DE19964592B4

DE19964592B4 - A vibration

Info

Publication number: DE19964592B4
Application number: DE19964592A
Authority: DE
Inventors: Heinrich Lysen
Original assignee: Prueftechnik Dieter Busch AG
Current assignee: Prueftechnik Dieter Busch AG
Priority date: 1999-04-16
Filing date: 1999-04-16
Publication date: 2011-06-01
Anticipated expiration: 2019-04-17
Also published as: DE19917372B4; DE19917372A1

Abstract

Meßgerät für Schwingungsmessungen, mit einem Schwingungssensor (26), einem Element (22) zum Aufnehmen und Weiterleiten von Schwingungen zu dem Schwingungssensor, sowie einer ersten seismischen Masse (28), die an den Schwingungssensor gekoppelt ist, und einer zweiten seismischen Masse (32), dadurch gekennzeichnet, daß die zweite seismische Masse (32) über ein elastisches Element (30) an die erste seismische Masse (28) und dadurch an den Schwingungssensor (26) angekoppelt ist, so daß die Ankoppelung der zweiten seismischen Masse an den Schwingungssensor (26) stärker frequenzabhängig als die Ankoppelung der ersten seismischen Masse an den Schwingungssensor ist.Vibration measurement instrument comprising a vibration sensor (26), an element (22) for sensing and transmitting vibrations to the vibration sensor, and a first seismic mass (28) coupled to the vibration sensor and a second seismic mass (32) characterized in that the second seismic mass (32) is coupled via an elastic member (30) to the first seismic mass (28) and thereby to the vibration sensor (26) so that the coupling of the second seismic mass to the vibration sensor (30) 26) is more frequency dependent than the coupling of the first seismic mass to the vibration sensor.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Schwingungsmeßgerät gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.The present invention relates to a vibration meter according to the preamble of claim 1.

Bei bekannten Schwingungsmeßgeräten ist eine entsprechend dem gewünschten Frequenzbereich, in welchem die Messungen durchzuführen sind, gewählte seismische Masse mit dem Schwingungssensor fest gekoppelt. Nachteilig dabei ist, daß das Meßgerät nur in dem von der seismischen Masse bestimmten Frequenzbereich empfindlich ist.In known vibration meters, a seismic mass selected according to the desired frequency range in which the measurements are to be made is fixedly coupled to the vibration sensor. A disadvantage is that the meter is sensitive only in the frequency range determined by the seismic mass.

Die DE 37 31 196 A1 betrifft ein gattungsgemäßes Schwingungsmeßgerät mit einem frequenzselektiven Schwallwandler mit einer Mehrzahl von mechanischen Resonatoren, deren Schwingungsamplitude piezzoresistiv, piezoelektrisch oder kapazitiv abgegriffen werden kann und aus einem Silizium-Einkristall monolithisch herausgearbeitet sein können.The DE 37 31 196 A1 relates to a generic vibration meter with a frequency-selective baffle converter with a plurality of mechanical resonators whose vibration amplitude piezoresistive, piezoelectric or capacitive can be tapped and can be worked out monolithically from a silicon single crystal.

Die DE 37 03 946 A1 betrifft einen auf ein Messobjekt zu montierenden Schwingungsaufnehmer mit mehreren aus einem Einkristall herausgearbeiteten Siliziumzungen, die an ihrem Ende mit Massen versehen sind, wobei die Resonanzfrequenz jeder einzelnen Zunge entsprechend der Konfiguration der Zunge und der Dimensionierung der Masse eingestellt werden kann, und wobei die Schwingungen der Zungen mittels piezzoresistiven Wiederständen erfasst werden.The DE 37 03 946 A1 relates to a vibration sensor to be mounted on a measuring object with a plurality of silicon tongues machined from a single crystal, which are provided with masses at their ends, wherein the resonance frequency of each individual tongue can be adjusted according to the configuration of the tongue and the dimensions of the mass, and wherein the vibrations of the Tongues are detected by means of piezoresistive resistance.

Die WO 99/42847 A1 betrifft gemäß eine Impedanz/Frequenz-Wandlereinheit, die eine Sensorimpedanz in ein Signal mit einer Frequenz entsprechend der Sensorimpedanz umwandelt, wobei ein Resonatorarray so ausgebildet sein kann, dass es das menschliche Gehör nachbildet Es ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Schwingungsmeßgerät zu schaffen, welches mindestens in zwei verschiedenen Frequenzbereichen empfindlich ist.The WO 99/42847 A1 relates to an impedance / frequency converter unit which converts a sensor impedance into a signal having a frequency corresponding to the sensor impedance, wherein a resonator array can be designed to simulate human hearing. It is an object of the present invention to provide a vibration meter, which is sensitive in at least two different frequency ranges.

Diese Aufgabe wird gelöst von einem Schwingungsmeßgerät gemäß Anspruch 1.This object is achieved by a vibration measuring apparatus according to claim 1.

