DE19827139A1 - Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser - Google Patents
Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten KurzpulslaserInfo
- Publication number
- DE19827139A1 DE19827139A1 DE19827139A DE19827139A DE19827139A1 DE 19827139 A1 DE19827139 A1 DE 19827139A1 DE 19827139 A DE19827139 A DE 19827139A DE 19827139 A DE19827139 A DE 19827139A DE 19827139 A1 DE19827139 A1 DE 19827139A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- microscope
- optical fiber
- laser
- microscope according
- fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser in den Beleuchtungsstrahlengang eingekoppelten Kurzpulslaser, wobei dem Ende der Lichtleitfaser Mittel zur Erhöhung der mittleren Leistung der in das Mikroskop eingekoppelten Strahlung mittels mindestens eines dispergierenden Elementes nachgeordnet sind.
Description
Kurze Pulse besitzen je nach Pulslänge eine bestimmte spektrale Bandbreite.
In dispersiven Medien wie z. B. dem Glas einer optischen Faser verändert
sich die Pulslänge beim Durchlaufen des Mediums durch den Einfluß der
Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD).
Dies geschieht aufgrund der zeitlichen Aufspaltung der einzelnen
Frequenzanteile der Pulse, da in normal dispersiven Medien (Glas) die rot
verschobenen Frequenzanteile eine höhere Gruppengeschwindigkeit als die
blau-verschobenen Frequenzanteile besitzen. Das Spektrum bleibt hiervon
unberührt.
Diese Pulsverbreiterung kann mit Hilfe einer geeigneten Prechirp-Einheit (z. B.
bestehend aus Gittern oder Prismen, bzw. einer Kombination aus beiden)
wie in DE-GM 296 09 850 kompensiert werden.
Hierzu werden die spektralen Komponenten der Pulse in der Prechirp-Einheit
zeitlich so angeordnet, daß die blau-verschobenen den rot-verschobenen
Frequenzanteilen im Vergleich zur Mittenfrequenz vorauseilen. Bei einer
anschließenden Kopplung in ein dispersives Medium (z. B. einer opt.
Glasfaser) wird diese zeitliche Aufspaltung der Pulsfrequenzanteile wieder
aufgehoben. Am Ende des opt. Mediums (Glasfaser) erscheinen somit die
Pulse wieder in ihrer ursprünglichen Form, d. h. in der Form wie sie aus dem
Laser kamen.
Zusätzlich zu diesen linearen Effekten treten in optischen Medien jedoch
auch nichtlineare, d. h. von der Intensität der Laserstrahlung abhängige
Effekte auf.
Diese Effekte (SPM, XPM, etc.) wirken sich auf die spektrale Breite bzw. das
Pulsprofil aus.
Sie schränken in den meisten Fällen, die in einer Prechirp-Einheit minimal
erreichbare Pulslänge ein. Diese Effekte sind bei einer Kopplung eines
Kurzpulslasers unerwünscht.
Grundsätzlich können sie durch eine Begrenzung der Intensität der
Laserstrahlung unter einen kritischen Wert (Ikrit) vermieden werden. In einem
Kurzpulslaser wird die Intensität (I) durch die Pulslänge (τ), die
Repetitionsrate (f), die mittlere Leistung (Pavg) und durch den Strahlquerschnitt
(A) mit folgender Gleichung bestimmt:
In moden- sowie polarisationserhaltenden Glasfasern wird die
Querschnittsfläche durch die Wellenlänge der zu koppelnden Laserstrahlung
und die Repetitionsrate durch das verwendete Lasersystem festgelegt.
Die Änderung der Pulslänge eines vorher durch eine Prechirp-Einheit
geschickten Pulses beim Durchlaufen der Glasfaser ist in Fig. 2 im oberen
Teilbild dargestellt. Man erkennt, daß die Pulslänge am Ende der Faser
minimal ist. Bei gleichbleibender mittlerer Leistung wächst somit die Intensität
zum Faserende hin an.
