DE2408890A1

DE2408890A1 - Verfahren und vorrichtung zur modulation von licht

Info

Publication number: DE2408890A1
Application number: DE19742408890
Authority: DE
Inventors: Gerald B Brandt; Milton Gottlieb
Original assignee: Westinghouse Electric Corp
Current assignee: CBS Corp
Priority date: 1973-02-28
Filing date: 1974-02-23
Publication date: 1974-08-29
Also published as: US3856378A; JPS502567A; FR2219432A1; GB1468031A; GB1468032A; FR2219432B1

Description

DiPL-ING. KLAUS NEUBECKER 2408890

Patentanwalt
4 Düsseldorf 1 · Schadowplatz 9

₄₄ 323 . ■ Düsseldorf, 22. Febr. 1974

Westinghouse Electric Corporation
Pittsburgh/ Pennsylvania, V. St. A.

Verfahren und Vorrichtung zur Modulation von Licht

Diese Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Modulation von Licht mittels akustisch/optischer Wechselwirkung und insbesondere auf integrierte optische Modulatoren und Kopplungsglieder, welche akustische gebündelte Energie verwenden.

Während die zugrunde liegenden physikalischen Erscheinungen seit vielen Jahren bekannt sind, gibt es optische Dünnfilm-Wellenleiter erst seit kurzem. Optische Wellenleiter, insbesondere integrierte optische Glieder, bei denen eine Vielzahl optischer Bauteile in einer monolithischen Struktur untergebracht sind, bieten hervorragende Aussichten bei_v der Signalverarbeitung und Signalübertragung. Da die übertragung mittels Mikrowellen gegenüber Hochfrequenzwellen größere Kapazitäten bei der Übertragung und Signalverarbeitung wegen der größeren Modulationsbreite bietet, wurde allgemein angenommen, daß die optische Signalverarbeitung wesentlich besser als die Verarbeitung von Mikrowellen wegen der möglicherweise noch viel größeren Modulationsbreite sei. Die op-

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tische Wellenlänge ist etwa 10 mal kleiner als diejenige von Mikrowellen, so daß optische Dünnfilmeinrichtungen nebeneinander auf einem einzigen Substrat angeordnet werden können und die Ein-

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richtung nicht nur wirtschaftlicher sondern auch gegenüber Umgebungseinflüssen, wie beispielsweise Temperaturänderungen, Erschütterungen und elektromagnetischer Streustrahlung unempfindlicher machen. Trotz der Möglichkeiten bei der optischen Übertragung und Signalverarbeitung sind bisher keine wirksamen, wirtschaftlichen und zuverlässigen Verfahren zur Modulation von Licht geschaffen worden, um von der erweiterten Bandbreite Nutzen zu ziehen.

Kurz gesagt, bestehen optische Dünnfilm- oder Wellenleitersysterne aus dielektrischen oder Halbleiterfilmen, die auf einem Substrat aufgebracht sind. Wenn ein Lichtstrahl auf den Film gerichtet wird bzw. eingekoppelt wird, stellt sich dieser selbst derart ein, daß er innerhalb der Dicke des Filmes begrenzt wird. Innerhalb der Ebene des Filmes kann die Lichtwelle sich in jeder Richtung ausbreiten und an jeder gegebenen Grenzfläche reflektiert oder gebrochen werden. Die Wellenlänge der geführten Welle und damit deren Ausbreitungsgeschwindigkeit ist eine Funktion der Abmessungen und Brechungsindices des Wellenleiters und der angrenzenden Materialien. Damit die Ausbreitung der Welle innerhalb eines Wellenleiters erfolgt, muß der Brechungsindex des Wellenleitermateriales größer als die Brechungsindices der den Wellenleiter begrenzenden Medien sein. Außerdem bestimmen die Kontinuität der Welle und deren räumliche Ableitungen an den Grenzflächen des Wellenleiters die zulässigen Wellenlängen in dem Wellenleiter sowie den abklingenden Wellenbereich, bei welchem die Welle exponentiell in der Amplitude abnimmt. Da die Abfallzeitkonstanten des Strahles in den abklingenden Bereichen (in den Grenzmedien) eine Funktion der Brechungsindices der Grenzmedien sind, wird der Wellenleiter dann als asymmetrisch angesehen, wenn der Brechungsindex für jedes der Grenzmedien unterschiedlich ist, bzw. er wird als symmetrisch angesehen, wenn die Brechungsindices an den Grenzmedien überall gleich sind. Eine Unterbrechung der Wellenausbreitung in einem asymmetrischen Wellenleiter tritt bei einer gegebenen Schwingungsform auf, wenn die Funktionen in dem Wellenleiter und die Grenzmedien nicht aufeinander abgestimmt sind;

