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DE2734130A1 - GAS DISCHARGE LAMP - Google Patents

GAS DISCHARGE LAMP

Info

Publication number
DE2734130A1
DE2734130A1 DE19772734130 DE2734130A DE2734130A1 DE 2734130 A1 DE2734130 A1 DE 2734130A1 DE 19772734130 DE19772734130 DE 19772734130 DE 2734130 A DE2734130 A DE 2734130A DE 2734130 A1 DE2734130 A1 DE 2734130A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas discharge
dielectric material
discharge lamp
lamp according
plasma space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19772734130
Other languages
German (de)
Inventor
David A Markle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applied Biosystems Inc
Original Assignee
Perkin Elmer Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Perkin Elmer Corp filed Critical Perkin Elmer Corp
Publication of DE2734130A1 publication Critical patent/DE2734130A1/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/30—Vessels; Containers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Description

PATENTANWÄLTEPATENT LAWYERS

THE PEEKIN-ELMER CORPORATION
Norwalk, Connecticut 06856, USATHE PEEKIN-ELMER CORPORATION
Norwalk, Connecticut 06856, USA

A. GRUNECKERA. GRUNECKER

D0V-1NGD0V-1NG

H. KINKELDEYH. KINKELDEY

DRINGURGENT

W. STOCKMAIRW. STOCKMAIR

DK ING AeF (CALTfcCH)DK ING AeF (CALTfcCH)

K. SCHUMANNK. SCHUMANN

DRHEHNAT «PL PHVSDRHEHNAT «PL PHVS

P. H. JAKOBP. H. JAKOB

DIPL-INGDIPL-ING

G. BEZOLDG. BEZOLD

ORRBlNAT DIPl-OLM.ORRBlNAT DIPl-OLM.

8 MÜNCHEN 228 MUNICH 22

MAXIMILIANSTRASSE 43MAXIMILIANSTRASSE 43

28. Juli 1977 P 11 823July 28, 1977 P 11 823

GrasentladungslampeGrass discharge lamp

Die Erfindung betrifft eine Grasentladungslampe. Sie findet bevorzugt Anwendung für Gasentladungslampen von im wesentlichen bogenförmiger Gestalt zum Erzeugen einer hochintensiven Strahlung·The invention relates to a grass discharge lamp. It is preferably used for gas discharge lamps from essentially arched shape to generate high-intensity radiation

Bisher sind bereits Gasentladungslampen in verschiedenen Typen und Konfigurationen für vielfältige Anwendungszwecke im Gebrauch. Im allgemeinen verwenden solche Lampen einen dichtend verschlossenen transparenten Kolben, der ein Gas oder einen Dampf enthält und mit Vorrichtungsteilen versehen ist, um dieSo far, gas discharge lamps in various types and configurations for a wide variety of applications are already in use. Generally such lamps use a sealing sealed transparent flask which contains a gas or a vapor and is provided with device parts to the

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TELEX OS-aOSSOTELEX OS-aOSSO TELEQRAMME MONAPATTELEQRAMS MONAPTH TELEKOPIERBRTELECOPY BR

gasförmige Substanz zu erregen, so daß ein strahlendes Plasma entsteht. Dies geschieht normalerweise durch Anlegen einer Spannung an zwei beabstandete Elektroden oder durch induktives Ankuppeln einer Hochfrequenzquelle an die Lampe.to excite gaseous substance, so that a radiant plasma is created. This is usually done by creating a Voltage to two electrodes at a distance or by inductively coupling a high-frequency source to the lamp.