Gleichzeitig wächst auch der Einfluß der nichtlinearen Effekte (SPM) am Ende
der Faser. Dies ist im unteren Teilbild in Fig. 2 durch die Änderung der
spektralen Breite sichtbar.
Bei einer vorgegebenen Pulslänge am Ausgang der Glasfaser wird somit die
mittlere Leistung die in das Mikroskop eingekoppelt werden kann, durch die
nichtlinearen Effekte limitiert.
Die Erfindung hat die Aufgabe, den Einfluß nichtlinearer Effekte auf das
Pulsprofil zu minimieren.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.
Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Erfindungsgemäß wird zur Vermeidung der nichtlinearen Effekte am
Faserende die Intensität verringert.
Dies kann beispielsweise vorteilhaft durch ein Vergrößern der
Querschnittsfläche A (siehe obige Gleichung) erfolgen. Diese Vergrößerung
muß an jenem Punkt erfolgen, an dem die Pulslänge und damit die Intensität
den kritischen Wert erreichen. Die weitere Komprimierung des Pulses erfolgt
somit in einem Bereich mit größerer Querschnittsfläche so daß nichtlineare
Effekte vermieden werden können.
Dabei gilt: Je größer die Dispersion im Bereich mit großem Querschnitt desto
größer ist die koppelbare mittlere Leistung.
Eine Faser deren Kerndurchmesser am Faserende ansteigt, ist in Fig. 4
dargestellt.
Es können statt einer Faser mit ansteigendem Querschnitt auch zwei oder
mehrere Fasern, vorteilhaft auch ineinander steckbar, verwendet werden,
wobei der Querschnitt der einzelnen Fasern in Richtung der Beleuchtung
zunimmt.
Besonders vorteilhaft ist jedoch der Einbau eines stark dispergierenden
Elementes in das Laser-Scanning-Mikroskop. Solch ein stark
dispergierendes Element ist z. B. jede Art von Prismen bzw.
Gitterkompressoren. Weiterhin sind spezielle Glasmaterialien oder Kristalle
(z. B. TeO2), wie sie beispielsweise in Acousto-Optischen Geräten eingebaut
werden, geeignet.
In Figur ist eine Anordnung unter Verwendung eines Acousto-Optischen
Modulators dargestellt.
Bei Einsatz dieser AO-Geräte (AOM; AOD, AOTF) können die nichtlinearen
Effekte verhindert (d. h. die koppelbare mittlere Leistung bei vorgegebener
Pulslänge) sowie gleichzeitig all ihre Vorteile in der Laser-Scanning-
Mikroskopie wie:
- - das Scannen des Laserstrahles
- - das kontinuierliche Abschwächen
- - das schnelle Schalten im ms-Bereich
- - und das Verzögern der Phase
ausgenutzt werden.
Speziell bei der Verwendung als AOM kann dieser Kristall zur Erhöhung der
Dispersion auch mehrfach durchlaufen werden. Dies geschieht besonders
einfach bei Verwendung der 0-ten Ordnung und bei entsprechender
Ausspiegelung der 1. Ordnung, wie in Figur dargestellt.
Die Erfindung und ihre Vorteile wird nachstehend anhand der schematischen
Zeichnungen näher erläutert.
In Fig. 1 ist schematisch die Einkopplung eines Kurzpulslasers KPL über eine
Prechirpeinheit PE und eine Lichtleitfaser in ein Mikroskop dargestellt.
Das Mikroskop ist vorteilhaft, wie in Fig. 8 dargestellt, ein Laser-Scanning-
Mikroskop (LSM).
Fig. 2a zeigt den Verlauf der Pulslänge und der Spektralbreite entlang der
Faserlänge.
Fig. 2b zeigt die minimal mögliche Pulslänge in Abhängigkeit von der
mittleren Leistung.
Fig. 4 zeigt eine Lichtleitfaser mit zum Ende hin in Beleuchtungsrichtung
ansteigendem Querschnitt.