wenn die Dicke des Wellenleiters abnimmt, wird der Grenzwert der Dicke erreicht. In einem symmetrischen Wellenleiter hat der Strahl mit der Schwingungsform der niedrigsten Ordnung keine Diskontinuität bezüglich der Ausbreitung.

Wegen der kleinen Abmessungen von optischen Wellenleitern ist die direkte Einkopplung, beispielsweise durch Fokussieren optischer Energie (Laserstrahlen) nicht wirkungsvoll. Wirksamere Kopplungsverfahren verwenden allgemein die Einkopplung einer abklingenden Welle einer Struktur, normalerweise eines Prismas oder Gitters. Das Licht, welches in den Wellenleiter eingekoppelt werden soll, wird beispielsweise bei einem Prisma vollständig intern von dem Prisma reflektiert, welches einen höheren Brechungsindex als der Wellenleiter hat. In der Praxis muß das Prisma im Abstand von dem Wellenleiter angeordnet werden, so daß ein dünner Zwischenraum mit einem niedrigen Brechungsindex verbleibt, in welchem ein abklingendes Feld ausgebildet wird, welches Energie in den Wellenleiter einkoppelt.

Es ist eine Reihe von Einrichtungen bekannt geworden, bei denen die Phase des sich ausbreitenden Lichtes moduliert werden kann. Beispielsweise ist eine digitale, elektro/optische Ablenkeinrichtung aufgebaut, worden, bei welcher periodische Elektrodenmuster verwendet werden, um durch eine Spannung gesteuerte Phasengitter in einem elektro/optisehen Wellenleiter zu erzeugen. Auch ist nachgewiesen worden, daß akustisch/optische Effekte Modulation und Ablenkung bewirken können. Diese Einrichtungen ziehen Nutzen aus der Wechselwirkung der akustischen Welle an der Oberfläche in einer zweidimensionalen Ebene. Bei einer anderen Form ' einer Anordnung kann eine akustische Oberflächenwelle mit einer Lichtwelle in Wechselwirkung treten, wobei beide Wellen sich ••kollinear¹¹ ausbreiten. In diesem Fall wird die Lichtwelle umgewandelt, wobei die Summe der Momentenvektoren erhalten bleibt, saomit kann durch die Verwendung von Oberflächenwellen mit Hochfrequenz oder Mikrowellenfrequenz ein Umsetzer für die. Schwingungsart hergestellt werden.

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Während die Verfahren der Schwingungsumwandlung, der Phasenmodulation und Ablenkung nützliche Fortschritte bei der optischen Signalverarbeitung und Übertragung mit sich bringen, besteht ein Bedarf nach Modulatoren, welche wirkungsvoll sind und eine große Bandbreite haben.

Es ist somit vor allem eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, mit welcher nicht nur Phasenmodulation und eine Modulationsumformung erhalten werden, sondern auch eine Amplitudenmodulation eines sich ausbreitenden Lichtstrahles innerhalb eines Wellenleiters erreicht wird. Weiterhin soll es möglich sein, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kopplung mehrerer Kanäle zu schaffen.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch ein Verfahren zur Modulation von Licht geschaffen, welches sich in einem optischen Wellenleiter ausbreitet, indem akustische Ultraschall-Wellenbündel durch den Wellenleiter zur Wechselwirkung mit dem ausgebreiteten Licht geschickt werden.

Erfindungsgemäß wird auch eine Vorrichtung zur Modulation von Licht geschaffen, welche einen zur Ausbreitung von Licht geeigneten optischen Wellenleiter, einen optischen, auf einer Oberfläche des Wellenleiters angeordneten Isolator mit einem geringeren Brechungsindex als der Wellenleiter und einen auf dem Isolator angeordneten Ultraschallübertrager aufweist, welcher in dem Wellenleiter akustische Wellenbündel erzeugt.

