[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

DE2724858A1 - Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung - Google Patents

Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung

Info

Publication number
DE2724858A1
DE2724858A1 DE19772724858 DE2724858A DE2724858A1 DE 2724858 A1 DE2724858 A1 DE 2724858A1 DE 19772724858 DE19772724858 DE 19772724858 DE 2724858 A DE2724858 A DE 2724858A DE 2724858 A1 DE2724858 A1 DE 2724858A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
correction
links
link chain
transmission element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19772724858
Other languages
English (en)
Other versions
DE2724858B2 (de
DE2724858C3 (de
Inventor
Alfons Dipl Ing Ernst
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE19772724858 priority Critical patent/DE2724858A1/de
Priority to CH407778A priority patent/CH632592A5/de
Priority to AT0306378A priority patent/AT376036B/de
Priority to US05/907,662 priority patent/US4170828A/en
Priority to GB21851/78A priority patent/GB1591009A/en
Priority to FR7816333A priority patent/FR2393264A1/fr
Priority to JP53064479A priority patent/JPS5847001B2/ja
Priority to IT12638/78A priority patent/IT1104247B/it
Publication of DE2724858A1 publication Critical patent/DE2724858A1/de
Publication of DE2724858B2 publication Critical patent/DE2724858B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2724858C3 publication Critical patent/DE2724858C3/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04GELECTRONIC TIME-PIECES
    • G04G17/00Structural details; Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0009Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders
    • G01D5/34753Carriages; Driving or coupling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