Fig. 5 zeigt die Anordnung eines Akustooptischen Modulators AOM am
Faserende im Mikroskop.
In Fig. 6 ist der durch das (hier nicht dargestellte) Faserende in den AOM
eintretende Strahl sowie gebeugten heraustretenden Strahlen 0-ter und
erster Ordnung dargestellt.
Der AOM wird vorteilhaft wie in Fig. 7a in der 0-ten Ordnung betrieben, und
die erste Ordnung wird aus dem Strahlengang (nicht dargestellt) dargestellt
herausgespiegelt.
Zur Erhöhung der Dispersion und der mittleren Leistung ist ein
Mehrfachdurchlauf der 0-ten Ordnung im AOM erwünscht, was beispielsweise
auch durch zusätzliche Anordnung eines Spiegels zur Mehrfachreflektion der
0-ten Ordnung hinter dem AOM, wie in Fig. 7b dargestellt, realisiert werden
kann.
In Fig. 8 sind schematisch eine Mikroskopeinheit M und ein Scankopf S
dargestellt, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine
Zwischenabbildung aufweisen und ein LSM bilden.
Der Scankopf S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten
Mikroskopes sowie auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen
Mikroskopes angesetzt werden.
Es ist ein zwischen Auflichtscan und Durchlichtscan mitttels eines
schwenkbaren Spiegels 14 umschaltbarer mikroskopischer Strahlengang
dargestellt,
mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probe 5, Kondensor 5, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9, einem Beobachtungstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular 11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls dargestellt.
mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probe 5, Kondensor 5, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9, einem Beobachtungstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular 11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls dargestellt.
Ein Lasermodul 13.1, 13.2 nimmt die Laser auf und ist über Monomode-
Lichtleitfasern 14.1, 14.2 mit der Lasereinkoppeleinheit des Scankopfes S
verbunden.
Die Einkopplung der Lichtleitfasern 14.1, 14.2 erfolgt mittels einer
verschieblichen Kollimationsoptik 16, auf die noch näher eingegangen wird,
sowie Strahlumlenkelementen 17.1, 17.2.
Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein
Überwachungsstrahlengang in Richtung einer Monitordiode 19, der,
vorteilhaft auf einem nicht dargestellten drehbaren Filterrad Linienfilter 21
sowie Neutralfilter 20 vorgeordnet sind, ausgeblendet.
Die eigentliche Scaneinheit besteht aus Scanningobjektiv 22, Scanner 23,
Hauptstrahlteiler 24 und einer gemeinsamen Abbildungsoptik 25 für
Detektionskanäle 26.1-26.4.
Ein Umlenkprisma 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die vom Objekt
5 kommende Strahlung in Richtung dichroitischer Strahleiler 28 im
konvergenten Strahlengang der Abbildungsoptik 25, denen in Richtung und
senkrecht zur optischen Achse verstellbare und in ihrem Durchmesser
veränderbare Pinholes 29, individuell für jeden Detektionskanal sowie
Emissionsfilter 30 und
geeignete Empfängerelemente 31 (PMT) nachgeordnet sind.
Es erfolgt eine Einkopplung der Strahlung eines Kurzpulslasers KPL in
Glasfaser 14.1, vorzugsweise einer Single-Mode-Glasfaser.
Wie in DE 296 09 850 dargestellt, ist zwischen dem Laser und der
Lichtleitfaser eine Prechirpeinheit PE angeordnet.
Am Eingang des Scanmoduls ist wie bereits beschrieben ein akustooptischer
Modulator AOM vorgesehen.
Die Einkoppeloptik 33 zur Einkopplung der Laserstrahlung weist zur
Einkopplung nicht dargestellte Linsensysteme auf, deren Brennweite durch
den Strahlquerschnitt der Laser und die für die optimale Einkopplung
erforderliche numerische Apertur festgelegt ist.
Im Lasermodul 13.2, sind Einzel- und Multiwellenlängenlaser vorgesehen,
die einzeln oder gemeinsam über einen AOTF in eine oder mehrere Fasern
eingekoppelt werden.
