DE19749729A1

DE19749729A1 - Piston vacuum pump

Info

Publication number: DE19749729A1
Application number: DE1997149729
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Giebmanns
Original assignee: Leybold Vakuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 1997-11-11
Filing date: 1997-11-11
Publication date: 1999-05-12

Abstract

The vacuum pump has the cylinder guided as a separate component (3) in the housing (2). The piston component (4) and the cylinder component are connected to the drive means (10) so that they execute opposite movements. Several piston cylinder systems can be provided, each with a piston and a cylinder wall section. The pistons are mounted axially in succession and with the piston rod sections attached to the pistons make up the piston component.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kolbenvakuumpumpe mit einem Gehäuse, mit einem Kolben-/Zylinder-System und mit An triebsmitteln für das Kolbenbauteil.The invention relates to a piston vacuum pump with a Housing, with a piston / cylinder system and with an drive means for the piston component.

Aus der US-A-48 54 825 ist eine Kolbenvakuumpumpe dieser Art bekannt. Sie ist mit einfach gestuften Kolben und einfach gestuften Zylindern ausgerüstet, so daß sowohl im Bereich der Stirnseite eines jeden Kolbens als auch im Bereich der Stufen des Kolbens Kompressionskammern vorgesehen werden können. Einlaßseitig werden mehrere Kompressionsstufen parallel betrieben und bilden eine erste Pumpstufe. Zur Auslaßseite hin nimmt die Anzahl der parallel betriebenen Kompressionsstufen ab. Auslaß seitige Pumpstufen umfassen nur eine Kompressionsstufe.From US-A-48 54 825 a piston vacuum pump is this Kind known. It is with simple stepped pistons and simply stepped cylinders equipped so that both in the face of each piston as well in the area of the steps of the piston compression chambers can be provided. On the inlet side, several Compression stages operated in parallel and form one first pump stage. The number increases towards the outlet side of the compression levels operated in parallel. Outlet Pump stages on the side only comprise a compression stage.

Aus der EU-A-607 687 ist eine Kolbenvakuumpumpe der hier betroffenen Art bekannt, bei der ein Kolben mit zwei Stufen eingesetzt wird. Zusammen mit einem ebenfalls zweistufigen Zylinder wird erreicht, daß insgesamt drei Kompressionskammern vorhanden sind. Dadurch wird der Aufbau einer zweistufigen, mit nur einem Kolbenbauteil ausgerüsteten Kolbenvakuumpumpe möglich, bei der zwei parallel betriebene Kompressionsstufen die einlaßsei tige Pumpstufe und die dritte Kompressionsstufe die aus laßseitige Pumpstufe bilden. From EU-A-607 687 a piston vacuum pump is the one here known type, in which a piston with two Stages is used. Together with one too two-stage cylinder is achieved that a total of three Compression chambers are available. This will make the Building a two-stage, with only one piston component equipped piston vacuum pump possible with the two compression stages operated in parallel are the inlet pump stage and the third compression stage form pump side.

Kolbenvakuumpumpen der bekannten Art bauen relativ groß und sind insgesamt technisch aufwendig und kostspielig. Je weniger Kolben sie aufweisen, desto mehr vibrieren sie, wenn sie nicht exakt ausgelegt sind. Diese Vibra tionen sind für die an die Vakuumpumpen angeschlossenen Kammern und/oder für die darin befindlichen Einrichtun gen schädlich.Piston vacuum pumps of the known type build relatively large and are overall technically complex and expensive. The fewer pistons they have, the more vibrate them if they are not designed exactly. That vibra ions are for those connected to the vacuum pumps Chambers and / or for the facilities located therein gene harmful.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Kolbenva kuumpumpe der hier betroffenen Art zu vereinfachen und so zu gestalten, daß sie schwingungsfrei betrieben wer den kann.The invention has for its object a Kolbenva to simplify the pump of the type concerned here and to be designed so that they operate vibration-free that can.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeich nenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.According to the invention, this object is characterized by nenden features of the claims solved.

Durch die Maßnahme, das Zylinderbauteil gleitend im Ge häuse zu führen und derart anzutreiben, daß es relativ zum Kolbenbauteil gegenläufige Bewegungen ausführt, müs sen Kolbenbauteil und Zylinderbauteil nur noch halbe Hubbewegungen ausführen, ohne daß sich der die Kompres sion bestimmende, durch die Relativbewegungen von Kol benbauteil und Zylinderbauteil vorgegebene Hub ändert. Ein besonderer Vorteil dieser Lösung besteht darin, daß ein Massenausgleich möglich ist. Haben die sich relativ zueinander bewegenden Bauteile gleiche Maßen, dann ist die Pumpe während ihres Betriebs schwingungsfrei. Selbst dann, wenn nur ein Kolben und nur ein Zylinder vorhanden ist, kann diese Maßnahme in einfacher Weise realisiert werden.By the measure, the cylinder component sliding in the Ge to lead and drive in such a way that it is relative executes movements in opposite directions to the piston component piston component and cylinder component only half Carry out lifting movements without the compresses sion determining, by the relative movements of Kol benbauteil and cylinder component changes the specified stroke. A particular advantage of this solution is that a mass balance is possible. They are relative components moving towards each other have the same dimensions, then the pump is vibration-free during its operation. Even if there is only one piston and only one cylinder is, this measure can be implemented in a simple manner become.

Sind das Kolbenbauteil und das Zylinderbauteil ein- oder zweifach gestuft, kann eine Kolbenvakuumpumpe mit bis zu sechs Kompressionskammern realisiert werden, obwohl sie nur mit einem Zylinderbauteil, einem Kolbenbauteil und einem Antrieb ausgerüstet ist, also vergleichsweise we nig Verschleißteile hat. Are the piston component and the cylinder component on or A piston vacuum pump with up to two stages six compression chambers are realized, though only with a cylinder component, a piston component and a drive is equipped, so comparatively we has little wearing parts.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,
Another embodiment of the invention is characterized in that

- That several piston / cylinder systems with each because of a piston and a cylinder wall cut exist,
- That the pistons are arranged axially one behind the other are net and attached to the piston Piston rod sections the piston component form,
- that - if necessary - from piston rods cut through partition walls available are,
- That partitions and end faces of the pistons too together with the cylinder wall sections com form compression chambers and
- That the cylinder wall sections and the partition walls are components of the cylinder component.