Genauer ist die Erfindung auf Gasentladungslampen von im wesentlichen bogenförmiger Gestalt und kapillaren Abmessungen gerichtet, die einen Metalldampf, beispielsweise Quecksilberdampf, enthalten. Erfindungsgemäß konstruierte Lampen eignen sich u.a. besonders zur Verwendung mit einem Gerät zum Belichten von mit einem Photoresist bedeckten Wafern in der Herstellung von Halbleitereinrichtungen, wie dies in der US-Patentanmeldung Serial Nr, 671 653, eingereicht am 29.3.1976, beschrieben ist, die eine Weiterführung der US-Patentanmeldung Serial Nr. 339 860, eingereicht am 9·3·1973 ist. Dieses Gerät benötigt eine Quecksilberdampflampe von kapillaren Abmessungen und Bogenform, die eine Strahlung hoher Intensität über eine genau definierte Fläche aussendet.More particularly, the invention is essentially directed to gas discharge lamps of arcuate shape and capillary dimensions directed that a metal vapor, such as mercury vapor, contain. Lamps constructed in accordance with the invention are particularly suitable, among other things, for use with a device for illuminating photoresist covered wafers in the manufacture of semiconductor devices as described in the US patent application Serial No. 671 653, filed March 29, 1976, is described, which is a continuation of U.S. Patent Application Serial No. 339,860, filed 9 x 3 x 1973. This device requires a Mercury vapor lamp of capillary dimensions and arc shape, which emits radiation of high intensity over a precisely defined area.

Eine besonders zweckmäßige Gasentladungslampe des erwähnten Typs ist in der US-PS 3 878 419 beschrieben. Die vorliegende Erfindung stellt eine Verbesserung der Eigenschaften dieser Lampe dar·A particularly useful gas discharge lamp of the type mentioned is described in US Pat. No. 3,878,419. The present Invention represents an improvement in the properties of this lamp

Um die angestrebte Verbesserung zu erzielen, sieht die Erfindung in einer Ausführungsform eine Gasentladungslampe vor, die in Kombination einen strahlungsdurchlässigen rohrförmigen Lampenkolben, der einen Plasmaraum bildet, in dem eine ionisierbare gasförmigeSubstanz, beispielsweise Quecksilberdampf, enthalten ist, ferner einen reflektierenden Belag auf der Rückseite des rohrförmigen Lampenkolbens und VorrichtungsteiIe zum Verbinden der Lampe mit einer Energiequelle, um an den Plasmaraum eine Betriebsspannung anzulegen, aufweist.In order to achieve the improvement sought, the invention provides, in one embodiment, a gas discharge lamp which is shown in FIG Combination of a radiation-permeable tubular lamp bulb, which forms a plasma space in which an ionizable gaseous substance such as mercury vapor is, further a reflective coating on the back of the tubular lamp envelope and device parts for connecting the lamp with an energy source in order to apply an operating voltage to the plasma space.

In einer Ausführung der Erfindung hat der Plasmaraum bogenförmige Gestalt und kapillare Abmessungen·In one embodiment of the invention, the plasma space has an arcuate shape and capillary dimensions

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Ferner kann der reflektierende Belag die Form mehrerer miteinander abwechselnder Schichten eines dielektrischen Materials mit hohem Brechungsindex und eines dielektrischen Materials mit niedrigem Brechungsindex, beide mit sehr hohem Schmelzpunkt, haben. Zirkoniumdioxid hat sich als zweckmäßig für das dielektrische Material mit hohem Brechungsindex erwiesen und Siliziumoxid für das dielektrische Material mit niedrigem Brechungsindex. Vorzugsweise hat jede Schicht von Dicke von etwa 1/4 der projektierten Wellenlänge der Lampe und insgesamt sind etwa zwanzig_Schichten in dem Belag vorgesehen. Further, the reflective coating may take the form of a plurality of alternating layers of a dielectric material with a high refractive index and a dielectric material with a low refractive index, both of which have a very high melting point. Zirconia has been found useful for the high refractive index dielectric material and silicon oxide for the low refractive index dielectric material. Preferably each layer has a thickness of about 1/4 of the projected wavelength of the lamp and a total of about twenty layers are provided in the covering.

