DE19703738C2 - Verfahren zur Bestimmung geometriebestimmender Parameter eines Koordinatenmeßgerätes - Google Patents
Verfahren zur Bestimmung geometriebestimmender Parameter eines KoordinatenmeßgerätesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung
geometriebestimmender Parameter eines Koordinatenmeßgerätes
in Hexapod-Bauweise.
Gemäß dem Stand der Technik erreichen Koordinatenmeß
geräte in der Regel ihre spezifizierte Genauigkeit mit
Hilfe einer Geometriekorrektur, bei der die Abweichungen
der Maßstäbe und der geometriebestimmenden Elemente gemes
sen und rechnerisch korrigiert werden. Verfahren zur Auf
nahme und Durchführung dieser Korrektur sind für konventio
nelle Koordinatenmeßgeräte, das heißt für solche mit im we
sentlichen starrer Struktur und senkrecht aufeinander auf
bauenden geraden Achsen bekannt.
Gemäß der deutschen Patentanmeldung 195 34 535.5 wird
ein nicht-kartesischer Aufbau für ein Koordinatenmeßgerät
beschrieben. Dieses zum Stand der Technik gehörende Koordi
natenmeßgerät weist einen zur Antastung des Werkstückes be
wegbaren Tastkopf auf, der von einem im wesentlichen star
ren Körper fest, auswechselbar fest oder beweglich getragen
wird. Darüber hinaus ist ein Positioniermechanismus für den
Tastkopf zur Positionierung des Tastkopfes relativ zur
Werkstückaufnahme vorgesehen sowie eine Versorgungs-,
Steuer- und Auswerteeinrichtung. Der Positioniermechanismus
besteht aus an einer Grundplatte an wenigstens drei fest
vorgesehenen Punkten allseitig schwenkbar gelagerten
Beinen. Die Beine des Positioniermechanismus sind mit ihren
freien Enden allseitig schwenkbar an dem den Tastkopf
tragenden Körper befestigt, und die Länge der wenigstens
drei Beine und/oder ihre Neigungen zur Grundplatte sind
meßbar verstellbar.
Ein Verfahren, das es gestattet, bei einem Koordina
tenmeßgerät mit einem solchen Aufbau, insbesondere bei ei
nem Koordinatenmeßgerät in Hexapod-Bauweise, die Abwei
chungen der Maßstäbe und der geometriebestimmenden Elemente
aufzunehmen, wird gemäß der deutschen Patentanmeldung
196 40 674.9-52 beschrieben. Gemäß diesem Verfahren werden
bei einem Hexapod-Koordinatenmeßgerät zunächst die Längen
abweichungen der längenveränderlichen Elemente (Beine)
aufgenommen und korrigiert und nach Montage des Hexapoden
die übrigen Geometrieabweichungen mit Hilfe eines Prüfkör
pers bekannter Abmessungen aufgenommen, der in verschiede
nen Stellungen gemessen wird.
Dieses zum Stand der Technik gehörende Verfahren er
fordert einen hochgenau kalibrierten Prüfkörper, etwa eine
Kugelplatte. Hierdurch fallen einige Kosten an. Darüber
hinaus erfordert dieses Verfahren eine gewisse Meßzeit.
Insbesondere bei einer häufigen oder täglichen Überprüfung
und Wiederherstellung der Genauigkeit, zum Beispiel nach
einem Umbau des Koordinatenmeßgerätes von einer waagerech
ten auf eine senkrechte Basis oder nach extremen Tempera
turänderungen, ist ein relativ hoher Meßzeitaufwand erfor
derlich.
Zum Stand der Technik (DE 44 03 901 A1) gehört darüber
hinaus eine Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidi
mensionalen Koordinaten. Es handelt sich bei diesem Stand
der Technik um eine Gelenkarmkoordinatenmeßmaschine.
