DE2741638B2 - Präparatträger mit Elektrodenanordnung für die Zelluntersuchung, sowie seine Herstellung - Google Patents
Präparatträger mit Elektrodenanordnung für die Zelluntersuchung, sowie seine HerstellungInfo
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Description
Erfindungsgegenstand ist der im Patentanspruch 1 angegebene Präparatträger und das im Patentanspruch
8 genannte Verfahren zu seiner Herstellung. Die Ansprüche 2—7 nennen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Präparatträgers; die Ansprüche 9 und 10
beinhalten Ausgestaltungen des Verfahrens zur Herstellung dieses Präparatträgers.
Für die Untersuchung der elektrophysiologischen Aktivität von lebenden Nervenzellen in vitro müssen
elektrische Potentiale, Ströme, Impulse usw. den einzelnen Zellen oder bestimmten Teilen einer Zelle,
z. B. den Zellenfortsätzen (Neuriten) mittels geeigneter, in deren unmittelbarer Nähe gebrachter Elektroden
gezielt zugeführt bzw. von ihnen abgegriffen werden. Man benötigt dafür Elektroden mit einer Kontaktfläche
von mikroskopischen Abmessungen, z. B. 1 —10 μιη und
einer hinreichend geringen Kontaktimpedanz zur Zelle, sowie andererseits geeignete Verfahren, um derartige
Elektroden an die gewünschten Zellen oder Zellbereiche heranzubringen. Für beides gibt es bis heute noch
keine befriedigende Lösung, insbesondere für den Fall, daß mehrere simultane Ableitungen von verschiedenen
Stellen eines kleinen Gewebevolumens erforderlich sind.
Bekannt sind z. B. Elektroden, die aus einem in einem Glasröhrchen angeordneten, sehr dünnen Draht aus
hartem Material, z. B. Wolfram, bestehen, dessen am Ende des Glasröhrchens freiliegendes bzw. etwas
vorstehendes Ende durch Manipulation der Elektrode unter dem Mikroskop in die Nähe der Zelle gebracht
werden kann. Die Herstellung solcher Elektroden ist umständlich und zeitaufwendig, in der Regel müssen aus
einer Vielzahl von hergestellten Elektroden die brauchbaren erst ausgesucht werden. Die dreidimensionale Manipulation solcher Elektroden unter dem
Mikroskop ist umständlich, und das gleichzeitige Handhaben von mehreren Elektroden für den gleichzeitigen Abgriff von verschiedenen Zellen oder Teilen
einer Zelle ist in der Praxis kaum durchführbar. Auch liegt ein schwerwiegender Nachteil dieser Elektroden
darin, daß beim Manipulieren ein unvermeidliches Vibrieren derselben zum raschen Absterben der
untersuchten Zelle führen kann. Entsprechendes gilt auch von bekannten, mit Elektrolyt gefüllten Pipettenelektroden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Präparatti äger mit Elektrodenanordnung zu schaffen,
der in einfacher Weise einen gezielten elektrischen Zugriff zu gewünschten Zellen oder Zellenbereichen,
und zwar insbesondere gleichzeitig an zahlreichen Zugriffsstellen, ermöglicht.
Diese Aufgabe wird mit dem im Patentanspruch 1 genannten Präparatträger gelöst
daß sich die Zellen gezielt an bestimmten Stellen des Präparatträgers anlagern bzw. auch ein durch die
Anlagerungszonen räumlich vorgeschriebenes Wachstum zeigen und sich dadurch von vorneherein in
bestimmter räumlicher Korrelation zu den Leiterbah- "■ nen bzw. ihren Kontaktstellen befinden. Man muß also
nicht den Kontakt einer Elektrode mit einer Zelle durch Manipulieren unter dem Mikroskop herstellen, sondern
man braucht lediglich unter dem Mikroskop die an einer Anlagerungszone angewachsenen Zellen zu beobachten '
<> und kann dann die zu der Zelle oder zu Teilen der Zelle gehörende Leiterbahn oder Leiterbahnen identifizieren
und als Elektrode für den elektrischen Zugriff benutzen. Gleichzeitiger elektrischer Zugriff an mehreren Zugriffsstellen
an einer oder mehreren Zellen ist hierdurch ι ~> ohne Schwierigkeiten möglich.