Ein bevorzugter Erfindungagedanke liegt in einer Gasentladungslampe, die durch einen atrahlungadurchläeaigen rohrförmigen Kolben, der einen Plasmaraum von bogenförmiger Gestalt und kapillarem Querschnitt einschließt, in dem eine ionisierbare gasförmige Substanz, beispielsweise Quecksilberdampf enthalten ist, kombiniert mit einem reflektierenden Belag auf der Rückseite des rohrförmigen Kolbens, der aus einem Material derart geformt ist, daß sich mehrere Schichten eines dielektrischen Materials mit hohem Index jeweils mit Schichten aus einem dielektrischen Material mit niedrigem Index abwechseln und jede solche Schicht eine Dicke von etwa 1/4 der projektierten Wellenlänge der Lampe hat, und mit einem Anschluß syst em zum Ankuppeln der Lampe an eine Energiequelle zum Anlegen einer Betriebsspannung an den Plasmaraum, gekennzeichnet ist·A preferred idea of the invention lies in a gas discharge lamp, which is formed by a tube-shaped tube that is permeable to radiation Flask which encloses a plasma space of arcuate shape and capillary cross-section in which an ionizable gaseous substance, for example mercury vapor, is contained is combined with a reflective coating on the back of the tubular envelope formed of a material such that multiple layers of high index dielectric material alternate with layers of low index dielectric material and each Layer has a thickness of about 1/4 of the projected wavelength of the lamp, and with a connection system for coupling the Lamp to an energy source for applying an operating voltage to the plasma space, is characterized

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorzüge der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnung, Darin zeigen:Further details, features and advantages of the invention emerge from the following description of an exemplary embodiment with reference to the accompanying drawing, in which:

Pig.1 eine vergrößerte Seitenansicht, teilweise im Längsschnitt, einer nach der Lehre der Erfindung konstruierten Gasentladungslampe;Pig.1 is an enlarged side view, partly in longitudinal section, of a gas discharge lamp constructed according to the teaching of the invention;

Pig·2 eine vergrößerte Schnittansicht nach der Linie 2-2 der Pig.1.Pig 2 is an enlarged sectional view taken along line 2-2 of FIG Pig. 1.

In der dargestellten Ausführungsform der Erfindung hat eineIn the illustrated embodiment of the invention has a

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Gasentladungslampe 10 vom Quecksilberdampftyp eine besondere bogenförmige Gestalt, die sie zur Verwendung als Lichtquelle in einem Gerät geeignet macht, wie es in der oben erwähnten US-Patentanmeldung Serial Nr. 671 653 zur Belichtung eines Photoresist bei der Herstellung von Halbleitereinrichtungen verwendet wird· Die Lampe 10 weist einen rohrförmigen Lampenkolben 12 aus Glas oder einem anderen strahlungsdurchlässigen Material auf und der Mittelteil des Kolbens, der den Hauptteil der nutzbaren Strahlung emittiert, ist bogenförmig gekrümmt. In dem dargestellten Beispiel erstreckt sich der bogenförmige Mittelteil des Lampenkolbens beispielsweise über einen Bogen von etwa 85° mit einem Radius von etwa 14 mm; selbstverständlich ist jedoch weder die Länge noch die Stärke der Krümmung von Bedeutung, ausgenommen im Hinblick auf das spezielle Gerät, in dem die Lampe verwendet wird.Gas discharge lamp 10 of the mercury vapor type has a special one arcuate shape which makes it suitable for use as a light source in a device such as that in that mentioned above U.S. Patent Application Serial No. 671,653 to expose a photoresist used in the manufacture of semiconductor devices. The lamp 10 comprises a tubular lamp envelope 12 made of glass or another radiation-permeable material and the central part of the bulb, which emits the main part of the usable radiation, is curved in an arc shape. In the example shown, the arcuate central part extends of the lamp bulb, for example, over an arc of about 85 ° with a radius of about 14 mm; however, of course, neither the length nor the magnitude of the curvature is important, except with regard to the particular device in which the lamp is installed is used.