Zweckmäßigerweise kann die Einrichtung zur Modulation von Licht einen piezoelektrischen optischen Wellenleiter und ein Paar Elektroden aufweisen, die auf gegenüberliegenden Flächen des Wellenleiters angeordnet sind, wobei zwischen jeder der Elektroden und dem Wellenleiter ein optischer Isolator eingefügt ist.

Weiterhin kann eine Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht zwischen wenigstens zwei Wellenleitern vorgesehen werden, welche wenig-

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stens zwei optische Wellenleiter mit wenigstens aneinander angrenzenden ebenen Abschnitten aufweist und bei welcher zwischen den angrenzenden Abschnitten ein Dünnfilm angeordnet ist, der abklingende Wellen bei der Zufuhr von akustischer Energie übertragen kann und einen geringeren Brechungsindex als der Wellenleiter hat und bei welchem ein akustischer übertrager auf der Fläche eines der Wellenleiter angeordnet ist und einen optischen Isolator zwischen dem Wellenleiter und dem übertrager aufweist.

Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung kann eine Einrichtung zum Koppeln von Licht zwischen wenigstens zwei Wellenleitern vorgesehen werden, welche wenigstens zwei Wellenleiter mit wenigstens ebenen Abschnitten aufweist, die nebeneinander angeordnet sind und durch einen dünnen piezoelektrischen Film getrennt sind und bei welchen Elektroden neben jedem der Wellenleiter zur Aktivierung des piezoelektrischen Filmes angeordnet sind.

Durch die Erfindung werden somit ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Breitbandmodulation von sich in optischen Wellenleitern ausbreitenden Lichtwellen geschaffen. Es hat sich herausgestellt, daß Ultraschallwellen, sowohl Schub- als auch Längswellen, die sich durch einen optischen Wellenleiter rechtwinklig zu der Ebene des Wellenleiters und damit rechtwinklig zur Ausbreitungsrichtung des geführten Lichtes ausbreiten, zur Modulation mit dem geführten Licht gebracht werden können.

Es konnte gezeigt werden, daß bei der Zufuhr von akustischer Energie in der Form von Schub- oder Längswellenbündeln zu einem optischen Wellenleiter der Betrag des Lichtes in dem einfallenden Strahl abnimmt und das modulierte Licht in die Bereiche auf jeder Seite des ungebeugten Lichtes, d.h. in die Stellen in der Ebene des optisch leitenden Filmes oder Wellenleiters gebeugt werden. Das gebeugte Licht ist bezüglich der Frequenz durch die akustische Frequenz um 180° bezüglich der Phase zwischen entgegengesetzten Ordnungszahlen der Schwingung verschoben und für akustische

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Schub- und Längswellen ist der Polarisationszustand· des gebeugten Lichtes unverändert gegenüber denjenigen des einfallenden . Lichtes· Zusätzlich können Schubwellen einen wesentlichen Anteil des geführten Lichtes umwandeln. Das umgewandelte, bezüglich der Frequenz verschobene Licht breitet sich dann durch den Wellenleiter kollinear mit dem nicht umgewandelten Licht aus. Durch die Verwendung akustischer Schubwellen kann somit sowohl eine Modulation als auch eine Modulationsumwandlung zwischen den TE- und TM-Schwingungsformen erreicht werden. Das gesamte sich durch den Wellenleiter ausbreitende Licht wird mit der akustischen Frequenz moduliert.

Allgemein weist die Einrichtung zur akustisch/optischen Wechselwirkung einen Ultraschallübertrager auf, der mit der Oberfläche eines optischen Wellenleiters verbunden ist. Der übertrager kann entweder direkt oder indirekt mit der Oberfläche des Wellenleiters verbunden sein. Eine indirekte Verbindung kann mittels einer akustischen Verzögerungsleitung, beispielsweise geschmolzener Kieselerde erreicht werden, welche zwischen dem Wellenleiter und dem übertrager eingefügt wird. In beiden Fällen muß die Verbindung zwischen dem Wellenleiter und der akustischen Einrichtung mit einem Kitt mit einem geringeren Brechungsindex als demjenigen des Wellenleiters erfolgen, so daß ein Auskoppeln der optischen Welle aus dem Wellenleiter vermieden wird.

