DE2750387A1

DE2750387A1 - Elektrochrome anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE2750387A1
Application number: DE19772750387
Authority: DE
Inventors: Tadanori Hishida; Yasuhiko Inami; Hiroshi Kuwagaki; Kohzo Yano
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1976-11-12
Filing date: 1977-11-10
Publication date: 1978-05-18
Also published as: US4195917A; CH623157A5; DE2750387C2

Description

Sharp K.K.

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BESCHREIBUNG

Gegenstand der Erfindung ist eine elektrochrome Anzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff der Patentansprüche. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf den Aufbau der Anzeigeelektrode einer solchen elektrochromen Anzeige mit einem anorganischen festen Film, der eine lichtdurchlässige leitende Schicht überdeckt, durch die Farbvariationen durch Änderungen der Opazität hervorgerufen werden.

Bei dieser Art von elektrochromen Anzeigen bestimmt der anorganische feste Film beispielsweise aus WO₃ mit einer Schichtstärke von etwa 1 um das Anzeigemuster. Die Kanten des anorganischen Films sollen stets in Berührungskontakt mit dem Elektrolyten stehen, um eine gleichmäßige Färbung (Kolorierung) oder Bleichung (Löschung der Anzeige) zu gewährleisten. Notwendigerweise müssen auch die Anzeigeelektrode oder der anorganische Film mit Zuleitungselektroden versehen sein. Gelangen diese Zuleitungselektroden in Kontakt mit dem Elektrolyten, so besteht leicht die Möglichkeit ihrer Beschädigung oder sie tragen selbst zur Kolorierung während des Betriebs der elektrochromen Anzeigezelle bei. Die Zuleitungselektroden sollten also zur elektrischen als auch chemischen Isolation mit einem schützenden Film bedeckt sein.

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Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, eine elektrochrome Anzeigevorrichtung zu schaffen, mit der sich eine einwandfreie, scharf begrenzte Kolorierung und ein sicheres Bleichen bei stabilen Betriebsbedingungen er-

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reichen lassen. Außerdem ist es das Ziel, die zu schaffende Anzeigevorrichtung in konstruktiver Hinsicht so auszulegen, daß sie sich gut zur Herstellung in einer Massenproduktion eignet.
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Zur erfindungsgemäßen Lösung der gestellten Aufgabe wird auf den Patenthauptanspruch verwiesen. Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgedankens sind u.a. in der nachfolgenden Beschreibung sowie in Unteransprüchen angegeben.

Bei einer bevorzugten Ausfuhrungsform der Erfindung ist die Anzeigeelektrode der elektrochromen Anzeigezelle im wesentlichen aus vier Schichten aufgebaut, um die Kanten des Anzeigemusters exakt zu umgrenzen und um gleichzeitig die Zuleitungselektroden gegen die Einflüsse des Elektrolyten zu schützen.

Bei der Herstellung wird im einzelnen so vorgegangen, daß zunächst ein erster lichtdurchlässiger leitender Film auf einem Glassubstrat aufgebraucht wird,der seinerseits durch einen isolierenden Schutzfilm überdeckt wird, um den leitenden Film elektrisch und chemisch gegen den in der Zelle enthaltenen Elektrolyten zu schützen, über diesem schützenden Film wird sodann eine zweite lichtdurchlässige leitende Schicht aufgebracht, die die tatsächliche Anzeigeelektrode bestimmt und ihrerseits durch eine anorganische feste Filmschicht beispielsweise aus WO₃ in einer Schichtdicke von 1 μπι überdeckt wird. Der zweite lichtdurchlässige leitende Film ist vorteilhafterweise elektrisch mit der ersten leitenden lichtdurchlässigen Filmschicht direkt

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verbunden und zwar durch feine Löcher in der isolierenden Schutzschicht.

Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung erläutert. Es zeigen:

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Fig. 1 die Prinzipschnittansicht des grundsätzlichen Aufbaus einer elektrochromen Anzeigezelle;

Fig. 2 die Schnittansicht des Bereichs einer Anzeigeelektrode, wie sie bei einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigezelle verwendet wird;

Fig. 3 bis 5 Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung der einzelnen Stufen im Herstellungsverfahren einer Anzeigeelektrode, mit der sich die oben aufgeführten Nachteile der bekannten Anzeigeelektrode nach Fig. 2 j*mmmBtämmm+mm*v¥mtk *t? vermindern lassen sollen;

Fig. 6(A) bis 6(E) Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung der einzelnen Stufen im Herstellungsverfahren der Anzeigeelektrode einer elektrochromen Anzeige mit erfindungsgemäßen Merkmalen;

Fig. 7(A) bis 7(E) Schnittdarstellungen der einzelnen Stufen des Herstellungsprozesses der Anzeigeelektrode bei einer anderen Ausführungsform einer erfindungsgemäßen elektrochromen Anzeige und

Fig. 8(A) bis 8(D) die einzelnen Stufen im Herstellungsprozeß für die Anzeigeelektrode bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

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Um den Erfindungsgegenstand verständlicher zu machen, sei zunächst der grundsätzliche Aufbau einer elektrochromen Anzeigezelle unter Bezug auf die Fig. 1 erläutert. Diese Anzeigezelle enthält einen anorganischen festen Film, durch den Farbänderungen bei Zuführen eines geeigneten gesteuerten elektrischen Stroms hervorgerufen werden.

Diese bekannte elektrochrome Anzeigezelle umfaßt als wesentliche Bauelemente ein transparentes Glassubstrat 10, eine Transparentelektrode 12, einen anorganischen festen Film 14, an dem das elektrochrome Phänomen auftritt und der die Transparentelektrode 12 überdeckt. Die Transparentelektrode 12 besteht aus Indiumoxid. Die Anzeigezelle umfaßt weiterhin ein Glassubstrat 16 als Träger für eine Transparentelektrode 18 aus Indiumoxid, ein Abstandsstück 20 und enthält einen Elektrolyten 22, der zwischen die beiden Glassubstrate 10 und 16 eingebracht ist.

Der anorganische Film 14 besteht meistens aus WO, und weist eine Schichtstärke von etwa 1 um auf. Der Elektrolyt 22 ist ein Gemisch aus Schwefelsäure, einem organischen Alkohol, etwa Glyzerin, sowie einem feinem weißen Pulver, etwa TiO~· Der Alkoholzusatz dient zur Verdünnung der Säure,und das Pigment bildet einen weißen, reflektierenden Hintergrund zur besseren Sichtbarmachung des Färbungsphänomens. Die Schichtdicke der Flüssigkeit liegt üblicherweise bei etwa 1 nun.

Der amorphe WO₃-FiIm verfärbt sich blau, wenn die Transparentelektrode 12 in bezug auf die Gegenelektrode 18 mit einem negativen Potential beaufschlagt wird. Die anzulegende Spannung beträgt mehrere Volt. Die blaue Färbung

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verschwindet, wenn die Spannungspolarität umgekehrt wird. Dieser Vorgang wird üblicherweise als "Bleichen" bezeichnet.

Soweit bekannt, tritt die Kolorierung des Films durch Injektion von Elektronen und Protonen in den WO-j-Film auf. Das Bleichen entsteht durch die Rückkehr der Elektronen bzw. Protonen zu den Plätzen ihrer jeweiligen Ausgangselektronen, wenn die Polarität umgekehrt wird.
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Nach dem Abklemmen der Färbungsspannung bleibt der kolorierte Zustand während mehrerer Tage aufrechterhalten, solange keine Bleichspannung zugeführt wird (Speichereffekt)

Obgleich die wichtigsten Betriebsabläufe bei ECDs (Electrochromic Displays) oben kurz erläutert wurden, sei noch ergänzend auf die folgenden charakteristischen Eigenschaften hingewiesen:

1. Der Sicht- oder Abstrahlwinkel ist extrem weit;

2. bei einem einzigen Färbungs-/Bleichzyklus liegt die aufzuwendende Verlustleistung bei einigen bis zu einigen

zehn mj/cro , während die gesamte Verlustleistung proportional zur Anzahl der sich wiederholenden Zyklen ist;

3. es lassen sich Speichereffekte erreichen, durch die der kolorierte Zustand für mehrere Stunden bis zu mehreren Tagen nach dem Abtrennen der Färbungsspannung aufrechterhalten bleibt, solange die ECDs in elektrisch offenem Zustand gehalten werden. Zur Aufrechterhaltung der Speichereffekte wird keine von außen zuzuführende Leistung benötigt.

