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DE19737838B4 - Halbleiterspeichereinrichtung - Google Patents

Halbleiterspeichereinrichtung Download PDF

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DE19737838B4
DE19737838B4 DE19737838A DE19737838A DE19737838B4 DE 19737838 B4 DE19737838 B4 DE 19737838B4 DE 19737838 A DE19737838 A DE 19737838A DE 19737838 A DE19737838 A DE 19737838A DE 19737838 B4 DE19737838 B4 DE 19737838B4
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DE
Germany
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data
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test mode
Prior art date
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DE19737838A
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Takuya Ariki
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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    • GPHYSICS
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    • GPHYSICS
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  • Dram (AREA)
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  • Storage Device Security (AREA)

Abstract

Halbleiterspeichereinrichtung zum Einlesen und Auslesen von Daten von physikalischen Adressen eines Speicherzellenfelds (5) entsprechend logischen Adressen, die extern eingegeben sind, mit.
einem Testmodus-Setzmittel (12) zum Setzen eines Testmodus; einer Dateneingangs-Kontrollschaltung (8) zum Übertragen von Daten, die einem der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte in einer Gruppe einer gegebenen Anzahl von Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften (DQ1-DQn) geliefert sind, zu jedem des Restes der Gruppe, wenn der Testmodus gesetzt ist;
einer Daten-Verwürfelungsschaltung (9, 11) zum Ausführen des Testmodus, wenn er durch das Testmodus-Setzmittel (12) gesetzt ist, durch selektives Umkehren von Datenwerten, die durch die Dateneingangs-Kontrollschaltung (8) gemäß physikalischen Adressen geliefert sind, die den logischen Adressen entsprechen, und Wiederumkehren der umgekehrten Daten beim Auslesen von Daten, die in dem Speicherzellenfeld (5) gespeichert sind, basierend auf der entsprechenden Information der physikalischen Adressen.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterspeichereinrichtung und insbesondere auf eine Halbleiterspeichereinrichtung zum Einlesen und Auslesen von Daten von physikalischen Adressen eines Speicherzellenfeldes entsprechend 1ogischen Adressen, die extern eingegeben sind, und eine Technologie, die für das Einrichtungstesten von Halbleiterspeichereinrichtungen wirksam ist.
  • Das Testen einer Halbleiterspeichereinrichtung wie z. B. ein Dynamischer Speicher mit wahlfreiem Zugriff (Dynamic Random Access Memory, DRAM) und die Analyse seiner fehlerhaften Bits werden durchgeführt, indem jeder der Eingang- und Ausgang-Anschlußstifte der Halbleiterspeichereinrichtung mit einem' Speichertester verbunden wird, um Daten in jede, individuelle Speicherzelle der Halbleiterspeichereinrichtung einzulesen und auszulesen.
  • Die kürzlich erfolgte Vergrößerung der Speicherkapazität (eine Steigerung der Anzahl der Speicherzellen) der Halbleiterspeichereinrichtung infolge des Fortschrittes in der Technologie hat die Kosten des Einrichtungstestens wesentlich anwachsen lassen. Typischerweise wird zur Verringerung der Kosten eine Schaltung, die nur zum Testen bestimmt ist, aber nicht für gewöhnliche Betriebsarten genutzt wird, in der Halbleiterspeichereinrichtung ausgebildet.
  • Ferner, speziell im DRAM-Markt, war die Nachfrage nach Mehrfachbits groß, und die Mehrfachbits x8 und x16 sind die Hauptströmung des laufenden DRAM-Marktes. Die Mehrfachbit-Technologie verursacht einen Anstieg in der Anzahl der Anschlußstifte der Einrichtung, was wiederum einen Anstieg in der Anzahl der Anschlußstifte des Testers verursacht. Falls die Einrichtung mehr Anschlußstifte hat gemäß der Mehrfachbit-Technologie, testet der Tester eine geringere Anzahl von Einrichtungen pro Zeiteinheit, falls der Tester eine feste Anzahl von Anschlußstiften hat, daher resultierend in höheren Testkosten. Eine Lösung für dieses Problem besteht darin, daß eine Schaltung in der Einrichtung gebildet ist, die zum Testen bestimmt ist und fähig ist, vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte beispielsweise zu einem Anschlußstift zu degenerieren. Das heißt, falls die Einrichtung x16 ist, daß diese Schaltung die Einrichtung wie eine x4-Einrichtung aussehen läßt. Die Einrichtung mit dieser Schaltung kann daher viermal so schnell wie die Einrichtung ohne diese Schaltung und demgemäß sehr ökonomisch getestet werden.
  • Die Speicherzellen der zuvor erwähnten Halbleitereinrichtung werden dicht gepackt, so daß die Fläche des Chips minimal ist. Demgemäß haben die physikalischen Bitpositionen im Chip und die darin gespeicherten Daten keine direkt aufeinanderfolgende Zuordnung zu logischen Adreßwerten und logischen Datenwerten, die von einer externen Einrichtung geliefert werden. Jedoch ist es in tatsächlichen Tests oft wünschenswert, Daten an einer bestimmten physikalischen Speicheradresse zu speichern. Um diesen Unterschied zwischen den logischen Werten und den physikalischen Werten zu überwinden, werden oft die Adressenverwürfelungs- (Adressen-Scramble) und die Datenverwürfelungs- (Daten-Scramble-) vorgänge ausgeführt. Typischerweise ist ein Speichertester mit einem Softwareprogramm für die Adressen- und die Datenverwürfelungsvorgänge ausgestattet. Der Speichertester, der mit dieser Art von Softwareprogramm ausgestattet ist, führt den Verwürfelungsvorgang, der für den getesteten Chip geeignet ist, aus, liefert Signale, die durch den Verwürfelungsvorgang erzeugt sind, an die Einrichtung und führt einen physikalischen Test auf der Einrichtung durch und analysiert die resultierenden Daten.