Nach dem Zusammenbau der Vorrichtung wird eine anfäng
liche Eichung vorgenommen (Spalte 12, Zeilen 24 ff.).
Hierzu wird eine Vielzahl von dimensionalen Messungen aus
geführt, die Positionen, Orientierungen und Abmessungen
über das gesamte Volumen der Vorrichtung umfassen. Danach
wird ein Optimierungs-Softwareprogramm verwendet, um die
tatsächliche Falschausrichtung zu bestimmen, die bei jeder
der Gelenkachsen vorhanden ist, und die kinematischen For
meln anzupassen, die die Bewegungen des Armes beschreiben.
Diese zum Stand der Technik gehörende Vorrichtung hat den
Nachteil, daß, wie auch in dieser Druckschrift ausgeführt
ist (Spalte 12, Zeile 45), riesige Mengen von Daten anfal
len.
Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem
besteht darin, ein Verfahren zur Ermittlung der Parameter
der Geometrie eines Koordinatenmeßgerätes, vorzugsweise in
Hexapod-Bauweise anzugeben, das ganz oder weitgehend ohne
einen kalibrierten Prüfkörper auskommt, und welches darüber
hinaus in sehr kurzer Zeit und unter Erfassung von relativ
wenigen Meßdaten durchgeführt werden kann, sowie ein Koor
dinatenmeßgerät zur Durchführung des Verfahrens.
Dieses technische Problem wird durch die Merkmale des
Anspruches 1 ge
löst.
Erfindungsgemäß wird das Tastelement an einem Ort fi
xiert, beispielsweise durch zentrierendes Antasten einer
Kegelbohrung. In diesem Zustand wird die Plattform in ver
schiedene Stellungen, das heißt Orientierungen gebracht,
bei denen die Beine verschiedene Längen und Richtungen ein
nehmen. Diese verschiedenen Achseneinstellungen weichen
vorteilhaft stark voneinander ab.
Aus den dabei gewonnenen Beinlängendaten werden die
geometrischen Parameter ermittelt. Solche Parameter sind
beispielsweise die Differenz zwischen der am Maßstab abgelesenen
Länge und der tatsächlichen Beinlänge (zwischen den
Anlenkpunkten) für jedes Bein, die Positionen der Anlenk
punkte der Beine an Basis und Plattform, die Richtungen und
Abstände der Drehachsen in den Gelenken und die Position
des Tastkopfs an der Plattform.
Da hierbei nur die Abweichungen der geometrischen Pa
rameter von Sollwerten bestimmt werden müssen, ist dies in
einfacher Weise durch eine Störungsrechnung möglich. Sind
mehr Beinlängendaten vorhanden als nötig zur eindeutigen
Festlegung der geometrischen Parameter, so wird ein Bestfit
oder eine Auswahl der relevanten Daten vorgenommen.
Es sind verschiedene Ausführungsformen des erfindungs
gemäßen Verfahrens möglich.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird in Koordinaten
meßgeräten in Hexapod-Bauweise verwendet. Bei einem solchen
Koordinatenmeßgerät ist der Tastkopf an einer Plattform
angeordnet, die von sechs längenveränderlichen Elementen
(Beinen) getragen wird, die mit ihren Enden jeweils an der
Plattform und an einer stationären Basis ansetzen. Durch
Längenänderungen der Beine kann die Plattform verschiedene
Positionen und Orientierungen im Raum einnehmen.
Die Messung von Position und Orientierung der Platt
form geschieht durch Messung der Beinlängen, die in ihrer
Gesamtheit eindeutig Position und Orientierung der Platt
form festlegen, oder durch ein unabhängiges Meßsystem. Die
Steuerung des Koordinatenmeßgerätes rechnet die Beinlängen
in kartesische Koordinaten und Orientierungswinkel um und
umgekehrt. Daran anschließend sind die meisten Funktionen
der Maschinensteuerung und der Auswertesoftware dieselben
wie bei einem konventionellen Koordinatenmeßgerät.