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Die Fig. 2 zeigt den Aufbau einer Anzeigeelektrode bei einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigezelle, wie sie beispielsweise in RCA Review 36, 177 (1975) durch B. W. Faughnan et al beschrieben wurde:

Bei dieser Anzeigezelle ist auf einem lichtdurchlässigen Substrat 26 eine Transparentelektrode 24 ausgebildet, die durch einen anorganischen festen Film 28 überdeckt ist, um ein Anzeigemuster einzugrenzen. Die Herstellungsstufen für diese bekannte Anzeigeelektrode sind wie folgt:

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Die Transparentelektrode 24 wird als Indiumoxidfilm mit einer geringen SnO2~Verunreinigung auf einem Glas- oder Kunststoffsubstrat mittels Vakuumverdampfungstechnik aufgebracht. Alternativ dazu kann die Transparentelektrode 24 auch aus SnO₂ mit Sb~O₃-Verunreinigungen bestehen, also ein sogenannter NESA-FiIm sein, der auf ein Glassubstrat durch Aufsprühen aufgebracht ist. Das gewünschte Elektrodenmuster wird durch Ätzen in Kombination mit bekannten Photoresist-Techniken oder Siebdruckverfahren erzeugt.

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Über der Transparentelektrode 24 ist ein anorganischer fester Film 28 beispielsweise aus WO^ mittels Verdampfungstechnik oder durch ein Zerstäubungsverfahren aufgebracht; die gewünschte Konfiguration wird durch ein Ätzverfahren ebenfalls in Verbindung mit bekannten Photoresist- oder Siebdruckverfahren erzeugt.

Wird der anorganische feste Film vor dem Ätzen der Transparentelektrode aufgebracht, so können beide unter Verwendung der gleichen Maske (eine Pho oresist- oder

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Epoxyharzschicht) geätzt werden, wenn die Abschnitte der Elektrodenzuleitung zuvor durch Entfernen von Teilbereichen des anorganischen Films hergestellt werden, beispielsweise mittels eines Maskenverdampfungs- oder Ätzverfahrens. Es ergeben sich saubere Kanten an der Anzeigeelektrode.

Die bekannte Anzeigeelektrode nach Fig. 2 läßt sich vergleichsweise einfach herstellen. Schwierigkeiten entstehen jedoch dadurch, daß die Transparentelektrode 24 im Bereich des Elektrodenzuleitungsabschnitts in Kontakt mit dem Elektrolyten gelangt, wodurch die Transparentelektrode 24 während des Betriebs leicht zerstört werden kann. Außerdem tritt häufig der Fall ein, daß der Elektrodenzuleitungsabschnitt selbst während des Betriebs der Zelle verfärbt wird.

Um die genannten Schwierigkeiten einzugrenzen, sind bereits drei Vorschläge gemacht worden, die nachfolgend kurz unter Bezug auf die Fig. 3 bis 5 erläutert werden. Die der Ausführungsform nach Fig. 2 entsprechenden Teile sind mit den gleichen Bezugshinweisen gekennzeichnet:

Bei der Fig. 3 ist die Transparentelektrode 24 im Bereich der Elektrodenzuleitungsabschnitte durch eine isolierende Schutzschicht 30 überdeckt. Diese Schutzschicht 30 isoliert die Transparentelektrode 24 in diesem Bereich elektrisch und chemisch gegen den Elektrolyten. Jedoch ist die genaue Ausrichtung des anorganischen festen Films 28 und der isolierenden Schutzschicht 30 herstellungstechnisch äußerst schwierig, weshalb sich diese Lösung nicht für eine Massenproduktion eignet.

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Bei der Fig. 4 ist die Transparentelektrode 24 ebenfalls durch eine isolierende Schutzschicht 30 so abgedeckt, daß auch ein Bereich 280 des anorganischen festen Films 28 durch die Schutzschicht 30 überdeckt ist. Die isolierende Schutzschicht 30 kann beispielsweise aus einem durch ein Maskenverdampfungsverfahren aufgebrachten Si0_v-Film (X = 1 bis 2) oder einem Epoxyharz- oder Siliconharzfilm bestehen, die durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht werden, Die Herstellung der Anzeigeelektrode nach Fig. 4 ist vergleichsweise einfach. In der Praxis zeigen sich jedoch folgend« Nachteile:

Der Abschnitt 280 des anorganischen Films 8O verfärbt sich zunächst nicht, da positive Ionen in diesen Bereich nicht injiziert werden. Der Abschnitt 280 verfärbt sich jedoch allmählich aufgrund der Verteilung der speziellen Färbung im anorganischen Film 28. Dies wäre unter Umständen bei geeigneter Gestaltung der Elektrode noch hinnehmbar. Leider läßt sich jedoch die nachträglich entstandene Färbung des Abschnitts 280 beim Löschen oder Bleichen der Anzeige nicht entfernen. Die typische Ausbreitungsgeschwindigkeit dieser später einsetzenden Verfärbung liegt bei etwa 1 mm/h, wenn die Kolorierung unter den folgenden Bedingungen erfolgt:

Transparentelektrode: In₃O₃, aufgebracht durch Verdampfung im Vakuum; anorganischer fester Film: WO₃ mit einer Stärke von

0,5|iin;

isolierende Schicht: Epoxyharz; Elektrolyt: Mischung von 1,0 Mol/l

Lithiumperchlorid und 2- Äthoxyacetylacetat;

2 Kolorierungsstrom: 10 mC/cm (erzielter Kontrast

1:10).

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Bei der Fig. 5 bedeckt der anorganische feste Film 28 die Transparentelektrode 24 in einem Bereich 300. In diesem Fall wird zunächst die Transparentelektrode 24 in gewünschter Konfiguration auf dem Glassubstrat 26 erzeugt. Sodann wird der isolierende Film 30 aus SiO_v (X - 1 bis 2) oder Al₂O₃ auf der Transparentelektrode mittels Maskenverdampfungsverfahren im Vakuum hergestellt. Schließlich wird der anorganische feste Film 28 auf der Transparentelektrode 24 und der isolierenden Schutzschicht 30 mittels eines Verdampfungsverfahrens und anschließendem Atzen erzeugt.

Die Herstellung der Anzeigeelektrode gem. Fig. 5 ist sehr kompliziert, da die Form des anorganischen festen Films 28 äußerst genau auf den Kantenbereich der Transparentelektrode 24 ausgerichtet sein muß. Außerdem läßt sich auch in diesem Fall der durch die anorganische Filmschicht 28 überdeckte Bereich 300 des isolierenden Schutzfilms 30 nach einmal vorhandener Färbung sehr schlecht wieder bleichen.

Die Fig. 6(A) bis 6(E) dienen zur Erläuterung der Herstellungsstufen einer Anzeigeelektrode bei einer elektrochromen Anzeige gemäß der Erfindung:

Zunächst wird in einem Verdampfungsverfahren ein transparenter leitender Film 32 aus Indiumoxid auf einem transparenten Glassubstrat 34 erzeugt (Fig. 6A).

Durch Abdecken des leitenden Films 32 mit einem Photoresist-Lack od.dgl. und anschließendem Ätzen mit Salzsäure erhält man ein gewünschtes Anzeigemuster. Der so in die gewünschte Anzeigeform gebrachte leitende Film 36 dient vor allein ^a*^{s Zu}l^eitun9selektrode (vgl. Fig. 6B) .

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Auf der Zuleitungselektrode 36 wird sodann in einem Verdampfungsverfahren mit Maskenabdeckung eine isolierende Schutzschicht 38 aus SiO_x (X = 1 bis 2) oder Al₂O₃ aufgebracht; die Enden der Zuleitungselektroden 36 bleiben etwa wie darqestellt frei (vgl. Fig. 6C).

Auf dem freigelegten Bereich des Glassubstrats 34 werden sodann ein lichtdurchlässiger leitender Film 40 aus Indiumoxid und ein anorganischer fester Film 42 aus WO₃ übereinander aufgebracht. Der leitende Film 40 steht in Verbindung mit den freien Enden des leitenden Films 36.

Ein gewünschtes Elektrodenmuster wird durch Abdeckung mit einem Photoresist-Lack od.dgl. und Ätzen des WO₃-FiImS 42 und des Indiumoxidfilms 40 mit einer Lauge bzw. Salzsäure erhalten; es ergeben sich die Anzeigeelektroden 44 (vgl. Fig. 6E).

Die isolierende Schutzschicht 38 kann aus MgF₂/ CaF₂, TiO₂, Si₃N₄ oder Y₃O₃ bestehen.