  • Jedoch kann die Halbleiterspeichereinrichtung, die mit der Schaltung ausgestattet ist, welche zum Testen bestimmt ist und vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Anschlußstift reduziert, nicht mit einem externen Tester getestet werden, der Daten unter Verwenden der Software verwürfelt, falls die Datenverwürfelungs-Logik, die von den vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften verarbeitet werden soll, nicht dieselbe ist. Denn die Daten können nicht von einer gewünschten physikalischen Adresse eingelesen und ausgelesen werden.
  • Aus der EP 0 669 623 B1 ist eine Halbleiterspeichervorrichtung zum Einlesen und Auslesen von Daten von Adressen eines Speicherzellenfeldes entsprechend Adressen, die extern eingegeben sind, zu entnehmen. Ein Testmodus kann eingestellt werden. Eine Daten-Verwürfelungsschaltung zum Ausführen des Testmodus, wenn er durch ein Testmodussetzsignal gesetzt ist, ist vorhanden. Insbesondere werden die Datenwerte selektiv umgekehrt, die extern an Eingangs-/Ausgangsanschlußstifte der Speichereinrichtung eingegeben sind. Die umgekehrten Daten werden wieder umgekehrt beim Auslesen von Daten, die in dem Speicherzellenfeld gespeichert sind, basierend auf der entsprechenden Information der Adressen.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Halbleiterspeichereinrichtung anzugeben, die fähig ist, einen Speichertest unter Verwenden einer im Chip integrierten Daten-Verwürfelungsschaltung auszuführen und eine Halbleiterspeichereinrichtung anzugeben, die fähig ist, einen Speichertest auszuführen, sogar falls Daten in Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften eingegeben werden, welche unter allen vorbestimmt sind.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1.
  • Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Es folgt die Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der Figuren: Von den Figuren zeigen 1 eine Konfiguration des DRAM gemäß einer Ausführungsform 1 der Halbleitereinrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine Konfiguration der Dateneingangs-Kontrollschaltung;
  • 3 eine Schaltungskonfiguration der Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung;
  • 4A, 4B und 4C Muster, die in das Speicherzellenfeld geschrieben sind;
  • 5 ein Schaltungsdiagramm der Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung;
  • 6 eine Konfiguration der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung;
  • 7 eine Konfiguration des DRAM gemäß einer Ausführungsform 2 der Halbleiterspeichereinrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 8 eine Konfiguration der Eingangs/Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung;
  • 9 eine Konfiguration des DRAM gemäß einer Ausführungsform 3 der Halbleiterspeichereinrichtung der vorliegenden Erfindung; und
  • 10 eine Konfiguration der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird mit Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden.
  • Die Halbleiterspeichereinrichtung der vorliegenden Erfindung kann eine Mehrzahl der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem einzigen Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift reduzieren. Die Einrichtung weist in sich eine Verwürfelungsschaltung auf, die für den Einrichtungstest bestimmt ist, so daß die Einrichtung den Verwürfelungsvorgang (Verschlüsselungsvorgang, Scramblevorgang) selbst ausführen kann ohne die Hilfe des Software-Verwürfelungsvorganges des Testers. Die Verwürfelungsschaltung schließt Schaltungen ein, von denen jede unabhängig einen geeigneten Verwürfelungsvorgang mit den Daten ausführt, die zu einem individuellen Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift geliefert werden. Dies ermöglicht das Einlesen eines gewünschten Testmusters in die Speicherzellen, sogar wenn die Anzahl der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte reduziert wird. Die Ausführungsformen 1–3 der Halbleiterspeichereinrichtung, wie sie oben charakterisiert ist, wird unten beschrieben werden.
  • Ausführungsform 1
  • 1 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration des DRAM gemäß der Ausführungsform 1 der Halbleiterspeichereinrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine Taktgeber/Steuerschaltung 1 erzeugt ein Taktsignal und Steuersignale, die für die internen Betriebsarten des DRAM nötig sind, welche auf extern gelieferte /RAS und /CAS-Steuersignale antworten.
  • Ein Adressenpuffer 2 speichert vorübergehend Adreßdaten, die durch die Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte A0–An geliefert werden.
  • Ein Zeilen-Adreßdecoder 3 dekodiert ein Adressensignal, das durch den Adressenpuffer 2 geliefert wird, in eine interne Adresse und aktiviert eine zugehörige Wortleitung in einem Speicherzellenfeld 5.
  • Ein Spalten-Adreßdecoder 4 dekodiert ein Adressensignal, das durch den Adressenpuffer 2 geliefert wird, in eine interne Adresse und produziert ein Signal zum Wiederabrufen von Daten aus der Speicherzelle, die mit der aktivierten Wortleitung bestimmt ist.
  • Ein Leseverstärker 13 verstärkt Datensignale, die vom Speicherzellenfeld 5 ausgelesen werden, oder extern gelieferte Datensignale, die in das Speicherzellenfeld 5 eingelesen werden sollen.