Bei dem erfindungsgemäßen Schwingungsmeßgerät ist vorteilhaft, daß mittels der frequenzabhängigen Ankoppelung einer zweiten seismischen Masse empfindliche Schwingungsmessungen in unterschiedlichen, ggfs. auch weit voneinander entfernt liegenden Frequenzbereichen möglich sind.In the vibration measuring device according to the invention is advantageous that by means of the frequency-dependent coupling of a second seismic mass sensitive vibration measurements in different, if necessary. Also far away frequency ranges are possible.

Diese Ausgestaltung des Schwingungsmeßgeräts ist insbesondere in Kombination mit einer Temperaturmeßfunktion und/oder Höhenprofilabtastfunktion von Vorteil, wobei der Schwingungssensor dann auch als Kraftsensor für das Ansetzten der Meßspitze an die zu vermessende Oberfläche, als Wärmeflußsensor oder als Beschleunigungssensor zum Erfassen eines Höhenprofils, insbesondere eines Codeträgers, dient.This embodiment of the Schwingungsmeßgeräts is particularly in combination with a Temperaturmeßfunktion and / or Höhenprofilabtastfunktion advantage, the vibration sensor then as a force sensor for attaching the probe tip to the surface to be measured, as a heat flow sensor or acceleration sensor for detecting a height profile, in particular a code carrier, serves.

Vorzugsweise werden die beiden seismischen Massen und der Frequenzgang der Ankopplung an den Schwingungssensor bzw. Kraftsensor so gewählt, daß eine erste Resonanzfrequenz des Gesamtsystems im Bereich unter 1 kHz liegt und eine zweite Resonanzfrequenz des Gesamtsystems im Ultraschallbereich liegt. Diese frequenzabhängige Ankopplung hat den Vorteil, daß durch die Ausbildung von zwei Resonanzen sowohl für eine gute Empfindlichkeit des Schwingungs- bzw. Kraftsensors sowohl im niederfrequenten als auch im hochfrequenten Bereich gesorgt werden kann.Preferably, the two seismic masses and the frequency response of the coupling to the vibration sensor or force sensor are selected so that a first resonant frequency of the entire system is in the range below 1 kHz and a second resonant frequency of the entire system is in the ultrasonic range. This frequency-dependent coupling has the advantage that it can be ensured by the formation of two resonances both good sensitivity of the vibration and force sensor both in the low-frequency and in the high-frequency range.

Vorzugsweise wird das Meßgerät zur Lecküberwachung an Kondensatableitern verwendet.Preferably, the meter is used for leak monitoring on steam traps.

Im folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:In the following an embodiment of the invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings. Showing:

1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Meßgeräts; 1 a schematic representation of a measuring device according to the invention;

2 schematisch den Frequenzgang bzw. die Empfindlichkeit des Signals des Piezoelements des in 1 gezeigten Meßgeräts; 2 schematically the frequency response or the sensitivity of the signal of the piezoelectric element of in 1 shown measuring device;

3 ein Beispiel für den erfaßten Temperaturverlauf an der Tastspitze des Meßgeräts von 1; 3 an example of the detected temperature profile at the probe tip of the meter of 1 ;

4 den zeitlichen Verlauf der Ladung auf dem als Wärmeflußsensor verwendeten Piezoelement des Meßgeräts von 1; und 4 the time course of the charge on the piezoelectric element used as a heat flow sensor of the measuring device of 1 ; and

5 eine schematische perspektivische Ansicht eines Codeträgers zum Codieren von Information betreffend die Meßstelle, wobei außerdem der entsprechende zeitliche Verlauf des Signals beim Abtasten des Codeträgers mit der Tastspitze des Meßgerätes aus 1 dargestellt ist. 5 a schematic perspective view of a code carrier for encoding information concerning the measuring point, wherein also the corresponding time course of the signal during scanning of the code carrier with the probe tip of the measuring device from 1 is shown.

In 1 ist schematisch ein Meßgerät 10 zum Messen der Temperatur und der Schwingungen einer Oberfläche 12 eines Meßobjekts 14 dargestellt. Das Meßgerät 10 umfaßt einen manuell zu handhabenden stiftartigen Meßkopf 16 sowie eine damit über flexible elektrische Kabel 18 verbundene Auswerteeinheit 20. Der Meßkopf 16 umfaßt eine Tastspitze 22 aus einem starren, thermisch gut leitenden Material, einen thermisch an die Tastspitze 22 angekoppelten Temperatursensor 24, ein mit dem hinteren Ende der Tastspitze 22 starr verbundenes Piezoelement 26, eine starr mit dem Piezoelement 26 verbundene erste seismische Masse 28, eine über ein elastisches Koppelelement 30 elastisch mit der ersten seismischen Masse 28 verbundene zweite seismische Masse 32 sowie einen thermisch an die zweite seismische Masse 32 angekoppelten Hilfstemperatursensor 34. Ein weiterer Temperatursensor 36 ist mit der Auswerteeinheit 20 verbunden, um die Umgebungslufttemperatur zu erfassen. Die Temperatursensoren 24, 34 und 36 sind vorzugsweise als Halbleiterbauelemente ausgebildet.In 1 is schematically a meter 10 for measuring the temperature and the vibrations of a surface 12 a test object 14 shown. The measuring device 10 includes a manually handled pen-like measuring head 16 as well as a flexible electrical cable 18 connected evaluation unit 20 , The measuring head 16 includes a stylus tip 22 from a rigid, thermally well-conductive material, a thermal to the probe tip 22 coupled temperature sensor 24 , one with the rear end of the stylus tip 22 rigidly connected piezo element 26 , one rigid with the piezo element 26 connected first seismic mass 28 , One via an elastic coupling element 30 elastic with the first seismic Dimensions 28 connected second seismic mass 32 and a thermally to the second seismic mass 32 coupled auxiliary temperature sensor 34 , Another temperature sensor 36 is with the evaluation unit 20 connected to detect the ambient air temperature. The temperature sensors 24 . 34 and 36 are preferably formed as semiconductor devices.