Der mit der Erfindung erzielbare Vorteil geht aber noch weiter. Wenn die Anlagerungszonen in Form eines
netzartigen Musters von die Kontaktstellen verbindenden Bahnen ausgebildet werden, kann man erreichen, >
<> daß eine angelagerte Zelle, z. B. Nervenzelle, nur in durch die Anlagerungsbahnen vorgeschriebenen Richtungen
wächst, d. h. ihre Fortsätze (Neuriten) gerichtet aussendet Man kann damit gezielt räumliche Korrelierungen
nicht nur einer Zelle mit den Kontaktpunkten, r> sondern auch mehrerer Zellen miteinander schaffen.
Für die Herstellung eines erfindungsgemäßen Präparatträgers mit Elektrodenanordnung kann man sich zur
Herstellung der die Leiterbahnen freilegenden Durchbrechungen in der Deckschicht und/oder der Anlage- m
rungszonen vorzugsweise entweder des aus der Halbleitertechnik bekannten Photoätzverfahrens oder
der Bearbeitung mittels Laser bedienen.
Insbesondere das nicht leicht zu lösende Problem, die Leiterbahnen im Bereich jeder Durchbrechung der S3
Deckschicht derart hinreichend blank freizulegen, daß die Übergangsimpedanz zu einer später dort angelagerten
Zelle genügend klein ist, wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung dadurch
gelöst, daß man die Durchbrechungen mittels eines w Lasers erzeugt, indem man mit dem durch die
Deckschicht hindurch auf die Leiterbahn fokussierten Laserstrahl einen Teil des Materials der Leiterbahn
verdampft und durch den Dampfdruck die darüber befindliche Deckschicht zum Abplatzen bringt. Es hat ■»■")
sich gezeigt, daß man hierdurch in einfachster Weise Durchbrechungen von genügend kleinen Abmessungen,
z.B. 3—ΙΟμΓη, herstellen kann, die das darunter
befindliche Metall völlig freilegen.
Auch die Anlagerungszonen kann man mit Hilfe eines so
Lasers erzeugen, indem man bei Verwendung einer Deckschicht aus einem hydrophoben Kunstharz, z. B.
Silikonharz, durch Laserbestrahlung an der Oberfläche freie Radikale erzeugt und an diesen Bereichen aus
einer darüber befindlichen Lösung polarisierte oder geladene Molekülgruppen zur Anlagerung bringt, so
daß diese Bereiche dann hydrophile Eigenschaften haben und dadurch die Anlagerung von Zellen
begünstigen. Ferner kann mit dem Laser auch eine Zeil-abstoßende Schicht von einer Zeil-anziehenden fao
Isolationsschicht in gewünschten Mustern abgetragen werden oder umgekehrt
Statt dessen kann man aber auch das Photoätzverfahren
verwenden, bei dem jeweils auf der zu bearbeitenden Schicht ein Photolack aufgebracht, dieser durch
Belichten und Entwickeln teilweise entfernt und dadurch eine Maske hergestellt und durch diese Maske
hindurch gewünschte Bereiche der darunter befindlichen Schicht chemisch entfernt werden. Auf diese Weise
können in aufeinanderfolgenden, weitgehend automatisierten Arbeitsgängen die Leiterbahnen, die Durchbrechungen
in der darüber aufgebrachten Deckschicht und die Anlagerungszonen durch teilweises Entfernen einer
darauf aufgebrachten hydrophilen oder hydrophoben Schicht ausgebildet werden. Mit ähnlichen Verfahren
kann man auch in einfacher Weise Halbleiteranordnungen, mit denen die Leiterbahnen verbunden sind,
insbesondere Eingangsstufen mit FET-Transistoren als Impedanzwandler, mit auf dem Präparatträger in der
gleichen Ebene wie die Leiterbahnen ausbilden.
Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert.
F i g. 1 zeigt schematisch eine Draufsicht auf einen sUik vergrößerten Teilbereich des Präparatträgers;
F i g. 2 zeigt eine Draufsicht auf einen Präparatträger in natürlicher Größe;
F i g. 3 bis 5 erläutern schematisch die Herstellung der Kontaktstellen mittels Laserstrahl;
Fig.6 und 7 dienen schematisch zur Erläuterung
zweier verschiedener Möglichkeiten der Herstellung der Anlagerungszonen.