ίίΠήο HüIDSNHAlN GMBH 23- Mai 1977
Längenraeßgerät mit Korrektureinrichtung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Fehlerkompensation bei Präzisionsmaschinen und Meßgeräten, insbesondere auf eine Korrektureinrichtung für ein gekapseltes Längenmeßgerät zum Messen der Relativlage zweier Objekte. Diese beiden Objekte können von Bett und Schlitten der Prazisionsinaschine gebildet werden.
Es sind Korrektureinrichtungen zur Kompensation von Maschinenfehlern bekannt. In der DT-Po 866 402 wird zum Stand der Technik eine Meßeinrichtung mit Korrektur— lineal genannt, deren Ablesemarke mechanisch in eine dem jeweiligen Fehler einer Spindel entsprechende Stellung gegenüber dem Maßstab gesteuert wird. Aus der US—PS 3 039 O32 ist ein Stellungsmeßsystem mit einer Korrek— tux'ochablone bekannt, die von einem Fühler abgetastet wird, der direkt auf den Meßwertgeber (Drehmelder) einwirkt. Die DT—AS 1 231 595 zeigt eine Vorrichtung zur elektrischen Fernanzeige der Bewegungen eines beweglichen Maschinenbauteiles, bei der zum Ausgleich von Fehlern ein Kompensationssystem vorhanden ist, welches ein verformbares Metallband aufweist, das von einem Geber abgetastet wird. Kin weiteres Fehlerkorrektur— system ist in der DT-OS 2 04? 505 beschrieben. Dort erfährt das numerische Meßsystem einer Maschine durch ein die Korrekturschablone abtastendes Organ eine Zu— sotzbewegunp; entsprechend dem ,jeweiligen Fehlerwert der Maschinenspindel.
809849/0387
Die genannten Ko.rrektureinrichtungen arbeiten zum Teil mit zusätzlichen elektrischen Stellgliedern oder Dreh— gebern oder aber sie sind direkt an die Maschine gekoppelt. In allen Fällen sind sie jedoch konstruktiv sehr aufwendig und dementsprechend kostspielig.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, ein Längenmeßgerät mit Korrektureinrichtung zu schaffen, die einfach — d.h. kostengünstig — aufgebaut ist, die platzsparend ist, die einen großen Korrekturbereich aufweist, die auch nichtlineare Korrekturen erlaubt, deren Eigenfehler vernachlässig— bar klein bleibt und die auch bei großen Meßlängen verwenbar ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das Korrekturprofil durch eine in Meßrichtung verlaufende Gliederkette gebildet wird, deren Glieder quer zur Meß— richtung einstellbar sind, und daß die Abtasteinheit des Meßgerätes mittels eines Ubertragungselementes mit der Gliederkette und einem der vorgenannten Objekte in Wirkverbindung steht.
Ein weiterer Vorteil besteht gemäß der Erfindung darin, daß die Gliederkette innerhalb eines Hohlprofiles angeordnet ist, und daß die einzelnen Glieder entsprechend dem zu korrigierenden Fehlerverlauf von außerhalb des Hohlprofiles mittels Exzentern auslenkbar sind.
An einem Ausführungsbeispiel soll anhand der Zeichnung die Erfindung noch näher erläutert werden.
Es zeigt
Figur 1 einen Querschnitt durch ein gekapseltes Längenmeßgerät,
- 5 -809849/0387
Figur 2 eine Ansicht auf Montagefuß, Schwert,
Winkelhebel und teilweise dargestelltes Korrekturprofil,
Figur 3 das Korrekturprofil mit ausgelentcten Gliedern,
Figur 4 Gliederkettenausschnitt mit kammartig ineinandergreifenden elastischen Gelenken,
Figur 5 Ansicht auf eine mit Teilung versehene Abtastplatte.
Die vereinfachte Schnittdarstellung in Figur 1 zeigt ein gekapseltes Längenmeßgerät mit einem Hohlprofil 1, welches an dem Bett 2 einer Bearbeitungs— oder Meßmaschine in beliebiger Weise fest angebracht ist. Ein Schlitten 3 der Bearbeitungs— oder Meßmaschine trägt einen Montagefuß 4, der beispielsweise mit Schrauben 5 an dem Schlitten 3 befestigt ist. Der Montagefuß 4 weist ein Schwert 6 auf, das durch einen Schlitz 1 a in das im übrigen vollkommen geschlossene Hohlprofil 1 hineinragt. An einer Innenfläche des Hohlprofiles 1 ist über eine elastische Klebeschicht ein Maßstab 8 angebracht, der das Meßnormal verkörpert. Am Maßstab 8 stützt sich eine Abtasteinheit 9 ab, die mit an sich bekannten, in Figur 1 nicht dargestellten Mitteln die Teilung des Maßstabes abtastet. Die Relativbewegung von Maschinenbett 2 und