Auch die Mischung der Strahlung verschiedener Laser am Fasereingang ist möglich
und kann anhand der schematisch dargestellten, auswechselbarer und
schaltbarer Teilerspiegel 39 erfolgen.
Die in Fig. 2 und 3 divergent aus dem Faserende der Fasern 14.1,2 an der
Scaneinheit s austretende Laserstrahlung wird und mittels der
Kollimationsoptik 16 auf einen Unendlichstrahl kollimiert.
Das erfolgt vorteilhaft mit einer einzelnen Linse, die durch Verschiebung
entlang der optischen Achse mittels einer über eine zentrale Ansteuereinheit
34 ansteuerbare Steuereinheit 37 eine Fokussierungsfunktion hat, indem ihr
Abstand zum Ende der Lichtleitfaser 14.1,2 an der Scaneinheit
erfindungsgemäß veränderbar ist.
Durch mehrere Einkoppelfasern und Kollimationsoptiken für unterschiedliche
Wellenlängen können unabhängig verschiedene chromatische
Kompensationen eingestellt werden.
Eine Monitordiode 19, die auch, hier nicht dargestellt, eine vorgesetzte
Fokussierlinse aufweisen kann, wirkt in Verbindung mit einem linien- oder
bereichsselektiven Filterrad oder Filterschieber 21, angesteuert von einer
Steuereinheit 36, zur permanenten Überwachung der in das Scanmodul
eingekoppelten Laserstrahlung, insbesondere um die Leistung in einer
bestimmten Laserlinie isoliert zu kontrollieren und gegebenenfalls über den
AOTF 32 mittels eines Regelsignales der Ansteuereinheit 34 zu stabilisieren.
Vorteilhaft kann der Scanner 23 selbst als AOM oder AOD ausgebildet sein,
wobei jeweils zwei AOM oder AOD für die beiden Scanrichtungen
zusammenwirken können.
Hier ist der Scanner gleichzeitig das erfindungsgemäße dispergierende Element
und die Kombination zweier Elemente ersetzt den mehrfachen Durchlauf
durch einen AOM, wie in Fig. 7b dargestellt.
Claims (8)
1. Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser in den
Beleuchtungsstrahlengang eingekoppelten Kurzpulslaser, vorzugsweise mit
Pulslängen im Subpico- oder Picosekundenbereich, wobei zwischen Laser
und Lichtleitfaser eine optische Anordnung zur wellenlängenabhängigen
zeitlichen Verzögerung der Laserpulse
vorgesehen ist,
wobei dem Ende der Lichtleitfaser in Beleuchtungsrichtung Mittel zur Erhöhung der mittleren Leistung der in das Mikroskop eingekoppelten Srahlung mittels mindestes eines disperenden Elementes nachgeordnet sind.
wobei dem Ende der Lichtleitfaser in Beleuchtungsrichtung Mittel zur Erhöhung der mittleren Leistung der in das Mikroskop eingekoppelten Srahlung mittels mindestes eines disperenden Elementes nachgeordnet sind.
2. Mikroskop nach Anspruch 1, mit dem Lichtleitfaserende in
Beleuchtungsrichtung nachgeordneten Prismen und/oder Gittern.
3. Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, mit mindestens einem dem
Lichtleitfaserende nachgeordneten akustooptischen Modulator wie AOM,
AOD und/oder AOTF.
4. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-3,
wobei das dispergierende Element im Mikroskopgehäuse an der
Einkoppelstelle der Lichtleitfaser angeordnet ist.
5. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-4, mit Mitteln zur rasterartigen
Erfassung
eines Objektes.
6. Laser-Scanning-Mikroskop nach einem der Ansprüche 1-5, mit mindestens
einem akustooptischen Modulator als Scanner in mindestens einer
Scanrichtung.
7. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 5, mit mindestens einer
Lichtleitfaser zur Einkopplung mit in Richtung der Beleuchtung in Richtung
zum Mikroskop ansteigendem Faserquerschnitt.