Der in F i g. 1 ausschnittsweise und stark vergrößert dargestellte Präparatträger besteht aus einer Grundplatte
1, die z. B. aus Glas, Quarz, Saphir, Silizium oder auch aus 3-5-Verbindungen, wie z. B. GaP, bestehen
kann. Auf der Grundplatte 1 ist ein Muster von metallischen Leiterbahnen 2 aufgebracht, die vorzugsweise
aus aufgedampften und/oder nach der Photoätztechnik ausgebildeten Goldstreifen bestehen, die z. B.
10 μηι breit und 2 μΐη dick sein können. Zwischen der
Goldschicht und der Grundplatte I kann sich eine Haftvermittlungsschicht, z. B. Titan, befinden. Über den
Leiterbahnen befindet sich eine Deckschicht 3 aus einem Material, das elektrisch ausreichend isoliert und
im übrigen für die Bearbeitung sowie für die Anlagerung der Zellen geeignete Eigenschaften haben muß, auf die
noch eingegangen wird. In der Deckschicht 3 sind Durchbrechungen 4 von mikroskopisch kleinen Abmessungen
ausgebildet, durch die die darunter befindlichen Enden 5 der Leiterbahnen 2 freigelegt sind. Diese Enden
5 bilden auf der Grundplatte 1 eine matrixartige Elektrodenanordnung mit gegenseitigen Abständen, die
zweckmäßig im Bereich von 20—200 μιη liegen und z. B.
100 μιη nach beiden Richtungen betragen können.
Bei der dargestellten Ausführungsform sind Durchbrechungen 4 größer als die Breite der Leiterbahnen 2.
Selbstverständlich können die Leiterbahnen 2 auch breiter sein als die Durchbrechungen 4, da es nur auf die
freigelegte Fläche der Leiterbahnen 2 ankommt. Auch brauchen die Durchbrechungen 4 nicht auf den
Endpunkten der Leiterbahn 2 zu liegen, sondern die Leiterbahn 2 kann sich jenseits einer Durchbrechung 4
fortsetzen. Voraussetzung ist nur, daß jeder Leiterbahn 2 eine Durchbrechung 4 zugeordnet ist.
Auf der Oberfläche der Deckschicht 4 sind Anlagerungszonen 6, 7 ausgebildet, bei denen sich es um
Oberflächenbereiche handelt, die eine höhere Affinität bezüglich der Anlagerung von Zellen aufweisen, als die
übrigen Bereiche der Deckschicht 3. Insbesondere handelt es sich bei den Anlagerungszonen 6, 7 um
hydrophile Oberflächenbereiche, während die übrigen Bereiche der Deckschicht 3 hydrophob sind. Die
Anlagerungszonen bilden einerseits ringförmige Höfe 7 um jede Durchbrechung 4 herum, und andererseits
schmale Bahnen 6, die die einzelnen Durchbrechungen 4 netzartig miteinander verbinden. Auf diese Weise wird
ein Muster von Anlagerungszonen 6, 7 in räumlicher Korrelation zu den die Kontaktstellen darstellenden
Durchbrechungen 4 geschaffen.
Selbstverständlich sind auch andere Muster von Anlagerungszonen möglich, z. B. können entweder die >
Bahnen 6 oder die ringförmigen Höfe 7 weggelassen werden, oder die Bahnen 6 können so verlaufen, daß die
Durchbrechungen 4 nicht an den Eckpunkten von Quadraten oder Rechtecken, sondern z. B. auf den
Seitenmitten sitzen. Auch Dreiecks- oder Sechsecksnet- ι»
ze sind möglich.