Der Innenraum des Kolbens 12 hat die Form einer Bohrung oder eines Plasmaraums 14 von kapillaren Abmessungen, beispielsweise mit einem Durchmesser von etwa 2 mm. Der Kolben endigt an jedem Ende in massiven zylindrischen Stummeln 16, 18, die einen etwas kleineren Durchmesser haben als der Hauptkörper des Lampenkolbens. Der Plasmaraum endigt ein kurzes Stück einwärts von den Stummeln und an jedem Ende ist eine Elektrode 20 bzw· 22 vorgesehen. Die Elektrode 20 ist mittels eines nicht gezeigten Leiters mit einer hochflexiblen Verbindungsleitung 24 verbunden, die mit ihrem einen Ende an dem Stummel 16 mechanisch befestigt ist und an ihrem anderen, freien Ende ein Verbindungsstück, etwa einen Bananenstecker 26, trägt. Die Leitung 24 kann aus einem beliebigen geeigneten Material sein, beispielsweise eine schlauohförmige Silberlitze.The interior of the piston 12 is in the form of a bore or a plasma space 14 of capillary dimensions, for example with a diameter of about 2 mm. The piston ends at each end in massive cylindrical stubs 16, 18, which have a somewhat have a smaller diameter than the main body of the lamp envelope. The plasma space ends a short distance inward from the Stubs and at each end an electrode 20 and 22 respectively. The electrode 20 is connected to a highly flexible connecting line 24 by means of a conductor (not shown), which is mechanically fastened at one end to the stub 16 and at its other, free end a connecting piece, such as a banana plug 26, carries. The line 24 can from any suitable material, for example a loop-shaped silver braid.

In Einrichtungen, bei denen eine R.P.-Erregung verwendet wird, sind die Elektroden 20, 22 weggelassen und stattdessen andere Elemente sum Ankuppeln der Spannung vorgesehen. Hierzu wird auf die US-Patentanmeldung Serial Nr. 441 600, eingereicht am 11,2.1974, verwiesen, die eine Weiterführung einer zurüokgewie-In facilities where R.P. excitation is used, the electrodes 20, 22 are omitted and instead other elements are provided for coupling the voltage. This is done on U.S. Patent Application Serial No. 441,600, filed February 11, 1974, which is a continuation of a backward-looking

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eeuen US-Patentanmeldung Serial Nr. 337 060, eingereicht am 1»3.1973 ist. Ferner wird noch auf die Veröffentlichung "Lamps and Wavelengths of Mercury 198" (Research Paper RP 2091) von Meggers und Oliver in "Journal of the National Bureau of Standards", Bd.44, Mai 1950, und auf "High Intensity Low Noise Rubidium Light Source" von R.G. Brewer in "The Review of Scientific Instruments", Bd.32, Nr.J2 (Dez. 1961), S.1356-1358 aufmerksam gemacht.New U.S. Patent Application Serial No. 337,060, filed on 1 »3.1973 is. The publication "Lamps and Wavelengths of Mercury 198 "(Research Paper RP 2091) by Meggers and Oliver in" Journal of the National Bureau of Standards ", Vol. 44, May 1950, and on" High Intensity Low Noise Rubidium Light Source "by R.G. Brewer in" The Review of Scientific Instruments ", Vol. 32, No. J2 (Dec. 1961), pp. 1356-1358 made aware.