8. Mikroskop nach Anspruch 7, mit mehreren ineinander steckbaren Fasern,
wobei der Faserquerschnitt in Richtung der Beleuchtung zum Mikroskop
zunimmt.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19827139A DE19827139C2 (de) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser |
US09/238,858 US6269206B1 (en) | 1998-06-18 | 1999-01-28 | Microscope with a short pulse laser which is coupled in via a light-conducting fiber |
JP12543199A JP4206452B2 (ja) | 1998-06-18 | 1999-05-06 | 短パルスレーザーを分散する光ファイバーを有する顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19827139A DE19827139C2 (de) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19827139A1 true DE19827139A1 (de) | 1999-12-23 |
DE19827139C2 DE19827139C2 (de) | 2002-01-31 |
Family
ID=7871263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19827139A Expired - Fee Related DE19827139C2 (de) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6269206B1 (de) |
JP (1) | JP4206452B2 (de) |
DE (1) | DE19827139C2 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1113261A2 (de) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | Hitachi Metals, Ltd. | Laseranordnung und Verfahren zu deren Anwendung |
DE10031636A1 (de) * | 2000-06-29 | 2002-01-17 | Siemens Ag | Spektrometer |
FR2824903A1 (fr) * | 2001-05-21 | 2002-11-22 | Sciences Tech Ind De La Lumier | Amelioration aux procedes et dispositifs de mesure par imagerie confocale a chromatisme etendu |
US6666937B2 (en) | 2001-09-28 | 2003-12-23 | Southpac Trust International, Inc. | Method and apparatus for labeling and stacking flower pot covers |
DE10259443A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-01 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
DE102010018967A1 (de) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Anordnung und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie |
EP2298254B1 (de) * | 2003-06-02 | 2014-07-16 | Carl Zeiss Meditec AG | Vorrichtung zum präzisen Bearbeiten von Material |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19833025C2 (de) * | 1998-07-23 | 2001-07-05 | Leica Microsystems | Optische Anordnung zur Übertragung kurzer Laserpulse in Lichtleitfasern |
US6885683B1 (en) * | 2000-05-23 | 2005-04-26 | Imra America, Inc. | Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source |
JP4693972B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2011-06-01 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
JP4685229B2 (ja) | 2000-10-31 | 2011-05-18 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
US20020159146A1 (en) * | 2001-04-26 | 2002-10-31 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Apparatus and process for changing the illumination power in a microscope |
JP4615834B2 (ja) * | 2003-07-04 | 2011-01-19 | オリンパス株式会社 | レーザ変調装置および方法 |
US7253950B2 (en) * | 2003-07-17 | 2007-08-07 | Olympus Corporation | Scanning laser microscope |
JP4885429B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2012-02-29 | オリンパス株式会社 | 光刺激装置および光走査型観察装置 |
JP4729269B2 (ja) | 2004-06-01 | 2011-07-20 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
JP4642401B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2011-03-02 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型観察装置 |
JP4878751B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2012-02-15 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明装置および蛍光顕微鏡装置 |
JP2006208681A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Olympus Corp | 接続ユニットおよび光走査型蛍光観察装置 |
JP4869734B2 (ja) * | 2005-04-25 | 2012-02-08 | オリンパス株式会社 | 多光子励起走査型レーザ顕微鏡 |
DE102005020542A1 (de) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur reproduzierbaren Einstellung der Pinholeöffnung und Pinholelage in Laserscanmikroskopen |
EP1959292A3 (de) * | 2007-02-13 | 2009-06-17 | Olympus Corporation | Laser-Mikroskop |
KR101170896B1 (ko) | 2007-07-31 | 2012-08-06 | 신상훈 | 모듈화된 디지털 홀로그램 현미경 장치 |
FR2922658B1 (fr) * | 2007-10-18 | 2011-02-04 | Centre Nat Rech Scient | Systeme d'illuminations structuree d'un echantillon |
JP5639182B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2014-12-10 | オリンパス株式会社 | ビームスプリッタ装置、光源装置および走査型観察装置 |