Gemäß F i g. 2 ist die Grundplatte 1 ein quadratisches Plättchen, und die einzelnen Leiterbahnen 2 verlaufen
von den im Randbereich der Platte 1 vorgesehenen Anschlußkontakten 10 zu einem durch die Kreislinie 11 ' ">
umgrenzten zentralen Bereich in diesem eigentlichen Arbeitsbereich bilden die Leiterbahnen 2 die in F i g. 1
angedeutete matrixartige Anordnung und sind in der Deckschicht 3 die Durchbrechungen 4 und die
Anlagerungszonen 6, 7 ausgebildet. Die Dicke der ->i>
Deckschicht 3 sollte innerhalb der Kreislinie 11 möglichst gering sein (z. B. ca. 2 μπι) und gerade
ausreichen, um außerhalb der Durchbrechungen 4 eine ausreichende Isolierung der Leiterbahnen 2 von einem
darüber befindlichen Elektrolyten zu gewährleisten -'"> (zweckmäßig mit einer Impedanz von mindestens
30 ΜΩ, bei 1 kHz gemessen). Außerhalb der Kreislinie 11 kann und sollte die Deckschicht 3 dagegen wesentlich
dicker ausgebildet sein und hat keine Durchbrechungen und Anlagerungszonen. Die Leiterbahnen 2 sind am <"
besten so ausgebildet, daß sie von ihren äußeren Anschlußstellen 10 bis zu ihren End- bzw. Kontaktpunkten
innerhalb der Kreislinie 11 alle etwa gleiche Länge haben und in etwa gleichen Abständen voneinander
verlaufen, so daß sie sich in ihrer Abgriffsimpedanz nicht i >
voneinander unterscheiden. Die Grundplatte 1 trägt ferner eine großflächige Referenzelektrode 12. An
jedem Anschlußpunkt 10 für eine Leiterbahn 2 kann in integrierter Technik eine Eingangsstufe mit Impedanzwandler,
insbesondere mit einem FET-Transistor 4|>
ausgebildet sein. Ein auf dem Präparatträger aufgesetzter erhöhter Ring 13 umgrenzt den Bereich des
Präparatträgers, auf den Zellkulturen mit Nährflüssigkeit aufgebracht werden, und verhindert deren Auseinanderlauf.
Die Herstellung der Durchbrechungen 4 in der Deckschicht erfolgt gemäß Fig.3 bis 5 in folgender
Weise. Ein Laserstrahl 20 wird durch ein Mikroskopobjektiv 21 durch die für die Laserstrahlung durchlässige
Deckschicht 3 hindurch auf den Endbereich einer Leiterbahn 2 fokussiert. Die Laserstrahlung wird vom
Metall der Leiterbahn 2 absorbiert, und dieses Metall wird aufgeheizt und teilweise verdampft (Fig.4).
Energiedichte und Dauer des Laserimpulses werden so bemessen, daß durch den sich sehr plötzlich aufbauenden
Dampfdruck ein unmittelbar über der bestrahlten Stelle der Leiterbahn 2 liegendes Stück 3' der
Deckschicht 3 herausgesprengt wird, bevor mehr als die Hälfte der z. B. 2 um betragenden Dicke der Leiterbahn
3 verdampft ist (F i g. 5). In der kurzen Zeit kann sich das &o
Material der Deckschicht 3 selbst nicht ausreichend aufheizen, um zu schmelzen oder zu verdampfen. Es
entsteht durch rein mechanisches Absprengen eine sauber begrenzte Durchbrechung 4, in der das Metall
der Leiterbahn 2 völlig freiliegt.
Durch Verändern der Dauer bzw. Energiedichte des Laserstrahls und seiner Fokussierung kann die Menge
des verdampften Metalls und damit auch die Größe der erzeugten Durchbrechung beeinflußt werden, so daß di<
erzeugte Durchbrechung 4 etwa gleichen oder kleinerer Durchmesser wie die Breite der Leiterbahn 2 haber
kann oder aber durch einen etwas kräftigerer Laserimpuls eine größere Durchbrechung 4 von ζ. Β
20 μηι erzeugt werden kann, in welcher der gesamte
Endbereich 5 der Leiterbahn 2 freiliegt, wie in F i g. 1 gezeigt.
Für die speziellen Zwecke der Anwendung in dei Zellenforschung muß das Material der Deckschich
insbesondere folgenden Anforderungen genügen: E: muß in sehr dünner Schicht gut elektrisch isolieren, e
sollte eine niedrige Dielektrizitätskonstante haben, un auch die kapazitive Nebenschlußimpedanz möglichs
hoch zu halten. Das Material muß chemisch völlii neutral sein und soll durch UV-Bestrahlung oder durci
Erhitzen auf 2000C sterilisierbar sein. Es soll gut an Glas haften, möglichst gleiches thermisches Ausdeh
nungsverhalten zeigen wie das Glas und für die Zweckt der mikroskopischen Beobachtung durchsichtig sein.
