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DE1933236B2 - METHOD OF MANUFACTURING TUBES FOR TUBE-SHAPED ELECTRON MULTIPLERS - Google Patents

METHOD OF MANUFACTURING TUBES FOR TUBE-SHAPED ELECTRON MULTIPLERS

Info

Publication number
DE1933236B2
DE1933236B2 DE19691933236 DE1933236A DE1933236B2 DE 1933236 B2 DE1933236 B2 DE 1933236B2 DE 19691933236 DE19691933236 DE 19691933236 DE 1933236 A DE1933236 A DE 1933236A DE 1933236 B2 DE1933236 B2 DE 1933236B2
Authority
DE
Germany
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layer
tubes
pipes
tubular
pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19691933236
Other languages
German (de)
Other versions
DE1933236C3 (en
DE1933236A1 (en
Inventor
Henri Rougeot
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson CSF SA filed Critical Thomson CSF SA
Publication of DE1933236A1 publication Critical patent/DE1933236A1/en
Publication of DE1933236B2 publication Critical patent/DE1933236B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE1933236C3 publication Critical patent/DE1933236C3/en
Expired legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/06Electrode arrangements
    • H01J43/18Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/24Dynodes having potential gradient along their surfaces

Landscapes

  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Description

spiel für eine Anlage, welche bei der Behandlung der in F i g. 1 gezeigten Rohre verwendet wird, und F i g. 3 ein Beispiel eines fertigen Rohres für rohr-game for a system, which in the treatment of the in F i g. 1 is used, and F i g. 3 an example of a finished tube for tubular

förmige Elektronenvervielfacher gemäß der Er-shaped electron multipliers according to the

35 findung.35 discovery.

In allen Figuren sind die gleichen Teile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.In all figures, the same parts are provided with the same reference numerals.

F i g. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einesF i g. 1 shows an embodiment of one

Die Erfindung bezieht sich auf Elektronenverviel- Rohres für rohrförmige Elektronenvervielfacher, fächer und insbesondere auf solche, bei welchen die 40 welches für die erfindungsgemäße Behandlung vorVervielfachung eines Bündels von Primärelektronen bereiiet ist. Das gerade, über seine ganze Länge durch eine Folge von Sekundärelektronenemissionen längs der zwei diametral gegenüberliegenden Mantelim Inneren eines geradlinigen oder gekrümmten linien 2 und 21 aufgeschlitzte, isolierende Rohr 1 Kanals erzielt wird, in dem ein elektrisches Längs- weist zwei Hälften 3 und 31 auf.
feld herrscht. 45 In der Anlage gemäß F i g. 2 sind die beiden Hälf-
The invention relates to electron multiplier tubes for tubular electron multipliers, fans and in particular to those in which the 40 which is prepared for the treatment according to the invention prior to multiplication of a bundle of primary electrons. The straight, insulating pipe 1 channel, slit open over its entire length by a sequence of secondary electron emissions along the two diametrically opposite sheaths inside a straight or curved lines 2 and 21, in which an electrical longitudinal has two halves 3 and 31.
field prevails. 45 In the annex according to FIG. 2 are the two half