Maschinenschlitten 3 wird vom Montagefuß 4 und dem Schwert 6 über einen Winkelhebel auf die Abtasteinheit 9 und den Maßstab 8 übertragen. Die Führungsfehler von Maschinenbett 2 und Maschinen— schlitten 3 würden ohne Korrektlireinrichtung ebenfalls voll übertragen und gingen in das Meßergebnis als Fehler ein. Das Längenmeßgerät weist daher eine Korrektureinrichtung auf, die im Innern des Hohlprofiles angeordnet ist. Einzelne, in sich steife Glieder 11' bilden eine Gliederkette 11, die mittels Exzentern 12 von außen quer zur Meßrichtung einzeln ausgelenkt werden können. Der Winkelhebel 10 ist um eine Achse 10' schwenkbar mit der Abtasteinheit 9 verbunden. Ein freies Ende des Winkel— hebeis 10 trägt eine Rolle 13, die bei Verschiebung dem
809849/0387
LinienziUfr der Gliederkette folgt und den Winkelhebel 10 um die Achse 10' verschwenkt. Die Schwenkbewegung des Winkelhebels 10 entspricht dem zu korrigierenden Fehler— verlauf der Einrichtung. Die Korrektur wird durch einen zweiten Arm des v/inkelhebels — der auch als Exzenter 14 ausgebildet sein kann — vorgenommen, der die Schwenkbewegung des Winkelhebels in eine Relativbewegung zwischen der Abtasteinheit 9 und dem Schwert "6 umsetzt. Dar, durch den Schütz 1a des Honlprofiles ragende Schwert 6 wird von dachförmig angeordneten Dichtlippen 15 eng umschlossen, so daß auch an dieser Stelle die sichere Kapselung der Meßeinrichtung gewährleistet ist.
In der Figur 2 ist zur besseren Verständlichkeit nur ein Teil der Bauelemente in der Seitenansicht gezeigt. Der Mont a ge fuß 4 mit den Bohrungen 4' für die Befestigungsschrauben trägt das Schwert 6, dessen Oberseite mit einem zylindrischen Mitnehmer 6' versehen ist, an dem der Winkel— hebel 10 mit seinem Exzenter 14 angreift. Die Abtastein— heit 9 ist als Fragment nur soweit dargestellt, daß die Befestigung des Winkelhebels 10 mittels Achse 10' in ihr erkennbar ist. Wird nun der Montagefuß 4 in Pfeilrichtung verschoben, folgt die Abtasteinheit 9 dieser Längsbewegung und der Winkelhebel 10 mit der Rolle 13 tastet die Gliederkette 11 ab, deren Glieder 11' über Exzenter 12 entsprechend dem Fehlerverlauf ausgelenkt sind. Dabei verschwenkt sich der Winkelhebel 10 um seine Achse 10' und aufgrund des Exzenters 14 verändert sich der Abstand zwischen der Abtasteinheit 9 und dem zylindrischen Mitnehmer 61, also auch dem Montagefuß. Der Führungsfehler, dem der Montagefuß 4 samt dem Maschinenschlitten 3 unterliegt, kann also durch eine von der einstellbaren Gliederkette 11 verursachte Relativbewegung zwischen Abtasteinheit 9 und Montagefuß kompensiert werden.
809849/0387
1 —
In der Figur 5 ist ein Korrekturprofil 11 gezeigt, bei dem die einzelnen Glieder 11' durch die Exzenter 12 ausgelenkt sind. Da sich durch die Auslenkung Längen— änderungen ergeben, sind die einzelner Glieder mit Stiften 16 und Ausschnitten 17 versehen, die Gelenke bilden, bei denen Längsverschiebungen möglich sind.
Eine Variante der Gelenke, die eine Längsb'eweglichkeit erlauben, ist in Figur M- dargestellt. Die Enden der Glieder 11' sind mit kammartig ineinandergreifenden elastischen Fonnteilen 18 versehen.
In der Figur 5 ist eine mit einer Teilung 19 versehene Abtastplatte 9' gezeigt. Bei dieser Ausführung handelt es sich — wie bei Figur 1 — um ein lichtelektrisches digitales Längenmeßgerät. Bei einer einfachen Bauart ist die Abtasteinheit 9 nicht am Maßstab 8 geführt, sondern ist direkt über einen Mitnehmer 20 mit einem der obengenannten Objekte 3 verbunden. Die Abtast— platte 9* ist über Blattfedern 21 mit dem Mitnehmer so verbunden, daß sie vom Übertragungselement 10, und 14 in Meßrichtung bewegt werden kann.
Es liegt im Wesen der Erfindung, daß sie sich nicht auf lichtelektrische digitale Längenmeßgeräte beschränkt, sondern die Erfindung ist ebenso vorteilhaft bei optischen, induktiven, kapazitiven und magnetischen Meßgeräten einsetzbar. Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die Korrektur von Führungsfehlern beschränkt, sondern auch zur Korrektur von inneren Teilungsfehlern geeignet.
809849/0387

Claims (1)

  1. DU. JOHANKKC IiKIL^iIlAIN' GMBH 23- Mai 1977
    Patentansprüche
    Einrichtung zur Fehlerkompensation bei Präzisions— maschinen und Meßgeräten, insbesondere Korrektureinrichtung für ein gekapseltes Längenmeßgerät zum Messen der Relativlage zweier Objekte, dadurch gekennzeichnet, daß ein Korrekturprofil durch eine in Meßrichtung verlaufende Gliederkette (11) gebildet wird, deren Glieder (11') quer zur Meßrichtung einstellbar sind, und daß die Abtasteinheit (9) des Meßgerätes mittels eines Ubertragungselementes (10, 13 u. 14) mit der Gliederkette (11) und einem der vorgenannten Objekte (3) in Wirkverbindung steht.
    2.) Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gliederkette (11) innerhalb eines Hohl— profiles (1) angeordnet ist, und daß die einzelnen Glieder (11') entsprechend dem zu korrigierenden Fehlerverlauf von außerhalb des Hohlprofiles (1) mittels Exzentern (12) auslenkbar sind.
    3.) Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenke der einzelnen Glieder (11') eine Längsverschiebung der Glieder (11') erlauben.
    4.) Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenke durch kammartig ineinandergreifende elastische Formteile (18) gebildet werden.
    809849/0387
    c,.) Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungselement (10) von einem in der Abtasteinheit (9) gelagerten ,v'inkelhebel gebildet wird, der an seinem einen freien Ende eine am Korrekturprofil (11) anliegende Rolle (13) aufwei.st, und dessen zweites freie Ende über ein Schwert und einen Montage fuß (4) an einem der Objekte ($) anliegt.
    6.) Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite freie Ende von einem Exzenter (14) gebildet wird.
    7.) Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungselement (10, 13 u- 14) direkt auf eine mit einer Teilung (19) versehene Abtast— platte (91) einwirkt.
    809849/0387
DE19772724858 1977-06-02 1977-06-02 Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung Granted DE2724858A1 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772724858 DE2724858A1 (de) 1977-06-02 1977-06-02 Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung
CH407778A CH632592A5 (de) 1977-06-02 1978-04-17 Lagemesseinrichtung mit korrektureinrichtung.
AT0306378A AT376036B (de) 1977-06-02 1978-04-27 Einrichtung zur fehlerkompensation
US05/907,662 US4170828A (en) 1977-06-02 1978-05-19 Error correction apparatus for longitudinal measuring instrument
GB21851/78A GB1591009A (en) 1977-06-02 1978-05-24 Error compensation devices
FR7816333A FR2393264A1 (fr) 1977-06-02 1978-05-31 Appareil de mesure de longueur avec dispositif correcteur
JP53064479A JPS5847001B2 (ja) 1977-06-02 1978-05-31 修正装置を有する測長器
IT12638/78A IT1104247B (it) 1977-06-02 1978-05-31 Apparecchio per misure lineari con dispositivo correttore

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772724858 DE2724858A1 (de) 1977-06-02 1977-06-02 Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2724858A1 true DE2724858A1 (de) 1978-12-07
DE2724858B2 DE2724858B2 (de) 1979-03-22
DE2724858C3 DE2724858C3 (de) 1979-11-22

Family

ID=6010495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772724858 Granted DE2724858A1 (de) 1977-06-02 1977-06-02 Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4170828A (de)
JP (1) JPS5847001B2 (de)
AT (1) AT376036B (de)
CH (1) CH632592A5 (de)
DE (1) DE2724858A1 (de)
FR (1) FR2393264A1 (de)
GB (1) GB1591009A (de)
IT (1) IT1104247B (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4430799A (en) * 1981-09-17 1984-02-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error compensation system
US4461083A (en) * 1982-08-11 1984-07-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length or angle measuring instrument
US4475289A (en) * 1982-03-25 1984-10-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring device
US4490914A (en) * 1982-01-15 1985-01-01 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring instruments
US4527056A (en) * 1982-05-04 1985-07-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring device
US5117376A (en) * 1989-05-23 1992-05-26 Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. Incremental measuring system