Für die in Fig.3 und 5 dargestellte Herstellung dei
Durchbrechungen ist von dem Material der Deckschich 3 weiter zu fordern, daß es nach dem Aushärten eine
große Härte und Sprödigkeit und eine geringe Elastizität aufweist, so daß das durch den Gasdruck de:
verdampften Metalls bewirkte Ausbrechen auf einer kleinen Bereich erfolgt und sich die Deckschicht nicht ir
einer großflächigen Blase kurzzeitig elastisch von Untergrund abhebt Wie klein die erzeugte Durchbre
chung sein muß, hängt im Einzelfall von dei gewünschten Impedanz ab.
Es wurde gefunden, daß ein geeignetes Material füi die Deckschicht 3 das am Anmeldetag unter derr
Handelsnamen »Dow Corning 648« erhältliche Materia ist und mit dem am Anmeldetag unter dem Handelsna
men DC 1200 bekannten Haftvermittler gut an Glas haftet. Hierbei handelt es sich um ein Silikonharz mil
den folgenden chemischen und physikalischen Eigenschaften: Viskosität während des Auftragens bis 100 cF
bei geeigneter Verdünnung, Dielektrizitätskonstante be 3, Durchschlagfestigkeit 1800 V/mm, spezifischei
Widerstand 1015ßcm, farblos, Bruchdehnung in dei
Größenordnung von ca. 0.5 bis 5%, am besten ca. 1 bii
2%.
Eine Lösung von DC 648 in Xylol (6 :4) wird mittels einer Zentrifuge auf der Grundplatte 1 in solcher Stärke
verteilt, daß sich nach dem Trocknen und Härten bei 2000C eine Schichtdicke zwischen 2 bis 4 μπι über der
Leiterbahnen ergibt Die zwischen der Grundplatte und der Deckschicht befindlichen Leiterbahnen 2 besteher
aus Gold und haben eine Schichtdicke von 2 μπι. Es wurde gefunden, daß mittels z. B. eines Stickstofflasers
dessen Emissionswellenlänge 337,1 mm ist durch Einzelimpulse von 10 ns Dauer und einer Leistungsdichte
pro Impuls von ca. 1010 bis 1012W/cm2 die
gewünschten Durchbrechungen hergestellt werden können. Bei allen für die Deckschicht 3 verwendbaren
Materialien ist die Forderung zu stellen, daß die Bruchdehnung im Bereich von einigen Prozent bis
Promille liegt Nur Bruchdehnungen in der Gegend vor Prozent gewährleisten «in sauberes Absprengen des
Materials mit dem Laser, während erst oberhalb der Promillegrenze gewährleistet ist, daß die thermische
unterschiedliche Ausdehnung von Deckmaterial und Träger zu keiner Rißbildung führt
Die Ausbildung der Anlagerungszonen 6,7 kann z. B.
gemäß Fig.6 dadurch erfolgen, daß die gewünschten
Bereiche mit einem Laserstrahl 20 bestrahlt und
dadurch photochemisch aktiviert werden, so daß an der
Oberfläche freie Radikale gebildet werden. Die Bestrahlung erfolgt durch eine über der Deckschicht 3
befindliche Lösung 22 hindurch, die z. B. Allylalkohol
oder Allylamin enthalten kann und aus der sich an die freien Radikale der bestrahlten Oberflächenbereiche
polarisierte oder geladene Molekülgruppen anlagern und dadurch eine hydrophile Oberflächenschicht als
Anlagerungszone 7 bilden.