Es ist bekannt, ein Koordinatenmeßgerät so zu steuern,
daß die Tastkugel in die Spitze einer kegelförmigen Bohrung
eingesenkt wird, entweder durch Bestimmung der Kegelspitze
durch Punktantastung und Anfahren der betreffenden Position
oder durch Scannen und direktes Auffinden der Kegelspitze.
Das erste Verfahren kann sowohl mit messenden als auch mit
schaltenden Tastsystemen ausgeführt werden, das zweite Ver
fahren nur mit messenden Tastsystemen. Dieses zweite Ver
fahren ist das schnellere und universellere, das heißt, es
bestehen nur geringe Anforderungen an die Form des Kegels.
Daher wird für das erfindungsgemäße Verfahren ein Verfahren
unter Einsatz eines messenden Tastkopfes bevorzugt. In bei
den Fällen wird die Position der Tastkugel durch den Kegel
und durch die Größe der Tastkugel bestimmt.
Ist der Tastkopf des Hexapod-Koordinatenmeßgerätes als
messender Tastkopf ausgebildet, so wird erfindungsgemäß zunächst
die Tastkugel vorzugsweise automatisch in eine we
nigstens näherungsweise kegelförmige Bohrung eingesenkt,
die sich in einem ortsfest auf der Werkstückaufnahme ange
brachten Körper befindet. Da dies ein geregelter Vorgang
ist, ist dies auch ohne genaue Kenntnis der geometrischen
Abweichungen möglich. Durch die Antastung der Kegelspitze
ist ein Punkt festgelegt, der bei beliebiger Orientierung
der Plattform im Rahmen der Unrundheit der Tastkugel (meist
wesentlich geringer als die Ungenauigkeiten des Koordina
tenmeßgerätes) stets derselbe ist.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird
die Orientierung der Plattform verändert, so daß die Beine
dabei wesentlich verschiedene Längen und Richtungen einneh
men. Die Auslenkung des Tastkopfes kann hierbei durch Nach
regeln konstant gehalten werden oder aber es kann die Ver
änderung der Tastkopf-Auslenkung gemessen und bei der Be
rechnung der Geometrieparameter berücksichtigt werden.
Letzteres ist dann möglich, wenn die geometriebedingten Ab
weichungen kleiner sind als der Meßbereich des Tastkopfes,
was häufig der Fall ist.
Die einzelnen Abweichungen der geometriebestimmenden
Elemente, wie etwa Versätze von Anlenkpunkten gegenüber
Soll- oder Ausgangswerten, wirken sich bei dieser Bewegung
der Plattform in verschiedener, von der Orientierung der
Plattform abhängiger Weise aus, so daß aus den berechneten
Positionen und Orientierungen der Plattform und gegebenen
falls den gemessenen Werten der Tastkopf-Auslenkung auf die
geometriebestimmenden Parameter geschlossen werden kann. Da
eine geschlossene Lösung in der Regel nicht möglich ist,
werden hierzu bekannte Iterations- oder Näherungsverfahren,
beispielsweise die Störungsrechnung, eingesetzt.
Ob mit diesem Verfahren alle oder nur einige geome
triebestimmende Parameter bestimmt werden und mit welcher
Genauigkeit, hängt unter anderem von der Geometrie des
Hexapoden ab, von der Position der Kegelbohrung, von der
Vollständigkeit des Geometriemodells, von der Anzahl und
der Spannweite der eingenommenen Orientierungen und von der
Meßgenauigkeit der Position und Orientierung der Plattform
und der Tastkopfauslenkung. Gegebenenfalls muß zwischen
dominierenden und untergeordneten Abweichungen unterschie
den werden, und es ist dann eventuell nur möglich, die do
minierenden Abweichungen zu bestimmen.
Eventuell ist es auch erforderlich, die Kegelbohrung
an verschiedenen Orten im erreichbaren Volumen des Koordi
natenmeßgerätes aufzustellen oder unterschiedliche Tast
stifte einzusetzen. Die Position oder die Positionen der
Kegelbohrung im erreichbaren Volumen des Koordinatenmeßge
rätes muß, beziehungsweise müssen so gewählt werden, daß
die geometriebestimmenden Parameter sich auf Position und
Orientierung der Plattform auswirken, damit sie auch tat
sächlich bestimmt werden können. Die Konstruktion des Hexa
poden ist vorteilhaft so ausgestaltet, daß dies an den für
die Position der Kegelbohrung vorgesehenen Orten auch gilt.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich in sehr kur
zer Zeit durchführen, vorzugsweise als automatischer Meß
lauf. Der Körper, der die Kegelbohrung enthält, kann fest
am Koordinatenmeßgerät angeordnet sein oder wird vom Be
nutzer auf der Werkstückaufnahme befestigt. In diesem Fall
kann ein handgesteuerter "Lernlauf", wie bei anderen Prüf
körpern, zur Auffindung der Bohrung notwendig sein. Es kann
aber auch vorteilhaft sein, einen Körper, der mehrere Ke
gelbohrungen enthält, auf der Werkstückaufnahme anzubrin
gen.
Nach Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sind
die geometriebestimmenden Parameter des Koordinatenmeßgerä
tes bekannt und werden in einem Korrekturmodell zur Verbes
serung der Genauigkeit des Koordinatenmeßgerätes verrech
net. Das Verfahren ist daher mindestens einmal nach der
Montage oder Aufstellung des Koordinatenmeßgerätes anzu
wenden. Es kann aber auch sinnvoll sein, dieses Verfahren
regelmäßig zur Überprüfung und Nachkorrektur des Koordina
tenmeßgerätes einzusetzen. So kann es beispielsweise bei
bestimmten Einsatzarten oder Bauformen notwendig sein, nach
Umsetzung des Koordinatenmeßgerätes an einen anderen Ort
oder in eine andere Lage, eine Nachkorrektur vorzunehmen.
Auch zur Nachkorrektur bei Temperaturschwankungen, das
heißt zur Optimierung der Genauigkeit beziehungsweise einer
Temperaturkompensation, unter den aktuellen Bedingungen,
ist das erfindungsgemäße Verfahren aufgrund des geringen
Zeitbedarfs vorteilhaft.
Ein weiteres Ziel bei der Ausführung des erfindungsge
mäßen Verfahrens ist die Festlegung des Nullpunktes der
Beinlängenmessung.
Aus Kostengründen werden bei konventionellen Koordina
tenmeßgeräten meist inkrementale, nicht absolut-kodierte
Maßstäbe eingesetzt. Der Nullpunkt des Maschinenkoordina
tensystems wird dann bei einer Referenzfahrt nach dem Ein
schalten des Koordinatenmeßgerätes mit Hilfe einer Refe
renzmarke, deren Genauigkeit nicht der des Koordinatenmeß
gerätes entsprechen muß, festgelegt. Bei einem Koordina
tenmeßgerät in Hexapod-Bauweise ist aufgrund der nicht
linearen Beziehung zwischen Beinlängen und kartesischen Ko
ordinaten jedoch die Kenntnis des Nullpunktes der Beinlängenmessung
mit einer geringeren Unsicherheit als der
Meßunsicherheit des Koordinatenmeßgerätes erforderlich.
Zu den Parametern, die bei Ausführung des erfindungs
gemäßen Verfahrens bestimmt werden, gehört auch die abso
lute Beinlänge, die sich für jedes Bein von dem gemessenen
um einen, von Orientierung des Hexapoden und Temperatur ab
hängigen, aber ansonsten konstanten Betrag unterscheidet.
Damit kann der Nullpunkt der Beinlängenmessung für jedes
einzelne Bein auch bei Verwendung inkrementaler Maßstäbe,
wozu auch einfache Laserinterferometer gehören, durch das
erfindungsgemäße Verfahren bestimmt werden, wenn der Ort
der Kegelspitze im Meßvolumen des Koordinatenmeßgerätes
fest ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann automatisch, halb
automatisch oder manuell ablaufen.
Das Verfahren ist auch bei einem Koordinatenmeßgerät
in Hexapod-Bauweise einsetzbar, bei dem nicht alle sechs
Freiheitsgrade, aber mehr als drei realisiert sind.
Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran
sprüchen entnommen werden.
Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er
findung dargestellt.
Die Figur zeigt ein Koordinatenmeßgerät (1) in Hexa
pod-Bauweise. Ein Tastkopf (2) mit einer Tastspitze (3) ist
an einem Ausleger (4) angeordnet. Der Ausleger (4) ist an
einer Plattform (5) angeordnet, an welcher sechs längenver
änderliche Beine (6 bis 11) angelenkt sind.
In einer ersten Position (A) wird die Tastspitze (3)
durch zentrierendes Antasten einer Kegelbohrung (13) in ei
nem Prüfkörper (12) fixiert. In dieser Position werden die
Beinlängendaten ermittelt.
Anschließend wird die Plattform (5) in eine zweite Po
sition (B) (gestrichelt dargestellt) gebracht, wobei die
Tastspitze (3) nach wie vor in der Kegelbohrung (13) durch
zentrierendes Antasten fixiert ist.
In dieser Position werden wiederum die Beinlängendaten
erfaßt. Anschließend werden aus den in den beiden Positio
nen (A, B) ermittelten Beinlängendaten die geometriebestim
menden Parameter ermittelt.
1
Koordinatenmeßgerät
2
Tastkopf
3
Tastspitze
4
Ausleger
5
Plattform
6
bis
11
Beine
12
Prüfkörper
13
Kegelbohrung
A, B Postionen
A, B Postionen
Claims (12)
1. Verfahren zur Ermittlung geometriebestimmender Pa
rameter eines Koordinatenmessgerätes in Hexapod-Bauweise,
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
- 1. Ermittlung und Korrektur von Längenmeßfehlern aller Maßstäbe, die zur Messung von Beinlängen dienen,
- 2. Positionieren einer Tastkugel (3) an eine vorbestimm te räumliche Position (13), in der die räumliche Lage des Mittelpunktes der Tastkugel (3) mechanisch fixiert ist,
- 3. Messen der Längen der Beine (6 bis 11) mit Hilfe der in Schritt eins korrigierten Maßstäbe,
- 4. mindestens einmalige Wiederholung der Schritte zwei und drei, wobei die Lage des Tastkugelmittelpunktes jeweils ein und dieselbe räumliche Position einnimmt, und die Stellung (A, B) der Geräteachsen jeweils voneinander ab weichen,
- 5. Berechnen der geometriebestimmenden Parameter aus den während der mindestens zwei Durchläufe der Schritte zwei und drei gemessenen Beinlängen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Festlegen der Position der Tastkugel (3) im Raum
durch Antasten oder Hineinfahren in eine statisch bestimmte
Aufnahme durchgeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß beim Hineinfahren in eine statisch bestimmte Aufnahme
die Tastkopf-Auslenkung bei jeder Orientierung auf densel
ben Wert geregelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß beim Hineinfahren in eine statisch bestimmte
Aufnahme die Abweichung der Tastkopf-Auslenkung gemessen
und im dritten Schritt mitverrechnet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß als statisch bestimmte Aufnahme eine wenigstens nähe
rungsweise kegelförmige Bohrung (13) verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß als statisch bestimmte Aufnahme eine durch drei Kugeln
oder drei Walzen gebildete Aufnahme verwendet wird.
7. Verfahren zur Ermittlung geometriebestimmender Pa
rameter eines Koordinatenmessgerätes in Hexapod-Bauweise,
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
- 1. Ermittlung und Korrektur von Längenmeßfehlern aller Maßstäbe, die zur Messung von Beinlängen dienen,
- 2. wiederholtes Antasten einer Kugel und Bestimmung des Kugelmittelpunktes,
- 3. Messen der Längen der Beine (6 bis 11) mit Hilfe der in Schritt eins korrigierten Maßstäbe,
- 4. mindestens einmalige Wiederholung der Schritte zwei und drei, wobei die Lage des Tastkugelmittelpunktes jeweils ein und dieselbe räumliche Position einnimmt, und die Stellung (A, B) der Geräteachsen jeweils voneinander ab weichen,
- 5. Berechnen der geometriebestimmenden Parameter aus den während der mindestens zwei Durchläufe der Schritte zwei und drei gemessenen Beinlängen.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß alle geometriebestimmenden Parameter bestimmt werden.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verfahren an verschiedenen Orten und/oder mit ver
schiedenen Tasterlängen durchgeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Tastkugel wenigstens einmal aus der Kegelbohrung
(13) ausgehoben wird, um eine Verschlechterung der Genauig
keit durch Reibung zu vermeiden.
11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verfahren zur wiederholten Bestimmung der geomet
riebestimmenden Parameter eingesetzt wird.
12. Koordinatenmeßgerät zur Durchführung des Verfah
rens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Koor
dinatenmeßgerät (1) als ein Koordinatenmeßgerät in Hexapod-
Bauweise ausgebildet ist, daß das Koordinatenmeßgerät (1)
eine Plattform (5) aufweist, an der der Tastkopf (2) ange
ordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1997103738 DE19703738C2 (de) | 1997-02-01 | 1997-02-01 | Verfahren zur Bestimmung geometriebestimmender Parameter eines Koordinatenmeßgerätes |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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DE19703738A1 DE19703738A1 (de) | 1998-08-06 |
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ID=7818992
Family Applications (1)
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---|---|
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2793316B1 (fr) * | 1999-05-05 | 2001-07-06 | Const Mecaniques Des Vosges | Procede pour determiner la position relative des deux plateaux d'un hexapode |
DE10013769A1 (de) * | 2000-03-20 | 2001-10-11 | Wolf & Beck Gmbh Dr | Verfahren zur Kalibrierung geometrisch messender Sensoren auf Meß- und Digitalisiermaschinen |
DE10016785A1 (de) * | 2000-04-05 | 2001-10-18 | Zentrum Fertigungstechnik Stut | Verfahren zur Kalibrierung |
DE102006014509A1 (de) | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Prüfkörper und Verfahren zum Einmessen eines Koordinatenmessgerätes |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4403901A1 (de) * | 1993-02-23 | 1994-08-25 | Faro Tech Inc | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
WO1995014905A1 (en) * | 1993-11-25 | 1995-06-01 | Renishaw Plc | Position measuring devices |
DE19534535A1 (de) * | 1995-09-18 | 1997-03-20 | Leitz Mestechnik Gmbh | Koordinatenmeßmaschine |
-
1997
- 1997-02-01 DE DE1997103738 patent/DE19703738C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4403901A1 (de) * | 1993-02-23 | 1994-08-25 | Faro Tech Inc | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
WO1995014905A1 (en) * | 1993-11-25 | 1995-06-01 | Renishaw Plc | Position measuring devices |
DE19534535A1 (de) * | 1995-09-18 | 1997-03-20 | Leitz Mestechnik Gmbh | Koordinatenmeßmaschine |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Prospekt der Fa. Heidenhain, Mai '92 NC-Längenmeßsysteme, S. 9 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19703738A1 (de) | 1998-08-06 |
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Owner name: LEITZ MESSTECHNIK GMBH, 35578 WETZLAR, DE |
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Owner name: HEXAGON METROLOGY GMBH, 35578 WETZLAR, DE |
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