Auch diese Ausführungsform hat wenig Verschleißteile und kann kompakt gebaut werden. Nur ein einziges Kolbenbau teil mit einer Mehrzahl von hintereinander angeordneten Kolben führt Hubbewegungen aus. Jeder der Kolben kann zusammen mit dem Zylinder und den zugehörigen Trennwän den sowohl auf seiner Vorder- als auch auf seiner Rück seite jeweils eine Kompressionskammer bilden.This embodiment also has few wear parts and can be built compact. Only one piston construction part with a plurality of arranged one behind the other Piston performs lifting movements. Any of the pistons can together with the cylinder and the associated partition walls the one on its front and one on its back each form a compression chamber.

Bei einer Vakuumpumpe nach der Erfindung führt das Zy linderbauteil im Gehäuse Hubbewegungen aus. Seine Enden können deshalb auch Kolbenfunktion haben und zusammen mit dem Gehäuse weitere Kompressionskammern bilden. In a vacuum pump according to the invention, the Zy Lindinder component in the housing stroke movements. Its ends can therefore also have a piston function and together form additional compression chambers with the housing.

Besonders vorteilhaft ist es, als Auslaßventil der Pumpe - sei es der Auslaß einer Stufe, die von einem Kolben und dem Gehäuse oder einer Stufe, die vom Zylin derbauteil und dem Gehäuse gebildet wird - ein Ventil mit einem Teller als Verschlußelement einzusetzen, des sen Durchmesser größer als der Durchmesser der jeweili gen Kompressionskammer ist.It is particularly advantageous as the outlet valve Pump - be it the outlet of a stage by one Piston and the housing or a step by the Zylin the component and the housing is formed - a valve use with a plate as a closure element, the Sen diameter larger than the diameter of the respective is compression chamber.

Bei der Ausführungsform mit mehreren hintereinander an geordneten Kolben können die dem Füllen und Entleeren der Kompressionsräume dienenden Ventile sowie die zuge hörigen Leitungen in den Trennwänden untergebracht sein. Besonders vorteilhaft ist es, zumindest überwiegend seitliche Schlitzsteuerungen zu verwenden. Die Kolben können in bekannter Weise Schlitzöffnungen im Zylinder öffnen und schließen. Zusätzlich können Schlitzsteuerun gen zwischen dem Hubbewegungen ausführenden Zylinderbau teil und dem Gehäuse vorgesehen sein.In the embodiment with several in a row Ordered pistons can be used for filling and emptying the valves serving the compression spaces as well as the appropriate lines can be accommodated in the partitions. It is particularly advantageous, at least predominantly side slot controls to use. The pistons can in a known manner slot openings in the cylinder open and close. In addition, slot controls between the cylinder movements performing the lifting movements part and the housing.

Eine Kolbenvakuumpumpe der erfindungsgemäßen Art kann ölgeschmiert oder auch "trocken" sein. Bei einer trocke nen Ausführungsform müssen geeignete Werkstoffpaarungen für die Gleitflächen (Außenflächen der Kolben bzw. Kol benstangenabschnitte, Innenflächen des Zylinderbauteiles bzw. der Durchführungsöffnungen in den Trennwänden, Außenfläche des Zylinderbauteiles, Innenfläche des Ge häuses Gleitflächen von zusätzlichen Führungen) vorhan den sein. Ein Beispiel für eine solche Werkstoffpaarung ist: Kunststoff (z. B. Polytetrafluoräthylen)/Alumi nium.A piston vacuum pump of the type according to the invention can be oil-lubricated or "dry". With a dry NEN embodiment must have suitable material pairings for the sliding surfaces (outer surfaces of the pistons or col rod sections, inner surfaces of the cylinder component or the through openings in the partitions, Outer surface of the cylinder component, inner surface of the Ge house sliding surfaces of additional guides) existing be that. An example of such a material combination is: plastic (e.g. polytetrafluoroethylene) / aluminum nium.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 15 dargestellten Ausfüh rungsbeispielen erläutert werden. Further advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS . 1 to 15.

Es zeigenShow it

Fig. 1 bis 3 ein Ausführungsbeispiel für eine Kolbenvakuumpumpe nach der Erfindung mit einem Kolbenbauteil, das zwei hintereinander ange ordnete Kolben aufweist, Figs. 1 to 3, one embodiment for a vacuum pump according to the invention with a piston member having two serially arranged pistons,

Fig. 4 bis 7 Teilschnitte mit Führungen für das Kolben- und/oder Zylinderbauteil, Fig. 4 to 7 are partial sections with guides for the piston and / or cylinder member,

Fig. 8 bis 11 schematisch dargestellte Ausführungsformen mit ein- oder zweistufig ausgebildetem Kolbenbauteil, Zylinderbauteil und Gehäuse und Fig. 8 to 11 schematically illustrated embodiments with one or two stage trained piston member, cylinder member and the housing;

Fig. 12 bis 15 weitere Ausführungen nach der Erfindung mit einem Kolbenbauteil, das zwei hintereinander angeordnete Kolben aufweist. Fig. 12 to 15 further designs according to the invention with a piston component having two pistons arranged one behind the other.

Die Figuren zeigen jeweils eine Kolbenvakuumpumpe 1 nach der Erfindung mit einem Gehäuse 2, einem Zylinderbauteil 3 und einem Kolbenbauteil 4.The figures each show a piston vacuum pump 1 according to the invention with a housing 2 , a cylinder component 3 and a piston component 4 .

Bei den Ausführungen nach den Fig. 1 bis 7 sind die Kolben 5 und 6 Bestandteile des Kolbenbauteiles 4. Sie sind über einen Kolbenstangenabschnitt 7 miteinander verbunden. Der Kolben 6 steht über einen weiteren Kol benstangenabschnitt 8 mit einer Pleuelstange 9 in Ver bindung, und zwar über das Gelenk 9'. Die Pleuelstange 9 ist ihrerseits mit der Kurbelwelle 11 eines Getriebes 12 verbunden. Der Antriebsmotor ist mit 10 bezeichnet und nur in den Fig. 3 und 12 bis 15 dargestellt.In the embodiments according to FIGS. 1 to 7, the pistons 5 and 6 are components of the piston component 4. They are connected to one another via a piston rod section 7 . The piston 6 is connected to a further piston rod section 8 with a connecting rod 9 in connection with the joint 9 '. The connecting rod 9 is in turn connected to the crankshaft 11 of a transmission 12 . The drive motor is designated 10 and only shown in FIGS. 3 and 12 to 15.

Bestandteile des Zylinderbauteiles 3 sind jedem der Kol ben 5, 6 zugeordnete Zylinderwandabschnitte 13, 14 und Trennwände 15, 16, 17. Die Trennwände 15 und 16 weisen zentrale Durchführungen 18 bzw. 19 für die Kolbenstan genabschnitte 7 bzw. 8 auf. Die Kolbenstangenabschnitte 7, 8 führen in den Durchführungsöffnungen lineare Bewe gungen aus, so daß eine ausreichende Abdichtung des Spaltes ohne erhöhten Aufwand möglich ist. Über eine weitere Pleuelstange 20 und das Gelenk 20' steht auch das Zylinderbauteil 3 mit der Kurbelwelle 11 in Verbin dung, und zwar derart, daß das Zylinderbauteil 3 und das Kolbenbauteil 4 gegenläufige Bewegungen ausführen. Anstelle des Kurbelwellengetriebes könnten auch andere Getriebe mit vergleichbarer Funktion, zum Beispiel Kur vengetriebe (Getriebe mit einer Taumelscheibe usw.), Kipphebelgetriebe oder ähnliche Getriebe eingesetzt wer den.Components of the cylinder component 3 are each of the Kol ben 5 , 6 associated cylinder wall sections 13 , 14 and partitions 15 , 16 , 17. The partitions 15 and 16 have central bushings 18 and 19 for the piston rod sections 7 and 8 respectively. The piston rod sections 7 , 8 perform linear movements in the through openings, so that a sufficient sealing of the gap is possible without increased effort. About a further connecting rod 20 and the joint 20 'is also the cylinder component 3 with the crankshaft 11 in connec tion, in such a way that the cylinder component 3 and the piston component 4 perform opposite movements. Instead of the crankshaft gearbox, other gearboxes with a comparable function, for example cam gearboxes (gearbox with a swash plate, etc.), rocker arm gearboxes or similar gearboxes could be used.

Das Zylinderbauteil 3 ist im Gehäuse 2 gleitend geführt. Der von beiden Bauteilen gebildete Spalt ist - falls er forderlich - an geeigneten Stellen mit Hilfe von Dicht ringen (hier als Kolbenringe dargestellt) abgedichtet.The cylinder component 3 is slidably guided in the housing 2 . The gap formed by both components is - if necessary - sealed at suitable points with the help of sealing rings (shown here as piston rings).

Bei den Ausführungen nach den Fig. 1 bis 7 ist das Gehäuse 2 in Höhe des Kolbens 5 mit einem Einlaßstutzen 21 und im Bereich seiner getriebefernen Stirnseite mit einem Auslaßstutzen 22 ausgerüstet. Bei den Ausführun gen nach den Fig. 12 bis 15 befindet sich der Ein laßstutzen 21 in Höhe des Kolbens 6 (getriebefern), während der Auslaßstutzen 22 getriebenah angeordnet ist. Diese Lösung hat den Vorteil eines niedrigen Druck gefälles zwischen dem Getrieberaum und der Prozeßgas führung in der Pumpe 1. Weiterhin umfaßt die Pumpe 1 bzw. ihr Gehäuse 2 eine Einlaßkammer 23, eine Auslaß kammer 24 sowie Gasführungskammern 25, 26 und 27, deren Funktion weiter unten noch beschrieben wird.In the embodiments according to FIGS. 1 to 7, the housing 2 at the level of the piston 5 is equipped with an inlet stub 21 and the area of its gearbox distal end face with a discharge port 22. In the Ausführun gene according to FIGS. 12 to 15 is the A laßstutzen 21 in height of the piston 6 (transmission remote), while the outlet 22 is disposed getriebenah. This solution has the advantage of a low pressure gradient between the gear chamber and the process gas guide in the pump 1. Furthermore, the pump 1 or its housing 2 comprises an inlet chamber 23 , an outlet chamber 24 and gas guide chambers 25 , 26 and 27 , the function of which continues will be described below.

Die Zylinderwandabschnitte 13, 14 bilden zusammen mit den Trennwänden 15, 16 bzw. 16, 17 je einen Zylinderraum 31 bzw. 32, in denen jeweils ein Kolben 5 bzw. 6 seine Hubbewegungen ausführt. Durch die Kolbenbewegungen ent stehen auf jeder der Stirnseiten der beiden Kolben 5, 6 ihr Volumen verändernde, teilweise ringförmig ausgebil dete Kompressionskammern, die mit 33 bis 36 bezeichnet sind und jeweils Bestandteil von Kompressionsstufen der Pumpe 1 sind.The cylinder wall sections 13 , 14 together with the partition walls 15 , 16 and 16 , 17 each form a cylinder space 31 and 32 , in each of which a piston 5 or 6 executes its lifting movements. Due to the piston movements ent on each of the end faces of the two pistons 5 , 6 their volume changing, partially annular ausgebil Dete compression chambers, which are designated 33 to 36 and are each part of compression stages of the pump 1 .

Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen hat das Zy linderbauteil 3 im Bereich seiner getriebefernen Stirn seite (Trennwand 17) auch Kolbenfunktion. Es bildet zu sammen mit dem Gehäuse 2, in dem es gleitend geführt ist, ein Kolben-/Zylindersystem, dessen Kompressionskam mer mit 38 bezeichnet ist. Bei den Ausführungen nach den Fig. 1 bis 7 bildet die Kompressionskammer 38 die letzte, auslaßseitig gelegene Kompressionsstufe der Pumpe 1, so daß das Ventil 39/42 die Funktion eines Auslaßventils hat und die geförderten Prozeßgase in Richtung Auslaßkammer 24 durchläßt. Das Ventil umfaßt einen großflächigen Ventilteller 39, der an einem zen tralen, gehäusefesten Träger 41 befestigt ist. Der Durchmesser des Ventiltellers 39 ist etwas größer als der Durchmesser der Kompressionskammer 38. Der Ventil sitz 42 ist Bestandteil eines die Kompressionskammer 38 umgebenden Gehäuserandes.In the illustrated embodiments, the Zy cylinder component 3 in the region of its distal end face (partition 17 ) also has a piston function. It forms together with the housing 2 , in which it is slidably guided, a piston / cylinder system, the compression chamber of which is designated 38 . In the embodiments according to FIGS. 1 to 7, the compression chamber 38 forms the last one, the outlet The preferred compression stage of the pump 1, so that the valve 39/42 has the function of an exhaust valve and passes the promoted process gases toward outlet 24th The valve comprises a large-area valve plate 39 which is fastened to a central, housing-fixed support 41 . The diameter of the valve plate 39 is slightly larger than the diameter of the compression chamber 38. The valve seat 42 is part of a housing edge surrounding the compression chamber 38 .

Die Ausführungen nach den Fig. 12 bis 15 zeigen, daß das Zylinderbauteil 3 auch im getriebenahen Bereich (Trennwand 15) Kolbenfunktion haben kann. Es bildet zu sammen mit dem Gehäuse 2 ein Kolben-Zylindersystem, des sen Kompressionskammer mit 40 bezeichnet ist. Bei diesen Ausführungen bildet die Kompressionskammer 40 die letzte auslaßseitig gelegene Kompressionsstufe mit dem Aus laßventil 39'/42', das die geförderten Gase in Richtung Auslaßkammer, 24 hindurchläßt. Das Ventil 39'/42' um faßt - ähnlich wie das Ventil 39/42 - einen großflächi gen Ventilteller 39', der an einem gehäusefesten Träger 43 befestigt ist. Der Durchmesser des Ventiltellers 39' ist etwas größer als der Durchmesser der Kompressions kammer 40. Der Ventilsitz 42' ist Bestandteil eines die Kompressionskammer 40 umgebenden Gehäuserandes.The explanations according to FIGS. 12 to 15 show that the cylinder component 3 can also have a piston function in the area near the gear (partition 15 ). Together with the housing 2 it forms a piston-cylinder system, the compression chamber of which is designated 40 . In these versions, the compression chamber 40 forms the last compression stage located on the outlet side with the outlet valve 39 '/ 42 ', which allows the conveyed gases in the direction of the outlet chamber, 24 . The valve 39 '/ 42' to summarizes - similar to the valve 39/42 - a großflächi gen valve plate 39 ', which is attached to a housing-fixed carrier 43rd The diameter of the valve plate 39 'is slightly larger than the diameter of the compression chamber 40. The valve seat 42 ' is part of a housing chamber surrounding the compression chamber 40 .

In Fig. 1 befinden sich das Zylinderbauteil 3 in seiner oberen, das Kolbenbauteil 4 in seiner unteren Stellung. Die Kompressionskammer 34 steht über Schlitzöffnungen im Zylinderwandabschnitt 13 und in der Gehäuseinnenwandung mit der Einlaßkammer 23 in Verbindung. Nach dem Beginn der Abwärtsbewegung des Zylinderbauteiles 3 und der Auf wärtsbewegung des Kolbenbauteils 4 wird die Kompressi onskammer 34 von der Einlaßkammer getrennt und es be ginnt die Kompressionsphase (Fig. 2).In Fig. 1, the cylinder component 3 is in its upper position, the piston component 4 in its lower position. The compression chamber 34 communicates with the inlet chamber 23 via slot openings in the cylinder wall section 13 and in the housing inner wall. After the start of the downward movement of the cylinder component 3 and the upward movement of the piston component 4 , the compression chamber 34 is separated from the inlet chamber and the compression phase begins ( FIG. 2).

In Fig. 3, in der das Zylinderbauteil 3 in seiner unte ren, das Kolbenbauteil 4 in seiner oberen Stellung dar gestellt ist, ist die Kompressionsphase in der Kompres sionskammer 38 beendet. In dieser Stellung besteht über Schlitzöffnungen im Zylinderwandabschnitt 13 und im Ge häuse 2 eine Verbindung zur Gasführungskammer 25, in die die komprimierten Gase einströmen. Gleichzeitig steht die Kompressionskammer 33 mit der Einlaßkammer 23 in Verbindung und füllt sich mit zu komprimierendem Gas. Nach dem Beginn der Aufwärtsbewegung des Zylinderbautei les 3 und der Abwärtsbewegung des Kolbenbauteiles 4 er folgt wieder das Schließen der Ein- bzw. Ausströmöffnun gen, so daß in der Kompressionskammer 33 die Kompressi onsphase (Fig. 2) beginnt. Nach dem Abschluß der Kom pressionsphase haben Zylinder- und Kolbenbauteil die in Fig. 1 gezeigte Stellung, in der der Kompressionsraum 33 mit der Gasführungskammer 25 und die Kompressionskam mer 34 mit der Einlaßkammer 23 verbunden ist. Der vor beschriebene Ablauf wiederholt sich danach.In Fig. 3, in which the cylinder member 3 is in its unte ren, the piston member 4 is in its upper position, the compression phase in the compression chamber 38 is ended. In this position there is via slot openings in the cylinder wall section 13 and in the Ge housing 2 a connection to the gas guide chamber 25 into which the compressed gases flow. At the same time, the compression chamber 33 communicates with the inlet chamber 23 and fills with gas to be compressed. After the start of the upward movement of the cylinder component 3 and the downward movement of the piston component 4, it follows the closing of the inflow or outflow openings, so that the compression chamber 33 begins the compression phase ( FIG. 2). After the completion of the compression phase, the cylinder and piston component have the position shown in FIG. 1, in which the compression chamber 33 is connected to the gas guide chamber 25 and the compression chamber 34 to the inlet chamber 23 . The procedure described before is then repeated.

Beide Kompressionskammern 33 und 34 fördern Gas aus der Einlaßkammer 23 in die Gasführungskammer 25 und bilden damit zwei parallel geschaltete Kompressionsstufen einer ersten Pumpstufe. Die Kompressionskammer 35 ist Bestand teil einer weiteren Kompressionsstufe, die gleichzeitig die zweite Pumpstufe bildet. In der in Fig. 3 darge stellten Stellung von Zylinder- und Kolbenbauteil 3 bzw. 4 strömt Gas aus der Gasführungskammer 25 in die Kom pressionskammer 35 ein, wird komprimiert (Fig. 2) und strömt nach der Kompression (Fig. 1) in die Gasfüh rungskammer 26.Both compression chambers 33 and 34 convey gas from the inlet chamber 23 into the gas guide chamber 25 and thus form two compression stages of a first pump stage connected in parallel. The compression chamber 35 is part of a further compression stage, which simultaneously forms the second pump stage. In the Darge shown in Fig. 3 position of the cylinder and piston component 3 and 4 gas flows from the gas guide chamber 25 into the compression chamber 35 , is compressed ( Fig. 2) and flows after the compression ( Fig. 1) in the Gas management chamber 26 .

In der Stellung nach Fig. 1 steht die Gasführungskammer 26 auch mit der Kompressionskammer 36 in Verbindung, die Bestandteil einer weiteren Kompressionsstufe ist und die dritte Pumpstufe bildet. Das eingeströmte Gas wird ver dichtet (Fig. 2) und strömt nach seiner Verdichtung in die Gasführungskammer 27 (Fig. 3).In the position according to FIG. 1, the gas guide chamber 26 is also connected to the compression chamber 36 , which is part of a further compression stage and forms the third pump stage. The inflow gas is sealed ver ( Fig. 2) and flows after its compression in the gas guide chamber 27 ( Fig. 3).

An die dritte Pumpstufe schließt sich eine vierte an, bei der das getriebeferne Ende des Zylinderbauteiles 3 Kolbenfunktion hat und das Gehäuse 2 den Zylinder bil det. Der Kompressionsraum 38 steht in der untersten Stellung des Zylinderbauteiles 3 (Fig. 3) mit der Gas führungskammer 27 in Verbindung. Gas strömt ein und wird weiter komprimiert (Fig. 2). Das verdichtete Gas und/oder auf der freien Stirnseite des Zylinderbauteiles 3 befindliche (nicht dargestellte) Vorsprünge heben den Rand des Ventiltellers 39 an, so daß das Gas in die Auslaßkammer 24 strömen kann.The third pump stage is followed by a fourth, in which the gear-remote end of the cylinder component 3 has a piston function and the housing 2 detects the cylinder. The compression space 38 is in the lowest position of the cylinder component 3 ( Fig. 3) with the gas guide chamber 27 in connection. Gas flows in and is further compressed ( Fig. 2). The compressed gas and / or projections (not shown) located on the free end face of the cylinder component 3 raise the edge of the valve plate 39 so that the gas can flow into the outlet chamber 24 .

Das Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 3 ist eine vierstufige Kolbenvakuumpumpe mit getriebenahem Einlaß 21, 23 und getriebefernem Auslaß 22, 24, bei welcher zwei parallele Kompressionsstufen die erste Pumpstufe und drei weitere Kompressionsstufen die zweite, dritte und vierte Pumpstufe bilden. Die Erfin dung erlaubt es, in einfacher Weise die Anzahl der Kom pressionsstufen zu erhöhen. Dieses geschieht durch Erhö hung der Anzahl der Kolben und Trennscheiben. Durch ge eignete Wahl der Orte für die im Gehäuse 2 befindlichen Gasführungskammern sowie für die Schlitzöffnungen in der Gehäuseinnenwandung und in den Zylinderwandabschnitten kann der Fachmann bestimmen, welche der Kompressionsstu fen parallel und welche hintereinander betrieben werden sollen.The embodiment according to FIGS. 1 to 3 is a four-stage piston vacuum pump with inlet 21 , 23 near the transmission and outlet 22 , 24 remote from the transmission, in which two parallel compression stages form the first pump stage and three further compression stages form the second, third and fourth pump stages. The inven tion allows the number of compression stages to be increased in a simple manner. This is done by increasing the number of pistons and cutting discs. By ge suitable choice of the locations for the gas guide chambers located in the housing 2 and for the slot openings in the housing inner wall and in the cylinder wall sections, the person skilled in the art can determine which of the compression stages are to be operated in parallel and which one behind the other.

Die Fig. 4 bis 7 zeigen Beispiele für zusätzliche Li nearführungen für das Zylinderbauteil 3 und/oder das Kolbenbauteil 4. Diese können sich im Bereich der ge triebenahen und/oder der getriebefernen Stirnseite des Zylinder-/Kolben-Systems befinden und die ohnehin gege bene Führung der Kolben 5, 6 im zugehörigen Zylinder und des Zylinderbauteils 3 im Gehäuse 2 unterstützen. FIGS. 4 to 7 show examples of additional Li near guides for the cylinder member 3 and / or the piston member 4. These can GE gear near and / or the transmission-remote end face of the cylinder / piston system in the area are and the already gege bene Support guidance of the pistons 5 , 6 in the associated cylinder and the cylinder component 3 in the housing 2 .

Lösungen für getriebefern angeordnete Linearführungen sind in den Fig. 4, 6 und 7 dargestellt. Dazu ist der gehäusefeste Träger 41 des Ventiltellers 39 jeweils mit einer zentralen Führungsbuchse 44 ausgerüstet. Beim Aus führungsbeispiel nach Fig. 4 ist nur das Zylinderbau teil 3 geführt. Dazu weist die Trennwand 17 stirnseitig einen Zylinderabschnitt 45 auf, der in der Buchse 44 hin- und hergleitet.Solutions for linear guides arranged remotely from the transmission are shown in FIGS. 4, 6 and 7. For this purpose, the housing-fixed support 41 of the valve plate 39 is equipped with a central guide bush 44 . When removing operation example according to FIG. 4, only the part 3 out of cylinders. For this purpose, the partition 17 has a cylinder section 45 on the end face, which slides back and forth in the bushing 44 .

Bei der Ausführung nach Fig. 6 dient die Buchse 44 so wohl der Führung des Zylinderbauteiles 3 als auch des Kolbenbauteiles 4. Die Buchse 44 erstreckt sich so weit in Richtung Getriebe, daß eine in der Trennwand 17 vor gesehene Bohrung 46 die Buchse 44 von außen umfaßt und darauf gleitend geführt ist. Zur Führung des Kolbenbau teiles 4 ist der Kolben 6 mit einem Zylinderabschnitt 47 ausgerüstet, der innerhalb der Buchse 44 hin- und her gleitet.In the embodiment according to FIG. 6, the bushing 44 serves to guide the cylinder component 3 as well as the piston component 4. The bushing 44 extends so far in the direction of the gearbox that a bore 46 seen in the partition 17 before the bushing 44 from the outside includes and is slidably guided thereon. To guide the piston construction part 4 , the piston 6 is equipped with a cylinder section 47 which slides back and forth within the bush 44 .

Bei der Ausführung nach Fig. 7 ist nur der Kolben 6 mit seinem Zylinderabschnitt 47 in der Buchse 44 geführt. Die Größe der Bohrung 46 ist so gewählt, daß sie den Zylinderabschnitt 47 umfaßt und gleitend darauf geführt ist.In the embodiment of Fig. 7 only the piston 6 is guided with its cylindrical portion 47 in the sleeve 44. The size of the bore 46 is selected so that it encompasses the cylinder section 47 and is slidably guided thereon.

Bei den Ausführungen nach den Fig. 4, 6 und 7 bewegen sich die zylindrischen Abschnitte 45 bzw. 47 relativ zum gehäusefesten Träger 41. Die Buchse 44 des Trägers 41 und die zylindrischen Abschnitte 45 bzw. 47 könnten als weiteres Zylinder-/Kolbensystem mit einer weiteren Kom pressionskammer ausgebildet sein.In the embodiments of FIGS. 4, 6 and 7, the cylindrical sections 45 and 47, 44 move relative to the housing-fixed carrier 41. The bushing of the carrier 41 and the cylindrical portions 45 and 47 could, as a further cylinder / piston system with a be further compression chamber formed.

Fig. 5 zeigt eine Ausführung mit einer vorzugsweise zu sätzlichen, getriebenah gelegenen Linearführung des Zy linderbauteiles 3. Im Gehäuse 2 befindet sich eine Gleitbuchse 48, in der ein zylindrischer Abschnitt 49 des Zylinderbauteiles 3 gleitend geführt ist. Der Kol benstangenabschnitt 8 durchsetzt den relativ langen zy lindrischen Abschnitt 49. Die Linearführung des Kolben bauteiles 3 wird dadurch ebenfalls unterstützt. Fig. 5 shows an embodiment with a preferably sätzlichen, getriebenah side linear guide of the Zy-alleviating component 3. In the housing 2 there is a slide bush 48, in which a cylindrical section is guided in a sliding cylinder 49 of the component. 3 The Kol benstangenabschnitt 8 passes through the relatively long zy-cylindrical section 49. The linear guide of the piston component 3 is also supported.

Bei den Ausführungen nach den Fig. 12 bis 15 umfaßt die getriebenah gelegene Linearführung eine am Träger 43 befestigte Führungsbuchse 50. Die Stirnwand der Trenn wand 15 ist mit einem Zylinderabschnitt 45' ausgerüstet, der in der Buchse 50 hin- und hergleitet. Der Kolben stangenabschnitt 18 ist seinerseits im Zylinderabschnitt 45' geführt.In the embodiments according to FIGS. 12 to 15 the preferred getriebenah linear guide comprises a support 43 fastened to the guide sleeve 50. The end wall of the separating wall 15 is equipped with a cylinder portion 45 'which reciprocates in the socket 50 and hergleitet. The piston rod section 18 is in turn guided in the cylinder section 45 '.

Die Fig. 8 bis 11 stellen stark schematisiert Ausfüh rungen mit jeweils nur einem Kolben 51 und Zylinder 52 dar. Bei der Ausführung nach Fig. 8 sind Kolben 51 und Zylinder 52 einfach zylindrisch. Der Zylinder 52 ist gleitend im Gehäuse 2 geführt. Nur ein Pfeilpaar 53 (Einlaß, Auslaß) ist eingezeichnet. Dadurch wird an gedeutet, daß nur eine Kompressionskammer vorhanden ist. Einlaß und Auslaß können über seitliche Schlitze gesteuert sein. Bestandteil des Auslasses kann aber auch ein Ventil mit einem Ventilteller 39 sein, wie er zu den Ausführungen nach den Fig. 1 bis 3 beschrieben wurde.The Figs. 8 to 11 show highly schematically comments submitted with only a piston 51 and cylinder 52. In the embodiment of FIG. 8 piston 51 and cylinder 52 are simply cylindrical. The cylinder 52 is slidably guided in the housing 2 . Only one pair of arrows 53 (inlet, outlet) is shown. This indicates that there is only one compression chamber. Inlet and outlet can be controlled via side slots. Part of the outlet can also be a valve with a valve plate 39 , as described for the embodiments according to FIGS. 1 to 3.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 9 sind Kolben 51, Zylinder 52 und die Innenseite des Gehäuses 2 einfach gestuft. Dadurch entstehen drei Kompressionskammern, die parallel oder hintereinander geschaltet werden können. Entsprechende Pfeilpaare 54, 55, 56 sind eingezeichnet. Außerdem ist die Stirnseite des Zylinders 52 geschlos sen, so daß diese Stirnseite zusammen mit dem Gehäuse 2 eine weitere Kompressionskammer 38 bildet (Pfeilpaar 57).In the embodiment of FIG. 9 piston 51, cylinder 52 and the inside of the housing 2 are simply stepped. This creates three compression chambers that can be connected in parallel or in series. Corresponding pairs of arrows 54 , 55 , 56 are shown. In addition, the end face of the cylinder 52 is closed, so that this end face together with the housing 2 forms a further compression chamber 38 (pair of arrows 57 ).

In Fig. 10 sind der Kolben 51 und der Zylinder 52 zwei fach, das Gehäuse 2 einfach gestuft. Dadurch sind insge samt fünf Kompressionskammern (Pfeilpaare 58 bis 62) vorhanden. Ist auch das Gehäuse 2 zweifach gestuft (Fig. 11), dann tritt eine sechste Kompressionskammer (Pfeilpaare 63 bis 68) hinzu.In Fig. 10, the piston 51 and the cylinder 52 are two fold, the housing 2 is simply stepped. As a result, there are a total of five compression chambers (pairs of arrows 58 to 62 ). If the housing 2 is also stepped twice ( FIG. 11), then a sixth compression chamber (pairs of arrows 63 to 68 ) is added.

Wie bereits erwähnt, haben die Ausführungsbeispiele nach den Fig. 12 bis 15 eine zusätzliche Kompressionskam mer 40, welche jeweils Bestandteil der auslaßseitigen Kompressionsstufe der Pumpe 1 ist. Der Eintritt befindet sich in Höhe des Kolbens 6. Die Eintrittskammer 23 und die zugehörigen Schlitzsteuerungen sind jeweils so aus gebildet, daß die Kompressionskammern 35, 36 die erste Pumpenstufe mit zwei parallel geschalteten Kompressions stufen bilden.As already mentioned, the exemplary embodiments according to FIGS. 12 to 15 have an additional compression chamber 40 , which is in each case part of the compression stage of the pump 1 on the outlet side. The inlet is at the level of the piston 6. The inlet chamber 23 and the associated slot controls are each formed in such a way that the compression chambers 35 , 36 form the first pump stage with two compression stages connected in parallel.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 12 werden die Pro zeßgase über die Schlitzsteuerungen und Gasführungskam mern 25, 26, 27 so geführt, daß nacheinander die Kom pressionskammer 38 die zweite Pumpstufe, die Kompressi onskammer 34 die dritte Pumpstufe, die Kompressionskam mer 33 die vierte Pumpstufe und die Kompressionskammer 40 die fünfte Pumpstufe bilden. In the embodiment according to FIG. 12, the process gases are guided via the slot controls and gas guide chambers 25 , 26 , 27 in such a way that the compression chamber 38, the second pump stage, the compression chamber 34 the third pump stage, the compression chamber 33 , the compression chamber 33, the fourth pump stage and the compression chamber 40 form the fifth pump stage.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 13 dient die die Kompressionskammer 38 umfaßende Kompressionsstufe der Evakuierung der Getriebekammer. Über eine im einzelnen nicht genauer dargestellte Längsbohrung 73 durch die Kolben 5, 6 und Kolbenstangenabschnitte 7, 8, über den Raum 74 und über die Bohrung 75 in der Buchse 44 ist die Kompressionskammer 38 mit dem Getrieberaum verbunden. Die beschriebene Kompressionsstufe mit der Kompressions kammer 38 ist so ausgebildet, daß sie eine den übrigen vier Pumpstufen der Pumpe 1 parallel geschaltete Pump stufe ist, die die Funktion der Getrieberaumevakuierung hat. Ihr Auslaß, gebildet vom Ventil 39, 42, mündet in die Kammer 76, die über eine zweckmäßig in der Gehäuse wandung verlegte Leitung 77 (gestrichelt dargestellt) unmittelbar mit der Auslaßkammer 24 in Verbindung steht. Eine Trennwand 78 ist Bestandteil des Trägers 41. Dadurch entstehen die separaten Kammern 74 und 76. Bei entsprechender Umrüstung kann auch einer anderen Kom pressionskammer die Funktion der Getrieberaumevakuierung gegeben werden.In the exemplary embodiment according to FIG. 13, the compression stage comprising the compression chamber 38 serves to evacuate the gear chamber. The compression chamber 38 is connected to the transmission chamber via a longitudinal bore 73, not shown in detail, through the pistons 5 , 6 and piston rod sections 7 , 8 , via the space 74 and via the bore 75 in the bushing 44 . The compression stage described with the compression chamber 38 is designed so that it is one of the remaining four pump stages of the pump 1 connected in parallel pump stage, which has the function of the transmission space evacuation. Your outlet, formed by the valve 39 , 42 , opens into the chamber 76 , which is connected via an expedient wall in the housing line 77 (shown in broken lines) directly to the outlet chamber 24 . A partition 78 is part of the carrier 41. This creates the separate chambers 74 and 76. With the appropriate retrofitting, another compression chamber can also be given the function of gearbox evacuation.

Bei der Pumpe 1 nach Fig. 14 ist stirnseitig ein zwei ter Eintrittsstutzen 21' vorhanden, dessen Einlaßkammer mit 23' bezeichnet ist. Diese Einlaßkammer 23' steht mit der unterbrochen dargestellten Gasführungskammer 27' in Verbindung, die die Auslaßseite der zweiten Pump stufe (Kompressionskammer 38) und die Einlaßseite der dritten Pumpstufe (Kompressionskammer 34) verbindet. Diese Lösung erlaubt die Zuführung von Prozeßgas über einen zweiten Einlaß direkt in die dritte Pumpstufe.In the pump 1 according to FIG. 14 there is a two end inlet connection 21 'on the end face, the inlet chamber of which is designated 23 '. This inlet chamber 23 'is in communication with the gas guide chamber 27 ', which connects the outlet side of the second pump stage (compression chamber 38 ) and the inlet side of the third pump stage (compression chamber 34 ). This solution allows process gas to be fed directly into the third pumping stage via a second inlet.

Auch bei der Ausführung nach Fig. 14 ist eine separate Kammer 74 vorhanden, die über die Bohrung 75 mit der Kompressionskammer 38 in Verbindung steht. Eine unmit telbare Verbindung zwischen der Einlaßkammer 23' und der Kompressionskammer 36 über den Spalt zwischen Füh rungsbuchse 44 und Zylinderabschnitt 47 ist dadurch ver mieden. Der Kammer 74 kann auch die Funktion einer wei teren Kompressionskammer gegeben werden.Also in the embodiment of Fig. 14 there is a separate chamber 74 which projects beyond the bore 75 with the compression chamber 38 in connection. A direct connection between the inlet chamber 23 'and the compression chamber 36 via the gap between the guide bushing 44 and the cylinder portion 47 is thereby avoided. The chamber 74 can also be given the function of a further compression chamber.

Die Ausführungsform nach Fig. 15 ist so ausgestaltet, daß nur vier Pumpstufen vorhanden sind (erste Pump stufe: Parallelgeschaltete Kompressionskammern 35, 36; zweite Pumpstufe: Kompressionskammer 34; dritte Pump stufe: Kompressionskammer 33; vierte Pumpstufe: Kompres sionskammer 40). Die Kammer 38 ist z. B. durch Ausnehmun gen in der Trennwand 17 so ausgebildet, daß sie einen passiven Kompressionsraum bildet. Über die Gasführungs kammer 27 stehen die Auslässe der parallelgeschalteten Kompressionskammern 35, 36 mit der Kammer 38 ständig in Verbindung. Das Ventil 39, 42 hat die Funktion eines Entlastungsventiles. Es öffnet in Richtung einer Kammer 76, die über eine vorzugsweise in der Gehäusewandung un tergebrachte Leitung 77 (gestrichelt dargestellt) mit der Auslaßkammer in Verbindung steht. Das Entlastungs ventil hat die Aufgabe, Überdrücke in der Pumpe zu ver meiden, wenn z. B. in der Anfangsphase eines Evakuiervor gangs viel Gas angesaugt werden. Auch eine andere Kom pressionskammer kann bei entsprechender Umrüstung diese Funktion haben. . The embodiment of Figure 15 is designed such that only four pumping stages are present (Level first pump: Parallel-connected compression chambers 35, 36; second pump stage: compression chamber 34; third pump stage: compression chamber 33; fourth pumping stage: Kompres sion chamber 40). The chamber 38 is e.g. B. by Ausnehmun gene in the partition 17 so that it forms a passive compression space. Via the gas routing chamber 27 , the outlets of the compression chambers 35 , 36 connected in parallel with the chamber 38 are in constant communication. The valve 39 , 42 has the function of a relief valve. It opens in the direction of a chamber 76 which is connected to the outlet chamber via a line 77 (shown in dashed lines) which is preferably accommodated in the housing wall. The relief valve has the task of avoiding overpressures in the pump when, for. B. in the initial phase of a Evakuiervor gear a lot of gas. Another compression chamber can also have this function if appropriately upgraded.

Claims

1. Piston vacuum pump ( 1 ) with a housing ( 2 ), with a piston / cylinder system and with driving means ( 10 , 11 ) for the piston component ( 4 , 51 ), characterized in that the cylinder as a separate cylinder component ( 3 , 52 ) is guided in the housing ( 2 ) and that the piston component ( 4 , 51 ) and the cylinder component ( 3 , 52 ) are connected to the drive means ( 10 , 11 ) in such a way that they perform opposite movements.

2. Piston vacuum pump according to claim 1, characterized in that

- That several piston / cylinder systems, each with a piston ( 5 , 6 ) and a cylinder wall section ( 13 , 14 ),
- That the pistons ( 5 , 6 ) are arranged axially one behind the other and with the piston rod sections ( 7 , 8 ) attached to the pistons ( 5 , 6 ) form the piston component ( 4 ),
- That - if necessary - cut from piston rod sections ( 7 , 8 ) with partition walls ( 15 , 16 , 17 ) present,
- That partitions ( 15 , 16 , 17 ) and end faces of the pistons ( 5 , 6 ) cut together with cylinder wall sections ( 13 , 14 ) form compression chambers ( 33 to 36 ) and
- That the cylinder wall sections ( 13 , 14 ) and the partitions ( 15 , 16 , 17 ) are components of the cylinder component ( 3 ).

3. Piston vacuum pump according to claim 2, characterized in that the compression chambers ( 33 to 36 ) form pumping stages and that two to one ( 21 , 23 ) adjoining parallel-connected compression chambers ( 33 , 34 and 35 , 36 ) the first Form pump stage.

4. Piston vacuum pump according to claim 3, characterized in that it is equipped with a second inlet ( 21 ', 23 '), the inlet chamber ( 23 ') is connected to the inlet side of the second or third pump stage.

5. Piston vacuum pump according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized in that compression pistons are located on both end faces of the pistons ( 5 , 6 , 51 ).

6. Piston vacuum pump according to one of claims 1 to 5, characterized in that the cylinder component ( 3 , 52 ) is closed in the region of its gear remote and / or its end near the gear and together with the housing ( 2 ) a further cylinder / piston -System with another compression chamber ( 38 , 40 ) forms.

7. Piston vacuum pump according to claim 6, characterized in that one or both compression chambers ( 38 , 40 ) form further pump stages of the pump ( 1 ).

8. Piston vacuum pump according to claim 6 or 7, characterized in that one and / or both stirnsei term compression chambers ( 38 , 40 ) are equipped with valves having a valve plate ( 39 , 39 ') and a valve seat ( 42 , 42 '), the component of egg nes the compression chambers ( 38 , 40 ) surrounding Ge housing edge.

9. Piston vacuum pump according to claim 8, characterized in that the valve ( 39 , 42 ; 39 ', 42 ') is designed as a relief valve.

10. Piston vacuum pump according to one of claims 1 to 9, characterized in that the cylinder component ( 3 ) and / or piston component ( 4 ) are equipped with additional linear guides.

11. Piston vacuum pump according to claim 10, characterized in that part of the linear guide is a sliding bush ( 44 ) which is arranged on a housing-fixed carrier ( 41 ).

12. Piston vacuum pump according to claim 11, characterized in that the cylinder component ( 3 ) and / or piston component ( 4 ) are equipped with a cylindrical portion ( 45 or 47 ), which are sliding partners of the sliding bush ( 44 ).

13. Piston vacuum pump according to claim 12, characterized in that the gear remote partition ( 17 ) is provided with a bore ( 46 ) which slides on the bushing ( 44 ).

14. Piston vacuum pump according to one of claims 11 to 13, characterized in that the cylindrical portion ( 45 or 47 ) form the piston, the sleeve ( 44 ), the cylinder, the compression chamber ( 74 ) of a white piston / cylinder system.

15. Piston vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that one of the compression chambers ( 33 to 36 , 38 , 40 , 74 ) is designed as a pump stage which serves to evacuate the gear chamber.

16. Piston vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that one of the compression chambers ( 33 to 36 , 38 , 40 , 74 ) has the function of a passive compression chamber which un indirectly with an outlet ( 22 , 24 ) in connection stands.

17. Piston vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that mainly slot controls for supplying the compression chambers ( 33 to 36 , 38 , 40 ) are provided.

18. Piston vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that in the wall of the housing ( 2 ) located gas guide chamber ( 25 , 26 , 27 , 27 ') and slot openings together with the piston of the compression stages and / or with slot openings form the slot controls in the cylinder wall sections ( 13 , 14 ).

19. Piston vacuum pump according to claim 1, characterized in that only one piston ( 51 ) and one cylinder ( 52 ) are present and form a compression chamber.

20. Piston vacuum pump according to claim 19, characterized in that the piston ( 51 ), cylinder ( 52 ) and / or the housing ( 2 ) are stepped one or two times and that further compression chambers are formed in the area (s).