element 14 and generates an electrical signal current indicative of the pressure difference.
Eine Verengung 42 in der Durchführung 34 erzeugt einen Dämpfungseffekt, um das-Ansprechverhalten des Umformers bei Schwankungen in dem Fluidfluß zu begrenzen. Eine Schutzmembran 44 kann im gewünschten Fall verwendet werden, um die Kapsel 24, 25 gegen korrödieende Fluide zu schützen. Wenn eine Membran 44 benutzt wird, so wird der Raum unterhalb dieser Membran mit einem inkompressiblen Fluid gefüllt. Der Anschluß 46 kann für diesen Zweck verwendet werden.A constriction 42 in the feedthrough 34 creates a damping effect to reduce the response behavior of the converter in the event of fluctuations to limit in the fluid flow. A protective membrane 44 can be in the desired Case used to protect the capsule 24, 25 against corrosive Protect fluids. If a diaphragm 44 is used, the space below that diaphragm becomes incompressible Fluid filled. Port 46 can be used for this purpose.
Gemäß Figur 2 ist das dehnungsempfindliche Element 14 in das Kopfstück eingebettet. Im bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung besteht das., dehnungsempfindliche Element 14 aus einer einzigen Kristall-Saphir-Al2O3-Platte von ungefähr 20 mm Dicke, 800 mm Länge und 400 mm Breite, wobei auf der unteren und oberen Fläche Silber-Widerstandsmuster gebildet werden.According to FIG. 2, the stretch-sensitive element 14 is embedded in the head piece. In the preferred embodiment according to the present invention, the strain-sensitive element 14 consists of a single crystal sapphire Al 2 O 3 plate approximately 20 mm thick, 800 mm long and 400 mm wide, with silver on the lower and upper surfaces. Resistance patterns are formed.
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Diese Widerstände können gebildet werden, indem eine epitaxiale Schicht von Silizium auf der oberen und unteren Oberfläche des Saphirs herangezogen wird, Verunreinigungen gemäß einem Widerstands-Brückenmuster in die Sliliziumschichten eindiffundiert v/erden und in dem schließlich das Silizium in den Bereichen weggeätzt wird, in denen sich das Widerstandsmuster nicht befindet. Es sei darauf verwiesen, daß diese Kombination von Silizium auf Saphir das Auftreten von Leckströmen im Vergleich zu herkömmlichen eindiffundierten Silizium-Dehnungsmeßstreifen auf ein Minimum reduziert. Dies ist insbesondere der Fall bei hohen Temperaturen und bei Umgebungsbedingungen, die einen hohen Betrag an Kernstrahlung aufweisen.These resistors can be formed by placing an epitaxial layer of silicon on the top and bottom surfaces of the Sapphire is used, impurities according to a resistance bridge pattern diffused into the silicon layers and in which finally the silicon in the areas is etched away where the resistance pattern is not located. It should be noted that this combination of silicon on sapphire the occurrence of leakage currents compared to conventional diffused silicon strain gauges reduced to a minimum. This is especially the case at high temperatures and in ambient conditions that have a high amount of nuclear radiation.
Um eine Überbeanspruchung der Platte 14 an ihrem Befestigungspunkt zu vermeiden, muß diese über eine wesentliche Länge in das Kopfstück 12 und das Rohr 16 eingebettet sein. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung beträgt die gesamte Länge der Platte ungefähr das Vierzigfache der Plattendicke, wobei der in das Kopfstück 12 und in das Rohr 16 eingebettete Bereich ungefähr das Zehnfache der Plattendicke beträgt. Auf diese Weise wird die auf die Platte an ihren Befestigungspunkten ausgeübte Beanspruchung sehr viel geringer als die Oberflächenbeanspruchung in der Platte selbst. Eine geeignete Epoxyd- bzw. Metallverbindung kann benutzt werden, um die Platte mit dem Kopfstück und dem Rohr zu verbinden.To avoid overstressing the plate 14 at its point of attachment To avoid this, it must be embedded in the head piece 12 and the tube 16 over a substantial length. In a preferred Embodiment of the invention, the total length of the plate is approximately forty times the plate thickness, with the in the head piece 12 and the area embedded in the pipe 16 approximately is ten times the plate thickness. In this way the stress exerted on the panel at its points of attachment is increased Much less than the surface stress in the plate itself. A suitable epoxy or metal compound can be used to connect the plate to the header and pipe.
Das Rohr 16 ist relativ steif im Vergleich zu der Platte 14. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird eine Messingstange benutzt, deren Dicke ungefähr das Zehnfache der Dicke der Platte 14 beträgt. Die Länge der Stange 16 zwischen ihrem Befestigungspunkt mit der Platte 14 und ihrem Befestigungspunkt mit der Stange 22 sollte ausreichend groß sein, sodaß die Beanspruchung auf der Außenfläche der Platte 14 im wesentlichen gleichförmig über den gesamten Bewegungsbereich der Kapsel 24, 25 erfolgt. Dies gestattet eine vernüftige Herstellungstoleranz hinsichtlich der Lage der dehnungsempfindlichen Widerstände bezogen auf die Fläche der Kopfstückes 12. Um dieses gewünschte Ergebnis zu erzielen,The tube 16 is relatively stiff compared to the plate 14. In In a preferred embodiment, a brass rod is used, the thickness of which is approximately ten times the thickness of the plate 14 is. The length of the rod 16 between its point of attachment to the plate 14 and its point of attachment to the rod 22 should be sufficiently large that the stress on the outer surface of plate 14 is substantially uniform the entire range of motion of the capsule 24, 25 takes place. This allows a reasonable manufacturing tolerance with respect to the Position of the stretch-sensitive resistances in relation to the surface of the head piece 12. To achieve this desired result,
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sollte die Länge der Stange 16 wenigstens das Achtfache der Länge der Platte 14 betragen.the length of the rod 16 should be at least eight times the length of the plate 14.