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2820753C2 (de) * 1978-05-12 1980-03-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen
DE3208591C2 (de) * 1982-03-10 1986-06-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem
DE3215336C1 (de) * 1982-04-24 1983-06-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Gekapselte Messeinrichtung
EP0118607B1 (de) * 1983-02-12 1989-02-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Messeinrichtung
DE3311562C1 (de) * 1983-03-30 1984-05-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur
AT395070B (de) * 1983-11-22 1992-09-10 Emr Elektronische Mess Und Reg Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung
AT379449B (de) * 1984-07-03 1986-01-10 R S F Elektronik Ohg Rechtsfor Laengenmesseinrichtung
DE10046818B4 (de) * 2000-09-20 2008-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
CN110375607B (zh) * 2019-08-07 2021-01-08 天津市增益达精锻齿轮科技有限公司 一种汽车锥齿轮自动检测跳动装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US226162A (en) * 1880-04-06 Island
US2336550A (en) * 1943-05-01 1943-12-14 Fisher Scientific Co Compensating spectrophotometer
DE866402C (de) * 1944-02-29 1953-02-09 Leitz Ernst Gmbh Messeinrichtung mit einer Vorrichtung zur Berichtigung des Messstreckenfehlers
CH266408A (de) * 1945-09-01 1950-01-31 Gmbh Ernst Leitz Vorrichtung zur Berichtigung der Messfehler von mit optischen Messeinrichtungen versehenen Maschinen und Instrumenten.
US3039032A (en) * 1960-03-30 1962-06-12 Andrew H Fowler Error compensator for a position transducer
US2995826A (en) * 1960-05-13 1961-08-15 Optomcchanisms Inc Work layout means
DE1157877B (de) * 1960-12-14 1963-11-21 Wenczler & Heidenhain Vorrichtung zur Geradfuehrung eines verschiebbaren Organs, z.B. Taster, Schlitten od. dgl. bei Praezisionsmaschinen
US3347116A (en) * 1965-02-23 1967-10-17 Pratt & Whitney Inc Automatic measuring lead screw compensator
DE2042505A1 (de) * 1970-08-27 1972-03-02 Werkzeugmasch Heckert Veb Korrektureinrichtung für numerische Meßsysteme
DE2059957A1 (de) * 1970-12-05 1972-06-15 Scharmann & Co Einrichtung zur Fehlerkompensation an Drehtischen von Werkzeugen,insbesondere von Horizontal-Bohr- und Fraeswerken
GB1393035A (en) * 1971-07-09 1975-05-07 Olivetti & Co Spa Precision measuring apparatus with aerostatic bearings
US3816003A (en) * 1973-03-12 1974-06-11 Dynamics Res Corp Sealed linear encoder
US4047586A (en) * 1976-03-23 1977-09-13 Pitney-Bowes, Inc. Zero load adjustment apparatus for spring weighing scale

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4430799A (en) * 1981-09-17 1984-02-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error compensation system
US4490914A (en) * 1982-01-15 1985-01-01 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring instruments
US4475289A (en) * 1982-03-25 1984-10-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring device
US4527056A (en) * 1982-05-04 1985-07-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Error correction system for position measuring device
US4461083A (en) * 1982-08-11 1984-07-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length or angle measuring instrument
US5117376A (en) * 1989-05-23 1992-05-26 Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. Incremental measuring system

Also Published As

Publication number Publication date
DE2724858B2 (de) 1979-03-22
CH632592A5 (de) 1982-10-15
IT1104247B (it) 1985-10-21
ATA306378A (de) 1984-02-15
JPS5847001B2 (ja) 1983-10-20
FR2393264B1 (de) 1981-11-06
JPS542766A (en) 1979-01-10
AT376036B (de) 1984-10-10
GB1591009A (en) 1981-06-10
FR2393264A1 (fr) 1978-12-29
IT7812638A0 (it) 1978-05-31
DE2724858C3 (de) 1979-11-22
US4170828A (en) 1979-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2712421C2 (de) Gekapselte Längenmeßeinrichtung
DE2724858C3 (de)
CH636438A5 (de) Laengen- oder winkelmesseinrichtung mit mitteln zur fehlerkompensation.
DE2820753C2 (de) Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen
DE2844066C2 (de) Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
EP1529197B1 (de) Längenmesseinrichtung
DE2510219A1 (de) Laengenmesseinrichtung
DE3542514C2 (de)
DE3208591A1 (de) Laengen- oder winkelmesssystem
DE2712096B1 (de) Gekapselte Messeinrichtung
EP0303008B1 (de) Inkrementale Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3136981C1 (de) Fehlerkompensationseinrichtung
DE8621056U1 (de) Gekapselte Positionsmeßeinrichtung
DE2713004A1 (de) Lage-messwertgeber fuer werkzeugmaschinen und messvorrichtungen oder -maschinen
DE7717404U1 (de)
AT395070B (de) Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung
DE3429684C2 (de) Positionsmeßeinrichtung
DE9007466U1 (de) Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
EP0123018A1 (de) Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur
DE8127240U1 (de) Fehlerkompensationseinrichtung
DE4341191C2 (de) Längenmeßeinrichtung
DE19614410C2 (de) Positionsmeßeinrichtung
DE8206636U1 (de) Längen - oder Winkelmeßeinrichtung
DE7814349U1 (de)
DE7708837U1 (de) Längenmeßeinrichtung mit längsverschieblichem Maßstab

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)