Es wird daran erinnert daß ein rohrförmiger Elek- ten 3 und 31 des Rohres auf der Platte 4 befestigt, tronenvervielfacher ein oder mehrere geradlinige welche um die Achse A gedreht wird (in dieser oder gekrümmte, im allgemeinen isolierende Rohre Figur ist nur die Hälfte 3 im Schnitt zu sehen). Die aufweist, welche auf ihrer Innenwand von einer beiden Hälften sind im Inneren einer Vakvum-Widerstandsschicht bedeckt sind, die die Eigenschaft 50 glocke 5 angeordnet, welche auf einem Rahmen 7 besitzt, Sekundärelektronen mit einem Koeffizien- angebracht ist und in welcher sich auch zwei Senaten ό>1 zu emittieren, während eine zwischen den len 6 befinden, die den Stoff enthalten, welcher auf Enden der Schicht angelegte Potentialdifferenz in der den Schalen 6 zugewandten Innenfläche der den rohrförmigen Kanälen ein elektrisches Längs- Rohre 3 und 31 aufgebracht werden soll. Im Beispiel feld erzeugt. Bei dieser Anordnung ruft ein in einen 55 der F i g. 2 wird der Niederschlag durch Vakuum-Kanal eindringendes Primärelc.ktronenbündel eine aufdampfung erzielt. Bei einer anderen Ausführungs-Folge von Sekundärelektronenemissionen an den form der Erfindung kann dieser Niederschlag auch inneren Beschichtungen derart hervor, daß am Aus- durch Kathodenzerstäubung des Halbleitermaterials gang des Kanals die Anzahl von Elektronen bezug- der Schalen unter Vakuum erhalten werden, wobei Hch derjenigen des Primärbündels stark vergrößert ist. 60 die Schalen beispielsweise aus Zinnoxyd bestehen.It is recalled that a tubular elec- tron 3 and 31 of the pipe is fixed on the plate 4, electron multiplier one or more rectilinear which is rotated around the axis A (in this or curved, generally insulating pipes Figure is only half 3 in the Cut to see). Which has, which are covered on its inner wall by two halves inside a vacuum resistance layer, which has the property 50 bell 5, which has on a frame 7, secondary electrons with a coefficient is attached and in which there are also two senates ό> 1 to emit, while one is located between the len 6, which contain the substance, which potential difference applied to the ends of the layer in the inner surface facing the shells 6 of the tubular channels an electrical longitudinal tubes 3 and 31 is to be applied. In the example field generated. With this arrangement, a calls to a 55 in FIG. 2 the precipitate is achieved by vapor deposition through a primary electron bundle penetrating the vacuum channel. In another embodiment sequence of secondary electron emissions to the form of the invention, this deposit can also produce inner coatings in such a way that the number of electrons in relation to the shells are obtained under vacuum at the exit of the channel through cathode sputtering of the semiconductor material, with Hch being that of the Primary bundle is greatly enlarged. 60 the shells are made of tin oxide, for example.

Bei der Herstellung der emittierenden Beschichtun- Der Vorteil des erfindungsgemäßen VerfahrensDuring the production of the emitting coating. The advantage of the method according to the invention

gen der Rohre von rohrförmigen Vervielfachem besteht im wesentlichen darin, daß eine mehr oder beschränkt man sich nach dem Stand der Technik weniger dicke, jedoch stets gleichföimig dicke allgemein auf zwei Verfahren. Schicht erzielt werden kann.gene of the tubes of tubular multipliers consists essentially in the fact that one more or According to the state of the art, one restricts oneself to less thick, but always the same thickness generally to two procedures. Layer can be achieved.

Es handelt sich 65 Insbesondere, wenn man die SekundäremissionIt concerns 65 in particular if one considers the secondary emission

— entweder um Niederschläge aus der flüssigen durch eine sehr dünne Schicht eines geeigneten- either to precipitate from the liquid through a very thin layer of a suitable

oder gasförmigen Phase: Man ruft die chemi- Stoffes zu steigern sucht, welche auf einer erstenor gaseous phase: one calls the chemical substance seeks to increase which on a first

sehe Reaktion eines Gasstromes, beispielsweise Schicht niedergeschlagen wird, gestattet dieses Ver-see reaction of a gas stream, for example layer is deposited, allows this

fahren eine große Präzision in den Stärken jedes dieser beiden nacheinander aufgebrachten Niederschläge. drive a great precision in the strengths of each of these two successively applied precipitates.