Statt mittels Laser können die Durchbrechungen in der Deckschicht und/oder die Anlagerungszonen auch
nach dem Photoätzverfahren hergestellt werden. Ein besonders geeignetes Material für die Deckschicht 3 ist
in diesem Fall Siliziumoxyd. Da dieses bereits hydrophile Eigenschaften hat, werden die Anlagerungszonen 6,7 zweckmäßig in der Weise ausgebildet, daß die
Deckschicht 3 gemäß F i g. 7 mit einer hydrophoben 1 — 2 μπι dicken Oberflächenschicht 9 (z. B. aus Silikonharz)
abgedeckt und diese nach dem Photoätzverfahren teilweise abgetragen wird, so daß Bereiche der
Oberfläche der Deckschicht 3 wieder freigelegt werden, die dann die Anlagerungszonen 6,7 bilden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Präparatträger mit Elektrodenanordnung für die Zellenuntersuchung, insbesondere an Neuronenzellen, dadurch gekennzeichnet, daß auf
dem Präparatträger (I) Anlagerungszonen (6, 7) bildende Oberflächenbereiche mit gegenüber den
Nachbarbereichen erhöhter Affinität für die Zellenanlagerung und elektrische Leiterbahnen (2) in einer
diesen Anlagerungszonen (6, 7) zugeordneten m Anordnung ausgebildet sind.
2. Präparatträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine die Leiterbahnen (2)
abdeckende isolierende Deckschicht (3) vorgesehen ist, die den einzelnen Leiterbahnen (2) zugeordnete, 1■>
deren Oberfläche zur Bildung von Kontaktstellen freilegende Durchbrechungen (4) von mikroskopischen Abmessungen aufweist, und daß die Anlagerungszonen (6,7) an der Oberfläche der Deckschicht
(3) in einem den Durchbrechungen (4) zugeordneten Muster ausgebildet sind.
3. Präparatträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlagerungszonen (6) als
die Durchbrechungen (4) verbindende Bahnen ausgebildet sind. 2 >
4. Präparatträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlagerungszonen (6, 7) von einer auf der hydrophoben
Deckschicht (3) bereichsweise aufgebrachten oder durch photochemische Aktivierung gebildeten hy- κι
drophilen Schicht bestehen.
5. Präparatträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf die hydrophile
Deckschicht (3) bereichsweise eine hydrophobe Abdeckschicht (9) aufgebracht ist und durch die r>
freiliegenden Bereiche der Deckschicht (3) die Anlagerungszonen (6,7) gebildet sind.
6. Präparatträger nach einem der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (2) von äußeren Anschlußstellen (10) des Präparatträgers (1) ausgehend in einem zentralen Bereich (11)
zusammenlaufend und dort mit ihren Endpunkten eine matrixartige Anordnung bildend gestaltet sind,
der die Durchbrechungen (4) der Deckschicht (3) und die Anlagerungszonen (6,7) zugeordnet sind. 4
7. Präparatträger nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Leiterbahn (2) ein Impedanzwandler als Eingangsstufe zugeordnet
ist, der in integrierter Technik auf dem Präparatträger (1) in gleicher Ebene wie die Leiterbahn (2)
ausgebildet ist und einen FET-Transistor aufweist.
8. Verfahren zur Herstellung eines Präparatträgers mit Elektrodenanordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß man auf einer Trägerplatte (1) ein Muster von Leitungsbahnen (2) aufbringt, diese mit einer Deckschicht (3)
abdeckt, in der Deckschicht (3) den Leiterbahnen zugeordnete Durchbrechungen (4) und auf der
Oberfläche der Deckschicht (3) Anlagerungszonen (6,7) von erhöhter Affinität für die Zellenanlagerung
ausbildet.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß man die Durchbrechungen (4) mittels
eines Lasers erzeugt, indem man mit dem durch die Deckschicht (3) eines Lasers erzeugt, indem man mit
dem durch die Deckschicht (3) hindurch auf die Leiterbahn (2) fokussierten Laserstrahl (20) einen
Teil des Materials der Leiterbahn (2) verdampft und
durch den Dampfdruck die darüber befindliche
Deckschicht (3) zum Abplatzen bringt
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß man die Anlagerungszonen (6,
7) von erhöhter Affinität für die Zellenanlagerung dadurch herstellt, daß man in Oberflächenbereichen
der Deckschicht (3) durch Laserbestrahlung photochemisch freie Radikale bildet und daran aus einer
Lösung elektrisch geladene bzw. polarisierte MoIekülgruppen zur Anlagerung bringt
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Family
ID=6019054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2741638A Expired DE2741638C3 (de) | 1977-09-15 | 1977-09-15 | Präparattrager mit Elektrodenanordnung fur die Zelluntersuchung, sowie seine Herstellung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4231660A (de) |
DE (1) | DE2741638C3 (de) |
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