  • Eine Testmodus-Eintrittsentscheidungs-Schaltung 12 gibt normalerweise ein "L"-Signal an die Taktgenerator/Steuerschaltung 1 aus, aber als Antwort auf ein spezielles, extern geliefertes Adreßsignal sendet sie ein "H"-Signal zur Taktgenerator/Steuerschaltung 1, um den Testmodus für die Einrichtung zu setzen, in der die Einrichtung mit einem Tester (nicht gezeigt) zur Erzeugung eines Testmusters verbunden ist.
  • Als Antwort auf das "H"-Signal von der Testmodus-Eintrittsentscheidungs-Schaltung 12, sendet die Taktgenerator/Steuerschaltung 1 ein "H"-Signal, das als ein TE-Treibersignal bezeichnet ist, zum Zeilen-Adreßdekoder 3, zum Spalten-Adreßdekoder 4, zu einer Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 und einer Datenausgangs-Kontrollschaltung 10, um deren Schaltungsmodi zu schalten. Die Taktgenerator/Steuerschaltung 1 gibt Steuersignale ZDTSCR 1–3, die Muster von verwürfelten Signalen spezifizieren (ein Muster von Daten, die in eine Speicherzelle eingelesen sind), an eine Eingangsdaten-Verwürfelungs-Schaltung 9 und eine Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 aus.
  • Ein Dateneingangspuffer 6 speichert vorübergehend Daten, die durch die Adreß-Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte DQl–DQn geliefert werden.
  • Wenn die Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 ein Datensignal WDFn vom Dateneingangspuffer empfängt, gibt sie im normalen Betriebsmodus dasselbe Signal ohne Änderung aus, welches als WDn bezeichnet ist. Wenn die Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 im Testmodus ist, reduziert sie jedoch vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift. In anderen Worten, im Testmodus werden Testdaten, die gemäß eines gewünschten Testmusters erzeugt sind, vom Tester an einen Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift ausgegeben für jede vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte. Zum Beispiel, empfängt es ein Datensignal WDF1 durch den Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift DQ1, gibt es dasselbe Signal als Datensignale WD1–WD4 aus.
  • Die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 empfängt ein Datensignal WDn von der Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 und gibt im normalen Betriebsmodus dasselbe Signal ohne Änderung aus, welches als WDGn bezeichnet ist. Wenn die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 im Testmodus ist, führt sie jedoch einen geeigneten Verwürfelungsvorgang mit den Daten aus, die durch jeden Anschlußstift empfangen werden, und sendet ein Datensignal, das als WDGn bezeichnet ist, aus. Der Verwürfelungsvorgang wird durch selektives Umkehren der Daten, die durch jeden Anschlußstift empfangen werden, derart ausgeführt, daß die Ordnung der logischen Adressen, die zum Speicherzellenfeld 5 gesendet werden, mit der Ordnung der zugehörigen physikalischen Adressen übereinstimmt. In anderen Worten werden die Eingangsdaten entsprechend der physikalischen Adressen des Speicherzellenfeldes derart verwürfelt, daß ein gewünschtes Muster in das Speicherzellenfeld eingelesen wird. Dieser Verwürfelungsvorgang liest daher ein bestimmtes Muster von "H" und "L" in das Speicherzellenfeld 5 ein.
  • Die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 empfängt ein Datensignal RDFn vom Speicherzellenfeld 5 und sendet im normalen Betriebsmodus dasselbe Signal ohne Änderung aus, welches als RDn bezeichnet ist. Wenn die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 im Testmodus ist, dekodiert sie jedoch das verwürfelte Datensignal RDFn vom Speicherzellenfeld 5 und gibt die dekodierten Daten als RDn aus.
  • Die Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 empfängt ein Datensignal RDn von der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 und gibt im normalen Betriebsmodus dasselbe Signal ohne Änderung aus, welches als RDGn bezeichnet ist. Wenn die Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 im Testmodus ist, ermittelt sie jedoch, ob die bestimmte Speicherzelle richtig arbeitet oder ob nicht durch Überprüfen jeder vier Signale RD1–RD4 und produziert ein Datensignal RDG1, das anzeigt, wie die Entscheidung für diese Speicherzelle ausgefallen ist.
  • Der Datenausgangspuffer 7 gibt Daten an die Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte DQ1–DQn aus.
  • 2 zeigt ein Blockdiagramm der Dateneingangs-Kontrollschaltung B. Diese Schaltung empfängt die Datensignale WDFl – WDF4 von vier Anschlüssen durch den Dateneingangspuffer 6 und das Treibersignal TE von der Taktgenerator/Steuerschaltung 1. Die Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 reduziert vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift, wenn das Treibersignal TE von der Taktgenerator/Steuerschaltung 1 "H" ist. Dies reduziert die Anzahl der Anschlußstifte, die im Speichertest benutzt werden, auf ein viertel der Anzahl und erhöht demgemäß die Anzahl der Einrichtungen auf das vierfache, die gleichzeitig getestet werden können.
  • Die Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 weist vier Eingangsdaten-Übertragungsschaltungen 20, 24, 25, 26 auf. Diese vier Eingangsdaten-Übertragungsschaltungen 20, 24, 25, 26 haben dieselbe Konfiguration, die das Treibersignal TE und sein umgekehrtes Signal ZTE empfängt, das durch eine Umkehrschaltung 27 umgekehrt ist. Alle Eingangsanschlüsse WDFn der EingangsdatenÜbertragungsschaltungen 20, 24, 25, 26 empfangen das Datensignal WDF1, WDF2, WDF3 beziehungsweise WDF4, während jeder der Eingangsanschlüsse TWDFn der Eingangsdaten-Übertragungsschaltungen 20, 24, 25 und 26 dasselbe Datensignal WDF1 empfängt.
  • Es wird auf die 2 Bezug genommen; die Konfiguration und die Betriebsart der Eingangsdaten-Übertragungsschaltungen werden beschrieben unter Verwenden der Eingangsdaten- Übertragungsschaltung 20 als ein Beispiel. Diese Schaltung 20 weist zwei getaktete CMOS 21 und 22 und eine Umkehrschaltung 23 auf. Wenn das Treibersignal TE "H" ist und demgemäß das Signal ZTE "L" ist, was den Testmodus repräsentiert, wird der getaktete CMOS 22 in Betrieb gesetzt. Daher wird das Signal WDF1, das am Anschluß TWDF1 empfangen ist, durch den Ausgangsanschluß WDn ausgegeben. Andererseits, wenn das Treibersignal TE "L" und das Signal ZTE "H" ist, das heißt, wenn die Schaltung nicht im Testmodus ist, wird der getaktete CMOS 21 in Betrieb gesetzt. Daher wird das Signal WDF1, das am Anschluß WDFn empfangen ist, durch den Ausgangsanschluß WDn ausgegeben.
  • Die Eingangsdaten-Übertragungsschaltung 24 gibt das Signal WDF2 aus, wenn das Treibersignal TE "L" ist, während es das Signal WDF1 ausgibt, wenn das Treibersignal TE "H" ist. In ähnlicher Weise gibt die Eingangsdaten-Übertragungsschaltung 25 das Signal WDF3 aus, wenn das Treibersignal TE "L" ist, während es das Signal WDF1 ausgibt, wenn das Treibersignal TE "H" ist. Außerdem gibt die Eingangsdaten-Übertragungsschaltung 26 das Signal WDF4 aus, wenn das Treibersignal TE "L" ist, während es das Signal WDF1 ausgibt, wenn das Treibersignal TE "H" ist.
  • Die Eingangsdaten-Übertragungsschaltungen mit der in 2 gezeigten Konfiguration übertragen daher im normalen Modus das Datensignal WDF1–WDF4, das an vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften zur Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 ohne Änderung empfangen wird. Im Testmodus (das Treibersignal TE ist "H") nehmen die Ausgangssignale WD1-WD4 der Dateneingangs-Kontrollschaltung 8 jedoch dasselbe Signal WDF1 an, das an einem Eingangs/Ausgangs-Anschluß empfangen wird. Daher werden die vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift reduziert.
  • 3 zeigt ein Blockdiagramm der Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9. Die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 führt den Verwürfelungsvorgang mit den Eingangssignalen WD1–WD4 derart aus, daß die Signale in das Speicherzellenfeld 5 in einem gewünschten Muster von "H" und "L" (Karo-, Streifen- oder Einzelmuster) eingelesen werden. Wie oben erwähnt, sind die Eingangsdaten WD1–WD4 alle WDF1, wenn der Testmodus aktiviert wird. Außerdem wird im Testmodus das Datensignal WDF1 entweder auf "H" oder "L" festgesetzt. Die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 weist vier Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikabschnitte 50, 80, 85 und 90 und vier Datenverwürfelungs-Kontroller 60, 81, 86 und 91 derselben Konfiguration auf. Die Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikabschnitte 50, 80, 85 und 90 erzeugen drei verschiedene Arten von verwürfelten Daten abhängig von den Werten der X- und Y-Adressen. Der Verwürfelungsvorgang kehrt die Werte der Eingangsdatensignale WD1–WD4 selektiv derart um, daß die Ordnung der logischen Adressen mit denjenigen der physikalischen Adressen im Speicherzellenfeld 5 übereinstimmt. Die Datenverwürfelungs-Kontroller 60, 81, 86 und 91 speisen in die EXOR-(EXKLUSIV-ODER-)Gatter 70, 82, 87 beziehungsweise 92 an einem der Anschlüsse die gewünschten verwürfelten Daten ein, die von drei Arten von verwürfelten Daten ausgewählt sind, welche von den Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikabschnitten 50, 80, 85 bzw. 90 geliefert werden. Die Auswahl wird durch Setzen eines der Steuersignale ZDTSCR1 – 3 von der Taktgenerator/Steuerschaltung 1 auf "H" durchgeführt. In die anderen Anschlüsse der EXOR-Gatter 70, 82, 87 und 92 werden die Datensignale WD1 bis WD4 entsprechend eingespeist. Die EX-OR-Gatter 70, 82, 87 und 92 führen den Verwürfelungsvorgang mit den Eingangsdatensignalen WD1–WD4 aus. Das heißt, falls die Verwürfelungswerte, die durch den Datenverwürfelungs-Kontroller geliefert werden "H" sind, gibt das EXOR-Gatter das Datensignal, das als WDGn bezeichnet und ein umgekehrtes Signal des Eingangsdatensignals WDn ist, aus. Falls die gelieferten Ver würfelungswerte "L" sind, gibt das EXOR-Gatter jedoch dasselbe Eingangssignal WDn ohne Änderung als WDGn aus.
  • Es wird auf die 3 Bezug genommen; die Konfiguration des Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikabschnittes 50 wird beschrieben. Der Logikabschnitt 50 weist drei Logikschaltungen 51, 52 und 53 auf. Abhängig von den Eingangs-X- und -Y-Adressen gibt die Logikschaltung 51 geeignete Verwürfelungswerte aus, die ein Karo-Flag-Muster von "H" und "L" im Speicherzellenfeld 5 erzeugen, wie in 4A gezeigt. Abhängig von den Eingangs-X- und – Y-Adressen gibt die Logikschaltung 52 geeignete Verwürfelungswerte aus, die ein Streifenmuster von "H" und "L" im Speicherzellenfeld 5 erzeugen, wie in 48 gezeigt. Die Logikschaltung 53 gibt feste Daten aus, entweder "H" oder "L" abhängig von den Ausgangs-X- und Y-Adressen, um ein einheitliches Muster von "H" und "L" in dem Speicherzellenfeld 5 zu machen, wie in 4C gezeigt. Die Beziehung zwischen den logischen Adressen und den physikalischen Adressen für eine bestimmte Einrichtung und einen bestimmten Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift definiert die Konfiguration der Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung. Daher hat jeder der Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikabschnitte Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltungen, die am meisten zu ihm passen. Dies ermöglicht geeignete Verwürfelungsvorgänge für die vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte.
  • 5 ist ein Schaltungsdiagramm der Eingangsdaten-Logikschaltung 51. Das EXOR-Gatter 55 im Diagramm erzeugt eine EXKLUSIV-ODER-Verknüpfung vom am wenigsten signifikanten Bit XO der X-Adresse und dem am wenigsten signifikanten Bit YO der Y-Adresse, die der Schaltung geliefert werden. Das EXOR-Gatter 56 erzeugt eine EXKLUSIV-ODER-Verknüpfung vom Ausgangssignal des EXOR-Gatters 55 und dem zweitniedrigst signifikanten Bit X1 der X-Adresse. Dieser EXKLUSIV-ODER-Wert des EXOR-Gatters 56 wird als verwürfelter Wert ausgegeben, der steuert, ob Daten an ei ner physikalischen Adresse gemäß einer eingegebenen logischen Adresse eingelesen werden sollen.
  • Es wird wieder auf 3 Bezug genommen; es werden die Schaltung des Daten-Verwürfelungs-Kontrollers 60 erklärt. Der Daten-Verwürfelungs-Kontroller 60 weist drei getaktete CMOS 61, 62 und 63 auf, die dementsprechend durch ZDTSCR1–3 kontrolliert werden, welche durch die Taktgenerator/Steuerschaltung 1 geliefert werden. Die Taktgenerator/Steuerschaltung 1 setzt ZDTSCR1 auf "L" und ZDTSCR2 und 3 auf "H", wenn die Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung 51 ausgewählt wird. In diesem Fall wird der getaktete CMOS 61 in Betrieb gesetzt und die verwürfelten Daten, die von der Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung 51 (ein Karomuster von "H" und "L") erzeugt sind, werden an einen Eingangsanschluß eines EXOR-Gatters 70 gesendet.
  • Wenn die Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung 52 benutzt wird, wird ZDTSCR2 auf "L" und ZDTSCR1 und 3 auf "H" gesetzt. In diesem Fall wird der getaktete CMOS 62 in Betrieb gesetzt und die verwürfelten Daten, die durch die Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung 52 (ein Streifenmuster von "H" und "L") erzeugt sind, werden zum Eingangsanschluß eines EXOR-Gatters 70 gesendet.
  • Ebenso wird, wenn die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 53 benutzt wird, ZDTSCR3 auf "L" und ZDTSCR1 und 2 auf "H" gesetzt. In diesem Fall wird der getaktete CMOS 63 in Betrieb gesetzt und die verwürfelten Daten, die durch die Eingangsdaten-Verwürfelungs-Logikschaltung 53 (ein Einzelmuster von "H" oder "L") erzeugt sind, werden zu einem Eingangsanschluß des EXOR-Gatters 70 gesendet.
  • Das EXOR-Gatter 70 kehrt das Datensignal WD1 um und gibt es als Datensignal WDG1 aus, falls die Verwürfelungswerte vom Datenverwürfelungs-Kontroller 60"H" sind, während es das Datensignal WD1 ohne Änderung als Datensignal WDG1 ausgibt, falls die Verwürfelungswerte vom Datenverwürfelungs-Kontroller 60"L" sind.
  • Wenn die Steuersignale ZDTSCR1–3 alle "H" sind, das heißt, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist, wird ein "H"-Signal an das Gate des MOS-Transistors 69 durch ein Dreifach-Eingangs-AND-Gatter (Dreifach-Eingangs-NAND-Gatter 67 plus eine Umkehrschaltung 68 in der Figur) geliefert. Das "H"-Signal aktiviert den MOS-Transistor 69 und macht den Ausgang des Daten-Verwürfelungs-Kontrollers 60 zu "L". Demgemäß wird das Eingangssignal WDl zum EXOR-Gatter 70 von dort ohne Änderung ausgegeben als WDG1.
  • Die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 hat dieselbe Konfiguration wie die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9, die in 3 gezeigt ist, wo Eingangs- und Ausgangsdaten für die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 in Klammern angezeigt sind. Das heißt, die EXOR-Gatter 70, 82, 87 und 92 empfangen Datensignale RDF1–RFD4 anstelle von WD1–WD4 bzw. senden Datensignale RD1–RD4 anstelle von WDG1–WDG4 aus.
  • In einem Testverfahren, wie z. B. die vorliegende Ausführungsform, wo vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift reduziert werden, werden vier von der Speicherzelle 5 wiederabgefragte Daten verglichen und eine Entscheidung wird gefällt, welche dann an den Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift ausgegeben wird. Wenn der Testmodus gesetzt ist und die Einlese- und Auslese-Betriebsarten für die Speicherzelle 5 richtig ausgeführt sind, können die Datensignale RD1–RD4, die der Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 geliefert werden, entweder "H" oder "L" sein. Im Testmodus vergleicht die Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 die vier Datensignale RD1–RD4, um zu entscheiden, ob die Einlese- und Auslese-Betriebsarten richtig ausgeführt sind. Die Entscheidung wird als Datensignal RDG1 ausgesendet. Wenn der Testmodus nicht gesetzt ist, werden die Datensignale RD1–RD4 von der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 ohne Änderung als Datensignal RDG1–4 zum Datenausgangspuffer 7 ausgesendet.
  • Die Konfiguration und Betriebsart der Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 wird als nächstes beschrieben. 6 ist ein Schaltungsdiagramm der Datenausgangs-Kontrollschaltung 10, die vier Ausgangsdaten-Übertragungsschaltungen 150, 160, 170 und 180 hat. Die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 150 empfängt das Treibersignal TE, das Umkehrsignal ZTE, das vom TE durch eine Umkehrschaltung 190 erzeugt ist, das wiederabgefragte Datensignal RD1 und ein Entscheidungssignal TRDn von einem Daten-Vergleicher 191, der ein EXNOR-Gatter aufweist. Das Treibersignal TE und das Umkehrsignal ZTE steuern zwei getaktete CMOS 151 und 152. Wenn das Treibersignal TE "H" ist, das heißt, wenn der Testmodus gesetzt ist, wird der getaktete CMOS 152 in Betrieb gesetzt und das Entscheidungssignal vom Datenvergleicher 191 wird als ein Datensignal RDGl ausgegeben. Der Datenvergleicher 191 weist ein EXNOR-Gatter mit vier Eingangsanschlüssen auf. Falls jedes Datensignal RD1–RD4 entweder "H" oder "L" ist, gibt der Datenvergleicher 191 ein Datensignal TRDn aus, das "H" ist. Die Umkehrschaltung 153 kehrt das Datensignal TRDn um und gibt es als ein Datensignal RDG1 aus, was die Entscheidung anzeigt.
  • Wenn das Treibersignal TE "L" ist, das heißt, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist, wird der getaktete CMOS 151 in Betrieb gesetzt und ein Datensignal RD1 wird ohne Änderung als ein Datensignal RDG1 ausgegeben. Da die Signale, die vom getakteten CMOS 151 und 152 erzeugt sind, dann umgekehrt werden durch die Umkehrschaltung 153, sind die Signale, die von der Datenausgangs-Kontrollschaltung 10 ausgegeben werden, dieselben wie die Signale, die ihr geliefert werden.
  • Die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 160 empfängt das Treibersignal TE, das Umkehrsignal ZTE, das von TE durch eine Umkehrschaltung 190 erzeugt wird, und ein wiederabgefragtes Datensignal RD2. Die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 160 weist einen getakteten CMOS 161 und eine Umkehrschaltung 162 auf. Wenn das Treibersignal TE "H" ist, das heißt, wenn der Testmodus gesetzt ist, wird der getaktete CMOS 161 außer Betrieb gesetzt und die Daten werden nicht übertragen. Wenn das Treibersignal TE "L" ist, das heißt, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist, wird jedoch der getaktete CMOS 161 in Betrieb gesetzt und ein Datensignal RD2 wird ohne Änderung als Datensignal RDG2 ausgegeben.
  • In ähnlicher Weise überträgt die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 170 kein Signal, wenn der Testmodus gesetzt ist, während es ein Datensignal RD3 als RDG3 ausgibt, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist. Die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 180 überträgt kein Signal, wenn der Testmodus gesetzt ist, während sie ein Datensignal RD4 als RDG4 ausgibt, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist. Die Betriebsarten der Ausgangsdaten-Übertragungsschaltungen 170 und 180 werden nicht erläutert, da sie dieselbe Konfiguration haben, wie die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 160.
  • Ausführungsform 2
  • 7 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration des DRAM der Ausführungsform 2 der Halbleiterspeichereinrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt. Die gleichen Bezugsnummern in 1 und 7 bezeichnen dieselben Bestandteile. Der DRAM der Ausführungsform 1 hat getrennte Verwürfelungsschaltungsn 9 und 11 für Eingangs- und Ausgangsdaten. Wie oben unter Bezug auf die 3 erwähnt, sind die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung und die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung identisch. Im DRAM der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung werden die Verwürfelungs-Logikabschnitte und die Verwürfelungskontroller in 3 sowohl für die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9 als auch für die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 benutzt. Die Verwürfelungsschaltung der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung wird daher als Eingangs/Ausgangs-Datenverwürfelungsschaltung 100 bezeichnet.
  • 8 zeigt ein Blockdiagramm der Eingangs/Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 100. Die Verwürfelungs-Logikabschnitte 101, 105, 109, 113 haben dieselbe Konfiguration wie der Verwürfelungs-Logikabschnitt 50, der in 3 gezeigt ist. Ferner sind die Verwürfelungskontroller 102, 106, 110 und 114 dieselben wie der Daten-Verwürfelungskontroller 60, der ebenfalls in 3 gezeigt ist. Diese Schaltung weist nicht nur EXOR-Gatter 103, 107, 111 und 115 auf, die die Eingangsdatensignale WD1 bis WD4 entsprechend empfangen, sondern auch andere EXOR-Gatter 104, 108, 112, 116, die die Ausgangsdatensignale RDF1 bis RDF4 entsprechend empfangen. Die Verwürfelungswerte von den Verwürfelungskontrollern 102, 106, 110 und 114 werden den anderen Anschlüssen der EXOR-Gatter, wie in 8 gezeigt, geliefert. Diese Ausführungsform läßt eine einfachere Schaltung entstehen und verringert die Chipfläche, die benötigt wird, um die Einrichtung herzustellen. Da die Schaltungskonfiguration und die Betriebsart der Eingangs/Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung dieselben sind wie bei der Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung 9[sic] und der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11, wird eine weitere Beschreibung nicht gegeben.
  • Ausführungsform 3
  • Die Einlese- und Auslesezeit (Zugriffszeit) bei einem normalen Betriebsmodus sind wichtige Parameter in Halbleiterspeichereinrichtungen. Besonders eine schnelle Auslesezeit ist wünschenswert. In den DRAMs, die in den Ausführungsformen 1 und 2 beschrieben sind, müssen alle Daten durch die Verwürfelungsschaltungen laufen, wenn die Daten eingelesen oder ausgelesen werden, sogar wenn der Testmodus nicht gesetzt ist. Wie in den 3 und 8 gezeigt ist, werden die Daten durch die EXOR-Gatter aus- oder eingelesen, welche verhältnismäßig lange Verzögerungszeiten haben. Daher ist zu erwarten, daß die Zugriffszeiten der Ausführungsformen 1 und 2 verhältnismäßig lang sind.
  • 9 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration des DRAM der Ausführungsform 3 der Halbleitereinrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt. Der DRAM der vorliegenden Ausführungsform weist eine Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 200 auf zur Verringerung der Verschlechterung der Zugriffszeit für das Auslesen von Daten. Die gleichen Bezugszeichen der 1 und 9 bezeichnen dieselben Bestandteile.
  • Die 10 zeigt die Konfiguration der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 200. Die Datensignale RDFl – RDF4, die vom Speicherzellenfeld 5 wiederabgefragt sind und dann von der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 200 empfangen sind, werden direkt zu den Datenübertragungsschaltungen 210, 220, 230 bzw. 240 geleitet, anders als die Datensignale, die von der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 11 und der Eingangs/Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung 100 der Ausführungsformen 1 und 2 empfangen werden, in denen wiederabgefragten Daten von RDFl–RDF4, die verwürfelt worden sind, zu den EXOR- Gattern geleitet werden, um dekodiert zu werden. Daher schaltet diese Konfiguration die Verzögerung in der Zugriffszeit am EX-OR-Gatter zum Dekodieren aus und verkürzt die gesamte Zugriffszeit im normalen Modus. Die Daten-Übertragungsschaltungen 210, 220 und 230 sind dieselben wie die Schaltungen 160, 170 und 180 in 6. Außerdem ist die Daten-Übertragungsschaltung 240 dieselbe wie die Schaltung 150 in 6.
  • Die Datenvergleicher für den Testmodus sind wie folgt konfiguriert. Die Verwürfelungsschaltungen 260, 270, 280 und 290 in 10 weisen jede dieselben Schaltungen wie der Verwürfelungs-Logikabschnitt 50 und der Datenverwürfelungs-Kontroller 60 auf. Die Ausgangssignale von den Verwürfelungsschaltungen sind dieselben wie diejenigen der Verwürfelungskontroller. Die Verwürfelungsschaltungen 260, 270, 280 und 290 können gleichzeitig für die Eingangsdaten benutzt werden, wie in 3 gezeigt.
  • Wie beschrieben unter Bezug auf 3 werden im Verwürfelungsvorgang, falls die Verwürfelungswerte von der Verwürfelungsschaltung "H" sind, die Eingangsdaten umgekehrt und falls die Verwürfelungswerte von der Verwürfelungsschaltung "L" sind, werden die Eingangsdaten ohne Änderung ausgegeben. In diesem Fall, in dem vier Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift reduziert werden, muß, falls richtige Daten von den Speicherzellen wiederabgefragt werden, die Anzahl der wiederabgefragten Daten unter RDF1–RDF4, die umgekehrt worden sind im Verwürfelungsvorgang bevor sie in der Speicherzelle gespeichert werden, gleich sein der Anzahl der "H"-Signale, die von den vier Verwürfelungsschaltungen erzeugt werden. Die Datensignale RDF1–RDF4 werden an ein EXNOR-Gatter 251 geliefert zum Erhalten eines Signals, das der Anzahl der Daten, die durch den Verwürfelungsvorgang umgekehrt worden sind, entspricht. In ähnlicher Weise werden die Daten von den vier Verwürfelungsschaltungen 260, 270, 280 und 290 an ein EXNOR-Gatter 252 geliefert zum Erhalten eines Signals, das der Anzahl der "H"-Signale unter den Signalen, die vom EXNOR-Gatter 252 ausgegeben werden, entspricht. Dann werden die Ausgangssignale vom EXNOR-Gatter 251 und vom EXNOR-Gatter 252 an ein EXNOR-Gatter 253 geliefert und verglichen, um zu ermitteln, ob die zwei Ausgangssignale dieselben sind oder nicht. Das Entscheidungssignal vom EXNOR-Gatter 253 wird an den Eingangsanschluß TRDn der Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 240 gesendet. Falls das Treibersignal TE "H" ist, das heißt, der Testmodus ist gesetzt, kehrt die Ausgangsdaten-Übertragungsschaltung 240 die Daten um, die an den Eingangsanschluß TRDn geliefert werden und gibt sie als ein Datensignal von RDG1 aus. Diese Konfiguration ist nicht nur in der Lage, die richtigen Entscheidungen bzgl. der Daten zu treffen, wenn der Testmodus gesetzt ist, sondern ist auch in der Lage, die Verschlechterung der Auslesezeit zu verhindern, wenn der Testmodus nicht gesetzt ist.