Die zu messende Oberfläche 12 des Meßobjekts 14 ist mit einem Körnerschlag 38 versehen, in welchen die Tastspitze 22 manuell gesetzt wird, um die Temperatur und die Schwingungen der Oberfläche 12 zu erfassen.The surface to be measured 12 of the DUT 14 is with a grain strike 38 provided in which the Tastspitze 22 manually set to the temperature and the vibrations of the surface 12 capture.

Die starr mit dem Piezoelement 26 gekoppelte erste seismische Masse 28 ist wesentlich kleiner als die mittels des Koppelelements 30 elastisch an die erste seismische Masse 28 gekoppelte zweite seismische Masse 32. Die Ankopplung der ersten seismischen Masse 28 an das Piezoelement 26 ist im wesentlichen frequenzunabhängig, während die Ankopplung der zweiten seismischen Masse über das elastische Element 30, welches beispielsweise als Leiterplatte ausgebildet sein kann, wesentlich stärker frequenzabhängig ist, wobei die Ankopplung der zweiten seismischen Masse 32 an die erste seismische Masse 28, und damit an das Piezoelement 26, bei niedrigen Frequenzen wesentlich starker als bei hohen Frequenzen ist. Der Zweck dieser Anordnung besteht darin, mittels der Tastspitze 22, dem Piezoelement 26 sowie den beiden seismischen Massen 28 und 30 ein Schwingungsmeßsystem zu schaffen, welches eine erste Resonanzfrequenz bei niedrigen Frequenzen und eine zweite Resonanzfrequenz bei hohen Frequenzen aufweist und somit in zwei getrennten Frequenzbereichen für empfindliche Messungen geeignet ist.The rigid with the piezo element 26 coupled first seismic mass 28 is much smaller than that by means of the coupling element 30 elastic to the first seismic mass 28 coupled second seismic mass 32 , The coupling of the first seismic mass 28 to the piezoelectric element 26 is substantially independent of frequency, while the coupling of the second seismic mass via the elastic element 30 , which may be formed, for example, as a printed circuit board, is much more frequency-dependent, wherein the coupling of the second seismic mass 32 to the first seismic mass 28 , and thus to the piezoelectric element 26 , is much stronger at low frequencies than at high frequencies. The purpose of this arrangement is to use the stylus tip 22 , the piezo element 26 as well as the two seismic masses 28 and 30 to provide a vibration measuring system which has a first resonant frequency at low frequencies and a second resonant frequency at high frequencies and thus is suitable for sensitive measurements in two separate frequency ranges.

2 ist eine beispielhafte schematische Darstellung des Frequenzgangs der Ladung an dem Piezoelement 26, d. h. im wesentlichen des Spannungssignals des Piezoelements 26, wobei im wesentlichen drei Frequenzbereiche A, B bzw. C zu unterscheiden sind. Eine erste Resonanzfrequenz liegt am oberen Ende des Niederfrequenzbereichs A bei etwa 1 kHz, wobei der Bereich A im wesentlichen für Wärmefluß- und Codeträger-Abtastmessungen sowie Messungen zum Ermitteln des Zeitpunkts des Aufsetzens der Tastspitze auf die zu messende Oberfläche 12 von Bedeutung ist, wie dies nachfolgend näher erläutert wird. Der sich an den Bereich A anschließende mittelfrequente Bereich B ist vorliegend nicht von Interesse und wird ausgeblendet. An den mittelfrequenten Bereich B schließt sich ein hochfrequenter Bereich C an, an dessen oberen Ende im Bereich von etwa 1 MHz eine zweite Resonanz angesiedelt ist. Der Bereich C dient zur Messung der Schwingungen der Oberfläche 12 des Meßobjekts 14. Bei dem Meßobjekt 14 handelt es sich vorzugsweise um einen Kondensatableiter, dessen Schwingungsverhalten mittels des Meßgeräts 10 gemessen wird, um Lecks zu ermitteln. 2 is an exemplary schematic representation of the frequency response of the charge on the piezoelectric element 26 , ie substantially the voltage signal of the piezoelectric element 26 , In essence, three frequency ranges A, B and C are to be distinguished. A first resonant frequency is at the upper end of the low frequency region A at about 1 kHz, the region A being substantially for heat flux and code carrier scanning measurements and measurements for determining the timing of the probe tip being touched upon the surface to be measured 12 is important, as will be explained in more detail below. The medium-frequency region B adjoining the region A is not of interest in the present case and is hidden. The medium-frequency region B is followed by a high-frequency region C, at the upper end of which a second resonance is located in the region of approximately 1 MHz. The area C serves to measure the vibrations of the surface 12 of the DUT 14 , At the DUT 14 it is preferably a steam trap whose vibration behavior by means of the meter 10 is measured to detect leaks.

3 zeigt einen beispielhaften Verlauf des Temperatursignals des Temperatursensors 24 nach dem Ansetzen der Tastspitze 22 an die zu messende Oberfläche 12. Nach dem Aufsetzen der Tastspitze 22 auf die Oberfläche 12 zum Zeitpunkt 0 findet zunächst bis zu einer Totzeit t₀ nur ein schwacher Temperaturanstieg statt. Diese Verzögerung ergibt sich im wesentlichen aus der Geometrie der Tastspitze 22, der örtlichen Anordnung des Temperatursensors 24 in einer gewissen Entfernung von der Aufsetzstelle der Tastspitze 22 sowie der Wärmekapazitäten der Tastspitze 22, dem Piezoelement 26 und den seismischen Massen 28 und 32. Nach Verstreichen der Totzeit t₀ setzt schließlich ein im wesentlichen linearer Anstieg der von dem Temperatursensor 24 erfaßten Temperatur ein, der nach Passieren eines Wendepunkts t₁ schließlich zunehmend flacher wird und sich asymptotisch einer stationären Maximaltemperatur T_max annähert. 3 shows an exemplary course of the temperature signal of the temperature sensor 24 after applying the probe tip 22 to the surface to be measured 12 , After placing the probe tip 22 on the surface 12 At time 0, only a slight increase in temperature initially takes place until a dead time t ₀ . This delay results essentially from the geometry of the probe tip 22 , the local location of the temperature sensor 24 at a certain distance from the touchdown point of the stylus tip 22 as well as the heat capacities of the probe tip 22 , the piezo element 26 and the seismic masses 28 and 32 , After lapse of the dead time t ₀ finally sets a substantially linear increase of the temperature sensor 24 detected temperature, which eventually becomes increasingly flatter after passing a turning point t ₁ and asymptotically approaches a stationary maximum temperature T _max .

Die Temperatur der zu messenden Oberfläche 12 wird statt aus der stationären Maximaltemperatur T_max des Temperatursensors 24 bzw. der Tastspitze 22 aus dem Zeitverlauf der von dem Temperatursensor 24 erfaßten Temperatur nach dem Ansetzen der Tastspitze 22 mittels eines mathematischen Modells ermittelt. Dadurch kann eine größere Genauigkeit der Temperaturmessung erzielt werden, indem bestimmte Parameter, welche die stationäre Maximaltemperatur T_max beeinflussen, wie beispielsweise der Wärmewiderstand zwischen der Oberfläche 12 und der Tastspitze 22, berücksichtigt werden können. Weitere solche wichtigen Parameter sind die Umgebungslufttemperatur, die Wärmeableitung von der Tastspitze 22 an die Umgebung, der Wärmewidersstand der Tastspitze 22, die Geometrie der Tastspitze 22, die geometrische Anordnung des Temperatursensors 24, die Wärmekapazität der Tastspitze 22 und der thermisch daran gekoppelten Elemente (hier: das Piezoelement 26, die seismischen Massen 28 und 32 sowie das Koppelelement 30) sowie der Wärmewiderstand zwischen der Tastspitze 22 und dem Temperatursensor 24.The temperature of the surface to be measured 12 takes place from the stationary maximum temperature T _{max of} the temperature sensor 24 or the probe tip 22 from the passage of time of the temperature sensor 24 detected temperature after the application of the probe tip 22 determined by means of a mathematical model. Thereby, a greater accuracy of the temperature measurement can be achieved by certain parameters which influence the maximum steady-state temperature T _max , such as the thermal resistance between the surface 12 and the probe tip 22 , can be considered. Other such important parameters are the ambient air temperature, the heat dissipation from the probe tip 22 to the environment, the thermal resistance of the probe tip 22 , the geometry of the probe tip 22 , the geometric arrangement of the temperature sensor 24 , the heat capacity of the probe tip 22 and the thermally coupled thereto elements (here: the piezoelectric element 26 , the seismic masses 28 and 32 and the coupling element 30 ) as well as the thermal resistance between the probe tip 22 and the temperature sensor 24 ,

Die Auswerteeinheit 20 ist so ausgebildet, daß die in dem mathematischen Modell berücksichtigten Parameter zunächst in einem Lernvorgang an bekannten Oberflächen mit bekannten Temperaturen ermittelt und anschließend gespeichert werden. Die Ermittlung der Parameter erfolgt, indem der gemessene Temperaturverlauf an dem Sensor 24 mittels einer geeigneten Kurvenanpassungsprozedur angepaßt wird, woraus sich die entsprechenden Werte der Parameter ergeben. Insbesondere kann so beispielsweise der von Meßvorgang zu Meßvorgang variierende Wärmewiderstand zwischen der Tastspitze 22 und der zu messenden Oberfläche 12 unter Verwendung der ermittelten Parameter aus dem Verlauf des Anstiegs der von dem Temperatursensor 24 erfaßten Temperatur ermittelt werden und dann bei der Temperaturberechnung verwendet werden. Auf diese Weise hängt dann im Idealfall, im Gegensatz zu dem Oberflächentemperaturermittlungsverfahren aus der stationären Maximaltemperatur T_max die ermittelte Oberflächentemperatur nicht von dem Wärmewiderstand zwischen der zu messenden Oberfläche 12 und der Tastspitze 22 ab. Die Umgebungstemperatur kann dadurch berücksichtigt werden, daß sie von dem Temperatursensor 26 erfaßt wird.The evaluation unit 20 is designed so that the parameters considered in the mathematical model are first determined in a learning process on known surfaces with known temperatures and then stored. The parameters are determined by the measured temperature profile at the sensor 24 is adjusted by means of a suitable curve fitting procedure, resulting in the corresponding values of the parameters. In particular, for example, the varying from measuring process to measurement thermal resistance between the prod 22 and the surface to be measured 12 using the determined parameters from the course of the rise of the temperature sensor 24 detected temperature and then used in the temperature calculation. In this way, in the ideal case, in contrast to the surface temperature determination method from the stationary maximum temperature T _max, the determined surface temperature does not depend on the thermal resistance between the surface to be measured 12 and the probe tip 22 from. The ambient temperature may be taken into account by the temperature sensor 26 is detected.

Ferner wirkt das Piezoelement 26 auch als Wärmeflußsensor zum Erfassen des Wärmeflusses über die Tastspitze 22, so daß der erfaßte zeitliche Verlauf des Wärmeflusses in dem Modell berücksichtigt werden kann. Dabei wird ausgenutzt, daß eine Temperaturdifferenz zwischen den beiden Elektroden des Piezoelements 26, die einem bestimmten Wärmefluß durch das Piezoelement 26 hindurch entspricht, über eine entsprechende Ladungstrennung, und damit über ein entsprechendes Spannungssignal, erfaßt werden kann.Furthermore, the piezoelectric element acts 26 also as a heat flow sensor for detecting the heat flow via the probe tip 22 , so that the detected time course of the heat flow can be taken into account in the model. It is exploited that a temperature difference between the two electrodes of the piezoelectric element 26 that cause a certain heat flow through the piezo element 26 through corresponding charge separation, and thus a corresponding voltage signal can be detected.

In 4 ist in schematischer Weise beispielhaft der zeitliche Verlauf der an dem Piezoelement 26 erfaßten Piezoladung dargestellt. Auch hier tritt wie bei dem Temperaturverlauf an dem Temperatursensor 24 zunächst aufgrund der Geometriefaktoren eine Verzögerungszeit auf, bevor die Piezoladung bis zu einem Maximalwert Q_max annähernd linear ansteigt und danach wieder abfällt. Mittels des Hilfstemperatursensors 34 kann ferner die Temperatur der größeren seismischen Masse 32 in Abhängigkeit von der seit dem Ansetzen der Spitze 22 verstrichenen Zeit ermittelt werden. Auch diese beiden zusätzlich erfaßten zeitlichen Verläufe des von dem Piezoelement 26 erfaßten Wärmeflusses sowie der von dem Hilfstemperatursensor 34 erfaßten Temperatur der seismischen Masse 32 können in der gleichen Weise wie der von dem Temperatursensor erfaßte Temperaturverlauf an der Tastspitze 22 einer Kurvenanpassung mit Parametern unterworfen werden, um ein möglichst realistisches Modell des Meßsystems zu ermitteln, welches dann bei dem mathematischen Modell zur Ermittlung der Oberflächentemperatur verwendet wird.In 4 is a schematic example of the time course of the piezoelectric element 26 detected piezoelectric charge shown. Again, as occurs in the temperature profile at the temperature sensor 24 initially due to the geometry factors on a delay time before the piezoelectric charge rises approximately linearly up to a maximum value Q _max and then drops again. By means of the auxiliary temperature sensor 34 may also be the temperature of the larger seismic mass 32 depending on the since the preparation of the tip 22 elapsed time. These two additionally recorded temporal courses of the of the piezoelectric element 26 detected heat flow and that of the auxiliary temperature sensor 34 sensed temperature of the seismic mass 32 can in the same way as the temperature profile detected by the temperature sensor at the probe tip 22 be subjected to a curve fitting with parameters to determine the most realistic model of the measuring system, which is then used in the mathematical model for determining the surface temperature.

Bei dem einfachsten Verfahren zur Ermittlung der Oberflächentemperatur wird aus der oben beschriebenen Kurvenanpassung der Wärmewiderstand zwischen der zu messenden Oberfläche 12 und der Abtastspitze 22 sowie die Steigung des von dem Temperatursensor 24 erfaßten Temperaturanstiegs der Tastspitze 22 in dem Wendepunkt t₁ ermittelt, wobei diese Steigung als proportional zu der Differenz zwischen der Temperatur der zu messenden Oberfläche 12 und der anfänglichen Temperatur der Tastspitze 22 sowie proportional zu dem Wärmewiderstand zwischen der zu messenden Oberfläche 12 und der Tastspitze 22 angenommen wird und die Temperatur der Oberfläche 12 schließlich aus dieser Steigung im Wendepunkt t₁ berechnet wird.In the simplest method of determining the surface temperature, from the above-described curve fitting, the thermal resistance between the surface to be measured becomes 12 and the scanning tip 22 as well as the slope of the from the temperature sensor 24 detected temperature rise of the probe tip 22 determined in the inflection point t ₁ , wherein this slope is proportional to the difference between the temperature of the surface to be measured 12 and the initial temperature of the probe tip 22 and proportional to the thermal resistance between the surface to be measured 12 and the probe tip 22 is assumed and the temperature of the surface 12 finally calculated from this slope at the point of inflection t ₁ .

Der Zeitpunkt des Ansetzens der Tastspitze 22 an die zu messende Oberfläche 12 wird von der Auswerteeinheit 20 durch das Auftreten eines entsprechenden Spannungssignals an dem Piezoelement 26 erfaßt.The timing of attaching the stylus tip 22 to the surface to be measured 12 is from the evaluation unit 20 by the occurrence of a corresponding voltage signal at the piezoelectric element 26 detected.

Vorzugsweise ist die Auswerteeinheit 20 ferner mit einer Funktion versehen, welche das Decodieren eines entsprechenden Codeträgers 40, wie er in 5 beispielhaft dargestellt ist, erlaubt. Ein solcher Codeträger 40 wird verwendet, um die Auswerteeinheit 20 mit Information bezüglich des Meßobjekts 14 bzw. der speziellen Meßstelle 38 zu versorgen. Der Codeträger 40 ist so ausgebildet, daß die Information durch definierte, beim Abtasten erfaßbare Höhenniveaus codiert ist, d. h. die Information ist durch das Höhenprofil des Codeträgers 40 codiert. Bei der in 5 gezeigten Ausführungsform des Codeträgers 40 sind insgesamt drei unterschiedliche Höhenniveaus vorgesehen, wobei die Information in binärer Form codiert ist. Der Codeträger 40 umfaßt mehrere Codierbereiche 42, in denen die eigentliche Information, d. h. eine „Null” oder „Eins”, codiert ist, welche nebeneinanderliegend in einer Reihe angeordnet sind und jeweils durch einen Zwischenbereich 44 voneinander getrennt sind. Der Codeträger wird vorzugsweise durch entsprechendes Ätzen eines Ätzblechs erzeugt.Preferably, the evaluation unit 20 further provided with a function which is the decoding of a corresponding code carrier 40 as he is in 5 exemplified, allowed. Such a code carrier 40 is used to control the evaluation unit 20 with information regarding the DUT 14 or the special measuring point 38 to supply. The code carrier 40 is formed so that the information is coded by defined height levels detectable during scanning, ie the information is determined by the height profile of the code carrier 40 coded. At the in 5 shown embodiment of the code carrier 40 a total of three different height levels are provided, the information being encoded in binary form. The code carrier 40 includes several coding areas 42 in which the actual information, ie a "zero" or "one", is encoded, which are arranged side by side in a row and in each case by an intermediate region 44 are separated from each other. The code carrier is preferably produced by corresponding etching of an etching plate.

In jedem Codierbereich 42 ist anfänglich ein balkenförmiges Codierelement 46 vorhanden, dessen Oberflächenniveau tiefer als das Oberflächenniveau der Zwischenbereiche 44 liegt. Jedem Codierbereich 42 mit vorhandenem Codierelement 46 ist im vorliegenden Beispiel eine „Null” zugeordnet. Eine „Eins” wird in einen Codierbereich codiert, indem das entsprechende Codierelement 46 herausgebrochen wird. Die Codierelemente 46 haben zu diesem Zweck ein freies Ende, welches über den Rand der Zwischenbereiche 44 hinausragt, sowie eine Sollbruchstelle an dem entgegengesetzten Ende, mit welchem sie an dem Codeträger 40 befestigt sind. Das Codieren des Codeträgers 40, d. h. das Herausbrechen der entsprechenden Codierelemente 46 zwecks Erzeugen einer logischen „Eins”, erfolgt in der Regel vor dem Anbringen des Codeträgers 40 nahe der vorgesehenen Meßstelle für das Meßgerät 10. Der Codeträger 40 kann anschließend auf die Oberfläche 12 aufgeklebt werden, oder er kann z. B. mittels einer Tasche in der Nähe der Meßstelle angebracht werden. Vor der Temperatur- bzw. Schwingungsmessung durch das Meßgerät 10 wird die in dem Codeträger 40 codierte Information dadurch durch das Meßgerät 10 erfaßt, daß die Tastspitze 22 an dem entsprechenden Ende des Codeträgers 40 aufgesetzt wird und dann manuell quer über die nebeneinanderliegenden Codierbereiche 42 bewegt wird. Bei diesem berührenden Abtastverfahren folgt die Tastspitze 22 im wesentlichen der Oberflächenstruktur des Codeträgers 40, wobei das Piezoelement 26 in Verbindung mit den beiden seismischen Massen 28 und 32 als Beschleunigungssensor wirkt und die Beschleunigung der Tastspitze 22 in vertikaler Richtung erfaßt. Da diese Messung im niederfrequenten Bereich erfolgt, ist die schwere seismische Masse 32 im wesentlichen fest an die leichte seismische Masse 28 und damit an das Piezoelement 26 gekoppelt, so daß die schwere seismische Masse 32 die Resonanzfrequenz und damit die Empfindlichkeit bestimmt. Das von dem Piezoelement 26 abgegebene Beschleunigungssignal wird in der Auswerteeinheit 20 aufintegriert, wodurch man schließlich ein Wegsignal erhält, welches die Oberflächenstruktur, d. h. das Höhenprofil, des Codeträgers 40 abbildet, siehe unterer Teil von 5, wo das Vertikalwegsignal über dem lateralen Ort dargestellt ist. Aus 5 ist ersichtlich, daß die Auswerteeinheit 20 insgesamt drei verschiedene Höhenniveaus erfaßt: ein erstes Niveau, welches der Oberfläche der Zwischenbereiche 44 entspricht und als Referenzniveau dient (h₀), ein zweites Niveau, welches von der Oberfläche der nicht herausgebrochenen Codierelemente 46 bestimmt wird und eine logische „Null” codiert (h₁) sowie ein drittes Niveau, welches von der Tastspitze 22 in den Codierbereichen 42 erfaßt wird, in welchen das Codierelement 46 herausgebrochen wurde (h₂), wobei dieses dritte Niveau eine logische „Eins” codiert. Das dritte Niveau wird dabei durch die Breite der Codierbereiche 42 und die Form der Tastspitze 22 bestimmt, liegt jedoch in jedem Fall tiefer als das Niveau der Codierelemente 46. Je nachdem, ob die Auswerteeinheit 20 ein Niveau h₁ oder ein Niveau h₂ erfaßt, wird dies als logische „Null” bzw. logische „Eins” decodiert. Die Zwischenbereiche 44 mit ihrem Niveau h₀ dienen dabei als Trennelemente bzw. „Spacer” zwischen zwei Logikpegeln. Auf diese Weise hängt die Erfassung des Höhenprofils des Codeträgers 40 und dessen Decodierung im Gegensatz zu einer herkömmlichen Barcode-Codierung, bei welcher die Breite eines schwarzen Balkens dafür ausschlaggebend ist, ob eine „Null” oder eine „Eins” decodiert wird, geschwindigkeitsunabhängig, da sich die einzelnen Codierbereiche 42 nicht durch ihre Breite, sondern durch ihr Höhenniveau, welches von der Spitze 22 erfaßt wird, unterscheiden.In every coding area 42 is initially a bar-shaped coding element 46 present, whose surface level is lower than the surface level of the intermediate areas 44 lies. Each coding area 42 with existing coding element 46 is assigned a "zero" in the present example. A "one" is coded into a coding area by the corresponding coding element 46 is broken out. The coding elements 46 have for this purpose a free end, which over the edge of the intermediate areas 44 protrudes, and a predetermined breaking point at the opposite end, with which they on the code carrier 40 are attached. The coding of the code carrier 40 ie the breaking out of the corresponding coding elements 46 in order to generate a logical "one", usually takes place before attaching the code carrier 40 near the intended measuring point for the meter 10 , The code carrier 40 can then be on the surface 12 be glued, or he can z. B. be attached by means of a bag near the measuring point. Before the temperature or vibration measurement by the meter 10 will be in the code carrier 40 coded information thereby by the meter 10 detects that the probe tip 22 at the corresponding end of the code carrier 40 is placed and then manually across the adjacent coding areas 42 is moved. This touch scanning procedure is followed by the stylus tip 22 essentially the surface structure of the code carrier 40 , wherein the piezoelectric element 26 in connection with the two seismic masses 28 and 32 acting as an acceleration sensor and the acceleration of the probe tip 22 detected in the vertical direction. Since this measurement is done in the low frequency range, the heavy seismic mass is 32 essentially solid to the light seismic mass 28 and thus to the piezoelectric element 26 coupled so that the heavy seismic mass 32 the resonance frequency and thus the sensitivity determined. That of the piezo element 26 delivered acceleration signal is in the evaluation 20 integrated, whereby one finally obtains a path signal which the surface structure, ie the height profile of the code carrier 40 depicts, see lower part of 5 where the vertical path signal is shown above the lateral location. Out 5 It can be seen that the evaluation unit 20 a total of three different height levels detected: a first level, which is the surface of the intermediate areas 44 corresponds and serves as a reference level (h ₀ ), a second level, which depends on the surface of the uncorrected coding elements 46 is determined and a logical "zero" coded (h ₁ ) and a third level, which of the Tastspitze 22 in the coding areas 42 is detected, in which the coding element 46 (h ₂ ), this third level encoding a logical "one". The third level is determined by the width of the coding areas 42 and the shape of the probe tip 22 determined, but is in any case lower than the level of the coding 46 , Depending on whether the evaluation unit 20 detects a level h ₁ or a level h ₂ , this is decoded as a logical "zero" or logical "one". The intermediate areas 44 with their level h ₀ serve as separating elements or "spacers" between two logic levels. In this way, the detection of the height profile of the code carrier depends 40 and its decoding, in contrast to a conventional bar code encoding in which the width of a black bar determines whether a "zero" or a "one" is decoded, independent of speed, as the individual coding areas 42 not by their breadth, but by their height level, that of the top 22 is detected.

Bei der vorliegenden Erfindung kann das Piezoelement 26 somit insgesamt vier verschiedene Funktionen erfüllen: 1. als Wärmeflußsensor bei der Temperaturmessung der Oberfläche 12, 2. als Schwingungssensor bei der Schwingungsmessung der Oberfläche 12, 3. als Stoßsensor zum Erfassen des Zeitpunkts des Aufsetzens der Tastspitze 22 auf die Oberfläche 12 und 4. als Beschleunigungssensor zum berührenden Abtasten eines Codierträgers 40, in welchem Information bezüglich des Meßobjekts 14 bzw. der Meßstelle 38 enthalten ist.In the present invention, the piezoelectric element 26 thus fulfill a total of four different functions: 1. as a heat flow sensor in the temperature measurement of the surface 12 , 2. as a vibration sensor in the vibration measurement of the surface 12 , 3. as a shock sensor for detecting the timing of the touch probe 22 on the surface 12 and 4. as an acceleration sensor for touching scanning of a coding carrier 40 in which information regarding the DUT 14 or the measuring point 38 is included.

Die Ausgestaltung des Schwingungssensors 26 mit zwei unterschiedlichen und frequenzabhängig unterschiedlich an den Schwingungssensor 26 gekoppelten seismischen Massen ist grundsätzlich nicht auf die beschriebene Kombination mit einer Temperaturmessung und/oder Codeträgerabtastung beschränkt.The embodiment of the vibration sensor 26 with two different and frequency-dependent different to the vibration sensor 26 Coupled seismic masses is basically not limited to the described combination with a temperature measurement and / or code carrier sampling.

Claims

Measuring device for vibration measurements, with a vibration sensor ( 26 ), an element ( 22 ) for receiving and transmitting vibrations to the vibration sensor, as well as a first seismic mass ( 28 ) coupled to the vibration sensor and a second seismic mass ( 32 ), characterized in that the second seismic mass ( 32 ) via an elastic element ( 30 ) to the first seismic mass ( 28 ) and thereby to the vibration sensor ( 26 ) is coupled, so that the coupling of the second seismic mass to the vibration sensor ( 26 ) is more frequency dependent than the coupling of the first seismic mass to the vibration sensor.

Measuring device according to claim 1, characterized in that the coupling of the first seismic mass ( 28 ) to the vibration sensor ( 26 ) is frequency independent.

Measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coupling of the second seismic mass ( 32 ) is stronger at low frequencies than at high frequencies.

Measuring device according to claim 3, characterized in that the second seismic mass ( 32 ) larger than the first seismic mass ( 28 ).

Measuring device according to claim 4, characterized in that the first seismic mass ( 28 ), the second seismic mass ( 32 ) and the frequency response of the coupling of the second seismic mass to the vibration sensor ( 26 ) are selected so that a first resonant frequency of the entire system is in the range below 1 kHz and a second resonant frequency of the entire system is in the ultrasonic range.

Measuring instrument according to one of the preceding claims, characterized in that the elastic element ( 30 ) is a printed circuit board.

Measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the vibration sensor ( 26 ) is a piezoelectric element.

Measuring instrument according to one of the preceding claims, characterized in that the oscillation receiving and forwarding element ( 22 ) as a probe tip for attachment to a surface to be measured ( 12 ) is trained.

Measuring instrument according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring device ( 10 ) for the touching scanning and decoding of a code carrier ( 40 ) is trained.

Measuring device according to claim 9, characterized in that in the code carrier ( 40 ) the information is encoded in the height profile of its surface, the vibration sensor ( 26 ) detects the axial acceleration of the probe tip when scanning the surface of the code carrier.

Measuring instrument according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring device ( 10 ) for touching the temperature of a surface ( 12 ) is trained.

Measuring device according to claim 11, characterized in that a temperature sensor ( 24 ) for detecting the temperature of the probe tip ( 22 ) and an evaluation unit ( 20 ) for determining the temperature of the surface to be measured ( 12 ) are provided, wherein the evaluation unit is designed such that it determines the temperature of the surface to be measured from the passage of time recorded at the probe tip temperature after the application of the probe tip by means of a mathematical model.

Measuring device according to claim 12, characterized in that the measuring device ( 10 ) is designed so that the vibration sensor ( 26 ) the application of the probe tip ( 22 ) on the surface ( 12 ) detected.