Der Stummel 18 am anderen Ende des Lampenkolbens 12 ist mit einem starren Befestigungssockel 28 versehen, der besondere Eigenschaften hat, wie dies in der oben erwähnten US-PS 3 878 419 im Detail beschrieben ist. Der Sockel und seine funktioneile Verbindung mit dem Kolben sind solcher Art, daß eine Gasentladungslampe geschaffen ist, die derart an ihrer Verwendungsstelle erstmals oder im Austausch installiert wird, daß das Plasma mit einem hohen Maß an Präzision in die richtige Lage kommt. Wie in der erwähnten PS erläutert, hat der Sockel 28 die Form eines rechtwinkeligen hexagonalen Prismas, das eine konzentrische axiale Bohrung 30 enthält, die an ihrem einen Ende mit einer ebenen Fläche 32 geschlossen ist, die senkrecht zu den gemeinsamen Achsen des hexagonalen Prismas und dessen innerer Bohrung liegt. Durchmesser und Länge der Bohrung 30 sind so gewählt, daß der Stummel 18 darin mit ausreichendem Spielraum aufgenommen ist, um ihn relativ zum Sockel in Längsrichtung, in seitlicher Richtung und bezüglich der Winkellage einstellen zu können. Auf diese Weise können beim Zusammenbau des Kolbens und des Sockels die räumliche Lagebeziehung und Orientierung dieser beiden Elemente genau justiert werden, beispieleweise mittels einer passenden Lehre oder Einspannvorrichtung; wenn die richtige Lage erreicht ist, kann sie durch Befestigen des Sockels am Stummel mit einem Lötmittel 34 oder einem sonstigen geeigneten Mittel fixiert werden.The stub 18 at the other end of the lamp bulb 12 is provided with a rigid mounting base 28, the special Has properties as described in detail in the aforementioned US Pat. No. 3,878,419. The base and its functional connection with the bulb are such that a gas discharge lamp is created that is installed at its point of use for the first time or as a replacement that the Plasma comes into the right position with a high degree of precision. As explained in the aforementioned PS, the base 28 has the Shape of a right-angled hexagonal prism containing a concentric axial bore 30, which at one end with a flat surface 32 is closed, which is perpendicular to the common axes of the hexagonal prism and its inner bore. The diameter and length of the bore 30 are selected so that the stub 18 is received therein with sufficient clearance to move it relative to the base in the longitudinal direction, in to be able to adjust the lateral direction and with respect to the angular position. In this way, when assembling the piston and of the base, the spatial relationship and orientation of these two elements can be precisely adjusted, for example by means of a suitable jig or jig; when the correct position is achieved, it can be fixed by fastening the base may be fixed to the stub with solder 34 or other suitable means.

Gemäß der Erfindung ist auf der Rückseite des Kolbens 12 ein mehrschichtiger Belag 36 angebracht. Dieser Belag ist aus ab-According to the invention, a multilayer covering 36 is attached to the back of the piston 12. This covering is made of

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wechselnden Schichten eines dielektrischen Materials mit hohem Index und eines dielektrischen Materials mit niedrigem Index, die sehr hohe Schmelzpunkte haben, zusammengesetzt. Geeignete dielektrische Materialien sind beispielsweise Zirkoniumdioxid als Material mit hohem Index, und Siliziumoxid als Material mit niedrigem Index· Es sei erwähnt, daß die Betriebstemperatur der Lampe eigentlich rotglühend ist, so daß übliche metallische Beläge nicht geeignet sind. Zudem macht es die gekrümmte räumliche Gestalt der Lampe sehr schwer, wenn nicht unmöglich, entfernt aufgestellte sphärische Reflektoren zu verwenden. Sie Vielzahl von Schichten, beispielsweise in der Größenordnung von etwa zwanzig, werden auf geeignete Weise, etwa durch Aufdampfen im Vakuum mit Erhitzung durch einen Elektronenstrahl, aufgebracht. Jede Schicht hat eine Sicke von etwa 1/4 der projektierten Wellenlänge des Systems. Sieser vielschichtige Belag bildet einen Reflektor, der das normalerweise an der Lampenrückseite verlorengehende Licht reflektiert und damit die nutzbare Lichtausbeute an der unbelegten Seite der Lampe steigert, wie in Pig.2 bei 38 angedeutet. Sieser Bogenwinkel des nutzbaren Lichts liegt in der Größenordnung von beispielsweise 60°· Sie Lichtauebeute der Lampe wird vorzugsweise im spektralen Kontinuum erhöht, wo das Plasma im Vergleich zu den Emissionslinien relativ transparent ist. Dadurch reduziert sich der Grad der spektralen Kohärenz, wodurch lästige Interferenzerscheinungen in den zagehörigen Abbildungs- und Photokopiersystemen herabgesetzt werden.alternating layers of a high index dielectric material and a low index dielectric material, which have very high melting points. Suitable dielectric materials are, for example, zirconium dioxide as the high index material, and silicon oxide as the low index material · It should be noted that the operating temperature the lamp is actually glowing red, so that conventional metallic coatings are not suitable. It also makes the curved spatial Shape of the lamp very difficult, if not impossible, to use remotely positioned spherical reflectors. she Multiple layers, for example on the order of about twenty, are formed in a suitable manner, such as by vapor deposition applied in a vacuum with heating by an electron beam. Each layer has a bead about 1/4 of the projected wavelength of the system. This forms a multi-layered surface a reflector that reflects the light normally lost on the back of the lamp and thus the usable light output increases on the unoccupied side of the lamp, as indicated in Pig. 2 at 38. This arc angle of usable light is in the order of magnitude of, for example, 60 ° · The luminous efficiency of the lamp is preferably in the spectral continuum where the plasma is relatively transparent compared to the emission lines. This reduces the degree of spectral coherence, which causes annoying interference phenomena in the associated imaging and photocopying systems will.