Unter Bezug auf die Fig. 7(A) bis 7(E) werden nachfolgend die einzelnen Stufen zur Herstellung einer Anzeigeelektrode für elektrochrome Anzeigen gem. einer anderen Ausführungeform der Erfindung erläutert:

Auf einem transparenten Glassubstrat 48 wird zunächst mittels Verdampfungstechnik ein lichtdurchlässiger leitender Film 46 aus Indiumoxid aufgebracht (vgl. Fig. 7A).

Mittels Photoresist-Lackabdeckung und Ätzen mit Salzsäure ergibt sich ein gewünschtes Muster des leitenden Indiumoxidfilms 46. Die Fig. 7(B) läßt den so geformten leitenden Film 50 erkennen, der einerseits die Zuleitungs-

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elektroden und andererseits die Unterlage der Anzeigeelektroden bildet.

Auf dem leitenden Film 50 wird sodann ein Glasfaserpulver 52 an jenen Stellen über eine geeignete Maske aufgebracht, die der oder den späteren Anzeigeelektroden entsprechen. Die Glasfasern 52 in Pulverform weisen eine Länge von 20 bis 50 um und einen Durchmesser von ca. 6 um auf. Dieses Glasfaserpulver wird in einer Dichte von etwa 10 Teilchen pro 500 μπιο aufgebracht. Sodann wird über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats eine isolierende Schutzschicht 54 aus SiO„ (X = 1 bis 2) oder Al₂O₃ mittels Verdampfungstechnik in einer Schichtdicke von etwa 0,35 um aufgebracht (vgl. Fig. 7C).

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Das Glasfaserpulver 52 wird anschließend wiederum dadurch entfernt, daß das Glassubstrat 48 einer Vibration ausgesetzt wird, wodurch in der isolierenden Schutzschicht 54 mikrofeine öffnungen 56 im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode entstehen (vgl. Fig. 7D).

Durch Verdampfungstechnik unter Verwendung einer Maske wird sodann im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode ein transparenter leitender Indiumoxidfilm 56 sowie darüber ein anorganischer Film 60 aus WO₃ oder Molybdänoxid aufgebracht (vgl. Fig. 7E). Der Indiumoxidfilm 58 gelangt dabei über die mikrofeinen öffnungen 56 in der isolierenden Schicht 54 in elektrischen Kontakt mit dem leitenden Film 50.

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Zur Erzeugung der mikrofeinen öffnungen 56 kann anstelle von Glasfaserpulver auch pulverisiertes Al₂O-, MgO, Fe₂O₃/ BaO, TiO₂ und/oder BaSO₄ verwendet werden.

Anhand der Fig. 8(A) bis 8(D) werden nachfolgend die einzelnen Schritte des Herstellungsverfahrens der Anzeigeelektrode für eine andere erfindungsgemäße elektrochrome Anzeigezelle erläutert:

Mittels Verdampfungstechnik wird auf der gesamten Oberfläche eines transparenten Glassubstrats 64 ein leitender Indiumoxidfilm 62 erzeugt (vgl. Fig. 8A).

Auf dem Indiumoxidfilm 62 wird sodann das gewünschte Negativmuster eines Photoresist-Lacks aufgebracht; anschliessend wird mittels Salzsäure geätzt, um eine gewünschte Konfiguration zu erhalten. Der so erzeugte leitende Film 66 ist in Zuleitungselektroden-und Anzeigeelektrodenabschnitte unterteilt (vgl. Fig. 8B).

über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats 64 wird sodann eine isolierende Schutzschicht 68 aus SiO (X = 1 bis 2); Al₃O₃, MgF₃, CaF₃, TiO₂, Si₃N₄ oder Y₂O₃ in einer Schichtstärke von 0,35 μΐη durch Anwendung eines Vakuumverdampfungsverfahrens aufgebracht (vgl. Fig. 8C).

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Anschließend werden im Bereich der Anzeigeelektrodenabschnitte durch Verdampfungstechnik unter Verwendung der gleichen Maske aufeinanderfolgend ein lichtdurchlässiger leitender Indiumoxidfilm 70 sowie ein anorganischer fester Film 72 aus WO₃ oder Molybdänoxid aufgebracht (vgl. Fig. 8D) .

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Da die isolierende Schutzschicht 68 äußerst dünn und nicht sehr dicht ist, entstehen in der isolierenden Schutzschicht 68 unvermeidbarerweise kleinste Risse und Löcher. Außerdem entstehen weitere nadelfeine Löcher durch die sogenannte Schattenbildung, hervorgerufen durch die Strahlwinkel beim Verdampfen. Der leitende Film 70 steht also über die nadelfeinen Löcher und Risse in der isolierenden Schutzschicht 68 in elektrischem Kontakt mit dem leitenden Film 66.

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Leerseite

Claims

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PATENTANWALTS «^/f·«?/«

TER MEER - MÜLLER - STEINMEISTER

D-80OO München 22 Triftstraße 4

D-48OO Bielefeld 2750387

Sickerwall 7

438-GER
Mü/vL

10. November 1977

Sharp Kabushiki Kaisha 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka, Japan

'Elektrochrome Anzeigevorrichtung"

Prioritäten: 12. November 1976, Japan, Ser.Nr. 136635/1976 7. Juni 1977, Japan, Ser.Nr. 67459/1977 9. Juni 1S77, Japan, Ser.Nr. 68434/1977

PATENTANSPRÜCHE

/ 1. ) Elektrochrome Anzeigevorrichtung, deren Lichtabsorptionseigenschaften sich bei Zuführen eines Stroms reversibel ändern lassen, mit einem elektrochromen Material, das zwischen zwei elektrodenbeschichteten Trägerplatten eingebracht ist, von denen wenigstens eine lichtdurchlässig ist und als Träger für eine Anzeigeelektrode dient,
gekennzeichnet durch

- eine erste auf der lichtdurchlässigen Trägerplatte (34; 48; 64) ausgebildete leitfähige Schicht (36; 50; 66) ;

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- eine über der ersten leitfähigen Schicht aufgebrachte isolierende Schutzschicht (38; 54; 68);

- eine über der Schutzschicht aufgebrachte zweite leitfähige Schicht (40; 58; 70) und

- einen auf der zweiten leitfähigen Schicht aufgebrachten anorganischen festen Film (42; 60; 72).
2. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die beiden leitfähigen Schichten (66, 70, 36, 40; 50, 58) transparent sind und die dazwischen liegende Schutzschicht (38; 54; 68) mikrofeine Löcher (56) zur Durchkontaktierung der beiden leitfähigen Schichten aufweist.
3. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite transparente leitende Schicht und die anorganische Filmschicht zur Wiedergabe bestimmter Anzeigemuster in einer bestimmten Konfiguration geformt sind.
4. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die erste transparente leitfähige Schicht als Anschlußelektrode(n) für die Anzeigeelektrode (n) ausgeführt ist.
5. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß ein Endabschnitt der ersten transparenten leitfähigen Schicht (36) nicht durch die isolierende Schutzschicht (38) bedeckt ist, und daß die zweite transparente leitfähige Schicht (40) direkt mit diesem unbedeckten Endabschnitt der ersten transparenten leitfähigen Schicht verbunden ist.

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6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht (54; 68) die gesamte Oberfläche der lichtdurchlässigen Trägerplatte (48; 64) überdeckt und mikrofeine öffnungen in einem Bereich aufweist, der der Anzeigeelektrode entspricht.
7. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht die gesamte Oberfläche der lichtdurchlässigen Trägerplatte überdeckt und mit nadelfeinen Löchern versehen ist, über die eine elektrische Verbindung zwischen der ersten und zweiten transparenten leitfähigen Schicht hergestellt ist.
8. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht (38; 54; 68) aus einem elektrisch und gegen chemische Einflüsse isolierenden Film besteht.
9. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht aus einem SiO-- oder einem Al-O₃-FiIm besteht.

10. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die beiden transparenten leitfähigen Schichten aus aufgedampftem Indiumoxid bestehen.

11. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß der anorganische feste Film (42; 60; 72) aus WO₃ oder Molbydänoxid besteht.

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12. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht (38; 54; 68) lichtdurchlässig ist.

13. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht eine Dicke von etwa 0,35 um aufweist.

14. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , daß die isolierende Schutzschicht aus SiO, SiO₂, Al₂O₃, MgF₂, CaF₂, TiO₂, Si₃N₄ oder Y₂O₃ besteht.

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