Schließlich kann bei der erfindungsgemäßen Anordnung, bei welcher das Rohr in zwei getrennten Hälften in die Behandlungsanlage eingebracht wird, die über die ganze Rohrlänge gleichförmige Niederschlagsstärke während des Betriebs in einer besondere genauen Weise durch eine bekannte Quarzanlage geregelt werden. Man erzeugt Schwebungen zwischen einer von Niederschlägen freien Quarzprobe und einem zweiten, in der Behandlungsanlage derart angeordneten Quarz, daß er die gleiche Niederschlagsstärke erhält, wie die beiden Teile des Rohres, und vergleicht sodann die Schwebungsfrequenz mit einer niedrigen Bezugsfrequenz.Finally, in the arrangement according to the invention, in which the pipe is brought into the treatment plant in two separate halves, the uniform rainfall over the entire length of the pipe during operation in a special precisely controlled by a known quartz system. You create beats between a precipitate-free quartz sample and a second one in the treatment facility quartz arranged in such a way that it receives the same amount of precipitation as the two parts of the Rohres, and then compares the beat frequency with a low reference frequency.

Der Widerstand kann ebenfalls direkt an einer mit zwei Elektroden versehenen Glasorobe kontrolliert werden, welche den Niederschlag gleichzeitig mit den beiden Halbrohren erhält. Man unterbricht die Behandlung, wenn der gewünschte Oberflächenwiderstand erreicht ist und gegebenenfalls die zusätzlichen Arbeitsgänge durchgeführt sind (Niederschlag einer sehr dünnen Sekundäremissionsschicht). Fig. 3 zeigt eine fertige Ausführungsform eines Rohres für rohrförmige Elektronenvervielfacher gemaß der Erfindung.The resistance can also be checked directly on a glass cabinet with two electrodes which receives the precipitation at the same time with the two half-tubes. One interrupts the treatment when the desired surface resistance is reached and, if necessary, the additional ones Operations have been carried out (precipitation of a very thin secondary emission layer). Fig. 3 shows a finished embodiment of a tube for tubular electron multipliers according to the invention.

Auf der Innenfläche der beiden Hälften 12 und 22 eines gekrümmten Glasrohres 11 ist die Schicht 13 aufgebracht. Nach dem Aufbringen werden die beiden Hälften 12 und 22, welche längs der MantellinienThe layer 13 is on the inner surface of the two halves 12 and 22 of a curved glass tube 11 upset. After application, the two halves 12 and 22, which are along the surface lines

ίο 14 und 24 voneinander getrennt waren, in ihre ursprüngliche Lage zurückgebracht und an ihren beiden Enden durch Klemmscheiben 15 und 16 und in ihrer Mitte durch den mit Araldit angeklebten Ring 17 aneinander festgelegt. . .ίο 14 and 24 were separated from each other in their original Position brought back and at both ends by clamping washers 15 and 16 and in their center fixed to one another by the ring 17 glued with araldite. . .

Bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel weist das Rohr eine Gesamtlänge von 75 mm und einen Innendurchmesser ■ :n ungefähr 1 mm auf. Die Beschichtung besteht aus -iner Zinnoxydschicnt mit einer Stärke von 2000 A. Für ein in eines derIn the exemplary embodiment shown in FIG. 3, the tube has an overall length of 75 mm and an inner diameter ■ : n approximately 1 mm. The coating consists of a tin oxide film with a strength of 2000 A. For one in one of the

Enden des Rohres eintretendes Elektron kann man am anderen Ende 108 auf ungefähr 10 Nanosekunaen zeitlich abgestufte Elektronen erhalten.Electron entering ends of the tube can be obtained at the other end 10 8 electrons graduated in time to about 10 nanoseconds.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (5)

von Zinnchlorid, beim Durchgang durch das zu Patentansprüche: behandelnde Rohr bei hoher Temperatur her vor, um auf der Innenfläche desselben einenof tin chloride, when passing through the pipe to be treated at a high temperature, in order to place one on the inner surface of the same 1. Verfahren zur Herstellung von Rohren für Niederschlag von Zinnoxyd zu erhalten;
rohrförmige Elektronenvervielfacher, bei wel- 5 — oder um die chemische Behandlung des besonchem eine Widerstandsschicht, die die Eigen- den zu diesem Zweck gewählten, das Rohr schaft zur Sekundärelektroneneraission besitzt, bildenden Isoliermittels.
1. Method of making pipes for the precipitation of tin oxide;
tubular electron multiplier, in which - or around the chemical treatment of the special insulating material that forms a resistive layer that has its own chosen for this purpose, the tubular shaft for secondary electron emission.
auf die Innenwand dieser Rohre aufgebracht Es läßt sich jedoch feststellen, daß diese Verwird, dadurch gekennzeichnet, daß fahren nicht die Erzielung von über die ganze Länge jedes dieser Rohre vor dem Aufbringen der io der Rohre ausreichend homogenen Niederschlagen Schicht über seine ganze Länge längs zweier gestatten. Diese Länge entspricht häufig dem Mantellinien aufgeschlitzt wird, die beiden so er- Zwanzigfachen des Innendurchmessers des Rohres haltenen Hälften nach der Behandlung wieder in und oftmals einem viel größeren Betrag,
ihre gegenseitige Ausgangslage gebracht werden Die Erfindung bezweckt die Beseitigung dieses
applied to the inner wall of these tubes. It can be stated, however, that this application, characterized in that it does not allow the achievement of a sufficiently homogeneous deposit over the entire length of each of these tubes before the application of the 10 of the tubes, layer over its entire length along two of them . This length often corresponds to the surface lines are slit open, the two halves, which are twenty times the inner diameter of the pipe, after the treatment again in and often a much larger amount,
their mutual starting position are brought. The aim of the invention is to eliminate this
und in dieser Lage durch Verkleben längs der 15 Nachteils.and in this position by gluing along the 15 disadvantage. Mantellinien oder durch Festlegung mittels Das erfindungsgerräße Verfahren ist dadurch geSchellen ge'.iilten werden. kennzeichnet, daß jedes dieser Rohre vor demSurface lines or by defining by means of the method according to the invention is thereby clamped be approved. indicates that each of these pipes before
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- Aufbringen der Schicht über seine ganze Länge längs kennzeichnet, daß geradlinige Rohre verwendet zweier Mantellinien aufgeschlitzt wird, die beiden so werden. ao erhaltenen Hälften nach der Behandlung wieder in2. The method according to claim 1, characterized in that the layer is applied longitudinally over its entire length indicates that straight pipes used with two surface lines are slit, the two like this will. ao obtained halves back in after treatment 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- ihre gegenseitige Ausgangslage gebracht werden und kennzeichnet, daß gekrümmte Rohre verwendet in dieser Lage durch Verkleben längs der Mantelwerden, linien oder durch Festlegung mittels Schellen gehalten3. The method according to claim 1, thereby bringing their mutual starting position and indicates that curved pipes can be used in this position by gluing along the jacket, lines or by fixing with clamps 4. Verfahren nach einem der Ansprüche Ibis 3, werden.4. The method according to any one of claims Ibis 3 will be. dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke der 25 An Hand der Figuren wird die Erfindung beiSchicht und deren Widerstand während des spielsweise näher erläutert. Es zeigt
Betriebs gesteuert werden. Fig. 1 ein für das erfindungsgemäße Beschichten
characterized in that the strength of the layer and its resistance during the game is explained in more detail with reference to the figures. It shows
Operationally controlled. 1 for the coating according to the invention
5. Verfahren nach einem der Ansprüche Ibis 4, vorbereitetes Rohr für einen rohrförmigen Elekdadurch gekennzeichnet, daf. zur Herstellung der tronenvervielfacher,5. The method according to any one of claims Ibis 4, prepared pipe for a tubular elecd thereby marked, daf. for the manufacture of electron multipliers, Schicht Zinnoxyd verwendet wird. 30 F i g. 2 in schematischer Teildarstellung ein BeiLayer of tin oxide is used. 30 Fig. 2 in a schematic partial illustration of a case
DE19691933236 1968-07-02 1969-07-01 Process for the manufacture of tubes for tubular electron multipliers Expired DE1933236C3 (en)

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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
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