Aus Vorstehendem ist ersichtlich, daß die Erfindung eine neue, fortschrittliche Gasentladungslampe vorsieht, die eine gesteigerte Nutzlichtausbeute und ein höheres relatives Kontinuum hat. Gegenüber dem beschriebenen und dargestellten Aueführungsbeisplel sind im Rahmen der Erfindung, der durch die Ansprüche gegeben ist, Abänderungen möglich.From the foregoing it can be seen that the invention provides a new, advanced gas discharge lamp which has increased useful light output and a higher relative continuum. With respect to the described and illustrated example, modifications are possible within the scope of the invention, which is given by the claims.

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Claims (11)

PATENTANWÄLTE A. GRUNECKERPATENT LAWYERS A. GRUNECKER «PI (NU«PI (NU H. KINKELDEY 27 34 130 W. STOCKMAlRH. KINKELDEY 27 34 130 W. STOCKMAlR ^ ^ (JR ΙΝ3 ^W-LtCALTLO*^ ^ (JR ΙΝ3 ^ W-LtCALTLO * K. SCHUMANNK. SCHUMANN DR HER NAT DIPU PUN'SDR HER NAT DIPU PUN'S P. H. JAKOBP. H. JAKOB GW-MGGW-MG G. BEZOLDG. BEZOLD DR FBI NAT. ■ OU V -CHT MDR FBI NAT. ■ OU V -CHT M 8 MÜNCHEN 228 MUNICH 22 MAXIMILIANSTRASSE 4SMAXIMILIANSTRASSE 4S AnsprücheExpectations /!..Gasentladungslampe, gekennzeichnet durch/! .. gas discharge lamp, characterized by ^-~/^ einen strahlungsdurchlässigen, rohrförmigen Kolben (12), der einen Plasmaraum (14) einschließt, in dem eine ionisierbare gasförmige Substanz enthalten ist, ^ - ~ / ^ a radiation-permeable, tubular piston (12) which encloses a plasma space (14) in which an ionizable gaseous substance is contained, einen reflektierenden Belag (36) auf der Rückseite des rohrförmigen Kolbens (12), unda reflective coating (36) on the back of the tubular piston (12), and Vorrichtungsteile (24, 26, 22, 20) zum Ankuppeln der Lampe an eine Energiequelle in der Weise, daß an den Plasmaraum (14) eine Betriebsspannung angelegt wird.Device parts (24, 26, 22, 20) for coupling the lamp to an energy source in such a way that to the plasma space (14) an operating voltage is applied. 2. Gasentladungslampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaraum (14) bogenförmig ist und daß der reflektierende Belag (36) aus dielektrischem Material besteht.2. Gas discharge lamp according to claim 1, characterized in that that the plasma space (14) is arcuate and that the reflective coating (36) consists of dielectric material. 3. Gasentladungslampe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaraum (14) kapillare Abmessungen hat und daß der reflektierende Belag (36) aus dielektrischem Material ist.3. Gas discharge lamp according to claim 1 or 2, characterized in that the plasma space (14) has capillary dimensions and in that the reflective coating (36) is made of dielectric material. 4. Gasentladungslampe nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ionisierbare gasförmige Substanz Quecksilberdampf ist und daß der reflektierende Belag (36) aus dielektrischem Material ist.4. Gas discharge lamp according to one of the preceding claims, characterized in that the ionizable gaseous substance is mercury vapor and that the reflective coating (36) is made of dielectric material. 809807/0582809807/0582 TELEFON (Οββ) Q9QSS9 TELEX Οβ-3βββΟ TELEGRAMME MONAPAT TELEKOPIERER TELEPHONE (Οββ) Q9QSS9 TELEX Οβ-3βββΟ TELEGRAMS MONAPAT TELECOPER OFWQiNAL INSPECTEDOFWQiNAL INSPECTED 273413Q273413Q 5. Gasentladungslampe nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der reflektierende Belag (36) die Form mehrerer miteinander abwechselnder Schichten aus einem dielektrischen Material mit hohem Indox und einem dielektrischen Material mit niedrigem Index hat, die beide einen sehr hohen Schmelzpunkt haben.5. Gas discharge lamp according to one of the preceding claims, characterized in that the reflective covering (36) takes the form of a plurality of alternating layers a high indox dielectric material; and a dielectric material Has low index material, both of which have a very high melting point. 