Eine sehr wirkungsvolle Anordnung für die Breitbandmodulation von Hochfrequenz verwendet Dünnfilmübertrager, beispielsweise aus Zinkoxyd, die direkt auf dem Wellenleiter durch das Verfahren der Kathodenzerstäubung aufgebracht werden. Eine dünne Schicht mit einem niedrigen Brechungsindex dient zur Isolation der über- " tragerelektrode von dem geführten Licht. Falls das Material des Wellenleiters piezoelektrisch ist, werden lediglich Elektroden zur Erzeugung der akustischen Wellen benötigt.

Bei einem Ultraschallübertrager, der mit der Oberfläche einer Wellenleiteranordnung mit mehreren übereinander gestapelten opti-

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sehen Wellenleitern verbunden ist, ermöglicht die Steuerung der Frequenz oder der Schwingungsart (Schubwelle oder Longitudinalwelle) der akustischen Wellenbündel, daß das Licht steuerbar zwischen diesen verschiedenen Wellenleitern eingekoppelt oder in anderer Weise moduliert wird.'

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert; es stellen dar:

Fig. 1 eine Teilquerschnittsansicht eines optischen Wellenleiters und Ultraschallübertragers und

Fig. 2 eine Teilquerschnittsansicht eines akustisch/optischen Kopplungsgliedes für mehrkanalige Wellenleiter.

Gemäß Fig. 1 enthält ein optischer Wellenleiter 10 zur Ausbreitung von Licht in dem gewünschten Bereich des Spektrums, beispielsweise in dem sichtbaren, infraroten und ähnlichen Bereich sowie ein Substrat 11, auf welchem der Wellenleiter angeordnet ist. Der Wellenleiter 10 besteht vorzugsweise aus direkt auf das Substrat mit einer Dicke von etwa einer Wellenlänge des gewünschten Lichtes, d.h. typischerweise 1,0 u bis 8,0 u zerstäubtem Glas. Eine größere Dicke als eine Wellenlänge gestattet die Ausbreitung in mehreren Schwingungsformen. Eine Dicke von mehr als 10 bis 20 Wellenlängen ist typischerweise nicht mehr als Dünnfilmwellenleiter definiert. Andererseits kann der Wellenleiter Polymerfilme beispielsweise aus Polyurethan, Polyesterepoxyd und dergleichen zur Ausbreitung in dem sichtbaren Spektralbereich und Halbleitermaterial, beispielsweise GaAs zur Ausbreitung im infraroten Bereich aufweisen. Vorzugsweise hat das Material, aus welchem der optische Wellenleiter hergestellt ist, geringe spezifische Verluste zwischen 1,0 und 10,0 dB/cm.

Das Substrat 11, auf welchem der Wellenleiter 10 ausgebildet ist, ist vorzugsweise Glas mit einem Brechungsindex von n₂ = 1,47. Da der Wellenleiter 10 einen größeren Brechungsindex als seine

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Grenzmedien haben muß, wird typischerweise für zerstäubtes Glas ein Brechungsindex von vorzugsweise etwa n, = 1,56 verwendet. Gemäß Fig. 1 kann das andere Gremzmediuin durch Luft gebildet werden, welche den Brechungsindex n^ = 1 hat. Demzufolge ist ⁿl Ϊ ⁿ2 ^{oder n}3*

Zum Koppeln von Licht in oder aus dem Wellenleiter 10 sind Prismen 12 und 13 dargestellt. Typischerweise haben die Prismen und 13 Brechungsindices von etwa 1,74. Da Licht durch abklingende Schwingungen eingekoppelt wird, befinden sich die Prismen und 13 in einem Abstand von etwa λ/4 oder etwa 0,15 u von dem Wellenleiter 1O. In Fällen, in denen die Prismen mit dem Wellenleiter verbunden werden sollen, ist ein Verbindungsmaterial mit einem Brechungsindex von weniger als n, des Wellenleiters erforderlich. Andererseits könnte ein Paar von Gitter-Kopplungsgliedern anstelle der Prismen 12 und 13 verwendet werden.

An dem Wellenleiter 10 ist ein üitraschallübertrager 14 befestigt. Dieses erfolgt über eine akustische Verzögerungsleitung 16, beispielsweise geschmolzene Kieselerde und ein akustisches Klebematerial 17, beispielsweise Kanadabalsam. Falls das Klebematerial 17 einen höheren Brechungsindex als den Index n^ des Wellenleiters 10 aufweist, muß ein optischer Isolator 18 zwischen dem Klebematerial und dem Wellenleiter angeordnet werden, so daß eine optische Diskontinuität vermieden wird. Es hat sich herausgestellt, daß zerstäubtes Polytetrafluoräthylen oder Bariumfluorid hierzu geeignet ist. Vorzugsweise hat der Isolator 18 die Dicke einer Wellenlänge.

Der Übertrager 14 erzeugt akustische Wellenbündel, entweder Schub- oder Längswellen, Die akustischen Wellen breiten sich durch den Film hindurch aus und modulieren das in diesem geführte Licht. Wenn die akustische Energie zugeführt wird, nimmt der Betrag des Lichtes in dem gerichteten Strahl ab und das modulierte Licht wird auf die Bereiche auf jeder Seite des ungebeugten Lichtes gebeugt oder bezüglich der Schwingungsform umgewandelt.

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Diese Modulation wird durch den Durchgang der akustischen Wellen durch den Wellenleiter 10 erreicht. Falls der akustische Impuls lang genug ist, kann jedoch eine Reflexion von der Unterseite des Substrates 11 erfolgen, welche stehende Wellen erzeugt, deren Spitzenamplituden zweimal so groß wie diejenige einer einzigen durchlaufenden Welle ist. Dieser Effekt kann verstärkt werden, indem das Substrat dünn ausgebildet wird, oder er kann abgeschwächt werden, indem eine akustische Absorbtionseinrichtung oder eine bezüglich des Wellenwiderstandes abgestimmte Verzögerungsleitung 21 auf die untere Fläche des Substrates 11 zum Unterdrücken von Reflexionen aufgebracht wird.

Die Herstellung des neuartigen Modulators kann wesentlich vereinfacht werden, indem als Wellenleiter 10 Materialien aus Hochpolymeren verwendet werden, welche ebenfalls einen piezoelektrischen Aufbau haben. Geeignete Materialien sind Polyvinylidenfluorid, Polyvinylfluorid, Polykarbonat, Polypropylen und der- ' gleichen. Diese Materialien werden entweder bei der Herstellung oder bei der Erwärmung und Abkühlung in einem starken elektrischen Feld piezoelektrisch. Da diese Materialien allgemein als optische Wellenleiterfilme geeignet sind, kann sowohl die Erzeugung akustischer Wellen als auch die Wellenleitung in der gleichen Anordnung erreicht werden. Bei einer derartigen Anordnung ist es lediglich erforderlich, daß auf jeder Seite des Filmes oder Wellenleiters 10 Elektroden angeordnet werden, die durch einen optischen Isolator 18 getrennt sind, so daß das Hindurchlecken von Licht verhindert wird. Die akustische Resonanz wird durch die Stärke des Filmes bestimmt und kann in der Größenordnung von einigen MHz liegen.

In Fig. 2 ist ein Mehrkanal-Wellenleiter 30 dargestellt. Der Mehrkanal-Wellenleiter 30 enthält eine Anzahl übereinander gestapelter Wellenleiter 31 bis 33 auf einem Substrat 34, welche jeweils, durch einen Film 36 getrennt sind, der zur (Dämpfungs-) Kopplung geeignet ist, und einen geringeren Beugungsindex als die Wellenleiter sowie eine ausreichende Dicke aufweist, damit die

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angrenzenden Wellenleiter bei der Zufuhr gebündelter' akustischer Wellen eingekoppelt werden können. Ein Übertrager 37 ist mit dem Wellenleiter 31 mittels einer Verzögerungsleitung 39, einer ' akustischen Klebeschicht 41 und eines optischen Isolators 42 verbunden. Der optische Isolator 42 hat vorzugsweise eine größere Dicke als der Bereich der Dämpfungskopplung ("evanescent region") in dem Material, d.h. typischerweise eine Dicke von etwa einer Wellenlänge. Andererseits kann eine größere Wahlmöglichkeit zwischen den Kanälen erreicht werden, indem ein Film 36 mit piezoelektrischen Eigenschaften verwendet wird.

Die durch den Übertrager 37 erzeugten akustischen Wellen breiten sich durch den Mehrkanal-Wellenleiter 30 aus und stellen eine Einrichtung zum Einkoppeln von Licht zwischen den verschiedenen Wellenleitern dar. Demgemäß kann eine Richtungskopplung beispielsweise dadurch erreicht werden, daß die verschiedenen Schichten derart angeordnet werden, daß sie sich in verschiedene Richtungen in der Ebene des Wellenleiters verzweigen, nachdem sie den Wechselwirkungsbereich unterhalb des akustischen Obertragers verlassen.

Patentansprüche;

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Claims

Patentansprüche :

Verfahren zur Modulation von Licht, welches durch einen optischen Wellenleiter ausgebreitet wird, dadurch gekennzeichnet , daß gebündelte akustische Ultraschallwellen durch den Wellenleiter zur Wechselwirkung mit dem sich ausbreitenden Licht geschickt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die akustischen Wellen gebündelte Längs- oder Schubwellen sind.
3. Verfahren, vorzugsweise nach Anspruch 1, zum Einkoppeln von Licht zwischen wenigstens zwei durch einen Dünnfilm getrennten Wellenleitern, der einen dünneren Brechungsindex aufweist, dadurch gekennzeichnet , daß ein Strahl des sich ausbreitenden Lichtes durch wenigstens einen der Wellenleiter gerichtet wird und gebündelte akustische Ultraschallwellen durch beide Wellenleiter zur Einkopplung des Lichtes in den anderen Wellenleiter geschickt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die akustischen Wellen gebündelte Längs- oder Schubwellen sind.
5. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein optischer Wellenleiter (10) zur Ausbreitung von Licht vorgesehen ist, ein optischer Isolator (18) auf einer Fläche des Wellenleiters angeordnet ist und einen geringeren Brechungsindex als der Wellenleiter aufweist und ein Ultraschallübertrager (14) auf dem Isolator (18) angeordnet ist und gebündelte akustische Wellen in dem Wellenleiter (1O)

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erzeugt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine akustische Verzögerungsleitung (16) zwischen dem Isolator (18) und dem Übertrager (14) angeordnet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder S, dadurch gekennzeichnet, daß eine akustische Absorbtionseinrichtung (21) auf der Oberfläche des Wellenleiters (10) gegenüber dem Übertrager (14) angeordnet ist.
8. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß ein optischer, piezoelektrischer Wellenleiter (10) zur Ausbreitung von Licht in diesem vorgesehen ist und ein Paar Elektroden auf den gegenüberliegenden Flächen des Wellenleiters angeordnet ist, zwischen denen sich ein optischer Isolator (18) befindet.
3. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (30) wenigstens zwei optische Wellenleiter (31 bis 33) mit wenigstens aneinander angrenzenden, ebenen Flächen und einem zwischen den aneinander angrenzenden Abschnitten angeordneten Dünnfilm (36) .enthält _. ., der abklingende Wellen bei der Zufuhr von akustischer Energie übertragen kann und einen geringeren Brechungsindex als der Wellenleiter hat und ein akustischer Übertrager (37) auf der Oberfläche eines der Wellenleiter angeordnet ist und einen optischen Isolator (42) aufweist, der zwischen dem Wellenleiter (31 bis 33) und dem Übertrager (37) angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach. Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (30) piezoelektrisch ist.

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11. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtung (30) wenigstens zwei Wellenleiter (31 bis 33) mit wenigstens angrenzenden ebenen Flächen aufweist, die durch einen piezoelektrischen Film (36) getrennt sind, und eine Elektrodenanordnung neben jedem der Wellenleiter zur Aktivierung des piezoelektrischen Filmes vorgesehen ist.

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