US8610996B2 (en) * | 2010-05-06 | 2013-12-17 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Tunable multiple laser pulse scanning microscope and method of operating the same |
JP2017513211A (ja) | 2014-02-28 | 2017-05-25 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 顕微鏡に適用される多波長超短パルスの生成及び放出 |
US11506877B2 (en) | 2016-11-10 | 2022-11-22 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Imaging instrument having objective axis and light sheet or light beam projector axis intersecting at less than 90 degrees |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0431840A2 (de) * | 1989-12-05 | 1991-06-12 | Tektronix Inc. | Quelle für sehr kurze optische Pulse |
EP0784206A2 (de) * | 1996-01-08 | 1997-07-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Apparat zur Messung des elektrischen Felds |
DE19622359A1 (de) * | 1996-06-04 | 1997-12-11 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4342499A (en) * | 1979-03-19 | 1982-08-03 | Hicks Jr John W | Communications tuning construction |
JPS61193130A (ja) * | 1985-02-21 | 1986-08-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光ビ−ム偏向装置 |
JPH0731334B2 (ja) * | 1986-10-20 | 1995-04-10 | 日本電信電話株式会社 | 光パルス圧縮装置 |
JPH01145621A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-07 | Nikon Corp | 多波長光ビーム光学系 |
JP2664187B2 (ja) * | 1988-03-14 | 1997-10-15 | 日本電信電話株式会社 | 光パレス圧縮装置 |
JPH01282515A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Tokyo Electron Ltd | ビーム走査型光学顕微鏡 |
JP2505892B2 (ja) * | 1989-08-03 | 1996-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | パラメトリツクパルスレ―ザ |
JPH03294815A (ja) * | 1990-04-13 | 1991-12-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 極短光パルス供給装置 |
US5952668A (en) * | 1994-07-15 | 1999-09-14 | Baer; Stephen C. | Resolution in microscopy and microlithography |
JP3497598B2 (ja) * | 1995-03-17 | 2004-02-16 | 富士通株式会社 | 光ファイバ伝送路 |
JP3548283B2 (ja) * | 1995-07-07 | 2004-07-28 | 京セラ株式会社 | ファラデ回転ミラー |
US5920425A (en) * | 1995-09-22 | 1999-07-06 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Internal lighting device for a video microscope system |
JPH09211249A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-08-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | シングルモード光ファイバ |
JP3694956B2 (ja) * | 1996-01-09 | 2005-09-14 | 株式会社ニコン | 光走査型顕微鏡 |
US5852702A (en) * | 1996-02-28 | 1998-12-22 | Minolta Co., Ltd. | Thin film optical waveguide and optical deflecting device |
DE29609850U1 (de) * | 1996-06-04 | 1996-08-29 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
JP3558499B2 (ja) * | 1996-07-24 | 2004-08-25 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ、光源装置及びシステム |
US5862287A (en) * | 1996-12-13 | 1999-01-19 | Imra America, Inc. | Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power |
US5995281A (en) * | 1997-04-09 | 1999-11-30 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope |
US6016376A (en) * | 1997-10-06 | 2000-01-18 | Nec Research Institute, Inc. | Tapered coherent fiber bundle imaging device for near-field optical microscopy |
-
1998
- 1998-06-18 DE DE19827139A patent/DE19827139C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-28 US US09/238,858 patent/US6269206B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-06 JP JP12543199A patent/JP4206452B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0431840A2 (de) * | 1989-12-05 | 1991-06-12 | Tektronix Inc. | Quelle für sehr kurze optische Pulse |
EP0784206A2 (de) * | 1996-01-08 | 1997-07-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Apparat zur Messung des elektrischen Felds |
DE19622359A1 (de) * | 1996-06-04 | 1997-12-11 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1113261A3 (de) * | 1999-12-27 | 2002-05-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Laseranordnung und Verfahren zu deren Anwendung |
US6603780B2 (en) | 1999-12-27 | 2003-08-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Laser apparatus, laser-applied apparatus and method for using same |