6. Gasentladungslampe nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß das dielektrische Material mit hohem Index Zirkoniumdioxid ist.6. Gas discharge lamp according to claim 5 »characterized in that that the high index dielectric material is zirconia. 7. Gasentladungslampe nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das dielektrische Material mit niedrigem Index Siliziumoxid ist.7. Gas discharge lamp according to claim 5 or 6, characterized in that that the low index dielectric material is silicon oxide. 8. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 5-7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten jeweils eine Dicke von etwa 1/4 der projektierten Wellenlänge der lampe haben.8. Gas discharge lamp according to one of claims 5-7, characterized in that that the layers each have a thickness of about 1/4 of the projected wavelength of the lamp. 9. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 5-8, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Belag (36) etwa zwanzig Schichten eines dielektrischen Materials vorgesehen sind.9. Gas discharge lamp according to one of claims 5-8, characterized in that that about twenty layers of a dielectric material are provided in the covering (36). 10. Gasentladungslampe nach einem der Ansprüche 5-9» dadurch gekennzeichnet, daß der Belag (36) derart angebracht ist, daß er an der Vorderseite der Lampe einen Bogenwinkel des nutzbaren Lichtes in der Größenordnung von 60° vorsieht.10. Gas discharge lamp according to one of claims 5-9 »characterized in that that the covering (36) is attached in such a way that it has an arc angle of the usable at the front of the lamp Provides light in the order of 60 °. 11. Gasentladungslampe, gekennzeichnet durch11. Gas discharge lamp, characterized by einen strahlungsdurchlässigen rohrförmigen Kolben (12), der einen Plasmaraum (14) von bogenförmiger Gestalt und kapillarem Querschnitt einschließt, in dem Quecksilberdampf enthalten 1st,a radiation-permeable tubular piston (12) which has a plasma space (14) of arcuate shape and capillary Includes cross-section in which mercury vapor is contained, einen reflektierenden Belag (36) an der Rückseite des rohrförmigen Kolbens (12), der aus etwa zwanzig sich abwechselnden Schichten eines dielektrischen Materials mit hohem Indexa reflective covering (36) on the back of the tubular Piston (12) made up of about twenty alternating layers of high index dielectric material 809807/0582809807/0582 und eines dielektrischen Materials mit niedrigem Index gebildet ist, wobei das dielektrische Material mit hohem Index Zirkoniumdioxid und das dielektrische Material rait niedrigem Index Siliziumoxid ist, und wobei jede Schicht eine Dicke von etwa 1/4 der projektierten Wellenlänge der lampe hatr undand a low index dielectric material, the high index dielectric material being zirconia and the low index dielectric material being silicon oxide, and each layer having a thickness of about 1/4 the projected wavelength of the lamp r and Vorrichtungsteile (24, 26, 22, 20) zum Ankuppeln der Lampe an eine Energiequelle in der Weise, daß an den Plasmaraum eine Betriebsspannung angelegt wird·Device parts (24, 26, 22, 20) for coupling the lamp to an energy source in such a way that an operating voltage is applied to the plasma space 809807/0582809807/0582
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