DE19918960B4

DE19918960B4 - Method for calibrating a vector network analyzer having n measuring gates and at least 2n measuring points

Info

Publication number: DE19918960B4
Application number: DE19918960A
Authority: DE
Inventors: Holger Heuermann; Hans-Joachim Fabry; Ralf Ballmann
Original assignee: Ballmann Ralf Dipl-Ing; Heuermann Holger Dr
Current assignee: Ballmann Ralf Dipl-Ing; Heuermann Holger Dr
Priority date: 1998-04-28
Filing date: 1999-04-27
Publication date: 2004-06-09
Anticipated expiration: 2019-04-28
Also published as: DE19918960A1

Abstract

Verfahren zum Kalibrieren eines n Meßtore und mindestens 2n Meßstellen aufweisenden vektoriellen Netzwerkanalysators, bei welchem
a) alle Kalibrierstandards aus vollständig bekannten n-Toren, Zweitoren oder einfachen bis n-fachen Eintoren bestehen, wobei n > 1 ist,
b) mindestens ein Zweitor endlicher Transmissionsdämpfung als Kalibrierstandard zwischen den Meßtoren geschaltet wird, und
c) die Kalibrierstandards folgender bekannter 7-Term-Verfahren TAN, TNA, LAN, TRL, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, TMS, LMS, TMO, LMO, UMSO, TMN, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSOLT zwischen dem Meßtor 1 und den weiteren Meßtoren 2 bis n in bekannter Reihenfolge vermessen werden, gekennzeichnet durch
d) eine aufeinanderfolgende Messung der Reflexions- und Transmissionsparameter an n + 1 verschiedenen zwischen den Meßtoren in beliebiger Reihenfolge geschalteten Kalibrierstandards.Method for calibrating a vector network analyzer having n measuring gates and at least 2n measuring points, in which
a) all calibration standards consist of fully known n-gates, two-gates or simple to n-fold single-gates, where n> 1,
b) at least one two-port of finite transmission attenuation is connected as a calibration standard between the measuring ports, and
c) the calibration standards of the following known 7-term methods TAN, TNA, LAN, TRL, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, TMS, LMS, TMO, LMO, UMSO, TMN, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY , ZZU, YYU, QSOLT between the measuring gate 1 and the other measuring gates 2 to n are measured in a known order, characterized by
d) a successive measurement of the reflection and transmission parameters at n + 1 different calibration standards connected between the measuring gates in any order.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren eines n Meßtore und mindestens 2n Meßstellen aufweisenden vektoriellen Netzwerkanalysators, bei welchem alle Kalibrierstandards aus vollständig bekannten n-Toren, Zweitoren oder einfachen bis n-fachen Eintoren (n-Tor bestehend aus n Eintoren) bestehen, wobei n > 1 ist, mindestens ein Zweitor endlicher Transmissionsdämpfung als Kalibrierstandard zwischen den Meßtoren geschaltet wird und die Kalibrierstandards bekannter 7-Term-Verfahren zwischen dem Meßtor 1 und den weiteren Meßtoren 2 bis n in bekannter Reihenfolge vermessen werden.The invention relates to a method for calibrating an n measuring gates and at least 2n measuring points vectorial network analyzer, in which all calibration standards out completely known n-gates, two-gates or simple to n-fold one-gates (n-gate consisting of n one-goal), where n> 1, at least a two-port finite transmission loss as a calibration standard between the measuring gates is switched and the calibration standards of known 7-term methods between the measuring gate 1 and the other measuring gates 2 to n can be measured in known order.

Ein Verfahren mit diesen Merkmalen geht aus DE 43 32 273 A1 als bekannt hervor.A method with these features is not available DE 43 32 273 A1 as known.

Mittels Netzwerkanalysatoren (NWA) werden Ein- und Zweitorparameter von elektronischen Halbleiterbauelementen bis hin zu Antennen vermessen. Die Meßgenauigkeit von NWA läßt sich mittels einer Systemfehlerkorrektur erheblich verbessern.Using network analyzers (NWA) become one- and two-port parameters of electronic semiconductor components measured down to antennas. The measuring accuracy of NWA can be improve significantly with a system error correction.

Aus diesen Meßwerten erhält man über spezielle Rechenverfahren Korrekturdaten. Mit diesen Korrekturdaten und einer entsprechenden Korrekturrechnung bekommt man für jedes beliebige Meßobjekt Meßwerte, die von Systemfehlern (Verkopplungen, Fehlanpassungen) befreit sind.These measured values can be obtained using special calculation methods Correction data. With this correction data and a corresponding one One gets correction calculation for any measurement object measured values, which are free of system errors (linkages, mismatches).

Die in der Hochfrequenztechnik übliche Beschreibungsform des elektrischen Verhaltens von Schaltungen erfolgt über die Streuparameter. Sie verknüpfen nicht Ströme und Spannungen, sondern Wellengrößen miteinander. Diese Darstellung ist den physikalischen Gegebenheiten besonders angepaßt.The usual form of description in high-frequency technology the electrical behavior of circuits takes place via the Scattering parameters. You link not currents and voltages, but wave sizes with each other. This representation is special to the physical conditions customized.

Bild 1 zeigt ein Zweitor, das durch seine Streumatrix [S] gekennzeichnet sei. Die Wellen a₁ und a₂ seien die auf das Zweitor zulaufenden Wellen, b₁ und b₂ entsprechend die in umgekehrter Richtung sich fortpflanzenden Wellen. Es gilt die Beziehung:

Figure 1 shows a two-port that is characterized by its scattering matrix [S]. Waves a ₁ and a ₂ are the waves approaching the two-port, b ₁ and b ₂ are the waves propagating in the opposite direction. The relationship applies:

Das Mehrtor-Meßproblem besteht darin, daß alle Tore des Meßobjektes miteinander verkoppelt sind.The multi-port measurement problem is that all the gates of the measurement object are coupled together.

Man erhält somit nicht mehr an einer Meßstelle ein Maß für die hinlaufende, an der nächsten ein Maß für die reflektierte und letztlich an einer weiteren ein Maß für transmittierte Welle, das von dem Abschlüssen des Mehrtores unabhängig ist.You no longer get one measuring point a measure of the running, at the next a measure of the reflected and ultimately another measure of transmitted wave, the from completing the Multiple goals independently is.

Das allgemeine Problem von n-Toren wird der übersichthalber oft auf 3 Tore reduziert, wo wie es auch in Bild 2 dargestellt ist. DUT steht für die englische Bezeichnung des Meßobjektes (device under test).The general problem of n-gates for the sake of clarity often reduced to 3 goals, as shown in Figure 2. DUT stands for the English name of the test object (device under test).

Für dieses Fehlermodell ist im Stand der Technik eine andere Lösung bekannt (Ferrero, [8]), die jedoch im Gegensatz zu den hier vorgeschlagenen Lösungswegen deutlich aufwendiger ist. Das dort vorgestellte Mehrtorkalibrierverfahren benötigt trotz gleicher Anzahl an Meßstellen eine Kalibriermessung mehr als die hier vorgestellten Verfahren. Desweiteren müssen bei dem Verfahren von Ferrero sämtliche Kalibrierstandards vollständig bekannt sein, was deutliche Meßfehler zur Folge hat, da derartige Standards nicht perfekt realisierbar sind.For another model is known from the prior art for this error model (Ferrero, [8]), however, in contrast to the ones proposed here solutions to is significantly more complex. The multi-door calibration procedure presented there needed despite the same number of measuring points one calibration measurement more than the methods presented here. Furthermore must all in the Ferrero process Calibration standards completely be known what clear measurement errors has the consequence that such standards cannot be implemented perfectly are.

In modernen NWA (mit vier Meßstellen) ist das TRL-Kalibrierverfahren [1],[3] erhältlich. Bei diesem Verfahren brauchen, abgesehen von der Durchverbindung (T = Thru), die verbleibenden zwei Standards (L = Line, R = Reflect) nur noch teilweise bekannt zu sein. Daß das TRL-Verfahren lediglich als ein Spezialfall einer allgemeinen Theorie für das sogenannte Zwei-Fehler-Zweitmodell betrachtet werden kann, wurde in [5], [11] gezeigt.In modern NWA (with four measuring points) the TRL calibration method [1], [3] is available. With this procedure apart from the through connection (T = Thru), need the remaining ones two standards (L = Line, R = Reflect) only partially known to be. That this TRL method only as a special case of a general theory for the so-called two-error second model can be considered shown in [5], [11].

Weitere bekannte 7-Term-Verfahren werden als TAN, TNA, TLR, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, UMSO; TMN, TMS, LMS, TMO, LMO, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSLOT usw. (z. B. [1], [5], [6], [7], [9], [10]) bezeichnet. I. d. R. setzen sich die Namen dieser Kalibrierverfahren aus den Kurzbezeichnungen der zur Kalibrierung nötigen Standards zusammen. Darüber hinaus gibt die Anzahl der Buchstaben in der Namensgebung auch die Anzahl der benötigten Kalibriermessungen wieder. Die Buchstaben in den oben aufgeführten Verfahren stehen für: A: Attenuator, M: Match U: Unknown, S: Short, O: Open, N: Network, Z: Serienwiderstand, Y: Parallelwiderstand, Q: Quick (kein Standardname, soll nur den Unterschied zum bekannten SOLT 12-Term-Verfahren verdeutlichen). Bei vertauschten Reihenfolgen der Kalibrierstandardkürzel handelt es sich um ein und dieselben Verfahren, z. B.: LLR = LRL.Other known 7-term methods are as TAN, TNA, TLR, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, UMSO; TMN, TMS, LMS, TMO, LMO, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSLOT etc. (e.g. B. [1], [5], [6], [7], [9], [10]). I. d. R. sit down the names of these calibration procedures from the short names of the necessary for calibration Standards together. About that In addition, the number of letters in the naming gives the Number of required Calibration measurements again. The letters in the procedures listed above stand for: A: Attenuator, M: Match U: Unknown, S: Short, O: Open, N: Network, Z: series resistance, Y: parallel resistance, Q: quick (no standard name, should only clarify the difference to the well-known SOLT 12-term process). If the order of the calibration standard codes is reversed it is one and the same procedure, e.g. E.g .: LLR = LRL.

All diese zur Klasse der 7-Term-Verfahren gehörenden Algorithmen lassen sich mit ihren Vorteilen in der dargestellten Entwicklung implementieren.All of these belong to the class of 7-term procedures belonging Algorithms can be shown with their advantages in the Implement development.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 1 derartig auszubilden, daß mit relativ einfachem Aufwand Korrekturkoeffizienten für das Mehrtormodell ermittelt werden können. Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst, eine vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens ergibt sich aus Anspruch 2.The invention has for its object a method with the features of claim 1 such form that correction coefficients for the multi-door model can be determined with relatively simple effort. This object is achieved by the characterizing features of claim 1, an advantageous further development of the method results from claim 2.

Gegenüber dem Verfahren von Ferrero benötigt man bei diesen 7-Term Mehrtorverfahren vier (z. B.: T1, T2, M und R) anstatt fünf (T1, T2, M, S und O) bekannte Hochfrequenz (HF)-Kalibrierstandards bei einer Dreitoranwendung. Die Ansprüche an den R-Standard sind auch viel geringer als die Ansprüche an den S- und O-Standard. Dieses ist für die Verfügbarkeit der Kalibrierstandards und somit für den praktischen Einsatz ein sehr wichtiger Aspekt.Compared to the Ferrero process needed four (e.g. T1, T2, M and R) instead of five (T1, T2, M, S and O) known radio frequency (HF) calibration standards in a three-port application. The demands on the R standard are also much less than the claims to the S and O standard. This is for the availability the calibration standards and therefore a very practical one important aspect.

Bei dem TMR-Mehrtorverfahren stehen bei der Wahl der vier Kalibrierstandardkombinationen eine Vielzahl von Alternativen in der Reihenfolge der Kontaktierung der Eintore zur Auswahl (Tabelle 1, 2). Jedoch ist vorgegeben, daß man von einem Tor aus mittels einer bekannten Zweitorverbindung (i. d. R. eine Durchverbindung, T) im n-Tor-Fall die weiteren Tore einmal verbinden muß. Desweiteren muß an jedem Tor ein bekannter Impedanzabschluß (z. B. ein Wellensumpf, M) und ein Reflexionsstandard, dessen Reflexionsverhalten an jedem Tor lediglich gleich aber nicht bekannt sein muß, angeschlossen werden. Variante 1 der Tabelle 1 bietet sich dadurch an, da Zuordnungsfehler nicht so einfach möglich sind, und Variante 2 der Tabelle 2 zeigt auf, daß auch bei einer n-Tor Multiportkalibrierung nicht mehr Standards als im Zweitorfall notwendig sind. Desweiteren liefert die Variante 2 mit Sicherheit die besseren Meßresultate, da keine sogenannten Verspannungen auftreten, da keine unterschiedlichen Wellensümpfe oder Reflexionsstandards eingesetzt werden müssen.Stand with the TMR multi-port process a large number when choosing the four calibration standard combinations of alternatives in the order of contacting the one-gate to choose from (Table 1, 2). However, it is specified that one of a gate by means of a known two-port connection (usually one through connection, T) in the case of n-gates, the other gates once must connect. Furthermore, must each gate has a known impedance termination (e.g. a wave sump, M) and a reflection standard whose reflection behavior on everyone The gate must be the same but not known to be connected. variant 1 of Table 1 is useful because there are no assignment errors as easy as possible are, and variant 2 of Table 2 shows that even with an n-port multiport calibration no more standards than are necessary in a two-goal case. Furthermore Variant 2 certainly delivers the better measurement results, since there are no so-called tensions, there are no different ones wave swamps or reflection standards must be used.

Dem Hauptanspruch 1 ist hinzuzufügen, daß beim Einsatz von Transfer- oder Kalibrierstandards auch Elemente aus konzentrierten Bauelementen verwendet werden können. Dieser allgemeine Anspruch schließt den Einsatz der bekannten 7-Term Kalibrierverfahren mit den Namen: TAN, TNA, TRL, TLR, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, UMSO, TMN, TMS, LMS, TMO, LMO, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSLOT usw. (z. B. [1], [6], [7], [9], [10]) ein. Sämtliche Verfahren werden nicht in ihrer klassischen Einsatzform verwendet, sondern werden n-1 malig bezogen auf ein Referenztor (hier immer Tor 1) eingesetzt. Demzufolge sieht das Referenzmeßtor bis zu n-mal und jedes weitere Meßtor einmalig die Standards, wie es auch in den zugehörigen Veröffentlichungen und Patentschriften ([1],[5], [6], [9], [10], [11], [12], [13], deutsche Offenlegungsschriften 3912795, 4125624, 4332273, US-Patent 5440236) dargestellt wurde, aber der Gesamtkalibrierprozeß zur hier vorgestellten Multiport 7-Term-Kalibrierung hebt sich deutlich von den patentierten Verfahren ab.The main claim 1 is to add that when used from transfer or calibration standards also elements from concentrated Components can be used. This general claim excludes the use of the known 7-term calibration procedure with the names: TAN, TNA, TRL, TLR, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, UMSO, TMN, TMS, LMS, TMO, LMO, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSLOT etc. (e.g. [1], [6], [7], [9], [10]) on. All Processes are not used in their classic form, but are referenced n-1 times to a reference gate (here always Gate 1) used. As a result, the reference measuring gate looks up to to n times and each additional measuring gate the standards are unique, as is also the case in the associated publications and patent specifications ([1], [5], [6], [9], [10], [11], [12], [13], German Offenlegungsschriften 3912795, 4125624, 4332273, U.S. Patent 5440236), but the Overall calibration process for Multiport 7-term calibration presented here stands out clearly on the patented process.

Anspruch 2 verdeutlicht den Einsatz des in der Praxis sehr sinnvollen TMR-Kalibirierverfahrens. In den Tabellen 1 und 2 sind einige mögliche Varianten der Kontaktierungsreihenfolge aufgelistet. Schließt man sämtliche Standards nacheinander an, so kann man die Anzahl der Kalibriermessungen auf 2n + n – 1 erhöhen.Claim 2 clarifies the use the TMR calibration method, which is very useful in practice. In the tables 1 and 2 are some possible ones Variants of the contacting order listed. If you close them all Standards one after the other, so you can see the number of calibration measurements on 2n + n - 1 increase.

Als Blockschaltbild ist der interessante Sonderfall eines 3-Tor Mehrtornetzwerkanalysesystems im Bild 2 illustriert. Das Bild 2 zeigt auf, wie ein derartiger Aufbau zu realisieren ist und dient als Grundlage für eine sowohl erklärende als auch mathematische Beschreibung.As a block diagram is the interesting one Special case of a 3-port multi-door network analysis system illustrated in Figure 2. Figure 2 shows how such a structure can be implemented and serves as the basis for an both explanatory as well as mathematical description.

Im Bild 2 wird dargestellt, wie das Signal einer Quelle 17 über einen Umschalter 16, dessen Eigenschaften Reproduzierbarkeit, Reflexion, Langzeitstabilität usw. nicht in die Meßgenauigkeit eingehen, auf die drei Zweige 18, 19 und 20 geleitet wird. Die als ideal angenommenen Meßstellen 15 nehmen jeweils ein Maß für die hinlaufende und transmittierende Welle auf. Sämtliche Fehler werden in den Fehlermatrizen 13, 14a und 14b zusammengefaßt. An den Toren 10, 11 und 12 ist das Meßobjekt 21 (DUT) mit dem Netzwerkanalysator verbunden. Mit derartig geringen Ansprüchen an den Kalibrierstandards läßt sich das 7-Term Mehrtorkalibrierverfahren auch ausgezeichnet für automatisierte Kalibrierungen von NWA ([2]) einsetzen.Figure 2 shows how the signal from a source 17 via a switch 16 , whose properties reproducibility, reflection, long-term stability etc. do not go into the measurement accuracy, on the three branches 18 . 19 and 20 is directed. The measuring points assumed to be ideal 15 each take a measure of the incoming and outgoing wave. All errors are in the error matrices 13 . 14a and 14b summarized. At the gates 10 . 11 and 12 is the measurement object 21 (DUT) connected to the network analyzer. With such low demands on the calibration standards, the 7-term multi-gate calibration method can also be used excellently for automated calibrations by NWA ([2]).

Die Ausgangsbasis für die mathematische Beschreibung der 7-Term Mehrtorverfahren (oft auch Multiportverfahren genannt) bildet das Fehlermodell im Bild 2. Der Einfachheit halber wollen wir die mathematische Herleitung nur für den in der Praxis interessantesten Fall, der Vermessung von Dreitoren, durchführen. Die Verallgemeinerung dieser Vorgehensweise zu n-Toren kann auf einfache Art und Weise durchgeführt werden, indem man einen Umschalter in n Ausgangstoren vorsieht und für jedes weitere Tor des Meßobjektes zwei zusätzliche Meßstellen berücksichtigt.The starting point for the mathematical Description of the 7-term multi-port process (often also multi-port process forms the error model in Figure 2. For the sake of simplicity we want the mathematical derivation only for the most interesting in practice Case, the measurement of three-door, carry out. The generalization This approach to n-gates can be done easily carried out by providing a switch in n exit gates and for each further gate of the measurement object two additional measuring points considered.

Zur Ermittlung der klassischen Fehlermatrizen des 7-Term Modells wird eine Zweitorkalibrierung zwischen dem Referenztor mit der Fehlermatrix [A] und nacheinander den Toren mit den Fehlermatrizen [B_i] durchgeführt. Die Bezeichnung 7-Term Modell rührt von der Tatsache, daß die zugehörige 2·2 Fehlermatrizen [A] und [B_i] insgesamt 7 Fehlerterme enthalten, da immer eine der 8 enthaltenen Größen auf 1 gesetzt werden kann.To determine the classic error matrices of the 7-term model, a two-port calibration is carried out between the reference gate with the error matrix [A] and the gates with the error matrices [B _i ] one after the other. The term 7-term model stems from the fact that the associated 2 × 2 error matrices [A] and [B _i ] as a whole 7 Error terms included, since always one of the 8th contained sizes can be set to 1.

Im weiteren ist es vorteilhaft, die mathematische Formulierung des Zweitormodells in der inversen Form der angegebenen Trasnmissionsparameter anzusetzen: [G] = [A]–1, [Hi] = [Bi]–1, i = 1, 2 (2)wobei für die Ein- und Ausgänge an den Fehlernetzwerken

gilt. Diese Gleichungen lassen sich nach den ai und b_i Wellengrößen auflösen und in der Gleichung

einsetzen. Hierbei bekommt man für jede Schalterstellung die Werte einer Matrixspalte, was letztlich zu einem linearen Gleichungssystem bestehend aus zwei n·n Meßwertmatrizen und der n·n Streumatrix führt. Löst man dieses Gleichungssystem nach der [Sx]-Matrix auf, so stehen einem die fehlerkorrigierten Streuparameter eines n-Tores zur Verfügung.Furthermore, it is advantageous to use the mathematical formulation of the two-door model in the inverse form of the specified transmission parameters: [G] = [A] -1 , [H i ] = [B i ] -1 , i = 1, 2 (2) being for the inputs and outputs on the error networks

applies. These equations can be solved for the ai and b _i wave quantities and in the equation

deploy. The values of a matrix column are obtained for each switch position, which ultimately leads to a linear system of equations consisting of two n · n measured value matrices and the n · n scatter matrix. If you solve this system of equations according to the [Sx] matrix, the error-corrected scattering parameters of an n-gate are available.

Literaturliterature

[1] Engen, G.F., Hoer, C.A., Thru-Reflect-Line: An Improved Technique for Calibrating the Dual Six Pon Automatic Network Analyzer, IEEE MTT-27, Dec. 1979, pp. 987-993
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[3] Hewlett Packard, Applying the HP 8510B TRL Calibration for Non-coaxial Measurements, Product Note 8510-8, Oct. 1987
[4] Hewlett Packard, Automating the HP 8410B Microwave Network Analyzer, Application Note 221A, Jun. 1980
[5] Eul, H.J., Schiek, B., A Generalized Theory and New Calibration Procedures for Network Analyzer Self-Calibration, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, MTT-39, March 1991, pp. 724-731
[6] Eul, H.-J., Methods for the calibration of heterodyne and homodyne network analyzers, dissertation, institute for university and high frequency technology, Ruhr University Bochum, 1990
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[8] Ferrero, A., Pisani, U., Kerwin, K.J., A New Implementation of a Multiport Automatic Network Analyzer, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 40, Nov. 1992, pp. 2078-2085
[9] Ferrero, A., Pisani, U., Two-Port Network Analyzer Calibration Using an Unknown Thru, IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 2, Dec. 1992, pp. 505-507
[10] Heuermann, H., Safe procedures for the calibration of network analyzers for coaxial and planar line systems, dissertation, Institute for High Frequency Technology, Ruhr University Bochum, 1995, ISBN 3-8265-1495-5
[11] Heuermann, H., Schiek, B., Robust Algorithms for Txx Network Analyzer self-calibration Procedures, IEEE Trans. Instrument. Meas., IM-1, Feb. 1994, pp. 18-23
[12] Heueimann, H., Schiek, B., LNN (Line Network Network): Procedure for the calibration of network analyzers, Kleinheubacher Reports, 1992, Vol. 36, pp. 327-335
[13] Heuermann, H., Schiek, B., Error Corrected Impedance Measurements with a Network Analyzer, IEEE Trans. Instrument. Meas., IM-2, Apr. 1995, pp. 295-299

Claims

Procedure for calibrating an n measuring gates and at least 2n measuring points comprising vector network analyzer, in which a) all calibration standards from fully known n-gates, two-gates or simple to n-fold single goals, where n> 1, b) at least a two-port finite transmission loss as a calibration standard between the measuring gates is switched, and c) the calibration standards of the following known ones 7-term procedure TAN, TNA, LAN, TRL, LLR, LRL, TAR, TMR, TRM, TMS, LMS, TMO, LMO, UMSO, TMN, LNN, TZU, TZY, TYU, LZY, ZZU, YYU, QSOLT between the measuring gate 1 and the other measuring gates 2 to n are measured in a known order, characterized by d) a successive measurement of the reflection and transmission parameters at n + 1 different between the measuring gates in any order switched calibration standards.

The method of claim 1 in use with existing coaxial or planar calibration standards, characterized in that that a) the first n-1 calibration measurements on a two-port, using the direct connection of the measuring gates or a short customized one Line of known length and damping is realized and that between the measuring gate 1 and the measuring gates 2nd until n is connected; b) another Calibration measurement on an n-gate using n known impedances is realized, carried out becomes; c) another calibration measurement on an n-gate by means of n non-ideal short circuits or idling realized is carried out becomes.

Table 1: Necessary calibration measurements of the 7-term multi-port method for three-port applications with TMR standards (1st variant)

Table 2: Necessary calibration measurements of the 7-term multi-port method for three-port applications with TMR standards (2nd variant)