Eine Anzahl leitender Stifte 48, von denen nur zwei dargestellt sind, und feine Drahtanschlüsse 52 führen die Speise- und Signalströme zu dem Widerstandsmuster auf der Platte 14. Die Stifte 48 sind mit Glas in dem Kopfstück 12 vergossen, um sowohl die Stifte von dem Kopfstück zu isolieren als auch die Innenkaminern des Umformers gegen Fluidverluste abzudichten.A number of conductive pins 48, only two of which are shown, and fine wire terminals 52 carry the supply and signal currents to the resistor pattern on plate 14. Pins 48 are encapsulated with glass in header 12 to accommodate both the pins from the head piece as well as the inner chimneys of the converter to seal against fluid loss.
Das Kopfstück 12 wird vorzugsweise aus einem Material hergestallt, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Platte 14 angepaßt ist. Nickel ist hierbei geeignet für eine Verwendung mit Saphir.The head piece 12 is preferably made of a material whose thermal expansion coefficient is the thermal expansion coefficient the plate 14 is adapted. Nickel is suitable for use with sapphire.
Für den Betrieb wird das System mit einer geeigneten nicht-koinpressiblen Flüssigkeit gefüllt, sodaß eine relative Änderung des Druckes inbezug auf die äußere Membran und die Kapsel eine Bewegung der Stange 22 hervorruft. Aufgrund der Tatsache, daß das dehnungsempfindliche Saphirelement ein Element eines länglichen Auslegerbalkens bildet, kann ein relativ kleiner Differenzdruck eine bemerkenswerte Balkenauslenkung ohne Überbeanspruchung des dehnungsempfindlichen Elements 14 hervorrufen.For operation, the system comes with a suitable non-coinpressible Liquid filled so that a relative change in pressure with respect to the outer membrane and the capsule causes movement the rod 22 causes. Due to the fact that the strain-sensitive sapphire element is an element of an elongated Forming the cantilever beam, a relatively small differential pressure can produce a remarkable beam deflection without overstressing the beam Cause stretch-sensitive element 14.
Im Falle eines Überlastdruckes wird im einen Fall die Kapsel 24, 25 zusammengedrückt und begrenzt somit die Bewegung des Rohres 16, bevor das Element 14 überdehnt wird. In gleicher Weise gelangt bei einem überlastdruck an der unteren Membran 32 diese gegen eine entsprechende Oberfläche in dem Block 10, wodurch wiederum die Bewegung des Rohres 16 begrenzt wird, bevor eine Überdehnung des Elementes 14 auftritt. Es sei noch darauf verwiesen, .daß in einigen Fällen, das Element 14 eine Siliziumplatte umfassen kann, in welche ein Widerstandsmuster eindiffundiert worden ist.In the event of an overload pressure, the capsule 24, 25 is compressed in one case and thus limits the movement of the tube 16 before element 14 is overstretched. In the same way, in the event of an overload pressure on the lower membrane 32, the latter is applied against a corresponding surface in the block 10, which in turn limits the movement of the tube 16 before a Overstretching of the element 14 occurs. It should also be pointed out .that in some cases, element 14 may comprise a silicon plate into which a resistor pattern diffuses has been.
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Claims (8)
durch ein Silizium-Widerstandsmuster auf einer Saphirplatte (14).5. Converter according to claim 1, characterized
by a silicon resistance pattern on a sapphire plate (14).
Verbindungsstange (22) mit der oberen Wand (24) der Kapsel verbunden ist und daß die Verbindungsstange (22) durch eine Durchführung (27) in der unteren Wand (25) der Kapsel
geführt ist.6. Converter according to claim 4, characterized in that the rigid rod (16) has a
The connecting rod (22) is connected to the upper wall (24) of the capsule and that the connecting rod (22) is connected through a passage (27) in the lower wall (25) of the capsule
is led.
Rohr besteht.7. Converter according to claim 1, characterized in that the rigid rod (16) consists of one
Pipe is made.
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| GB (1) | GB2005425B (en) |
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| DE2952843A1 (en) * | 1978-06-09 | 1980-12-18 | K Hayashi | PRESSURE TRANSDUCER |
| US4244228A (en) * | 1978-06-06 | 1981-01-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Pressure transducer |
| DE3621795A1 (en) * | 1986-06-28 | 1988-01-07 | Eckardt Ag | DIFFERENTIAL PRESSURE |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129831A (en) * | 1980-03-17 | 1981-10-12 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pressure converter |
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| GB2175398A (en) * | 1985-05-21 | 1986-11-26 | Stc Plc | Pressure transducer |
-
1978
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- 1978-10-02 CA CA312,439A patent/CA1110464A/en not_active Expired
- 1978-10-03 GB GB7839097A patent/GB2005425B/en not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4244228A (en) * | 1978-06-06 | 1981-01-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Pressure transducer |
| DE2952843A1 (en) * | 1978-06-09 | 1980-12-18 | K Hayashi | PRESSURE TRANSDUCER |
| DE3621795A1 (en) * | 1986-06-28 | 1988-01-07 | Eckardt Ag | DIFFERENTIAL PRESSURE |
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| CA1110464A (en) | 1981-10-13 |
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Legal Events
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| 8141 | Disposal/no request for examination |