  • Die erste Halbleiterspeichereinrichtung weist eine Schaltung auf, die den Verwürfelungsvorgang an jedem Eingangs/Ausgangsanschlußstift ausführt. Daher kann sie den Verwürfelungsvorgang, in dem ein gewünschtes Muster von "H" und "L" in die Speicherzellen eingelesen wird, unabhängig vom Tester ausführen, basierend auf der Beziehung zwischen der Ordnung der logischen Adressen und derjenigen der physikalischen Adressen für jeden Eingangs/Ausgangs-Anschlußstift und sogar in dem Fall, in dem eine Mehrzahl der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte zu einem Anschlußstift reduziert werden. Daher kann die erste Halbleiterspeichereinrichtung einen geeigneten Einrichtungstest durchführen.
  • Die zweite Halbleiterspeichereinrichtung hat eine Schaltungskonfiguration, in der wiederabgefragte Daten, wenn der Testmo dus nicht gesetzt ist, nicht durch die Verwürfelungsschaltung laufen. Daher kann sie die Verschlechterung der Auslesegeschwindigkeit verhindern, die langsamer wäre, wenn die Daten die Verwürfelungsschaltungen durchlaufen.

Claims (6)

  1. Halbleiterspeichereinrichtung zum Einlesen und Auslesen von Daten von physikalischen Adressen eines Speicherzellenfelds (5) entsprechend logischen Adressen, die extern eingegeben sind, mit. einem Testmodus-Setzmittel (12) zum Setzen eines Testmodus; einer Dateneingangs-Kontrollschaltung (8) zum Übertragen von Daten, die einem der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte in einer Gruppe einer gegebenen Anzahl von Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften (DQ1-DQn) geliefert sind, zu jedem des Restes der Gruppe, wenn der Testmodus gesetzt ist; einer Daten-Verwürfelungsschaltung (9, 11) zum Ausführen des Testmodus, wenn er durch das Testmodus-Setzmittel (12) gesetzt ist, durch selektives Umkehren von Datenwerten, die durch die Dateneingangs-Kontrollschaltung (8) gemäß physikalischen Adressen geliefert sind, die den logischen Adressen entsprechen, und Wiederumkehren der umgekehrten Daten beim Auslesen von Daten, die in dem Speicherzellenfeld (5) gespeichert sind, basierend auf der entsprechenden Information der physikalischen Adressen.
  2. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1, bei der die Daten-Verwürfelungsschaltung aufweist eine Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung (9, 100) zum selektiven Umkehren der Datenwerte, die durch die Dateneingangs-Kontrollschaltung (8) gemäß physikalischen Adressen geliefert werden, die den eingegebenen logischen Adressen entsprechen; und eine Ausgangsdaten-Verwürfelungschaltung (11, 100, 200) zum Wiederumkehren von Datenwerten, die durch die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung (9, 100) beim Auslesen der Daten, die in dem Speicherzellenfeld gespeichert sind, umgekehrt werden.
  3. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 2, bei der die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung (9, 100) und die Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung (11, 100, 200) für jeden der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte (DQl-DQn) der Speichereinrichtung vorgesehen ist.
  4. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung (9) eine logische Schaltung (50, 80, 85, 90) aufweist, die logisch ermittelt, ob jede Dateneinheit umgekehrt werden sollte oder nicht gemäß einer physikalischen Adresse, in die jede Dateneinheit eingelesen ist.
  5. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei der die Eingangsdaten-Verwürfelungsschaltung (9) mindestens zwei logische Schaltungen (50, 80, 85, 90) aufweist, die in logisch unterschiedlichen Weisen ermittelt, ob jede Dateneinheit umgekehrt werden sollte oder nicht gemäß einer physikalischen Adresse, in der jede Dateneinheit eingelesen ist.
  6. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, mit einer Datenausgangs-Kontrollschaltung (10) zum Ermitteln von den Daten, die von der Ausgangsdaten-Verwürfelungsschaltung (11, 100, 200) an die gegebene Anzahl der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte (DQ1-DQn) geliefert sind, ob die Datenauslese-Betriebsart richtig ausgeführt worden ist oder nicht, und zum Senden eines Signals, das die Entscheidung anzeigt, an einen der Eingangs/Ausgangs-Anschlußstifte in der Gruppe der gegebenen Anzahl von Eingangs/Ausgangs-Anschlußstiften (DQ1-DQn), wenn der Testmodus gesetzt ist.
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