EP1113261A2 (de) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | Hitachi Metals, Ltd. | Laseranordnung und Verfahren zu deren Anwendung |
DE10031636B4 (de) * | 2000-06-29 | 2006-01-05 | Siemens Ag | Spektrometer |
DE10031636A1 (de) * | 2000-06-29 | 2002-01-17 | Siemens Ag | Spektrometer |
FR2824903A1 (fr) * | 2001-05-21 | 2002-11-22 | Sciences Tech Ind De La Lumier | Amelioration aux procedes et dispositifs de mesure par imagerie confocale a chromatisme etendu |
WO2002095475A1 (fr) * | 2001-05-21 | 2002-11-28 | Sciences Et Techniques Industrielles De La Lumiere | Procede et dispostif de mesure par imagerie confocale a chromatisme entendu |
US6666937B2 (en) | 2001-09-28 | 2003-12-23 | Southpac Trust International, Inc. | Method and apparatus for labeling and stacking flower pot covers |
DE10259443A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-01 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
US7612884B2 (en) | 2002-12-19 | 2009-11-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Method and arrangement for optical examination or processing of a sample |
DE10259443B4 (de) * | 2002-12-19 | 2015-01-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
EP2298254B1 (de) * | 2003-06-02 | 2014-07-16 | Carl Zeiss Meditec AG | Vorrichtung zum präzisen Bearbeiten von Material |
EP2805697A1 (de) * | 2003-06-02 | 2014-11-26 | Carl Zeiss Meditec AG | Vorrichtung zum präzisen Bearbeiten von Material |
DE102010018967A1 (de) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Anordnung und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie |
DE102010018967B4 (de) | 2010-04-29 | 2021-11-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Anordnungen und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19827139C2 (de) | 2002-01-31 |
JP2000206415A (ja) | 2000-07-28 |
US6269206B1 (en) | 2001-07-31 |
JP4206452B2 (ja) | 2009-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19827139C2 (de) | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser | |
DE19758748C2 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop | |
DE19622359B4 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
DE19906757B4 (de) | Mikroskop | |
EP1184701B1 (de) | Beleuchtungseinrichtung | |
EP2624031B1 (de) | Verfahren und Anordnung zum Erzeugen eines Laserstrahls mit unterschiedlicher Strahlprofilcharakteristik mittels einer Mehrfachclad-Faser | |
EP1164406B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts | |
DE102011106916B4 (de) | Konfokales Auflicht-Rastermikroskop, Verfahren und Programm zum Betrieb eines solchen Mikroskops | |
EP1055144A1 (de) | Optische anordnung mit spektral selektivem element | |
EP1053497A1 (de) | Vorrichtung zur gleichzeitigen detektion mehrerer spektralbereiche eines lichtstrahls | |
DE10016377A1 (de) | Vorrichtung zum Vereinigen von Licht | |
WO2014060270A2 (de) | Optikanordnung und lichtmikroskop | |
EP1141763B1 (de) | Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop | |
EP2045641A2 (de) | Beleuchtungseinrichtung | |
DE19827140A1 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop mit AOTF | |
EP1122574B1 (de) | Mikroskop-Aufbau | |
EP0734539B1 (de) | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop | |
EP1573378A1 (de) | Verfahren und anordnung zur optischen untersuchung und/oder bearbeitung einer probe | |
DE29609850U1 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
DE19744302B4 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
DE10361176A1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung eines mehrere Wellenlängen umfassenden Lichtstrahls | |
DE19833025C2 (de) | Optische Anordnung zur Übertragung kurzer Laserpulse in Lichtleitfasern | |
EP1695133B1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung eines mehrere wellenlängen umfassenden lichtstrahls | |
DE10140542A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Interferenz von Licht | |
WO2019110406A1 (de) | Detektoranordnung für die mikroskopie |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE Effective date: 20130206 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |