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DE2429448A1 - DIAPHRAGM SEALED VALVE - Google Patents

DIAPHRAGM SEALED VALVE

Info

Publication number
DE2429448A1
DE2429448A1 DE2429448A DE2429448A DE2429448A1 DE 2429448 A1 DE2429448 A1 DE 2429448A1 DE 2429448 A DE2429448 A DE 2429448A DE 2429448 A DE2429448 A DE 2429448A DE 2429448 A1 DE2429448 A1 DE 2429448A1
Authority
DE
Germany
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membrane
ptfe
valve
diaphragm
pressure
Prior art date
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Pending
Application number
DE2429448A
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German (de)
Inventor
Ernst Dr Uhl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BEUKERT ELEKTRO CHRISTIAN
Original Assignee
BEUKERT ELEKTRO CHRISTIAN
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Publication date
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Priority to CH1541574A priority patent/CH579228A5/xx
Priority to SE7501265A priority patent/SE7501265L/en
Priority to FR7505347A priority patent/FR2275710A1/en
Priority to IT20529/75A priority patent/IT1031953B/en
Priority to GB2080875A priority patent/GB1478239A/en
Publication of DE2429448A1 publication Critical patent/DE2429448A1/en
Pending legal-status Critical Current

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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K41/00Spindle sealings
    • F16K41/10Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
    • F16K41/12Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Description

Membranabgedichtetes VentilDiaphragm sealed valve

Die Erfindung betrifft ein membranabgedichtetes Ventil, insbesondere für aggressive Medien und Dampf, mit einer als lameliierter, mehrschichtiger PTFE-Membrane ausgebildeten Stösseldurchführung der Ventilbetätigung.The invention relates to a diaphragm-sealed valve, in particular for aggressive media and steam, with a laminated, multi-layered one PTFE membrane-formed plunger leadthrough of the Valve actuation.

Bei Ventilen für aggressive Medien ist der Einsatz von korrosionsbeständigen Materialien als Werkstoff für Ventilgehäuse, Ventilschließkörper und Abdichtungselemente erforderlich; dabei ist insbesondere die Verwendung von PTFE vorteilhaft, da es im Vergleich zu anderen in Frage kommenden Kunststoffen die höchste chemische Beständigkeit gegen alle von der praktischen Anwendung her interessierenden aggressiven Medien besitzt.In the case of valves for aggressive media, the use of corrosion-resistant Materials required as material for valve housings, valve closing bodies and sealing elements; is in particular The use of PTFE is advantageous because it has the highest chemical resistance compared to other plastics in question against all aggressive media of interest in practical application.

Es sind bereits Memranventile bekannt, deren Ventilraum zum Stellantrieb durch eine PTFE-beschichtete elastomere Membrane oder durch eine einschichtige homogene PTFE-Membrane abgedichtet wird. Bei der mit einer dünnen PTFE-Beschichtung versehenen elastomeren Membrane diffundiert das aggressive Medium infolge der relativ hohen Permeabilität des PTFE bis zur elastomeren Membrane und greift diese chemisch an. Die mit einer stärkeren PTFE-Beschichtung versehenen elastomeren Membranen oder die einschichtigen PTFE-Membranen ausreichender Schichtdicke weisen aufgrund des nichtelastomeren Verhaltens des PTFE nur eine geringe Flexibilität auf und verursachen einen relativ hohen Aufwand an Stellenergie für die Ventilbetätigung, Wegen dieser Nachteile finden gegenwärtig in Ventilen für aggressive Medien vorzugsweise elasbmere Kunststoffe als Membranwerkstoffe Verwendung. Diese elastomeren Werkstoffe besitzen keine universelle Beständigkeit gegen aggressive Medien, damit ausgestattete Ventils können nicht für alle interessierenden Medien Anwendung finden. Es kommt dadurch, insbesondere bei·There are already known membrane valves whose valve space is used as an actuator is sealed by a PTFE-coated elastomeric membrane or by a single-layer homogeneous PTFE membrane. at the elastomeric membrane with a thin PTFE coating diffuses the aggressive medium due to the relative high permeability of the PTFE up to the elastomer membrane and chemically attacks it. The ones with a stronger PTFE coating provided elastomeric membranes or the single-layer PTFE membranes of sufficient layer thickness have due to the non-elastomeric Behavior of the PTFE on only a low flexibility and cause a relatively high expenditure of actuating energy for the valve actuation. Because of these disadvantages are currently found in Valves for aggressive media, preferably elastic plastics use as membrane materials. These elastomer materials do not have universal resistance to aggressive media, valve equipped with it cannot be used for all media of interest. It comes about, especially with

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509883/07If509883 / 07If

1429448 ·*·1429448 · * ·

Mischflüssigkeiten, deren Konzentration und Zusammensetzung nicht exakt bekannt sind, häufig zum Einsatz von gegen äaa Durchflußmedium des Ventils nur bedingt beständigen Membranwerkstoffen; die Membranen haben dann nur eine kurze Lebensdauer und die Ventile sind durch eine erhöhte Störanfälligkeit gekennzeichnet.Mixed liquids, the concentration and composition of which are not exactly known, are often used against äaa The flow medium of the valve has only limited resistance to membrane materials; the membranes then only have a short service life and the valves are more susceptible to failure marked.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ventil zu schaffen, dessen PTFE-Membranabdichtung gegenüber den bekannten PTFE-Mem branausf ührungen eine höhere Flexibilität ( geringere Federsteifigkeit und höhere Bewegungsfreiheit) und höhere Druckfestigkeit aufweist und in ihrem mechanischen Leistungsvermögen den aus elastomeren Werkstoffen hergestellten Membranen entspricht.The invention is based on the object of creating a valve its PTFE membrane seal compared to the well-known PTFE meme branch versions a higher flexibility (lower spring stiffness and higher freedom of movement) and higher pressure resistance and corresponds in its mechanical performance to the membranes made of elastomeric materials.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die das Ventilgehäuse abdichtende Membrane sowie bei der Ausführungsform des Membranantriebes auch die Membrane des Membranantriebes aus einer dem jeweils geforderten Druckbereich angepaßten Anzahl von PTFE-Folien besteht, die entweder an ihren inneren Rändern durch Versintern und Verspannen druckdicht miteinander verbunden und an ihren äußeren Rändern vorzugsweise versintert und verspannt oder nur verspannt sind oder radiale Entlüftungsöffnungen führen oder mit Ausnahme der druckseitig liegenden Folie mit einer Perforierung versehen sind oder aber an ihren inneren Rändern durch Verspannen druckdicht miteinander verbunden sind und an ihren äußeren Rändern verspannt sind oder radiale Entlüftungsöffnungen führen oder mit Ausnahme der druckseitig liegenden Folie mit einer Perforierung versehen sind und die am äußeren und inneren Rand der Membrane für die Aufnahme von mittig angelegten, vorzugsweise als O-Ringen ausgeführten Vorspannringen ringförmige Vertiefungen besitzen.This object is achieved according to the invention in that the The membrane sealing the valve housing and, in the embodiment of the membrane drive, also the membrane of the membrane drive consists of a number of PTFE foils adapted to the required pressure range, either on their inner edges connected to one another in a pressure-tight manner by sintering and bracing and preferably sintered and braced at their outer edges or are only tensioned or lead radial ventilation openings or with the exception of the film on the pressure side with a Perforations are provided or are connected to one another in a pressure-tight manner at their inner edges by bracing and on their outer edges are tensioned or lead radial ventilation openings or with the exception of the film on the pressure side are provided with a perforation and are provided on the outer and inner edge of the membrane for the reception of centrally placed, Pre-tensioning rings preferably designed as O-rings have annular recesses.

Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Further embodiments of the invention emerge from the subclaims.

509883/0798509883/0798

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2429**82429 ** 8

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin/ daß die lamellierte PTFE-Membrane einerseits bei allen interessierenden aggressiven Medien verwendbar ist, andererseits eine höhere Flexibilität und Druckfestigkeit als die bisher bekannten, aus PTFE hergestellten einschichtigen oder mit PTFE beschichteten, aus elastomeren Werkstoffen bestehenden Membränausführungen aufweist.The advantages achieved by the invention are in particular / that the laminated PTFE membrane on the one hand in all aggressive media of interest can be used, on the other hand a higher flexibility and compressive strength than the previously known single-layer or PTFE made of PTFE coated membrane designs made of elastomeric materials having.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben:Embodiments of the invention are shown in the drawing and are described in more detail below:

Es zeigenShow it

Figur 1 einen Längsschnitt des Erfindungsgegenstandes inFIG. 1 shows a longitudinal section of the subject matter of the invention in

einer der möglichen Membranventilausführungsformenone of the possible diaphragm valve designs

Figur 2 im Längsschnitt eine Ausführung der lameliiertenFigure 2 in longitudinal section an embodiment of the laminated

PTFE-MembranePTFE membrane

Figur 3 den Längsschnitt einer Ausführungsform mit eingespannten Stütz scheibenFigure 3 shows the longitudinal section of an embodiment with clamped Support washers

Figur 4 im Längsschnitt eine weitere Ausführung des Mem-Figure 4 in longitudinal section another embodiment of the mem-

branventilesfuel valves

Figur 5 a einen Längsschnitt der ringförmigen Vertiefung und der radialen Entlüfttingsöffnungen der lameliierten PTFE-Membrane Figure 5a shows a longitudinal section of the annular recess and the radial ventilation openings of the laminated PTFE membrane

Figur 5 b eine Draufsicht auf die radiale E ntlüftungs öffnungen führende Außeneinspannung der MembraneFIG. 5b shows a plan view of the external clamping of the membrane leading to the radial ventilation openings

Figur 6 a einen Längsschnitt der mit einer Perforierung versehenen i&mellierten PTFE-MembraneFIG. 6 a shows a longitudinal section of the perforated one i & mellated PTFE membrane

Figur 6 b eine Draufsicht auf die mit einer Perforierung versehene lamellierte PTFE-MembraneFIG. 6 b shows a plan view of the one provided with a perforation laminated PTFE membrane

Der Erfindungsgegettötatiä nach Figur 1 betrifft ein Membranventil mit pneumatischer Betätigung, das im drucklosen Zustand des Druckraumes 1 des Stellantriebes die geöffnete Ventilposition, bei Druckbeaufschlagung des Stellantriebes die geschlossene Ventilposition aufweist, Wobei die vorgespannte Rückholfeder 2 die Offen·The InventionGettötatiä according to Figure 1 relates to a diaphragm valve with pneumatic actuation, which in the unpressurized state of the pressure chamber 1 of the actuator, the open valve position, at Pressurization of the actuator drives the closed valve position has, whereby the pretensioned return spring 2 is the open

50 9883/079850 9883/0798

stellung des Ventiles bei drucklosem Zustand des Stellantriebes gewährleistet. Die lamellierte PTFE-Membrane 3 dient gleichzeitig als Ventilabdichtungsmembrane und als pneumatische oder hydraulische Stellmembrane. Die Membrane 3 wird zwischen dem Ventilunterteil 4 und dem Ventiloberteil 5 über eine in Figur nicht dargestellte Schraubverbindung eingespannt, wobei der Raum 1 zwischen der lameliierten PTFE-Membrane 3 und dem Ventiloberteil 5 den Druckraum des Stellantriebes bildet. Der Ventilteller 6 und der obere Membranspannring 7 sind als Stützteller der Membraneposition of the valve when the actuator is depressurized. The laminated PTFE membrane 3 serves at the same time as a valve sealing membrane and as a pneumatic or hydraulic control membrane. The membrane 3 is clamped between the lower valve part 4 and the upper valve part 5 via a screw connection not shown in the figure, the space 1 between the laminated PTFE membrane 3 and the upper valve part 5 forming the pressure chamber of the actuator. The valve plate 6 and the upper diaphragm clamping ring 7 are used as a support plate for the diaphragm

3 ausgebildet. Die innere Einspannung der Membrane 3 zwischen beide Stützteller 6, 7 erfolgt durch eine Spannhülse 8, die über das Gewinde des Ventilschaftes 9 die Spannteile G, 7 zusammenpreßt. Der Ventilschaft 9 wird über die Spannhülse 8 in einem zwischen Ventilunterteil3 trained. The internal clamping of the membrane 3 between the two Support plate 6, 7 takes place through a clamping sleeve 8, which is over the thread of the valve stem 9, the clamping parts G, 7 presses together. The valve stem 9 is over the clamping sleeve 8 in an intermediate valve lower part

4 und Ventiloberteil 5 eingespannten Führungsteil 10 geführt und übernimmt die Führung des Ventiltellers 6. Die Rückholfeder 2 des Ventiles wird zwischen dem Führungsteil 10 und einem an der Spannhülse 8 angedrehten Ansatz 11 vorgespannt, der Druckausgleich zwischen dem Raum 1 unterhalb des Ventiloberteiles 5 und dem Raum 12 zwischen Membrane 3 und Führungsteil 10 wird durch mehrere kreisförmige Bohrungen im Führungsteil 10 gewährleistet.4 and upper valve part 5 clamped guide part 10 out and takes over the guidance of the valve disk 6. The return spring 2 of the valve becomes preloaded between the guide part 10 and a lug 11 turned on the clamping sleeve 8, the pressure equalization between the space 1 below the upper valve part 5 and the space 12 between membrane 3 and guide part 10 is through several circular holes in the Guide part 10 guaranteed.

Wie Figur 2 zeigt, enthält die mehrschichtige, kreisförmige PTFE-Membrane 3 mittig eine Bohrung 14 für die Stößel-Durchführung und Befestigung. Die ringförmigen Vertiefungen 15, 16 kreisförmigen Querschnittes dienen zur Aufnahme von vorzugsweise als O-Ringen ausgeführten Spannringen 17, Γ8. Die Membrane kann zwei- oder mehrschichtig ausgebildet werden, wobei die Anzahl der PTFE-Folien 19 a.. d und deren Stärke in Anpassung an die jeweiligen Membranbeanspruchungen durch Druck und Stellkräfte bestimmt wird. In dem Ausführungsbeispiel der Erfindung nach Figur 2 sind die Membranfolien 19 a.. d durch kreisförmige Sinternähte 20, 21 am Innen- und Außendurchmesser der Membrane zusammengehalten und die Folienzwischenräume nach außen durckdicht abgeschlossen.As FIG. 2 shows, the multilayer, circular PTFE membrane 3 has a central bore 14 for the tappet lead-through and fastening. The annular recesses 15, 16 of circular cross-section serve to accommodate clamping rings 17, Γ8, which are preferably designed as O-rings. The membrane can have two or more layers , the number of PTFE foils 19 a .. d and their thickness being determined by pressure and actuating forces in adaptation to the respective membrane stresses. In the exemplary embodiment of the invention according to FIG. 2, the membrane foils 19 a ... d are held together by circular sintered seams 20, 21 on the inner and outer diameter of the membrane and the gaps between the foils are sealed off from the outside in a pressure-tight manner.

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50988 3/079850988 3/0798

-tr--tr-

In der Ausführungsform nach Figur 3 sind zur besseren Abstützung der Membrane bei hohen Nenndrücken des Ventiles zwischen den -.Stützteilern ü, 7 und der Membrane 3 vorzugsweise aus PTFE gefertigte Stützscheiben 45/ 46 eingespannt, die in den beiden End Lagen der Membranbewegung durch ihre wulslförmigen Handausbildungen die Ringspalte zwischen den inneren Membranstiitztellern Π, 7 und den die Membrane an ihrem äußeren Rande abstützenden Ventilleilen 4, 10 abdecken und eine höhere Druckbeänppruchung der Membrane ermöglichen.In the embodiment according to FIG. 3, support disks 45/46 , preferably made of PTFE, are clamped between the support members 7 and the membrane 3 for better support of the membrane at high nominal pressures of the valve Manual training covers the annular gaps between the inner diaphragm support plates Π, 7 and the valve valves 4, 10 supporting the diaphragm on their outer edge and enable the diaphragm to be subjected to higher pressures.

Bei der Ventilausführung nach Figur 4 sind das Gehäuseunlerteil 22, der Ventilteller 23, die. lamellierte PTFK-Dichtmembrane mit den entsprechenden Teilen in Figur 1 identisch; der Ventilantrieb besteht aus einem beispielsweise pneumalisch oder hydraulisch betätigten Stellantrieb mit Federrückstellung. Die lamellierte Ι'ΊΊΤ.-Dichtmembrane 24 wird zwischen dem Gehäuseunterteil 22 und einem mittleren Gehäuse 25 eingespannt und tue Stell membrane liegt zwischen dem mittleren. Gehäuse 2Γ, und dem Gehäuseoberteil 2", die Dichtmembrane 24 und Stellmembrane 26 bilden mit Ventilteller 33, Stützteller 30, Ventilschaft 29, dem mittleren Gehäuse 25 und dem Stützteller 28 der Stellmembrane eine Baueinheit. Der Druckraum des Stellantriebes wird durch das Dichtungselement 34 im mittleren Gehäuse 25 ahgedichtet und der Raum 35 oberhalb der Dichtmembrane 24 über die Bohrung 36 im mittleren Gehäuse 25 in. die Atmosphäre entlüftet. Die Einspannung der Membranen 24* 26 an ihren Innendurchmessern erfolgt über getrennte Schraubverbindungen des Ventilschaftes M mit dem Ventilstößel 31 und des Ventilstößels 31 mit. dem Stütz» teller 30 der Steife em bran© 26 durch eine Hutmutter 32; dadurch wird die unabhängig© Austauschbarkeit beider Membranen 24,26 gewähr» leistet,. Cfe hau se oberteil Sf mit mittleren Gehäuse 25 sowie nütt* leres Gehäuse· 2.5; mit G-ehäuseunterteil 22 werden unab-In the valve design according to FIG. 4, the housing lower part 22, the valve disk 23, are the. Laminated PTFK sealing membrane identical to the corresponding parts in FIG. 1; the valve drive consists of, for example, a pneumatically or hydraulically actuated actuator with spring return. The lamellar Ι'ΊΊΤ.-sealing membrane 24 is clamped between the lower housing part 22 and a middle housing 25 and the control membrane is located between the middle. Housing 2Γ, and the upper housing part 2 ", the sealing membrane 24 and operating membrane 26 form a structural unit with the valve plate 33, support plate 30, valve stem 29, the middle housing 25 and the support plate 28 of the control membrane Housing 25 is sealed and the space 35 above the sealing membrane 24 is vented into the atmosphere via the bore 36 in the middle housing 25. The clamping of the membranes 24 * 26 at their inner diameters takes place via separate screw connections of the valve stem M with the valve tappet 31 and the valve tappet 31 . with the support "plate 30 of the stiffener em bran © 26 by a cap nut 32; * Leres thereby ensures 24,26 'ensure the interchangeability © independently of both diaphragms ,. C f e Hau se Sf shell with center housing 25 and housing nütt 2.5; with G-housing lower part 22 are independent

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

2*294482 * 29448

hängig voneinander durch hier nicht gezeigte Verschraubungen miteinander verbunden. Dadurch kann der Austausch der Dichtmembranedependent on one another by screw connections not shown here tied together. This allows the sealing membrane to be replaced

24 ohne Trennung des Gehäuse Oberteiles 27 vom mittleren Gehäuse24 without separating the upper housing part 27 from the middle housing

25 sowie der Austausch der Stellmembrane 26 ohne Trennung des Gehäuseunterteiles 22 vom mittleren Gehäuse 25, erfolgen.25 as well as the replacement of the operating diaphragm 26 without separating the lower housing part 22 from the middle housing 25.

In einer weiteren, in Figur 5 a , b dargestellten Ausführungsform der lameliierten PTFE-Membrane wird eine radiale Entlüftung der Folienzwischenräume durch über den in ringförmigen Vertiefungen gefaßten äußeren Spannring 15 verlaufende Folieneinschnitte 37 erreicht; dadurch wird ein Aufblähen der Membrane infolge einer Diffusions- oder Leckageströmung vom Ventilraum in die Folienzwischenräume verhindert.In a further embodiment of the laminated PTFE membrane shown in FIGS. 5 a, b, a radial venting of the film spaces is achieved by film incisions 37 extending over the outer clamping ring 15 held in annular depressions; this prevents the membrane from inflating as a result of diffusion or leakage flow from the valve space into the spaces between the foil.

In der in Figur 6 a, b dargestellten Ausführung der larnellierten PTFE-Membrane wird eine Entlüftung, der Folienzwischenräume durch eine Perforierung der einzelnen Folien 38 a..c nut Ausnahme der druckseitig liegenden Dichtfolie 39 erreicht; diese Entlüftung schließt ein Aufblähen der Membrane infolge einer Diffusions strömung vom Ventilraum in die Folienzwischenräume der Dichtmembrane 24 aus. Das durch die Dichtmembrane 24 diffundierende Medium wird über die Bohrung 36 des mittleren Gehäuses 25 in die Atmosphäre geleitet.In the embodiment of the laminated one shown in FIGS. 6 a, b PTFE membrane becomes a vent, the spaces between the foil by perforating the individual foils 38 a..c only exception the sealing film 39 on the pressure side is reached; this venting closes a swelling of the membrane as a result of a Diffusion flow from the valve chamber into the film spaces between the sealing membrane 24. The through the sealing membrane 24 diffusing medium is passed through the bore 36 of the middle housing 25 into the atmosphere.

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Claims (1)

2*294482 * 29448 SchutzansprücheProtection claims Ij Membranabgedichtetes Ventil, dessen Ventilgehäuse, Ventilsitz und Ventilteller aus PTFE oder anderen korrosionsbeständigen Materialien (Metall, Kunststoff) bestehen und dessen Ventilsitz durch einen elektromagnetischen, elektromotorischen Antrieb, Membranantrieb, Kolbenantrieb oder durch direkte oder vorgesteuerte Druckbeaufschlagung der Dichtmembrane des Ventilgehäuses betätigt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die das Ventilgehäuse 4, 22 abdichtende Membrane 3, 24 sowie bei der Ausführungsform des Membranantriebes auch die Membrane 26 des Membranantriebes aus einer dem jeweils geforderten Druckbereich angepaßten Anzahl von PTFE-Folien Ii) a..d, 38 a..c, besteht, die entweder an ihren inneren Rändern durch Versintern und Verspannen druckdicht miteinander verbunden und an ihren äußeren Rändern vorzugsweise versintert und verspannt oder nur verspannt sind und radiale Entlüftungsöffnungen 37 führen oder mit Ausnahme der druckseitig liegenden Folie 39 mit einer Perforierung versehen sind oder aber an ihren inneren Rändern durch Verspannen druckdicht miteinander verbunden sind und an ihren äußeren Rändern verspannt sind und radiale Entlüftungs-Öffnungen 37 führen oder mit Ausnahme der druckseitig liegenden Folie 39 mit einer Perforierung versehen sind und die am äußeren und .inneren Rand der Membrane 3, 24, 26 für die Aufnahme von mittig eingelegten, vorzugsweise als O-Ringen ausgeführten Vorspannringen 17, 18 ringförmige Vertiefungen 15, 16 besitzen.Ij diaphragm-sealed valve, its valve housing, valve seat and valve head made of PTFE or other corrosion-resistant materials (metal, plastic) and its valve seat by an electromagnetic, electromotive drive, membrane drive, piston drive or by direct or pilot-operated Pressurization of the sealing membrane of the valve housing is actuated, characterized in that the The membrane 3, 24 sealing the valve housing 4, 22 and, in the embodiment of the membrane drive, also the membrane 26 of the diaphragm actuator from a number of PTFE foils adapted to the required pressure range Ii) a..d, 38 a..c, exists, which are connected to one another in a pressure-tight manner either at their inner edges by sintering and bracing, and at their outer edges are preferably sintered and braced or only braced and lead radial ventilation openings 37 or with the exception of the film 39 on the pressure side, are provided with a perforation or on their inner edges are connected to one another in a pressure-tight manner by bracing and are braced at their outer edges and have radial ventilation openings 37 lead or, with the exception of the film 39 on the pressure side, are provided with a perforation and on the outside and .inner edge of the membrane 3, 24, 26 for receiving centrally inserted pretensioning rings, preferably designed as O-rings 17, 18 have annular recesses 15, 16. 2, Membranabgedichtetes Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Folien 19 a. .d, 38 a..c der PTFE-Membrane 3, 24, 26 mit Ausnahme der druckseitig liegenden Folie 39 mit einer Gewebeeinlage aus Glasfaser oder Kunststoff verstärkt sind. -. Λ _ Λ Λ 2, membrane-sealed valve according to claim 1, characterized in that one or more foils 19 a. .d, 38 a..c of the PTFE membrane 3, 24, 26, with the exception of the film 39 on the pressure side, are reinforced with a fabric insert made of glass fiber or plastic. -. Λ _ Λ Λ 509883/0798509883/0798 -2-BAD ORIGINAL-2-BATH ORIGINAL 3. Membranabgedichtetes Ventil nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die lameliierte PTFE-Membrane 3, 24, auf der Seite der Druckbeaufschlagung eine stärkere Dichtfolie 39 besitzt und die darüber liegenden Folien eine geringere und/oder kontinuierlich abnehmende Folienstärke aufweisen.3. Diaphragm-sealed valve according to claims 1 and 2, characterized in that the laminated PTFE membrane 3, 24, has a stronger sealing film 39 on the side of the application of pressure and the films above it have a smaller and / or have continuously decreasing film thickness. 4. Membranabgedichtetes Ventil nach Ansprüchen 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einspannteile 6, 7, 23,28,3Oder PTFE-Membrane gleichzeitig als Membranstützteller ausgebildet und zwischen Stützteller und Membrane elastische, vorzugsweise aus PTFE hergestellte Stützscheiben 45, 46 eingespannt sind, die durch ihre wulstförmige Randausbildung die Ringspalte zwischen Membranstützteller und Außeneinspannung der PTFE-Membrane abdecken.4. Diaphragm-sealed valve according to claims 1-3, characterized in that the clamping parts 6, 7, 23,28,3Oder PTFE membrane at the same time designed as a membrane support plate and elastic, preferably between the support plate and membrane Supporting disks 45, 46 made of PTFE are clamped in, which form the annular gaps due to their bead-shaped edge formation Cover between the membrane backing plate and the external clamping of the PTFE membrane. 509883/0798509883/0798 LeerseiteBlank page
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